废气处理操作规程

处理量（m3/h）
精馏 200 工序废气
17.063～25.629m3/h;
Байду номын сангаас
灌区 240、灌区 250 工序废气
4.698～7.056m3/h
合成 100、合成 CDI 工序废气
6.763～10.159m3/h
还原 CDI 工序废气
30.940～46.472m3/h
氢化 CDI 工序废气
22.860～34.335m3/h
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3.2 工艺流程图（示意图）（附页）
废气、残夜淋洗处理系统工艺流程简图见图 3.2.1、图 3.2.2
图 3.2.1 单套废气淋洗塔工艺流程示意图 废气送入淋洗塔的中上部，喷淋碱液从进气口上部向下喷淋，废气中的硅氯 化物与碱液水解反应，并对反应产生的氯化氢进行吸收，产生的硅酸钙、水合二 氧化硅从塔釜流出，产生的废气（含氢、氮气和微量的氯化氢）从第二个塔的上 部排出。
数量 10.6 3.8
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3. 工艺原理及工艺流程图
3.1 工艺原理
精馏残液、精馏废气、灌区废气、合成废气、合成 CDI 废气、氢化 CDI 废气、 还原 CDI 废气、氢化炉置换吹扫气和事故排放废气、还原炉置换吹扫气和事故排 放气、氢化还原汽化气通过废气及残液管道分别进入相应的废气（残夜）洗涤塔 内，洗涤塔的下部置于废液接受地槽中，用循环液形成液封。10%的 Ca(OH)2 溶 液由塔顶喷入，对尾气进行喷淋洗涤，废气中的氯硅烷（主要为 SiHCl3、SiCl4、 SiH2Cl2，另外还有少量 SinCl2n+n 及 SinHmCl(2n+2)-m 系的氯硅烷衍生物）被水解中 和，其反应原理如下：
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图 3.2.2 单套残液淋洗塔工艺流程示意图 残液送入淋洗塔的中下部，喷淋碱液从上部向下喷淋，残液中的硅氯化物与 碱液水解反应，并对反应产生的氯化氢进行吸收，产生的硅酸钙、水合二氧化硅 从塔釜流出，产生的废气（含氢气、氮气和微量氯化氢）从上部排出。
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10. 附件.................................................................................................................. - 25 附图一:主工艺流程图（物流图） ............................................................... - 26 附表 1:原料、中间产品、产品、副产品的主要特性和危害性（爆炸危险性与 毒性）............................................................................................................. - 26 -
还原工序废气
9.449～14.193 m3/h
氢化工序废气
4.725～7.097m3/h
2.3.2 废液洗涤塔的处理量：
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废液来源 200 精馏残液
处理量 81.7kg/h
2.4 原辅材料和能源动力消耗
原料 循环碱液
生产水 氮气 电
单位 m3/h m3/h MPa KW/H
SiH2Cl2+ 2Ca(OH)2= CaSiO3+ CaCl2+2H2+ H2O
氯硅烷与碱液反应产生氯化氢，氯化氢与 Ca(OH)2 水溶液反应，生成氯化钙 溶液，氯化钙具有溶解度高、防冻等特点，气反应原理如下：
Ca(OH)2+2HCl=CaCl2+2H2O 经过喷淋洗涤、水解和中和反应后，尾气中的有害物质被去除，处理后的尾 气中主要含有氮气和氢气，经安全液封罐 25 米高空达标排放。 废气（残夜）洗涤塔釜的洗涤液中含有 CaSiO3、SiO2•nH2O 等悬浮物，从 废液接受地槽中排入地沟，由地沟排入循环碱液池，一部分经碱液由循环泵送至 洗涤塔循环，一部分送往废水站的含盐及含硅废水处理系统进行处理。
2.3 处理规模
本工序共设 26 组 52 个洗涤塔分别精馏残液、精馏废气、灌区 240、250 废
气、合成废气、合成 CDI 废气、氢化 CDI 废气、还原 CDI 废气、氢化炉置换吹扫
气和事故排放废气、还原炉置换吹扫气和事故排放气、氢化还原汽化气进行喷淋
洗涤。
2.3.1 废气洗涤塔的处理量：
废气来源
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2. 质量标准、生产规模和原辅材料消耗
2.1 原料质量标准
材料名称 循环碱液 生产水
氮气
指标 Ca(OH)2 含量=10%(W) 浊度≤3NTU，色度≤15 度 纯度>99% 压力：0.7MPa
2.2 排放标准
废气排放标准执行《大气污染物综合排放标准》二级三类标准。
4. 基本资源.............................................................................................................. - 8 4.1 人力资源（要求达到的技术要求）...................................................... - 9 4.2 设备资源（主要设备清册）.................................................................. - 9 4.3 仪表（主要仪表清册）........................................................................ - 10 4.4 调节阀一览表........................................................................................ - 11 4.5 切断阀一览表........................................................................................ - 11 -
目录
1. 范围...................................................................................................................... - 3 1.1 适用范围.................................................................................................. - 3 1.2 目的.......................................................................................................... - 3 -
SiHCl3+（n+2）H2O=SiO2•nH2O+3HCl +H2
2SiHCl3+5Ca(OH)2=2CaSiO3+3CaCl2+4H2O+2H2
SiCl4+（n+2）H2O = SiO2•nH2O +4HCl
SiCl4+3 Ca(OH)2= CaSiO3+ 2CaCl2+3H2O
SiH2Cl2+（n+2）H2O = SiO2•nH2O +2HCl +2H2
国电内蒙古晶阳能源有限公司年产 3000 吨多晶硅项目操作规程
国电内蒙古晶阳能源有限公司 年产 3000 吨多晶硅项目
废气及残液处理装置操作规程
版次 A/0
编制 审核 批准
日期 2011 年 5 月 日期 2011 年 5 月 日期 2011 年 5 月 受控状态：受控 发文号 XGJ1101
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7.1 原始开车前的准备................................................................................ - 15 7.2 开车步骤（正常生产操作、管理、记录、取样、产品输送等）.... - 15 7.3 停车步骤（正常停车、故障停车、短期停车、长期停车）............ - 17 7.4 再开车步骤（短期停车后的正常开车，长期停车后的再开车）.... - 18 7.5 主要设备或机组的操作规程................................................................ - 18 8. 管理要点（包括意外情况的判断和处理措施）............................................ - 22 9. 引用资料............................................................................................................ - 22 -
5. 主要控制调节系统说明.................................................................................... - 13 6. 控制参数一览表................................................................................................ - 14 7. 操作步骤............................................................................................................ - 15 -
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1. 范围
1.1 适用范围
本操作规程适用于国电内蒙古晶阳能源有限公司年产 3000 吨/年多晶硅项目 生产主工艺系统废气、残夜淋洗处理工序。
1.2 目的
本操作规程的目的在于：让操作人员明确本工序的工艺流程、工艺原理和工 艺系统的操作标准、质量指标的控制标准及管理标准，并有国电内蒙古晶阳能源 有限公司参考此原则编写操作规程，从而能够规范操作人员、检修人员和管理人 员依据相关标准与规定进行安全生产操作和管理工作。
2. 质量标准、生产规模和原辅材料消耗.............................................................. - 3 2.1 原料质量标准.......................................................................................... - 4 2.2 产品质量标准.......................................................................................... - 4 2.3 生产规模.................................................................................................. - 4 2.4 原辅材料和能源动力消耗...................................................................... - 5 -
3. 工艺原理及工艺流程图...................................................................................... - 6 3.1 工艺原理.................................................................................................. - 6 3.2 工艺流程图（示意图）（附页）............................................................ - 7 -