气体质量流量计

4
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
四、技术参数
型号
MF5612
MF5619
单位
显示方式 显示单位 显示分辨率 键盘
环境温度 介质温度
引出线
30:1 ±(1.5+0.5FS)
0.5 12~24VDC，50mA 4~20mA；RS485；3.3V脉冲 LCD (一 体 显 示 、 分 体 显示) 瞬时 流 量SLPM， 累 积 流 量SL 瞬 时 流 量0.0100SLPM， 累积 流 量0.0010SL
（ 图6-3a） 流 量 计 正 常 工 作 显 示
6.3 RS485通信
流 量 计 的 通 讯 方 式 为RS485， 有 两 种 协 议 ：A.工 厂 校 准 通 讯 协 议 ，
为 单 机 通 讯 协 议 ；B. Modbus协议，为多机通讯协议。其设置为：
波特率
57600(单机)/ 9600(多机)；
RL（max）=450Ω
6.5 脉冲输出
流 量 计 提 供 的 脉 冲 为3.3V方 波 ， 每 个 方 波 代 表1SL，10SL， 100SL或 1000SL的 累 积 流 量 。 即 Total每 增 1SL， 10SL， 100SL或1000SL， 流 量 计 便 输 出1个 脉 冲 。 每 个 脉 冲 对 应 的 累 计 流 量 ， 可 以 通 过RS485设 置 。 出 厂 默 认 为 每 个 脉 冲 对 应 1000SL， 用 户 可 以 在 订 货时选择其他数值。
数据位
8；
停止位
1；
校 验位/流控制 无。
详细的通讯协议请与厂商联系。
M
（ 图6-3b） 流 量 计 报 警 显 示
4~20mA信号输出正( LOOP+,紫色)
6.4 4~20mA电流信号 输 出
回 路 电阻 的 连 接 （ 本 步 骤为需要4~20mA电流信号输出的用户 使用，其他用户请跳过本步骤）。 外 部4~20mA电 流 输 出 电 路电压与回路最大电阻的关系：
MF 5600系列
气体质量流量计
SIARGO MEMS FLOW SENSING PRODUCTS
使用说明书 (VA.5)
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
使用须知
1. 产品适用于各种工业环境范围内的气体测量、监测和控制，以及医院供氧系 统中的医用氧气计量。其他环境内的使用应严格禁止。
仪表面板按键
-20~+60 -10~+55 <95%RH(无 结 冰,无 凝 露) 空气 输入输出接口线缆; LCD连接线缆
重量
1620
2050
g
5
五、安装说明 5.1 外形尺寸
MEMS流 量 产 品 系 列
M
5.2 安装
本产品推荐为水平安装。基座上的箭头标记方向为介质流向。介质进出端口连接必须正确，进口端 需装高效过滤器。 安装步骤如下： （1）取出 流量 计后 检查 其外 表 ， 确 定 无 损 伤 ； （2）连 接 并清 洁管 道； （3）将 流 量计 安装 到管 道上 ， 并 注 意 如 下 事 项 ：
1
MEMS流 量 产 品 系 列
目录
使用需知
1
注意事项
1
目录
2
一、概述
3
二、产品分类形式及选型说明
3
三、产品结构与工作原理
4
四、技术参数
5
五、安装说明
6
六、功能说明
7
七、检定
10
八、安全、维护及故障排除
10
九、运输及储存
11
十、开箱及检查
11
十一、客户服务及技术支持
11
附录：应用说明
12
2
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
1标 准升 （SL） 等 于 在 温 度20℃，大气压力101. 325kPa下该气体1升 的 体
积。
M
故 障 报 警: 流 量 计 会 自 动 判 定 故 障,并 从 屏 幕 上 显 示 报 警(如 图6-3b所 示) ,代 码 显 示 为E1~E5,含义分别如下:
E1
E2
E3
E4
E5
传 感 器 故障 ADC故障 时钟故障 EEPROM故障 晶振故障
一、概述
MF5600 系列气体质量流量计
原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的
的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。 ＭＦ５６００流量计芯片上的传感器将测量这一变化 并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。 质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。
连接（N-NPT；Y-用户自定义）
通径（管道内径，单位为mm；5612-12mm，5619-19mm）
* 最大流量的单位为SLPM，比如200代表最大流量为200SLPM； 对二氧化碳，MF5612最大流量可选200，不可选300；MF5619最大流量可选600，不可选800。
型号 MF5612 MF5619
产品特点
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸 缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。 在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围度）大大提高。 传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。 结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。 技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地 降低了能源消耗。 采 用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便。 流 量 计 标 配 有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现 集 中 管 理 。 流 量 计 选 配 有4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。 光 洁 的 不 锈 钢 管 体,适用于氧气测量。 满 足EMC电磁兼容要求，具有较高的抗干扰能力。 可根据需求采用分体显示或一体显示。
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M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
六、功能说明 6.1 线缆连接
连接流量计与用户接口的电缆线，并确保流量计外壳上接地线可靠连接大地。
颜色
红色 黑色 绿色 棕色 紫色 透明 黄色
用 户输入/输出接口定义
电 源正（+） 电 源 地 （-） RS485（A） RS485（B） 4~20mA信 号输出+ 4~20mA地/ 脉冲 地 脉冲输出正
3.2 工作原理
微 机 电 系 统(MEMS)芯 片 传 感 技 术 ， 是 在 硅 芯 片 上 集 成 了 具 有 机 械 和 电 子 特 征 的 微 米 级 传 感 器 。 它 并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上，而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技 术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些宏观机电器件所不能达到的功效。 MF5600系 列 气 体 质 量 流 量 计 采 用 了 公 司 生 产 的 热 质 量 气 体 流 量 传 感 芯 片 ， 属 于 质 量 流 量 传 感 方 式 的 流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同质量的气体对热场的变化 具有不同的影响，因而，它所测量的流量为质量流量。 同时，由于采用了多传感器和微热源技术，使其具备了优良的零点稳定性、响应时间短和超大量程 等特点。 MF5600系 列 气 体 质 量 流 量 计 主 要 由 电 源 模 块 、MEMS流 量 传 感 芯 片 、 信 号 处 理 模 块 、A/D转 换 模 块 、 EEPROM存 储器 、RTC实时 时 钟 模 块 以 及 显 示 模 块 组 成 。 见 流 量 计原理框图图3-2。
通径 12mm 19mm
机械接口 1/2" 3/4"
流量范围
SLPM
NCMH
200
12百度文库
300
18
600
36
800
48
（ 表2 - 1） 产 品 型 号 及 规 格 表
3
MEMS流 量 产 品 系 列
三、产品结构与工作原理 3.1 产品结构
本 流 量 计 主 要 由 微 机 电 系 统 （MEMS） 流 量 传 感 器 部 件 、 智 能 控 制 部 件 、 显 示 及 输 出 部 件 、 测 量 基 座 组成。其 组成 部分 如图3 - 1所示 。
户服务部分。 6. 为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。
注意事项
1. 产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。 2. 安装时应注意气体流向标志，连接和检漏应按相应规程进行。 3. 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂质的
操作将可能对产品带来损坏。
控 制/主 机 部 件(外 壳 材 料 为 铝) 分 体 式 显 示 部 件(外 壳 材 料 为 铝)
用 户 输 入/输 出 接 口 主 机-显 示 部 件 接 口
显 示 部 件-主 机 接 口
LCD显 示 屏
基 座/气 体 通 道(材 料 为3 0 4不 锈 钢)
操作按键
（图3-1）微机电气体质量流量计结 构 图
5.3 流量计安装注意事项
（1）流 量计 安装 前必 须清 除 管 道 中 的 杂 质,避 免 异 物 进 入 而 损 坏 流量计,管道内壁应清洁无积垢； （2）不得 随意 松开 流量 计的 固 定 部 分 ； （3）流量 计的 输出 连线 中保 护 地 线 必 须 可 靠 连 接 ； （4）安 装后 不允 许对 流量 计 产 生 安 装 应 力 ， 以 免 损 坏 流 量 计 ； （5）流 量 计应 避免 工作 在强 磁 场 干 扰 及 剧 烈 振 动 环 境 中 ； （6）介 质流 量应 稳定 ，操 作 有 关 阀 门 时 动 作 要 缓 慢 ， 切 勿 急 开 急关。
用户设备 （计算机或仪表）
+5V +6.5V
电源 模块
+12~24VDC
4~20mA 信号
转换模块
脉冲 输出模块
RS485 通讯接口
微控制器
M E M S流 量 传感芯片
信号处理 模块
A/D 转换器
M
液晶显示 驱动模块
EEPROM 存储器
RTC 实时时钟
模块
（ 图3 - 2） 流 量 计 原 理 框 图
（ 图6 - 1） 用 户 输 入/输 出 接 口 线 缆 (型 号 ：I C7 - 1 5 0， 长 度 ：1 . 5 m )
6.2 LCD显示
（ 图6-2）LCD连 接 线 缆 (型 号 ：IC7-30-IC7， 长 度 ：30cm 型 号 ：IC7-200-IC7， 长 度 ：2m)
在 正 常 工 作 状 态 下 ， 流 量 计 液 晶 屏 为 显 示 如 图6-3a所 示 。 显 示 内 容 有 ： 总 量Total（ 即 累 积 流 量 ） 、 瞬 量Flowrate（ 即 瞬 时 流 量）等。
1 为了保证流量计的计量准确性，安装时要先连接流量计的上游端，上游直管段应满足 10DN的最 低要 求,下游 直 管 段 应 满 足5DN的 最 低 要 求 ；
2 流量计安装时不能有任何密封物质渗入管道内； （4）连 接 电源 电缆 线， 需要 注 意 接 线 时 的 极 性 ， 确 保 输 入 的 直 流电压在(12~24)VDC； （5）如 需要 连接 信号 线， 应 保 障 信 号 线 与 相 应 用 户 界 面 端 连 接 无误； （6）接 通电 源， 液晶 屏显 示 正 确 。
2. 产品在清洁气体的环境中使用最佳；不适用于有大量粉尘、油污及多相流的 环境中；对于有大量水汽的环境，请事先与厂商联系。
3. 在使用产品前请仔细阅读说明书。 4. 在使用或应用本产品时，应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全注
意事项和规程。 5. 如对说明书有任何疑问，请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书的客
在正常工作状态下，流量计液晶屏为双排数字显示。上排为当前累积流 量 ， 单 位 为SL(标 准 升)， 可 以 显 示0.0000~99999999.9990SL； 下 排 为 实 时 流 量 ， 单 位 为SLPM(标 准升/分钟),可以显示0.0000~999999.9900SLPM。
实时质量流量与体积流量间的转换是基于下述条件：
二、产品分类形式及选型说明
选型方式按照如下规则确定：
MF - - - - -
气体介质（A-空气，C-二氧化碳，N-氮气，O-氧气，R-氩气； 其它气体请与厂商联系。）
显示（D-带LCD显示，N-不带LCD显示）
输出（A-4~20mA，B-RS485，D-脉冲；可选B，AB，BD，ABD） 最大流量*（MF5612可选200和300，MF5619可选600和800)