气体质量流量计
质量流量计(MFC)原理
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质量流量计(MFC)原理质量流量计(MFC)原理及如何来选择使⽤⾸先什么是质量流量计(MFC)?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM),是⼀种精确测量⽓体流量的仪表,其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准,不需要温度压⼒补偿。
质量流量控制器,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能⾃动控制⽓体流量,即⽤户可根据需要进⾏流量设定,MFC⾃动地将流量恒定在设定值上,即使系统压⼒有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是⼀个稳流装置,是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?(1)流量的测量和控制不因温度或压⼒的波动⽽失准。
对于多数流量测控系统⽽⾔,很难避免系统的压⼒波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计,压⼒及温度的波动将导致较⼤的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则⼀般可以忽略不计。
(2)测量控制的⾃动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显⽰﹑累积流量⾃动计量﹑数据⾃动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器⽽⾔,还可以实现流量的⾃动控制。
通常,模拟的MFC/MFM输⼊输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串⾏通讯⼝,能⾮常⽅便地与计算机连接,进⾏⾃动控制。
(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制⽓体的给定量,这对很多⼯艺过程的流量控制﹑对于不同⽓体的⽐例控制等特别有⽤。
(4)适⽤范围宽,有很宽的⼯作压⼒范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适⽤于多种⽓体介质(包括⼀些腐蚀性⽓体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最⼩流量范围可达0~5 sccm,最⼤流量范围可达0~200 slm。
流量显⽰的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100% (量程⽐为-- 50:1),因此在很多领域得到⼴泛应⽤。
气体流量计工作原理
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气体流量计工作原理
气体流量计是一种用于测量气体流动速度和质量流量的仪器。
它基于流体动力学定律和物理性质的变化来实现流量的测量。
气体流量计的工作原理通常包括以下几个方面:
1. 等密度原理:根据气体流过的截面积和速度可以计算出气体的流量。
一种常见的实现方式是通过流体动力学原理,将气体流过的截面积和流速转换为压力差。
2. 热速度原理:根据热速度定律,通过测量热电偶的温度差来计算气体的流量。
当气体通过测量管道时,流体的速度会影响热交换的速度,从而使热电偶测量到的温度差发生变化,通过测量温度差的变化可以计算出气体的流量。
3. 导管压差原理:根据气体在导管中流动时产生的压力差来计算气体的流量。
通过在导管中设置压力传感器,测量气体流过导管时的压力差,通过一定的计算方式可以得到气体的流量。
4. 质谱法:通过质谱仪来分析气体中的组分,并根据组分的质量来计算气体的流量。
质谱仪可以将气体中各组分的质量分析出来,通过测量时间、速度和流量等参数来确定气体的流量。
以上是常见的几种气体流量计的工作原理,通过选择适合的工作原理和仪器可以实现对不同气体的准确流量测量。
MF5000 系列气体质量流量计 说明书
![MF5000 系列气体质量流量计 说明书](https://img.taocdn.com/s3/m/f6ecd19aa1116c175f0e7cd184254b35eefd1a1c.png)
© 2011 Siargo Ltd.使用说明书(VA.3)SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS气体质量流量计MF5000系列1注意事项MF 5000系列气体质量流量计目录使用需知注意事项目录一、概述二、产品分类形式及选型说明三、产品结构与工作原理四、技术指标五、安装说明六、功能说明七、检定八、安全、维护及故障排除九、运输及储存十、开箱及检查十一、客户服务及技术支持附录:应用说明112334556778888 2选型方式按照如下规则确定:MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统(MEMS )流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年,开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表。
主要技术性能处于国际领先水平,具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点;针对工业环境,融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计;且具有多种信号输出,能通过通讯接口实现网络管理功能;本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性,可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
执行标准为:Q/77453766-11-2009。
参照执行标准: ISO14511;GB/T 20727-2006。
00000360号。
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。
在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。
传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。
技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,极大地降低了能源消耗。
采用LCD 显示瞬时流量和累积流量,清晰直观,读数方便。
产品融合了电磁兼容设计技术,具有更高抗干扰能力。
流量计带有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理。
科里奥利质量流量计工作原理
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科里奥利质量流量计工作原理
科里奥利质量流量计是一种常用的流量测量仪器,它利用科里奥利效应来测量气体的质量流量。
其工作原理如下:
1. 气体进入流量计后,流经一个热电偶和一个辅助热电偶。
热电偶的位置要求在气体的流动方向上。
2. 两个热电偶都受到一个恒定的加热电流作用,使其保持在一定的温度差(通常为10℃)。
3. 气体流过热电偶时,根据科里奥利效应,热电势的大小与流过热电偶的气体的质量成正比。
4. 由于气体的质量流量与流过热电偶的气体的质量有关,所以可以通过测量热电势的大小来得到气体的质量流量。
5. 测量到的电位信号经过放大和处理后,可以将其转换为标准的电流信号或数字信号,以便进行进一步的分析和记录。
总结起来,科里奥利质量流量计通过测量气体流过热电偶时引起的热电势变化来间接地得到气体的质量流量。
这种测量原理简单可靠,并且对气体的压力和温度变化不敏感,因此在工业自动化控制和科学研究领域得到广泛应用。
热式气体质量流量计检定规程
![热式气体质量流量计检定规程](https://img.taocdn.com/s3/m/c2b57949178884868762caaedd3383c4bb4cb48c.png)
热式气体质量流量计检定规程本规程旨在规范热式气体质量流量计的检定方法和程序,确保检定结果准确可靠,满足相关国家标准和行业要求。
2、检定范围本规程适用于热式气体质量流量计的检定,包括但不限于测量氮气、氧气、氢气、二氧化碳等气体的质量流量。
3、检定依据本规程依据国家标准《热式气体质量流量计》(GB/T 19624-2018)以及相关行业标准制定。
4、检定设备和仪器检定设备和仪器应符合国家标准和行业要求,包括但不限于: 4.1 气源:气源应稳定可靠,流量范围应覆盖被检流量计的测量范围。
4.2 温度计:应具有高精度和高稳定性。
4.3 电源:应稳定可靠,电压范围应与被检流量计要求匹配。
4.4 计算机:应配备相应的软件,能够进行数据存储、分析和处理。
5、检定程序5.1 准备工作5.1.1 根据被检流量计的要求,准备好气源和校准气体。
5.1.2 将被检流量计和检定仪器连接好,保证气体流向正确。
5.1.3 对检定仪器进行检查和校准,确保其工作状态良好。
5.1.4 将被检流量计加热到其工作温度范围内。
5.2 检定流程5.2.1 根据被检流量计的要求,设置检定参数,包括气体种类、压力、温度、流量范围等。
5.2.2 开始检定,记录被检流量计的输出数据、检定仪器的读数及气体流量等数据。
5.2.3 在不同的流量点上进行检定,记录数据并计算误差。
5.2.4 检定结束后,对数据进行分析和处理,得出检定结果并进行记录。
5.2.5 对于不合格的被检流量计,应进行维修或更换,重新进行检定。
6、检定结果的表述和评定6.1 检定结果应包括被检流量计的实际输出值和检定误差。
6.2 检定误差应按照国家标准或行业要求进行评定,达到要求即为合格,否则为不合格。
6.3 检定结果应进行记录,并附上检定报告,报告应包括被检流量计的型号、编号、制造商、检定结果等信息。
7、检定周期7.1 热式气体质量流量计应按照国家标准或行业要求进行定期检定。
7.2 检定周期应根据被检流量计的使用情况、精度要求等进行制定。
气体质量流量计算 -回复
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气体质量流量计算的原理与方法气体质量流量是指单位时间内流动的气体分子的质量,它是气体流动特性的重要参数之一。
气体质量流量与气体的压力、温度、密度、粘度、流速等因素有关,因此,测量和计算气体质量流量是一项复杂而有意义的工作。
本文将介绍气体质量流量计算的原理与方法,以及常用的气体质量流量计的类型和特点。
气体质量流量计算的原理气体质量流量计算的基本原理是根据理想气体定律,利用气体的压力、温度、密度和体积之间的关系,求出单位时间内通过某一截面的气体质量。
理想气体定律可以表示为:PV=nRT其中,P是气体的压力,V是气体的体积,n是气体的摩尔数,R是通用气体常数,T是气体的绝对温度。
由此可得:n=PV RT又由于气体的摩尔质量m=nM,其中M是气体的摩尔质量,则:m=PV M RT如果将上式两边同时除以时间t,则得到气体质量流量q m的表达式:q m=PV M RTt如果假设气体在管道中沿轴向均匀流动,则可以认为通过任意截面的气体具有相同的压力、温度和密度,则上式可以简化为:q m=PVt=ρQ v其中,ρ是气体的密度,Q v是气体的体积流量。
由此可见,如果已知或可以测得气体的压力、温度和密度,就可以根据理想气体定律计算出气体的质量流量。
气体质量流量计算的方法根据不同的测量手段和条件,可以采用不同的方法来计算气体质量流量。
常见的方法有以下几种:直接法:直接法是指利用专门设计的仪器或装置,直接测得通过某一截面的气体质量或者单位时间内通过该截面的气体质量。
这种方法不需要知道或测得其他参数,因此比较简单和准确。
直接法常用于实验室或标准化条件下测定标准状态下(STP)或标准大气压下(NTP)的气体质量流量。
直接法常用的仪器有重力式、容积式和电磁式等。
间接法:间接法是指利用其他可测参数(如压力、温度、密度、流速等)来推算出通过某一截面的气体质量或者单位时间内通过该截面的气体质量。
这种方法需要知道或测得多个参数,并且要考虑到各种误差和修正因子,因此比较复杂和不准确。
实验室气体质量流量计的类型有哪些?
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实验室气体质量流量计的类型有哪些?
实验室气体质量流量计是一种测量气体质量流量的仪器,广泛应用于化学、环保、制药、食品等行业中。
它具有测量准确、反应灵敏、操作便捷等优点。
本文将对实验室气体质量流量计的类型进行介绍。
1. 热式气体质量流量计
热式气体质量流量计也称为热敏质量流量计,它通过测量流体通过热敏器件前
后温度差来计算气体质量流量。
热式气体质量流量计测量精度高,响应速度快,适用于气体流量较小的场合,但价格相对较高。
2. 质量差压式气体质量流量计
质量差压式气体质量流量计也称为微分式气体质量流量计,它通过测量气体在
管道内形成的差压和流体密度来计算气体质量流量。
质量差压式气体质量流量计测量精度高,适用于气体流量较大的场合,但在高压下使用时需要特殊设计。
3. 节流孔式气体质量流量计
节流孔式气体质量流量计利用节流孔在管道内形成的压差和流体密度来计算气
体质量流量。
这种类型的气体质量流量计结构简单,测量范围广,但测量精度相对较低。
4. 体积式气体质量流量计
体积式气体质量流量计是利用测量气体通过流量计两端一定时间内流经的体积
来计算气体质量流量。
这种类型的气体质量流量计价格相对较低,但测量精度和响应速度相对较低。
5. 超声波式气体质量流量计
超声波式气体质量流量计利用超声波在气体中传播的速度来计算气体质量流量。
这种类型的气体质量流量计测量精度高,响应速度快,可测量多个气体,但价格比较昂贵。
以上是实验室气体质量流量计常见的类型,各种类型的气体质量流量计各有优
缺点,根据具体使用场合选择合适的类型气体质量流量计才能更好地满足实验的需求。
安松(Aosong)AMS2106 数显气体质量流量计说明书
![安松(Aosong)AMS2106 数显气体质量流量计说明书](https://img.taocdn.com/s3/m/8a6a0d530a4e767f5acfa1c7aa00b52acfc79c3d.png)
AMS2106说明书数显气体质量流量计•质量流量与温度集成测量•量程200L/min •重复性好•支持多种气体测量•可配置参数•标准Modbus-RTU 通信•段码屏显示•可用电池或9~24V DC电源供电•默认NPT 1/2连接,可根据客户需求定制接口应用范围AMS2106应用于监测空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等干燥洁净无腐蚀性气体(易燃易爆炸气体除外)的质量流量。
可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业。
图1.AMS2106产品简述AMS2106是一款热式质量流量传感器,通过测量电阻变化计算测量气体的质量流量。
传感器采用自主研发的MEMS 质量流量芯片,具有直观、精准、稳定,同时具有耐高低温、线性好、响应时间快等特点。
出厂前对AMS2106相关性能、参数进行了严格的测试和校准。
1.外观结构和引出线1.1外观结构及工作界面图2展示的是AMS2106的外观结构及工作界面,包含了传感器风道和工作界面等。
工作界面包括段码屏和操作按键,段码屏显示的内容有流量计Modbus通信地址、气体温度、电池、累积流量及瞬时流量。
按键包括向上、菜单和向下三个按键。
传感器风道在工作界面下方,包括进气和出气接口。
风道上的箭头指示了传感器要求的气体流向。
图2.AMS2106示意图1.2引出线定义图3.引出线示意图表1.引出线定义颜色引线接口名称及定义黑色(粗)屏蔽线白色RS485B-红色VCC(9~24V DC)绿色RS485A+黑色(细)GND2.AMS2106技术指标及基本信息表2.AMS2106技术指标及基本信息参数描述量程0~200L/min(标准)精度±3%F.S.重复性0.5%F.S.响应时间≤2s供电方式3节AA电池或外部电源9~24V DC输出方式RS485显示方式段码屏显示单位累计流量:SL(L,标况)瞬时流量:SLPM(L/min,标况)最大工作压力0.8MPa压力损耗≤2000Pa标准校准气体空气(标况)引出线专用Type-C定制数据线功耗≤50mW机械接口NPT1/2净机重量303g注:标况指25℃,1个标准大气压。
气体质量流量计原理
![气体质量流量计原理](https://img.taocdn.com/s3/m/c6e4f71b7275a417866fb84ae45c3b3566ecdd59.png)
气体质量流量计原理气体质量流量计是一种用于测量气体流量的仪器,它将气体质量作为测量参数。
其原理基于热物理效应,可以用来测量各种气体的流量,广泛应用于化工、医药、冶金、航空等领域。
一、气体质量流量计的基本组成气体质量流量计主要由传感器、信号处理器、显示器和控制器四部分组成。
传感器是测量气体质量流量的核心部件,通常采用热毛细管技术、热膜技术或者微流控技术实现。
信号处理器接收传感器输出的信号,并将其转换为数字量,并进行校准、线性化等处理。
显示器将处理后的数据以数字或者图形的形式显示。
控制器则是对气体质量流量进行控制和调节的核心,通过控制阀门或者泵等设备实现。
二、热物理效应原理气体质量流量计的工作原理基于热物理效应。
当气体通过热丝或者热膜时,这个加热物体会失去一定的热量,且与气体流量成正比。
在气体流量不同的情况下,热丝或者热膜会产生不同的温度变化,进而实现气体流量的测量。
三、热毛细管技术热毛细管气体质量流量计是一种测量气体流量的传统技术。
其基本原理是利用热丝或者热膜加热毛细管中的气体。
通过测量热丝或者热膜的加热功率和温度变化,可以计算出气体的质量流量。
热毛细管气体质量流量计的特点是测量范围广,可以测量各种气体的流量。
热毛细管属于热敏元件,灵敏度不高,且在高速气流下容易受到干扰。
四、热膜技术热膜气体质量流量计是一种新型的传感器,其基本原理是采用热膜作为测量元件。
由于热膜的热导率比热丝低,因此在气体流动下,热膜的温度变化比热丝更为明显。
通过测量热膜表面温度的变化,可以得到气体质量流量的数据。
热膜气体质量流量计的特点是响应速度快、灵敏度高、输出信号稳定。
热膜的寿命较短,容易受到杂散热影响,需要经常进行校准和维护。
五、微流控技术微流控气体质量流量计是一种基于微流控技术的新型传感器。
其基本原理是通过微流道和微加热器等微观结构实现对气体流量的测量。
在气体流动过程中,微通道内的热量传递和质量交换等微观效应会影响气体温度和流速的变化,进而实现气体质量流量的测量。
质量流量计使用范围
![质量流量计使用范围](https://img.taocdn.com/s3/m/a257cc431611cc7931b765ce050876323112742a.png)
质量流量计使用范围1. 引言质量流量计(Mass Flow Meter)是一种用于测量气体或液体流量的仪器。
它通过测量单位时间内通过管道的质量来确定流量。
质量流量计具有精确度高、稳定性好等优点,因此在许多行业中得到广泛应用。
本文将详细介绍质量流量计的使用范围。
2. 化工行业在化工行业中,质量流量计被广泛应用于液体和气体的计量和控制。
例如,在化工生产过程中,需要精确地控制原料的投入量,以确保产品质量和生产效率。
质量流量计可以准确测量液体和气体的流量,帮助实现自动化控制和过程优化。
3. 石油和天然气行业在石油和天然气行业,质量流量计被广泛应用于油气生产、输送和储存过程中。
它可以准确测量油气的流量,帮助监测生产和输送过程中的效率和质量。
质量流量计还可以用于检测油气中的杂质和污染物,确保产品符合质量标准。
4. 食品和饮料行业在食品和饮料行业,质量流量计被广泛应用于测量和控制原料的流量。
例如,在果汁生产过程中,质量流量计可以精确测量水、果汁和添加剂的流量,确保产品的配方准确。
此外,质量流量计还可以用于检测食品和饮料中的杂质,确保产品的质量和安全。
5. 医药行业在医药行业,质量流量计被广泛应用于药品生产和研发过程中。
质量流量计可以准确测量药品原料的流量,帮助控制药品的配方和生产过程。
此外,质量流量计还可以用于检测药品中的杂质和污染物,确保药品的质量和安全。
6. 环保行业在环保行业,质量流量计被广泛应用于监测和控制废水、废气和固体废物的流量。
质量流量计可以准确测量废物的流量和浓度,帮助监测和控制排放的污染物。
通过使用质量流量计,可以有效地减少环境污染,保护生态环境。
7. 其他行业除了以上提到的行业,质量流量计还被广泛应用于能源行业、钢铁行业、纺织行业等各个领域。
在能源行业,质量流量计可以用于测量燃料的流量,帮助控制燃烧过程。
在钢铁行业,质量流量计可以用于测量冷却水和煤气的流量,帮助控制生产过程。
在纺织行业,质量流量计可以用于测量染料和助剂的流量,确保染色过程的准确性。
气体流量计算方法
![气体流量计算方法](https://img.taocdn.com/s3/m/451f1ad3541810a6f524ccbff121dd36a32dc41b.png)
气体流量计算方法气体流量计是一种用于测量气体流量的仪器,广泛应用于工业生产、科研实验、环境监测等领域。
在工业生产中,准确测量气体流量对于生产过程的控制和优化至关重要。
本文将介绍几种常见的气体流量计算方法。
一、差压流量计法差压流量计是一种常用的气体流量计算方法。
其原理是通过测量气体流经管道时产生的压力差来计算气体的流量。
差压流量计通常包括一个流体流过的孔板、一个差压变送器和一个显示仪表。
当气体通过孔板时,会在孔板两侧产生差压,差压变送器将差压信号转换为电信号,并传输给显示仪表,显示仪表再将电信号转换为相应的气体流量。
二、热式流量计法热式流量计是一种基于气体传热原理的流量计算方法。
它通过测量气体流经传感器时所需要的加热功率来计算气体的流量。
热式流量计通常包括一个加热丝和一个测量温度的传感器。
当气体流经加热丝时,加热丝的温度会发生变化,测量温度的传感器将温度变化转换为电信号,并通过计算来得到气体流量。
三、涡街流量计法涡街流量计是一种利用气体流经涡街产生的涡旋来计算气体流量的方法。
涡街流量计通常包括一个涡街传感器和一个显示仪表。
当气体流经涡街传感器时,会在涡街上产生一系列的涡旋,涡街传感器通过感应涡旋的频率来计算气体流量,并将结果传输给显示仪表进行显示。
四、质量流量计法质量流量计是一种直接测量气体质量流量的方法。
它通过测量气体流经管道时的质量变化来计算气体的流量。
质量流量计通常包括一个质量传感器和一个显示仪表。
当气体流经质量传感器时,质量传感器会测量气体的质量变化,并将结果传输给显示仪表进行显示。
五、超声波流量计法超声波流量计是一种利用超声波传播速度与气体流速之间的关系来计算气体流量的方法。
超声波流量计通常包括一个发射器和一个接收器。
发射器发射超声波,当超声波经过气体流动时,其传播速度会发生变化,接收器接收到经过气体流动后的超声波,并通过计算来得到气体流量。
气体流量计有多种计算方法,包括差压流量计法、热式流量计法、涡街流量计法、质量流量计法和超声波流量计法。
质量流量计(MFC)原理
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质量流量计(MFC)原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计(MFC)?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。
通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽,有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达0~200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1),因此在很多领域得到广泛应用。
质量流量计简述
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质量流量计简述1.什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?质量流量计,即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位?气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。
这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。
因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。
所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
3. 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。
某些测量场合,用二者皆可,但质量流量控制器更好用。
例如,后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。
4. 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
气体质量流量计原理
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气体质量流量计原理
气体质量流量计是一种用于测量气体质量流量的仪器。
它基于质量守恒定律和质量流率的定义原理。
气体质量流量计通常由下列组件组成:流量传感器、转换器和显示装置。
流量传感器是气体质量流量计的核心部件,它的作用是将气体质量流量转换成电信号。
其中最常用的传感器是热式传感器。
热式传感器利用气体流过导热体时,导热体的温度变化与气体流量成正比的原理。
传感器中通过电流加热导热体使其保持一定温度,当气体流过时,导热体的温度会发生变化。
通过测量导热体温度变化的电信号,可以确定气体流量的大小。
转换器是气体质量流量计的关键部件,它将传感器输出的电信号转换成标准单位的气体质量流量。
转换器通常由放大器、滤波器和AD转换器组成。
放大器用于放大传感器输出信号的幅值,以增加信号的可测量范围;滤波器则用于滤除噪声干扰,以保证测量结果的准确性;AD转换器将模拟信号转换为数字
信号,以便于处理和显示。
显示装置是气体质量流量计的输出界面,它将转换器输出的数字信号转换成可读的数据,通常以流量的质量或体积为单位。
常见的显示装置包括数字显示屏、指针式表盘和计算机界面等。
总之,气体质量流量计通过测量气体流经的导热体温度变化,将其转换成电信号,并经过转换器处理后输出气体质量流量的数值。
它在许多工业领域中广泛应用,例如石油化工、能源、环境保护等。
热式质量流量计
![热式质量流量计](https://img.taocdn.com/s3/m/7cd8a51102020740bf1e9b0e.png)
热式质量流量计【热式质量流量计性能特点】:热式气体质量流量计是利用热传导原理测量气体质量流量的仪表。
热式质量流量计的传感器由两个基准级热电阻(铂RTD)组成。
一个是质量速度传感器T1,一个是测量气体温度变化的温度传感器T2。
当这两个RTD置于被测气体中时,其中传感器T1被加热到气体温度以上的一个恒定的温差,另一个传感器T2用于感应被测气体温度。
随着气体质量流速的增加,气流带走更多热量,传感器T1的温度下降,要维持T1、T2恒定的温度差,T1的加热功率就要增大。
根据热效应的金氏定律,加热功率P、温度差△T(T1-T2)与质量流量Q有确定的数学关系式。
P/△T=K1+K2 f(Q)K3K1、K2、K3是与气体物理性质有关的常数。
【热式质量流量计的应用】:●氧气、氮气、氢气、氯气及多组分气体测量。
●高炉煤气、焦炉煤气测量。
●烟道气测量。
●沼气、水处理中的曝气和氯气测量。
●压缩空气测量。
●天然气,液化气,火炬气,等气体流量测量●电厂高炉的一次风、二次风流量测量●矿井下通风或排风系统流量测量【热式质量流量计特点】:●测量气体质量流量,无需温度、压力补偿。
●量程比大,测量流速范围:0.1Nm/s~100Nm/s。
●无压力损失,适用已知截面积的任意形状管道。
●耐腐蚀型传感器,适合测量腐蚀性气体。
●插入式传感器可以在线安装和维护。
●全量程段的专家算法,保证了测量的准确度。
适于贸易结算或气体检漏。
●液晶显示器:8位字段式+24位提示符。
●测量显示:质量流量、标况体积流量、累计流量、北京时间、累计运行时间。
●瞬时流量最大显示值:999999.9●累计流量最大显示值:99999999×103●信号输出:4~20mA、RS-485●内置MENU(菜单)、CUS(光标移动)、UP(数值增加)、ENT(确认)四个按键,用于参数的设定。
热式气体质量流量计由一体式流量转换器、流量传感器组成。
按流量传感器的型式分为:插入式和管段式热式气体质量流量计。
热式气体流量计产品优点
![热式气体流量计产品优点](https://img.taocdn.com/s3/m/9101548fb0717fd5370cdc2b.png)
热式气体流量计产品优点
热式气体流量计(热式气体质量流量计)是利用热传导原理测流量的仪表。
该仪表采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。
具有体积小、数字化程度高、安装方便,测量准确等优点。
传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成。
采用桥式环路,一个传感器测量流量温度,另一个传感器维持高于流体温度的恒温差,可以在高温和高压条件下进行流量测量。
热式气体质量流量计具有如下产品优点:
1、真正的质量流量计,对气体流量测量无需温度和压力补偿,测量方便、准确。
可得到气体的质量流量或者标准体积流量。
2、宽量程比,可测量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的气体,可以用于气体检漏。
3、抗震性能好使用寿命长。
传感器无活动部件和压力传感部件,不受震动对测量精度的影响。
4、安装维修简便。
在现场条件允许的情况下,可以实现不停产安装和维护。
(请参见安全注意事项)
5、数字化设计。
整体数字化电路测量,测量准确、维修方便。
6、采用RS-485通讯,或HART通讯,可以实现工厂自动化、集成化。
热式气体质量流量计安装注意事项:
热式气体质量流量传感器可任何姿势(水平、垂直或倾斜)安装,有些热式气体质量流量计只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。
然而有些厂家的仪表对安装姿势具有敏感性,大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。
大部分仪表浸入式安装后,性能不受安装姿势影响。
气体质量流量计种类
![气体质量流量计种类](https://img.taocdn.com/s3/m/28ebf5b6d5d8d15abe23482fb4daa58da1111c4e.png)
气体质量流量计种类
x
一、基本分类
气体质量流量计大体可以分为三类:
1、涡街流量计:利用涡街效应来测量流体的流量,由于涡街是一种连续流动的现象,因此其精度较高,常用于液体和气体的测量,涡行流量计主要分为螺旋涡街流量计、斜坡涡街流量计和微孔涡街流量计等。
2、压力差流量计:利用流体过可变横截面的压力变化来测量流量,以及流体流经收缩瓣时的压力变化来测量流量,主要采用间歇式和连续式结构,可以用于测量液体、气体和蒸汽等流体的流量。
3、超声波流量计:利用超声波在流体中传播的原理来测量流量,最常见的是基于时间差法原理的超声波流量计,通常用于测量液体及悬浮液体等流体的流量。
二、按功能分类
1、电磁流量计:通过在流体中放置电磁传感器,利用磁通量衰减原理测量流体的流量,常用于测量气体和液体流量。
2、回路式流量计:利用流体绕环状流道流动,以测量流体的流量,常用于测量液体和气体流量。
3、漏斗流量计:利用漏斗状的流体容器以及流体的密度和质量流速之间的关系,测量流体的流量,主要用于测量液体和气体流量。
4、微型流量计:采用特殊的传感器来测量流体的流量,可以检
测出非常小的流体流量,主要用于测量液体和气体流量。
5、可变化横截面流量计:采用可变化管道横截面的原理,来测量流体的流量,主要用于测量液体和气体流量。
气体流量计的使用技巧和校准步骤
![气体流量计的使用技巧和校准步骤](https://img.taocdn.com/s3/m/58870f5adcccda38376baf1ffc4ffe473368fd8f.png)
气体流量计的使用技巧和校准步骤随着科学技术的发展,气体流量计在工业生产和实验研究中扮演着重要的角色。
准确测量气体流量对于流程控制、质量控制以及安全性都至关重要。
本文将介绍气体流量计的使用技巧和校准步骤,帮助读者更好地理解和运用这项技术。
首先,让我们来了解气体流量计的类型。
常见的气体流量计有质量流量计和体积流量计两种。
质量流量计可以直接测量气体的压力和温度,并将其转化为质量流量。
而体积流量计则测量气体通过的体积。
在使用气体流量计之前,首先需要检查仪器是否完好。
确认仪器没有损坏或者零件松动,并确保所有的连接已经完全插入。
接下来,我们需要将流量计与所需的气源连接好,并打开气源阀门。
确保阀门的开启速度逐渐增加,以防止压力冲击。
在测量的过程中,需要注意气体流速是否恒定。
为了获得准确的测量结果,应该让气体流过流量计之前和之后都达到稳定的状态。
一般来说,要求气流稳定需要一段时间的等待。
在等待的过程中,我们可以进行其他准备工作,如准备校准仪器。
在进行气体流量计的校准之前,要先了解仪器的工作原理和相关的校准规程。
通常情况下,校准仪器会提供详细的使用说明。
在校准之前,需要准备标准气体和校准气体,保证其准确性和纯度。
校准气体的选择要符合实际使用环境,并与所需测量的气体相同。
在校准之前,要确保校准气体的温度和压力稳定,并在气源管道中充分混合。
校准气体的流量要逐渐增加,以避免压力冲击,并使其稳定在所需范围内。
在进行气体流量计的校准过程中,需要根据标准值和仪器读数之间的差异进行调整。
校准步骤可以根据具体的仪器型号略有不同,但通常包括标定和调整。
在标定的过程中,使用标准气体进行测量,并记录仪器读数。
调整的过程中,通过调节仪器上的控制装置,使仪器读数与标准气体的值相匹配。
多次反复校准,直到仪器的读数稳定于误差范围之内。
除了校准之外,定期检查和维护也是保证气体流量计准确性的重要步骤。
定期检查仪器是否有损坏或老化的零部件,并及时更换。
质量流量计测量液体和测量气体时安装的方法
![质量流量计测量液体和测量气体时安装的方法](https://img.taocdn.com/s3/m/90a1ef108f9951e79b89680203d8ce2f01666568.png)
质量流量计测量液体和测量气体时安装的方法哎,说实话质量流量计测量液体和气体时安装这事儿,我一开始也是瞎摸索。
先说说测量液体的时候吧。
我试过好几种位置来安装质量流量计呢。
一开始我像个愣头青似的,随便找个管道位置就往上装,根本不考虑啥特殊情况。
结果那测量数据就像调皮的小孩一样,一会儿高一会儿低,根本不准确。
后来才知道,在液体管道里安装质量流量计得找那个相对平稳的路段,就好比咱在水流比较平缓的河道里才能准确测量水流量,如果是在那种特别湍急或者漩涡很多的地方,肯定测不准。
有一次我把质量流量计安装在一个靠近泵出口的地方,好家伙,泵一打,液体流速忽快忽慢的,那测量的数值简直是乱套了。
还有啊,安装的时候一定要保证流量计这个家伙是水平的,如果歪着斜着就像人站不稳似的,测量出来的液体流量肯定也不对。
我为了让它水平,还专门找了水平仪来校准呢。
再说说测量气体。
这测量气体和液体还不太一样。
我第一次安装的时候,就按照测量液体的经验直接装了,那错误犯得可真是低级啊。
对于气体来说,流量计最好安装在管道的直段部分,而且这个直段得长一点才行,就像汽车得在直直的道路上开一段才能准确测量速度一样。
要是在管道拐弯或者有各种配件的附近安装,那气体流态乱糟糟的,全是气旋啥的,测量的数据就没个准儿。
另外,气体在管道里可能会含有一些杂质或者水分之类的东西,所以有的时候还得在前面加一些过滤器或者干燥器啥的,像给气体做一个清洁美容一样,把那些不好的东西去掉,这样才能保证质量流量计能好好工作。
不过这过滤器和干燥器的安装位置我还有点吃不准,有时候不同的系统可能还需要调整的,这一点我也还得再摸索摸索。
反正无论是测量液体还是测量气体,安装质量流量计都得多试几次,多总结经验,可不能脑袋一热就按照一个套路去做。
我现在觉得每一次安装就像是一场小冒险,得小心谨慎地找出最合适的安装方法。
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( 图6 - 1) 用 户 输 入/输 出 接 口 线 缆 (型 号 :I C7 - 1 5 0, 长 度 :1 . 5 m )
6.2 LCD显示
( 图6-2)LCD连 接 线 缆 (型 号 :IC7-30-IC7, 长 度 :30cm 型 号 :IC7-200-IC7, 长 度 :2m)
在 正 常 工 作 状 态 下 , 流 量 计 液 晶 屏 为 显 示 如 图6-3a所 示 。 显 示 内 容 有 : 总 量Total( 即 累 积 流 量 ) 、 瞬 量Flowrate( 即 瞬 时 流 量)等。
1标 准升 (SL) 等 于 在 温 度20℃,大气压力101. 325kPa下该气体1升 的 体
积。
M
故 障 报 警: 流 量 计 会 自 动 判 定 故 障,并 从 屏 幕 上 显 示 报 警(如 图6-3b所 示) ,代 码 显 示 为E1~E5,含义分别如下:
E1
E2
E3
E4
Hale Waihona Puke E5传 感 器 故障 ADC故障 时钟故障 EEPROM故障 晶振故障
5.3 流量计安装注意事项
(1)流 量计 安装 前必 须清 除 管 道 中 的 杂 质,避 免 异 物 进 入 而 损 坏 流量计,管道内壁应清洁无积垢; (2)不得 随意 松开 流量 计的 固 定 部 分 ; (3)流量 计的 输出 连线 中保 护 地 线 必 须 可 靠 连 接 ; (4)安 装后 不允 许对 流量 计 产 生 安 装 应 力 , 以 免 损 坏 流 量 计 ; (5)流 量 计应 避免 工作 在强 磁 场 干 扰 及 剧 烈 振 动 环 境 中 ; (6)介 质流 量应 稳定 ,操 作 有 关 阀 门 时 动 作 要 缓 慢 , 切 勿 急 开 急关。
1 为了保证流量计的计量准确性,安装时要先连接流量计的上游端,上游直管段应满足 10DN的最 低要 求,下游 直 管 段 应 满 足5DN的 最 低 要 求 ;
2 流量计安装时不能有任何密封物质渗入管道内; (4)连 接 电源 电缆 线, 需要 注 意 接 线 时 的 极 性 , 确 保 输 入 的 直 流电压在(12~24)VDC; (5)如 需要 连接 信号 线, 应 保 障 信 号 线 与 相 应 用 户 界 面 端 连 接 无误; (6)接 通电 源, 液晶 屏显 示 正 确 。
4
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
四、技术参数
型号
MF5612
MF5619
单位
显示方式 显示单位 显示分辨率 键盘
环境温度 介质温度
引出线
30:1 ±(1.5+0.5FS)
0.5 12~24VDC,50mA 4~20mA;RS485;3.3V脉冲 LCD (一 体 显 示 、 分 体 显示) 瞬时 流 量SLPM, 累 积 流 量SL 瞬 时 流 量0.0100SLPM, 累积 流 量0.0010SL
2. 产品在清洁气体的环境中使用最佳;不适用于有大量粉尘、油污及多相流的 环境中;对于有大量水汽的环境,请事先与厂商联系。
3. 在使用产品前请仔细阅读说明书。 4. 在使用或应用本产品时,应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全注
意事项和规程。 5. 如对说明书有任何疑问,请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书的客
在正常工作状态下,流量计液晶屏为双排数字显示。上排为当前累积流 量 , 单 位 为SL(标 准 升), 可 以 显 示0.0000~99999999.9990SL; 下 排 为 实 时 流 量 , 单 位 为SLPM(标 准升/分钟),可以显示0.0000~999999.9900SLPM。
实时质量流量与体积流量间的转换是基于下述条件:
1
MEMS流 量 产 品 系 列
目录
使用需知
1
注意事项
1
目录
2
一、概述
3
二、产品分类形式及选型说明
3
三、产品结构与工作原理
4
四、技术参数
5
五、安装说明
6
六、功能说明
7
七、检定
10
八、安全、维护及故障排除
10
九、运输及储存
11
十、开箱及检查
11
十一、客户服务及技术支持
11
附录:应用说明
12
2
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
用户设备 (计算机或仪表)
+5V +6.5V
电源 模块
+12~24VDC
4~20mA 信号
转换模块
脉冲 输出模块
RS485 通讯接口
微控制器
M E M S流 量 传感芯片
信号处理 模块
A/D 转换器
M
液晶显示 驱动模块
EEPROM 存储器
RTC 实时时钟
模块
( 图3 - 2) 流 量 计 原 理 框 图
一、概述
MF5600 系列气体质量流量计
原理是利用流动气体传热传质的依存关系,在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时,在传感器的周边形成稳定的
的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。 MF5600流量计芯片上的传感器将测量这一变化 并把这一变化转换为电信号,由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。 质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。
户服务部分。 6. 为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。
注意事项
1. 产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。 2. 安装时应注意气体流向标志,连接和检漏应按相应规程进行。 3. 在产品使用过程中,或在在线情形下,清洗管道或其他可能引入大量杂质的
操作将可能对产品带来损坏。
连接(N-NPT;Y-用户自定义)
通径(管道内径,单位为mm;5612-12mm,5619-19mm)
* 最大流量的单位为SLPM,比如200代表最大流量为200SLPM; 对二氧化碳,MF5612最大流量可选200,不可选300;MF5619最大流量可选600,不可选800。
型号 MF5612 MF5619
RL(max)=450Ω
6.5 脉冲输出
流 量 计 提 供 的 脉 冲 为3.3V方 波 , 每 个 方 波 代 表1SL,10SL, 100SL或 1000SL的 累 积 流 量 。 即 Total每 增 1SL, 10SL, 100SL或1000SL, 流 量 计 便 输 出1个 脉 冲 。 每 个 脉 冲 对 应 的 累 计 流 量 , 可 以 通 过RS485设 置 。 出 厂 默 认 为 每 个 脉 冲 对 应 1000SL, 用 户 可 以 在 订 货时选择其他数值。
二、产品分类形式及选型说明
选型方式按照如下规则确定:
MF - - - - -
气体介质(A-空气,C-二氧化碳,N-氮气,O-氧气,R-氩气; 其它气体请与厂商联系。)
显示(D-带LCD显示,N-不带LCD显示)
输出(A-4~20mA,B-RS485,D-脉冲;可选B,AB,BD,ABD) 最大流量*(MF5612可选200和300,MF5619可选600和800)
产品特点
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸 缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。 在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。 传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。 结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。 技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,极大地 降低了能源消耗。 采 用LCD显示瞬时流量和累积流量,清晰直观,读数方便。 流 量 计 标 配 有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现 集 中 管 理 。 流 量 计 选 配 有4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。 光 洁 的 不 锈 钢 管 体,适用于氧气测量。 满 足EMC电磁兼容要求,具有较高的抗干扰能力。 可根据需求采用分体显示或一体显示。
( 图6-3a) 流 量 计 正 常 工 作 显 示
6.3 RS485通信
流 量 计 的 通 讯 方 式 为RS485, 有 两 种 协 议 :A.工 厂 校 准 通 讯 协 议 ,
为 单 机 通 讯 协 议 ;B. Modbus协议,为多机通讯协议。其设置为:
波特率
57600(单机)/ 9600(多机);
MF 5600系列
气体质量流量计
SIARGO MEMS FLOW SENSING PRODUCTS
使用说明书 (VA.5)
M F 5 6 0 0系 列 气 体 质 量 流 量 计
使用须知
1. 产品适用于各种工业环境范围内的气体测量、监测和控制,以及医院供氧系 统中的医用氧气计量。其他环境内的使用应严格禁止。
3.2 工作原理
微 机 电 系 统(MEMS)芯 片 传 感 技 术 , 是 在 硅 芯 片 上 集 成 了 具 有 机 械 和 电 子 特 征 的 微 米 级 传 感 器 。 它 并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上,而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技 术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些宏观机电器件所不能达到的功效。 MF5600系 列 气 体 质 量 流 量 计 采 用 了 公 司 生 产 的 热 质 量 气 体 流 量 传 感 芯 片 , 属 于 质 量 流 量 传 感 方 式 的 流量计,它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同质量的气体对热场的变化 具有不同的影响,因而,它所测量的流量为质量流量。 同时,由于采用了多传感器和微热源技术,使其具备了优良的零点稳定性、响应时间短和超大量程 等特点。 MF5600系 列 气 体 质 量 流 量 计 主 要 由 电 源 模 块 、MEMS流 量 传 感 芯 片 、 信 号 处 理 模 块 、A/D转 换 模 块 、 EEPROM存 储器 、RTC实时 时 钟 模 块 以 及 显 示 模 块 组 成 。 见 流 量 计原理框图图3-2。