sem扫描步骤 - 360文档中心

SEM操作手册

SEM拍摄操作过程：(1) 后面的插座按钮全部打开；(2) 打开电脑主机；(3) 打开扫描主机上右侧方按钮；(4) 打开FlexSEM 1000软件；(5) 听到机器滴的声音，点击软件中的AIR或者按机器上的EVAC/AIR按钮;(6) 进气完成后，打开样品仓；(7) 放入样品台；(8) 点击软件中Specimen exchange(9) 点击Stub size;(10) 点击选择80 mm, 之后点击OK;(11) 点击Next;(12) 点击Capture, 右边照相机左上部分的Run会变成Freeze;(13) 推入样品台；推紧之后，按机器上的EVAC/AIR，或者点击电脑上的EVAC;(14) 滴的一声之后，点击Start, 屏幕出现图像，开始测试。

(15) 测试完成之后，将电压调到5KV, 最小化倍数，点击STOP, 点击AIR 进空气，待完成之后，取出样品台；(16) 之后推样品架，抽真空；抽完真空后，关闭SEM右侧主机电源；关闭电脑，之后关上所有的插座。

SEM中EDS操作过程：(1) 将Z轴从5-0逆时针旋转到10-0；(2) 打开EDS detector Power 和右侧的Model 550i的开关；(3) 将Spot intensity 调到50到80最高；(4) 打开Iridium Ultra软件，通过调节VACC和Spot intensity，使得c/s的数值在1000-2000之间；(4) 回到SEM的拍摄界面，找到需要打EDS的位置，需要调节清晰；(5) 回到Iridium Ultra软件，点击new image, 会在软件中出现需要拍EDS的图片；(6) 点击红色+号，在你需要的位置上单击鼠标，等livetime到达30之后，进行元素分析，选择所需要的元素，然后点击Analyze下面的quantify;(7)右击鼠标，点击File-Export-Spectrum,将格式改成emsa格式，后保存相应位置，之后将后缀改成txt就可以作图；(8) 点击左上角的file-reports-create word report, 打开image的下拉菜单，然后点击place in report, 然后点击Spectrum下面的Image 1, 点击place in report，如果有其他点，可以同样操作，(9)之后在Create Microsoft Word document 下的File-Save as , 保存到相应位置。

(完整word版)SEM操作步骤

扫描电子显微镜（SEM）SHIMADZU SS-550的规范操作步骤一．启动系统1．打开计算机，登陆用户帐号operater，输入密码sem；2．打开桌面上的软件SS-550”, 打开菜单file单击online，出现对话框“do you want to initialize the stage”,单击“yes”；3．单击控制面板中的position，选择“Z-WD”；4．加高压单击控制面板上的setting，单击其中的gun setting，选择auto saturating beam on 和current down，用鼠标将filament current划键拖回零点，再点击atuo saturation now；5．合轴（1）选择gun setting，单击alignment，选择emission pattern，单击工具条上的如果椭圆光斑亮度不均，则用鼠标将filament current值微调增大至均匀，，点击memorize limit,进行下一步操作。

（注：filament current值变化不能超过0.15v）（2）单击tilt按钮，用鼠标左键按住光斑中心将其拖至调至十字型中心；（3）选择trans pattern，单击trans按钮，用同样方法将光斑中心调至十字型中心。

（4）重复步骤（1）、（2）、（3），直至光斑中心在emission pattern和trans pattern 状态下都处于十字型中心。

（5）在gun setting栏中选择normal后，单击close按钮关闭gun setting 窗口。

二、中间换样品1、单击beam on，beam on 键变暗，表示已处于beam off状态；2、初始化单击position，选择initialize，出现对话框，选择OK；2、排气单击vent 按钮，状态栏显示venting，按钮变绿后，排气完成；3、换样品缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装入新样品，并用螺丝刀固定。

扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程

1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。

推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。

将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。

利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。

打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。

SEM扫描电镜的使用流程

SEM扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用SEM扫描电镜之前，需要进行一些准备工作，以确保仪器能够正常运行并获取高质量的扫描电镜图像。

•确保SEM仪器的供电和连接正常。

检查电源线和连接线是否完好，并确保适配器与电源插座连接良好。

•校准仪器。

使用专用的校准标样对扫描电镜进行校准，以确保电子束的准确聚焦和定位。

•检查样品台的清洁度。

清除可能影响电子束的尘埃和污垢，以避免对图像质量的影响。

•准备好样品。

根据实验需求，选择合适的样品，并进行必要的样品制备，如表面涂覆金属或导电剂。

2. 启动仪器在准备工作完成后，可以启动SEM扫描电镜。

•打开SEM软件。

在计算机上打开SEM软件，并确保与扫描电镜的连接正常。

•打开仪器电源。

按照SEM仪器的操作手册上的指示，打开扫描电镜的电源。

•等待仪器启动。

SEM仪器需要一段时间进行启动和自检过程，等待仪器完全启动并进入工作状态。

3. 设置实验参数在SEM扫描电镜启动后，需要设置一些实验参数，以获得所需的图像。

•选择加速电压。

根据样品的性质和所需分辨率，选择合适的加速电压。

较低的加速电压适合观察表面形貌，较高的加速电压适合观察内部结构。

•确定扫描速度。

根据样品的特点和要求，选择合适的扫描速度，较高的扫描速度可快速获得图像，较低的扫描速度可获得更高的分辨率。

•设置探针电流。

根据样品的导电性，调整探针电流。

较高的探针电流适用于导电样品，较低的探针电流适用于非导电样品。

•设置探头聚焦。

通过调整探头聚焦参数，确保电子束的聚焦和定位良好，获得清晰的图像。

4. 放置样品并调整在设置好实验参数后，需要放置样品并调整到合适的位置。

•将样品放置在样品台上。

小样品可以直接放置在样品台上，大样品可以使用夹具固定在样品台上，确保样品与电子束的距离适当。

•调整样品位置。

使用显微镜调节样品的位置，使其处于电子束的入射区域，以便获取清晰的图像。

•调整对焦和亮度。

通过调节对焦和亮度参数，确保所观察的区域清晰可见，并且亮度适中。

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。

确保样品具有足够的稳定性和导电性。

2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。

3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。

4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。

5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。

6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。

7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。

8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。

9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。

三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。

2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。

3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。

4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。

5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。

四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。

2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。

如需要，请更换老化的组件。

3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。

4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。

5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。

SEM操作手册

扫描电镜基本操作步骤和注意事项一、基本操作步骤：1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。

2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。

实验完毕后将拖鞋放回鞋架。

3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正常。

测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。

每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。

4. 未测试前系统处于“Pump”状态（黄色），按“Vent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），约2分钟后“Vent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。

5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。

放臵样品时切忌对着样品室说话，并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。

（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放臵在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。

鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。

等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设臵好高压和Spot的加上高压。

值，方可点击“High Voltage”钮去掉窗口锁定，点击方框钮，选定一个合适7. 鼠标左键选择一个成像窗口，点击“||”大小的区域聚焦和消像散。

台式扫描电镜(SEM)操作规程

台式扫描电镜(SEM) (EM-30 Plus+)操作规程一、样品喷金将样品台上贴好导电胶，取粉末状、片状样品平铺于导电胶上，粉末样品需用洗耳球吹走未粘上的粉末，记录好对应位置，放入喷金仪器中，抽真空至真空表指针稳定，调节电流到10mA左右，设定好喷金时间，通常1min，开启喷金按钮，待喷金结束后，打开真空阀，恢复室内常压，取出样品台。

二、开机先打开电脑，再打开EM-30 Plus+仪器电源，仪器开机后默认抽真空。

三、操作流程1.样品准备:样品要求导电、无水、无油、无磁，关闭仪器真空按钮，恢复样品仓内常压，将喷金完成的样品台放入样品仓。

使用工具测量样品台高度，务必使样品最高位置不超过刻度线5。

固定关闭仓门，重新抽真空，等待真空抽好后（数值稳定在29左右5min）。

2.图像调节:a.打开电子枪。

b.点击option设置图像存储路径，路径中不能包含中文。

c.点击setup，调节电压，最大30kV, 电压过高会损伤样品。

设置电子束spotsize值为5-16，越大信号越强，分辨率下降，细节少。

d.点击软件左下角，调节镜头观察样品（需提前记录样品在导电胶的位置，以放混淆），通过点击画面调节所需样品至画面中央。

e. RED为小窗口模式，fast、slow分别为快速、慢速。

鼠标放到focus 上对画面进行聚焦，按滚轮调节，上大下小，调至清晰。

画面右侧调节放大倍数至合适倍数，右下角调节画面亮度、对比度和gamma。

3.图像存储:点击photo拍照，拍照完成后点击image保存。

四、关机关闭电子枪，关闭软件，关闭仪器电源和电脑。

如样品需取出回收，关闭真空，取出样品后重新开启真空，等待真空抽上后关闭软件、仪器电源和电脑。

五、注意事项1.抽真空时请确保真空稳定后再打开电子枪，提前打开会影响灯丝寿命。

2.灯丝使用寿命为100h左右，断后需更换。

灯丝调至中央，边缘与灯丝平齐后再向上一圈半，固定，安装，调节光亮至最亮。

3.聚焦时画面摆动，需要做光阑合轴，打开界面左下角，左右摆动调X，上下摆动调Y，调节完成后关闭。

扫描电镜操作流程

扫描电镜操作流程扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以使用电子束扫描样品表面以获取高清晰度的图像。

它是通过与样品表面相互作用的电子进行成像，不同于传统光学显微镜，可以提供更高的放大倍数和更详细的表面特征。

以下是扫描电镜的操作流程细节：1.准备工作：首先，检查SEM的状态，包括电子枪、二次电子和反射电子探测器、样品台、真空系统和电子束控制系统等等。

确保这些部件运作正常，并进行必要的维护和保养。

2.真空系统调节：打开SEM并启动真空泵以排出系统内的空气。

当系统达到所需的真空度时，关闭真空泵并稳定真空状态，确保SEM的内部环境符合操作要求。

3.样品准备：选择合适的样品进行观察。

样品要求平整、干燥，并且需要导电性，因为在SEM中需要通过导电样品进行电子束的传递。

如果样品非导电，可以通过涂覆薄层金或碳来增加导电性。

4.固定样品：将样品固定在SEM的样品台上。

使用吸附性材料（如双面胶带或碳胶），使样品稳定在台面上。

确保样品平整地放置，并避免接触样品表面。

5.样品调整：根据需要，可以使用样品台上的微动控制装置来对样品进行粗略的位置和焦距调节。

确保样品所需的区域位于视野范围内，并且处于最佳对焦状态。

6.电子束调整：对于SEM，需要调整电子束的加速电压、光圈和聚焦等参数，以获得高清晰的图像。

根据样品特性和观察需求，调整这些参数，以确保电子束能够有效穿透样品并获得最佳成像效果。

7.图像获取：一切准备工作完成后，可以开始进行图像获取。

通过SEM系统的控制软件，选择所需图像的扫描区域和扫描参数，包括扫描速度、图像放大倍数等。

点击“开始”或相应按钮后，电子束将开始扫描样品表面，并将所得得电子信号转换为图像。

8.图像处理与分析：获取到的图像可以通过SEM系统的软件进行进一步处理和分析。

常用的操作包括亮度和对比度调整、放大和缩小、图像滤波、颜色调整等。

还可以使用图像处理软件进行粒径测定、表面形貌分析、化学成分分析等。

sem扫描混凝土方法

sem扫描混凝土方法今天来和大家唠唠SEM扫描混凝土这个事儿。

SEM呢，就是扫描电子显微镜啦。

要扫描混凝土，第一步就是准备样品。

混凝土那可是硬邦邦的家伙，咱得把它切成合适的小块。

这就像是给它做个小手术，要小心翼翼的，可不能把它弄碎得乱七八糟。

一般用那种特制的切割工具，就像给混凝土量身打造的小锯子一样。

切好的小块呢，也不能太大，要能放到SEM的样品台上才行哦。

接下来就是要对这个小样品进行处理啦。

要把它表面弄得干干净净的，就像给它洗个超级精细的澡。

不过这个澡可不是用水洗，而是用一些特殊的化学试剂，把表面的杂质、灰尘之类的都去掉。

这一步可得小心呢，要是试剂用多了或者处理时间太长，可能会把混凝土的结构给破坏了。

就像你给脸做清洁，太用力了也不行呀。

处理好表面后，有的时候还得给样品镀一层膜。

这层膜就像是给混凝土穿上一件漂亮的小衣服，不过这个小衣服是为了让它在SEM下能看得更清楚。

镀的膜一般都是那种导电的材料，这样电子束打上去的时候，就能顺利地成像啦。

然后就把这个精心准备好的样品放到SEM的样品室里面啦。

这时候就像是把小宝贝放进了一个超级精密的小房子里。

打开SEM，调整各种参数，就像调整相机的焦距、曝光之类的一样。

电子束就会像小探针一样，在混凝土的表面扫来扫去。

这时候电脑屏幕上就会慢慢出现混凝土的微观结构啦。

你会看到那些水泥颗粒啦，沙子啦，还有它们之间的孔隙之类的。

就像是发现了一个微观世界的小秘密。

从SEM扫描出来的图像，我们就能分析混凝土的好多好多东西呢。

比如水泥水化的程度呀，孔隙的大小和分布呀。

这对研究混凝土的性能可是超级有帮助的。

要是孔隙太大太多，那混凝土可能就不结实啦；要是水泥水化不完全，也会影响它的强度。

通过这个SEM扫描，就像给混凝土做了一个超级详细的体检，能让我们知道它到底健不健康呢。

总之呢，SEM扫描混凝土虽然有点小复杂，但只要按照这些步骤来，就能很好地看到混凝土微观的小世界啦。

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SEM扫描电镜操作规范和图像解读流程整合

SEM扫描电镜操作规范和图像解读流程整合SEM（扫描电子显微镜）是一种先进的显微镜技术，它利用高能电子束对样品进行扫描，产生高分辨率的图像。

SEM图像具有高放大倍率、高解析力和三维表面拓扑信息等特点，广泛应用于材料科学、生命科学、地球科学和工业领域。

然而，正确的SEM操作规范和图像解读流程对于获得可靠的结果和准确的分析至关重要。

本文将介绍SEM扫描电镜的操作规范和图像解读流程，以帮助用户正确操作和解读SEM图像。

一、SEM操作规范1. 样品制备：在进行SEM观察之前，必须对样品进行适当的制备。

样品应该是干燥的，并且必要时要进行表面处理，如金属镀膜或碳镀膜。

同时，样品应该固定在SEM样品台上，并保持平整和稳定。

2. 启动SEM：在启动SEM之前，必须进行一系列的准备工作。

首先，检查并确保SEM的真空系统正常工作，真空度在要求范围内。

然后，对SEM电子枪进行预热，通常需要10-15分钟。

最后，调整束流强度和对焦，以获得最佳的图像质量。

3. 设定参数：SEM操作期间，需要根据具体的样品和实验需求来设定不同的参数。

主要包括加速电压、电流、探针大小和扫描速度等。

这些参数的设定应该根据经验和实验要求来确定，以获得清晰的图像和准确的分析结果。

4. 扫描图像：在开始扫描之前，必须调整样品镜头和对焦。

然后，选择合适的扫描模式和区域，并开始扫描图像。

SEM图像的质量取决于扫描速度、像素大小和电子束与样品之间的距离等因素。

因此，在操作过程中应密切注意这些因素，并进行必要的调整和优化。

5. 图像保存：每次扫描完毕后，及时保存SEM图像。

可以选择将图像保存为原始格式（如TIFF格式），以便在需要时进行后续分析和处理。

此外，还可以对图像进行调整和标记，如亮度和对比度调整、边缘检测和像素统计等。

二、SEM图像解读流程1. 初步观察：首先，进行初步观察，浏览SEM图像的整体特征和形貌。

注意图像中的明暗对比、细节和粗糙度等特征。

sem实验流程

sem实验流程全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：SEM（扫描电子显微镜）是一种高分辨率的显微镜，能够观察微小物质的表面形貌和结构。

SEM实验是科研人员在进行材料科学、生物学、地质学等领域研究时常常使用的一种技术手段，能够帮助研究者深入了解样品的微观结构和表面特征。

SEM实验的流程一般包括样品制备、仪器操作、数据采集和结果分析等多个步骤。

下面我们将详细介绍SEM实验的流程。

1. 样品制备：SEM实验的第一步是样品制备。

在进行SEM观察时，样品应该具有一定的导电性，通常需要在样品表面涂覆一层导电薄膜，以减少电荷堆积对成像质量的影响。

在制备样品时，还需要注意避免空气中的微尘粒子附着在样品表面，影响成像效果。

2. 仪器操作：样品制备完成后，将样品安装在SEM仪器内，通过调节仪器参数，如电压、电流、放大倍数等，选择合适的工作模式和成像模式。

在进行成像时，需要注意调整焦距和对焦，以获得清晰的图像。

3. 数据采集：SEM成像可以产生大量的数据，包括图像、能谱等信息。

在进行数据采集时，需要注意选择合适的成像参数和采集条件，以获得高质量的数据。

在采集能谱数据时，还需要对样品进行点选，以获取不同位置的元素分布情况。

4. 结果分析：SEM实验得到的数据可以通过图像处理软件进行分析和处理，以提取有用的信息。

通过分析SEM图像，可以获得样品的表面形貌、晶体结构、微观结构等特征。

还可以利用能谱数据进行元素分析，了解样品的化学成分。

通过对结果的分析，可以深入理解样品的性质和特点。

SEM实验是一种强大的工具，能够帮助科研人员研究材料的微观结构和表面特征。

通过严谨的实验流程和合理的数据处理，可以获得准确的结果，为科学研究提供重要参考。

希望以上关于SEM实验流程的介绍能够对感兴趣的读者有所帮助。

【这里是2000字文本的结尾】。

第二篇示例：SEM（扫描电镜）是一种高分辨率的显微镜检测技术，通过电子束与样品表面交互产生的二次电子图像来观察样品的表面形貌和微结构。

SEM扫描电镜操作规程

SEM扫描电镜操作规程1.准备工作在操作SEM之前，需要进行以下准备工作：-检查SEM设备的状态，确保设备正常运行。

-检查设备所需的辅助设备(如真空泵、电荷耦合器件等)是否处于正常工作状态。

-检查SEM的样品台是否干净，并根据需要进行清洁。

-准备好所需的SEM样品，确保样品质量符合要求。

2.SEM样品的处理SEM样品处理可以采用不同的方法，具体操作如下：-根据需要，可以采用不同的样品处理方法，如金属表面的腐蚀、材料的抛光或切片等。

-准备样品时，应尽量避免使用导电性差的材料，或者使用导电涂层来增加样品的导电性。

-在样品准备过程中，应注意不要引入尘埃或污染物，以免对SEM观察产生干扰。

3.SEM的真空和电子束的调节SEM操作需要在真空环境下进行，保持真空状态非常重要。

具体操作如下：-打开真空泵，将SEM系统的压力降低到所需的范围。

-启动SEM系统，让系统进入正常工作状态。

-调节加速电压和电子束的聚焦，以获得所需的分辨率和对比度。

4.SEM扫描参数的设置-运行SEM的控制软件，并登录到系统。

-在软件界面上，设置加速电压、扫描速度、扫描区域等参数，以获得所需的SEM图像。

-确定SEM图像的亮度和对比度调节数值，并根据需要进行调整。

5.SEM的样品安装和定位将样品安装到SEM样品台上，并进行定位。

具体操作如下：-将样品放置在样品台上，并将样品台插入SEM系统中。

-使用样品台的移动功能将样品定位到所需的区域。

-在需要的区域上对样品进行缩放和调整，以获得所需的SEM图像。

6.SEM图像的获取和分析通过SEM可以获取高分辨率的图像，并可以对图像进行分析和处理。

具体操作如下：-在SEM软件中，点击开始扫描按钮，开始获取SEM图像。

-SEM图像获取后，可以使用软件提供的工具对图像进行测量、粒度分析等操作。

-根据需要，可以对图像进行处理，如调整亮度和对比度，进行图像增强等。

7.SEM的维护和保养SEM是一种精密仪器，需要进行定期的维护和保养，以确保其正常工作。

SEM流程及操作

SEM流程及操作说明一、样品制备1、剖片（1）用金刚刀在所看截面处划几下（2）用针将圆片垫起，支点恰好在划痕处（3）轻轻按圆片两边，则圆片会从支点处裂开注：上述方法基本上是让芯片自然裂开的（金刚刀划过的区域需去除），无损伤，剖面比较好，但是很多时候我们要看的是单个芯片，往往都比较小，不易操作，就只能在划片机去划片得到其剖面，由于是机械打磨，会对剖面有损伤。

对于裂好的剖面，为了能在扫描电镜下更好的看到其结构（包括各层厚度、长度、槽和结深等），我们需要在放进设备之前做一些预处理，漂洗和蒸金。

注意在处理样品的时候镊子尽量不要接触到剖面，以免破坏其结构。

2、漂洗（1）准备好漂洗液（HNO3:HF=1:5）和清水（2）用镊子夹着样品放置在漂洗液中一定的时间（MOS约5秒，可控硅需相应延长时间，20s、40s不等）（3）时间到，迅速取出样品放置在水中涮一涮，以快速清除掉芯片表面的酸。

（4）用气枪或是滤纸去除掉样品上的水。

漂洗时间与漂洗液放置的时间有关，放置的时间越长，则漂洗的时间需相应延长。

具体时间需长期积累经验才能知道。

3、蒸金处理（1）将样品放置在载物片上，使其截面朝上，然后放置在载物台上，盖上仪器盖，并注意关闭好放气阀。

（2）打开电源，如图所示，电源灯亮，气压表上示数则会从大变小（即从左向右摆动），直到面板上的“准备”等亮为止，根据经验，当指针接近气压表上面一排示数“4”的时候，“准备”灯会亮。

（3）如果一直不能准备好，即气压不够小，则需顺时针调节针阀（图中紫色圈所示），直到灯亮，如下图1所示。

然后需逆时针调节针阀，保证“准备”灯不灭使气压指针左摆。

根据经验，调到指针接近下面一行示数“5”为宜，如下图2所示。

图1图2（4）按下“启动”按钮，“放电”灯亮，开始放电溅射金属，如下图所示，待“放电”结束（灯灭）时，关掉电源，打开放气阀，取出样品。

二、S4500电镜扫描操作流程1、确认设备状态（1）确认设备真空是否完好，图1中的两排指示灯，上面一排表示内腔状态，下面一排表示外腔状态，绿灯表示真空，圈出的两个绿灯全亮表示内外腔都处于真空状态，可以进行开腔操作。

SEM300扫描电镜的使用流程

SEM300扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用SEM300扫描电镜之前，需要进行以下准备工作：•确保SEM300扫描电镜处于正常工作状态，检查电缆连接是否稳固。

•根据需要，准备样品。

样品可以是固体或液体，但需要确保样品表面平整、干净，并且不含有任何可能对电镜产生损害的物质。

•准备必要的安全设备，如手套、护目镜和实验室大衣，以保护自己和设备的安全。

2. 开启SEM300扫描电镜以下是开启SEM300扫描电镜的步骤：1.检查电源线是否插好，并将其连接到电源插座。

2.打开SEM300扫描电镜的电源开关，等待电源指示灯亮起。

3.启动电脑，并登录系统。

4.点击SEM300扫描电镜软件图标，启动软件。

3. 调整扫描电镜参数在进行样品观察之前，需要根据实验需要对扫描电镜参数进行调整。

以下是调整参数的步骤：1.在电脑上打开扫描电镜软件，进入参数设置界面。

2.根据样品类型和所需分辨率等因素，选择合适的电子束能量。

3.调整扫描速度，根据实验要求选择适当的扫描时间。

4.调整扫描电镜的亮度和对比度，以获得清晰的图像。

5.根据需要选择放大倍数，调整图像的大小。

4. 准备样品并装载在观察样品之前，需要将样品准备好并装载到SEM300扫描电镜中。

以下是装载样品的步骤：1.将样品放置在扫描电镜样品台上。

确保样品与台面接触良好，并尽量避免气泡和杂质的存在。

2.将样品台插入SEM300扫描电镜中，并确保样品固定牢固。

3.关闭样品室门，并确保其密封。

5. 开始观察与拍摄一切准备就绪后，可以开始观察与拍摄样品。

以下是观察与拍摄的步骤：1.在电脑上选择所需的观察模式，例如高真空模式或气体环境模式。

2.调整显微镜镜头以获得所需的视野和焦距。

3.点击软件界面上的拍照按钮，可以将图像保存到电脑上。

4.在观察过程中，可以调整扫描电镜参数，以获得更清晰、更准确的图像。

6. 关闭扫描电镜在使用完SEM300扫描电镜后，需要进行一些关闭工作。

以下是关闭扫描电镜的步骤：1.停止观察和拍摄，关闭软件界面。

操作SEM的实验步骤

操作SEM的实验步骤
一、SEM表面形貌的拍摄
1、装样。

2、抽真空，真空达到5*10-3 Pa。

3点击，开始测试。

4、调电压，18-20kv,进行点扫描时电压一定要达到20kv。

5、调节对比度和亮度。

6、调节放大倍数→找点、快速扫描（300us）→慢速扫描（30ns）→暂停
7、file→save as→EDS date即可。

注：高倍下调节清晰度。

二、SEM点扫描
1、Point & ID。

2、试样描述→元素+配置文件→书写已知的元素。

3、采集图像→开始→是→调节对比度和亮度。

4、采集图谱。

5、报告结果。

6、保存至→计算机→Date(D:) →EDS date。

采集图谱时应该注意：
①消除噪声。

②变换质量/原子（%）。

③打点：注意切换，以节省时间。

④测能谱仪时电压为20kv。

⑤调节像散：shift+（+/-/左/右）。

⑥图像转动：shift+F12。

⑦页面最大化：F5。

三、卸真空，取样步骤：
1、降低放大倍数。

2、降低电压至500V。

3、点击Beam on，使之变色。

4、点击vent。

5、颜色变深。

6、取样。

场发射扫描电子显微镜实验操作

场发射扫描电子显微镜实验操作扫描电子显微镜（SEM）是一种能够获得高分辨率表面形貌信息的重要工具。

在实验室中，我们经常会使用场发射扫描电子显微镜来观察样品的微观结构和形貌。

本文将介绍场发射扫描电子显微镜的实验操作步骤。

实验准备在进行场发射扫描电子显微镜实验之前，我们需要进行一些准备工作。

首先，确保实验室环境干净整洁，以避免样品受到污染。

其次，检查扫描电子显微镜设备，确保设备正常工作。

最后，准备好待观察的样品，并确保样品表面平整干净。

样品处理与加载处理样品是进行场发射扫描电子显微镜实验的关键步骤。

首先，将待观察的样品切割成适当大小，并利用相关方法处理表面以去除可能的杂质。

然后，将样品加载到扫描电子显微镜样品台上，并使用夹具固定样品。

参数设置在进行扫描电子显微镜实验前，需要设置合适的参数以获得清晰的显微结构图像。

首先，调整加速电压和工作距离，以适应待观察样品的性质和尺寸。

其次，设置扫描速度和倍率，以获得所需的图像分辨率。

最后，根据需要选择不同的检测模式和滤波器。

图像获取与分析当参数设置完成后，可以开始进行样品的图像获取。

通过扫描电子束对样品进行成像，获得样品表面的细微结构信息。

在获取图像后，可以利用相应软件对图像进行分析，包括测量尺寸、分析形貌等。

同时，可以记录图像和相应数据以备后续分析。

结束实验与维护实验结束后，及时关闭扫描电子显微镜设备，并对设备进行清洁和维护。

将样品从样品台取下，妥善保存或处理。

同时，整理实验记录和数据，保留有关信息以备后续参考。

通过以上步骤，我们可以完成一次成功的场发射扫描电子显微镜实验操作。

这不仅可以帮助我们深入了解材料的微观结构和形貌，还可以为科学研究和工程应用提供重要参考。

希望本文对您进行场发射扫描电子显微镜实验操作有所帮助。

仪器操作流程扫描电子显微镜的样品制备步骤

仪器操作流程扫描电子显微镜的样品制备步骤仪器操作流程扫描电子显微镜的样品制备步骤扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术等领域中的表面形貌和成分分析。

在使用SEM之前，样品的制备步骤十分重要，本文将介绍扫描电子显微镜样品制备的流程。

步骤一：样品选择和切割首先，根据实验需求选择合适的样品。

样品可以是均匀材料的薄片，也可以是复杂材料的小块或碎片。

对于均匀材料，可以使用切割机或者砂轮切割机将样品切割成适当大小的薄片。

对于复杂材料，可以使用砂纸和十字锯来切割。

切割时要注意选择合适的切割液、切割速度和切割角度，以避免样品损坏和变形。

步骤二：样品固定将切割好的样品放入合适的试管或者样品架中，使用合适的固定剂将样品固定。

常用的固定剂有蜡、树脂和聚合物等。

固定剂的选择要根据样品的性质和实验需求来确定。

对于坚硬的材料，可以使用聚合物来固定，对于易破碎的材料，可以使用蜡或树脂来固定。

步骤三：样品研磨和抛光为了获得平滑的样品表面，需要对样品进行研磨和抛光。

首先，使用粗砂纸或者砂轮对样品进行研磨，去除表面的粗糙度和切割痕迹。

然后，使用逐渐细化的砂纸或研磨液对样品进行抛光，直到获得所需的光洁度和平整度。

在抛光过程中，要注意使用合适的抛光液和抛光时间，避免过度抛光导致样品表面变形或者损坏。

步骤四：样品清洁抛光完成后，需要对样品进行清洁，以去除表面的杂质和污染物。

首先，使用去离子水或酒精将样品浸泡，去除表面的油脂和有机物。

然后，使用超声波清洗仪将样品进行超声波清洗，以去除较为顽固的污染物。

最后，用去离子水将样品冲洗干净，并用氮气吹干。

步骤五：导电涂层扫描电子显微镜需要样品具有良好的导电性能，因此需要对样品进行导电涂层。

常用的导电涂层材料有金、铂、银和碳等。

涂层可以使用喷雾法、溅射法或者真空蒸镀法来完成。

涂层过程中要注意涂层均匀度和厚度的控制，以确保样品的导电性能和显微观察效果。

012扫描电子显微镜操作规程

012扫描电子显微镜操作规程扫描电子显微镜（SEM）是一种非常强大的显微镜，可以提供高分辨率的表面图像。

为了确保SEM的正确操作和保持仪器的性能，以下是SEM 的操作规程：1.准备工作-首先，检查SEM仪器，确保所有部件都正常工作，并且真空系统正常工作。

-打开SEM软件，并设置所需的参数，例如加速电压、工作距离、探测器类型等。

-准备样品，确保样品是干燥的，卫星，引线等应该被裁剪掉，以免影响SEM的像质。

2.开始操作-打开真空系统，等待真空度达到所需的数值。

-将样品安装在样品台上，并用导电胶或导电碳粉将样品固定在样品台上。

-将样品台放入SEM仪器，然后封闭仪器的门，开始真空抽气。

-在真空达到所需数值后，调整加速电压和工作距离，直到获得清晰的图像。

-调整探测器和信号放大器以获得最佳的信号对噪声比。

-通过移动样品台或调整光斑位置来选择不同的观察区域。

3.结束操作-在使用完SEM后，关闭真空系统，并将所有参数恢复到默认设置。

-将样品台从SEM仪器中取出，并将样品从样品台上取下。

-清洁样品台和SEM仪器，确保仪器干净并存放在适当的位置上。

-记录SEM操作的所有参数和图像，以备后续分析和比较。

4.安全注意事项-在使用SEM时，应穿戴适当的个人防护装备，如实验服、手套和护目镜。

-不要在不了解SEM仪器操作规程的情况下使用SEM，以免造成设备损坏或人身伤害。

-在使用SEM时，不要将手指或其他物体放入SEM仪器中，以免危及人身安全。

总之，正确操作SEM仪器是非常重要的，不仅可以确保SEM仪器的正常运行，还可以获得高质量的表面图像。

遵循以上SEM操作规程并注意安全事项，可以提高SEM操作的效率和安全性。

sem扫描电镜实验步骤

sem扫描电镜实验步骤嘿，咱今儿个就来讲讲 sem 扫描电镜实验那些事儿！这可是个厉害的家伙，能让咱看到好多肉眼看不到的奇妙世界呢！做这个实验啊，第一步就是得把要观察的样品准备好。

就好比你要去参加一场重要的活动，不得把自己拾掇得干干净净、整整齐齐呀！样品得处理得妥妥当当，不能有啥杂质呀、灰尘啥的，不然怎么能让扫描电镜好好看清它呢！这就好像你脸上有脏东西，别人怎么能看清你的真面目呀！然后呢，就是把样品放进扫描电镜里啦。

这可得小心点儿，别毛手毛脚的，万一磕了碰了，那不就前功尽弃啦！这就像你小心翼翼地把宝贝放进保险箱一样，得轻拿轻放。

接着呀，调整好各种参数。

这可不能马虎，就跟你调电视的音量、亮度似的，得调到最合适的状态，不然图像不清晰可不行。

这时候就得考验你的耐心和细心啦，可别嫌麻烦哟！再之后呢，就开始观察啦！哇，你能看到好多神奇的结构和细节呢，就像进入了一个微观的魔法世界。

你会惊叹，原来小小的东西里面也有这么大的乾坤呀！在观察的过程中，你还得时刻注意着，别放过任何一个有趣的现象。

这就好像你在看一部精彩的电影，眼睛都舍不得眨一下，生怕错过什么精彩镜头。

等观察完了，可别忘了把数据记录好呀。

这就跟你写日记一样，把重要的事情都记下来，以后还能拿出来回味回味呢。

做 sem 扫描电镜实验可不简单呢，每一步都得认真对待。

这可不是闹着玩的，要是有一步没做好，那结果可能就差之千里啦！就像盖房子，一块砖没放好，说不定整座房子都不稳呢！所以啊，做这个实验可得打起十二分的精神来。

别觉得麻烦，想想能看到那么多神奇的东西，是不是就觉得很值得啦？咱可不能因为怕麻烦就错过了这么好的机会呀！大家都加油，好好去探索这个微观世界吧！。