3.3透射电镜的工作原理和特点
透射电镜的工作原理
透射电镜的工作原理透射电镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种利用电子束来观察样品的微观结构的高分辨率显微镜。
与光学显微镜不同，透射电镜使用的是电子而不是可见光来照射样品，因此能够获得比光学显微镜更高的分辨率。
透射电镜的工作原理涉及到电子的产生、聚焦、透射、成像和检测等多个方面，下面将详细介绍透射电镜的工作原理。
1. 电子的产生。
透射电镜使用的是电子束来照射样品，因此首先需要产生电子。
电子产生的常用方法是热发射和场发射。
热发射是利用热能使金属表面的电子逃逸而产生电子，而场发射则是利用电场使电子从金属表面逃逸。
在透射电镜中，通常使用的是热发射电子源，即利用钨丝或钨钢合金丝受热后发射电子。
2. 电子的聚焦。
产生的电子束需要经过一系列的聚焦系统，使其成为一个细小的束流，以便能够准确地照射到样品上。
透射电镜的聚焦系统通常包括电子透镜和磁透镜。
电子透镜利用电场来聚焦电子束，而磁透镜则利用磁场来聚焦电子束。
通过合理设计和调节，可以使电子束聚焦到非常小的尺寸，从而获得高分辨率的成像能力。
3. 电子的透射。
经过聚焦系统聚焦后的电子束将照射到样品上，这时的电子束被称为透射电子束。
透射电子束穿过样品时，会与样品中的原子和分子发生相互作用，产生散射和吸收。
透射电镜通过检测透射电子束的变化来获取样品的结构信息。
4. 成像。
透射电镜的成像原理是利用透射电子束与样品相互作用后产生的信号来获取样品的结构信息。
透射电镜通常采用透射电子显微镜来观察样品。
透射电子显微镜通过探测透射电子束的强度和位置来获得样品的结构信息，然后将这些信息转换成图像显示出来。
5. 检测。
透射电镜的检测系统通常包括电子探测器和图像处理系统。
电子探测器用于探测透射电子束的强度和位置，然后将这些信息传输给图像处理系统。
图像处理系统将探测到的信息转换成图像，并进行增强和处理，最终显示在显示屏上供用户观察。
总结来说，透射电镜的工作原理涉及到电子的产生、聚焦、透射、成像和检测等多个方面。
透射电镜工作原理
透射电镜工作原理
透射电镜(Transmission Electron Microscopy，简称TEM)是一种用于观察微尺度物质形态结构和表面形貌特征的重要显微镜技术，其最早应用于生物学和化学研究，如今也广泛用于材料科学和工程研究。
透射电镜的工作原理是：一束通过电子源发射出来的电子流（通常是由金属管发射出），经过分散器和偏转垂直准直器，然后通过镜片，使得电子在低压下穿过样品，然后再抵达探测器。
它是一种辐射成像技术，核心是样品挡住了辐射源发出来的电子流，同时样品也会对发射出来的电子流产生穿透效应，生成横截面，这不同于其他显微技术。
首先，在样品上由电子源发射出来的电子束被分散器和偏转垂直准直器经过处理，使其产生小的束圆孔径，并将电子束之路向化朝向被检测的样品，进行定向准直，使样品所面对的束密度均匀。
然后经过镜片，将电子束缩小至1nm范围内，并将其余部分过滤，只保留<1nm的电子束，进而进入样品。
接着，样品所面对的电子束便会受到被检测的样品的影响，产生电子穿透现象，即样品会挡住一部分电子束，另一部分电子束则会通过它穿过样品表面，穿透深度的深度取决于电子流能量，此时，这些穿透样品表面的电子将投射在探测器上，在投射在屏幕上产生了投影图像。
通过分析被检测样品上表面被投影出来的图像，便可获得细微细节，并反映出样品的结构性质、表面形貌以及体积分布状态，从而获得样品的理化信息，如组成、结构、大小及形状等，从而进行细节分析和宏观观察等，推动科学研究。
透射电镜原理
透射电镜原理简介透射电镜是一种重要的高分辨率显微技术，可以通过透射电子束观察材料的微观结构。
通过透射电子显微镜，我们可以获得关于材料晶格结构、原子尺寸、晶体缺陷等信息。
本文将介绍透射电镜的原理及其工作原理。
透射电镜的结构透射电镜主要由以下几个部分组成： 1. 电子源：产生高能电子束的装置。
2. 准直系统：用于准直并聚焦电子束。
3. 透射电子显微镜柱：包括透镜和走物台，用于控制电子束及样品的相对位置。
4. 探测系统：用于接收和转换透射电子信号并生成图像。
透射电镜的原理透射电镜的工作原理基于电子的物质波性质。
根据德布罗意假设，电子具有粒子和波动性质。
透射电镜利用电子的波动性质，将电子束聚焦到极小的尺寸，并通过透射样品中的原子和结构来解析样品的微观信息。
透射电镜工作原理的关键是电磁透镜。
透射电镜中使用的透镜原理是与光学透镜基本相似的，但是由于电子束的特性，透射电镜的透镜通常使用磁场而不是透明材料来聚焦。
透射电镜中的电子源产生的电子束首先经过准直系统进行准直，在准直过程中使电子束的发散度趋于零，然后通过透镜进行聚焦。
在样品上生成的电子映射图像通过探测系统进行接收和转换。
透射电子显微镜的分辨率取决于电子波长和透镜的性能。
透射电镜的分辨率分辨率是透射电镜的一个重要性能指标，它反映了透射电子显微镜所能区分的最小距离。
透射电镜的分辨率主要受到以下几个因素的影响： 1. 电子束的能量：电子束的能量越高，波长越短，分辨率越高。
2. 透镜的性能：透射电镜中使用的透镜一般为磁透镜，透镜的性能包括聚焦能力、像场大小等。
3. 样品的制备：样品的制备对于透射电镜的分辨率至关重要，高质量的制备能够获得更高的分辨率。
应用领域透射电镜在材料科学、纳米科学、生物学等领域有着广泛的应用。
它可以用于观察材料的晶格结构、原子尺寸、晶体缺陷等信息，为材料设计和制备提供重要的参考。
此外，透射电镜还可以用于研究纳米材料、生物分子结构等领域。
透射电镜(TEM)讲义
05
TEM操作与注意事项
操作步骤与技巧
01
02
03
04
准备样品
选择适当的样品，进行适当的 处理和固定，以确保观察效果 最佳。
调整仪器参数
根据观察需求，调整透射电镜 的加速电压、放大倍数等参数 ，以达到最佳观察效果。
操作步骤
按照仪器操作手册的步骤进行 操作，包括安装样品、调整焦 距、观察记录等。
技巧
定量分析方法
颗粒统计
对图像中颗粒的数量、大 小和分布进行统计，计算 颗粒的平均尺寸和粒度分 布。
电子衍射分析
利用电子衍射技术分析晶 体结构和相组成，确定晶 格常数和晶面间距。
能谱分析
通过能谱仪测定图像中各 点的元素组成和相对含量， 进行定性和定量分析。
04
TEM图像解析实例
晶体结构分析
利用高分辨的TEM图像，可以观察到晶体内部的原 子排列和晶体结构，如面心立方、体心立方或六方 密排结构等。
掌握操作技巧，如正确使用操 作杆、合理利用观察窗口等， 以提高观察效果和效率。
仪器维护与保养
定期清洁
定期对透射电镜进行清 洁，保持仪器内部和外
部的清洁度。
检查部件
更换消耗品
定期检查透射电镜的部 件，如电子枪、镜筒等，
确保其正常工作。
根据需要，及时更换透射 电镜的消耗品，如真空泵
油、电子枪灯丝等。
保养计划
在操作透射电镜时，应严格遵守操作规程， 确保仪器和人身安全。
THANK YOU
感谢聆听
80%
观察模式
根据观察目的选择不同的观察模 式，如明场、暗场、相位对比和 微分干涉等。
图像解析与解读
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02
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透射电镜的成像原理及应用
透射电镜的成像原理及应用1. 引言透射电镜是一种使用电子束来成像的仪器。
它的原理是利用电子束通过样品的透射来形成图像，并通过对电子束的探测和处理来获得样品的详细信息。
透射电镜在材料科学、生物学和物理学等领域中有广泛的应用。
2. 成像原理透射电镜的成像原理基于电子的波粒二象性，即电子既具备粒子特性又具备波动特性。
在透射电镜中，电子从电子枪中发射出来，经过加速和聚焦，形成一束射线。
这束射线通过样品后，与样品中原子和电子相互作用，发生散射和透射现象。
电子的散射会导致图像的模糊和失真，因此透射电镜通常使用薄样品来减小散射效应。
在样品的背面或透射电镜的显微镜中，放置有一个焦平面衍射器。
这个衍射器可以将透射电子的波动性转化为干涉和衍射现象，从而产生有关样品的结构信息。
这些信息通过探测器进行收集，然后通过图像处理算法生成成像结果。
3. 应用领域透射电镜在材料科学、生物学和物理学等领域有广泛的应用。
以下列举了一些常见的应用领域：3.1 材料科学透射电镜在材料科学中的应用主要用于研究材料的微观结构和性能。
通过透射电镜，可以观察和分析材料中的晶体结构、晶界、缺陷和纳米结构等。
这些信息对于材料的设计、开发和性能优化非常重要。
3.2 生物学透射电镜在生物学中的应用主要用于研究生物样品的内部结构和功能。
通过透射电镜，可以观察和分析细胞器、蛋白质和核酸等生物分子的结构。
透射电镜还可以用于研究病原体、病毒和细菌等微生物的形态和生命周期。
3.3 物理学透射电镜在物理学领域中的应用涵盖了多个子领域。
在凝聚态物理学中，透射电镜可用于研究材料的电子结构、能带和费米面等特性。
在量子力学领域，透射电镜可用于研究电子的量子行为，如量子隧穿、波函数干涉和波粒二象性等。
3.4 其他领域透射电镜还在化学、地球科学和纳米技术等领域中有应用。
在化学中，透射电镜可用于研究化学反应的过程和产物。
在地球科学中，透射电镜可用于分析地质样品的矿物组成和结构。
透射电镜的结构原理及应用
透射电镜的结构原理及应用1. 介绍透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种基于电子束传输与样品交互作用的高分辨率显微镜。
透射电镜通过在样品上透射的电子束来形成图像，因此可以观察到原子尺度的细节。
本文将介绍透射电镜的结构原理以及其应用领域。
2. 结构原理透射电子显微镜的基本结构由以下几个主要组件组成：2.1 电子源透射电子显微镜使用高速电子束来照射样品。
电子源通常采用热阴极电子枪，通过加热阴极发射高能电子。
电子源生成的电子束必须具有高度的单色性和准直性。
2.2 准直系统准直系统用于控制电子束的方向和准直度，确保电子束可以尽可能准直地照射到样品上。
准直系统通常包括准直光阑和采购透镜。
2.3 束流衰减系统束流衰减系统用于控制电子束的强度，以适应不同的样品特性和实验需求。
束流衰减系统包括限制光阑、透镜和衰减器等组件。
2.4 对焦系统对焦系统用于控制电子束的焦距，以确保电子束能够聚焦在样品表面或其内部的特定区域。
对焦系统包括透镜和聚焦光阑。
2.5 样品台和检测系统样品台是放置样品的平台，通常具有三维移动的能力，以便于调整样品的位置和观察区域。
检测系统用于检测透射电子束与样品交互后的信号，并将其转化为图像。
3. 应用领域透射电子显微镜在各个科学领域中具有广泛的应用。
以下是几个常见的应用领域：3.1 材料科学透射电子显微镜可以观察和分析材料的微观结构、晶格缺陷、晶体取向等特征。
它被广泛应用于纳米材料、催化剂、半导体器件等领域。
3.2 生物学透射电子显微镜在生物学研究中发挥着重要作用，可以观察和研究生物细胞、组织和病毒等微观结构。
它被用于研究生物分子的结构、功能和相互作用。
3.3 纳米技术透射电子显微镜对于纳米技术的研究和开发非常关键。
它能够观察和控制纳米材料和纳米结构，有助于纳米器件的设计和制造。
3.4 地球科学透射电子显微镜在地质和地球科学中也具有重要的应用价值。
透射电镜的工作原理
透射电镜的工作原理
透射电镜是一种高级显微镜，它利用电子束而不是光束来观察样品的微观结构。
透射电镜的工作原理主要包括电子源、电子透镜系统、样品台和检测系统。
首先，电子源产生高能电子束。
通常采用热阴极发射电子的方式，通过加热使
阴极发射出电子，然后经过一系列的加速器和聚焦器，将电子束聚焦到极小的直径，以便能够穿透样品并形成清晰的像。
其次，电子透镜系统起到聚焦和成像的作用。
透射电镜中的电子透镜系统通常
包括几个电磁透镜，通过调节透镜的电压和电流，可以控制电子束的聚焦和偏转，从而实现对样品的高分辨率成像。
然后，样品台是样品放置的地方。
在透射电镜中，样品通常需要制备成极薄的
切片，以便电子束可以穿透并形成像。
样品台通常可以在多个方向上进行微小的移动，以便对样品进行全方位的观察和分析。
最后，检测系统用于接收电子束穿过样品后的信号，并将其转换成图像。
检测
系统通常采用荧光屏或者数字传感器，将电子束的信号转换成可见的图像，并通过电子显微镜的显示器或者计算机进行观察和分析。
总的来说，透射电镜的工作原理是利用高能电子束穿透样品，通过电子透镜系
统的聚焦和成像，将样品的微观结构放大成可见的图像，从而实现对样品的高分辨率观察和分析。
透射电镜在生物学、材料科学、纳米技术等领域有着广泛的应用，对于研究微观结构和表征样品具有重要意义。
透射电镜衍射成像原理
透射电镜衍射成像原理
透射电镜是一种高级显微镜，利用电子束来成像样品的内部结构。
透射电镜的成像原理是基于电子的波粒二象性，电子具有波动性，因此可以产生衍射现象。
在透射电镜中，电子束通过样品时会发生衍射，通过观察样品衍射图样可以得到样品的内部结构信息。
透射电镜的成像原理主要包括以下几个方面：
1. 衍射：当电子束穿过样品时，与样品原子相互作用，会发生衍射现象。
电子束的波长通常在纳米级别，与可见光波长相当，因此可以得到高分辨率的图像。
样品的晶格结构会影响电子的衍射图样，通过分析衍射图样可以确定样品的晶格结构和原子排列。
2. 焦点：透射电镜的成像是通过电子透镜进行调焦来实现的。
透射电镜中的透镜由电磁场产生，可以调节电子束的聚焦和散焦。
透射电镜的透镜系统通常包括透镜、准直器和透镜孔径，通过调节透镜的参数可以获得清晰的电子图像。
3. 探测器：透射电镜的探测器通常是电子学传感器，可以将电子束转换为电子信号。
通过调节探测器的灵敏度和增益，可以获取高质量的电子图像。
透射电镜的探测器通常具有高灵敏度和低噪声，可以获取高分辨率的图像。
透射电镜的成像原理是基于电子的波粒二象性，通过电子的衍射现象和透镜系统的调焦来实现高分辨率的图像获取。
透射电镜在材料科学、生物学和纳米技术等领域具有重要的应用价值，可以帮助科学家研究样品的内部结构和性质。
透射电镜的发展将进一步推动科学研究的进步，为人类社会的发展做出贡献。
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第一聚光镜的缩小倍数为10~50倍，
它将有效光源强烈地缩小成1~5 m的
光斑像。
第二聚光镜缩小倍数约为1/2倍。这
样，通过第二聚光镜在试样平面上形
成直径约为2-10 m的光斑，显著地提
高了照明效果。
2. 成像系统 物镜、中间镜和投影镜现也都 采用磁透镜。它们和样品室构成
成像系统，作用是安置样品、放 大成像。
产生反映样品微区厚度、平均原子序数、
晶体结构或位向差别的多种信息。
透过样品的电子束强度，其取决于这些 信息，经过物镜聚焦放大在其平面上形成 一幅反映这些信息的透射电子像，经过中 间镜和投影镜进一步放大，在荧光屏上得 到三级放大的最终电子图像，还可将其记 录在电子感光板或胶卷上。
透镜电镜和普通光学显微镜的光路是相
控制电子束的运动在电子光学领域中 主要使用电磁透镜装置。但电磁透镜在 成像时会产生像差。
像差分为几何像差和色差两类。
几何像差：由于透镜磁场几何形状上
的缺陷而造成的像差。
色差：由于电子波的波长或能量发生
一定幅度的改变而造成的像差。
透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有 关以外，还与透镜的像差有关。 光学透镜，已经可以采用凸透镜和凹透 镜的组合等办法来矫正像差，使之对分辨
镜
筒
一般由电子枪、聚光镜、
物镜、中间镜和投影镜等电 子透镜、样品室和荧光屏组 成透射电镜的电子光学系统。
透射电镜，通常采用热阴极电子枪来获 得电子束作为照明源。 热阴极发射的电子，在阳极加速电压的 作用下，高速穿过阳极孔，然后被聚光镜 会聚成具有一定直径的束斑照到样品上。
具有一定能量的电子束与样品发生作用，
散器、磁消像散器或静电消像散 器来减小。
(2)中间镜和投影镜 中间镜和投影镜的构造和物镜是 一样的，但它们的焦距比较长。其 作用是将物镜形成的一次像再进行 放大，最后显示到荧光屏上，从而 得到高放大倍数的电子像。这样的 过程称为三级放大成像。
物镜和投影镜属于强透镜，其放
大倍数均为100倍左右，而中间镜属 于弱透镜，其放大倍数为0~20倍。
有效放大倍数 物镜孔径角 景深 焦长 像的记录 103× 约700 较小 较短 照相底板 106× ＜10 较大 教长 照相底板
透射电镜的显著特点是分辨本 领高。目前世界上最先进的透射
电镜的分辨本领已达到0.1nm,可 用来直接观察原子像。
电磁透镜
电磁透镜的分辨本领由衍射效应和球面像差来决定。 衍射效应对分辨本领的影响： Rayleigh公式： Δr0=0.61λ/Nsinα Δr0：成像物体上能分辨出来的两个物点间的最小距离， 表示透镜分辨本领的大小。 λ：波长; N：介质的相对折射系数 α:透镜的孔径半角 只考虑衍射效应时，在照明光源和介质一定的条件 下，孔径半角越大，透镜的分辨本领越高。 像差对分辨本领的影响： 由于球差、像散和色差的影响，物体上的光点在像 平面上均会扩展成散焦斑，个散焦斑的半径也就影响 了透镜的分辨本领。
样品室位于照明系统和物镜之间，其作用是安 装各种形式的样品台，提供样品在观察过程中的各 种运动，如平移(选择观察区域)、倾斜(选择合适的 样品位向)和旋转等。 透射电镜样品非常薄，约为100～200nm，必 须用铜网支撑着。常用的铜网直径为3mm左右， 孔径约有数十μm，如图所示。
3 .图像观察和记录系统 透射电镜中电子所带的信 息转换成人眼能感觉的可见光 图像，是通过荧光屏或照相底 板来实现的。人们透过铅玻璃 窗可看到荧光屏上的像。
图为日立公司H800透射电子显微镜(镜筒)
高压系统
真空系统
控制系统
观察和记录系统
3.3 透射电镜
1.透射电镜的工作原理和特点
透射电镜：是以波长极短的电子束作为
照明源，用电子透镜聚焦成像的一种具
有高分辨本领、高放大倍数的电子光学
仪器。 四部分：电子光学系统、电源系统、 真空系统、操作控制系统
样品室、物镜、中间镜和投影镜，
荧光屏和照相装置。
通常将镜筒分为照明、成像及图像
观察和记录三个系统。 照明系统：电子枪、聚光镜
成像系统：样品室、物镜、中间镜和
投影镜 图像观察和记录系统：荧光屏和照相
装置
1. 照明系统
照明系统的作用： ① 提供光源，控制其稳定度、照
明强度和照明孔径角；
② 选择照明方式(明场或暗场成 像)。
电源系统、真空ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ统和操作系统都
是辅助系统。
电源系统包括电子枪高压电源、透
镜电源和控制线路电源等。
真空系统用来维持镜筒(凡是电子
运行的空间)的真空度在10-4 Torr以
上，以确保电子枪电极间绝缘，防止 成像电子在镜筒内受气体分子碰撞而
改变运动轨迹，减小样品污染等。
基于对机械稳定性的考虑，透射
电镜的镜筒一般是直立积木式结构 （自上而下）：电子枪，聚光镜，
焦长：透镜像平面允许的轴向偏差定义
为焦长。 当透镜焦距、物距一定时，像平面在 一定的轴向距离内移动，也会引起失焦。 如果失焦尺寸不超过由衍射效应和像差
引起的散焦斑，那么像平面在一定的轴
向距离内移动，对透镜像分辨率并不产
生影响。
2 透射电镜的结构及原理
透射电镜主要有电子光学系统
(镜筒)、电源系统、真空系统和操 作控制系统等四部分。
(1) 物镜
物镜是透射电镜的核心，它获得第一幅具有
一定分辨本领的放大电子像。这幅像的任何缺
陷都将被其他透镜进一步放大，所以透射电镜 的分辨本领就取决于物镜的分辨本领。因此， 要求物镜有尽可能高的分辨本领、足够高的放 大倍数和尽量小的像差。磁透镜最大放大倍数 为200倍，最大分辨本领为0.1nm。
物镜的球面像差一般通过在物 镜背焦面径向插入物镜光阑，物 镜的像散通常通过采用机械消像
景深：透镜物平面允许的轴向偏差定义为 透镜的景深。 从原理上讲，当透镜焦距、像距一定时， 只有一层样品平面与透镜的理想物平面重合， 能在透镜像平面上获得该层平面的理想图象， 而偏离理想物平面的物点都存在一定程度的 失焦，他们在透镜像平面上将产生具有一定 尺寸的失焦圆斑，如果失焦圆斑尺寸不超过 由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透 镜像分辨本领并不产生影响。
似的，如图4-3所示。
光学显微镜与透射电镜的比较 比较部分 光学显微镜 透射电镜 光源 可见光(日光、电灯光) 电子源(电子枪) 照明控制 玻璃聚光镜 电子聚光镜 样本 1mm厚的载玻片 约10nm厚的薄膜 放大成象系统 玻璃透镜 电子透镜 介质 空气和玻璃 高度真空 像的观察 直接用眼 利用荧光屏 聚焦方法 移动透镜 改变线圈电流或电压 200nm 0.2~0.3nm 分辨本领
比阴极负数百伏的栅极组成。
这是一种静电透镜，它能使阴极发 射的电子会聚，得到一个小于100μm
的电子束斑。
(2) 聚光镜 聚光镜大多是磁透镜，其作用是将来自
电子枪的电子束会聚到被观察的样品上，
并通过它来控制照明强度、照明孔径角和
束斑大小。高性能透射电镜都采用双聚光
镜系统。这种系统由第一聚光镜(强激磁 透镜)和第二聚光镜(弱激磁透镜)组成。
本领的影响远远小于衍射效应的影响;
但电子透镜只有会聚透镜，没有发散透
镜，所以至今还没有找到一种能矫正球差
的办法。这样，像差对电子透镜分辨本领
的限制就不容忽略了。
像差分球差、像散、色差等，其中，球 球差的大小，可以用球差散射圆斑半径Rs
和纵向球差ΔZs两个参量来衡量。前者是
差是限制电子透镜分辨本领最主要的因素。
指在傍轴电子束形成的像平面(也称高斯
像平面)上的散射圆斑的半径。后者是指 傍轴电子束形成的像点和远轴电子束形成 的像点间的纵向偏离距离。
ΔZs
如果计算分辨本领的平面为最小截 面圆所在平面，则 Δr’s=1/4 Csα3 从以上两式可以得知Δr’s或Δrs与 球差系数Cs成正比，与孔径半角的立方成 正比。也就是说球差系数越大，由球差 决定的分辨本领越差，随着α的增大， 分辨本领也急剧地下降。
三级成像的总放大倍数为：
MT = MO MI MP 其中MO、MI、MP分别是物镜、中
间镜和投影的放大倍数。
磁透镜可以通过改变电流来调节放 大倍数。一般通过将物镜和投影镜的 放大倍数MO、MP固定，而改变中间 镜放大倍数MI来改变总放大倍数MT。 应当指出，放大倍数越大，成像亮度 越低。成像亮度与MT2成反比。因此， 要根据具体要求选用成像系统的放大 倍数。
(1) 电子枪
电子枪是透射电镜的电子源。因为 电子枪决定了像的亮度、图像稳定度
和穿透样品能力，所以相应地要求其
亮度、发射稳定度和加速电压都要高。
最常用的加速电压为50~100kV，近来
超高电压电镜的加速电压已达数千kV。
电子枪
目前常用的电子枪是热阴极三极电
子枪，如图所示。它由发夹形钨丝阴 极、阳极和位于阴、阳极之间且电位
像散：像散是由透镜磁场的非旋转对称而引起。
如果电磁透镜在制造过程中已经存在固有的像散， 则可以通过引入一个强度和方位都可以调节的矫正 磁场来进行补偿，这个能产生矫正磁场的装置称为 消像散器。
色差
色差：是由于入射电子波长（或能量）的非单一
性造成。
电磁透镜的景深和焦长
电磁透镜的特点是景深大（场深），焦长很长。