传感器与微系统

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《传感器与微系统》投稿指南

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论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词、图与表题名，提供中文的中图分类号、文献标识码。

排版格式为word2003/2007均可，文中的插图望采用位图格式（扩展名为.tif），不要附加路径名，压缩时用winrar。

为方便专家审稿，除题名采用三号字外，文中（包括摘要、参考文献）采用小四号字、1. 5倍行间距；提供的图表应清晰，信息完整，函数图的坐标给出物理量中文名称和相应单位（SI单位），图题、表题采用小四号字,图表中的文字推荐采用6号宋体字（注意避免字体加粗）。

论文可不分栏。

作者联系方式附在论文后面。

3.1题名中文题名不应超过20个汉字。

并应译成相对应的英文题名，英文题名仅仅第一单词的第一字母大写。

题名中应避免使用非公知共用的缩略语。

3.2作者及工作单位1）中国作者的英译名用汉语拼音，姓氏字母均大写；名字首字母大写，双名中间加“－”。

不同工作单位的，在姓名的右上角，加注阿拉伯数字序号，中间用“，”隔开。

2）所有作者的工作单位，均应包括单位名称（院校给到系），所在省、市名及邮政编码，多作者的工作单位名称之前加与作者姓名序号相同的数字序号，中间用“；”隔开;工作单位的英译文给出全称，不能用缩写词（系名除外）。

还应在邮编之后加“，China”。

3.3摘要1）中文摘要为150～300字。

摘要的内容应包括目的、方法、实验结果和结论；综述性、评论性文章可写指示性摘要。

摘要中不应出现“本文、我们、作者”之类的词语。

2）英文摘要必须与中文摘要一一相对应，准确译出。

基于单目视觉的无人水面艇水面目标测距方法

2021年第40卷第2期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)47DOI ： 10.13873/J. 1000-9787(2021)02-0047-04基于单目视觉的无人水面艇水面目标测距方法**收稿日期：2019-08-13*基金项目：国家自然科学基金面上资助项目（61771223）赵明绘，王建华，郑翔，张山甲，张程（上海海事大学航运技术与控制工程交通行业重点实验室，上海201306）摘要：针对单目测距时相机高度和俯仰角难以测量的问题，提出一种相机高度和俯仰角的标定方法，在此基础上提出一种水面目标的单目测距方法，并分析影响测距精度的因素。

通过相机标定，获得与水面共面的标定板上的网格坐标系到相机坐标系的外参，计算相机高度和俯仰角;识别出图像中水面目标所在区域，计算该区域像素纵坐标最大值,及其对应的横坐标的平均值，将组合得到的坐标作为观测点的像素坐标;根据相机内参、透视投影关系和刚体变换，获得观测点在无人艇附体坐标系下的三维信息，进而计算观测点的距离。

通过实验验证了所提方法的正确性和有效性。

关键词：单目视觉；无人水面艇；相机高度；相机俯仰角；观测点；测距中图分类号：TP212.9 文献标识码：A 文章编号：1000-9787（2021）02-0047-04Monocular vision based water-surface target distance measurement method for unmanned surface vehiclesZHAO Minghui , WANG Jianhua, ZHENG Xiang, ZHANG Shanjia, ZHANG Cheng(Marine Technology & Control Engineering Key Laboratory ,Shanghai Maritime University ,Shanghai 201306,China)Abstract : Aiming at lhe problem that lhe height and pilch angle are difficult to measure during monocular ranging , a method for calibrating camera height and pitch angle is proposed , and a water-surface target ranging method based on monocular vision is proposed , and lhe factors affecting lhe ranging precision are analyzed ・ Through camera calibration , obtain the extemal coordinate of the grid coordinate system on the calibration plate that is coplanar with the waler surface to lhe camera coordinate system , calculate the camera height and the pilch angle. The area of the target on water surface in the image is identified , the maximum value of the ordinate of the pixel in the area ,and lhe average value of the corresponding horizontal coordinate are calculated ,and the combined coordinate is taken as the pixel coordinate of the observation point. According to the camera internal reference , perspective projection relationship and rigid body transformation , the three-dimensional information of the observation point in the coordinate system of the unmanned boat is obtained , and then the distance of the observation point is calculated. The correctness and effectiveness of the proposed method are verified by experiments ・Keywords : monocular vision ； unmanned surface vehicle ； camera height ； camera pitch angle ； observation point ； ranging0引言无人水面艇由于其可以执行更危险的以及不适于有人船只执行的任务而吸引了广大研究人员⑴。

面向ECG的二分法稀疏度自适应匹配追踪重构算法

2021年第40卷第4期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)131DOI ： 10.13873/J. 1000-9787(2021)04-0131-04面向ECG 的二分法稀疏度自适应匹配追踪重构算法**收稿日期：2019-09-29*基金项目：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(JUSRP51510)；江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJCX18-0647)；江苏省物联网应用技术重点建设实验室资助项目王涛▽，田青】，虞致国孙益洲-顾晓峰|(1.物联网技术应用教育部工程研究中心江南大学电子工程系，江苏无锡214122；2.无锡太湖学院，江苏无锡214064)摘要：为了减少无线传感器网络(WSNs)心电信号的压缩感知重构时间，提出一种面向心电(ECG)信号的二分法稀疏度自适应匹配追踪重构算法。

基于二分法快速接近真实稀疏度的值，并通过相邻迭代之间残差范数值差的绝对值确定下一轮迭代计算区间。

实验结果表明:与传统稀疏自适应匹配追踪重构算法相比较,改进算法可显著降低重构时间并接近子空间追踪算法和正交匹配追踪算法;与子空间追踪算法和正交匹配追踪算法相比,峰值信噪比平均提升了 6.29%和5.43 %。

关键词：压缩感知；心电(ECG)；重构；自适应匹配追踪中图分类号：TP391； TP212文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2021)04-0131-04Dichotomy sparsity adaptive matching pursuit in compressedsensing reconstruction algorithm for ECG *WANG Tao 1'2, TIAN Qing 1, YU Zhiguo 1, SUN Yizhou 1, GU Xiaofeng 1(1・ Engineering Research Center of Internet of Things Technology Applications , Ministry of Education ,Department of Electronic Engineering , Jiangnan University , Wuxi 214122, China ；2. Taihu University of Wuxi,Wuxi 214064,China)Abstract : To reduce the time consumption in the reconstruction of electrocardiograph ( ECG ) signals for thewireless sensor networks ( WSNs ) , a dichotomy spars 让y adaptive matching pursuit ( DSAMP ) algorithm forcompressed sensing without knowing sparsity is proposed ・ The algorithm calculates the stage value for approachingthe real sparsity based on dichotomy , and determines the direction of stage switching by the absolute value of thedifference in residual norm between two adjacent iterations. Results show that the runtime of DSAMP can be reduced compared with that of sparsity adaptive matching pursuit and is similar to those of subspace pursuit andorthogonal matching pursuit. The peak signal to noise ratio of the DSAMP is improved 6. 29 % and 5. 43 % , compared with the that of orthogonal matching pursuit and subspace pursuit on average , respectively.Keywords : compressed sensing ； electrocardiograph (ECG ) ； reconstruction ； adaptive matching pursuit0引言随着人工智能和无线传感器技术的飞速发展,现代医学已经进入了智能医疗和远程医疗的时代⑴。

高清晰度三轴管道内检测器漏磁数据采集系统

ｔｅｓｂｌｔｆｔｅｓｓｅｈｅｆａｉｉｉｙｏｈｙｔｍ．
Ｋｅｏｄ：ｍｇｅｉｆｘｌｋｇ（Ｆ）ｎｐｃｏ；ｌｓｎｏ；ＭＣＦＧＰ一０ｙｗｒｓａｔｕａａｅＭＬｉｓｅｔｎＨａｅｓｒｎｃｌｅｉｌＵ；ＰＡ；Ｃ１４０引言
Ａｂｓｒｃｔａｔ：Ａｉｎｇａｈｈｒｃｍｉｇｏｆｎｔｏｆｔａｔｏａｐｌｎｎｓｅｔｏｏｌｉｔｈｇｎｕｈａｄａａｍｉｔｔｅｓｏｔｏｎｆｄｅｉｉｉｎｏｒｄｉｎｌｐｉｅｉｅｉｐｃｉｎｔｏｓｎｏｉｈｅｏｇｉｔ
）．
（）２
其中， Ⅳ为某缺陷影响的通道数；。为中心通道轴向Ａ
信号幅值；Ａ为第四条通道轴向信号幅值。
漏磁信号的幅值在其他变量恒定的前提下，与缺陷深度呈近线性关系。检测３个维度上的漏磁信号的幅值，能
够更加精确地实现对缺陷深度的判断。漏磁信号幅值与缺
陷的宽度呈正比，与缺陷的长度呈反比，与缺陷的面积呈正比，利用这些关系和某些参数，通过试验得出孤立缺陷的实际深度经验公式，于不同管径的漏磁信号，对公式的系数会
有所变化，公式（）示如３所
（轴向信号ａ）
ｆ１ｘａｓｎｌａｉ１ｉａａｇ
，
ａｑｉｔｎｓｓｍｏｒｅａｉｍａｎｔｕａａｅＭＬｉｐｃｏｏｌｉｉｅｎｔｎｉｉｔｄｃｄｃｕｓｉｙｔｆｈｅ—ｘｇｅｃｆｘｌｋｇ（Ｆ）ｎｅｔｎｔｔｈｈｄｆｉｏｓｎｒｕｅ．ｉｏｅｔｓｉｌｅｓｉｏｗｈ【ｇｉｉｏ

MEMS技术在THz无源器件中的应用

2011年第30卷第7期传感器与微系统（Transducer and Microsystem Technologies）MEMS技术在THz无源器件中的应用*赵兴海1，鲍景富2，杜亦佳2，高杨1，郑英彬1（1．中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900；2．电子科技大学，四川成都611731）摘要：太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。

太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域，太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级，传统的机械加工技术很难达到加工精度要求，甚至无法加工。

MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。

总结了目前采用DRIE，LIGA等工艺加工太赫兹器件的研究现状，包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线器件、慢波结构和特种复合结构的加工。

分析了MEMS加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用前景。

关键词：太赫兹器件；微机电系统；LIGA；深反应离子刻蚀中图分类号：O451；TN432文献标识码：A文章编号：1000—9787（2011）07—0005—05 Application of MEMS technology in passive THz-devices*ZHAO Xing-hai1，BAO Jing-fu2，DU Yi-jia2，GAO Yang1，ZHENG Ying-bin1（1．Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang621900，China；2．University of Electronic Science and Technology of China，Chengdu611731，China）Abstract：The primary applications for terahertz（THz）technology have so far been high precision spectrum detection technology，superresolution imaging，and high performance communication et al．THz region locates on the border between far-IR and submillimeter which is still rather blurry．The dimension of THz devices is from several ten micrometers to several millimeters which are difficult or hard to fabricate by the traditional machining technology．MEMS technology has many advantages to fabricate these devices．An overview of recent progress in the research and development of MEMS antennas，transmission lines，waveguides structures，and slow wave structures and metamaterial devices based on DRIE，LIGA technologies for terahertz frequencies is presented．The advantages and disadvantages of MEMS technology and applications in THz devices fabrication are analyzed．Key words：THz devices；MEMS；LIGA；DRIE0引言太赫兹（terahertz，THz）波在电磁波谱中位于0．1 10THz的频段，对应于电磁波长为0．03 3mm，处于电子学与光子学的“空白”地带。

原位封装MEMS低温温度传感器

66传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)2021年第40卷第4期DOI ： 10.13873/J. 1000-9787(2021)04-0066-04原位封装MEMS 低温温度传感器黎云，尤敏敏，林祖德，刘景全(上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海200240)摘要：针对高精度低温温度测量需求,提出一种基于氮氧化错薄膜的微机电系统(MEMS)低温温度传感器。

通过微加工工艺,将传感器制备与封装相结合，有效简化传统低温温度传感器的制备流程,缩小低温温度传感器尺寸。

研制的低温温度传感器尺寸仅为3.2mm x2.0mmx0.73 mm,质量低于12 mg 。

通过颗粒碰撞噪声检测和显微结构观测，盖帽中的凸点结构和金属化空腔可有效提高传感器可靠性。

制备得到的低温温度传感器通过低温测试平台进行标定，传感器适用于4.2 -300 K 之间的温度测量，特别是50K以下时，传感器具有很高的灵敏度。

通过磁场环境测试,表明传感器在磁场中具有很好的稳定性。

关键词：低温温度传感器；封装；微机电系统(MEMS)中图分类号：TN44； TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2021)04-0066-04MEMS cryogenic temperature sensor with in-situ packagingLI Yun , YOU Minmin , LIN Zude , LIU Jingquan(School of Electronic Information and Electrical Engineering , Shanghai Jiao Tong University , Shanghai 200240, China )Abstract : Aiming at the requirement of high precision cryogenic temperature measurement , a MEMS cryogenictemperature sensor based on zirconium oxynitride film is proposed. Through the micro ・machining process , the sensor preparation and packaging are combined to effectively simplify the preparation process of the conventionallow-temperature temperature sensor and reduce the size of the low-temperature temperature sensor ・ The preparedcryogenic temperature sensor has a size of only 3. 2 mm x2・ 0 mm x0. 73 mm and mass is less than 12 mg. Throughthe particle impact noise detection and microstructure observation , the bump structure and the metallized cavity inthe cover plate can effectively improve the reliability of the sensor. The prepared cryogenic temperature sensor iscalibrated by a low temperature test platform , and the sensor is suitable for temperature measurement between4.2 〜300 K ,especially when the temperature is below 50 K, the sensor has high sensitivity. The magnetic fieldenvironment test shows that the sensor has good stability in magnetic field.Keywords : cryogenic temperature sensor ； packaging ； micro ・electro ・mechanical ・system( MEMS)0引言随着温度降低，材料的性质会随之发生改变，产生许多奇异的现象，例如：气态液化、凝固、超导现象、超流体现象E 。

自适应卡尔曼滤波方法在光电跟踪系统中的应用

2021年第40卷第6期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)157DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)06-0157-04自适应卡尔曼滤波方法在光电跟踪系统中的应用**收稿日期=2019-11-12*基金项目：国家自然科学基金资助项目(61463025)吴旭，孙春霞，沈玉玲(兰州交通大学电子与信息工程学院，甘肃兰州730070)摘要：在光电跟踪系统中，图像采集装置相对控制系统传感器滞后，会使脱靶量出现误差，将导致控制系统的跟踪精度降低。

为了提高跟踪精度，提出了一种用于补偿跟踪脱靶量数据的自适应卡尔曼滤波方法。

首先，通过CSM模型计算当前时间的状态预测矩阵和预测误差方差矩阵;再根据强跟踪滤波器，利用残差序列计算调节因子;然后，利用调节因子校正预测误差方差矩阵和机动频率;最后，使用校正后的参数更新预测的输出信息。

仿真与实验结果表明:在高机动情况下,采用自适应卡尔曼滤波算法，跟踪误差的均方根误差RMS约为传统算法的0.21倍，最大跟踪误差和均方根误差都有显著减小。

关键词：光电跟踪系统；自适应卡尔曼滤波器；脱靶量；强跟踪滤波；调节因子;残差序列中图分类号：TH703；TP212文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2021)06-0157-04 Application of adaptive Kalman filtering method inphotoelectric tracking system*WU Xu,SUN Chunxia,SHEN Yuling(School of Electronic and Information Engineering,Lanzhou Jiaotong University,Lanzhou730070,China)Abstract:In photoelectric tracking system, image acquisition device lags behind the control system sensor,which causes an error in miss distance,which will result in a lower tracking precision of the control system.In order to improve the tracking precision,an adaptive Kalman filtering algorithm for compensating tracking miss distance data is proposed.Firstly,the state prediction matrix and the prediction error variance matrix of current time are calculated by the CSM model.According to the strong tracking filter idea,calculate the adjustment factor through r esidual sequence.Then, the adjustment factor is used to coiTect the prediction error variance matrix and the maneuver frequency.Finally,the output information of prediction is updated by using lhe corrected parameters・The results of simulation and experiment show that under the high maneuvering condition,using the adaptive Kalman filtering algorithm,lhe root mean square error RMS of lhe tracking error is about0.21times that of lhe traditional algorithm,andthe maximum tracking error and root mean square error are significantly reduced. Keywords:optoelectronic tracking system；adaptive Kalman filtering；miss distance data；strong tracking filtering；adjustment factor；residual serial0引言在光电跟踪控制系统的视场中，目标的位置与视场的中心之间的特定偏差被称为脱靶量。

改进的IMU传感器安装误差正交补偿方法

改进的IMU传感器安装误差正交补偿方法马亚平;魏国;周庆东【摘要】针对传统的正交补偿方法难以保证惯性测量单元具有较高的正交补偿精度的问题,提出了一种改进的适用于大角度和小角度安装误差角情形的正交补偿方法,该方法分别建立三轴加速度计和三轴光纤陀螺传感器的安装误差方程,对惯性测量单元进行速率标定和多位置静态标定,并利用最小二乘法求解惯性测量单元的安装误差方程参数.仿真和实验结果表明:该方法较传统的正交补偿方法具有较高的正交补偿精度和传感器标定精度,且回避了静态标定时在较大安装误差角下利用转位机构获得零偏存在较大误差的问题,大大地提高了标定效率.【期刊名称】《传感器与微系统》【年(卷),期】2016(035)009【总页数】5页(P9-13)【关键词】惯性测量单元;大角度安装误差;正交补偿;最小二乘法【作者】马亚平;魏国;周庆东【作者单位】哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,黑龙江哈尔滨150001;哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,黑龙江哈尔滨150001;哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,黑龙江哈尔滨150001【正文语种】中文【中图分类】TE927捷联惯性系统是将加速度计和陀螺仪组成的惯性测量单元(inertial measurement unit,IMU)直接固连在运载体上(如测斜仪、舰艇和飞机等)，根据惯性传感器IMU提供的测量值来解算出运载体的姿态信息[1,2]。

由于IMU本身存在机械加工工艺和安装结构的限制，不可避免地带来IMU传感器之间以及传感器与安装固件之间的非正交误差，这些误差统一称为IMU安装误差。

针对捷联惯性导航系统要求精度较高的情况，需要具有较高的安装误差补偿计算精度[3]。

IMU的标定和安装误差补偿是针对IMU传感器建立相应的数学模型，并进行该数学模型参数计算的过程。

在捷联惯性导航系统的标定过程中，实际IMU传感器坐标系与理想载体坐标系之间存在的安装误差不可忽略。

在传统的IMU传感器正交补偿中，所采用的补偿方法仅仅适用于较小正交误差(通常小于60″)，并且使用的正交补偿矩阵对角线元素往往近似为单位1[4,5]。

低失调低踢回噪声双尾动态比较器设计

Frequency IC Technology for Next Generation Communication，IMECAS，Beijing 100029，China; 3． School of Future Technology，University of Chinese Academy of Science，Beijing 100029，China
关键词: 双尾电流; 动态比较器; 低失调; 踢回噪声
中图分类号: TN 432
文献标识码: A
文章编号: 1000—9787( 2019) 07—0076—03
Design of low-offset low-kickback noise double-tail dynamic comparator*
入参考失调电压的新型比较器。所提出的比较器对踢回噪声具有低灵敏度，因为在预放大器的输入和输
出之间存在一个高阻抗路径，在 TSMC 0． 18 μm 工艺和 1． 8 V 的电源电压下，对比了不同的比较器并进行
了仿真验证。仿真结果表明: 踢回噪声为 3 mV，且所提出的比较器具有低功耗和低输入参考失调电压的
0引言比较器是组成模 / 数转换器( analog to digital converter，
ADC) 的重要模块［1］，低功耗是 ADC 的一个重要需求，特别是对于便携式设备，而比较器是 Flash ADC 中功耗最大的组成部分，所以引入动态比较器［2］。动态比较器的精度经常由输入参考失调电压所决定，包括静态失调和动态失调两部分。其中静态失调最重要的来源是晶体管的随机失配、工艺变量［3］。
ZHOU Wanxing1，2 ，LIU Yu1，2，3 ，WANG Yunfeng1，2，3

运动模糊图像的恢复技术研究

2021年第40卷第4期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)63DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)04-0063-03运动模糊图像的恢复技术研究**收稿日期：2019-09-27*基金项目：国家自然科学基金资助项目(61762067)陈英，洪晨丰(南昌航空大学软件学院，江西南昌330063)摘要：针对运动模糊图像的恢复，提出了基于生成式对抗神经网络(GAN)网络与FSRCNN网络的方案。

采用GoPr。

模糊图像数据集与DIV2K图像恢复数据集进行网络训练;通过图像处理对模糊图像进行规格化、归一化、色彩空间转换等预处理操作;利用GAN对模糊图像进行图像恢复,并结合FSRCNN针对模糊图像进行图像增强;针对GAN与FSRCNN的处理结果进行分析与对比，经由FSRCNN网络图像增强的恢复图像的峰值信噪比虽然有一定的下降，但结构相似度则得到了提升。

实验结果表明本文的算法方案具有较好的可行性。

关键词：生成式对抗神经网络；卷积神经网络；运动模糊；图像处理中图分类号：TP391.41文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2021)04-0063-03Research on restoration technology of motion blur imageCHEN Ying,HONG Chenfeng(School of Software,Nanchang Hangkong University,Nanchang330063,China)Abstract:An image restoration scheme based on generative adversarial networks(GAN)network and FSRCNN network for motion blurred images is proposed.GoPro fuzzy image dataset and lhe DIV2K image restoration dataset are used for network training・Image processing operation is used to normalize the fuzzy image,convert color space・GAN is used to restore lhe image of lhe blurred image,and the FSRCNN is combined to enhance the image for the blurred image・Processing results of GAN and FSRCNN are analyzed and compared.The peak signal-noise ratio of the reconstructed image enhanced by the FSRCNN network image has a certain decline・However,the structural similarity is improved・Experimental results show that the proposed algorithm has good feasibility.Keywords:generative adversarial networks(GAN)；convolutional neural network(CNN)；motion blur；image processing0引言计算机领域在近年来的急速进步与图像存储在日常生活中逐渐普及，焦距、相机抖动和目标物体的运动等因素都是图像模糊的原因，同样因为这些因素，导致了图像信息发生小不服或与空间的大面积退化，从而使图像信息存储与使用发生错误E。

MOEMS-2D扫描镜的研究进展

2016年第35卷第6期传感器与微系统（Transducer and Microsystem Technologies ）檸檸檸檸檸檸檸檸檸檸檸檸殠殠殠殠综述与评论DOI ：10．13873/J．1000—9787（2016）06—0001—03MOEMS 2D 扫描镜的研究进展马天义1，2，余跃1，2，许敬1，2，吴建东2（1．上海航天控制技术研究所，上海201109；2．中国航天科技集团公司红外探测技术研发中心，上海201109）摘要：微光电子机械系统（MOEMS ）扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势，在军民用多领域都有广泛的应用前景。

在分析MOEMS 扫描镜的分类方式的基础上，针对静电驱动中的微机械集成方式，展开框架式和无框架式两种MOEMS 扫描镜的工作原理的探讨，并给出了典型产品及系统应用，总结了目前在MOEMS 扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。

介绍了国内MOEMS 扫描镜的研究现状，并分析了与国外产品的差距。

关键词：微光电子机械系统；扫描镜；静电驱动；框架式中图分类号：TN 27；TN 249文献标识码：A文章编号：1000—9787（2016）06—0001—03Ｒesearch progress of MOEMS 2D scanning mirrorMA Tian-yi 1，2，YU Yue 1，2，XU Jing 1，2，WU Jian-dong 2（1．Shanghai Institute of Spaceflight Control Technology ，Shanghai 201109，China ；2．Infrared Detection Technology Ｒesearch ＆Development Center ，CASC ，Shanghai 201109，China ）Abstract ：Micro-opto-electro-mechanical system （MOEMS ）has wide application prospects in field of military and civilian due to its advantages of low cost ，low power dissipation and tiny package．On the basis of analysis on classification mode of MOEMS scanning mirrors ，frame and frame-less MOEMS scanning mirrors are disscussed for electrostatic-driven micromechanical integration types ，then typical products and its system application are introduced．Difficult problems in system application is summed．The research status of domestic MOEMS scanning mirrors is introduced ，as well as gap compared with foreign products is analyzed．Key words ：micro-opto-electro-mechanical system （MOEMS ）；scanning mirror ；electrostatic drive ；frame style引言微光电子机械系统（micro-opto-electro-mechanical sys-tem ，MOEMS ）是指利用微加工技术实现的微光机电器件与系统，系统中的微光学元件（如透镜、反射镜、光栅等）在微电子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、反射、衍射等控制作用，从而实现光的开关、衰减、扫描和成像等功能。

电子通信计算机类核心期刊大全及其审稿周期和相关费用

CSCD收录：
1、计算机工程0.5
2、电子学报
3、电子信息学报
4、计算机工程与应用0.487
5、传感器与微系统0.4(审稿7天，500元/页）
6、传感技术学报(无审稿费，版面费900元，6个月发稿周期）
7、测控技术0.358(审稿30天，600元/页）
8、通信学报(约3个月审稿费: 约300元/篇版面费: 约300元/页）
9、微电子学与计算机0.635
10、高技术通信
11、计算机工程与科学0.327
12、计算机学报1.596
13、计算机研究与发展
14、系统工程与电子技术
15、信息与控制0.464
16、计算机工程与设计0.598
17、电路与系统学报0.243
ห้องสมุดไป่ตู้
EI:
1、西安电子科技大学学报
2、北京邮电大学学报
3、电子与信息学报
4、电子学报
5、通信学报
6、电子科技大学学报
7、计算机学报
8、计算机研究与发展
9、控制理论与应用
10、系统工程与电子技术
11、高技术通讯
12、中国激光

旋转式MEMS惯性导航系统的发展及应用

2021年第40卷第6期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)5DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)06-0005-03旋转式MEMS惯性导航系统的发展及应用*王思远，罗世彬(中南大学航空航天学院，湖南长沙410086)摘要：旋转调制技术通过将惯性导航系统进行周期性的旋转,可以有效地补偿惯性传感器的常值误差，提高导航精度，因此在近些年得到广泛关注。

对比分析了微机电系统(MEMS)惯性导航系统以及旋转调制技术的国内外发展现状;阐述了MEMS旋转调制方案设计的关键点及发展方向。

关键词：微机电系统惯性导航系统；旋转调制；惯性导航系统；误差补偿中图分类号：TP212；U666.1文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2021)06-0005-03Development and application of rotary MEMS inertialnavigation system"WANG Siyuan,LUO Shibin(School of Aeronautics and Astronautics,Central South University,Changsha410086,China)Abstract:Rotation modulation technology can effectively compensate the constant error of the inertial sensor andimprove the navigation precision by periodically rotating the inertial navigation system・Therefore,it has receivedextensive attention in recent years・The domestic and foreign development status of micro-electro・mechanicalsystem(MEMS)inertial navigation system and rotation modulation technology are compared and analyzed.The keypoints and development direction of MEMS rotary modulation scheme design are described.Keywords:micro-electro-mechanical system(MEMS)inertial navigation system；rotational modulation；inertialnavigation system；enor compensation0引言惯性导航技术由于其具有自主性、全天候、抗干扰等特点，而成为众多导航技术中可实现自主导航的一种最重要的技术手段o由于微机电系统(micro-eleclro-mechani-cal system,MEMS)惯性传感器具有成本低，体积重量小,强抗冲击及功耗低等优点，在惯性导航领域中发挥着重要作用。

传感器与微系统小木虫点评

传感器与微系统小木虫点评传感器与微系统（SensorandMicrosystems）是一门深入研究物理、化学和生物学原理，并利用此原理设计和制造各种传感器和微系统的学科。

它的研究领域可以分为传感器的设计、制造、功能评估，以及微系统的构成和应用等。

传感器是物理、化学、生物学原理的实现，是观测和采集环境的特征的重要工具，能够以各种方式检测物理量（光照、温度、压力、磁场、电场）、化学量（pH、浓度）和生物信号（心电、呼吸、血压），并将其转换成电信号或者计算机可以读取的其他数据。

微系统研究则是将传感器和其他电子元件（如模数转换器、微处理器、存储器和无线通信技术）集成到小型实时系统中，以获得更好的性能、可靠性和低功耗。

小木虫（小Muchens）是一款多功能传感器和微系统模块，可以实时监测和报告物理、化学和生物信号。

它具有低功耗、低成本、小尺寸和高灵活性等特点，并且具有良好的接口性能，可以轻松连接到手机、电脑等。

小Muchens采用芯片结构，具有可编程、可重编程、芯片可读取数据，实时监测室内温度、湿度、空气质量等功能，具有强大的扩展性；可以配备电源模块、手机连接模块、Wi-Fi模块，还可以兼容手机平台，可与家庭智能化设备无缝对接。

另外，它还可以检测声音、磁场、电场和电流，实现物联网设备的智能管理。

小Muchens的优势在于，它能够提供准确、实时且高可伸缩性的传感和微系统解决方案，满足家庭智能化、工业控制和教育行业等多种应用场景的需求。

尤其是它支持多种传感器和微系统元件，可以实现家庭智能化应用，如室内温度湿度检测、家庭安防系统、节能监测和灯光控制等，可以大大提高生活质量。

总之，小Muchens的多功能传感器和微系统模块给我们生活带来了更多的便利，可以有效满足家庭智能化、工业控制和教育行业等多种应用场景的需求，是一款小而精悍的模块。

传感器与微系统版面费

传感器与微系统版面费传感器与微系统版面费：传感器与微系统版面费根据年份的变化，其实所涉及到的价格浮动也在变化，请及时咨询我们的在线客服，获得最新的消息!论传感器与微系统收取版面费的不违法性与合理性版面费,亦称发表费、注册费等,就是发表论文向出版者交纳的一定费用,其并无严密的定义。

在我国,学术期刊收取版面费源于20世纪80年代末,时至今日,99%的学术期刊都收版面费[1],或者说学术期刊收取版面费这种现象非常普遍,社会影响面很大。

版面费从问世之日起就备受关注和饱受争议,到底应不应该收版面费,仁者见仁,智者见智,人们对此讨论或争论不绝于耳,而近几年更趋于白热化,相关的文章也屡屡见诸报刊。

有人说事物存在的就是合理的,尽管这种说法有几分偏激,而且合理的并不一定就是不违法的。

但学术期刊收取版面费毕竟事出有因,从法规和情理上客观、公正、真实地辩析一下这个“因”还是十分必要的。

一、学术期刊收取版面费不具违法性根据《中华人民共和国著作权法》(以下简称《著作权法》)规定,著作权人具有发表权等17项人身权和财产权。

出版自由,是《宪法》赋予每一位公民的一项基本政治权利,作品的发表与否取决于著作权人。

著作权人要公开发表其作品,由于自身不具备出版资格和资质,自然是无法独立行使发表权这项权利的。

传感器与微系统近期发表论文目录：综述与评论(1)用于智能纺织品的柔性传感器研究进展马艳丽;刘茜;刘玮(4)油液在线监测技术研究进展邱丽娟[1,2];宣征南[2,3];张兴芳[1]研究与探讨(8)水听器一致性对材料声反射系数全息反演精度的影响肖妍[1,2];商德江[1,2](12)基于三维成像声纳技术的AUV前视避障方法陈文渊;沈斌坚(16)基于ELM的航空发动机传感器故障诊断方法研究王雷[1];沈龙云[2];孙毅刚[3](19)基于数字工业摄像的非接触扭矩传感测量研究资新运;耿帅;赵姝帆;张鹏;庞海龙(22)灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究李策[1,2];石云波[1,2];刘欣[1,2](27)基于光纤辐射效应的温度传感器工作波长研究金靖;侯云霞;刘纪勋(30)基于信号嫁接技术的IMU导航性能评估方法高琳;班亚龙;牛小骥(34)WSNs断网情况下汇聚点选取与优化研究迟百川[1];曹江涛[1];张一[1];耿立群[2](38)基于PVDF传感器的阶梯梁实验模态分析钟海彬;毛崎波(42)基于特殊形貌NiO电极的混合电位型C3H6传感器研究孙寿通;金涵;洪磊;龚雪飞;简家文(45)高灵敏度SAW纱线张力传感器研究雷冰冰;卢文科;赵春锋(49)基于线阵光电探测器的FBG传感解调算法分析李舒君;祝连庆;张荫民;刘峰;娄小平(52)无线传感器网络节点分布与定位性能之间的关系分析张永强;张巧荣(56)基于RAP的垂直线列阵时反定位研究王鸿吉;韩建辉;杨日杰设计与制造(59)高性能LTCC高温压力传感器的制备纪夏夏[1,2];罗涛[1,2];谭秋林[1,2];刘文怡[1,2];熊继军[1,2](62)基于Xtion传感器的玉米果穗三维形态指标测量系统王可[1];戈振扬[1];郭浩[2];张皓然[1];陈林[1];全天惠[1](66)基于WSNs与LabVIEW的扭矩测试系统设计蔡春丽;柴寿臣;李宝生(69)基于M-Rife算法的振弦式传感器精确测频系统设计何华光[1];谢忠杰[1];谭柳丹[1];谢开仲[2](72)一种智能纸张厚度计设计王曙光;唐浩漾(75)基于物联网的滑坡自动远程监测预警系统设计郭华[1];于胜文[2](78)基于双闭环结构的时栅转台自动标定系统设计张天恒[1];黄奔[1,2];王阳阳[1];高忠华[1];郑方燕[1](81)水质监测无线传感器网络的硬件设计闫宏浩;陈天华(85)一种适用于近海环境监测的WSNs节点设计方法袁红春;汪辰;梅海彬(89)饮用水溴离子浓度测量装置数据采集系统设计潘凯[1];朱名日[2];姚鑫[1];刘文彬[1];郑丹平[3];周光祥[2](92)一种便携式室内空气质量快速检测仪设计郭威彤;宋海声;杨鸿武;裴东(95)随钻测量用微小型惯性测量单元设计程世超;高爽;林铁;徐美宝;郝澄(99)基于STM32的高精度扭矩测量系统设计王金全;王小鹏;于挥(102)基于无线MEMS传感器的晶圆传输振动监测系统设计廖清远;叶柏龙(105)NiCrAlY薄膜应变计的研制张洁;杨晓东;蒋书文;蒋洪川;赵晓辉;张万里(108)基于WMSNs的图像数据传输系统设计与实现张伏;刘红梅;张亚坤;王俊;邱兆美计算与测试(111)基于概率阈值通信感知的WSNs目标跟踪算法沈才樑[1,2];杜焕强[2](115)基于无线传感器网络的自适应声源定位算法张秀;申晓红;闫永胜;王海燕(119)一种基于MCB的自适应和声搜索定位算法孙崇;孙子文(123)基于UKF区域交叉定位的WSNs Sink节点动态跟踪算法姚依翔[1,3];谢俊元[1,2](127)基于WSNs的无线层析成像定位算法的改进王满意;丁恩杰(130)基于卡方拟合度的无线传感器网络数据复原汇聚方法孔贵琴;李智(134)基于移动节点的无线传感器网络覆盖空洞修复方法王珊;王庆生;樊茂森(137)基于速龙码的WSNs传输功率控制重编程协议黄嵩;沈重(140)基于事件驱动保持网络连通性的WSNs路由协议吴玉成;张丽玲;胡真;付红玉(144)一种基于模糊逻辑的自适应信标交换算法李玉龙;戚云军;张衡阳应用技术(148)Adaboost集成BP神经网络在传感器阵列检测系统中的应用洪磊;龚雪飞;孙寿通;简家文(151)下穿高压输电塔大跨度隧道结构监测中传感器的应用晏莉[1];张震[2];阳军生[3](155)分布式光纤测温技术在冻结修复工程中的应用郑晓亮[1];胡业林[1];沈华军[2];谢鸿志[3];豆安峰[2];于紧昌[3](158)分布式累加梯度算法在目标定位问题中的应用王栋[1];王永丽[1];贺国平[2]特别说明：本网站内容都来源于互联网，供浏览者学习、欣赏，使用原则非商业性或非盈利性用途，使用者不得侵犯本网站及相关权利人的合法权利。

一种实时的无线高速视频眼震追踪系统

接收眼震视频，进行基于暗瞳的实时眼震追踪算法分析获取眼震信息。在视频分辨率、帧率对系统精度的
影响与不同传输方式的抗干扰能力，实验结果表明: 提出的高速视频眼震分析系统精度高、抗干扰能力强，
能准确获取眼震轨迹，为疾病的诊断奠定了基础。
关键词: 良性阵发性位置性眩晕( BPPV) ; 红外成像; H． 265 编码; 5 GHz WiFi; 眼震追踪
力不足的问题，提出了一种实时的无线高速视频眼震追踪系统。基于 AＲM Cortex-A7 构架和最新5 G WiFi
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
模块设计了高速无线传输的核心控制板，使用 MIPI 相机接口保证了视频的高速采集，采用 H． 265 高性能
编码技术实现视频的无损压缩，通过ＲTSP 实时网络传输协议完成无线传输网络构建，终端通过无线网络
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传感器与微系统( Transducer and Microsystem Technologies)
2019 年第 38 卷第 7 期
DOI: 10． 13873 / J． 1000—9787( 2019) 07—0082—04
一种实时的无线高速视频眼震追踪系统*
杨海清1 ，何力1 ，田聪聪2 ，袁刚2 ，刘兆邦2 ，杨晓凯3
Abstract: Aiming at the problem of low resolution，low frame rate，and lack of anti-jamming capability of videonystagmography in benign positional parsmal vertigo ( BPPV) diagnosis，a real-time wireless high-speed videonystagmography tracking system is proposed． The system constructs the core control board which can realize highspeed wireless transmission based on AＲM Cortex-A7 architecture and 5G WiFi module，use MIPI camera interface to ensure high-speed video acquisition，using H． 265 high-performance coding technology to achieve video lossless compression，completing the construction of the wireless transmission network through the real-time ＲTSP network transmission protocol，the terminal receives the nystagmus video through the wireless network，and performs the real-time nystagmus tracking algorithm analysis based on the dark pupil to acquire the nystagmus information． The effect of video resolution and frame rate on system precision and anti-jamming ability of different transmission modes are tested． The experimental results show that the proposed high-speed video-nystagmography tracking system has high precision and strong anti-interference ability，and can accurately obtain nystagmus trajectory，which lay the foundation for the diagnosis of the disease． Keywords: benign positional paroxysmal vertigo ( BPPV ) ; infrared imaging; H． 265 code; 5 GHz WiFi; nystagmus tracking

基于多电导式流速测量传感器的河流流速流量测量系统

2021年第40卷第4期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)93DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)04-0093-03基于多电导式流速测量传感器的河流流速流量测量系统张永超J赵录怀蔦李斌I(1-西安交通大学城市学院，陕西西安710018；2.西安交通大学电气学院，陕西西安710048)摘要：设计了基于多电导式流速测量传感器的河流流速测量系统。

系统包括多电导式流速测量传感器、滤波调理电路、现场可编程门阵列(FPGA)及显示器。

经试验验证:该系统对河流流速测量误差小于4%，表明该系统测量准确。

利用该系统测量出河流过水断面上不同深度点的流速和该点河流相应部分的断面面积相乘可计算出该部分流量，不同深度流量的和即为全断面的流量。

关键词：河流流速测量；河流流量测量；多电导式流速测量传感器；现场可编程逻辑门阵列中图分类号：TV143；TP212文献标识码：A文章编号：1000-9787(2021)04-0093-03River flow velocity and flow measurement system based on multi-conductance flow velocity measurement sensorZHANG Yongchao1,ZHAO Luhuai2,LI Bin1(1.Xi?an Jiaotong University City College,Xi'an710018,China；2.School of Electrical Engineering,Xi'an Jiaotong University,Xi?an710048,China)Abstract:A river flow velocity measurement system based on multi-conductance flow velocity measurement sensoris designed.The system consists of a multi-conductance velocity measurement sensor,a filtering and conditioningcircuit,a field programmable gate array(FPGA)and a display.The experimental results show that the measurementerror of the system is less than4%,which indicates that the system is accurate and reliable.The system can beused to measure the flow velocity at different depth points on the river cross-section and multiply the cross-sectionarea of the corresponding part of the river to calculate flow of the part・The sum of the flow volume at differentdepth is the flow of the whole section.Keywords:river flow velocity measurement；river flowmeasurement sensor；field programmable gate array(FPGA)0引言河流流速流量测量是水文工作中的重要内容,是水情监测及预报、水动力研究、防洪工程设计论证、生态环境评估等工作中必不可少的基础环节山。

Te半导体纳米材料气体传感器研究进展

2021年第40卷第5期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)1DOI:11.11873/J.1102-9787(2021)25-0021-04彳综述与评论Te半导体纳米材料气体传感器研究进展杨永超1,2,刘玺1刘继江1刘志远1刘洋1（.中国电子科技集团公司第四十九研究所，黑龙江哈尔滨150028；2.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，黑龙江哈尔滨150005）摘要：碲（Te）独特晶体结构易形成低维度纳米材料，如纳米管、纳米棒、纳米片等，低维度纳米材料可有效提升材料气敏性能;Te具有高的载流子迁移率、带隙可调节、环境稳定等优点，作为气体传感器敏感材料得到一定关注。

结合Te,二氧化碲（TeOi）,Te/单壁碳纳米管（SWCNT）复合纳米材料制备方法、结构特征，讨论Te基纳米材料气体传感器研究进展。

关键词：碲（Te）纳米材料；二氧化碲（Te（O）；碲-单壁碳纳米管（Te/SWCNT）；气体传感器中图分类号：TP211文献标识码：A文章编号：102-9787（2021）25-0021-04Reseerch progress of Te semiconductor nano-material gas seesors YANG Yoggchns1，,LIU Xi1,LIU Jijing1,LIU Zhiysno1,LIU Yano1(1.The49th Reseerch Institote of Chiaa Electronics Technology Group Corporction,Harbia150028,China；2.College of Material Scieeco and Enyiaeeriny,Harbia Institote of Technolooy,Harbia150001,China)Abstroct:The uuiyue crystal structure of Te ic easy te form low-dime/siosoO oanomaterialo)such nt naootubes,naoowires,naoosheets,etc,low-dice/siogO nano materials can improve the gns-se/sino progerties of materials.Tehns aavantaaes of high carriee mobility‘anjustable band gap,and e/viroome/t stabmty,and have attracte/certainatte/tiov ss10se/sors se/sitive binino the preparatiov methobs and structurai characteristics ofcomposite nanomaterials of Te,TeOi,Te/sinole-wallee carUon SWCNT),the research prooress of Te-based nanomaterials ras se/sors is dischsse/.Keywords：Te nano-mateUai；TeO?;Te/SWCNT；ras se/sors0引言半导体材料作为气体传感器敏感材料得到广泛研究。

《传感器与微系统》投稿指南

《传感器与微系统》投稿指南汉思期刊网提供1投稿方式请通过E-mail:st_chinasensor@进行投稿。

2编辑时限审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。

排版格式为word2003/2007均可，文中的插图望采用位图格式（扩展名为.tif），不要附加路径名，压缩时用winrar。

论文可不分栏。

作者联系方式附在论文后面。

3.1题名中文题名不应超过20个汉字。

并应译成相对应的英文题名，英文题名仅仅第一单词的第一字母大写。

题名中应避免使用非公知共用的缩略语。

3.2作者及工作单位1）中国作者的英译名用汉语拼音，姓氏字母均大写；名字首字母大写，双名中间加“－”。

不同工作单位的，在姓名的右上角，加注阿拉伯数字序号，中间用“，”隔开。

还应在邮编之后加“，China”。

3.3摘要1）中文摘要为150～300字。

摘要的内容应包括目的、方法、实验结果和结论；综述性、评论性文章可写指示性摘要。

摘要中不应出现“本文、我们、作者”之类的词语。

2）英文摘要必须与中文摘要一一相对应，准确译出。

基于MLX90620的低成本红外热成像系统设计

基于MLX90620的低成本红外热成像系统设计杨风健;刘军;貌程浩;霍旭阳;彭成【期刊名称】《传感器与微系统》【年(卷),期】2015(034)011【摘要】开发了一种基于非制冷红外焦平面阵列的红外热成像系统.为降低成本,系统选用具有16 pixel ×4 pixel输出像素的红外焦平面阵列探测器MLX90620进行红外辐射强度探测.为获得高分辨率、高质量的红外图像,提出一种将多项式插值与双线性插值相结合的算法,先利用多项式插值提升热像分辨率至64 pixel×16 pixel,再通过双线性插值算法扩充分辨率至256 pixel ×64 pixel,对人体进行热成像实验表明:该算法在提高图像分辨率的同时,保留了更多的细节信息.【总页数】4页(P109-111,115)【作者】杨风健;刘军;貌程浩;霍旭阳;彭成【作者单位】杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州310018;杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州310018;杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州310018;吉林医药学院公共卫生系,吉林吉林132013;杭州电子科技大学电子信息学院,浙江杭州310018【正文语种】中文【中图分类】TN216【相关文献】1.基于红外热成像技术的在线扫描测温系统设计 [J], 唐华明;许博文;王斐2.基于Linux的嵌入式红外热成像系统设计 [J], 李建寰;魏佳杰3.基于Windows CE的嵌入式红外热成像系统设计 [J], 李建寰;郭晓金4.低成本红外热成像系统研制 [J], 王雪楠;毛杰;李佳瑶;崔笑宇;;;;5.基于SOPC的红外热成像系统设计与实现 [J], 钟海林;杨粤涛;王鑫;曹峰;王涛;李桃因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。