清洗制绒作业指导书

清洗制绒生产

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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
（2）.湿法腐蚀制绒面
.各向异性腐蚀（碱腐蚀）单晶硅电池的绒面通常是利用某些化学腐蚀剂对硅片表面进行腐蚀而形成，常用腐蚀剂一般分为两类：一类是有机腐蚀剂，包括EPW（乙二胺、邻苯二酸和水）和联胺等；另一类是无机腐蚀剂，包括碱性腐蚀液，如KOH、NaOH、LiOH、CsOH和NH4OH等。
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
1.去除损伤层
多线切割的硅片机械损伤层大概有10um左右，光伏企业一般采用NaOH溶液在80~90℃温度腐蚀数分钟来除去晶体硅片表面的机械损伤层，如图3-1所示。
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
硅片
机械损伤层（10微米）
采用NaOH溶液腐蚀去除
图3-1 去除硅片损伤层示意图
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清洗制绒生产
目录
任务1.认识硅片的清洗制绒任务2.单晶硅清洗制绒流程任务3.操作清洗制绒机任务4.清洗制绒生产任务5.操作甩干机任务6.使用D8积分反射仪检测硅片
2
项目目标
1.知道硅片清洗制绒原理。 2.掌握清洗制绒的流程。
3.会操作清洗制绒生产设备。
3
项目描述
硅片清洗制绒的主要目的是去除硅片表面的损伤层及在硅片表面制成绒面。本项目的学习是让同学们掌握硅片清洗制绒的流程、清洗制绒机的操作、甩干机的操作、金相显微镜和D8积分反射仪和电子天平的操作。
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
（2）.湿法腐蚀制绒面
.各向同性腐蚀（酸腐蚀）多晶硅表面的晶向是随意分布的，因此碱溶液的各向异性腐蚀现象对于多晶硅来说并不理想，而且由于碱性腐蚀液对多晶硅表面不同晶粒之间的方向速度不一样，会产生台阶和裂缝，不能形成均匀的绒面。酸腐蚀法的工作原理也是利用某些化学腐蚀剂对硅片表面进行腐蚀而形成绒面，常用一定比例的HF和 HNO3的酸混合液。这种腐蚀对硅的不同晶面有相同的腐蚀速度，因此也称各向同性腐蚀法。

作业指导书-制绒清洗

2.3.7预清洗槽、HF、HCL槽必须在做满15000片进行药液更换。
2.3.8制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表每个槽生产批次及停止生产时间记录表。
2.3.9当发现单面刻蚀深度低于8μm或高于13μm时，应及时调整该槽中KOH的加入量，通常以0.1L为单位。
4.5发现工艺槽槽体及液体颜色出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。
4.6不允许将片盒或篮ຫໍສະໝຸດ 直接放在地面上并与金属直接接触。4.7每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。
4.8每批测量3片硅片来检查腐蚀厚度，第一片架的第5片，第二片架的第55片，第三片架的第95片。
4.9在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水枪清洗干净即可。
3.2工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/昵绒手套。
3.2材料：硅片、NaOH、HF、HCL、IPA、DI水。
4.注意事项
4.1检查制绒质量，观察是否出现异常,详细参照代表性样品。若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在WI规定范围内做调整（见2.2.8）整，问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。
2.3.2每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。
2.3.3如果中间停止生产45分钟的话，制绒槽中加入IPA1.3 L，KOH补0.8 L。
2.3.4如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入IPA1.7 L,KOH补0.8 L。
作业指导书
制绒清洗
文件号：YLOT-OI-S5D65-TEX
版本：2011.001（试行）
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审核
标准化

清洗制绒设备操作规程

RENA制绒设备操作规程v09.10.01序言为更好地加强制绒设备生产与维修，保障设备开机效率以及设备完好状态，结合制绒使用说明书及车间使用经验，特制订编制本手册，以达到操作标准化为目的，同时为设备队伍的培训提供教材参考。

凡操作人员必须经过培训，且熟练掌握设备操作规程，方可对设备进行操作!目录一、目的二、适用范围三、主要技术性能四、结构特征五、使用前的准备六、设备的操作七、更换化学药品时的安全操作规范八、安全操作规范九、设备常见故障及简单解决方法十、操作和维护注意事项及维护表十一、常用化学药品特性及处理预案十二、安全标识一、目的：硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚的损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经不同，基本上已经剥离于集体，会严重影响半导体器件（太阳电池）的性能。

清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提高太阳电池的转换效率。

二、适用范围：RENA Inline Texture Etching060309------CSC05(100MW车间制绒北侧设备) RENA Inline Texture Etching060308------CSC06(100MW车间制绒中部设备) RENA Inline Texture Etching060310------CSC07(100MW车间制绒南侧设备) 三、主要技术性能：1、使用环境条件a) 环境温度：0 ℃～40 ℃ b) 相对湿度：＜85%、无凝露 c ）周围环境：无腐蚀性气体 2、附属设施消耗电池车间 100MWp 制绒工序基础设施消耗设备名称数量连接功率kW 额定功率kW 纯水L/M冷却水L/M 压缩空气L/M废水排放L/M 废气排放m3/h 电压V 单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计5道硅片清洗机 2 380五线 19.539 19.5 39 20 40 43 86 3683 7366 DN50DN40 DN20 4670 93408道硅片清洗机1 380五线32 32 32 32 30 30 43 86 5883 5883 DN50DN40 DN207140 7140四、结构特征：上图为RENA Inline Texture Etching060309设备外形Station1: 腐蚀槽 Station5：HF/HCL 润洗Station2：冲洗1槽 Station6: 冲洗3槽Station3：KOH润洗 Station7: 气刀风干Station4：冲洗2槽RENA Inline Texture Etching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH 润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。

清洗制绒操作规程

清洗制绒操作规程1.目的为规范清洗制绒的操作流程，正确的、有效的、高效的进行生产，特制定本规程。

2.适用范围上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的清洗车间。

3.职责3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗，在进行操作之前，务必仔细阅读本规程。

3.2熟练掌握每道操作步骤的注意点，精确掌控每道操作步骤的时间。

3.3严格根据本规程对化学品进行合适的操作。

4. 定义4.1生产车间只负责按规程操作，没有改动化学品含量的权利4.2对于生产过程中需要改变的参数，必须经由技术部门的授权。

5. 程序5.1将各槽注满去离子水，打开控制柜上的电源开关，打开1、3、5、7、15槽的加热开关，打开3、5、7槽的循环泵开关。

5.2将硅片插入花篮，插片时若发现硅片外观不良的挑出，插完一篮后扣好档条、夹上夹子。

5.3在10槽前槽加入规定量的柠檬酸，用玻璃棒搅拌直至其完全溶解。

5.4待3槽水温达到50℃后，在后槽加入规定量的氢氧化钠。

5.5待5槽水温达到60℃后，在后槽加入规定量的氢氧化钠。

5.6将四篮硅片放入1槽内进行超声波清洗。

花篮在槽内遵循先进先出原则。

5.7将硅片放入2槽进行超声波漂洗。

5.8开启鼓泡开关，氮气流量大小应适中。

5.9将硅片放入3槽进行去损伤，从冒泡反应起开始计时。

5.10将硅片拿出迅速放入4槽进行漂洗。

5.11在5槽后槽加入规定量的异丙醇，10分钟后将4槽的硅片放入5槽进行制绒。

5.12将硅片拿出迅速放入8槽进行漂洗。

漂洗结束后，取出1~2片观察绒面情况。

5.13将硅片放入9槽进行漂洗。

5.14打开10槽的超声波电源开关，将硅片放入10槽进行超声波酸洗。

5.15打开11槽的超声波电源开关，将硅片慢慢从10槽拿出，放入11槽进行超声波漂洗。

5.16将硅片放入13槽进行漂洗。

5.17将硅片放入14槽进行漂洗。

5.18开启15槽前槽注水开关，待前槽水量约有3/4时将硅片放入15槽进行切水，切水时取下夹子。

5.19将硅片放入烘箱内烘干。

1.RENA制绒工序作业指导书

文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。

2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。

3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。

3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。

3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。

4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。

4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。

4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。

4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。

4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。

4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。

4.7产线异常控制作业指导书，见21页。

4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。

5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。

6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。

6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。

制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。

2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。

清洗作业指导书

清洗作业指导书标题：清洗作业指导书引言概述：清洗作业指导书是指导清洗工作的操作手册，其中包含了清洗的流程、方法、注意事项等内容。

制定一份清洗作业指导书能够匡助清洗工作更加规范、高效，确保清洗效果达到预期。

一、清洗作业指导书的重要性1.1 提高清洗效率：清洗作业指导书明确了清洗流程和方法，能够匡助清洗人员快速高效地完成工作。

1.2 保证清洗质量：指导书中包含了清洗的注意事项和细节要求，能够确保清洗质量达标。

1.3 提升工作安全性：清洗作业指导书规范了清洗操作步骤，减少了操作失误的风险，提升了工作安全性。

二、清洗作业指导书的内容2.1 清洗流程：指导书中应包含清洗的具体流程，包括准备工作、清洗步骤、清洗剂选择等。

2.2 清洗方法：指导书中应详细描述清洗的方法和技巧，如擦洗、浸泡、喷洒等。

2.3 注意事项：指导书中应列出清洗中需要注意的事项，如防止交叉污染、注意安全防护等。

三、制定清洗作业指导书的步骤3.1 调研：首先需要对清洗对象进行调研，了解清洗的难度和要求。

3.2 制定流程：根据调研结果，制定清洗的具体流程和方法。

3.3 审核：清洗作业指导书需要经过相关部门的审核，确保内容准确、可行。

四、清洗作业指导书的更新与维护4.1 定期检查：清洗作业指导书需要定期检查更新，及时修订内容。

4.2 培训：清洗人员需要接受相关培训，熟悉清洗作业指导书的内容和要求。

4.3 反馈：清洗人员在实际操作中遇到问题，应及时反馈并修订指导书。

五、清洗作业指导书的实际应用5.1 提高效率：清洗作业指导书的实际应用能够提高清洗效率，节省时间成本。

5.2 保证质量：指导书的应用能够保证清洗质量，降低质量风险。

5.3 提升安全性：清洗作业指导书的应用能够提升工作安全性，减少事故发生的可能性。

结语：清洗作业指导书是清洗工作的重要工具，制定和遵守指导书能够提高清洗效率、保证清洗质量，同时提升工作安全性。

希翼清洗单位能够重视清洗作业指导书的制定和应用，确保清洗工作顺利进行。

RG-2011-ES-001制绒机作业指导书

清洗机作业指导书文件编号:制绒清洗机作业指导书编制：审核：批准：文件批号：高平市融高太阳能开发有限公司清洗机作业指导书文件编号:作业指导书一、目的本程序为清洗工序的生产作业提供文件化的标准作业指导。

二、适用范围本程序规定适用于清洗工序所有操作人员（包括班组长等）的作业流程。

三、职责1、让使用本台机器的所有操作人员都熟悉操作，尽量减少操作失误。

2、清洗工序的相关操作人员要严格按照该程序操作。

工艺人员和班组长管理人员对该工序的生产操作行使管理和监督职能。

四、作业程序简介:该全自动17槽制绒清洗机控制系统采用PLC和人机界面相结合组成，利用触摸屏提供友好的人机操作界面，监控画面按清洗工艺流程设计，对清洗过程实现全自动监视与控制。

㈠、指示灯及操作面板控制器件的含义、功能1.1 三色指示灯黄色：原点指示灯。

绿色：运行指示灯。

红色：故障指示灯。

1.2 ‘自动/手动’开关：自动/手动切换。

‘停止’开关：按下时，机械手完成步骤后，整机停止运作。

‘蜂鸣器停止’开关：按下时，可停止当前正在鸣响的报警。

‘紧急停止’按钮：按下时，整机立即停止运作，不能启动，动力电源被切断，同时红灯闪烁报警。

㈡、触摸屏画面介绍1 、通用现象：1.1 画面中控件检测由其它色变为绿色（或从无显示变为绿色显示），表示该位检测有效。

清洗机作业指导书文件编号:1.2 上下马达条处闪动，表示该设备正在动作。

1.3 画面右上角（或底部）“主菜单”按钮，为画面间切换按钮。

2、主菜单画面说明：此画面共分三个子菜单，分别为〈手动控制菜单〉〈实时监控〉〈参数设置〉，触摸子菜单中的各个子按钮，可进入相应的操作界面。

3、系统启动画面说明：此画面为整机自动启动及相关重负载启动监控界面！当需要自动启动时，按如下步骤进行操作：1）将手/自动转换开关打到手动状态。

2）按住回原点按钮1秒钟以上，系统将自动回原点，等到按钮后显示“OK”字样时，表示回原点完成。

3）回原点完成后，将手/自动转换开关打到自动，再按自动启动，按钮后即出现“OK”字样，表示整机已处于自动状态。

织物清洗与消毒管理作业指导书

织物清洗与消毒管理作业指导书
一、收集与暂存
1．污染的窗帘、床单、被服、工作服(以下统称为织物)应分类收集，并打包后方可在院内外运送。

2．收集人员严禁在病区内进行逐件清点与清
理，应尽量减少对污染织物的抖动行为。

防止织物
上病原微生物向周围环境扩散。

3．包装污染织物的袋子，应采用不宜渗漏液体、便于清洗的可反复使用的材质制作。

严禁采用污染
的床单等污染物来包裹。

4．包装袋外层应有醒目的污染织物专用的字
样，如污染被服袋、污染工作服袋。

清洗作业指导书

清洗作业指导书一、背景介绍清洗作业指导书是为了确保清洗工作的高效进行而制定的一份详细指导文件。

清洗是指通过物理或化学手段将设备、工具、器具等表面的污垢、油脂、细菌等有害物质去除，以保持其良好的卫生状态。

清洗作业的规范化和标准化对于保证产品质量、提高工作效率和保障员工健康至关重要。

二、目的和范围本清洗作业指导书的目的是确保清洗工作的规范化进行，提供清洗工作的具体步骤和要求，以及相关的安全注意事项。

本指导书适用于所有需要进行清洗作业的场所和设备。

三、清洗作业的步骤1. 准备工作a. 确保清洗工作所需的设备、工具和清洗剂齐全，并进行检查和测试。

b. 确定清洗作业的时间和地点，做好相关的安全防护措施。

c. 对清洗区域进行清理，确保无杂物和障碍物。

2. 清洗前的准备a. 对待清洗的设备进行检查，确保其处于停机状态，并断开电源。

b. 将需要清洗的部件进行拆卸，并按照规定的程序进行分类和标记。

c. 清洗前对设备进行预处理，如去除大块污垢、油脂等。

3. 清洗操作a. 根据清洗剂的种类和使用要求，选择合适的清洗方法，如浸泡、刷洗、喷洒等。

b. 按照清洗剂的使用说明进行配制和使用，确保使用浓度和温度符合要求。

c. 使用合适的工具和设备进行清洗，注意清洗力度和角度，避免对设备造成损坏。

d. 对清洗过程中产生的废水和废液进行妥善处理，遵守环境保护的相关法规和要求。

4. 清洗后的处理a. 清洗完成后，对清洗过的设备进行检查，确保清洗效果符合要求。

b. 对清洗过的部件进行分类和标记，便于后续的组装和使用。

c. 对清洗工具和设备进行清洁和维护，确保其正常运行和延长使用寿命。

d. 清洗区域的清理和整理，确保无残留物和杂物，保持卫生和安全。

四、安全注意事项1. 在清洗作业过程中，必须佩戴个人防护装备，如手套、护目镜、口罩等。

2. 使用化学清洗剂时，应注意其毒性和腐蚀性，避免直接接触皮肤和眼睛。

3. 在清洗作业时，严禁吸烟、使用明火和产生火花的工具。

清洗制绒

清洗制绒SOP1.开机：1.1开启总电源，打开排风开关。

1.2开启烘干炉电源及面板上开关，打开加热开关。

1.3开启清洗制绒机器电源开关及面板上开关，并打开3#.5#.7#槽相应的加热开关，将15#后槽注入水后打开15#加热开关。

1.4开启去磷硅玻璃机器电源开关及面板上开关，并将4#后槽注入水后打开4#加热开关。

1.5开启石英管清洗机面板上电源开关。

2. 关机：2.1关闭石英管清洗机面板上电源开关。

2.2关闭去磷硅玻璃机器电源开关及面板上开关，并关闭4#加热开关将4#中的水排干。

2.3关闭清洗制绒机器电源开关及面板上开关，关闭15#后槽加热开关并将水排干。

2.4关闭烘干炉面板上电源开关及加热开关，然后关闭机器电源开关。

2.5最后关闭总电源及水的阀门。

3．注意事项：3.1清洗制绒机器3#.5#.7#槽加热前应注意后槽水位，不足应及时补满，10#柠檬酸应时常用PH试纸测试溶液浓度是否达到相应要求。

3.2去磷硅玻璃机器第1#槽氢氟酸也应时常测试浓度是否达到相应要求。

3.3石英管清洗机内氢氟酸也应时常测试溶液浓度是否达到相应要求。

1. 准备工作：1.1穿好工作衣，工作鞋，带好工作帽，隔热手套及口罩。

1.2清洁车间的每个地方，用干净的抹布将机器表面的NaOH擦洗干净。

2. 操作过程：清洗制绒机器：2.1将每日领来的片子插入花篮中待水和溶液浓度到达相应要求后将装有片子的花篮放入1#内用超声波清洗并开启鼓泡开关，1#至14#按要求清洗。

2.2呆花篮中片子到15#槽开启15#槽切水开关，并按要求进行切水。

2.3将切完水的片子拿到烘干炉中烘10分钟。

2.4将烘干的片子取出通过传递窗送到下一道工序。

去磷硅玻璃机器：2.1将刻蚀完的硅片放入1#槽内，开启鼓泡和循环按钮，用HF清洗。

2.2将花篮取出放入2#槽，溢流清洗。

2.3将花篮取出放入3#槽，溢流清洗。

2.4开启4#切水开关进行切水。

2.5将切完水的片子拿到烘干炉中烘10分钟。

清洗作业指导书

清洗作业指导书标题：清洗作业指导书引言概述：清洗作业指导书是指导清洗工作人员进行清洗工作的重要文件，具有指导性、规范性和操作性。

本文将从清洗作业指导书的重要性、编写要点、内容要求、使用方法和更新维护等方面进行详细介绍。

一、清洗作业指导书的重要性1.1 确保清洗工作的质量和效率清洗作业指导书能够规范清洗工作流程，提高清洗工作的质量和效率，确保清洗结果符合要求。

1.2 保障清洗工作人员的安全清洗作业指导书详细说明了清洗作业中的安全注意事项和操作规范，能够有效保障清洗工作人员的安全。

1.3 提升清洗作业管理水平清洗作业指导书的使用可以提升清洗作业的管理水平，规范作业流程，提高工作效率，降低事故风险。

二、编写清洗作业指导书的要点2.1 确定清洗作业的范围和对象在编写清洗作业指导书时，首先要明确清洗作业的范围和对象，包括清洗的设备、工艺和要求等。

2.2 列出清洗步骤和操作流程清洗作业指导书应当详细列出清洗的具体步骤和操作流程，包括清洗前准备、清洗过程、清洗后处理等内容。

2.3 强调安全注意事项和操作规范清洗作业指导书还应当特殊强调清洗作业中的安全注意事项和操作规范，确保清洗工作人员的安全。

三、清洗作业指导书的内容要求3.1 清晰明了的语言和图示清洗作业指导书应当使用清晰明了的语言和图示，便于清洗工作人员理解和操作。

3.2 全面详细的清洗流程清洗作业指导书应当全面详细地描述清洗的流程和步骤，确保清洗工作的全面性和规范性。

3.3 完整的清洗记录和验收标准清洗作业指导书还应当包括清洗记录和验收标准，便于清洗工作人员记录清洗过程和进行验收。

四、清洗作业指导书的使用方法4.1 培训清洗工作人员清洗作业指导书应当用于培训清洗工作人员，使其熟悉清洗作业流程和规范。

4.2 指导清洗现场操作清洗作业指导书还可以用于指导清洗现场操作，引导清洗工作人员按照规范进行清洗。

4.3 持续改进和更新清洗作业指导书应当进行持续改进和更新，根据实际情况不断完善和优化清洗作业流程。

光伏电池制备工艺项目二清洗制绒(000002)

第一讲：
任务一制绒工艺的目的与原理 1）制绒目的 2）制绒原理
任务一：制绒工艺的目的与原理
制绒目的： ① 去除硅片表面的机械损伤层；
② 并清除表面硅酸钠、氧化物、油污以及金属离子杂质 ③减少光的反射率，提高短路电流，最终提高电池的光电转换效率。
制绒的原理
晶硅电池分为单晶硅电池、多晶硅电池，在电池片的制备工艺中，由于单晶、多晶的晶颗排列不同，制绒工艺的原理也不同，单晶主要采用各向异性碱腐蚀、多晶主要采用各向同性酸腐蚀。
3）对绒面质量合格的硅片，收片员详细填写“工艺流程卡”，并装在小花篮内（每200片为一批，每个小花篮装25片硅片），每一批硅片有一张流程卡，流入到扩散工序；
4）操作员在设备自动运行过程中，不能离开，需时刻监视设备运行情况；
生产
5）收片

收片员在小花篮下垫
海绵垫片，双手轻轻拿硅
片两端，将硅片轻轻插入
理？ 4、作业指导书P26
出现的原因是IPA添加过多；或者出制绒槽后，没有立即放入漂洗槽，导致药液残留在硅片表面反应
解决的方法：重新进行清洗
表面污染
c图出现的是在同一批片子中相同位置有类似于油污的污渍；出现的原因主要是来料问题，可能在硅片包装时引入；
解决的方法：与硅片车间协商解决
表面污染
5、生产 1）放片放片员从硅片盒中一次性拿起一叠硅片（最多不能超过
100片），用右手将硅片旋开；捏住硅片的中间（不能拿硅片的角，容易产生碎片）一
片一片放到轨道上面
轨道共5道，每一道前后2片硅片的距离应大于5cm
2）工序长每隔1000片抽测5片减重情况，并将相关数据记录在“一次清洗减薄量记录表”中，控制在 0.4～0.5g之间，确定绒面质量合格后，硅片方可流入下道工序；

制绒作业指导书

1加工工艺及技术工艺要求制作绒面主要是通过化学腐蚀的方法去除硅片表面的损伤层和杂质，并使硅片表面形成金字塔状,减少对光的反射.整个制绒工艺过程如下所示：相关化学反应方程式：2NaOH + SiO 2 = Na 2SiO 3 + H 2O 2NaOH + Si + H 2O = Na 2SiO 3 + 2H 2 NaOH + HCl = NaCl + H 20硅片的总减薄量通常控制在10－50μm 的范围内。

2 基本操作流程 2.1 开机流程2.1.1开启水,电,气阀.如_图所示.2.1.2超声波开机流程2.1.2.1打开超声波电闸,如_图所示.2.1.2.2按下电源开关,灯亮为上电,如_图所示.2.1.2.3打开进水阀,使槽内注入水,如_图所示.2.1.2.4打开加热开关,使其加热到设定温度,如_所示.2.1.3减薄槽开机流程2.1.3.1按下减薄槽电源按钮,灯亮为上电,如_所示.2.1.3.2将槽中注入一定量的水,打开加热, 使其加热到设定温度,如_所示.2.1.4制绒槽开机流程2.1.4.1按下制绒槽电源按钮,灯亮为上电,如_所示.2.1.4.2将槽中注入一定量的水,打开加热, 使其加热到设定温度,如_所示.2.1.5离心机开机流程2.1.5.1按下电源按钮,灯亮为上电,如_图所示,程序自动开启.2.1.5.2按下显示屏右侧“加热关”按钮,开启后即显示“加热开”.如_图所示.待其加热至设定温度.2.1.5.3按下显示屏下方“自动”按钮,开启后即显示自动状态.如_图所示.2.2生产前的准备2.2.1领取硅片:按生产通知单上规定的编号领取硅片.2.2.2从硅片箱中取出泡沫盒,若领取的原料中有不同型号的硅片,则应按照从厚到薄,从正常片到单面线痕再到双面线痕的顺序生产.2.2.3戴上PVC手套.2.2.4将泡沫盒放到工作台上的指定位置,如_图所示.用刀片轻轻划开泡沫盒上的胶带,如_图所示.2.2.5取下泡沫盒盖,用刀片轻轻划开硅片上的塑料包装纸,取下塑料包装纸及硅片上的垫板,如_图所示;然后将每两个泡沫盒盖重新组合,并将取下的垫板放入其中,如_图所示,最后将空的泡沫盒放回纸箱中. 2.3装片2.3.1将花篮放在工作台上的指定位置,花篮下垫上海绵,如_图所示.2.3.2从盒中取出一定数量的硅片,用左手轻轻握住,再用左手拇指依次将硅片推出,如_图所示,然后用右手轻轻抽出硅片.若硅片之间相互吸引力较大,则最好先将硅片展开,如_图所示,再将硅片抽出.2.3.3将硅片竖直插入花篮中,如_图所示.若硅片表面具有缺陷,应将具有缺陷的一面统一朝花篮尾(如_图所示)摆放.2.3.4对装满25片硅片的小花篮安装扣条,安装顺序是先扣花篮尾(如_图所示),再扣花篮头(如_图所示).装满4个小花篮,即一批后可开始工艺.2.3.5换液后以及每清洗四批硅片后需要测试减薄量,此时应将测试片(测试片即由质检人员测试其每道工艺前后参数的硅片)装入其中,通常每批放入1-2片测试片,测试片应放在小花篮靠花篮头的位置,如_图所示.2.4工艺过程2.4.1操作人员全部佩戴好防酸碱手套,围兜,防酸碱鞋及口罩,如_图所示.2.4.2将一批硅片放入超声波清洗机右边的清洗槽中,如_图所示. 对于装有测试片的批次,应将装有测试片的小花篮放在右下角,如_图所示.2.4.3开启超声按钮及摆动按钮,自动开始计时.如_图所示.2.4.4在系统自动运行的同时继续装片并填好流程卡.2.4.5操作人员需时刻观察运行时间,到工艺时间后取出硅片放入左边清洗槽中,开启超声按钮及摆动按钮,自动开始计时.如_图所示.2.4.6超声波计时到后,将硅片连同流程卡一并送至减薄工艺处.2.4.7将一批硅片放入减薄槽中,同时开启已设定好时间的计时器,如_图所示,槽顶部信号绿灯亮起,如_图所示.2.4.8计时时间到,控制柜及顶部信号红灯均亮起,如_图所示,此时立即将小花篮拿出减薄槽,放入梯形槽依次从低到高清洗,每个槽中清洗2-5分钟,如_图所示.然后取出硅片连同流程卡一并送至制绒工艺处.2.4.9将一批硅片放入制绒槽中,同时开启已设定号时间的计时器,如_图所示,槽顶部信号灯亮起,如_图所示.2.4.10计时时间到,控制柜及顶部信号红灯均亮起,如_图所示,此时立即将小花篮拿出制绒槽,放入梯形槽依次从低到高清洗,每个槽中清洗2-5分钟,如_图所示.然后取出硅片连同流程卡一并送至酸洗工艺处。

1.RENA制绒工序作业指导书

1.RENA制绒工序作业指导书文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。

2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。

3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。

3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。

3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。

4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。

4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。

4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。

4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。

4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。

4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。

4.7产线异常控制作业指导书，见21页。

4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。

5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。

6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。

6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。

制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。

2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。

清洗制绒设备操作规程

RENA制绒设备操作规程v09.10.01序言为更好地加强制绒设备生产与维修，保障设备开机效率以及设备完好状态，结合制绒使用说明书及车间使用经验，特制订编制本手册，以达到操作标准化为目的，同时为设备队伍的培训提供教材参考。

凡操作人员必须经过培训，且熟练掌握设备操作规程，方可对设备进行操作!目录一、目的二、适用范围三、主要技术性能四、结构特征五、使用前的准备六、设备的操作七、更换化学药品时的安全操作规范八、安全操作规范九、设备常见故障及简单解决方法十、操作和维护注意事项及维护表十一、常用化学药品特性及处理预案十二、安全标识一、目的：硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚的损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经不同，基本上已经剥离于集体，会严重影响半导体器件（太阳电池）的性能。

清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提高太阳电池的转换效率。

二、适用范围：RENA Inline Texture Etching060309------CSC05(100MW车间制绒北侧设备) RENA Inline Texture Etching060308------CSC06(100MW车间制绒中部设备) RENA Inline Texture Etching060310------CSC07(100MW车间制绒南侧设备) 三、主要技术性能：1、使用环境条件a) 环境温度：0 ℃～40 ℃ b) 相对湿度：＜85%、无凝露 c ）周围环境：无腐蚀性气体 2、附属设施消耗电池车间 100MWp 制绒工序基础设施消耗设备名称数量连接功率kW 额定功率kW 纯水L/M冷却水L/M 压缩空气L/M废水排放L/M 废气排放m3/h 电压V 单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计单台合计5道硅片清洗机 2 380五线 19.539 19.5 39 20 40 43 86 3683 7366 DN50DN40 DN20 4670 93408道硅片清洗机1 380五线32 32 32 32 30 30 43 86 5883 5883 DN50DN40 DN207140 7140四、结构特征：上图为RENA Inline Texture Etching060309设备外形Station1: 腐蚀槽 Station5：HF/HCL 润洗Station2：冲洗1槽 Station6: 冲洗3槽Station3：KOH润洗 Station7: 气刀风干Station4：冲洗2槽RENA Inline Texture Etching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH 润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。

制绒标准作业指导书

制绒标准作业指导书共10页第1页目录一、制绒目的 (2)二、制绒原理 (2)三、适用范围 (2)四、职责 (2)五、操作流程 (2)1. 开机 (2)2. 关机 (3)3. 生产 (3)4. 配液 (3)5. 补液 (3)6. 配液操作 (4)六、检测内容及技术要求 (4)七、关键控制点和检查频次 (4)八、设备及物料清单 (5)九、具体规范图示 (5)十、注意事项 (10)制绒标准作业指导书共10页第2页一、制绒目的1.去除硅片表面的机械损伤层；2.在硅片表面形成金字塔状绒面以减少反光率；3.酸洗去除硅片表面的硅酸钠、氧化层及金属离子。

二、制绒原理1. 在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。

2. 化学反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑。

三、适用范围本作业指导书适用于单晶车间内，制绒工段所有工作人员。

主要设备为台州强丰清洗制绒机。

四、职责1.操作员负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保人身安全、操作安全。

2.在操作过程中遇到工艺或设备问题应及时向工艺或设备人员反映，相关人员须及时提供帮助，解决问题。

五、操作流程1. 开机a.检查确认纯水、电、压缩空气、氮气是否供应正常；b.检查确认设备排风是否正常；c.开机，打开位于设备后配电箱内的电气开关并确认二级开关全部打开；d.登录，点击触摸屏，确定登录；e.切换为手动模式，在手动模式下打开所有槽盖，确认各槽溶液是否正常，确认各槽内无花篮无杂物；f.将设备切换为自动模式，各槽开始自动升温；g.待温度达到设定值后，开始试片投产。

制绒标准作业指导书共10页第3页2. 关机a 在手动模式下打开所有槽盖，检查确认各槽内有无花篮，待所有花篮都取出后方可进行关机操作；b 关闭所有槽盖；C.关机，关闭位于设备后的电气开关。

3. 生产生产过程A. 装片, 将仓库领来的硅片从箱子中取出，然后小心插入小花篮中，并以200片为一生产批次并做好所有相关记录，；B 进篮。

清洗作业指导书

清洗作业指导书引言概述：清洗作业指导书是指在清洗过程中，详细记录清洗步骤、要求和注意事项的指导手册。

这份指导书对于确保清洗作业的安全、高效进行起着至关重要的作用。

下面将从清洗作业指导书的编写、使用、更新、培训和监督等五个方面进行详细阐述。

一、清洗作业指导书的编写1.1 确定清洗作业的流程：明确清洗的目的、步骤和所需材料。

1.2 列出清洗作业的要求：包括清洗工具、清洗剂、清洗时间等。

1.3 制定清洗作业的安全措施：确保清洗过程中人员的安全。

二、清洗作业指导书的使用2.1 培训员工：对清洗作业指导书进行培训，确保员工能够正确理解和执行清洗流程。

2.2 遵循指导书进行清洗：员工在进行清洗作业时，应严格按照指导书的要求进行操作。

2.3 记录清洗过程：在清洗作业指导书上记录清洗的时间、温度、压力等关键参数。

三、清洗作业指导书的更新3.1 定期检查指导书的完整性：定期检查指导书是否与实际清洗流程一致，及时更新。

3.2 根据实际情况修改指导书：根据清洗过程中出现的问题和改进意见，及时修改指导书。

3.3 培训员工新版本的指导书：一旦更新了指导书，要及时向员工进行培训，确保他们能够正确执行新的清洗流程。

四、清洗作业指导书的培训4.1 培训新员工：新员工入职时应进行清洗作业指导书的培训，确保他们了解清洗流程。

4.2 定期进行复习培训：定期组织清洗作业指导书的复习培训，加强员工对清洗流程的理解。

4.3 培训员工应急处理措施：培训员工在清洗过程中遇到问题时的应急处理措施，确保清洗作业的顺利进行。

五、清洗作业指导书的监督5.1 定期检查清洗记录：定期检查员工记录的清洗数据，确保清洗作业符合指导书的要求。

5.2 随机抽查清洗作业：随机抽查员工的清洗作业，确保他们严格按照指导书的要求进行操作。

5.3 及时纠正不良行为：对于未按照指导书要求进行清洗的员工，要及时纠正并进行培训。

结论：清洗作业指导书是清洗作业中不可或缺的重要工具，它能够规范清洗流程、提高清洗效率、确保清洗质量。

中联多晶制绒清洗监控作业规程

中联多晶制绒清洗监控作业规程1. 目的：指导中联多晶制绒监控作业。

2. 适用范围：适用于中联多晶制绒设备。

3. 职责：本操作规程由电池工艺人员制定修改，由质检人员进行监控。

4. 设备:中联清洗机、冷却系统、电子天平，显微镜。

5. 操作规程5.1 减薄量监控方法5.1.1从片盒中取2片原硅片，称重并把数据记录下来，然后将硅片放回花篮中，并记好位置。

5.1.2待温度达到设定温度范围后，可以开始上料。

5.1.3 待下料结束，将原来称重的硅片再次称重，并计算减重量。

5.2 减重量控制范围5.2.1 对于一般晶源片，减重量范围：0.50±0.05g/pcs；对于线痕片或损伤层较大的片源减重量不低于0.5g/pcs。

5.2.2 如减重量连续3次超出以上范围，则立即通知工艺员，进行调整。

5.3 外观监控5.3.1检验方法5.3.1.1 在生产过程中，从下料花篮的每个每个小花篮中随机抽取一片，观察其表面的“网纹”情况。

5.3.1.2与“标片”做对比，若抽查片中有半数以上网纹达到“网纹较轻”程度（见图2），应通知工艺员，由工艺员根据情况做出调整。

5.3.1.3 一般认为，网纹的控制下限不超过图3所示，出现图3的情况时，应及时调整，生产过程最好保持图1和图2的情况。

5.3.2检验频率5.3.2.1 正常生产时每小花篮抽检1片。

5.3.2.2 新换液时每小花篮抽检3~5片，直到达到“网纹较轻”的程度时才能恢复以上抽检频率。

5.3.3 网纹表片图1 正常（基本看不出网纹）图2 网纹较轻（网纹较浅且均匀分布）图3 网纹较重（网纹较深且分布比较均匀）图4 严重网纹（网纹深且密、分布不均匀）。