微细超声加工的发展及应用
超声波加工技术论文
超声波加工技术论文超声波加工是利用工具断面的超声振动，通过磨料悬浮液加工脆硬材料的一种成型方法。
这是店铺为大家整理的超声波加工技术论文，仅供参考!超声波加工技术论文篇一超声加工的应用及发展摘要：陶瓷、光学玻璃、功能晶体、金刚石、宝石和先进复合材料等具有优越的物理、化学和机械性能，在航空、航天、军工、电子、汽车和生物工程等领域正得到越来越广泛的应用，并且其应用还在不断向新的领域扩展。
与此同时，人们开始探索特种加工方式来加工这些难加工材料。
超声加工技术就是在此背景下发展起来的，实践证明，它是加工上述难加工硬脆材料的高效和经济有效的方法之一。
超声技术在工业中的应用开始于20世纪10～20年代，它是以经典声学理论为基础，同时结合电子技术、计量技术、机械振动和材料学等学科领域的成就发展起来的一门综合技术。
超声技术的应用可划分为功率超声和检测超声两大领域。
其中，功率超声是利用超声振动形成的能量使物质的一些物理、化学和生物特性或状态发生改变，或者使这种状态改变加快的一门技术。
功率超声在机械加工方面的应用，按其加工工艺特征大致分为2类，一类是带磨料的超声磨料加工(包括游离磨料和固结磨料)，另一类是采用切削刀具与其他加工方法相结合形成的超声复合加工。
关键词：超生加工发展特点及优势应用潜能一、超声加工技术的发展1927年，美国物理学家伍德和卢米斯最早作了超声加工试验，利用超声振动对玻璃板进行雕刻和快速钻孔。
但当时超声加工并未应用到工业上，直到大约1940年在文献上第一次出现超声加工(USM-Ultrasonic Machining)工艺技术描述以后，超声加工才吸引了大家的注意，并且逐渐融入到其他的工业领域。
1951年，科恩研制了第一台实用的超声加工机，为超声加工技术的发展奠定了基础。
USM提供了比常规机械加工技术更多的优点。
例如，导电和非导电材料它都可以加工，并且加工复杂的三维轮廓也可以像简单形状那样快速。
此外，超声加工过程不会产生有害的热区域，同时也不会在工件表面带来化学/ 电气变化，而且加工时在工件表面上所产生的有压缩力的残余应力可以增加被加工零件的高周期性疲劳强度。
超声波加工技术的研究与应用
超声波加工技术的研究与应用超声波是指频率大于20 kHz的机械波，因其具有易于调节、浅表性加工等优势，近年来在加工领域得到广泛应用，成为一种重要的新兴加工技术。
本文将从超声波加工技术的原理、特点、研究现状以及应用领域四个方面进行阐述。
一、超声波加工技术的原理超声波加工技术的核心原理是利用超声波传导的机械振动引起物体的微小位移，从而实现加工目的。
超声波加工技术通常采用高频振荡器产生超声波，其能量通过声波振幅传递到加工工具，再通过工具的振动作用于被加工物体。
这种超声波传导的振动能量有强烈的破坏性，可以使材料迅速产生渐进性断裂，从而进行相应的加工。
超声波加工技术可分为振动智能控制，超声冲击波加工控制，超声波整理和超声波车削几类。
二、超声波加工技术的特点超声波加工技术具有以下特点：（1）易于调节。
由于超声波频率可随意变换，所以加工过程中易于调控，不会对材料本身造成过大的损伤。
（2）针对表面加工。
由于超声波加工的振动频率大，因此只能实现浅表性的加工，通常用于表面修整、去毛刺、去污等精细处理。
（3）高效节能。
超声波加工技术的加工效率高，同时由于其加工方式具有局部性，因此能够充分利用能量，达到高效节能的目的。
三、超声波加工技术的研究现状目前，国内外对于超声波加工技术的研究大部分集中于超声波加工的机理、材料性能变化、加工参数优化等方面。
近年来，超声波加工技术在新材料加工领域得到广泛应用，如新型金属材料、高强度焊接材料等都可以用超声波加工来进行修整、加工、处理等。
此外，超声波加工技术还在精密加工、微机械加工等领域得到广泛应用，其中最典型的应用就是超声波打孔技术，多用于石英和陶瓷等硬质材料的加工。
四、超声波加工技术的应用领域超声波加工技术具有广泛的应用领域。
其中，应用最广的无疑是超声波手术刀，已成为现代微创手术的首选器械。
同时，在汽车、航空、航天、军工等领域，超声波加工技术也得到了广泛的应用，如超声波焊接、超声波清洗、超声波测厚等。
微细加工技术概述及其应用
2011 年春季学期研究生课程考核（读书报告、研究报告）考核科目:微细超精密机械加工技术原理及系统设计学生所在院（系）:机电工程学院学生所在学科:机械设计及理论学生姓名:杨嘉学号:10S008214学生类别:学术型考核结果阅卷人微细加工技术概述及其应用摘要微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法，现代微细加工技术已经不仅仅局限于纯机械加工方面，电、磁、声等多种手段已经被广泛应用于微细加工，从微细加工的发展来看，美国和德国在世界处于领先的地位，日本发展最快，中国有很大差距。
本文从用电火花加工方法加工微凹坑和用微铣削方法加工微小零件两方面描述了微细加工技术的实际应用。
关键词：微细加工；电火花；微铣削1微细加工技术简介及国内外研究成果1.1微细加工技术的概念微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法。
在微机械研究领域中，从尺寸角度，微机械可分为1mm~10mm的微小机械，1μm~1mm的微机械，1nm~1μm的纳米机械，微细加工则是微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。
广义上的微细加工，其方式十分丰富，几乎涉及现代特种加工、微型精密切削加工等多种方式，微机械制造过程又往往是多种加工方法的组合。
从基本加工类型看，微细加工可大致分为四类：分离加工——将材料的某一部分分离出去的加工方式，如分解、蒸发、溅射、切削、破碎等；接合加工——同种或不同材料的附和加工或相互结合加工方式，如蒸镀、淀积、生长等；变形加工——使材料形状发生改变的加工方式，如塑性变形加工、流体变形加工等；材料处理或改性和热处理或表面改性等。
微细加工技术曾广泛用于大规模集成电路的加工制作，正是借助于微细加工技术才使得众多的微电子器件及相关技术和产业蓬勃兴起。
目前，微细加工技术已逐渐被赋予更广泛的内容和更高的要求，已在特种新型器件、电子零件和电子装置、机械零件和装置、表面分析、材料改性等方面发挥日益重要的作用，特别是微机械研究和制作方面，微细加工技术已成为必不可少的基本环节。
超声加工的原理及应用
超声加工的原理及应用1. 超声加工的原理超声加工是一种利用超声波在材料表面产生机械振动，以实现加工的一种技术。
其原理主要有以下几个方面：1.1 超声波的产生超声波是指频率在20kHz以上的声波。
在超声加工中，超声波的产生通常使用压电效应。
通过施加电压和施加压力，将压电晶体引起固有的振动，产生超声波。
1.2 超声波的传播在超声加工中，超声波通过声导波器（传感器）传播到材料表面。
通过声导波器的设计，将电能转化为机械能，将超声波能量传导到材料表面。
1.3 超声波的作用超声波作用在材料表面时，会引起材料表面的微小振动。
这种微小振动可以通过摩擦、压力等方式，产生加工作用力。
超声波的作用力可以使材料表面发生塑性变形、磨削、清洁等加工效果。
1.4 超声波的效应超声加工的效应主要有以下几个方面：•磨削效应：超声波振动可以改变材料表面的摩擦性质，从而实现磨削效果。
超声波磨削可以去除材料表面的氧化层、氧化物、污垢等。
•加工效应：由于超声波的振动作用力，可以改变材料的物理性质，如硬度、强度等。
超声波加工可以提高材料表面的光洁度、增加颗粒的尺寸、改变材料的晶体结构等。
•清洁效应：超声波振动可以产生高频的压力变化，使附着在材料表面的污垢、颗粒等杂质受到冲击，从而实现清洁效果。
2. 超声加工的应用超声加工技术在各个领域都有广泛的应用。
以下列举几个常见的应用领域：2.1 金属加工在金属加工中，超声加工可以用来改善工件的表面质量。
通过超声波振动的作用，可以去除材料表面的氧化层、氧化物等污染物，提高材料的光洁度、光泽度。
2.2 玻璃加工在玻璃加工中，超声加工可以用来实现玻璃边缘的光滑和加工。
通过超声波的磨削和加工效应，可以去除玻璃边缘的毛刺、划痕等缺陷，提高玻璃的边缘质量。
2.3 橡胶加工在橡胶加工中，超声加工可以用来改善橡胶制品的表面质量。
通过超声波的振动作用，可以去除橡胶制品表面的气泡、毛刺、污垢等缺陷，提高橡胶制品的质量和性能。
超声加工技术的应用及发展趋势
1 序言近年来，先进工程材料在航空航天、汽车、半导体、3C和医疗等制造业领域中不断涌现，如钛合金、高温合金、工程陶瓷、陶瓷基复合材料以及蜂窝复合材料等，这些材料具有优异的使用性能，然而机械加工性能很差，属于典型的难加工材料[1]。
在使用传统的机械制造技术对这些材料进行精密加工时遇到了一定的瓶颈，一种新型的制造工艺技术——超声加工技术，即Ultrasonic Machining（UM），受到越来越多的关注并得到大量的应用。
超声加工技术是一种通过超声波振动能量实现难加工材料精密去除的工艺技术，该技术是将超声波振动能量通过一系列结构的传播和变换聚焦在刀具的工作区域，从而形成被切削材料的冲击去除效果，进而可以提高众多难加工材料的可加工性能。
该技术在加工过程中具有众多优点，如：降低切削力和减少切削热、减小刀具磨损和崩边毛刺、优化切屑形态、提高表面质量、降低亚表面损伤以及提高加工效率等（每个加工工艺具体的改善效果因超声刀具、材料、工艺等的不同而存在一定的差别）。
超声加工技术是一种基于功率超声技术发展起来的特种加工技术，它本质上是一个物理去除过程，不涉及材料性质的改变。
随着市场化的需求越来越强烈，超声加工技术中商用标准化系统也成为了目前市场需求的重点，相关的超声加工技术开始走出实验室，在众多典型难加工材料的精密加工中得到应用，如：光学玻璃、蓝宝石、陶瓷、氧化铝陶瓷、钛合金、高温合金、碳纤维复合材料以及铝基碳化硅复合材料等，其应用领域及典型案例如图1所示。
近几年，国内难加工材料的大量应用，带来了较多的超声加工技术应用需求，促使了该技术的市场化，多家科研机构和制造企业纷纷开始进行超声加工技术的产业化应用。
图1超声加工应用领域及典型案例2 超声加工技术发展现状“工欲善其事，必先利其器”，超声加工技术是针对难加工材料精密加工的利器。
在大多数切削加工领域，超声加工更确切的名称应该为“超声辅助精密加工”，即在传统切削加工技术上辅助超声振动，从而实现特殊的材料去除效果。
超声加工技术的应用及发展
超声加工技术的应用及发展作者：纪能健闫志刚来源：《科技风》2019年第33期摘要：当前社会由于科学和技术的不断发展，传统的加工技术也有了质的飞跃。
但是随着科技投入加大，技术方法也在不断革新，超声加工技术也顺势有了更大的发展空间。
相比较传统加工技术而言，超声加工技术的应用也越来越广泛，涉及到半导体工业，航空制造业，医疗工业以及汽车制造等多产业领域。
本文主要根据近年来超声加工技术的应用情况，对超声加工技术的发展趋势进行进一步的探讨。
关键词：超声加工技术;应用;发展趋势一、概述了解超声加工技术，首先就必须得了解超声波加工。
超声波加工简单来说就是一种加工方法，超声加工是利用超声振动的工具，带动工件和工具间的干磨料或带有磨料的液体介质，冲击、抛磨工件的被加工部位，使其局部材料被蚀除而成粉末（气蚀作用）来去除材料，或在工具或工件上沿着一定的方向施加超声频振动的加工方法，或者通过超声波振动来达到工件结合的一种加工方法[1]。
超声加工技术起源于20世纪50年代，经过了60多年的发展历程，现如今在国内和国外均受到工程人员和专家的关注。
这一种比较新兴的特种加工技术，也越来越成为机械制造领域的重要发展方向。
此外，对于未来多领域行业如航空航天、食品包装等也都有着极其重要的意义。
二、超声加工技术的应用本文主要从四个方面来讲述超声加工技术，分别是难加工材料的加工、弱刚性结构件的加工、超声表面光整强化加工、以及其他应用方面。
（一）难加工材料的加工应用加工材料通常包括高温合金、高强钢、陶瓷材料等。
这些材料一般都具有相同的特征，大多数都是硬度很高，强度高，很难受到磨损，抗氧化能力强，以及能够很好的耐腐蚀，耐热的。
正是由于这些优点，这些材料被广泛地应用到机械、国防、航空或者工业等各种领域[2]。
但也正因为其较高的硬度和自身的脆性，这些材料在加工过程中在很大程度上会损害原材料的价值，不能发挥其自身的最大效益。
有研究表明，超声加工技术可以降低切削与加工带来的损伤，从而减少刀具的磨损量，也能在一定程度上降低脆性材料的破损程度，此外对于材料表面微裂纹的产生也有一定的减少作用。
超声波加工技术在制造业中的应用及发展
超声波加工技术在制造业中的应用及发展超声波加工技术是一种利用超声波对物质进行机械加工、分解、焊接、切割等加工的技术。
它是一种非接触式的加工方式，具有精度高、能耗低、对周围环境污染少等优点，在现代制造业中得到了广泛的应用。
本文将从加工原理、加工方法和应用领域三个方面对超声波加工技术在制造业中的应用及发展进行介绍和分析。
一、加工原理超声波加工技术利用超声波在物质中传播的特性进行加工。
超声波是指频率高于20kHz的机械波，其较高的频率和短波长使得其穿透物质时能够对物质产生微小的振动和摩擦，从而引起物质的变形或者分解，实现加工的目的。
在超声波加工中，超声波通过换能器（transducer）转化成为机械振动，振动的幅度通常为微米级别，而频率通常在20kHz以上。
这种高频机械振动将加工部件（如工具或者刀具）的摩擦系数和压力增加了几倍以上，从而达到了超声波加工的目的。
二、加工方法1. 超声波冲击加工超声波冲击加工利用机械冲击和高频超声波的相互作用，将超声波的能量转化成冲击能量，实现对金属、陶瓷、石材等硬脆材料的加工。
冲击加工具通常是锥形、球形或者螺旋形的，通过超声波的震动驱动，加工部分会发生爆炸性的形变和裂纹，从而实现加工的目的。
超声波冲击加工的优点是能够进行精细加工，但加工速度较慢，只适用于小加工量的生产。
2. 超声波切割加工超声波切割加工是利用超声波在物质中产生的高频振动，通过对切割工具施加高频振动，实现对材料的切割。
切割工具通常是金属薄板、金属丝、钻头和锯片等。
切割时，超声波的能量通过切割工具传递到材料中，使其发生振动和变形，从而实现切割的目的。
超声波切割加工的优点是能够进行高速切割，不会产生粉尘和机床磨损，但是对材料有一定的厚度限制。
3. 超声波焊接超声波焊接是利用超声波在物质中产生的高频振动，通过对金属表面施加振动，从而实现金属的焊接。
焊接时，将金属部分挤压在一起，在部件接触面上施加高频振动，使金属表面微观颗粒之间不断摩擦和碰撞，达到焊接的目的。
超声加工技术的应用现状及其发展趋势
超声加工技术是一种利用高频声波振动来进行加工和处理材料的技术。
它在多个领域有广泛的应用，其应用现状和发展趋势如下：应用现状：食品工业：超声波在食品工业中用于食品分散、混合、杀菌和提取。
它有助于改善食品质量、延长保质期和提高生产效率。
医疗领域：超声波在医疗成像、药物输送、封闭伤口、清洁器械等方面有广泛应用。
例如，超声波成像用于超声检查和产前检查。
材料加工：超声波可用于金属焊接、塑料焊接、切割、清洗、打磨和去除杂质。
它在制造业中用于提高产品质量和生产效率。
化学工业：超声波可用于化学反应的促进、分散、乳化和催化。
它在合成化学和制药工业中具有潜力。
环保技术：超声波可用于废水处理、污泥处理和空气净化。
它有助于减少环境污染和资源浪费。
发展趋势：创新应用：超声加工技术的创新应用不断涌现，如超声制造、纳米材料合成、超声流变学等。
这些新应用有望扩大超声技术的领域。
自动化和智能化：超声加工设备逐渐实现自动化和智能化，包括自动控制、远程监控和数据分析。
这将提高生产效率和生产质量。
环保和节能：超声加工技术有望成为更环保和节能的加工方法。
它可以减少化学物质的使用、减少废物产生和降低能源消耗。
多模态集成：超声加工技术与其他加工技术的多模态集成将成为趋势，以满足复杂加工需求。
高效材料加工：超声加工技术将更多地用于高效的材料加工，如超声切割、精密焊接和制造微细结构。
国际合作：超声加工技术的研究和应用将在国际合作和跨学科研究方面取得更大突破。
总的来说，超声加工技术在各个领域都有潜力，其发展将受益于创新应用、自动化、环保和国际合作。
随着科技的进步，超声加工技术将不断拓展其应用范围，提高效率，降低成本，并在各个领域发挥更大的作用。
超声波微纳加工技术在微电子制造中的应用
超声波微纳加工技术在微电子制造中的应用随着微电子技术的不断发展，微纳加工技术正在逐渐成为微电子制造的关键技术之一。
超声波微纳加工技术作为一种新兴的微纳加工技术，具有加工精度高、加工效率高、加工损伤小等优点，因此在微电子制造中的应用越来越广泛。
一、超声波微纳加工技术概述超声波是指频率高于听觉范围的声波，一般在20kHz以上。
超声波微纳加工技术是将超声波与微机械加工技术结合起来，利用超声波在介质中的物理效应，通过微纳制造工艺精确加工微小结构。
超声波微纳加工技术主要包括传统的超声波切割、超声波打孔、超声波打标、超声波清洗等。
此外，近年来随着技术的不断发展，超声波微纳加工技术还涉及到了微纳米加工、光学加工等多个领域。
二、（一）超声波切割超声波切割是利用超声波振动刀具，使其产生微小的振动和冲击力，从而精确地切割硬质和脆性的材料。
在微电子制造中，超声波切割可用于加工各种硬质材料的微小结构，如Si、GaAs等。
同时，超声波切割还可以降低材料加工时的热量，从而达到减小加工损伤的效果。
（二）超声波打标超声波打标是一种基于超声波振动原理的标记技术，能够对各种材料进行微小、有序的标记。
在微电子制造中，超声波打标可以利用超声波振动对表面进行微小的换能，从而实现微小结构的标记和记录。
通过超声波打标，可以为微电子器件提供唯一的标记和身份识别信息，从而提高微电子产品的安全性和可追溯性。
（三）超声波清洗超声波清洗是利用超声波在液体中的原理，对物体表面进行清洗。
在微电子制造中，超声波清洗可以用于清洗电子器件表面，尤其是芯片表面与微小电路之间的空隙和孔洞，从而使微电子器件的品质更加稳定和可靠。
（四）超声波微纳加工的未来发展趋势随着超声波微纳加工技术的不断发展，其在微电子制造中的应用也将越来越广泛。
目前，超声波微纳加工技术与微纳加工技术、材料科学、电子学等领域的交叉学科研究已成为了微电子制造的研究热点之一。
未来，超声波微纳加工技术将不断改进和创新，发展出更加高效、高精度、低损伤的微纳加工技术，为微电子制造带来更多的科技创新和进步。
说明超声波加工的原理特点和应用
说明超声波加工的原理特点和应用1. 原理超声波加工是利用超声波的机械效应实现的一种加工技术。
它利用超声波振动产生的高频机械波对材料进行加工、切割、焊接等操作。
其主要原理包括以下几个方面：•应力波传导原理：超声波传导到材料中时，会产生应力波，利用这种应力波可对材料进行加工和塑性变形。
•空化效应原理：在超声波作用下，液体中的气体被振动使其变小，形成微小的气泡，随后气泡瞬间坍塌，产生高能量的冲击波，从而实现加工的目的。
•热效应原理：超声波振动使材料内部分子迅速变动，产生摩擦产热，通过这种热效应可实现焊接、熔化等加工操作。
2. 特点超声波加工具有以下几个特点：•非接触性：超声波加工在进行材料处理时，不需要直接接触被加工材料表面，可以通过气体、液体等传导介质来实现加工，避免了对工件的表面和形状的磨损损坏。
•精密性：超声波加工可实现小尺寸、高精度的加工操作，对于微细加工尤为适用，可以加工出细小的孔洞和复杂的形状。
•高效性：超声波加工时，能量传递效率高，加工速度快，可大大提高生产效率。
•环境友好性：超声波加工时，无需使用化学溶剂或其他有害添加剂，对环境友好。
3. 应用超声波加工在各个领域都有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：•超声波清洗：利用超声波振动在液体中产生的微小气泡的坍塌，可有效清除材料表面的油污、污垢等，应用于电子零部件、医疗器械等领域。
•超声波切割：超声波振动产生的高频机械波可实现对材料的精密切割，应用于电子元件、石材、食品等行业。
•超声波焊接：利用超声波振动产生的热效应，可实现材料的焊接、熔化等操作，应用于塑料、金属等材料的精密组装。
•超声波成型：通过超声波振动产生的应力波使材料塑性变形，可实现对材料的复杂成型，如微小零件、手机屏幕等的制造。
•超声波测厚：超声波传播速度与材料的密度与弹性模量有关，通过测量超声波传播时间和振幅变化来确定材料的厚度，应用于材料成分分析、质检等领域。
总的来说，超声波加工以其非接触性、精密性、高效性和环境友好性等特点，在多个领域得到了广泛应用和发展。
简述超声加工工艺特点及应用
简述超声加工工艺特点及应用超声加工是一种利用超声波在固体材料中产生微小振动，从而实现材料的加工和改性的工艺。
它具有一些独特的特点和广泛的应用领域。
超声加工具有高效、快速的特点。
由于超声波具有高频率和高能量密度，它可以在很短的时间内产生大量的微小振动，从而实现快速的加工。
相比传统的机械加工方法，超声加工可以大幅度缩短加工时间，提高生产效率。
超声加工具有非接触性和无切削性的特点。
超声波通过振动传导的方式作用于材料，不需要直接接触材料表面，因此不会对材料表面造成划痕或损伤。
与传统的机械加工方法相比，超声加工可以实现对脆性材料或高硬度材料的加工，避免了材料表面的破损和变形。
超声加工还具有高精度和高质量的特点。
由于超声波的高频振动可以产生微小的振动幅度，因此可以实现对材料进行精细的加工。
同时，超声加工还可以实现对材料的均匀加工，避免了传统加工方法中可能出现的不均匀加工或局部变形的问题，从而提高了加工质量。
超声加工广泛应用于多个领域。
首先，在金属加工领域，超声加工可以用于金属焊接、金属切割和金属成形等方面。
超声焊接可以实现金属的无损连接，具有焊接速度快、焊接强度高的优点；超声切割可以实现对金属材料的精细切割，避免了传统切割方法中可能出现的毛刺和变形问题；超声成形可以实现对金属材料的精确成型，提高了零件的加工精度。
在陶瓷加工领域，超声加工可以用于陶瓷的切割、打孔和表面处理等方面。
由于陶瓷材料具有脆性和高硬度的特点，传统的加工方法往往难以实现对陶瓷材料的加工。
而超声加工可以通过振动作用将能量集中在局部区域，实现对陶瓷材料的切割和打孔，同时还可以通过超声波的热效应对陶瓷材料进行表面处理，提高陶瓷材料的表面质量。
在生物医学领域，超声加工也得到广泛的应用。
超声加工可以用于生物医学器械的制造和生物医学材料的改性。
超声焊接可以实现生物医学器械的无损连接，避免了传统焊接方法中可能出现的材料变形和焊接强度低的问题；超声改性可以改善生物医学材料的表面性能，使其更适合用于人体内部的应用。
超声波加工机床的发展历程与趋势分析
超声波加工机床的发展历程与趋势分析近年来，随着科技的不断发展，超声波加工机床成为工业界的新宠。
超声波加工机床利用超声波的机械振动能量，通过与加工对象相互作用，实现高精度、高效率的加工。
本文将从发展历程、技术原理、应用领域以及未来发展趋势等多个方面进行分析，探讨超声波加工机床的发展历程与趋势。
一、发展历程超声波加工机床的发展可以追溯到20世纪60年代，当时，人们开始将超声波应用于金属加工中。
1961年，美国MIT推出了世界上第一台超声波金属切割机，开创了超声波加工机床的先河。
随后，超声波加工机床逐渐应用于各个领域，包括切割、钻孔、焊接、清洗等。
随着科技的不断进步，超声波加工机床的性能也得到了飞速的提升。
原始的超声波金属切割机仅能在硬度较低的金属上进行切割，而现代的超声波加工机床已经可以在各种硬度的材料上进行加工。
此外，超声波加工机床的加工精度和加工速度也大幅提高，使其在微细加工领域更具竞争力。
二、技术原理超声波加工机床利用超声波的机械振动能量，通过将振动能量传递给加工工具或加工对象，实现加工目的。
具体来说，超声波加工机床由发生器、共振器、驱动器和工具等部分组成。
发生器产生高频电能，并将其转换为机械振动能量；共振器将机械振动能量传递给工具；驱动器则用于控制共振器的振动幅度和频率。
超声波加工机床的加工过程主要由三个参数控制：振幅、频率和压力。
振幅是指共振器中工具的机械振动幅度，决定了加工的切割深度；频率是指振动的周期，决定了加工的稳定性和速度；压力则是施加于工具上的力量，影响加工的表面质量和加工力度。
通过合理调节这三个参数，可以实现高精度、高效率的加工。
三、应用领域超声波加工机床广泛应用于多个领域，包括航空航天、汽车制造、电子器件、医疗器械等。
具体应用如下：1. 切割与钻孔：超声波加工机床在金属切割和钻孔领域有着广泛的应用。
由于振动频率高、能量集中，超声波切割和钻孔可以在短时间内完成工作，并且不会产生较大的机械变形。
微细超声加工技术的发展现状与评析
ＪａＢ ｏ ｉｎ ，Ｗ ａ ｇ Ｄｏ ｇ ｈ ｎ ｈ ｏＷ ａ ｓ ｅ ｇ ，Ｗ ａ ｇ Ｚ ｅ ｌｎ ’ ｉ ａ ｘａ ｎ ｎ ｓ ｅ ｇ ，Ｚ ａ ｎ ｈ ｎ 。 ｎ ｈ ｎｏ ｇ
（１ ａｂｎＩｓｉ ｔ ｏ ｅｈ ｏ ｇ Ｗ ｅ ａ） Ｗ ｅ ａ ２ ４ ０ ， ｈｎ ； ．Ｈ ｒｉ ｎｔ ｕｅ ｆ ｃｎ ｌ ｙ（ ｉ ｉ， ｉ ｉ ６ ２ ９ Ｃ ｉａ ｔ Ｔ ｏ ｈ ｈ
陶瓷 等脆 硬材料 在 微 机 械 中 的广 泛 应用 ， 使脆 硬 材
１ 微 细 超 声 加 工 的工 作 原理
微 细 超 声 加工 在 原 理 上 与 常 规 的超 声 加 工 相 似 。典型 的超 声 加工 系 统 由振 动 头 、 浮 液供 给单 悬 元 和机 床本体 所组 成 。 超声 加工 是 一种纯粹 的磨 蚀过 程 。在 超声 加工 过程中， 振动 头 以超过 ２ Ｈｚ ０ｋ 的超 声频率 做高 频振 动 ， 将磨 料颗 粒 挤 入脆 硬 材 料 工件 中 ， 起 压 痕 、 并 引 微裂 纹而 最 终 去 除材 料 。Ｔ ｏ 结 了详 细 的材 料 ｈ ｅ总 去除机 理 。这些 机理包 括 ： 由磨 料粒 子锤 击 工件 ①
势 。随着 压 电材 料 及 电 力 电 子技 术 的 发 展 ， 细超 微
的微 切 屑 ； 悬 浮液 的空 化 作用 ； 与所 用 液 体发 ③ ④ 生的化学 反应 。通过 调 整 输入 参 数 ， 际 材 料 的 去 实
除过程 可 以是上 述 机理 之 一 ， 可 以是 几 种 机 理 的子 自由运 动 产 生 ②
料 的高 精度微 细加工 技术成 为世 界 各 国制造业 的一 个重 要研 究课 题 。 目前适用 于脆 硬材 料加 工的 手段
超声辅助加工发展现状及未来趋势分析
超声辅助加工发展现状及未来趋势分析超声辅助加工是一种利用超声波在材料加工过程中产生的力和微振动效应来提高加工效率和品质的新兴技术。
它在金属加工、陶瓷加工、玻璃加工、塑料加工等领域都有广泛应用。
本文将分析超声辅助加工的现状以及未来的发展趋势。
首先，我们来看超声辅助加工的现状。
随着加工技术的不断提升和超声辅助加工技术的逐渐成熟，越来越多的制造企业开始使用超声辅助加工技术。
超声辅助加工可以提高加工精度和表面质量，同时还能降低加工过程中的工具磨损和切削力，从而延长工具寿命。
通过超声辅助加工，可以实现对微小细节的加工，提高加工效率和加工精度，并缩短加工周期。
其次，超声辅助加工在不同领域的应用也在不断扩展。
在金属加工领域，超声辅助加工可以用来加工硬脆材料，如陶瓷、玻璃、石墨等，可以实现对高硬度材料的加工和切削。
在塑料加工领域，超声辅助加工可以用来实现对微细结构的加工，提高塑料制品的表面光洁度和尺寸精度。
在医疗领域，超声辅助加工技术可以用于植入物的制造和修复，具有很大的应用潜力。
超声辅助加工技术还具有许多优势。
首先，它可以降低热变形和应力集中现象，减少材料的退火现象，提高加工品质。
其次，超声辅助加工可以降低加工过程中的切削力和磨损，从而延长工具寿命。
此外，超声辅助加工可以减少加工过程中的切削力和振动，在一定程度上减少环境噪音和震动对设备的损坏。
在未来，超声辅助加工技术有着广阔的应用前景。
首先，随着高性能材料的不断发展和广泛应用，对高精度加工和特殊形状加工的需求也在增加。
超声辅助加工技术可以满足这一需求，提高加工精度和加工效率。
其次，随着人们对生活品质要求的提高，对制造品质和加工表面质量的要求也越来越高。
超声辅助加工技术可以实现对微细结构的加工，提高制造品质和加工表面质量。
此外，超声辅助加工技术在医疗领域也有广阔的应用前景，可以用于植入物的制造和修复。
未来随着超声辅助加工技术的不断发展和创新，它将能够适应各种复杂、高精度和高材料性能要求的加工需求。
超声加工的技术发展与行业应用
超声加工的技术发展与行业应用超声加工是一种先进的制造技术，利用高频振动能量对材料进行微细加工、打孔、切割、雕刻等操作。
自20世纪初问世以来，超声加工技术不断发展壮大，成为众多领域中不可或缺的生产工具。
本文将详细探讨超声加工技术的原理、发展历程以及在各行业中的应用，并展望未来的发展趋势和挑战。
超声加工技术的原理是利用超声波的振动能量对材料进行加工。
超声波是一种高频振动，其频率高于赫兹，人类无法听到。
通过超声波发生器将电能转化为机械能，使工具头产生高频振动，从而对材料进行微细加工。
超声加工技术具有加工精度高、速度快、成本低、可加工材料范围广等优点，因此在各行业中得到广泛应用。
超声加工技术的发展历程可分为三个阶段。
第一阶段是起步阶段，主要研究超声波的产生和传播规律。
随着电子技术的发展，第二阶段开始研究超声波发生器和控制系统的设计。
进入21世纪后，随着计算机技术和数字控制技术的飞速发展，超声加工技术进入第三阶段，研究重点转向了加工过程的理论建模、数值模拟和智能化控制等方面。
目前，超声加工技术已经在国内外得到了广泛应用，成为现代制造业中不可或缺的一部分。
超声加工技术在各行业中有广泛的应用。
在机械制造领域，超声加工技术主要用于精密零件的加工、微细孔的钻削、难加工材料的切割等。
在医疗领域，超声加工技术可用于制备药物微粒、粉碎结石、治疗肿瘤等方面。
在珠宝行业，超声加工技术可用于宝石打孔、切割、雕刻等操作。
在航空航天、电子、汽车等领域，超声加工技术也有着广泛的应用前景。
展望未来，超声加工技术将面临更多的挑战和机遇。
随着科技的不断进步，新材料的不断涌现，对超声加工技术的加工效率、精度和可靠性提出了更高的要求。
同时，智能化、自动化和数字化是超声加工技术未来的重要发展方向。
通过计算机技术和数字控制技术，实现超声加工过程的智能控制和自动化操作，提高加工效率和精度，降低成本，是未来超声加工技术的发展趋势。
随着绿色制造和环保要求的不断提高，如何实现超声加工技术的绿色、环保和可持续发展也成为未来研究的重要方向。
超声加工技术的发展及其应用
几 十年来 ， 超声 加 工 （ 括 复合 加 工 ） 发展 较 包 的 为迅 速 ， 工 艺技术 在 深小 孔加 工 、 加工 材料 加工 其 难 方面 有较广 泛 的应 用 ， 其 是 在 难 加 工材 料 领 域 解 尤 决 了许 多关 键性 的工 艺 问题 ， 取得 了 良好 的效果 。
Ｌ ｈ ｎ ｏ ｇ， ｉ ｅ ｇ， ｈ ｎ ｎ ｊ ｎ， ａ ｇ Ｘｉ ｙ ｎ ｉＣ ｕ ｈ ｎ Ｌ ｎ Ｚ ａ ｇ Ｙｏ ｇ Ｌｉｎ ａ ｏ ｇ Ｆ ｕ ｏ
（Ｇｕ ｎ ｄ ｎ ｉｅｓ ｙｏ ｃ ｎ ｌｇ ， ａ ｇｈ ｕ５ ０ ０ ， ｈｎ ａ ｇ ｏ ｇＵｎｖｒｉ ｆ ｔ Ｔｅｈ ｏｏ ｙ Ｇｕｎ ｚ ｏ ０ ６ Ｃ ｉａ） １ Ａｂｔ ｃ ： ａｅ ｎｔｅｕ ｏｄ ｔ ｄｖｌｐ ｎ ｆ ｈ ｌ ａｏ ｉ ｍａｈｎｎ ＵＳ ｓ ａ ｔ Ｂ ｓｄｏ ｈ ｐｔ ａｅ ｅｅ ｍｅ ｔｏ ｅｕｔ ｓｎｃ ｃ ｉｉｇ（ Ｍ）ｔｃ ｎ ｌ ｙ ｒ ｏ ｔ ｒ ｅｈ ｏ ｇ ， ｏ
声振 动 时 ， 由于 等效 硬度 特性 ， 高频 振动 导 致 的内应
ｌ 超 声 加 工 技 术 研 究 新进 展
因超声 加工 技术 在硬 脆等 难加 工材 料 加工方 面
有 较 大 的 优 势 ， 时 这 些 硬 脆 材 料 具 有 普 通 材 料 无 同
法 比拟 的特 点 ， 其 在 工 程 上 有着 越 来 越 广 泛 的 应 使
超声加工的原理特点与应用
超声加工的原理特点与应用1. 简介超声加工是一种利用超声波的高频振动能量对材料进行物理、化学或机械性质改善的加工方法。
它广泛应用于各个领域，特别是在微细加工、材料表面改性和生物医学领域方面具有重要的应用价值。
2. 原理超声加工是利用超声波在介质中传播时引起的机械振动来改变材料的物理、化学性质。
其基本原理包括超声波的传播、反射、吸收和散射等过程。
3. 特点超声加工具有以下几个显著的特点：•高效率：超声波能量可以高效地传递到加工区域，使加工效率大大提高。
•非接触式加工：超声波在介质中传播，不需要直接接触材料，避免了表面损坏和污染的问题。
•可控性强：通过调整超声波的振幅、频率和加工时间等参数，可以精确控制加工效果。
•各种材料适用：超声加工适用于金属、塑料、陶瓷、玻璃等各种材料的加工和改性。
•多功能性：超声加工不仅可以进行物理、化学性质的改变，还可以实现微细加工、表面改性和生物医学领域的应用。
4. 应用领域超声加工在各个领域都有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：4.1 微细加工超声加工在微细加工领域具有重要的应用价值。
利用超声波的高频振动能量，可以实现对微小尺寸的零件进行高精度加工，如微电子器件的制造、微型机械零件的加工等。
4.2 表面改性超声加工可以通过改变材料表面的物理、化学性质来实现表面改性。
例如，可以实现表面硬化、涂层融合、表面活性物质吸附等，提高材料的表面硬度、耐磨性和附着力等性能。
4.3 生物医学领域超声加工在生物医学领域的应用也越来越广泛。
例如，可以利用超声波在体内进行无创检测和治疗，如超声造影、超声刀等，对器官和组织进行检测、诊断和治疗。
4.4 材料合成超声加工也可以用于材料的合成和改性。
通过超声波的作用，可以实现材料的分散、乳化、合成等反应，制备出具有特定性能的材料，如纳米材料、功能性材料等。
4.5 其他应用除了以上几个方面，超声加工还在食品加工、环境污染治理等方面有着广泛的应用。
超声波加工技术的发展和应用
超声波加工技术的发展和应用随着科技的不断发展，超声波加工技术也在逐步成熟，其推动了各行各业的发展。
本文将就超声波加工技术的发展和应用进行探讨。
一、超声波加工技术的发展超声波加工技术是利用超声波在材料内部产生的高频振动来实现各种加工目的的一种新型加工技术。
其在加工效率、产品质量、工作环境等方面都有许多优势。
超声波加工技术最初的应用是在陶瓷加工领域，主要是用来打磨、切割陶瓷材料。
后来，随着科技的不断进步，超声波加工技术逐渐被广泛运用到了各行各业中。
比如说，在汽车制造、电子电器制造、医药、食品加工等领域，都大量使用了超声波加工技术，以提高其生产效率和产品质量。
二、超声波加工技术的应用1、汽车制造领域中的应用超声波在汽车制造领域中的应用非常广泛。
比如，在汽车零件的制造中，超声波清洗机被广泛应用。
超声波清洗机不仅可以彻底清洗零件上的污渍和油垢，还可以达到很高的清洗效率。
同时超声波加工技术还被应用于汽车轮毂的表面清理，有效地避免了零件表面出现毛刺和堆积，提高了产品质量。
2、电子电器制造领域中的应用在电子电器制造领域中，超声波加工技术同样发挥了重要作用。
比如，在印刷电路板的制造中，超声波点焊机可以达到比传统点焊更高的焊接质量。
此外，超声波剪切机还可以用于电子元件的切割、拼接等工作。
这些设备的使用大幅提高了电子电器产品的质量和生产效率。
3、医药领域中的应用超声波加工技术在医药领域中也被广泛运用。
比如，在药物的制备中，超声波技术可以被用来加速药物分散、合成和浸提等过程。
此外，超声波在医疗器械的清洗过程中也发挥了重要作用。
超声波清洗机可以对手术器械等医疗器械进行高效清洗，保障患者的生命安全和健康。
4、食品加工领域中的应用在食品加工领域中，超声波加工技术不仅可以提高加工效率，还可以提高产品的质量。
比如，在食品中添加少量的超声波可以加速食品的固化过程，改善食品的口感。
同时，超声波清洗机也可以保证食品加工的卫生安全。
三、结语综上所述，超声波加工技术的应用极为广泛，其在加工效率、产品质量和工作环境等方面都有很大的优势。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
微细超声加工的发展现状及应用摘要:对微细超声加工的加工原理、材料去除机理和特点进行了阐述，重点在于对国内外微细超声加工的发展和应用进行总结和举例，包括旋转超声加工、成形加工和分层扫描超声加工及微细超声复合加工，最后总结了微细超声加工未来发展趋势关键词:微细超声加工；旋转超声加工；成形加工；分层扫描；微细超声复合加工Current Situation and application of micro ultrasonic machining Abstract：Through describing the machining principle、material removal mechanism and characteristics of micro-ultrasonic machining, this paper emphasize on the development and application of micro ultrasonic machining at home and abroad. And the application includes rotary ultrasonic machining, molding process and layered scanning ultrasonic machining and micro-ultrasonic composite processing. Finally the future development trend of micro ultrasonic machining is summarized.Key words：micro-ultrasonic machining rotary ultrasonic machining molding process layered scanning micro-ultrasonic composite processing前言科技的日新月异不仅对材料的性能提出了更高的要求，同时对具有微小特征的精密零件有了越来越多的需求。
尤其在电子、光学、医疗、生物科技、通信以及航天等领域，零件的小型化和精密化已经成为当前的发展趋势[1,2]。
随着微机械（Micro Electro Mechanical System）技术的发展，高新技术产品呈现微型化、精确化，晶体硅、陶瓷和光学玻璃等非金属材料得到广泛应用，微细加工成为现代制造技术重要的发展方向。
MEMs技术具有集成度高、便于大批量生产等优点。
但是这种方法难以加工具有特殊性质的金属材料，例如一些极限作业环境下所要求的高强度、高韧性、耐磨、耐高温、抗疲劳等性能的材料。
微细切削与某些特种加工相比，生产率高、容易保证加工精度。
但是，这类加工方法都存在宏观切削力，而且不能加工比刀具硬的材料。
特种加工方法采用各种物理、化学及其各种理化效应，直接去除材料以达到所要求的形状和尺寸。
它们多属于非接触加工，一般没有宏观切削力作用。
因此它们在加工微小尺度的零件时具有独特的优越性。
目前适合硬脆材料的材料加工手段有光刻加工、电火花加工、激光加工和超声加工等特种加工技术。
但是对于晶体硅和陶瓷等非金属材料，材料本身不导电，所以无法用电火花和电化学等方法加工；材料的耐高温和导热性不好，激光加工时加工区域会受热影响作用而开裂；光刻加工虽然可以加工非金属材料同时不受导热性的影响,但是在加工高深径比和复杂三维型腔时难度依然很大。
而超声波加工既不受材料导电性和导热性的限制,又可以加工出深径比很大且形状复杂的三维型腔,尤其适用于硬脆性材料的加工。
所以超声加工在加工陶瓷和半导体硅等非金属硬脆材料上有得天独厚的优势。
随着压电材料及电子技术的发展,微细超声、旋转超声、超声复合等加工技术成为了当前超声加工研究的热点。
1微细超声加工的特点和原理声波是人耳能感受的一种纵波，频率在16Hz-16kHz。
“超声波”，用来描述频率高于人耳听觉频率上限的一种振动波，通常是指频率高于16kHz以上的所有频率。
超声波的上限频率范围主要是取决于发生器，实际用的最高频率的界限，是在5000MHz的范围以内。
在不同介质中的波长范围非常广阔，例如在固体介质中传播，频率为25kHz的波长约为200mm；而频率为500MHz的波长约为0.008mm。
1.1超声波具有独特的特点（1）.超声波能传递很强的能量，并且对传播方向上的障碍物施加压力；（2）.当超声波经过液体介质传播时，将以极高的频率压迫液体质点振动，在液体介质中连续地形成压缩和稀疏区域，由于液体基本上不可压缩，由此产生压力正、负交变的液压冲击和空化现象，从而引起固体物质分散、破碎等效应；（3）.通过不同介质时，在界面上发生波速突变，产生波的反射和折射现象；（4）.在一定条件下，会产生波的干涉和共振现象。
1.2超声加工的基本原理超声加工是利用超声振动的工具在有磨料的液体介质中，产生磨料冲击、抛磨、液压冲击及气蚀作用而去除材料，或给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行振动加工的加工方法。
传统超声加工的加工原理图如图1，主要由超声工具、加工工件、磨料悬浮液、变幅杆、超声波发生器和换能器等部分组成。
在加工时，工具和工件间加入液体（煤油或水等）和磨料混合的悬浮液，并使工具以很小的力轻轻作用在工件上，由换能器产生超声频的纵向振动，并借助于变幅杆将振幅放大到0.05-0.1mm左右，驱动产生一定静压力压使工具端面作超声振动，迫使工作液中悬浮的磨粒以很大的速度和加速度不断地撞击、抛磨被加工表面。
图1 传统超声加工的加工原理图微细超声加工在原理上与常规的超声加工相似，都利用工具端面在超声振动下通过磨粒悬浮液加工硬脆材料，可以说微细超声加工只是在微纳米尺度对小型工件进行加工，但是不同之处在于微细超声加工的加工振幅较小，一般只有几微米，不需要变幅杆的放大作用，仅靠换能器产生的振幅已能满足微细加工的要求；不同于传统超声波加工的工具振动方式，微细超声波加工目前多采用工件加振的方式，即通过高性能的双面胶把工件和超声波换能器紧密结合到一起；工具电极以微米级速度向下进给；工具电极直径微小，需在线制备才能满足加工精度要求。
加工原理图如图2图2 微细超声加工的加工原理图微细超声加工的主要优点有:(1) 加工时宏观切削力小，产生的切削应力和切削热小，热影响作用小，不引起变形和烧伤;(2)适合切削脆硬材料及复杂孔型;(3) 工具可用软材料，工具制造费用低廉，容易制成复杂的形状和孔型;(4)表面加工质量比较高，可达0.05-0.02mm，表面粗糙度小可达0.2μm，可以加工薄壁、窄缝和低刚度零件;(5)不受材料导电和导热性的限制，适合加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，如玻璃、陶瓷、石英、硅、玛瑙、宝石和金刚石等，也可以加工淬火钢和硬质合金等;(6)易于其他加工方法结合进行复合加工如超声振动切削、超声磨削加工、超声光整加工、超声塑形加工、超声焊接、超声电火花加工和超声辅助电解加工等;(7)低污染。
但是微超声波加工也有自身的一些缺点,主要表现为:(1)加工速度较慢，生产效率低;(2)工具制备和安装较困难，并且工具损耗较大,易影响加工的形状精度（3）加工振幅小，产生的静压力小，检测起来困难，难以在加工过程中保持恒定；（4）加工至一定深度时，加工产物排出困难，影响甚至中断加工。
1.3微细超声加工材料的去除机理通常,超声波加工的材料去除机理主要包括以下四个方面,实际加工时工件材料去除的机理是其中某几种的组合[3]。
(a)磨粒的机械撞击作用：微细超声加工的磨粒振动频率范围在20~40kHz，在加工时，工具的底面每秒收到加工区磨粒数万次的机械撞击。
当撞击力较大时，材料直接以塑形流动形式损耗；当撞击力不足时，磨粒不断敲击会使材料内部损伤，损伤累积到一定阈值时，就会发生疲劳破坏。
(b)磨粒的自由冲击作用：磨粒材料一般为金刚石或氮化硅等硬质磨粒，硬度高且形状不规则，有锋利的棱角，超声振动时，对材料表面产生切削和刮擦效果。
(c)空化腐蚀效应：液体中的微气核空化泡在超声波作用下振动，气泡会形成、生长，并在一定声压下崩溃，急速崩溃的瞬间产生巨大的压力。
微细超声加工中，本身产生交互的冲击波，同时磨粒悬浮液也会产生超声空化作用，空化泡的不断闭合对工件表面冲击和破坏。
(d)加工液相关的化学腐蚀作用：磨粒加工液会随工件超声振动产生高频波动，从而使液体中溶氧量增加，可能导致工件表面发生化学腐蚀作用。
2.微细超声波加工的发展和应用2.1发展现状物理上的压电效应和逆压电效应的出现，促进了超声波技术的发展。
超声波加工最早研究始于1927年，美国物理学家R.W.Wood和A.E.Loomis率先用超声振动在玻璃上进行雕刻和钻孔。
1951年得到了工业应用，美国的科恩制作了第一台实用超声波加工机。
20世纪50年代至90年代，日本把超声振动系统引入数控加工机床，可进行超声振动切削、磨削及镗空的加工[4]。
在此期间,苏联、德国、美国、英国等发达国家对超声加工的加工机理及工业应用也进行了大量的研究,促进了超声波加工的实用化。
微细超声波加工的微细工具制备和安装问题首先是东京大学的T.Masuzawa提出的WEDG(线电极电火花磨削)在线制备电极方法解决[5]，用制造的工具分别在单晶硅片和玻璃上加工出直径15μm，深度为32μm的微孔。
之后还加工出了圆孔、方孔和三角孔等。
在1998年，用工件振动方法加工的直径5μm，深度10μm的微孔[6]，被认为是目前微细超声波加工微孔的最高水平。
1996年日本学者SUN 用分层加工法，在厚度300μm的硅片加工出微细空气涡轮机，且工作性能良好[7]。
我国对超声加工的研究起步较晚，当时超声波发生器和换能器等技术不成熟，缺乏合理的组织和研究工作。
直到20世纪末至21世纪初，超声加工才有了迅速发展，在硬脆材料加工上取得了一系列成果。
1999年杨晓辉等研究了微细超声加工的各种加工因素对微孔加工性能的影响[8]；兵器工业五二研究所用超声振动磨削加工陶瓷深孔，结果表明和普通磨削陶瓷深孔相比，这种方法可明显提高加工效率，并有效消除普通磨削产生的表面裂纹和凹坑；梁晶晶等人用超声加工技术对陶瓷进行的加工中，介绍了超声加工的原理和特点，综述了国内外超声加工在陶瓷材料加工方面的应用研究，并对二维超声振动磨削加工技术在陶瓷加工中的可行性进行了分析，为拓展超声加工应用领域与技术发展提供借鉴；2006年哈尔滨工业大学贾宝贤对微细超声加工中微细工具参数进行了研究，并在硅表面加工出直径13μm的微孔[9]；2010年上海交通大学的王丹在微晶云母陶瓷上加工出直径80μm，深530μm孔侧壁锥度小于0.5的通孔[10]。