矿物材料现代测试技术4电子显微镜(2)PPT

第三部分 电子显微分析
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电子显微分析
第二章 电子显微镜成像原理
1 仪器构型 2 成像
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
1 仪器构型（1）
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
1 仪器构型（2）
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
1 仪器构型（3）
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
2 成像（1）
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
2 成像（2）
Electron microscopes use something similar to a light bulb to produce electrons. This is called the filament. The filament is a piece of wire and when electricity goes through it, not only is light given off, but also electrons.
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
2 二次电子 (Secondary Electron）(2)
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
2 二次电子 (Secondary Electron）(3)
二次电子来自表面5-10nm的区域，能量为050eV，大部分为2－3eV。
它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示 试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层，入 射电子还没有被多次反射，因此产生二次电子的 面积与入射电子的照射面积没有多大区别，所以 二次电子的分辨率较高，一般可达到5-10nm。扫 描电镜的分辨率一般就是二次电子分辨率。
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
2 成像（3）
A special type of detector acts like a TV camera and the image of the sample is displayed on a TV screen. By changing how the electrons are bent and how the beam of electrons strikes the sample, you can change the magnification and focus of the TV image.
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy) (SEM)
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy) (TEM)
电子探针(Electron Probe Microscopic Analyzer) (EPMA) 分别侧重于对上述某一方面或几方面的信息进行测量分析的。
3 背散射电子 (Back－scattered Electron)
4 透射电子 （Transmitted Electron）
5 吸收电子 （Absorption Electron）
6 X射线
（X ray ）
7 俄歇电子 （Auger Electron）
8 阴极发光 （Cathodo－luminescence）
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
2 二次电子 (Secondary Electron）(4)
二次电子产额随原子序数的变化不大，它主 要取决与表面形貌。
因此一般所说的电子显微镜照片即是指收集 到的二次电子信号转化成的图象。简称形貌像。
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
3 背散射电子 （Back－scattered Electron）(1)
X射线
（X ray）
俄歇电子 （Auger Electron）
阴极发光 （Cathodo－luminescence）
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
1 概述（2）
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
1 概述（利用它们。
These electrons are focused by a series of magnets. The magnets are made magnetic by electricity and are called electromagnets. The electrons can be focused on the sample and when they hit the sample a signal is given off.
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
2 成像（4）
The meaning of “SCANNING”
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电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理
2 成像（4） Finally，we get the “Image”.
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电子显微分析
第三章 电子束与物质之间的作用
1 概述
2 二次电子 (Secondary Electron）
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
1 概述（1）
高速运动的电子束轰击样品，会产生很多物理信息， 主要有：
二次电子 （Secondary Electron）
背散射电子 （Back－scattered Electron）
透射电子 （Transmitted Electron）
吸收电子 （Absorption Electron）
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电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用
2 二次电子 (Secondary Electron）(1)
二次电子是指被入射电子轰击出来的样品中原 子的核外电子。
由于原子核外层价电子间的结合能很小，当原 子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能 的能量后，即可脱离原子核变成自由电子。
如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处， 则那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表 面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。
背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一 部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹 性背散射电子。
弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来 的，散射角大于90度的那些入射电子，其能量基 本无变化（几到几十KeV）。