真空系统介绍
真空系统的基本介绍
真空系统的基本介绍
真空热处理炉的真空系统主要参数有极限真空度、工作真空度、抽气时间、抽气速率、漏气率(压升率)。
极限真空度，真空炉在空炉、冷态下所能达到的最高真空度称为极限真空度。
极限真空度是考核真空炉各零部件的加工、装配质量，真空机组的抽气能力与极限真空，炉体的密封与漏气和真空卫生情况的重要指标。
单室卧室油淬真空炉，它中间没有真空闸门，淬火时产生的油蒸气进入并污染加热室，影响加热元件的使用寿命和电气绝缘件的绝缘性能，生产率低，能源利用率也低。
立式和卧式双室油淬真空炉，加热室与冷却室之间配置了真空隔离门(隔热闸)，这种炉型可以克服单室油淬炉的缺点，且有较高的生产率，节能效果也非常显著，但其结构比单室炉复杂得多，炉子造价也高。
三室半连续和三室连续真空热处理炉。
这种炉型有两个真空隔热闸，将炉体分为预备室、加热室和冷却室，工件加热保温后迅速转移到冷却室经淬火机构进行入油淬火，预备室的机械装置将下一件工件装进加热室；加热室可以始终保持加热或保温状态，因而热损失小，热效率高，适合批量连续生产。
真空系统讲义
或联锁投入条件下，2#真空泵故障； 或联锁投入条件下，2#真空泵运行时，凝汽器真空 低开关动作（整定值：－80KPa）。 自动停泵条件：程序停泵指令。
1＃真空泵进口气动阀： 作用：1、真空泵不运行时关闭，防止气体反流。
关闭相关阀门
及时恢复误操作设备到正常状态
给水封注水
真空泵故障及相应处理：
故障
原
因
抽气 1、间隙过大
2、填料处漏气 量不 3、水环温度高
够 4、管道系统漏气
真空 度降 低
振动 或有 响声 轴承 发热 启动 困难
1、法兰连接处漏气 2、管道有裂纹 3、填料漏气 4、叶轮与侧盖间隙过大 5、水环发热 6、水量不足 7、零件摩擦发热，造成水环温度升高 1、地脚螺栓松动 2、泵内有异物 3、叶片断裂 4、汽蚀
入口压力开关
真空泵进口气动阀前后压差开关 PDS25.04、PDS25.05:
在气动阀前后压差达到3KPa时打开 真空泵进口气动阀。
压力变送器PT25.01、PT25.02、PT25.03： 将凝汽器喉部压力送到DCS用于监盘。装在8 米平台窗边。
压力开关PS25.01、PS25.02、PS25.03： 将凝汽器喉部压力送到ETS用于保护，当 三选二小于－75KPa时跳机。
或真空泵运行且分离罐水位低。 自动关条件：真空泵运行且分离罐水位高。
分离罐排水电磁阀： 作为分离罐排水控制设备，由分离罐液位 控制实现自动排水功能。
控制逻辑： 允许开条件：无。 允许关条件：无。 自动开条件：真空泵运行且分离罐水位高高。 自动关条件：真空泵运行且分离罐水位高。
真空系统的组成
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
真空系统的组成
12.1真空系统的形式
真空系统是由真空容器和获得真空、测量真空、控制真 空等组件组成。
一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空 机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、 其他真空元件及电气控制系统构成。，经过精心组装而 成的。
真空系统的分类
按工作压力分：
12.3典型真空系统
1、粗真空系统 用粗真空泵（如 水蒸汽喷射或水 环泵）直接从大 气压下为真空室 排气，组成的真 空系统极为粗真 空系统。该系统 是最简单的真空 系统。
2、低真空系统
用低真空泵（如油封式机械泵）给真空室排气，即可组成 低真空系统。
3、中真空系统
中真空系统一般是有两个以上的真 空泵串联组成的 （1）油增压泵串联油封机械泵组成 的真空系统。该系统的工作压力范 围为1.33~1.33×10-1Pa。其优点是 系统简单，抽气能力大，振动小， 工作稳定可靠，维修方便。缺点是 预抽时间比罗茨泵系统长。 （2）罗茨泵串联油封机械泵的真空 系统。该系统的工作电压范围为 1.33~1333Pa.优点是抽气能力大， 启动快，预抽时间短。缺点是工作 时噪声较大。右图为典型示意图 （3）罗茨泵串联小型罗茨泵（中间泵），再串联机械泵的真空系统。系统 的工作压力范围为0.33~1333Pa.该系统不但具备了罗茨泵系统的特点，而 且加宽了工作压力范围和最佳压力缩比。 （4）罗茨泵串联水环泵的真空系统。该系统适合于排除灰尘较多的应用设 备上。
真空系统的组成.
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（3）高真空抽气机组
高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比， 其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速 大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛 升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因 此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组 性能。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
真空系统+真空泵
具备的。
在钢液真空精炼设备上选用水环泵应考虑如下几点:
1) 水 环泵工作时必须提供连续不断的工作水,通常水为一次性使
用,以防止二次污染的水回到泵体,加重泵体及叶轮的磨损; 2) 由于水在真空状态下易沸腾及蒸发的特性,在选用水环泵时其 抽气能力及工作真空度都要留有充分余地,通常要大于额定值的20%以 上;
实例进行具体描述。
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真空系统
研1519
尹秉政
2150820027
1.真空系统
1.1 什么是真空系统？
用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度 的抽气系统。
1.2 真空系统的组成元件
一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道；
4. 真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；
3) 在钢液真空精炼设备上采用水环泵,可节省15%~30%的蒸汽,因
此,在用户蒸汽供给系统能力不足时可考虑采用;
5. 总结
在本次汇报中，首先简单介绍了真空系统 的相关内容；然后介 绍了真空系统中的抽气设备—真空泵；接着在各种真空泵中，选择
了水环泵 作为主要阐述对象；紧接着介绍了水环泵的应用，并通过
动态真空系统:系统中有气体流动,系统中各处压强不等,系统的各
截面有压强降落。凡是真空室或系统某处有放气或漏气的真空系统
均属此类。
1.4 真空系统分类
(1)按真空系统工作真空度的高低可分为低真空系统、中真空系统、 高真空系统和超高真空系统。 (2)按真空系统工作的清洁程度可分为有油真空系统(真空室有油蒸气 污染的)和无油真空系统(真空室无油蒸气污染的)。 (3)按真空系统的结构材料可分为玻璃真空系统(除了机械真空泵以外 全由玻璃制成)和金属真空系统。
真空系统操作手册
真空系统操作手册摘要：本文档旨在提供针对真空系统的操作指南。
真空系统是许多工业和科研领域中常见的系统。
正确操作真空系统至关重要，以确保系统的性能和安全性。
本手册将介绍真空系统的基本原理、操作步骤和常见故障排除方法。
第一部分：引言1.1 目的本操作手册旨在帮助用户理解和正确操作真空系统，以确保系统的安全性和性能。
1.2 读者对象本手册适用于那些需要使用真空系统的工程师、研究人员和操作人员。
1.3 背景知识读者应具备一定的真空知识和操作经验，包括真空度、真空泵和真空封接等基本概念。
第二部分：真空系统基础知识2.1 真空概念和单位介绍真空的基本概念和常用的真空单位，如Torr、Pa、mbar等。
2.2 真空系统组成介绍真空系统的基本组成部分，包括真空泵、真空容器、真空管道等。
第三部分：真空系统操作步骤3.1 准备工作准备操作所需的材料，包括真空泵、真空度测量仪器、气体供应等。
3.2 打开真空系统按照正确的顺序打开真空系统中的各个组件，并确保安全操作。
3.3 真空抽取启动真空泵，抽取系统中的气体，使系统达到所需的真空度。
3.4 真空度测量使用适当的真空度测量仪器，对系统的真空度进行测量和监测。
3.5 操作系统操作所需的附加设备和工具，如加热器、阀门等。
3.6 关闭系统按照正确的顺序关闭系统中的各个组件，包括真空泵和其他附加设备。
第四部分：真空系统故障排除方法4.1 常见故障列举常见的真空系统故障情况，如泵故障、泄露等。
4.2 故障排除步骤针对每一种故障情况，提供相应的排除步骤和建议。
第五部分：安全注意事项5.1 真空系统安全性强调真空系统操作时的安全性要求，如穿戴个人防护装备、遵循操作规程等。
5.2 真空系统维护介绍定期维护真空系统的必要性和方法，包括清洁、润滑等。
结论：通过本操作手册，读者可以全面了解真空系统的基本原理、操作步骤和故障排除方法。
正确操作真空系统对于保证系统的性能和安全性至关重要。
本手册旨在帮助读者提高对真空系统操作的理解和技能，并最大限度地减少故障发生的可能性。
真空系统特点和原理
真空系统特点和原理什么是真空系统？真空系统指的是在一个封闭的设备中，通过吸气装置将其中的气体抽出，使得设备内部压力低于大气压的一种工艺。
真空技术在许多领域中起着重要的作用，比如电子学、化学、材料科学等。
在电子学领域中，真空技术可用于制备集成电路、真空管、显示器等器件，同时还可用于飞行器、地下管道等设备的维护和测试。
特点1. 稳定性真空系统可以在非常稳定的环境下工作。
由于内部压力较低，因此可以避免许多热扰动和气动扰动。
这意味着在真空环境中，实验和测试结果非常准确。
2. 洁净在真空系统中，几乎没有任何气体和其他成分，因此可以避免许多杂质和污染物对实验和测试结果的干扰，使得实验数据更准确。
另外，在真空环境下，材料受到的氧化和腐蚀也大大降低，可以延长设备寿命。
3. 透明度真空环境对于电子束和光线具有很好的透明度，这使得在真空环境下进行的实验和测试能够获得更清晰和可靠的结果。
4. 可调性真空系统可以根据不同需求进行调整，比如通过控制内部压力，可以在不同的真空下进行实验和测试。
原理真空系统的原理基于“气体流动动力学”和“分子动力学”等理论，主要分为两个步骤：1. 抽气抽气装置通过机械或者电子的方式，可以将设备内包含的气体抽出，形成低压和高真空区域。
在真空板中，可以使用各种设计的吸气装置，如机械泵、扩散泵、离子泵、涡流泵等。
其中，在低真空区域下(几千帕到几十帕)，常使用机械泵，高真空区(1×10(-1)帕到1×10(-5)帕)则使用扩散泵等。
在超高真空区域(1×10^(-5)帕及以下)，则需要使用离子泵和涡流泵等。
2. 测量和控制一旦设备中的气体被抽出，真空系统的下一步是测量和控制设备内的压力。
为了保持内部压力达到所需水平，通常需要在真空系统中加入排气阀和调压阀等器件。
这些器件通过对真空系统的气体流量进行控制来保持内部压力。
结论真空技术在现代科学中起着非常重要的作用。
通过抽取气体并控制压力，真空系统可以提供一个干净，稳定和透明的实验环境，而这些特点不仅使得许多领域的实验更加准确和可靠，也使得许多现代技术得以应用和发展。
真空系统的作用
真空系统的作用
真空系统是一种用于在封闭空间中创造和维持真空条件的技术。
它在工业生产、实验室研究和其他领域中发挥着重要作用。
以下是真空系统的一些主要作用：
1. 真空腔体的创造：真空系统可以创建低压或高度抽气的环境，以在实验室和
工业生产过程中提供必要的空间。
这种真空环境可以有效地控制、观察和测试物质在低压条件下的行为。
在材料科学、化学、物理学和许多其他科学领域，真空腔体也被用于清洁和处理材料表面。
2. 加工和制造过程的控制：许多工艺过程需要在真空条件下进行，以避免不利
的化学反应、杂质污染或使产品遭受大气中的腐蚀。
真空系统在半导体制造、电子工业、玻璃制造、各种涂层和表面处理过程中发挥着关键作用。
通过利用真空环境，可以改善材料的性能、减少气泡的产生，并实现高质量的产品。
3. 负压环境的研究：真空系统还被用于各种物理实验和研究中，特别是在微重
力条件下的科学研究中。
在太空探索、粒子物理学、核磁共振等领域，真空系统的应用非常广泛。
它们可以帮助科学家们模拟和研究高度稀疏的空间环境，以及实验中需要创建特殊条件的情况。
4. 真空绝缘：真空系统中的真空腔和真空管道具有出色的绝缘性能，可以防止
热传导和能量损失。
这使得真空系统在高温或低温环境下广泛应用，例如制冷设备、太阳能热水器、真空隔热材料等。
总结起来，真空系统是一种功能强大的技术，可在许多领域中发挥作用。
它在
实验室研究、工业生产和科学研究中扮演着重要角色，帮助控制环境条件，改善产品质量，并推动前沿科学的发展。
真空系统知识
目录一、真空名词术语二、真空单位换算三、真空计算公式四、选用真空泵时，需要注意下列事项五、真空的概述六、真空常识介绍七、罗茨泵－水环泵真空机组工作原理八、罗茨真空泵工作原理一、真空名词术语1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5³10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕²升/秒（Pa²L/s）或托²升/秒（Torr²L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即S p＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
真空系统介绍及其系统结构组成
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
真空系统介绍及其系统结构组成
真空系统其实就是真空机组的一个类似的称呼，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，它不见得有一些诸如散热器，冷凝器等等设备存在。
而通常能称为真空系统的肯定是各种零部件齐全。
真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。
举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统。
那么真空系统相比较于机组来说有多少泵组成呢?这个是不确定的，先来认识一下可能存在的泵的名词解释。
(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。
如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。
如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。
为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。
如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空，而想要获得高真空时，通常在真空系统中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。
当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀。
气体动力专业知识02-真空系统的介绍及应用
2、真空单位换算
0.1Mpa（1标准大气压） =1.013Χ105N/m2 =1.013Χ105pa =1.013bar =1.013Χ103mbar
=1.033kgf/cm2 =10.33mH2O =760mmHg =760Torr =1.013Χ103hpar
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3、真空等级及适用工艺表
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4、附图一 工艺真空系统图
真空系统
目录
1、真空等级两个典型系统简介 2、真空单位换算 3、真空等级及适用工艺表 4、真空系统流程图
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1、真空等级两个典型系统简介
制程真空：不作为直接对制程机台提供真空环境，为制程机台真空设备之末端 抽气或产生粗略真空(如供真空吸笔用)。 洁净集尘系统：属于负压型的集尘系统，真空度仅为粗略真空，操作压力介于排 气系统与制程真空间 。
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4、附图二：清扫真空系统图
真空系统介绍
压强关系图
点相对压强
点绝对压强值
一个大气压
点真空度 点绝对压强值
绝对真空
4、真空常用单位：
Torr mmHg InHg 换算关系：
２、安装真空缓冲罐还可以防止泵倒吸后水 进入反应设备中。
3 、为体系多提供一个卸压点；（卸压） 4 、可以干燥,冷却进入泵的气体 ；（干燥冷
却）
5、减少真空泵损耗（通过PLC控制，当真空 泵将罐抽到极限真空时候就可以停下真空泵， 等真空度不够时再次启动，降低能耗，）
真空缓冲灌
四、管道阀门及其工法介绍
1、PV管路使用材質
200A (含)以上為鍍鋅管,以下為 PVC-SCH 80
PVC (PolyVinvlChloride,聚氯乙烯) 是统称，包括： UPVC - Unplasticised Polyvinvl Chloride 未塑化聚氯乙烯 PPVC - Plasticised Polyvinvl Chloride 塑化聚氯乙烯 CPVC - Chorinated Polyvinyl Chloride 氯化聚氯乙烯
2）动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量 传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的 入口传输到出口。
1.2.2、气体捕集泵
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表 面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽 气目的的真空泵，有以下几种型式。
1）吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的 物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
真空系统用途
真空系统用途真空系统是一种设备，用于在封闭空间内创建低压环境。
它广泛应用于各种科学研究、工业生产和日常生活中。
真空系统的用途是多样的，下面将详细介绍其在不同领域中的应用。
首先，在科学研究领域中，真空系统被广泛用于物理学、化学、生物学、医学和天文学等各个领域。
在物理学中，真空系统可以用于制备高纯度的材料和材料表面的处理，以便研究材料的物理性质。
在化学领域，真空系统可用于真空蒸馏、蒸发和干燥等化学实验。
在生物学和医学领域，真空系统通常用于细胞培养、组织切片和药物输送等实验。
在天文学中，真空系统可用于模拟太空环境，以便进行宇宙射线的研究。
其次，在工业生产中，真空系统也有着重要的应用。
在制造业中，真空系统通常用于气体抽除、真空封装和真空热处理等工艺。
在半导体制造业中，真空系统被用于制造芯片和集成电路等微型器件。
在航天航空领域，真空系统被用于模拟太空环境、测试航天器件和进行航天实验。
在医疗器械制造业中，真空系统通常用于医用包装、生物制品的加工和医用器械的灭菌等工艺。
此外，在日常生活中，真空系统也有着一些应用。
例如，真空保温杯可以有效地保持饮料的温度，真空保鲜盒可以延长食物的保鲜时间，真空吸尘器可以清洁地毯和地板等。
因此，可以说真空系统已经渗透到了我们生活的方方面面。
总的来说，真空系统的用途是非常广泛的，它在科学研究、工业生产和日常生活中都发挥着重要的作用。
正是由于真空系统的存在，才使得许多科学实验和工业生产过程成为可能。
因此，真空系统的发展和应用对于推动科学技术的进步、提高工业生产效率和改善人们的生活质量都具有重要的意义。
随着科技的不断进步，相信真空系统在未来将会有更加广阔的应用前景。
真空系统的分类
真空系统的分类真空系统可以根据其工作压力范围进行分类，主要包括以下几种：1．低真空系统：这种系统的极限真空度在低真空范围内，通常只需用机械泵给真空室排气，系统相对简单。
2．中真空系统：这种系统的工作压强范围通常在1.333-3×102 Pa之间，应用比较普遍，许多应用设备如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等都采用这种系统。
中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。
3．高真空系统：高真空系统的工作压强范围通常在6.67×10-2-1.33×10-3 Pa之间，应用也比较广泛，如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等都采用高真空系统。
4．超高真空系统：超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。
由于这些现代科学技术发展的需要，大大促进了超高真空技术的发展，目前超高真空实用真空度已达到10-12 Pa。
此外，真空系统还可以根据使用的泵的类型进行分类，主要包括以下几种：1．机械泵系统：这是实验室中最常见的真空系统之一，由一个机械泵和一些附属设备组成，可以将大气压力的空气排出，形成低压或高真空。
这种系统结构简单、使用方便、价格较低，常用于一些温和条件下的真空实验。
2．扩散泵系统：在扩散泵系统中，气体经过一个热扩散器被排出真空室。
这种系统有比机械泵更高的抽气速度，可以实现较高真空，但是设备比较复杂，需要不断补充工质。
3．离子泵系统：离子泵系统利用电场加速离子，并通过静电作用把气体气体分子排出真空室。
由于离子泵不能减压到大气压以下的真空度，常常要和机械泵等其他泵系统组合使用。
离子泵系统适用于需要较高真空度的实验室应用。
4．分子泵系统：分子泵系统可将气体分子从表面排出，从而实现非常高的真空度。
这种系统由一个分子泵和附属设备组成，能够实现超高真空环境，但是需要进行高度维护和清洁，防止污染气体。
真空系统工作原理
真空系统工作原理
真空系统是一种应用于不同领域的重要设备，其工作原理基于以下几个方面。
1. 抽气：真空系统利用泵进行抽气操作，将系统内的气体抽出，从而降低系统内的压力。
这可以通过不同类型的真空泵实现，如机械泵、扩散泵、分子泵等。
泵的运行产生负压，使气体从高压区域移动到低压区域，并最终排出系统。
2. 密封：真空系统需要确保系统内外的气体不会相互混合，因此需要采用高效的密封措施。
常见的密封方法包括橡胶垫圈、密封胶等。
密封的质量对于维持系统真空度至关重要。
3. 漏气控制：在真空系统中，漏气是系统真空度下降的主要原因之一。
因此，需要对系统进行严格的气密性检测，并采取相应的措施修复漏气点。
常见的漏气检测方法包括氦质谱检漏仪、气泡检测等。
4. 气体排除：真空系统中的气体排除是指将系统中残留的气体排出系统，以达到更高的真空度。
气体排除可以通过充氮、充氩等惰性气体来实现，也可以通过氮气冲洗或真空加热等方法加速气体的排出。
5. 真空度测量：真空系统中的真空度是指系统内的气体压力的大小。
为了控制和调节系统的真空度，需要使用真空度测量仪器进行实时监测。
常见的真空度测量仪器包括真空计、Pirani
计等。
通过以上几个方面的工作原理，真空系统能够在不同的领域中实现各种应用，如科学实验、工业生产、半导体制造等。
其稳定的抽气和密封性能，以及精确的真空度控制，对于确保系统的正常运行至关重要。
真空系统原理
真空系统原理
真空系统是一种通过采用可控制的真空管路，控制真空气体的硬件和软件系统，用于更好的利用气体化学反应、电介质反应或物理反应的加工工具。
真空系统的工作原理主要基于以下几点：
1. 真空泵：真空泵是真空系统的核心部件，其作用是使系统内部产生负压，从而排除系统内的气体，达到真空状态。
根据不同的应用需求，可以选择不同类型的真空泵，如旋片泵、滑阀泵、罗茨泵等。
2. 气体捕集器：气体捕集器的作用是捕集系统内残留的气体，以降低系统的气体压力。
常用的气体捕集器有分子筛捕集器、活性炭捕集器和冷凝器等。
3. 真空阀门：真空阀门用于控制真空系统的进出口，调节系统的气体流量和压力。
根据不同的应用需求，可以选择不同类型和规格的真空阀门，如蝶阀、球阀、针阀等。
4. 真空计：真空计用于测量系统内的气体压力。
根据不同的测量原理，真空计有多种类型，如热偶计、皮拉尼计、麦氏计等。
5. 控制电路：控制电路用于控制真空系统的运行。
通过控制电路，可以对真空泵、真空阀门等进行远程控制，实现自动化操作。
在实际应用中，真空系统可以根据不同的需求进行定制，以实现不同的功能和效果。
例如，在电子制造领域，真空系统可以用于实现真空蒸镀、真空镀
膜等工艺；在科学研究领域，真空系统可以用于高精度实验和测量；在食品加工领域，真空系统可以用于食品包装和杀菌等。
真空系统介绍
真空系统介绍真空系统介绍⒈引言此文档旨在介绍真空系统，包括其基本原理、组成部分以及应用领域。
真空系统是一种利用各种技术手段将气体流动控制在低压环境下的系统。
它在科研实验室、工业生产以及医疗设备等领域广泛应用。
⒉基本原理真空系统的基本原理是通过减压手段将系统内的气体流动减少到一个较低的压力水平。
常用的减压手段包括机械泵、说服泵以及分子泵等。
通过减压，真空系统可以实现可控的低气压环境。
⒊组成部分⑴减压装置真空系统的减压装置起到降低压力的作用。
常用的减压装置包括机械泵、说服泵、分子泵以及涡轮分子泵等。
每种减压装置都有其适用的压力范围和工作原理。
⑵气体收集系统真空系统需要收集和处理流出的气体。
气体收集系统通常包括气体收集罐、冷凝器以及其他处理设备。
这些设备可以分离、回收和处置气体，以满足不同的需求。
⑶控制系统真空系统的控制系统用于监测和控制系统内的压力、温度和流量等参数。
控制系统通常包括传感器、阀门、计量仪表和计算机控制等部分，以实现对真空系统的精确控制和调节。
⒋应用领域⑴科研实验室真空系统在科研实验室中广泛应用，用于制备样品、实现特定的气氛条件以及模拟极端气候环境等。
它在物理学、化学、材料科学等领域起到重要作用。
⑵工业生产真空系统在工业生产中常用于处理、包装和干燥等工艺。
例如，在食品包装行业中，真空系统可以将氧气抽出，延长食品的保鲜期。
⑶医疗设备真空系统在医疗设备中起到关键作用。
例如，真空系统可用于医疗器械的消毒和干燥，以及操作室和手术室的气氛控制等。
⒌附件本文档没有涉及附件内容。
⒍法律名词及注释⑴真空度：衡量真空系统状态的参数，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）表示。
⑵减压装置：用于降低真空系统内气体压力的装置，包括机械泵、说服泵、分子泵等。
⑶气体收集系统：用于收集和处理真空系统流出气体的系统，通常包括气体收集罐、冷凝器等设备。
⑷控制系统：监测和控制真空系统参数的系统，包括传感器、阀门、计量仪表、计算机控制等。
真空系统工作原理
真空系统工作原理
1 真空系统基本概念
真空系统是一种通过采用可控制的真空管路，控制真空气体的硬件和软件系统，用于更好的利用气体化学反应、电介质反应或物理反应的加工工具。
真空装置里的真空管道包含空气进入器、真空阀、吸附器、真空泵、真空计、干燥器、过滤器、分析仪等组件，可以用于把空气和气体吸收、压缩、膨胀、加热或冷却、测量流量、净化等。
2 系统组件
真空系统的主要组成部分包括真空管路、真空泵、真空波纹管、膨胀器、引气器、真空气体冷却器、真空气体稳定器和真空气体测试仪等。
（1）真空管路。
真空管路是电气控制系统中一种重要的部件，可以连接其他组件，如真空泵、膨胀器等。
真空管路往往采用复合铝合金材料，具有很高的耐热性、耐腐蚀性和耐压等特点，可以稳定控制真空气体的流动。
（2）真空泵。
真空泵是真空系统中用于抽取空气中的气体，使真空度达到指定值的一种设备。
真空泵的主要分类有活塞式、旋转式、桨叶式、离心式等。
（3）真空波纹管。
真空波纹管是在真空系统中用于把从真空泵抽出的气体和source-side（源端）的气体分开的一个设备。
3 工作原理
真空系统的工作原理是，首先，通过真空泵不断抽取空气中的气体，把它们压缩到一定的大小。
随后，通过真空波纹管把抽取的气体与源端的气体分开，这样可以避免真空泵无限循环而造成的问题。
接着，空气经过真空管路时会发生凝结，因此还需要引入一个膨胀器来防止凝结，从而维持气体的流速和压力不变。
最后，使用真空计来检测真空气体的数值，从而控制和维持真空系统的稳定性。
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水环泵也有其缺点
效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。
真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重 要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液 极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液， 可达130Pa。
3、罗茨泵
3.1、罗茨泵简介
2.2、水环泵的工作原理
在泵体中装有适量的水作为 工作液。当叶轮按图中顺时 针方向旋转时，水被叶轮抛 向四周，由于离心力的作用， 水形成了一个决定于泵腔形 状的近似于等厚度的封闭圆 环。水环的下部分内表面恰 好与叶轮轮毂相切，水环的 上部内表面刚好与叶片顶端 接触（实际上叶片在水环内 有一定的插入深度）。此时 叶轮轮毂与水环之间形成一 个月牙形空间，而这一空间 又被叶轮分成和叶片数目相 等的若干个小腔。
5）振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀
6）驱动功率小，机械摩擦损失小；
7）结构紧凑，占地面积小；
8）运转维护费用低。 因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电 子工业部门得到广泛的应用。
3.2、罗茨泵工作原理
在泵腔内，有二个“8”字 形的转子相互垂直地安装 在一对平行轴上，由传动 比为1的一对齿轮带动作 彼此反向的同步旋转运动。 在转子之间，转子与泵壳 内壁之间，保持有一定的 间隙，可以实现高转速运 行。由于转子的不断旋转， 被抽气体从进气口吸入到 转子与泵壳之间的空间v0 内，再经排气口排出。
如果只是说PVC的话，一般指PPVC
2、负压表
3、阀门
4、PVC-SCH80管與管配件接合
將管子及配件(三通、彎頭…等)置放於同一溫 度下，使用附輪子的切管器將管子端面切整 齊。
切割
使用倒角器工具將管端倒角(約10-15º)並清除 管內外毛邊，再用乾淨的無塵布沾清潔劑IPA 或酒精，將管子裡外及配件插口的灰屑、溼 氣及油污擦拭乾淨。
1.2.1、气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借 以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类 型：
1) 变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸 气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。 这种泵分为往复式及旋转式两种 。其中旋转式真 空泵又分为油封式真空泵、干式真空泵、液环式真 空泵、罗茨真空泵。
1、PV管路使用材質
200A (含)以上為鍍鋅管,以下為 PVC-SCH 80
PVC (PolyVinvlChloride,聚氯乙烯) 是统称，包括： UPVC - Unplasticised Polyvinvl Chloride 未塑化聚氯乙烯 PPVC - Plasticised Polyvinvl Chloride 塑化聚氯乙烯 CPVC - Chorinated Polyvinyl Chloride 氯化聚氯乙烯
由于吸气后v0空间是全封 闭状态，所以，在泵腔内 气体没有压缩和膨胀。 但
当转子顶部转过排气口边 缘，v0空间与排气侧相通 时，由于排气侧气体压强 较高，则有一部分气体返 冲到空间v0中去，使气体 压强突然增高。当转子继 续转动时，气体排出泵外。
如上图
罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。
2）动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量 传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的 入口传输到出口。
1.2.2、气体捕集泵
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表 面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽 气目的的真空泵，有以下几种型式。
1）吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的 物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
水环泵的工作原理
如果以叶轮的下部0°为起 点，那么叶轮在旋转前 180°时小腔的容积由小变 大，且与端面上的吸气口 相通，此时气体被吸入， 当吸气终了时小腔则与吸 气口隔绝；当叶轮继续旋 转时，小腔由大变小，使 气体被压缩；当小腔与排 气口相通时，气体便被排 出泵外。
综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来 实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容 式真空泵。
２、安装真空缓冲罐还可以防止泵倒吸后水 进入反应设备中。
3 、为体系多提供一个卸压点；（卸压） 4 、可以干燥,冷却进入泵ห้องสมุดไป่ตู้气体 ；（干燥冷
却）
5、减少真空泵损耗（通过PLC控制，当真空 泵将罐抽到极限真空时候就可以停下真空泵， 等真空度不够时再次启动，降低能耗，）
真空缓冲灌
四、管道阀门及其工法介绍
3、管道保压
在管道与配件都连接好并固定后需对管路 进行试压以确保管路无泄漏。
五、注意事项及常见缺失
需用密封胶将穿过天花的管子与天花之间的 缝隙封住。
从天花下到地面的管子之间的阀门需安装在 容易开闭的地方
在90度弯头的两端附近需用支架固定，防止 管子摇晃
管道做完后应检查所有管路标示和阀门的挂 牌
2.3水环泵的优缺点
水环泵与其他机械泵相比有如下优点：
结构简单，制造精度要求不高，容易加工。
结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联， 无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的 排气量，占地面积也小。
压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变 化很小。
由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润 滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可 直接由水封来完成。
2.1水环真空泵简介
简称水环泵，是一种粗真空泵，它所能获 得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷 射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩 机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩 机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。由于 真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空 获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中 气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的 气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因 此，水环泵应用日益增多。
2）吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真 空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存 在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
3）吸气剂离子泵
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附 在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。
4）低温泵
利用低温表面捕集气体的真空泵
2、水环真空泵
另一种说法是,凡压力比大气压力低的容器里 的空间都称做真空。真空有程度上的区别:当 容器内没有压力即绝对压力等于零时,叫做 完 全真空;其余叫做不完全真空。
压强关系图
点相对压强
点绝对压强值
一个大气压
点真空度 点绝对压强值
绝对真空
4、真空常用单位：
Torr mmHg InHg 换算关系：
2、工业应用（Industry Application）
应用于工业生产的许多工艺过程中，如真 空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、 真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。
3、真空概念（Vacuum Concept)
一种说法是,当容器中的压力低于大气压力时, 把低于大气压力的部分叫做真空,而容器内的 压力叫绝对压力。
PVC/CPVC管子及配件試插，管子應可插入 配件的1/3-3/4深，接下來須使用清潔劑塗在 PVC/CPVC管子表面及配件的插口，如此可 以滲透軟化並溶蝕擦過的部位。
使用毛刷將膠合劑塗在PVC管端表面，塗完黏膠後 應立即將管子插入配件套接並旋轉1/4圈，管必須和 配件套接底部接觸。組合應維持10到15秒固定以確 保初步接合，管和配件接合點的周圍膠水溢出應很 連續，如不連續，表示塗抹的黏膠不足需切掉重黏。 另過量溢出之黏膠需以無塵布擦拭。
罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨 鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不 同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨 泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般 来说，罗茨泵具有以下特点： 1）在较宽的压强范围内有较大的抽速； 2）起动快，能立即工作； 3）对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 4）转子不必润滑，泵腔内无油；
1atm=760mmHg=760torr=29.92inHg
奇信电子真空系统架构
排气
真空机
排气
储气罐 5m³
2楼用气点
3楼用气点
真空机
二、真空泵浦（Vacuum Pump）
1、真空泵的分类
1.1、按真空度分：
高真空 -4帕以下 中真空 1~-4帕 低真空 大气压到1帕
1.2、按工作原理分
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种 类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。 （图e） 转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
真空机主要组成部件
控制电盘 马达
水气分离器
真空泵浦 （转子）
水冷却器
真空机工作流程
泵浦出口
真 空 使 用 端
自来水补水
泵 浦 入 口
三、真空（缓冲）灌
真空灌的作用
１、真空缓冲罐加入适当的中和剂可以有效 拦截反应装置中产生腐蚀物质，减少对泵的 腐蚀； （防腐）
PV系统基本知识
一、PV系统简介 二、真空泵浦 三、真空灌 四、管道阀门及其工法介绍 五、注意事项及常见缺失
一、PV系统简介 （Pressure of Vacuum System
Introduction）
1、系统组成（System Form）
PV系统即真空系统，主要由真空泵浦、真 空灌、真空测量仪表及管道系统等组成。
任何材質套接前，須用清潔劑、IPA或酒精擦 拭套接處後才可做套接動作。
所有管子、管件套接時需使用同一牌廠、同 一材質。
清潔劑、膠合劑需使用管材原廠推薦之品牌。
PVC管件在施以水壓前須置放等待復原的時 間需24hr。
管件接合後須放置時間
管子尺寸溫度範圍PVC/CPVC管件在接合後 須放置的時間：管子尺寸1/2”~1-1/4”、管子 尺寸1-1/2”~3”、管子尺寸4”~8”、管子尺寸 10”~16”、管子尺寸18”~24”、15℃以上分别 是15分、30分、1時、2時、3時；5℃-15℃ 是1時、2時、4時、8時、12時；5℃以下是3 時、6時、12時、24時、36時管件接合後復 原時間