扫描电镜与能谱仪ppt课件
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扫描电镜和能谱仪
生物样品分析
用于研究生物组织、细胞中的元素分布和含量， 有助于了解生物体的生理功能和代谢机制。
能谱仪的优缺点
优点
能谱仪具有快速、无损、高精度和高灵敏度的特点，可同时测定多种元素，且 对样品制备要求较低。
缺点
能谱仪的分辨率和探测器性能对测定结果有影响，对于轻元素和低含量的元素 测定可能存在误差。此外，能谱仪的造价和维护成本较高，需要专业人员操作 和维护。
04
扫描电镜与能谱仪的比较
工作原理的比较
扫描电镜（SEM）
扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面并产生图像的显微镜。电子束轰击样品 表面，激发出各种信号，如二次电子、背散射电子等，这些信号被探测器接收并 转换为电信号，进一步处理后形成图像。
工作原理的比较
能谱仪（EDS）
能谱仪是一种用于分析样品表面元素组成的仪器。当电子束轰击样品时，各元素会发出特征X射线，能谱仪通过检测这些特征 X射线的能量和强度，确定样品表面的元素种类和含量。
3
数据分析
收集到的信号经过计算机处理，转换成元素种类 和含量的信息，以谱图或表格形式展示。
能谱仪的应用范围
地质样品分析
用于分析岩石、矿物、土壤等地质样品中的元素 成分。
考古样品分析
用于鉴定文物、古迹中的元素成分，为考古研究 提供依据。
ABCD
环境样品分析
用于检测土壤、水体、大气等环境样品中的重金 属、有机污染物等。
04
能谱仪
优点：可分析样品表面的元素组成和含量 ，具有较高品表面的形貌和结构， 需要配合其他显微镜使用。
05
实际应用案例分析
扫描电镜在材料科学中的应用
01
02
03
金属材料
观察金属材料的微观结构， 如晶粒大小、相分布等， 分析材料的力学性能和热 性能。
SEM-EDS扫描电镜和能谱仪
➢接物透鏡Objective Lens -主要是功能是改變電子束對試片之間的距離. -在影像上是對聚焦focus的改變
Yoke
Pole piece
Coil
Specimen
Working distance WD
六.電子顯微鏡對試片的作用
➢ 電子束對試片所產生的能量
六.電子顯微鏡對試片的作用
➢ 二次電子與背向電子之區別
背向電子產生原子序對比影像BEI
Sn Pb
六.電子顯微鏡對試片的作用
➢二次電子與背相電子影像比較 SEI vs BEI
JDC
七.電子顯微鏡的應用範圍
掃描式電子顯微鏡應用範圍非常之廣泛,主要目的為將微小 物體放大至能觀察之範圍,所觀察之種類包含以下幾種:
➢生物：種子、花粉、細菌……
➢醫學 ：血球、病毒……
美国国家自然科学基金支持的纳米材料的研究机构
➢The Cornell Nanoscale Facility at Cornell University ➢The Stanford Nanofabrication Facility at Stanford University ➢The Solid State Electronics Laboratory at the University of Michigan ➢The Microelectronics Research Center at the Georgia Institute of Technology ➢The Center for Nanotechnology at the University of Washington ➢The Penn State Nanofabrication Facility at the Pennsylvania State University ➢Nanotech at the University of California at Santa Barbara ➢The Minnesota Nanotechnology Cluster MINTEC at the University of Minnesota ➢The Nanoscience at the University of New Mexico ➢The Microelectronics Research Center at University of Texas at Austin ➢The Center for Imaging and Mesoscale Structures at Harvard University ➢The Howard Nanoscale Science and Engineering Facility at Howard University ➢The Triangle National Lithography Center at NCSU DUV lithography only Affiliate
Yoke
Pole piece
Coil
Specimen
Working distance WD
六.電子顯微鏡對試片的作用
➢ 電子束對試片所產生的能量
六.電子顯微鏡對試片的作用
➢ 二次電子與背向電子之區別
背向電子產生原子序對比影像BEI
Sn Pb
六.電子顯微鏡對試片的作用
➢二次電子與背相電子影像比較 SEI vs BEI
JDC
七.電子顯微鏡的應用範圍
掃描式電子顯微鏡應用範圍非常之廣泛,主要目的為將微小 物體放大至能觀察之範圍,所觀察之種類包含以下幾種:
➢生物：種子、花粉、細菌……
➢醫學 ：血球、病毒……
美国国家自然科学基金支持的纳米材料的研究机构
➢The Cornell Nanoscale Facility at Cornell University ➢The Stanford Nanofabrication Facility at Stanford University ➢The Solid State Electronics Laboratory at the University of Michigan ➢The Microelectronics Research Center at the Georgia Institute of Technology ➢The Center for Nanotechnology at the University of Washington ➢The Penn State Nanofabrication Facility at the Pennsylvania State University ➢Nanotech at the University of California at Santa Barbara ➢The Minnesota Nanotechnology Cluster MINTEC at the University of Minnesota ➢The Nanoscience at the University of New Mexico ➢The Microelectronics Research Center at University of Texas at Austin ➢The Center for Imaging and Mesoscale Structures at Harvard University ➢The Howard Nanoscale Science and Engineering Facility at Howard University ➢The Triangle National Lithography Center at NCSU DUV lithography only Affiliate
sem扫描电镜ppt课件
II. 背散射电子成像：入射电子与样品接触时，其中一部分几乎 不损失能量地在样品表面被弹性散射回来，这部分电子被称 为背散射电子。背散射电子的产额随样品的原子序数的增大 而增加，因此成像可以反映样品 的元素分布，及不同相成分 区域的轮廓。
ppt课件
18
二次电子像的信号是二次电子，用于表面形貌分析；背散射电子 像的信号是背散射电子，用于成分分析。因此二次电子像对形貌 敏感，背散射电子像对成分敏感。
ppt课件
5
图2 JSM-6301F场发射扫描电镜的结构
ppt课件
6
电子光学系统
组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部 件。
作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发 源。
为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子 束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
ppt课件
7
电子枪
✓ 利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大 多数扫描电镜采用热阴极电子枪。优点：灯丝价格便宜，真 空要求不高；缺点：发射效率低，发射源直径大，分辨率低。
ppt课件
1
主要内容
SEM的工作原理 SEM的主要结构 SEM的组成部分 SEM的主要性能参数 SEM的优点 应用举例
ppt课件
2
SEM的工作原理
电子枪发射电子束（直径50μm）。电压加速、磁透镜系统汇 聚，形成直径约5nm的电子束。
电子束在偏转线圈的作用下，在样品表面作光栅状扫描，激发 多种电子信号。
ppt课件
15
SEM的主要性能参数
分辨率 放大倍数 景深
ppt课件
16
分辨率
对微区成分分析而言，分辨率是指能分析的最小区域；对成像 而言，它是指能分辨两点间的最小距离。
ppt课件
18
二次电子像的信号是二次电子，用于表面形貌分析；背散射电子 像的信号是背散射电子，用于成分分析。因此二次电子像对形貌 敏感，背散射电子像对成分敏感。
ppt课件
5
图2 JSM-6301F场发射扫描电镜的结构
ppt课件
6
电子光学系统
组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部 件。
作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发 源。
为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子 束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
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7
电子枪
✓ 利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大 多数扫描电镜采用热阴极电子枪。优点：灯丝价格便宜，真 空要求不高；缺点：发射效率低，发射源直径大，分辨率低。
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1
主要内容
SEM的工作原理 SEM的主要结构 SEM的组成部分 SEM的主要性能参数 SEM的优点 应用举例
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2
SEM的工作原理
电子枪发射电子束（直径50μm）。电压加速、磁透镜系统汇 聚，形成直径约5nm的电子束。
电子束在偏转线圈的作用下，在样品表面作光栅状扫描，激发 多种电子信号。
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15
SEM的主要性能参数
分辨率 放大倍数 景深
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16
分辨率
对微区成分分析而言，分辨率是指能分析的最小区域；对成像 而言，它是指能分辨两点间的最小距离。
扫描电镜原理-SEM剖析精品PPT课件
能清晰成像。
•
二次电子的强度主要与样品表面形
貌有关。二次电子和背散射电子共同用于扫描
电镜(SEM)的成像。
特征X射 线
如果入射电子把样品表面原子的内层电子撞 出，被激发的空穴由高能级电子填充时，能 量以电磁辐射的形式放出，就产生特征X射线 ，可用于元素分析。
如果入射电子把外层电子打进内层，原
俄歇 子被激发了．为释放能量而电离出次外层电
d 2a
△F——焦深； d ——电子束直径； 2a——物镜的孔径角
衬度
表面形貌衬度
原子序数衬度
衬度
表面形貌衬度
表面形貌衬度主要是样品表面的凹凸(称为表面地 理)决定的。一般情况下，入射电子能从试详表面 下约5nm厚的薄层激发出二次电子。
原子序数衬度
原子序数衬度指扫描电子束入射试祥时产生的背散 射电子、吸收电子、X射线，对微区内原子序数的 差异相当敏感，而二次电子不敏感。
低原子序 Z
高原子序 Z
高加速电压 kV
低加速电压 kV
1. 电子束斑大小基本不能影响分辨率 2. 而加速电压 kV 和平均原子序 Z 则起决定作用。
信号的方向性
SE 信号 – 非直线传播 通过探头前加有正电压的金属网来吸引
BSE 信号 – 直线发散传播 探头需覆盖面积大
X-射线信号 –直线发散传播
样品腔
SEM控制台
样品腔 样品台
OM & SEM
Comparison
显微镜类 型 OM
SEM
照明源 可见光 电子束
照射方式
成像信息
光束在试样上 以静止方式投
射
反射光/投射 光
电子束在试样 上作光栅状扫
描
扫描电镜与能谱仪介绍
RD-CM-WI01S1A
沉银样品
OSP样品
第23页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
沉金样品
水金样品
第24页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
沉金露铜
第25页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
金面断裂
第26页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
物镜光阑
RD-CM-WI01S1A
第4页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
俄歇电子 二次电子
背散射电子
阴极荧光
特征X射线 连续X射线 X射线荧光
各种不同能量光子产生范围
第5页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
1.2 扫描电镜的两大突出特点
与普通光学显微镜相比，扫描电镜最大的特点是分辨率高。光学透镜分辨率 Δr0=0.61 λ/nsin α 。当利用可见光成像时,α=70-75°，空气n=1.5，波 长λ=390nm-760nm，分辨率Δr0≈200nm，这就是光学显微镜的分辨率极限。
1.3 扫描电镜图像衬度
所谓衬度，即是图像上相邻部份间的黑白对比度或颜色差。
扫描电镜最常用的图像衬度是二次电子像的形貌衬度和背散射电子像的成分 衬度。
二次电子像
背散射电子像
第9页
技术中心技术报告会讲义
RD-CM-WI01S1A
①二次电子像的形貌衬度
二次电子主要来自于表面＜10nm的浅层区域，它的强度与样品微区的形貌相关， 而与样品的原子序数没有明显的依赖关系。在扫描电镜中，二次电子产率δ随 微区表面倾斜程度而变化，即二次电子产率δ随表面倾角α的增大而上升。
扫描电镜与能谱仪
MnK
CoK Total
0.73
15 100
0.2
3.76 100
0.0072
0.1277
0.8386
0.8359
1.0227 1.1504
1.0187 1
K ratio is the ratio of the intensity (number of X-ray counts) in the filtered peak for an element of interest in the sample to the intensity in the filtered peak for the standard assigned to that element Z - differences in mean atomic number A - differences in absorption of X-rays F - differences in the production of secondary X-rays, or X-ray fluorescence.
聚焦离子束-电子束双束电子显微镜
Focused ion beam / electron beam double beam electron microscope，FIB-SEM
实现离子束减薄的同时，进行样品形貌观察
扫描隧道电子显微镜
scanning tunneling microscope，STM
（a）芯片导线的表面形貌图， （b）CCD相机的光电二极管剖面图。
谢谢
授课人：许静
第三节 不同功能的扫描电镜
环境扫描电子显微镜
Environment Scanning Electron Microscopy，ESEM 在自然状态下观察图像和元素分析，可分析生物、非 导电样品（背散射和二次电子像），可分析液体样品， 也可观察±20℃内的固液相变过程。
材料科学研究方法课件-8深大第八章-扫描电镜及能谱仪
(a)光栅扫描
(b)角光栅扫描
电子束在样品表面进行的扫描方式
2. 特点：反映了样品中原子序数特征。 3. 应用：微区成分分析（元素）。
26
六. 俄歇电子
1. 产生：入射电子激发样品的特征X射线过程中，外层电子向 内层跃迁时辐射出来的能量不是以X射线的形式发射出去， 而被外层的另一个电子吸收而摆脱原子核的束缚而逃离出来， 这个被电离的电子称为俄歇电子。
2. 特征：⑴ 俄歇电子能量很低，并且具有反映原子序数的特 征能量；
4
扫描电镜的主要性能与特点
放大倍率高（M=Ac/As）
分辨率高（d0=dmin/M总） 景深大（F≈ d0/β）
保真度好 样品制备简单
5
放大倍率高
从几十放大到几十万倍，连续可调。放大 倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分 析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M， 人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm， 则有效放大率M＝0.2×106nm÷5nm=40000 （倍）。如果选择高于40000倍的放大倍率， 不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意 义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪 器放大倍率指标。
才会产生。
+透射电子i
⑵ 随样品厚度增加（质量厚度ρt），透
射电子数目减小，吸收电子数量增加，当样品厚
度超过有效穿透深度后，无透射电子。
3. 作用：配合电子能量分析器来进行微区成分分析 25
五. 特征X射线
1. 产生：当入射电子的能量足够大，使样品原子的内 层电子被激发或电离，此时外层电子向内层 跃迁以填补内层电子的空位，从而辐射出具 有原子序数特征的特征X射线。
径。可以看出，长工作
距离、小物镜光阑、低
放大倍率能得到大景深
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14
举例
15
Element Wt % At % K-Ratio Z
A
F
CK OK SK MnK CoK Total
60.27 23.68
0.33 0.73
15 100
74.06 21.84
0.15 0.2
3.76 100
0.2744 0.0473 0.0029 0.0072 0.1277
1.029 1.0119 0.952 0.8386 0.8359
一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器，利用电子 在原子间的量子隧穿效应，将物质表面原子的排列状态转换为图像信 息的。在量子隧穿效应中，原子间距离与隧穿电流关系相应。通过移 动着的探针与物质表面的相互作用，表面与针尖间的隧穿电流反馈出 表面某个原子间电子的跃迁，由此可以确定出物质表面的单一原子及 它们的排列状态。
针状的尖阴极
加热阴极
增强电场
常规扫描电子显微镜
环境扫描电子显微镜 扫描/透射电子显微镜
功能
双束电子显微镜
3
1.2 应用
在化工，造纸，皮革，医药，机械等领域 的应用 电镜如何与各领域更好的结合
4
第二节 电镜及能谱仪的构造及工作原理
本节提要：
电子束与固体样品作用时产生的信号 电镜的工作原理 电镜的构造 主要性能 与能谱仪联用
20
晶体薄膜样品明暗场像的衬度(即不同区域的亮暗差别)，是由 于样品相应的不同部位结构或取向的差别导致衍射强度的差 异而形成的，因此称其为衍射衬度，以衍射衬度机制为主而 形成的图像称为衍衬像。如果只允许透射束通过物镜光栏成 像，称其为明场像；如果只允许某支衍射束通过物镜光栏成 像，则称为暗场像。就衍射衬度而言，样品中不同部位结构 或取向的差别。
17
第三节 不同功能的扫描电镜
环境扫描电子显微镜
Environment Scanning Electron Microscopy，ESEM 在自然状态下观察图像和元素分析，可分析生物、非 导电样品（背散射和二次电子像），可分析液体样品， 也可观察±20℃内的固液相变过程。
18
19
扫描/透射电子显微镜
扫描电子显微镜与能谱仪
1
第一节 扫描电镜的分类及应用
本节提要： 扫描电镜的分类 各种扫描电镜的用途
2
1.1 扫描电镜的分类
钨灯丝型 场发射型
热场 冷场
发射源的结构
电子枪阴极使用0.1mm直径的钨 电子枪阴极使用0.1mm直
丝制成V形（发叉式钨丝阴极）， 径的钨丝，经过腐蚀制成
使用V形的尖端作为点发射源
9
2.5 能谱仪 （EDS）
能谱仪，全称为能量分散谱仪（EDS） 它是依据不同元素的特征X射线具有不同的能 量这一特点来对检测的X射线进行分散展谱， 实现对微区成分分析。（4Be-92U）
EDS广泛应用于样品表面的成分定性和定量 分析（可以得到微区元素的线分布和面分布）
10
2.5.1 样品要求
26
3.1 固体样品
对金相样品，需将它们切割成大小合适的尺寸，放入 无水乙醇中，用超声波将样品表面粉尘超去后，烘干， 喷金，待测。 对纸张样品，找到合适位置剪切，粘在导电胶带上。 对粉末样品，根据期待观察目标，制备方式有所不同。 下列情况下样品必须超声分散，时间5～20分钟：① 观察样品分散度时；②当样品内有大量杂质，并且样 品由多相合成；③样品颗粒小又放置了较长时。当观 察样品的集合形貌时，只需将样品研磨即可。当样品 需要EDS观察时，样品要尽量集中并且制片均匀。
样品表面洁净 表面具有良好导电性 样品表面光滑平整 样品干燥，不含有挥发性物质
11
2.5.2 样品分析方法
点分析（囊效应） 线分析 面分析
12
2.5.3 样品分析
定性分析：给出元素种类 定量分析：给出元素含量
13
2.5.4 结果分析
ZAF定量修正法
Z修正因子 A修正因子 F修正因子 W%和A%的含义
21
聚焦离子束-电子束双束电子显微镜
Focused ion beam / electron beam double beam electron microscope，FIB-SEM
实现离子束减薄的同时，进行样品形貌观察
22
扫描隧道电子显微镜
snning transmission electron microscopy，STEM
像SEM一样，STEM用电子束在样品的表面扫描，但又像TEM， 通过电子穿透样品成像。STEM能够获得TEM所不能获得的 一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求较高，要非常高 的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。
0.4424 1.0002
0.1972 1.0004
0.9146 1.0013
1.0227 1.1504
1.0187
1
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K ratio is the ratio of the intensity (number of X-ray counts) in the filtered peak for an element of interest in the sample to the intensity in the filtered peak for the standard assigned to that element Z - differences in mean atomic number A - differences in absorption of X-rays F - differences in the production of secondary X-rays, or X-ray fluorescence.
5
2.1 电子束与固体样品作用时产生的信号
6
2.2 电镜工作原理
7
2.3 构造
电子光学系统 信号收集及显示系统 真空系统和电源系统
（可以拓展，联系新型号仪器 特点和它们的用途）
8
2.4 主要性能
分辨率：单位英寸中所包含的像素点数。 景深：位于焦平面上下的一小层区域内的样品
点都可以得到良好的会焦而成象。
23
24
第三节 扫描电镜样品制备
本节提要：
纸张、粉末、薄膜、皮革等固体样品；菌 类、凝胶等生物样品；乳液样品
25
寄语
扫描电镜的样品制备是决定样品观察是否成 功的主要影响因素之一。通常观点都认为其 样品制备简单，可我观点不同，每一种都有 内在的特点，制样人需要根据样品自身特点 和期望的观察效果做出相应判断。本节课， 我们主要对固体样品中的粉末样品、薄膜样 品，生物样品以及液体样品作介绍。
举例
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Element Wt % At % K-Ratio Z
A
F
CK OK SK MnK CoK Total
60.27 23.68
0.33 0.73
15 100
74.06 21.84
0.15 0.2
3.76 100
0.2744 0.0473 0.0029 0.0072 0.1277
1.029 1.0119 0.952 0.8386 0.8359
一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器，利用电子 在原子间的量子隧穿效应，将物质表面原子的排列状态转换为图像信 息的。在量子隧穿效应中，原子间距离与隧穿电流关系相应。通过移 动着的探针与物质表面的相互作用，表面与针尖间的隧穿电流反馈出 表面某个原子间电子的跃迁，由此可以确定出物质表面的单一原子及 它们的排列状态。
针状的尖阴极
加热阴极
增强电场
常规扫描电子显微镜
环境扫描电子显微镜 扫描/透射电子显微镜
功能
双束电子显微镜
3
1.2 应用
在化工，造纸，皮革，医药，机械等领域 的应用 电镜如何与各领域更好的结合
4
第二节 电镜及能谱仪的构造及工作原理
本节提要：
电子束与固体样品作用时产生的信号 电镜的工作原理 电镜的构造 主要性能 与能谱仪联用
20
晶体薄膜样品明暗场像的衬度(即不同区域的亮暗差别)，是由 于样品相应的不同部位结构或取向的差别导致衍射强度的差 异而形成的，因此称其为衍射衬度，以衍射衬度机制为主而 形成的图像称为衍衬像。如果只允许透射束通过物镜光栏成 像，称其为明场像；如果只允许某支衍射束通过物镜光栏成 像，则称为暗场像。就衍射衬度而言，样品中不同部位结构 或取向的差别。
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第三节 不同功能的扫描电镜
环境扫描电子显微镜
Environment Scanning Electron Microscopy，ESEM 在自然状态下观察图像和元素分析，可分析生物、非 导电样品（背散射和二次电子像），可分析液体样品， 也可观察±20℃内的固液相变过程。
18
19
扫描/透射电子显微镜
扫描电子显微镜与能谱仪
1
第一节 扫描电镜的分类及应用
本节提要： 扫描电镜的分类 各种扫描电镜的用途
2
1.1 扫描电镜的分类
钨灯丝型 场发射型
热场 冷场
发射源的结构
电子枪阴极使用0.1mm直径的钨 电子枪阴极使用0.1mm直
丝制成V形（发叉式钨丝阴极）， 径的钨丝，经过腐蚀制成
使用V形的尖端作为点发射源
9
2.5 能谱仪 （EDS）
能谱仪，全称为能量分散谱仪（EDS） 它是依据不同元素的特征X射线具有不同的能 量这一特点来对检测的X射线进行分散展谱， 实现对微区成分分析。（4Be-92U）
EDS广泛应用于样品表面的成分定性和定量 分析（可以得到微区元素的线分布和面分布）
10
2.5.1 样品要求
26
3.1 固体样品
对金相样品，需将它们切割成大小合适的尺寸，放入 无水乙醇中，用超声波将样品表面粉尘超去后，烘干， 喷金，待测。 对纸张样品，找到合适位置剪切，粘在导电胶带上。 对粉末样品，根据期待观察目标，制备方式有所不同。 下列情况下样品必须超声分散，时间5～20分钟：① 观察样品分散度时；②当样品内有大量杂质，并且样 品由多相合成；③样品颗粒小又放置了较长时。当观 察样品的集合形貌时，只需将样品研磨即可。当样品 需要EDS观察时，样品要尽量集中并且制片均匀。
样品表面洁净 表面具有良好导电性 样品表面光滑平整 样品干燥，不含有挥发性物质
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2.5.2 样品分析方法
点分析（囊效应） 线分析 面分析
12
2.5.3 样品分析
定性分析：给出元素种类 定量分析：给出元素含量
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2.5.4 结果分析
ZAF定量修正法
Z修正因子 A修正因子 F修正因子 W%和A%的含义
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聚焦离子束-电子束双束电子显微镜
Focused ion beam / electron beam double beam electron microscope，FIB-SEM
实现离子束减薄的同时，进行样品形貌观察
22
扫描隧道电子显微镜
snning transmission electron microscopy，STEM
像SEM一样，STEM用电子束在样品的表面扫描，但又像TEM， 通过电子穿透样品成像。STEM能够获得TEM所不能获得的 一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求较高，要非常高 的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。
0.4424 1.0002
0.1972 1.0004
0.9146 1.0013
1.0227 1.1504
1.0187
1
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K ratio is the ratio of the intensity (number of X-ray counts) in the filtered peak for an element of interest in the sample to the intensity in the filtered peak for the standard assigned to that element Z - differences in mean atomic number A - differences in absorption of X-rays F - differences in the production of secondary X-rays, or X-ray fluorescence.
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2.1 电子束与固体样品作用时产生的信号
6
2.2 电镜工作原理
7
2.3 构造
电子光学系统 信号收集及显示系统 真空系统和电源系统
（可以拓展，联系新型号仪器 特点和它们的用途）
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2.4 主要性能
分辨率：单位英寸中所包含的像素点数。 景深：位于焦平面上下的一小层区域内的样品
点都可以得到良好的会焦而成象。
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第三节 扫描电镜样品制备
本节提要：
纸张、粉末、薄膜、皮革等固体样品；菌 类、凝胶等生物样品；乳液样品
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寄语
扫描电镜的样品制备是决定样品观察是否成 功的主要影响因素之一。通常观点都认为其 样品制备简单，可我观点不同，每一种都有 内在的特点，制样人需要根据样品自身特点 和期望的观察效果做出相应判断。本节课， 我们主要对固体样品中的粉末样品、薄膜样 品，生物样品以及液体样品作介绍。