微电子器件公式表
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微电子器件公式
部分物理常数:
191412S 1031412G i S 13314G i OX 1.610C,0.026V (300k),(Si)11.88.85410 1.04510F cm,(Si) 1.09eV,(Si) 1.510cm ,(Ge)168.85410 1.41710F cm,(Ge)0.66eV,(Ge) 2.410cm , 3.98.85410 3.45q kT q T E n E n εεε--------=⨯===⨯⨯=⨯==⨯=⨯⨯=⨯==⨯=⨯⨯=13310F cm
-⨯
第1章 半导体器件基本方程 1. 泊松方程
D A s
d ()d E q
p n N N x ε=-+- 2. 电流密度方程 n n n p p p
d d d d n J q n E q D x
p
J q p E q D x μμ=+=- 3. 电荷控制方程 n n
n n p p p p
d d d d Q Q I t Q Q I t ττ∆=--∆=--
第2章 PN 结
2.1 PN 结的平衡状态
1.平衡多子
p0A i n0D i ()
p N n n N n =>>=>>P 区(N 区)
2.平衡少子
22
i i p0i p0A 22i
i
n0i n0D
()
n n n n P p N n n p n n N ==<<=
=<<区(N 区)
3.内建电势 A D
bi 2
i
ln N N kT V q n =
4.最大电场强度 12
0m a x b i s 2qN E V ε⎛⎫= ⎪⎝⎭
5.N 区耗尽区宽度 1
2
s
s A
n max bi D D A D 2()N x E V qN q N N N εε⎡⎤=
=⋅⎢⎥+⎣⎦
6.P 区耗尽区宽度 12
s
s D p max
bi A
A A D 2()N x E V qN q N N N εε⎡⎤=
=⋅⎢⎥+⎣⎦
7.总耗尽区宽度 12
b i s d n p b i m a x 022V x x x V E qN ε⎡⎤
=+==⎢⎥⎣⎦
2.2 PN 结的直流电流电压方程
1.在N 型区与耗尽区的边界处,即 n x 处 n n n 0()e x p qV p x p
kT
⎛⎫= ⎪⎝⎭ 在P 型区与耗尽区的边界处,即 –p x 处 p p p0()exp qV n x n kT
⎛⎫-= ⎪⎝⎭
2.PN 结总的扩散电流密度 d J
p p 2
n n d dp dn n0p0i p n p D n A 0exp 1exp 1exp 1D D D D qV
qV J J J q p n qn L L kT L N L N kT qV J kT ⎛⎫⎛⎫⎡⎤⎡⎤
⎛⎫⎛⎫=+=+⋅-=+⋅- ⎪ ⎪
⎪ ⎪⎢⎥⎢⎥ ⎪ ⎪⎝⎭⎝⎭⎣⎦⎣⎦
⎝⎭
⎝⎭
⎡⎤⎛⎫=- ⎪⎢⎥
⎝⎭⎣
⎦3.势垒区产生复合电流 n p
i d gr d exp 1d 2exp 1
2x x qV qn x kT J q U x qU x qV kT τ-⎛⎫- ⎪⎝⎭===⋅⎛⎫
+ ⎪⎝⎭
⎰
4.薄基区二极管扩散电流 22p i n i dp dn B D E A exp 1...exp 1qD n qD n qV qV J J W N kT W N kT ⎡⎤⎡⎤
⎛⎫⎛⎫=-=- ⎪ ⎪⎢⎥⎢
⎥⎝⎭⎝⎭⎣⎦
⎣
⎦ 2.3 准费米能级与大注入效应
1.转折电压
i i KN A KP 2ln ()2ln kT V N q kT V q n =⎝⎭⎛⎫= ⎪ ⎪⎝⎭
区(P 区) 2.大注入下结定律 ()()n n i p p i exp 2exp 2qV p x n kT qV n x n kT ⎛⎫= ⎪⎝⎭
⎛⎫-= ⎪⎝⎭
2.4 PN 结的击穿 1.雪崩倍增因子 d
i 011d x M x
α=
-⎰ 2.雪崩击穿近似计算
12
0C B s 2qN E V ε⎛⎫
= ⎪⎝⎭
2.5 PN 结的势垒电容 ()()112
2
3
s 0s
T T bi bi
()...212qN aq C A C A V V V V εε⎡⎤⎡⎤
==⎢⎥⎢⎥--⎣⎦⎣⎦均匀(缓变)
2.6 PN 结的交流小信号特性与扩散电容 1. PN 结的直流增量电导 F D qI g kT =
2. PN 结的扩散电容 F D D 22
qI g C kT ττ
== 2.7 PN 结的开关特性 1.反向恢复时间r t f r
r p r
ln I I t I τ⎛⎫+=
⎪⎝⎭
第3章 双极结型晶体管
3.1 双极结型晶体管基础 电流放大系数关系:C B .........11I I αββααβ
===-+ 3.2 均匀基区晶体管的电流放大系数 1.基区输运系 2
pC B pE
B 112J W J L β*
⎛⎫=
=- ⎪⎝⎭b B 1ττ=- 2.基区度越时间 2
B b
B 2W D τ=B B pE pC
Q Q J J =≈ 3.基区少子寿命 B B pr
Q J τ=
4.注入效率 B E E B
1W W ρ
γρ=-11E B R R =-口口