特气系统报告讲解
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1.可处理停电时之紧急 状况；
2.可于停电时处理管路 之残存特气之排放
可避免受其他系 统之影响
21
21
2.5气瓶柜功能设计
气瓶钢数 自动切换 日常操作与Purge功能
控制系统
3钢：一瓶使用、一瓶stand by、一
瓶purge管路清洁用PN2
由气体压力 由钢瓶重量 自动、半自动、手动 PLC自动控制、警报输出至远 端 人机触控面板控制
气动(N2)控制阀（Air Valve） 手动控制阀 （Manual Valve） 逆止阀(Check Valve) 调压阀(Regulator) 压力传感器(Pressure Transmitter) 真空产生器(Vacuum Generator) 气体过滤器(Line Filter) 流量侦测器(Flow Sensor) 限流孔(Orofice)
1.2 气体相互反应表
氣體
Ar Ar
H2 H2
He He
N2 N2
O2 O2
B2H2
B2H2
CF4 CF4
Cl2 Cl2
HCl HCl
HF HF
NF3
NF3
NH3
NH3
N2O N2O
实验室
需透过日常管理以避免制程
双钢 制程有量产之考量，不允许停 由厂务端统一供应PN2风险
机
高，亦可能造成交互污染
3钢 制程有量产之考量，不允许停 设计成本较高，但可避免不
机
同气体相互污染，风险低
16
16
2.1a 三钢式气瓶柜
17
17
2.1b 三钢式气瓶柜
18
18
2.2低压气体供应设计重点
供应流量设计 钢瓶温度设计 管路温度设计
14
录查询
14
1.7a气瓶柜之操作示意图
供应区 Process
VEN T
N2
LP
VG
V
S
P
LPI P
3
2
PGB
RE
V
G
真空产生区
RE G
HP
V
HP
I
P 1
PGI
HPA P 4
吹扫区
1%PH3/H2
N2
15
2.1气瓶钢数的设计
钢数
使用时机
优缺点
单钢 制程未有量产之考量，常用于 简单、节省空间、成本低、
24
24
2.7气瓶柜安全防护设计
抽气装置 消防洒水头 高压测试管路设计 现场EMO、远端停机开关
UV/IR火焰侦测器
气体泄露侦测器
钢瓶紧急关断阀(Valve Shutter)
过流量开关装置
25
25
2.8气瓶柜附属配件
26
保温棉 排气管 消防管 Valve Shutter
PH3 PH3
SiH4
SiH4
SiH2Cl2
SiH2C l2
SF6 SF6 4
Air Air
:相容； :危险；:激烈反应；:爆炸
4
1.3 气体供应方式
大宗 气体
桶槽
钢瓶
N2、O2
H2、He
特殊 气体
气态
HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、 NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、 SiH2Cl2、 B2H6、 CH2F2、CH3F、CO…
等
助燃性
惰性
INERT
O2、Cl2、 N2O、NF3…等
3
N2、CF4、C2FK6r、、CH4Fe8…、等SF6、CO2、Ne3、
温控设备设计
考虑气体特性、钢瓶表面积、管路长度…等
侧面加热套 底部加热 加热帶
保溫棉 越短越佳 加热帶需有最高的加热溫度(65℃) 一般加热溫度(30-40℃)
19
19
2.3空间设计
依气体特性一般区分成三间：
腐蚀性/毒性气体房
易燃易爆气体房
惰性气体房
防爆墙、泄爆口
设 空调温控、大量排气、负力设计
计 气体泄露侦测、独立监控室
力
能力
能力
求量
80SLPM
80SLPM
12 SLPM
6.8 SLPM
200SLPM 200SLPM 42.8 SLPM 42.8 SLPM
设备数量
5 5
11
11
1.6气瓶安置方式
功能 防护箱体
气瓶柜 Gas Cabinet
有
气瓶架 Gas Rack
无
强制抽气
有
无
安全防护
有
无
自动化
有
有/无
12
12
1.6a气瓶柜/架
22
22
2.6 气瓶柜管路设计
不相容气体不可设计在同一气瓶柜 不相容气体的purge管路不可相连 考虑使用压力与流量之需求 CGA接头需与钢瓶接头同一型号 盘面零件需考虑钢瓶高度 依照气体特性选择适当零件
˃ 如腐蚀性、高压/低压
注意管路死角purge的问题 考虑未來零件更换的方便性
23
23
2.6重要的管路组件
1
1
IVO Confidential
特气中央 系统概述
气体侦 测系统
A特应L殊系S气统2体简.0供介
阀盘介绍
Baidu Nhomakorabea
特气中央 系统设计
管路设计
2
2
大宗 气体
N2、H2 O2 、He Ar 、He …
1.1 气体种类
特殊 气体
类别
气体名称
腐蚀性/毒性
CORROSIVE/TOXI C
可燃性
FLAMMABLE
13
2020/9/23
13
1.7气瓶柜之操作功能
Pre- • 抽出管內特气
Purge
更换钢 • 操作人员手动更换更评 瓶
Post • 更换钢瓶后清洁管路
Purge
Process • 清除N2、气体上线
Purge
手动模 • 故障排除时，可人为操作阀件开关
式
参数设 • 设定各种功能参数
定模式
历史记 • 查看历史报警
▼气体依化学性质分类如下: 惰性气体(Inter gas): N2-----使用GR (Gas Rack)
▼易燃易爆性气体(Flammable gas): SiH4, NH3-----使用BSGS (Bulk special gas
supply system) 供应
目前厂区钢瓶供应方式: GR
BSGS
液态
NF3 SIH4
NH3 CL2
5
5
1.4 特气供应流程
POU
VMB
VMP
氣瓶櫃
GR
6
6
1.5a 特气系统流程图
7
7
1.5b 特气系统流程图
8
8
1.5c 特气系统流程图
9
9
1.5d 特气房间平面图
10
10
1.5c 特气系统供应能力
气柜名称
SIH4 NH3
气柜供应能 主管路供应 VMB支供应 单台设备需
重 消防洒水、侦烟器、UV/IR、极早期侦烟
一般及紧急防护具、地震仪
与供应点距离近，但須有适当的安全区域
点 与物料间距离近，但須有适当的安全区域
20
20
2.4电力系统设计
需接UPS电源
需接紧急发电电源
独立之电源
避免不正常之跳机
包括气瓶柜、VMB、 消防、洩漏侦测、 Local Scrubber、排 气…等相关设施；
2.可于停电时处理管路 之残存特气之排放
可避免受其他系 统之影响
21
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2.5气瓶柜功能设计
气瓶钢数 自动切换 日常操作与Purge功能
控制系统
3钢：一瓶使用、一瓶stand by、一
瓶purge管路清洁用PN2
由气体压力 由钢瓶重量 自动、半自动、手动 PLC自动控制、警报输出至远 端 人机触控面板控制
气动(N2)控制阀（Air Valve） 手动控制阀 （Manual Valve） 逆止阀(Check Valve) 调压阀(Regulator) 压力传感器(Pressure Transmitter) 真空产生器(Vacuum Generator) 气体过滤器(Line Filter) 流量侦测器(Flow Sensor) 限流孔(Orofice)
1.2 气体相互反应表
氣體
Ar Ar
H2 H2
He He
N2 N2
O2 O2
B2H2
B2H2
CF4 CF4
Cl2 Cl2
HCl HCl
HF HF
NF3
NF3
NH3
NH3
N2O N2O
实验室
需透过日常管理以避免制程
双钢 制程有量产之考量，不允许停 由厂务端统一供应PN2风险
机
高，亦可能造成交互污染
3钢 制程有量产之考量，不允许停 设计成本较高，但可避免不
机
同气体相互污染，风险低
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2.1a 三钢式气瓶柜
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17
2.1b 三钢式气瓶柜
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18
2.2低压气体供应设计重点
供应流量设计 钢瓶温度设计 管路温度设计
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录查询
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1.7a气瓶柜之操作示意图
供应区 Process
VEN T
N2
LP
VG
V
S
P
LPI P
3
2
PGB
RE
V
G
真空产生区
RE G
HP
V
HP
I
P 1
PGI
HPA P 4
吹扫区
1%PH3/H2
N2
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2.1气瓶钢数的设计
钢数
使用时机
优缺点
单钢 制程未有量产之考量，常用于 简单、节省空间、成本低、
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2.7气瓶柜安全防护设计
抽气装置 消防洒水头 高压测试管路设计 现场EMO、远端停机开关
UV/IR火焰侦测器
气体泄露侦测器
钢瓶紧急关断阀(Valve Shutter)
过流量开关装置
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25
2.8气瓶柜附属配件
26
保温棉 排气管 消防管 Valve Shutter
PH3 PH3
SiH4
SiH4
SiH2Cl2
SiH2C l2
SF6 SF6 4
Air Air
:相容； :危险；:激烈反应；:爆炸
4
1.3 气体供应方式
大宗 气体
桶槽
钢瓶
N2、O2
H2、He
特殊 气体
气态
HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、 NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、 SiH2Cl2、 B2H6、 CH2F2、CH3F、CO…
等
助燃性
惰性
INERT
O2、Cl2、 N2O、NF3…等
3
N2、CF4、C2FK6r、、CH4Fe8…、等SF6、CO2、Ne3、
温控设备设计
考虑气体特性、钢瓶表面积、管路长度…等
侧面加热套 底部加热 加热帶
保溫棉 越短越佳 加热帶需有最高的加热溫度(65℃) 一般加热溫度(30-40℃)
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19
2.3空间设计
依气体特性一般区分成三间：
腐蚀性/毒性气体房
易燃易爆气体房
惰性气体房
防爆墙、泄爆口
设 空调温控、大量排气、负力设计
计 气体泄露侦测、独立监控室
力
能力
能力
求量
80SLPM
80SLPM
12 SLPM
6.8 SLPM
200SLPM 200SLPM 42.8 SLPM 42.8 SLPM
设备数量
5 5
11
11
1.6气瓶安置方式
功能 防护箱体
气瓶柜 Gas Cabinet
有
气瓶架 Gas Rack
无
强制抽气
有
无
安全防护
有
无
自动化
有
有/无
12
12
1.6a气瓶柜/架
22
22
2.6 气瓶柜管路设计
不相容气体不可设计在同一气瓶柜 不相容气体的purge管路不可相连 考虑使用压力与流量之需求 CGA接头需与钢瓶接头同一型号 盘面零件需考虑钢瓶高度 依照气体特性选择适当零件
˃ 如腐蚀性、高压/低压
注意管路死角purge的问题 考虑未來零件更换的方便性
23
23
2.6重要的管路组件
1
1
IVO Confidential
特气中央 系统概述
气体侦 测系统
A特应L殊系S气统2体简.0供介
阀盘介绍
Baidu Nhomakorabea
特气中央 系统设计
管路设计
2
2
大宗 气体
N2、H2 O2 、He Ar 、He …
1.1 气体种类
特殊 气体
类别
气体名称
腐蚀性/毒性
CORROSIVE/TOXI C
可燃性
FLAMMABLE
13
2020/9/23
13
1.7气瓶柜之操作功能
Pre- • 抽出管內特气
Purge
更换钢 • 操作人员手动更换更评 瓶
Post • 更换钢瓶后清洁管路
Purge
Process • 清除N2、气体上线
Purge
手动模 • 故障排除时，可人为操作阀件开关
式
参数设 • 设定各种功能参数
定模式
历史记 • 查看历史报警
▼气体依化学性质分类如下: 惰性气体(Inter gas): N2-----使用GR (Gas Rack)
▼易燃易爆性气体(Flammable gas): SiH4, NH3-----使用BSGS (Bulk special gas
supply system) 供应
目前厂区钢瓶供应方式: GR
BSGS
液态
NF3 SIH4
NH3 CL2
5
5
1.4 特气供应流程
POU
VMB
VMP
氣瓶櫃
GR
6
6
1.5a 特气系统流程图
7
7
1.5b 特气系统流程图
8
8
1.5c 特气系统流程图
9
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1.5d 特气房间平面图
10
10
1.5c 特气系统供应能力
气柜名称
SIH4 NH3
气柜供应能 主管路供应 VMB支供应 单台设备需
重 消防洒水、侦烟器、UV/IR、极早期侦烟
一般及紧急防护具、地震仪
与供应点距离近，但須有适当的安全区域
点 与物料间距离近，但須有适当的安全区域
20
20
2.4电力系统设计
需接UPS电源
需接紧急发电电源
独立之电源
避免不正常之跳机
包括气瓶柜、VMB、 消防、洩漏侦测、 Local Scrubber、排 气…等相关设施；