1.单晶炉调试验收标准

单晶炉调试验收标准

1、主机水平度的检验：

在炉室内真空状态下（炉内压力＜15Pa），检查下轴底座上平面两个垂直方向的水平度，要求均≤0.2／1000mm。

2、上下轴对中度的检验：

在炉室内真空状态下（炉内压力＜15Pa），上下轴反向旋转，从两个垂直方向目测上下轴的对中度，偏差要求≤φ2mm。

3、抽气速率及极限真空度的检验：

炉室内装有经过煅烧的热系统，从大气压状态下开始抽真空，要求20分钟（最长30分钟）内达到真空度≤3Pa，并且在抽空过程中不用氩气顺气。在此过程中，流量计的阀门打开，氩气管道上的阀门关闭。

4、冷炉漏气率（压升率）的检验：

炉室内装有经过煅烧的热系统，在冷炉状态下，开启真空泵抽空，待炉内真空度≤3Pa后，关闭主阀并关闭真空泵，要求冷炉漏气率≤1.5Pa/10分（最大≤2Pa/10分）。在此过程中，流量计的阀门打开，氩气管道上的阀门关闭。

5、各运动部位运行稳定性的检验：

各运动部位在运行时，应匀速而稳定，无卡滞和异常响声等不良现象。

6、籽晶夹头摆动量的检验：

在炉室内真空状态下（炉内压力＜15Pa），降低籽晶夹头到从主室观察窗可以看到的位置，籽晶转速在25-28转/分，从两个垂直方向目测籽晶夹头的摆动幅度，要求≤φ3mm。

在试炉拉单晶时，在放肩阶段，晶体在液面上的水平方向摆动量（肉眼观察）≤φ2mm。

7、操作柜屏幕上显示的运行参数与实际情况的误差率要求≤3％：

①籽晶转速，测量三个转速：5转/分、12转/分、25转/分；

②籽晶拉速，测量三个拉速：0.5mm/分、1.0mm/分、2mm/分；

③下轴转速，测量三个转速：3转/分、6转/分、12转/分；

④下轴升速，测量三个升速：0.06mm/分、0.12mm/分、0.2mm/分；

⑤籽晶运行计长，测量二个长度：500mm、1000mm；

⑥下轴运行计长，测量二个长度：100mm、250mm；

⑦加热电压，测量两个点：30V、50V；

⑧加热电流，测量两个点：1000A、2000A；

单晶炉的状态达到以上标准，算基本正常，方可装料拉单晶。

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