西北工业大学微-纳米系统实验室超净间安全手册
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
不要尝试去扑灭比垃圾桶大小还大的火灾或已经明显失控的火灾 本超净间配备有 1211 灭火器 6 只，消防水箱两只，烟雾报警器 15 只，声光报警器一只，手动报警器 4 只，紧急逃离通道标识灯 4 只
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
使用完毕，请用水清洗你所使用的瓶罐并在上面写着“ 已冲洗” 或贴上事先印好的“ 已冲洗” 标 示贴 10) 在使用化学药品工作时，永远穿戴手套并立即更换有任何破损的手套 11) 不得任意打开酸、碱与有机溶剂容器的盖子，使用后立即锁紧盖子。 12) 勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之化学药品 13) 在移动或更换任何化学药品后，永远关上化学药品柜的门 14) 对遗留下来而无人管理的化学药品，永远加以标示并确保其安全 15) 各种化学废弃物分类倒入规定处，以便中和后排放 16) 勿将酸、碱及有机溶剂混合倾倒，以免爆炸 17) 化学药品用完后，若不再用，待温度降至室温时，稀释后倒入排水槽内，若仍有用，应盖好并用 水冲洗容器外面，晾干后标示，置于指定位置 18) 若有任何化学药品倾倒或人员发生意外及受伤，请立刻通知中心主管人员。 19) 酸类调和后，应使之冷却才能盖紧存放，否则因热膨胀将造成灾害。 20) 在充分地稀释后，可以直接输入排水设备内。氢氟酸与有机溶剂请倒入特定的化学药品清洗槽内， 因为氢氟酸会释放出氟原子，将会破坏空气过滤系统，故永远使用特定废弃物容器来处理氢氟酸 21) 混合酸液时，应将酸慢慢倒入水中，不可将水倾入酸中。
火灾紧急防护措施
事件发生
灭火
否
是
失去控制
立即危害生
命
否
是
由紧急逃生口
是
否 人员受伤
带伤者逃离
由紧急逃生 口迅速离开
通知救护车
通知全体人 员
灭火器使用方法：
通知校公安 处并拨 119
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
NORHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY
西北工业大学微/纳米系统实验室
超净间安全手册
(Clean Room Safety Manual)
制定人：乔大勇 日期：2004 年 5 月
（生效）实验室主任签字： 日期： 年 月 日
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
冲洗以防烧伤组织收到更进一步的伤害，并使冲过的水能通畅、稀世、疏导且不会伤害到别人； 6) 若遇到重伤情况，须紧急送医； 眼睛接触到化学药品： 1) 迅速前往冲洗站或其他就近水源，不断轻轻冲洗眼部以冲淡化学药剂，并用手指轻轻翻动眼睑； 2) 若有固态台腐蚀性化学药品进入眼中（如石灰等），则冲洗上眼睑，确定没有化学药品粘住； 3) 若遇到重伤情况，须紧急送医； 送医注意事项： 对重患者送医之时，务必提供以下信息以便于迅速准确救治： 1) 伤者被何种化学药品所伤，此种化学药品的资料（物质安全资料表）要随伤者同时送到，以便为
服装安全规定
1) 鞋柜、衣柜位置 2) 戴上口罩，调整大小将口鼻完全遮住（非光刻间人员刻不必遵守此条） 3) 戴上发罩、头套，使头发不外露，并扣上纽扣 4) 穿好超净服，袖口，裤管及头套下摆在超净服内包覆，并将超净服拉链拉至顶端 5) 穿超净鞋，将拉链至顶端并粘好贴布
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
回 风 夹 道
火警控
制器一更
清洗间 灰区
清洗间
等离子区灰区
等离子区
声光火灾报警Leabharlann Baidu
测试区
二更
紧 急 逃 生
炉管区灰区
炉管区
紧 急 逃 生
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
地震紧急防护措施
发生地震
关闭仪器紧急电源开关 关闭气体管路
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
2) 当停止摇晃时，立即通知全体人员并描述超净间的状况； 3) 状况，如果地震所造成的灾害不是很大，超净间主管人员将给予适当的指引以便继续使用机器和
各种气体设备；若是很严重的地震，主管人员将会疏散所有超净间的人员； 4) 切记！不要慌张地往室外跑； 地震后： 1) 查看周围的人有无受伤，如有必要予以急救； 2) 当停电恢复供电时，不要立刻打开或使用电器，应该先检查是否有可燃性气体泄漏，以免造成爆
医疗人员提供参考； 2) 事故发生地点及人数；
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
3) 受伤的情况及已经对伤者做的急救措施
身体溅到化 学药品
立即脱去超 净服
以冲身洗眼 器冲洗
通知全体人 员
冲身洗眼器
毒气泄漏： 1) 个人发现毒气警报或异味发生时，若能处理，应迅速处理（如关闭阀门、开动排气系统等），随
上； 5) 若泼及眼睛，用大量的水冲洗眼睛至少 30 分钟，由眼内角往外冲； 6) 或呼吸道吸入，将患者移开污染源放置其继续吸入，保持呼吸道畅通，给患者 100％氧气；
危险物品分类及其图示
立即危害生 命
否 是
人员受伤
否 是
由紧急逃生 口迅速离开
由紧急逃生口逃离并将伤者带 出
通知全体人 员
通知校公安 处并拨 119
地震前： 1) 所有成员必须知道危险性气体，电源，自来水的总开关位置及关闭方式，以便在地震时可以关开
进行防火或灭火； 2) 熟记急救箱和灭火器的存放地点，并了解其相关使用方法； 3) 存放在开放式架子上的化学药品，在地震发生时有可能会掉落和混合，酸、碱和溶剂应该分开存
炸； 3) 检查超净间的水、电、气管线是否无损，如发现危险气体管道受损，立即离开且拨打 119 并申明
气体的有害程度；
化学灾害紧急防护措施
身体接触到化学药品： 1) 人体直接接触到化学药品，应该根据其性质实施适当的急救措施，详细资料参照物质安全资料表，
并送医急救；如无法确定是否身体沾染了酸碱，可用 pH 试纸检测被怀疑的皮肤表面
基本培训要求
超净间基本安全守则
违反以下规定之使用者，依据情节轻重，根据超净间处罚条例，由超净间主管处以禁入本超净间一周 以上的处罚
场地安全规定
1) 要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒请在在更衣室进行清洁 2) 容易产尘的用具：如普通纸张、铅笔、橡皮擦、蜡笔、木制品、铁制品请勿带入超净间 3) 一般使用者不得私自进入空调站，纯水房，灰区 4) 请将随身物品放入储物柜而非带入超净间内部，超净间内部提供电脑上网查询相关资料，除必要
2) 化学药品漏失、外溢时，应先先将人员疏散，并由有经验的人员以特殊防护用具前往现场处理； 3) 保持空气流通，并移开所有的热源和火源，同时围堵可外泻的化学品； 4) 当使用者使用防护手套，或其他防护设备时，若防护用具不能达到防护效果，而造成人员伤害时，
应先脱出防护衣； 5) 迅速前往冲洗站以及就近水源不断、彻底冲洗以冲淡或消除化学药剂。使用自来水时，必须轻轻
6) 带上手套，调整手套与超净服袖口，使用超净服的袖口束口套紧手套以保证手腕不外露 7) 在超净间内勿穿无袖背心、短裤、短裙、高跟鞋或凉鞋，必须着袜 8) 进入超净间前先脱鞋放入门外的鞋柜中，再进入超净间穿戴超净服、帽、鞋并配挂识别证于胸前，
超净服不得穿出超净间外 9) 若没有主管人员认可之安全护目镜，勿在超净间内佩戴隐形眼镜 10) 除工作人员专用的超净服、帽、鞋外，其余人员只能穿戴超净间提供的超净服、帽、鞋，不得穿
储且所有化学药品应该用可以抑制地震灾害的横杆固定；确定所有橱柜的门都配备着门扣并有正 面的锁上设备，可滑动的门在不用的时候应该关好，把冷冻库的门扣扣上； 4) 确保所有昂贵的测试设备都可靠的固定在放置处； 5) 气瓶必须用焊接扣铁链固定在墙上或地上，切不可固定在如手推车或桌子等可移动的设备上； 6) 绝对不要把危险的材料放在有轮子的手推车上； 7) 确定所有较高的书橱没有独立在房间的中央且没有被用来当作房间隔断，所有高于 120cm 的装置 都必须紧靠在墙上； 8) 不要使用高架的存储器，如大型容器、箱子或玻璃器皿； 9) 检查实验室内部各处及实验室外面的走廊是否干净，并且没有障碍物阻碍了紧急逃生出口； 地震发生时： 1) 通知超净间所有人员疏散，如果可能的话请关掉可燃气体管路再离开房间，关上门但不要锁起来； 注意天花板上的物品掉落下来，尽可能躲在办公桌下或靠支柱站立，寻求适当的掩蔽，远离窗户；
后应立即逃离（直接离开，无须脱去超净服）； 2) 若有时间应通知工作区附近之使用者一同离开，并拨打 119 并申明外泻毒气的性质； 3) 对严重受伤者，紧急送医治疗； HF 酸中毒处理： 1) 先除去被污染衣物，用大量水冲洗（至少冲洗 30 分钟），再速就医； 2) 在送医途中可将患部浸泡在含有 Ca 或 Mg 的溶液； 3) 对不幸误食者，不要催吐，可服用牛奶、含 Ca 溶液，含 Mg 胃乳 Ca 片或含 Mg 胃乳片； 4) 对于皮肤接触者，患部可涂抹葡萄糖酸钙或氧化镁软膏 30 分钟，并继续直到疼痛消除 15 分钟以
有物质安全资料表，若没有请联系超净间主管人员。 6) 使用完毕之药品、烧杯、芯片，务必物归原位，并做适当处理 7) 使用特殊药品及带入特殊化学药品及材料时，必须事先向主管人员登记。 8) 绝对不要把任何没有贴上危险物质辨识标示贴且尚未用水冲洗的瓶罐或容器放在一旁；绝对不要
把任何尚未用水冲洗的瓶罐或容器和标示着“ 已冲洗”的容器放在一旁；绝对不要遗漏任何化学 废弃物瓶罐或容器，当他们是空的，立刻开始处理程序 9) 所有的瓶罐，不论有无冲洗过，若没有贴上危险物质辨识标示贴，只能由工作人员用水清洗。故
戴自己携带之超净服、帽、鞋
化学药品安全规定
1) 若工作过程中将使用到酸、有毒或致命的溶剂或其它有危险的化学药品，请永远使用有抽气的化 学清洗槽，且穿戴安全的装备。若发生停电的情况，化学清洗槽的排气风扇将会停止，此时请不 要使用化学清洗槽。
2) 如果危险的材料发生溢出的情况，立即通知工作人员或相关主管 3) 用过化学物应先洗手再用餐，勿在使用化学物之现场进食。 4) 化学药品用毕后请在空瓶外贴上安全标示贴 5) 所有化学药品的储存方式都必须根据超净间安全手册之化学药品安全规定加以标示。确定你手边
的纸、笔、掩模、硅片和镊子及其他工具，请勿携带水杯，书包，衣服等个人物品进入超净间 5) 随时保持整洁，垃圾随时放入垃圾桶内 6) 注意任何可能绊倒你的电线，如有发现，请立即通知工作人员
人身安全规定
1) 火警电话：119 2) 电话位置 3) 火警声光报警器位置 4) 火警手动报警器位置 5) 消防水箱和灭火器位置 6) 烟雾探测器位置 7) 紧急逃生通道位置 8) 冲洗站位置 9) 非必要请勿在超净间内停留，勿要在超净间内来回踏步走动 10) 无论何时，至少要有两位使用者同时出现在超净间内，千万不要一个人进入超净间； 11) 在超净间内，不得饮食、嬉闹或从事其他与试验无关的事情 12) 超净间内不准闲聊与看书，不要在处理化学药品或进行其他危险过程中与人交谈 13) 请勿要手触硅片或对着它呼吸、咳嗽、说话；不要将手或头深入到净化工作台中 14) 永远专注在你的工作上，对你周围的环境要时刻保持警觉，尤其是各种潜在的危险状况 15) 使用仪器必须遵守该仪器的使用规则，并登记仪器的工作状况
紧急事件处理
微/纳米系统实验室各研究室联络电话
紧急事件通报流程
事件发生
是 是否危及生
命
否
由最近的出 口逃生
是 是否有人受
伤
否
是 是否需要医
护人员
否
通知全体人员
通知全体人 员
叫救护车
通知校公安 处并拨 119
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
使用完毕，请用水清洗你所使用的瓶罐并在上面写着“ 已冲洗” 或贴上事先印好的“ 已冲洗” 标 示贴 10) 在使用化学药品工作时，永远穿戴手套并立即更换有任何破损的手套 11) 不得任意打开酸、碱与有机溶剂容器的盖子，使用后立即锁紧盖子。 12) 勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之化学药品 13) 在移动或更换任何化学药品后，永远关上化学药品柜的门 14) 对遗留下来而无人管理的化学药品，永远加以标示并确保其安全 15) 各种化学废弃物分类倒入规定处，以便中和后排放 16) 勿将酸、碱及有机溶剂混合倾倒，以免爆炸 17) 化学药品用完后，若不再用，待温度降至室温时，稀释后倒入排水槽内，若仍有用，应盖好并用 水冲洗容器外面，晾干后标示，置于指定位置 18) 若有任何化学药品倾倒或人员发生意外及受伤，请立刻通知中心主管人员。 19) 酸类调和后，应使之冷却才能盖紧存放，否则因热膨胀将造成灾害。 20) 在充分地稀释后，可以直接输入排水设备内。氢氟酸与有机溶剂请倒入特定的化学药品清洗槽内， 因为氢氟酸会释放出氟原子，将会破坏空气过滤系统，故永远使用特定废弃物容器来处理氢氟酸 21) 混合酸液时，应将酸慢慢倒入水中，不可将水倾入酸中。
火灾紧急防护措施
事件发生
灭火
否
是
失去控制
立即危害生
命
否
是
由紧急逃生口
是
否 人员受伤
带伤者逃离
由紧急逃生 口迅速离开
通知救护车
通知全体人 员
灭火器使用方法：
通知校公安 处并拨 119
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
NORHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY
西北工业大学微/纳米系统实验室
超净间安全手册
(Clean Room Safety Manual)
制定人：乔大勇 日期：2004 年 5 月
（生效）实验室主任签字： 日期： 年 月 日
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
冲洗以防烧伤组织收到更进一步的伤害，并使冲过的水能通畅、稀世、疏导且不会伤害到别人； 6) 若遇到重伤情况，须紧急送医； 眼睛接触到化学药品： 1) 迅速前往冲洗站或其他就近水源，不断轻轻冲洗眼部以冲淡化学药剂，并用手指轻轻翻动眼睑； 2) 若有固态台腐蚀性化学药品进入眼中（如石灰等），则冲洗上眼睑，确定没有化学药品粘住； 3) 若遇到重伤情况，须紧急送医； 送医注意事项： 对重患者送医之时，务必提供以下信息以便于迅速准确救治： 1) 伤者被何种化学药品所伤，此种化学药品的资料（物质安全资料表）要随伤者同时送到，以便为
服装安全规定
1) 鞋柜、衣柜位置 2) 戴上口罩，调整大小将口鼻完全遮住（非光刻间人员刻不必遵守此条） 3) 戴上发罩、头套，使头发不外露，并扣上纽扣 4) 穿好超净服，袖口，裤管及头套下摆在超净服内包覆，并将超净服拉链拉至顶端 5) 穿超净鞋，将拉链至顶端并粘好贴布
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
回 风 夹 道
火警控
制器一更
清洗间 灰区
清洗间
等离子区灰区
等离子区
声光火灾报警Leabharlann Baidu
测试区
二更
紧 急 逃 生
炉管区灰区
炉管区
紧 急 逃 生
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
地震紧急防护措施
发生地震
关闭仪器紧急电源开关 关闭气体管路
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
2) 当停止摇晃时，立即通知全体人员并描述超净间的状况； 3) 状况，如果地震所造成的灾害不是很大，超净间主管人员将给予适当的指引以便继续使用机器和
各种气体设备；若是很严重的地震，主管人员将会疏散所有超净间的人员； 4) 切记！不要慌张地往室外跑； 地震后： 1) 查看周围的人有无受伤，如有必要予以急救； 2) 当停电恢复供电时，不要立刻打开或使用电器，应该先检查是否有可燃性气体泄漏，以免造成爆
医疗人员提供参考； 2) 事故发生地点及人数；
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册
3) 受伤的情况及已经对伤者做的急救措施
身体溅到化 学药品
立即脱去超 净服
以冲身洗眼 器冲洗
通知全体人 员
冲身洗眼器
毒气泄漏： 1) 个人发现毒气警报或异味发生时，若能处理，应迅速处理（如关闭阀门、开动排气系统等），随
上； 5) 若泼及眼睛，用大量的水冲洗眼睛至少 30 分钟，由眼内角往外冲； 6) 或呼吸道吸入，将患者移开污染源放置其继续吸入，保持呼吸道畅通，给患者 100％氧气；
危险物品分类及其图示
立即危害生 命
否 是
人员受伤
否 是
由紧急逃生 口迅速离开
由紧急逃生口逃离并将伤者带 出
通知全体人 员
通知校公安 处并拨 119
地震前： 1) 所有成员必须知道危险性气体，电源，自来水的总开关位置及关闭方式，以便在地震时可以关开
进行防火或灭火； 2) 熟记急救箱和灭火器的存放地点，并了解其相关使用方法； 3) 存放在开放式架子上的化学药品，在地震发生时有可能会掉落和混合，酸、碱和溶剂应该分开存
炸； 3) 检查超净间的水、电、气管线是否无损，如发现危险气体管道受损，立即离开且拨打 119 并申明
气体的有害程度；
化学灾害紧急防护措施
身体接触到化学药品： 1) 人体直接接触到化学药品，应该根据其性质实施适当的急救措施，详细资料参照物质安全资料表，
并送医急救；如无法确定是否身体沾染了酸碱，可用 pH 试纸检测被怀疑的皮肤表面
基本培训要求
超净间基本安全守则
违反以下规定之使用者，依据情节轻重，根据超净间处罚条例，由超净间主管处以禁入本超净间一周 以上的处罚
场地安全规定
1) 要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒请在在更衣室进行清洁 2) 容易产尘的用具：如普通纸张、铅笔、橡皮擦、蜡笔、木制品、铁制品请勿带入超净间 3) 一般使用者不得私自进入空调站，纯水房，灰区 4) 请将随身物品放入储物柜而非带入超净间内部，超净间内部提供电脑上网查询相关资料，除必要
2) 化学药品漏失、外溢时，应先先将人员疏散，并由有经验的人员以特殊防护用具前往现场处理； 3) 保持空气流通，并移开所有的热源和火源，同时围堵可外泻的化学品； 4) 当使用者使用防护手套，或其他防护设备时，若防护用具不能达到防护效果，而造成人员伤害时，
应先脱出防护衣； 5) 迅速前往冲洗站以及就近水源不断、彻底冲洗以冲淡或消除化学药剂。使用自来水时，必须轻轻
6) 带上手套，调整手套与超净服袖口，使用超净服的袖口束口套紧手套以保证手腕不外露 7) 在超净间内勿穿无袖背心、短裤、短裙、高跟鞋或凉鞋，必须着袜 8) 进入超净间前先脱鞋放入门外的鞋柜中，再进入超净间穿戴超净服、帽、鞋并配挂识别证于胸前，
超净服不得穿出超净间外 9) 若没有主管人员认可之安全护目镜，勿在超净间内佩戴隐形眼镜 10) 除工作人员专用的超净服、帽、鞋外，其余人员只能穿戴超净间提供的超净服、帽、鞋，不得穿
储且所有化学药品应该用可以抑制地震灾害的横杆固定；确定所有橱柜的门都配备着门扣并有正 面的锁上设备，可滑动的门在不用的时候应该关好，把冷冻库的门扣扣上； 4) 确保所有昂贵的测试设备都可靠的固定在放置处； 5) 气瓶必须用焊接扣铁链固定在墙上或地上，切不可固定在如手推车或桌子等可移动的设备上； 6) 绝对不要把危险的材料放在有轮子的手推车上； 7) 确定所有较高的书橱没有独立在房间的中央且没有被用来当作房间隔断，所有高于 120cm 的装置 都必须紧靠在墙上； 8) 不要使用高架的存储器，如大型容器、箱子或玻璃器皿； 9) 检查实验室内部各处及实验室外面的走廊是否干净，并且没有障碍物阻碍了紧急逃生出口； 地震发生时： 1) 通知超净间所有人员疏散，如果可能的话请关掉可燃气体管路再离开房间，关上门但不要锁起来； 注意天花板上的物品掉落下来，尽可能躲在办公桌下或靠支柱站立，寻求适当的掩蔽，远离窗户；
后应立即逃离（直接离开，无须脱去超净服）； 2) 若有时间应通知工作区附近之使用者一同离开，并拨打 119 并申明外泻毒气的性质； 3) 对严重受伤者，紧急送医治疗； HF 酸中毒处理： 1) 先除去被污染衣物，用大量水冲洗（至少冲洗 30 分钟），再速就医； 2) 在送医途中可将患部浸泡在含有 Ca 或 Mg 的溶液； 3) 对不幸误食者，不要催吐，可服用牛奶、含 Ca 溶液，含 Mg 胃乳 Ca 片或含 Mg 胃乳片； 4) 对于皮肤接触者，患部可涂抹葡萄糖酸钙或氧化镁软膏 30 分钟，并继续直到疼痛消除 15 分钟以
有物质安全资料表，若没有请联系超净间主管人员。 6) 使用完毕之药品、烧杯、芯片，务必物归原位，并做适当处理 7) 使用特殊药品及带入特殊化学药品及材料时，必须事先向主管人员登记。 8) 绝对不要把任何没有贴上危险物质辨识标示贴且尚未用水冲洗的瓶罐或容器放在一旁；绝对不要
把任何尚未用水冲洗的瓶罐或容器和标示着“ 已冲洗”的容器放在一旁；绝对不要遗漏任何化学 废弃物瓶罐或容器，当他们是空的，立刻开始处理程序 9) 所有的瓶罐，不论有无冲洗过，若没有贴上危险物质辨识标示贴，只能由工作人员用水清洗。故
戴自己携带之超净服、帽、鞋
化学药品安全规定
1) 若工作过程中将使用到酸、有毒或致命的溶剂或其它有危险的化学药品，请永远使用有抽气的化 学清洗槽，且穿戴安全的装备。若发生停电的情况，化学清洗槽的排气风扇将会停止，此时请不 要使用化学清洗槽。
2) 如果危险的材料发生溢出的情况，立即通知工作人员或相关主管 3) 用过化学物应先洗手再用餐，勿在使用化学物之现场进食。 4) 化学药品用毕后请在空瓶外贴上安全标示贴 5) 所有化学药品的储存方式都必须根据超净间安全手册之化学药品安全规定加以标示。确定你手边
的纸、笔、掩模、硅片和镊子及其他工具，请勿携带水杯，书包，衣服等个人物品进入超净间 5) 随时保持整洁，垃圾随时放入垃圾桶内 6) 注意任何可能绊倒你的电线，如有发现，请立即通知工作人员
人身安全规定
1) 火警电话：119 2) 电话位置 3) 火警声光报警器位置 4) 火警手动报警器位置 5) 消防水箱和灭火器位置 6) 烟雾探测器位置 7) 紧急逃生通道位置 8) 冲洗站位置 9) 非必要请勿在超净间内停留，勿要在超净间内来回踏步走动 10) 无论何时，至少要有两位使用者同时出现在超净间内，千万不要一个人进入超净间； 11) 在超净间内，不得饮食、嬉闹或从事其他与试验无关的事情 12) 超净间内不准闲聊与看书，不要在处理化学药品或进行其他危险过程中与人交谈 13) 请勿要手触硅片或对着它呼吸、咳嗽、说话；不要将手或头深入到净化工作台中 14) 永远专注在你的工作上，对你周围的环境要时刻保持警觉，尤其是各种潜在的危险状况 15) 使用仪器必须遵守该仪器的使用规则，并登记仪器的工作状况
紧急事件处理
微/纳米系统实验室各研究室联络电话
紧急事件通报流程
事件发生
是 是否危及生
命
否
由最近的出 口逃生
是 是否有人受
伤
否
是 是否需要医
护人员
否
通知全体人员
通知全体人 员
叫救护车
通知校公安 处并拨 119
微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册