_2_3_d范围内平晶平面度测量方法分析(1)
平面度怎么测量
平面度怎么测量1. 引言平面度是指一个物体的表面与一个参考平面之间的平均距离差，也可理解为物体表面的平整度。
在许多工业和制造领域中，平面度是一个重要的质量指标，对于确保产品的准确和可靠性至关重要。
为了测量和评估平面度，可以采取多种方法和工具。
本文将介绍几种常见的平面度测量方法。
2. 平面度测量方法2.1 直尺法直尺法是一种简单且常用的测量平面度的方法。
该方法要求使用一把长直尺或平板，并将其沿着待测物体的表面移动。
在移动的过程中，观察直尺与表面接触的情况。
如果直尺的各个点都与表面紧密贴合，那么可以认为该物体的平面度较好。
2.2 游标卡尺法游标卡尺法是一种更精确的平面度测量方法。
该方法需要使用一把游标卡尺，将其放置在待测物体的表面上，并在游标卡尺上移动游标丝。
在移动的过程中，观察游标丝与物体表面之间的间隙。
记录间隙的最大和最小值，通过计算这两个值之间的差值，可以得出物体表面的平面度。
游标卡尺法相对于直尺法更加精确，适用于对平面度要求较高的场合。
2.3 轮廓仪法轮廓仪是一种专门用于测量物体平面度的仪器。
轮廓仪通过使用一个移动的感应头，可以测量物体表面的高低差。
操作者将物体放置在轮廓仪上，并启动测量过程。
轮廓仪会自动记录物体表面的各个点的高度信息，并生成一个平面度测量报告。
轮廓仪法能够提供较为精确的平面度测量结果，因此广泛应用于高精度制造领域。
3. 平面度测量的注意事项在进行平面度测量时，需要注意以下几个方面：•确保测量仪器的准确性和灵敏度。
不同的测量方法和仪器具有不同的准确性和灵敏度要求，使用前应进行校准和检查。
•准备平面度测量的表面。
待测物体的表面应该清洁，并且不得有明显的凹凸不平、磨损等缺陷。
这可以提高测量的精确性和可靠性。
•选择合适的测量方法和仪器。
根据具体的测量要求和条件，选择适当的平面度测量方法和仪器。
不同的方法和仪器适用于不同的场合。
•进行多次测量并取平均值。
由于测量过程中存在一定的误差，为了提高结果的准确性，建议进行多次测量并取平均值。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指工件表面与一个理想平面之间的最大距离，也是表征工件表面平整度的重要参数之一。
在工程制造中，平面度的测量和检测是非常重要的，它直接影响着工件的质量和性能。
因此，我们需要了解平面度的测量方法及相应的检测工具。
首先，我们来介绍一些常用的平面度测量方法。
最常见的方法是使用平面度测量仪器，例如平面度测量仪、平板对刀仪等。
这些仪器能够精确地测量工件表面的平整度，并且提供直观的数值结果。
另外，还可以使用光学投影仪、三坐标测量机等高精度测量设备进行平面度的测量，这些设备能够实现对工件表面的全面、快速的测量。
除了仪器设备外，还可以采用传统的平面度测量方法，例如使用平面度尺、直尺、游标卡尺等简单工具进行测量。
这些方法成本低、操作简单，适用于一些简单的工件表面平整度的测量。
在进行平面度测量时，需要注意以下几点，首先，要选择合适的测量工具和仪器，确保其精度和稳定性；其次，要对测量仪器进行校准，确保其准确性；最后，要根据工件的实际情况选择合适的测量方法，保证测量结果的准确性和可靠性。
除了测量方法外，检测工具也是平面度测量中不可或缺的一部分。
常用的检测工具包括平面度尺、平板对刀仪、游标卡尺等。
这些工具能够帮助我们快速、准确地检测工件表面的平整度，并且可以直观地判断工件表面的平面度是否符合要求。
此外，一些高精度的检测设备也在平面度检测中发挥着重要作用，例如光学投影仪、三坐标测量机等。
这些设备能够提供更加精确、全面的平面度检测结果，对于一些对平面度要求非常高的工件来说，是必不可少的检测工具。
总之，平面度的测量方法及检测工具是工程制造中不可或缺的一部分。
通过选择合适的测量方法和检测工具，我们能够准确、快速地测量和检测工件的平整度，保证工件的质量和性能。
希望本文能够对大家有所帮助，谢谢阅读！。
平面度检测的方法和步骤
平面度检测的方法和步骤平面度检测是一种广泛应用于工程领域的测量方法，它用于评估一个物体表面的平整程度。
本文将介绍平面度检测的方法和步骤，并探讨其在工业生产中的重要性。
一、仪器和设备进行平面度检测需要使用特定的仪器和设备，下面是一些常用的工具：1. 平面度测量仪：包括平装和仪表两种类型。
平装采用具有平面度测定功能的平度尺进行测量，而仪表则利用电子传感器或光学系统来测量平面度。
2. 平度尺：通常由金属或玻璃制成，具有高度平整的表面，用于快速测量物体的平面度。
3. 其他辅助工具：如支撑平台、移动输送带等。
二、步骤下面是一般情况下进行平面度检测的步骤：1. 准备工作：首先，确定需要进行平面度检测的物体。
确保物体表面干净，没有杂质或损坏，以避免对测量结果的影响。
2. 安装平面度测量仪：将平面度测量仪的传感器固定在物体表面上，确保其位置准确稳定。
根据需要，可以使用支撑平台或移动输送带来调整物体的位置和姿态。
3. 进行测量：启动平面度测量仪，并按照其操作指南进行操作。
一般来说，仪器会自动扫描物体表面，并给出测量结果。
在此过程中，保持物体的稳定，避免震动和外界干扰。
4. 分析结果：得到平面度测量结果后，对其进行分析。
如果物体表面的平面度符合要求，可以进行下一步工作；如果不符合要求，则需要采取相应的措施来调整或修复。
5. 纪录和输出：将测量结果记录下来，并根据需要输出相应的报告。
有些平面度测量仪还可以将数据导出到电脑或其他设备中进行进一步处理和分析。
三、平面度检测的重要性平面度是许多工程项目中常常需要关注的一个指标。
一个平整的表面可以保证多个零件或组件之间的精确配合，从而提高产品的性能和品质。
平面度检测可以帮助找出表面平整度不达标的问题，及早调整和修复，避免后期出现更严重的质量问题。
此外，平面度检测对于某些工艺过程也是必不可少的。
例如，在制造平面密封件时，需要保证其表面平整度，以确保密封效果和防漏性能。
通过进行平面度检测，可以及时发现并解决潜在的质量问题，从而提高生产效率和产品质量。
平晶测量平面度原理
平晶测量平面度原理《平晶测量平面度原理》1. 引言你有没有想过，那些精密机械零件的表面，怎么能保证超级平整呢？就像盖房子要保证地基平平整整一样，很多工业制造里的部件表面平整度可是至关重要的。
今天，咱们就来好好唠唠平晶测量平面度这个事儿，这其中的原理可大有学问。
在这篇文章里，我会先给大家说说基本概念和理论背景，再深入讲讲它的运行机制，然后看看在生活和高级工业领域的应用，当然也少不了聊聊常见的问题和误解，最后再介绍些相关知识，再做个总结展望。
2. 核心原理2.1基本概念与理论背景平晶，简单来说，就是一块非常平的晶体。
那这个平的标准是怎么来的呢？这就得说到平面度的概念了。
平面度就是指一个平面的平整程度，就好比你看一张纸，如果它是完全平的，那平面度就非常好，如果有褶皱或者弯曲，平面度就差。
平晶测量平面度的原理基础就是光学干涉原理。
这个光学干涉原理可是有很悠久的历史了。
从早期科学家们对光的特性不断探索，发现光具有波动性，到后来慢慢发展出用干涉现象来测量微小的距离或者形状差异。
2.2运行机制与过程分析平晶测量平面度是这样一个过程。
首先，把平晶放在要测量平面度的物体表面上。
这时候，如果被测表面是完全平的，光线在平晶和被测表面之间反射后，就会形成一种均匀的干涉条纹。
这个就好比是两个完全一样的水波叠加，如果它们同步，就会形成一种很规律的图案。
如果被测表面不平呢，那么平晶和被测表面之间的空气层厚度就会不一样。
这个时候，光线反射后的干涉条纹就会出现弯曲或者变形。
就像是原本整齐的队伍里突然插进了几个不同步的人，整个队伍的整齐性就被破坏了。
通过观察这些干涉条纹的形状、弯曲程度等，就能分析出被测表面的平面度情况。
比如说，条纹弯曲得越厉害，那就说明这个地方的平面度偏差越大。
而且根据条纹弯曲的方向，还能判断出是凸起还是凹陷。
这就像看地图上的等高线一样，弯曲的等高线能告诉你哪里是山峰哪里是山谷。
3. 理论与实际应用3.1日常生活中的实际应用其实在日常生活中，平晶测量平面度原理也有很多体现。
检测平面度的方法介绍
检测平面度的方法介绍平面度检测是为了评估待测工件表面的平整度、曲率或形状与要求规范的偏差程度。
平面度是指工件表面与一个理想平面之间的距离偏差，平面度检测主要应用于各种精密零件、模具等需要高度平整表面的制造工艺中。
下面将介绍几种常见的平面度检测方法。
1.触发法触发法是最常用的平面度检测方法之一、该方法使用触发式的测头，通过测量工件上各个点的高度差，来确定工件的平面度。
触发法适用于不同形状和尺寸的工件，能够准确地检测工件的平整度。
2.光栅投影法光栅投影法是一种利用光学原理的平面度检测方法。
该方法使用一束光线照射在工件表面上，光线经过工件表面反射后被聚焦到光电元件上。
通过测量光线的偏转角度或聚焦点的位置，可以确定工件表面的平整度。
3.激光干涉法激光干涉法是利用激光的干涉原理进行平面度检测的方法。
该方法使用两束相干激光束照射在工件表面上，然后检测干涉光的干涉图案。
通过分析干涉图案的变化，可以确定工件表面的平整度。
4.球技法球技法是一种基于物理原理的平面度检测方法。
该方法使用一个球形探针与工件表面接触，探针的位置变化可以通过传感器或示波器来测量。
通过记录不同位置的球心高度，就可以确定工件表面的平整度。
5.平面平行度计平面平行度计是一种专用于平面度检测的测量仪器。
平面平行度计通常由一个测量平面、一个测量头和一个数显仪表组成。
该仪器通过测量工件表面与测量平面的高度差，来判断工件表面的平整度。
6.数控测量系统数控测量系统是一种利用计算机控制进行平面度检测的自动化方法。
该系统通过将工件固定在测量台上，然后使用探测仪器进行测量。
通过计算机的控制和处理，可以实现工件表面的平整度检测。
总之，平面度检测方法丰富多样，可以根据需要选择适合的方法进行检测。
选择合适的检测方法可以提高检测效率和准确性，确保工件质量符合要求。
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是指在一个平面上，任意两点之间的距离与该平面的距离之差的最大值。
在工程领域中，平面度是一个非常重要的参数，它直接影响着零件的质量和精度。
因此，对于工件的平面度进行准确的检测和评定是非常必要的。
本文将介绍几种常用的平面度检测方法。
一、直尺法。
直尺法是一种简单直观的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，选取一根较长的直尺，将其放置在被检测的平面上，然后用手指轻轻按压直尺的两端，观察直尺与被检测平面之间是否存在缝隙。
如果存在缝隙，则说明该平面不够平整。
这种方法操作简单，成本低，但是对操作人员的要求较高，且只能检测局部平面度。
二、游标卡尺法。
游标卡尺法是一种比较常用的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，选取一把精度较高的游标卡尺，然后将其放置在被检测的平面上，通过游标卡尺的测量范围和精度，可以准确地测量出被检测平面的平面度。
这种方法操作简便，准确度较高，适用于对平面度要求较高的工件。
三、投影仪法。
投影仪法是一种高精度的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，将被检测的平面放置在投影仪的工作台上，然后通过投影仪投射出被检测平面的轮廓，最后通过投影仪的影像测量系统，可以直观地观察到被检测平面的平面度情况。
这种方法操作简单，准确度高，适用于对平面度要求极高的工件。
四、三坐标测量法。
三坐标测量法是一种高精度、全方位的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，将被检测的平面放置在三坐标测量机的工作台上，然后通过三坐标测量机的探测系统，可以对被检测平面的平面度进行全方位、高精度的测量。
这种方法操作复杂，但是准确度极高，适用于对平面度要求非常高的工件。
综上所述，平面度是工程领域中一个非常重要的参数，对于工件的质量和精度有着直接的影响。
因此，选择合适的平面度检测方法对于保证工件的质量和精度具有非常重要的意义。
在实际工程中，可以根据具体的工件要求和实际情况选择合适的平面度检测方法，以保证工件的质量和精度要求。
《平晶检测平面度》课件
制定质量标准： 明确检测指标和 标准，确保检测 结果的准确性
培训检测人员： 提高检测人员的 专业素质和操作 技能，确保检测 过程的规范性和 准确性
定期校准设备： 确保检测设备的 准确性和稳定性， 避免因设备误差 导致的检测结果 偏差
建立质量管理体 系：建立健全的 质量管理体系， 确保检测过程的 规范化和标准化， 提高检测结果的 可靠性和可信度。
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汇报人：PPT
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课程名称：《平晶 检测平面度》
课程目标：掌握平 晶检测平面度的原 理和方法
课程内容：包括平 晶检测原理、平晶 检测方法、平晶检 测应用等
课程对象：适用于 从事平晶检测工作 的技术人员和研究 人员
介绍平晶检测 平面度的基本
概念和原理
讲解平晶检测 平面度的操作 步骤和注意事
项
提供平晶检测 平面度的实例
和案例分析
提高学员对平 晶检测平面度 的理解和应用
能力
检测工程师 质量控制人员 生产管理人员 技术研发人员 相关专业的学生和教师
引言：介绍《平晶检测平面度》的重要性和目的 理论基础：介绍平晶检测平面度的基本原理和理论 实验方法：介绍平晶检测平面度的实验方法和步骤 结果分析：分析实验结果，得出结论 结论与展望：总结实验结果，提出未来研究方向和展望 参考文献：列出参考文献，供读者参考
行度等参数
显微镜：用于 观察平晶表面
的微观结构
量具：如千分 尺、游标卡尺 等，用于测量 平晶的尺寸和
精度
温度计：用于 测量平晶的温 度，确保其在 适宜的温度下
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是指工件表面与一个理想平面之间的最大间隙，是表征工件表面平整度和平行度的重要参数。
在工程制造中，平面度的精度要求越来越高，因此对平面度的检测也变得越来越重要。
本文将介绍几种常用的平面度检测方法，希望能为相关领域的工作者提供一些帮助。
首先，最常见的一种平面度检测方法是使用平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它通过测量工件表面与参考平面之间的间隙来确定工件的平面度。
这种方法操作简单，精度高，适用于各种尺寸和形状的工件，因此在工程制造中得到了广泛应用。
其次，光学投影仪也是一种常用的平面度检测方法。
光学投影仪利用光学原理将工件的轮廓投影到投影屏上，通过对投影图像的测量来确定工件的平面度。
这种方法适用于各种材料的工件，并且可以实现对工件的快速、非接触式检测，因此在一些对检测速度要求较高的场合得到了广泛应用。
另外，三坐标测量机也是一种常用的平面度检测方法。
三坐标测量机通过测量工件表面上的多个点来确定工件的平面度，具有测量范围广、精度高的优点。
这种方法适用于各种复杂形状的工件，并且可以实现对工件的全面、精密的三维检测，因此在一些对检测精度要求较高的场合得到了广泛应用。
最后，还有一种常用的平面度检测方法是使用激光测量仪。
激光测量仪利用激光束在工件表面上扫描，通过对激光束的反射或散射信号进行测量来确定工件的平面度。
这种方法适用于各种材料的工件，并且可以实现对工件的快速、高精度的检测，因此在一些对检测效率和精度要求都较高的场合得到了广泛应用。
综上所述，平面度是工程制造中一个重要的质量指标，而平面度的检测方法也是工程制造中一个重要的技术环节。
不同的平面度检测方法各有其优缺点，应根据具体的工件特点和检测要求来选择合适的方法。
希望本文介绍的几种平面度检测方法能够为相关领域的工作者提供一些参考，使他们能够更好地进行平面度的检测工作。
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是指一个物体表面与一个理想平面之间的最大偏差，通常用于描述工件表面的平整度。
在工业生产中，平面度是一个非常重要的质量指标，对于保证机械零件的装配精度和工作性能具有重要作用。
因此，对工件的平面度进行准确的检测是非常必要的。
本文将介绍几种常见的平面度检测方法，以供参考。
首先，最常见的平面度检测方法之一是使用平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专用仪器，通常由测量座、传感器、数据处理系统等部分组成。
在使用平面度测量仪进行检测时，首先将工件放置在测量座上，然后启动测量仪进行扫描测量。
测量仪会通过传感器采集工件表面的数据，并通过数据处理系统计算出工件表面与理想平面之间的偏差，从而得出工件的平面度。
这种方法具有测量精度高、操作简便等优点，因此在工业生产中得到了广泛应用。
其次，还可以利用光学投影仪进行平面度检测。
光学投影仪是一种利用光学原理进行测量的仪器，通过投影仪将工件的轮廓投影到屏幕上，然后通过目测或图像处理软件对工件的轮廓进行分析，从而得出工件的平面度。
这种方法不仅可以快速、准确地得到工件的平面度，而且可以直观地观察到工件的表面形状，有利于发现表面缺陷和形状偏差，因此在工件质量检测中得到了广泛应用。
另外，利用三坐标测量机也是一种常见的平面度检测方法。
三坐标测量机是一种高精度的三维测量设备，可以对工件的三维形状进行测量和分析。
在进行平面度检测时，可以利用三坐标测量机对工件表面进行扫描测量，然后通过数据处理软件对工件表面的形状进行分析，从而得出工件的平面度。
这种方法具有测量精度高、适用范围广等优点，尤其适用于对复杂曲面的平面度进行检测。
总的来说，平面度是工件表面质量的重要指标，对于保证工件的装配精度和工作性能具有重要作用。
因此，对工件的平面度进行准确的检测是非常必要的。
本文介绍了几种常见的平面度检测方法，包括平面度测量仪、光学投影仪和三坐标测量机。
这些方法各有优缺点，可以根据具体情况选择合适的方法进行平面度检测，以保证工件质量，提高生产效率。
平面度测量方法
平面度测量方法平面度是指一个物体表面与一个理想平面之间的距离偏差，是表征物体表面平整度的重要参数。
在工程制造和质量控制中，平面度的测量是非常重要的，因为它直接影响着零件的装配质量和工作性能。
本文将介绍几种常见的平面度测量方法，希望能够对大家有所帮助。
首先，最常见的平面度测量方法之一是使用平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件表面平面度的仪器，它通常由底座、测头和显示器组成。
使用平面度测量仪进行测量时，首先将工件放置在平面度测量仪的底座上，然后将测头轻轻地压在工件表面上，仪器会自动显示出工件表面与理想平面之间的距禮偏差。
这种方法简单易行，且测量结果准确可靠，因此被广泛应用于工程制造领域。
其次，还可以使用投影仪进行平面度测量。
投影仪是一种通过光学投影原理来放大并显示被测物体表面形貌的仪器。
在平面度测量中，可以将工件放置在投影仪的工作台上，然后通过投影仪放大显示工件表面的图像，利用投影仪的标尺来测量工件表面与理想平面之间的距禮偏差。
这种方法适用于一些较大尺寸的工件，且可以直观地显示出工件表面的形貌，有利于工作者对工件的平面度进行直观的评估。
另外，还可以使用三坐标测量机进行平面度测量。
三坐标测量机是一种高精度的测量设备，它可以通过在三个坐标轴上的移动来精确测量工件的三维形貌。
在平面度测量中，可以将工件放置在三坐标测量机的工作台上，然后利用测头在工件表面上进行扫描测量，最终得到工件表面与理想平面之间的距离偏差数据。
这种方法适用于对工件表面平面度要求较高的情况，且可以实现对工件表面的全面测量。
总的来说，平面度的测量是工程制造和质量控制中非常重要的一环，而不同的测量方法适用于不同的工件和测量要求。
以上介绍的几种平面度测量方法，都具有各自的特点和适用范围，工作者可以根据实际情况选择合适的方法进行测量。
希望本文的介绍能够对大家有所帮助，谢谢阅读！。
光学平晶测量平面度原理
光学平晶测量平面度原理宝子！今天咱来唠唠光学平晶测量平面度这个超有趣的事儿。
你知道吗？光学平晶就像是一个超级厉害的小侦探，专门来检查平面是不是真的平。
光学平晶啊，它是一块表面超级光滑、平整的玻璃或者晶体。
它的工作原理就像是在玩一种超级神奇的光影游戏呢。
当我们把光学平晶放在要测量的平面上的时候，就会发生一些超级奇妙的现象。
如果这个平面是理想的平，那光线在光学平晶和这个平面之间就会规规矩矩的。
你可以想象光线就像是一群听话的小士兵，整整齐齐地排列着。
这个时候呢，我们看到的干涉条纹就会是非常均匀的，就像那种特别整齐的斑马线一样。
这就说明这个平面的平面度相当不错哦。
可是呀，如果这个平面不是平的，那就热闹啦。
光线就像是调皮的小精灵，在那些不平的地方就会捣乱。
比如说，要是平面有个小凸起，那光线在这个地方就会被挤得有点不一样。
这个时候呢，干涉条纹就会变得歪歪扭扭的，就像本来排得好好的队伍，突然有人插队了一样。
而且啊，这个条纹的弯曲程度还能告诉我们这个凸起有多高呢。
如果条纹弯得很厉害，那就说明这个凸起比较大；要是弯得不太明显，那凸起就比较小。
再比如说平面有个小凹陷吧。
光线在这个凹陷的地方就好像掉进了一个小坑，它们的传播路径又会发生变化。
这时候干涉条纹也会跟着变乱，可能会出现一些奇怪的形状，就像原本平整的画布被人弄出了个小坑洼，画在上面的线条也跟着扭曲了一样。
光学平晶测量平面度还有一个特别酷的地方呢。
它不需要和要测量的平面有什么复杂的接触，就轻轻地放在上面就行。
就像两个好朋友轻轻地靠在一起，然后就能知道彼此的秘密一样。
而且这种测量方法特别精确，就像一个超级细心的小工匠，连一点点小瑕疵都能发现。
你想啊，在那些制造精密仪器的工厂里，光学平晶就像是一个严格的质检员。
那些机器的零件平面必须要非常平，要是不平的话，整个机器可能就运转不好啦。
比如说在制造手表的时候，那些小零件的平面要是不平，手表的走时可能就不准了。
光学平晶就能把那些有问题的零件挑出来，就像一个火眼金睛的孙悟空，什么妖魔鬼怪都逃不过它的眼睛。
_2_3_d范围内平晶平面度测量方法分析
F1和F2的正负号，使平晶平面度计算更为准确。本例
判断为凸。
（3）计算有效直径（Φ72mm）范围内的平面度
和三分之二有效直径（Φ48mm）范围内的平面度
将表2的测量数据代入公式（4）和公式（5）。钠
单色灯光波长取0.5893μm；F96 的值取+0.013μm；由 于中心（2/3）d的表面偏差方向与有效直径d范围内偏
光源是钠单色灯。标准平晶规格是Φ150mm的二等平
晶， 2006年上级部门的检定数据为表1所示。
表1 标准平晶的检定数据
位置（mm） （1-2）截面 （μm） （3-4）截面 （μm）
-70
0
0
-48
+0.029
+0.027
0
+0.037
+0.033
+48
+0.019
+0.017
+70
0
0
按照检定规程的要求，需要计算标准平晶在 Φ96mm范围内的平面度，参照参考文献[3]可求出F96的 值为+0.013μm，标准平晶的（1-2）和（3-4）截面表 面形状均为凸，符号为正，符合检定规程的要求。 2.2 测量截面位置的确定方法与测量时读数位置的确 定与计算 2.2.1 测量截面位置的确定方法
符号的正负，（μm），
；
∆Fd 为标准平晶在被检平晶的有效直径d范围内的 平面度，（μm），
；
F(2/3)d =F2 - ∆F(2/3)d （5） 式中：F2为被检平晶与标准平晶在被检平晶的 （2/3）d范围内的平面度之和，计算时同样需根据凹凸 决定符号的正负，
另外，由于等厚干涉仪视场内干涉条纹和平晶的 像相对于平晶在仪器内的实际位置旋转了180°，因 此，在进行平晶表面形状凹凸判断时，特别需要注意 的是加压点位置应以视场内所看到加压工具的像的位 置为准。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指工件表面与某一基准面之间的最大有效间隙的距离，也就是工件表面的平整程度。
在工程制造中，平面度是一个非常重要的质量指标，直接影响着工件的装配和使用效果。
因此，正确的测量平面度以及选择合适的检测工具是非常重要的。
一、平面度的测量方法。
1. 使用平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它通过接触式或光学式的测量原理，可以快速、准确地测量出工件表面的平整程度。
在使用平面度测量仪时，需要将工件放置在测量台上，然后根据仪器的操作说明进行操作，即可得出工件的平面度数据。
2. 使用平面度测量块。
平面度测量块是一种用于检测工件平面度的标准工具，它通常由金属材料制成，具有非常高的平整度。
在进行平面度测量时，可以将平面度测量块放置在工件表面上，通过观察工件与测量块之间的间隙来判断工件的平面度情况。
3. 使用平面度测量夹具。
平面度测量夹具是一种用于固定工件并进行平面度测量的工具，它通常由夹具本体和测量传感器组成。
在使用平面度测量夹具时，可以将工件夹在夹具上，然后通过夹具上的测量传感器来获取工件的平面度数据。
二、检测工具的选择。
1. 平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它具有高精度、高稳定性的特点，可以适用于各种不同形状和材质的工件。
在选择平面度测量仪时，需要考虑测量范围、测量精度、使用便捷性等因素。
2. 平面度测量块。
平面度测量块是一种用于检测工件平面度的标准工具，它具有高精度、高耐磨性的特点，可以作为平面度检测的参照标准。
在选择平面度测量块时，需要注意其表面平整度和材质的选择。
3. 平面度测量夹具。
平面度测量夹具是一种用于固定工件并进行平面度测量的工具，它具有固定性好、操作简便的特点，可以适用于各种不同形状和尺寸的工件。
在选择平面度测量夹具时，需要考虑夹具的稳定性和适用范围。
三、总结。
平面度的测量方法及检测工具是保证工件质量的重要手段，正确的测量方法和合适的检测工具可以有效地提高工件的加工精度和装配精度，从而提高产品的质量和可靠性。
平面度的检测方法
平面度的检测方法平面度是指被测工件表面与一个理想平面之间的接触程度，是一个表征工件表面平整度的重要指标。
平面度的高低直接影响到工件的装配和功能，并且对于某些高精度要求的工件来说，平面度的精度要求也相对较高，因此平面度的检测方法非常重要。
下面将介绍几种常用的平面度检测方法。
1. 平板仪法：平板仪是一种常见的用于测量平面度的仪器。
使用平板仪进行平面度测量时，先将被测工件与平板仪配合放置，通过观察和比较，判断工件表面与平板仪平面的接触情况，从而得出平面度的评价结果。
2. 直尺法：直尺法是一种简单直观的测量平面度的方法。
使用直尺法进行平面度测量时，先将直尺底面与被测工件表面接触，再观察直尺是否与工件表面平行，通过调整工件和直尺的位置，直到找到直尺与工件表面平行时的位置，即可得到工件的平面度评价结果。
3. 平行度块法：平行度块法是一种使用平行度块进行平面度测量的方法。
平行度块是一种具有高度精度的测量工具，其表面是平整的，并且可以提供不同精度等级的平行度块。
使用平行度块法测量平面度时，将平行度块放置在被测工件表面上，观察平行度块与工件表面的接触情况，从而得出平面度的评价结果。
4. 脱模检测法：脱模检测法是一种用于检测平面度的方法，主要适用于测量具有平面表面的塑料制品或复合材料制品等。
这种方法是在被测工件表面涂覆一层可见颜色的脱模剂，并将工件放置在一个理想平面的平台上，根据脱模剂在工件表面的分布情况，通过观察和比较得到工件的平面度评价结果。
5. 光干涉法：光干涉法是一种使用光干涉原理进行平面度测量的方法。
这种方法利用干涉仪设备将被测工件的表面进行干涉，通过干涉纹的变化来评估工件的平整度。
使用光干涉法进行平面度测量时，需要高精度的干涉仪设备，并且需要对其进行校准和调整，以确保测量结果的准确性。
在实际应用中，不同的工件和要求会选择不同的平面度检测方法。
综合考虑工件的形状、材料、精度要求以及经济性等因素，选择合适的平面度检测方法对于确保工件的平整度和质量至关重要。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指工件表面与参考平面之间的距离差异，是表征工件表面平整度的重要指标。
在工程制造领域中，平面度的测量和检测是非常重要的，它直接影响着工件的质量和性能。
为了保证工件的平面度符合要求，需要采用适当的测量方法和检测工具进行检测。
本文将介绍平面度的测量方法及常用的检测工具。
首先，我们来介绍一些常见的平面度测量方法。
常用的平面度测量方法主要有以下几种：1. 投影仪测量法，利用投影仪投射光线，在工件表面形成一幅影像，然后通过目视或图像处理系统来测量工件表面的平面度。
2. 平板对比测量法，将待测工件与一个已知平整度的平板对比，通过对比两者之间的间隙来判断工件表面的平面度。
3. 激光干涉测量法，利用激光干涉原理，通过测量光程差来确定工件表面的平面度。
4. 表面轮廓测量法，利用三坐标测量机或轮廓仪等设备，通过测量工件表面的轮廓来判断其平面度。
以上几种方法各有优缺点，可以根据具体的工件特点和测量要求来选择合适的方法进行测量。
除了选择合适的测量方法外，还需要使用适当的检测工具来进行平面度的检测。
常用的平面度检测工具主要有以下几种：1. 平板，平板是一种常用的平面度检测工具，通常用于与待测工件进行对比检测，通过对比两者之间的间隙来判断工件表面的平面度。
2. 平面度尺，平面度尺是一种专门用于测量平面度的工具，它可以直接测量工件表面的平整度，并能够提供具体的测量数值。
3. 激光测平仪，激光测平仪是一种利用激光技术进行平面度测量的专用仪器，它能够实时显示工件表面的平整度，并提供高精度的测量数据。
4. 平面度测量仪，平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它可以实现自动化测量，并能够提供全面的测量报告。
以上几种检测工具各有特点，可以根据具体的测量要求和工件特点来选择合适的工具进行检测。
综上所述，平面度的测量方法及检测工具是非常重要的，它直接影响着工件的质量和性能。
在进行平面度测量时，需要选择合适的测量方法和检测工具，并严格按照相关标准进行检测，以确保工件的平面度符合要求。
测量平面度的方法
测量平面度的方法一、引言平面度是指一个物体表面在其所属平面上的平坦程度。
在工程领域中，平面度是一个非常重要的指标，尤其在零件加工和装配过程中。
平面度的测量可以帮助我们判断零件是否符合要求，从而保证产品的质量和性能。
本文将介绍几种常用的测量平面度的方法。
二、平面度测量方法1. 直尺法直尺法是最简单直观的测量平面度的方法之一。
使用一把精密直尺，将其与待测表面接触，通过目测或触感判断表面是否平整。
这种方法适用于表面较大且平整度要求不高的情况。
然而，由于人眼的主观因素和测量精度的限制，直尺法的测量结果不够准确和可靠。
2. 平台仪法平台仪是一种专门用于测量平面度的仪器。
它由一块平台和一根支柱组成。
将待测零件放置在平台上，调整支柱使其与零件接触，然后通过读数器测量支柱的高度差。
通过多次测量，求得平均值，即可得到零件的平面度。
平台仪具有测量精度高、操作简便等优点，适用于各种形状和大小的零件。
3. 平面投影仪法平面投影仪是一种常用的测量平面度的仪器。
它通过光学原理将待测零件的表面投影到屏幕上，然后使用投影仪尺量得到表面的高度差。
平面投影仪具有测量速度快、精度高等优点，适用于批量生产中对平面度要求较高的零件。
4. 激光测量法激光测量法是一种高精度的测量平面度的方法。
通过激光干涉原理，将激光束照射到待测表面上，接收反射光后，通过干涉光的变化来计算出表面的高度差。
激光测量法具有测量精度高、非接触性等优点，适用于对平面度要求极高的精密零件。
5. 数字化测量法数字化测量法是一种基于数值处理的测量平面度的方法。
通过将待测表面的数据输入到计算机中，使用专业的软件进行数据处理和分析，计算出表面的平面度。
数字化测量法具有数据处理快、精度高等优点，适用于对平面度要求较高的复杂曲面零件。
三、结论测量平面度是保证零件质量的重要环节。
本文介绍了几种常用的测量平面度的方法，包括直尺法、平台仪法、平面投影仪法、激光测量法和数字化测量法。
每种方法都有其适用的场景和特点。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指工件表面与参考平面之间的距离偏差，是表征工件平整度的重要参数。
在工程制造中，平面度的精度要求越来越高，因此平面度的测量方法和检测工具也变得越来越重要。
本文将介绍平面度的测量方法及常用的检测工具。
一、平面度的测量方法。
1. 视觉法。
视觉法是一种简单直观的测量方法，适用于一些表面平整度要求不高的工件。
操作人员通过目测或使用简单的辅助工具（如直尺、游标卡尺等）来判断工件表面与参考平面之间的距禮偏差。
这种方法成本低，操作简便，但精度有限，适用范围有限。
2. 使用平板检测法。
平板检测法是一种常用的测量方法，适用于对平面度要求较高的工件。
操作人员将被测工件放置在平板上，通过对比工件表面与平板之间的接触情况来判断工件的平面度。
这种方法操作相对简单，精度较高，适用范围广。
3. 使用测平仪。
测平仪是一种专门用于测量平面度的仪器，通过测平仪的测量结果可以直观地了解工件表面与参考平面之间的距离偏差。
测平仪的精度高，适用于对平面度要求较高的工件，但操作复杂，成本较高。
二、检测工具。
1. 平板。
平板是用于支撑被测工件的基准平面，通常由金属材料制成，具有较高的平整度和硬度。
在平面度的测量中，平板被用作参考平面，被测工件放置在平板上进行测量。
2. 测平仪。
测平仪是一种专门用于测量平面度的仪器，通常包括测头、示数器和支撑座等部件。
测平仪的测头可以在工件表面移动，通过示数器显示工件表面与参考平面之间的距离偏差。
3. 三坐标测量机。
三坐标测量机是一种高精度的测量设备，可以实现对工件平面度的三维测量。
通过三坐标测量机的测量，可以得到工件表面在不同位置的平面度情况，为工件的质量控制提供重要参考。
总结。
平面度的测量方法和检测工具多种多样，选择合适的测量方法和检测工具需要根据工件的具体要求和实际情况来确定。
在实际工程中，应根据工件的材料、尺寸、形状等特点，选择合适的测量方法和检测工具，确保工件的平面度符合要求。
平面度测量方法
平面度测量方法
1. 点测法：使用平面度测量仪器，在被测平面的不同位置选取若干个测量点，通过测量这些点的高度差，计算出平面度的数值。
这种方法适用于平面较小的情况。
2. 线测法：使用平面度测量仪器，在被测平面上选择一条直线作为基准线，在该直线上选取若干个测量点，通过测量这些点到基准线的距离，计算出平面度的数值。
这种方法适用于平面较大的情况，并可检测出平面的整体倾斜情况。
3. 面测法：使用平面度测量仪器，将仪器压平在被测平面上，将其激光或干涉系统调整至垂直于被测平面，通过测量仪器上的显示数值，获得平面度的结果。
这种方法适用于对平面度要求较高的情况。
4. 局部测量法：将被测平面分为若干个较小的局部区域，分别使用上述方法对每个局部区域进行测量，并记录每个区域的平面度数值。
通过对这些结果的综合分析，得出整体的平面度情况。
5. 光学投影法：使用光学投影仪或投影仪等设备，在被测平面上投射出光栅或网格，并将投影结果与标准平面进行比较。
通过观察光栅或网格的畸变程度，可以评估出被测平面的平面度情况。
这种方法适用于对平面度的精度要求较高的场合，但对仪器的精度要求也较高。
6. 计算机辅助法：利用计算机辅助设计（CAD）软件，建立
被测平面的三维模型，并进行数字化分析。
通过对模型进行几何计算，可以得出平面度的数值结果。
这种方法适用于复杂的曲面或非规则形状的平面度测量。
通过以上不同的测量方法，可以满足不同场合和不同精度要求下的平面度测量需求。
平面度的测量方法
平面度的测量方法嘿，平面度这东西咋测量呢？其实办法还不少嘞。
一种常见的方法是用水平仪。
这就像给平面找个水平的小裁判。
把水平仪放在要测量的平面上，看看气泡在不在中间。
要是气泡偏了，那就说明平面不平呗。
可以在不同的地方多放几次，这样能更全面地了解平面的情况。
就像你检查一个桌子平不平，得在不同的地方看看一样。
还有用千分表也可以。
把千分表固定在一个支架上，然后让表头接触平面。
慢慢移动千分表，看看指针的变化。
如果指针跳动得厉害，那平面肯定不怎么平。
这就像你用手指头摸摸平面，感觉有没有不平整的地方一样。
另外，打表法也挺好用。
在平面上选几个点，然后用一个标准的平面去靠，用表测量两者之间的差距。
差距越小，平面度就越好。
就像你比一比两个东西的高低一样，能看出哪个更平。
激光干涉仪也是个厉害的家伙。
它能发出激光，通过测量激光的反射来判断平面度。
这就像用高科技的眼睛看平面，特别准。
不过这东西一般比较贵，也比较复杂。
我给你讲个事儿吧。
有一次我们工厂要检查一个大平台的平面度。
大家先用水平仪测了一下，发现有些地方气泡偏得挺多。
然后又用千分表在几个关键的地方测了测，果然指针跳动得很厉害。
最后请来了专业的人用激光干涉仪一测，果然平面度不太好。
后来我们就想办法把平台修平了。
从那以后，我们就知道了平面度的测量方法很重要，能及时发现问题。
所以啊，平面度的测量方法有很多，你可以根据实际情况选择合适的方法。
下次你要是也遇到平面度的问题，就知道该咋做了吧。
平面度测量方法综述
平面度测量方法综述摘要：本文总结了目前国内平面度测量的各种方法，从基本原理和测量特点两方面对各种测量方法进行介绍，对已存在的各种平面度测量方法进行简要总结。
关键词：平面度；测量；原理一、平面度相关含义平面度是属于形位公差中的一种，指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。
平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。
在传统的检测方法中，平面度的测量通常有：塞规/塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法（平晶干涉法）、水平仪/数字水平仪测量法、以及打表测量法。
二、常用测量方法介绍（一）塞尺测量法测量原理：将待测产品固定在基准平台，待检测面向下放置，贴合平台表面。
在产品边缘插入塞尺。
判定标准：间隙处使用塞尺，尺寸0.3以上不可塞入为合格。
例如，塞尺尺寸为0.3可以塞入超过0.3不可塞入，产品OK；若塞尺尺寸0.4可塞入，则产品NG。
该种测量方法有以下特点：塞尺主要用于间隙间距的测量，对平面度的测量只能进行粗测。
检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。
（二）液平面法测量原理：液面法测量平面度误差以连通器的工作原理为基础，由于重力影响，连通器的两侧液面等高，以液体构成的平面作为测量基准，按照提前设定的布点测量出被测平面上各点相对测量基准的偏移量，经过数据处理进而获得平面度误差。
如图所示，连通器的两边A和B用软管2把液体连通，用传感器或液面计高器1测量液面的高度。
测量时，首先将连通器的两边放在被测平面的同一个位置上，调整两个传感器的零位。
然后，将其中一边固定在该位置上，另一边逐点移动到选定的测量点进行测量，同时记录各点示值相对于零位示值的差值。
将这些差值分别乘以二，获得各点相对于测量基准的偏移量，再把这些偏移量进行数据处理，用以评定平面的平面度误差。
该种测量方法有以下特点：1、适合于测量连续或者不连续的大平面的平面度；2、由于工作液体有一定的粘度，测量过程中要使连通器的两边的液位保持一定时间，故测量时间较长；3、由于液体对温度的变化非常敏感，使得实际测量中读数不准确，分散性大，故是用于测量精度较低的平面。
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差方向一致，同为凸，所以F1 和F2 都取正号。 如果被检平晶的规格大于Φ100mm，F96 的值不可
用，可以使用F140 为+0.037μm，具体参照参考文献[3] 的介绍。
（a）Φ72mm（有效直径）范围内的平面度：
（b）Φ48mm（有效直径d的三分之二）范围内的 平面度：
同理，依据上述步骤可以求出J3-J4截面的平面 度，如果J1-J2截面和J3-J4截面的平面度符号相同， 取其大者为该平晶平面度。如果两截面平面度符号相 反，取二者绝对值之和为该平晶平面度。 3 平晶表面形状的凹凸判断需特别注意的问题
20 国内统一刊号 CN3
出（2/3）d范围内的平面度测量方法，本文将对此问题
进行详细分析。给出了符合现行规程要求的新测量方
法。
2 平晶有效直径d和(2/3) d范围内的平面度测量方法
2.1 标准器的选择与要求
我单位平面等厚干涉仪的型号是C4-1型，使用的
测量平晶工作面相互垂直的两截面平面度的方 法。按照截面位置与干涉条纹方向的对应关系可用以 下方法：
标准平晶和被检平晶不转动，仅调整三个支点， 使干涉条纹转动。旋转到可以测量J1-J2和J3-J4截面平 面度。具体调整方法可参照参考文献[3]。 2.4 相互垂直的两截面所对应的干涉条纹与平晶平面 度计算示例
对于单工作面平面平晶，被检的两个截面应与刻 字成45°，亦可选择任意互相垂直的截面。对于双工 作面平晶，平面度的检定应在任意互相垂直的截面上 进行。
在等厚干涉仪内平晶的实际位置如图1所示：
图1 两截面位置的选择
2.2.2 测量时读数位置的确定与计算 以J1-J2截面为例，在等厚干涉仪视场内读数位置
如图2所示。 规格为Φ80mm的被检平晶，在等厚干涉仪视场内
[5] 李春辉,王池,王东伟. 音速喷嘴法气体流量标准装置的不确定度 分析[J].计量技术，2007，3：66-68.
[6] JJG 620—1994 临界流流量计检定规程. 北京：中国计量出版 社，1994.
[7] ISO 9300:2005(E) Measurement of gas flow by means of critical flow Venturi nozzles.
符号的正负，（μm），
；
∆Fd 为标准平晶在被检平晶的有效直径d范围内的 平面度，（μm），
；
F(2/3)d =F2 - ∆F(2/3)d （5） 式中：F2为被检平晶与标准平晶在被检平晶的 （2/3）d范围内的平面度之和，计算时同样需根据凹凸 决定符号的正负，
；
∆F(2/3)d 为标准平晶在被检平晶的（2/3）d范围内的 平面度，（μm），
21 2008/4 总第206期 国内统一刊号 CN31-1424／TB
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；
λ为钠单色灯光的波长，（μm）。 2.3 有效直径d和（2/3）d范围内的平面度测量方法
首先是环境温度控制问题，平晶平面度的大小和 表面凹凸都与温度变化密切相关。尤其是温度随时间 的变化量（例如规格为Φ80mm的一级平面平晶，要求 温度24小时变化量不超过1.5℃，1小时变化量不超过 0.2℃），不注意这一点则表面形状凹凸判断会出错， 平面度测量不准确。手动调整干涉条纹时间过长，短 时间内被测平晶局部温升过快，调整结束再恒温一段 时间后进行测量和表面形状凹凸判断，结果更可信。
（2）
其中bd 为被检平晶有效直径d范围内的弯曲量， （mm）。
（3）
ଖதb(2/3)d 为被检平晶（2/3）d范围内的弯曲量， （mm）。
平面度计算公式如下：
Fd =F1 - ∆Fd
（4）
式中：F1 为被检平晶与标准平晶在被检平晶的有
效直径d范围内的平面度之和，计算时需根据凹凸决定
参考文献
[1] 徐英华. 膜式燃气表技术手册[M]. 北京：中国计量出版社，2004. [2] 苏彦勋，梁国伟，盛健. 流量计量与测试[M]. 北京：中国计量出
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[4] 段慧明，王自和. 液体流量标准装置和标准表法流量标准装置 [M]. 北京：中国计量出版社，2004.
学术论文 Comprehensive Academic PRapeveierws
(2/3)d范围内平晶平面度测量方法分析
宫美望 范军华/青岛市计量测试所
在JJG28-2000 平晶检定规程中，对平晶有效直径d范围内的平面度和（2/3） d范围内的平面度均有规定的要求。但该规程附录D 中的计算公式和图示并不是平 晶有效直径d范围内的平面度测量方法，且没有给出（2/3）d范围内的平面度测量方 法，该文将对此问题进行分析，最后给出了符合现行规程要求的新测量方法，补充 了计算公式。 关键词 平晶；有效直径；平面度
Abstract：The JJG28-2000 verification regulation are specified the optical flat flatness in the effective diameter range and (2/3)d range.The formula is given for calculating the flatness in the optical flat diameter range in Appendix D,but did not give the measurement method of flatness in the effective diameter range and the (2/3)d range,in this paper we carefully analyze this question,the final a new measurement method is given,and a formula for calculating added. Keywords：optical flat; equal thickness interferometer; equal inclination interferometer; effective diameter; flatness
度计算．工业计量,2007(5)：8-11．
Analysis of the measurement method of the
optical flat flatness in the (2/3)d range
Gong Meiwang, Fan Junhua (Qingdao Institute of Measurement and Testing)
1 引言 在JJG28-2000 平晶检定规程中，规格小于或等
于Φ60mm的一级平面平晶，仅对有效直径d范围内的
平面度有规定的要求。对于其余平晶有效直径d范围 内的平面度和（2/3）d范围内的平面度均有规定的要 求。但是该规程附录D 中的计算公式和图示中没有给
5 小结 音速喷嘴式燃气表校验装置是采用多个喷嘴并
光源是钠单色灯。标准平晶规格是Φ150mm的二等平
晶， 2006年上级部门的检定数据为表1所示。
表1 标准平晶的检定数据
位置（mm） （1-2）截面 （μm） （3-4）截面 （μm）
-70
0
0
-48
+0.029
+0.027
0
+0.037
+0.033
+48
+0.019
+0.017
+70
0
0
按照检定规程的要求，需要计算标准平晶在 Φ96mm范围内的平面度，参照参考文献[3]可求出F96的 值为+0.013μm，标准平晶的（1-2）和（3-4）截面表 面形状均为凸，符号为正，符合检定规程的要求。 2.2 测量截面位置的确定方法与测量时读数位置的确 定与计算 2.2.1 测量截面位置的确定方法
F1和F2的正负号，使平晶平面度计算更为准确。本例
判断为凸。
（3）计算有效直径（Φ72mm）范围内的平面度
和三分之二有效直径（Φ48mm）范围内的平面度
将表2的测量数据代入公式（4）和公式（5）。钠
单色灯光波长取0.5893μm；F96 的值取+0.013μm；由 于中心（2/3）d的表面偏差方向与有效直径d范围内偏
注：视场内的干涉条纹图像相对平晶实际位置旋转了180度
图2 读数位置的选择
规格为Φ80mm的被检平晶，有效直径Φ72mm， (2/3)d为Φ48mm，则上述1/10和2/5的计算方法如下：
（80-72）/80=0.1
（80-48）/80=0.4
（1）
其中a为干涉条纹间距，（mm）。 过直径处干涉条纹最大弯曲量的求解公式：
联，所以组合后的不确定度为
由于大多数情况下装置内使用的音速喷嘴的不确 定度是相同的，因而其合成不确定度总是等于单个喷 嘴使用时的不确定度。但对于不同流量、不同不确定 度的喷嘴组合，装置的合成不确定度总是大于喷嘴中 的最小不确定度。
音速喷嘴式燃气表校验装置利用音速喷嘴的优点 实现多台燃气表同时检测，大大提高了检测的工作效 率，但在检测过程中要特别注意装置中台位差不同对 检测结果的影响。
22 国内统一刊号 CN31-1424／TB 2008/4 总第206期
调整出3条干涉条纹。干涉条纹间距a在1.2mm左右， 此时Φ80mm平晶在视场内的像实测直径为Φ4.8mm左 右。
读取e1点数据时，首先将微分螺杆旋转到J3-J4方
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向，距被测平晶在视场内像的边缘约1/10半径处的位置 读数。读取e2点数据时，则需在距被测平晶视场内像的 边缘约2/5半径处的位置读数。读取e3和e4点数据时可在 图2所示位置直接读数。