特气管道测试方案

高纯气体管道检测方案

工程概况

本工程共需要进行测试的管路系统为XX 二次配系统，包含：

Special Gas System ，特气种类包括NH3、SiH4、1% PH3/H2、NF3、SF6、CL2、PH2；测试包含内容：保压、氦气检漏、氧份、颗粒、露点

Bulk Gas System ，种类包括CDA 、GN2、、GO2、GHe 、、GCO2；

测试包含内容：吹扫、保压

Bulk Gas System ，种类包括PN2、 PO2、Par 、PHe ；

测试包含内容：保压、颗粒

1.保压测试

a.测试目的

确保管路输送系统没有明显的泄漏及管路耐压情况进行判断，以便对管

路系统进行氦测漏。

b.测试规则

测试时间为24小时，测试压力不能小于设计压力的1.5倍，经温度

纠正后的允许压力降为不大于开始压力的1%.

压力变化方程式(考虑到温度影响)

2121ta P 273.16

T 273.16T P P -++⨯= P2=测试结束压力值 (PSIG)

P1=测试开始压力值(PSIG)

T2=测试结束温度值 (℃)

T1=测试开始温度值(℃)

Pta=考虑到温度影响的压力变化值

c.测试仪器

保压计

d.测试前准备

在图纸上标出要进行压力测试的管路,以及保压计的放置位置。测试中在管线上拆卸的任何部件都要在图纸以及最后的测试报告中标出。测试开始之前，仔细的检查管线以确保给系统增压时的安全。保证所有已经安装的配件的额定承受压力都满足或超过测试的压力。拆除不满足要求的配件和系统。

注意事项：

（1）在管线上拆卸的任何配件都要在图纸以及最后的测试报告中标出。（2）保证测试范围内所有的阀门（包括调压阀）都处于全开的状态。（3）保压计应该位于调压阀的进气口一侧，并且经调压阀出去的压力应该大于测试的压力。

（4）系统测试时须含如下内容的标示牌：

注意、系统压力测试中、联系人

e.测试方法

（1）.让保压计与系统的隔离阀处于“关闭”状态。

（2）.将保压计的管线支路压力增加到 20 PSIG。

（3）.慢慢打开隔离阀。

（4）.每次增加 10 PSIG，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50% 。

观察保压计10 到15 分钟，看系统有无泄漏。如保压计显示系统

有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。重复上述操作。

（5）.确认系统无任何泄漏后，慢慢的增加系统压力到测试值，断开气源，最少观察压力表30 分钟（二次配的管路为10 分钟）看系统有无泄

漏。

（6）.在系统的压力稳定并显示无任何压降后，在压力测试报告中记录测试开始时的温度、时间和压力值，并通知业主方代表到现场确认。

f.测试结束后注意事项

(1).在测试报告中记录下测试的参数。将系统的压力释放，在进行氦测漏

之前用纯化气体对系统进行持续的吹扫。

(2).重新连接已经拆卸的系统配件时，必须使用新的垫片，并观察压力表

30分钟（一次配管路），保证系统充满压力时连接点无泄漏。

(3).系统打压时不要超过配件所能承受的压力值。

(4).将压力测试用的管线拆除，用堵头来密封系统并使用新的垫片。

(5).万一由温度所引起的压力下降超过了业主的要求，通过关闭测试范

围内的系统阀门来断开所有的潜在漏点，观察各个不同隔离部分的

压降。高纯管路气体不允许使用液体查漏物品。

(6).在将漏点隔离和修复之后，重复上述测试步骤。

2．喷吹法氦质谱检漏

a.测试目的

利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏的，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小，此法适用于所有的高纯气体和特殊气体管路输送系统。

b.相关名词及解释

真空度：处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真

空度低”来表示。

真空度单位：Torr 、Pa。

1托=1/760大气压=1毫米汞柱

1托=133.322帕

1帕=7.5×10-3托

漏率：密闭真空空间在外界标准大气压和单位时间内，物质泄漏的

速率。

漏率常用单位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、/s

10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 /s

分子泵：通过高速旋转的叶轮，当气体分子与涡轮叶片相碰撞时就被

驱向出气口再由前级泵抽除。

c.测试仪器

氦质谱检漏仪

d.测试前准备

（1）系统成功的的通过了保压检漏。

（2）确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。

（3）先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。

（4）测漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。

（5）缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

（6）对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。

（7）确定连接管路没有漏后，关闭测漏仪入口处的阀门。

e.测试方法

（1）确认系统上压力表/计是可以承受负压的复合型压力表/计。如果不是，要把压力表/计拆下来，并用堵头封口。确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。

（2）通常氦检漏工作需要两个人，一个人喷吹氦气，另一个人监视检漏仪的指示。

（3）确认系统中的压力0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。缓缓打开系统与检漏仪的隔离阀。

（4）缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。

（5）记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。

（6）检漏仪在检测过程中不能做清零的动作。

注意

如果在检漏测试以前，由于其它原因(如检测或安装不当)系统中被引入了氦气或湿气，则要用高纯氮气对管路系统进行吹扫，除去氦气或湿气以便于检漏测试能顺利完成。如果背景氦漏率在30 分钟后仍无法降到低于1×10-9 mbar.l/s，测试人员可以在连接处喷吹氦气来判断哪里是否有明显的泄漏。如果没有，关掉检漏仪入口处的阀门，把系统重新充进高纯氮气，断续吹扫系统中的每一个部分至少一次，然后将系统连续吹扫30分钟后再重新作检测。

（7）从最靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷枪喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到最后一个焊道或连接处。