光学超材料的制备方法与参数提取(PDF X页)
超材料的设计和制备方法及其应用
超材料的设计和制备方法及其应用超材料是一种新型的复合材料，它具有非常特殊的物理和化学性质，包括反向折射、负折射率、超支持力、超捕获效应等。
因此，它在未来的科学、技术、能源和环境保护等领域中具有非常广泛的应用前景。
本文将会详细阐述超材料的设计和制备方法，并介绍其在不同领域中的应用。
一、超材料的设计方法超材料的设计方法分为三类：基于各向同性质材料的超结构、基于各向异性材料的超结构和基于衍射限制的超结构。
基于各向同性质材料的超结构，是利用量子力学和经典电动力学的方法，通过设计精细的微结构，使得所设计的假定材料具有各种非自然的物性，如负折射、正向折射等。
该方法最早由英国物理学家维克托·维斯恩先生开发，并已在无限大范围内取得成功。
基于各向异性材料的超结构，是通过多孔材料、介质和导体的自然性质来设计材料。
在此情况下，需要考虑多个物理特性，包括金属或介质的自然频率、耦合常数、介质常数等。
其中最具有代表性的是超材料的电磁特性，这种特性被用来研究超材料及其性质与设计。
基于衍射限制的超结构，是利用超材料中的障碍物和人造结构，在电场和磁场中所产生的束缚能和相互作用力中提供微結构效应。
例如，超材料可以用如折射、透射和反射等宏观物理现象处理电磁波，从而实现信号的方向或波长的选择。
二、超材料的制备方法超材料的制备方法有很多，根据不同的应用范围和研究对象，采用的方法也不相同。
本文将介绍几种常见的方法。
1. 电化学沉积法：该方法是利用电化学沉积的原理，把金属离子沉积到悬浮液中的制成规定的杆、球、圆形等不同尺寸和形状的超材料。
该方法具有制备速度快、成本低、尺寸精度高等特点。
2. 溶胶凝胶法：该方法是将金属醇盐溶液灌入玻璃纤维等多孔介质材料中的制成超材料。
该方法具有制备晶体质量高、抗多一质量高等特点。
3. 热爆炸法：该方法是利用高能量的热冲击波来实现超材料制备的，其特点是速度快、高精度、好控制等。
4. 聚簇反应法：该方法是利用纳米材料反应的过程来制备超材料的一种方法。
化学技术中如何进行光学材料的制备
化学技术中如何进行光学材料的制备光学材料是一种具有特殊光学性质的材料，广泛应用于光学器件、光学通信、光学显示等领域。
在现代社会中，随着科技的发展，对光学材料的需求越来越大。
那么，在化学技术中，如何进行光学材料的制备呢？本文将从合成方法、结构调控和应用前景三个方面来探讨这一问题。
一、合成方法光学材料的制备通常包括溶剂热法、水热法、溶胶-凝胶法、水相法等多种合成方法。
其中，溶剂热法是一种常用的制备方法。
其原理是在高温高压的条件下，通过溶剂中的化学反应生成目标光学材料。
溶剂热法具有合成温度可控、反应速度快、产物纯度高等优点，可以制备出高质量的光学材料。
另一种常见的合成方法是水热法。
水热法利用水的独特性质，在高温高压的条件下，通过水介质中的化学反应来合成光学材料。
与溶剂热法相比，水热法具有反应条件温和、环境友好等优点，成为一种被广泛应用的合成方法。
除了溶剂热法和水热法外，溶胶-凝胶法和水相法也是常用的制备光学材料的方法。
溶胶-凝胶法通过将溶胶转变为凝胶，并在适当的条件下进行热处理，得到目标光学材料。
水相法则是利用水介质中的固相反应或沉淀反应来制备光学材料。
二、结构调控在光学材料的制备过程中，结构调控是非常重要的环节。
通过调控材料的结构，可以使光学材料具备特殊的光学性能。
结构调控的方法主要包括调控合成条件、改变配方比例以及引入掺杂元素等。
调控合成条件是一种常用的结构调控方法。
比如可以通过改变反应温度、反应时间、反应物浓度等参数来控制光学材料的结构和形貌。
这种方法可以精确地调控光学材料的结构，从而得到具有特定光学性能的材料。
改变配方比例也是一种常见的结构调控方法。
在光学材料的合成过程中，通过改变不同元素或化合物的含量和比例，可以调控材料的结构和性能。
例如，通过改变掺杂元素的含量，可以调节光学材料的能带结构和能带宽度，从而改变材料的光学性质。
另外，引入掺杂元素也是一种常用的结构调控方法。
通过引入其他原子或离子到光学材料中，可以改变材料的晶格结构和能带结构，从而使其具备特殊的光学性能。
超材料的制备和性能研究
超材料的制备和性能研究超材料是一种由具有特殊结构的微结构组成的人造材料，这些微结构可以使超材料具有正常材料所没有的特殊性质。
超材料在许多领域的应用中都具有很大的潜力，包括通讯、能源、光学、医疗、传感器和防护等领域。
为了实现这些应用，超材料的制备和性能研究非常重要。
超材料的制备方法很多，其中最常见的是悬浮法、电镀法、化学还原法、溶胶凝胶法和微影法等。
悬浮法是制备超材料中最基本的方法之一，其原理是将超材料微结构分散在溶液或胶体中。
电镀法是利用电解反应在基底表面上沉积金属纳米颗粒或管道来构建纳米结构。
化学还原法是将金属离子加入到含还原剂的溶液中，观察还原过程中微生物纳米结构的生长。
凝胶成胶法是一种利用溶胶胶体制备纳米复合材料的方法。
微影法是在光刻膜上制备出所需微结构，然后用电镀或化学方法填充材料，最后腐蚀掉光刻膜，获得所需的超材料。
超材料的性质主要取决于其微结构的类型和组成。
超材料的主要特点包括吸声、折射、过滤、色散、极化、屏蔽和自适应等。
例如，超材料是吸声材料的理想候选，可以通过调节吸收频率、振幅和声波传输特性等参数来实现优化设计。
在光学领域，超材料可以被用来设计具有高折射率的光学元件，例如透镜、棱镜和波导。
超材料也可以通过调节波长选择性地过滤特定的波段，同时保留其他波段的信号。
除了这些特性之外，超材料还具有许多其他性质。
例如，超材料可以通过改变其结构和组成来实现热导率的调控，从而使其具有优良的散热性能。
超材料还可以被用来制备高容量的电容器、电感器和电阻器，这些元件可以被应用于各种电子和通讯设备中。
此外，超材料的极化性能和磁敏感性等特性也让其成为制备天线、传感器和设备等的理想材料。
总的来说，超材料的制备和性能研究是一个非常重要的领域，其应用潜力在不断地扩大。
虽然目前的研究还面临许多挑战，例如成本、制备的规模化和材料的结构等问题，但是随着技术的不断发展和完善，我们可以预见到超材料在未来将会有更加广泛的应用。
超材料的制备和性质
超材料的制备和性质随着人们对材料的需求日益增长，研究新型材料的技术也在不断发展。
而超材料则是一种新型的材料，它具有普通材料所没有的特殊性质，如负折射、超长寿命等，因此在行业上得到了广泛应用。
本文将介绍超材料的制备以及其性质。
一、超材料的制备超材料的制备方法可分为两类，第一类是通过选择性激发粒子固定位置，使得材料的微观结构发生改变，这种方法被称为“拓扑设计法”。
第二类则是将两种或多种材料用尺寸相同或不同的结晶制成，使得具有特殊性质的材料得以形成。
其中，拓扑设计法主要包括“等离子体刻蚀法”、“纳米线模板法”和“反射式光纤层压法”等。
这些方法利用了材料微观结构与电磁场的相互作用来设计超材料，可以制备出具有特殊光学性质的材料。
而第二类方法则是通过制备“元材料”来实现。
元材料指的是由多个微观结构单元组成的材料，这些单元可以与特定频率的电磁场发生相互作用，从而表现出一些特殊性质。
一些常用的元材料包括金属纳米球、纳米点、纳米线等。
无论采用哪种方法制备超材料，都需要对材料的微观结构进行精细设计，并且需要进行复杂的制备工艺，所以制备超材料相对来说比较困难。
二、超材料的性质超材料的性质主要是由其微观结构所决定的。
以下是一些常见的超材料性质：1、负折射超材料可以实现负折射，即在光线穿过材料时，光线的折射方向与其到达方向相反。
这意味着超材料可以用来设计透镜等光学元件，从而实现更高的分辨率和更广的波段。
2、超长寿命超材料可以实现超长寿命，即在材料中自行产生电磁场，这种电磁场与材料本身并无关联，并且可以持续很长时间，这使得超材料成为一种重要的电磁波信号捕获材料。
3、高灵敏度超材料可以实现高灵敏度，即与受到材料的电磁波的影响程度很大。
这种性质使得超材料被广泛应用于传感器领域。
4、波长选择性超材料可以实现波长选择性，即在某些波长范围内对材料具有选择性吸收或反射的能力。
这种性质使得超材料被广泛应用于光学滤波器、太阳能电池等领域。
超材料的制备和光学应用
超材料的制备和光学应用超材料是一种具有特殊光学性能的人工微结构材料，它的出现引发了科学家们对未来光学技术的无限遐想。
超材料在光学通信、光学信息处理、纳米光子学等方面具有巨大的应用前景。
本文将从超材料的制备以及光学应用等方面进行探讨。
一、制备超材料的方法超材料的制备首先需要原材料，通常采用金属、氧化物或半导体材料。
其次，超材料的制备方法也各不相同，下面简单介绍几种方法：1. 直接写入法直接写入法是将超材料材料直接写入到介质中，可以通过高分辨率电子束曝光、激光刻蚀等手段来实现。
这种方法可以制备出高精度、高质量、高可靠性的超材料，但是制备时间和成本较高。
2. 模板法模板法需要使用有序介孔材料作为模板，通过沉积材料、去除模板等过程来制备超材料。
这种方法制备的超材料结构较为有序，制备过程简单，并且可以制备大面积的超材料。
但是因为制备过程需要使用模板，所以其结构比较固定，不够灵活。
3. 分子束外延法分子束外延法可以实现超材料的原子级控制，具有可变性强、制备速度快、复合材料制备方便等优点。
但是其成本较高，制备过程也较为繁琐。
二、超材料在光学领域的应用1. 超透镜超透镜是一种能够充分利用负折射率超材料的性质进行成像的光学设备。
利用透镜的强聚焦能力，可以实现超高分辨率的成像，甚至超过自然衍射极限，对光学成像技术的进一步发展具有重要意义。
2. 负折射率超材料负折射率超材料是具有特殊折射率性能的光学材料，在光学成像、光学通信等领域有着重要的应用。
负折射率超材料能够使光线产生反向弯曲，可以实现具有超远距离传输能力的光学通信，同时还可以用于制备高效光伏器件等。
3. 光学传感器超材料在光学传感领域的应用也十分广泛。
基于超材料的光学传感器能够对材料的物理和化学性质进行高灵敏度、高选择性的检测。
这种传感器具有快速、准确的响应特性，可以用于生物医学、水质监测、空气质量检测等领域。
三、超材料的发展前景超材料的出现为光学技术带来了一次重要突破，其在传感、光学通信、光学成像等方面均有着广泛的应用前景。
超材料的制备及其在光学领域中的应用
超材料的制备及其在光学领域中的应用引言超材料在物理学中是一个相对较新的研究领域，在20世纪90年代首次出现，并且最近几十年得到了越来越多的关注。
因其独特的物理特性，超材料在光学、电磁学、声学等领域中得到了广泛的应用。
本文将探讨超材料的制备以及其在光学领域中的应用。
超材料的制备超新材料的制备是一个非常复杂的过程，通常涉及到多种化学技术和物理技术。
由于超材料可分为不同类别，例如合成超材料、自组装超材料和表面增强拉曼光谱（SERS）超材料，因此不同类型的超材料制备过程也存在差异。
合成超材料合成超材料的制备通常涉及到纳米颗粒的制备，以及纳米颗粒的组装。
这种制备方法的关键是使用合适的溶剂来控制纳米颗粒的聚集，以达到合理的组装结构。
不同形状和尺寸的纳米颗粒可以用不同的化学方法合成，例如溶胀法、定向自组装、溶胶-凝胶法等。
自组装超材料自组装超材料的制备，通常从一系列不同分子的选择开始。
这些分子通常具有一定的自组装性质，可以按照预期结构组装成超材料。
自组装的过程可能会涉及到弱相互作用，例如范德华相互作用、静电相互作用和氢键，这些相互作用可以被用来构建超材料结构，构建具有高度有序结构的纳米复合材料。
表面增强拉曼光谱（SERS）超材料SERS超材料的制备过程通常包括两个主要部分，即制备超材料基底和贵金属纳米柱的制备。
超材料的基底通常是非金属，例如硅、玻璃、金属氧化物等。
贵金属纳米柱则常常由一些超分子模板和还原剂结合制备。
超材料在光学领域中的应用超材料在光学领域中的应用非常广泛，几乎覆盖了所有光学应用。
超材料在这一领域的应用可以从其两个最主要的特性开始，即负折射率和高活性表面。
负折射率负折射率是超材料中最突出的特点之一，它将传统光学理论的一些假设推翻，并且允许人们创造出具有传统材料无法实现的一些特性的光学材料。
负折射率的材料比其他材料有更高的波长选择性，也就是在受到特定频率的光时，材料可以转化为相应的工作状态。
这使得负折射率的材料对于新型线路和其他任务来说非常有用，可以在不影响现有功能的情况下制作更小、更快的电路。
超材料科学的基本概念和制备方法
超材料科学的基本概念和制备方法超材料是一种新型材料，它通过设计并组装人造结构实现所需的物理特性。
它具有许多优异特性，比如电磁波吸收、隐身、超分辨率成像等等。
超材料科学的出现为我们提供了一种具有重要应用意义的工具。
然而，什么是超材料？它的制备方法又是什么呢？本文将为大家介绍超材料科学的基本概念和制备方法。
一、超材料的基本概念超材料是一种人工设计的、具有特殊电磁性质的介质材料。
它的特殊性质来自于其微观结构，一般由一系列亚波长结构组成。
这些亚波长结构可以控制电磁波的传播，达到特别的功能。
超材料可以用于电磁波吸收、隐形材料、超分辨率成像、光电探测和宽带吸声等方面。
目前超材料的材料系统有金属、介质和半导体。
其中以金属为基础材料的超材料研究较为成熟。
二、超材料制备方法制备超材料的方法有多种，常见的制备方法包括厚膜电镀法、光刻/电子束曝光法、微球立体组装法、侵蚀法等。
1. 厚膜电镀法厚膜电镀法制备超材料的过程是在导体表面上，电镀出一层厚达几毫米的金属。
这一层金属被称作铜基底层。
通过对铜基底层的切割和银层的电镀，可以制备出一系列紧密排列的立方体状金属微结构。
2. 光刻/电子束曝光法光刻/电子束曝光法是通过光刻和电子束曝光技术制造超材料的方法。
这种方法需要一个金属基底，以及在金属基底上铸造的绝缘层。
对这一层绝缘层进行光刻或电子束曝光，并进行线形转移和化学腐蚀，最终得到所需的立方体状金属微结构。
3. 微球立体组装法微球立体组装法是通过一系列的微球组成，熔结在一起构建超材料的方法。
它的制备过程是先制备一个硅基底，然后在硅基底表面上喷洒一层聚丙烯小球。
在这些小球的表面涂上一层银薄膜，并利用硝酸的腐蚀作用，将聚丙烯球全面溶解，得到一个由银层组成的硅基底。
这种方法不会破坏银层，使所制备的微结构非常完整。
其中每个微结构的大小、形状可以通过微球粒径的控制来实现。
4. 侵蚀法侵蚀法是一种在大面积上制备超材料的方法。
其制备过程是先铸造出一个硅基底，然后在基底表面涂上一层光敏胶。
超材料的制备及性能研究
超材料的制备及性能研究前言超材料是一种具有多种功能的新型材料，受到了广泛的关注和研究。
其可以实现多种电磁波的控制，可以制成各种形状，应用领域广泛。
本文将介绍超材料的制备及性能研究。
一、超材料的定义及原理超材料是一种具有负折射率的材料，其可以通过微结构中的超材料单元单元相互作用来实现对电磁波的控制。
超材料的原理是从能带结构和电磁场的反相干涉效应出发：通过设计超材料的单元结构可以得到负电磁常数和负磁导率，从而实现负折射率（negative refraction index）。
这一特性在光学器件、成像、天线、隐身等方面有广泛应用。
二、超材料的制备方法超材料的制备方法包括顶点法、TEM（透射电子显微镜）法、光学法、电镀法、纳米球技术等。
其中，电镀法在制备超材料方面已经得到了很好的应用，其优点是制备精度高、易于控制，且制备时间较短。
该方法一般是用PECVD技术在聚合物基底上沉积金属或金属氧化物薄膜得到制作超材料。
然后使用光刻工艺将薄膜制成所需的结构。
这种方法制备的超材料制备周期短且制备过程易于控制，因此被广泛应用。
三、超材料的性能研究超材料的性能研究可以从以下几个方面进行：1.透射特性研究根据超材料单元的组合方式和纳米结构参数，可以实现负折射、正折射或双折射，而透射率取决于超材料的结构参数和单位尺寸。
研究透射方向和波导结构影响对材料性质的影响。
近年来，科学家们通过调节超材料的结构参数和缝隙尺寸等研究获得了一系列符合要求的透射特性。
2.光谱性能研究超材料的光学性能研究是评估超材料的重要方法。
超材料可以实现光谱选择性过滤器和宽带吸收器的功能。
实验研究表明，通过特定的超材料结构和制备方法，可以得到波长范围从红外光到紫外光的全光谱特性超材料。
3.激光性能研究超材料在激光成像、维纳滤波、隐身技术、激光成型等领域具有较好的性能。
在研究超材料的激光特性方面，需要充分考虑超材料的倒数折射率和倒数磁感应率。
将超材料应用于激光器上，可以制造出高功率、高效率、小尺寸的激光器和激光器阵列。
光学材料的制备与性能表征
光学材料的制备与性能表征光学材料是一类具有特殊光学性质的材料，广泛应用于光学器件、光学通信、光学传感等领域。
其制备和性能表征是光学材料研究的重要内容。
本文将从光学材料的制备方法、光学性能的表征以及一些典型的光学材料进行讨论。
一、光学材料的制备方法光学材料的制备方法多种多样，常见的有溶液法、熔融法、气相沉积法等。
溶液法是一种常用的制备光学材料的方法，它通过将溶解有机或无机物质的溶液进行蒸发、结晶或沉淀得到所需材料。
熔融法则是将材料加热至熔点，使其熔化后冷却得到固态材料。
气相沉积法是将气体或气体混合物通过化学反应或物理沉积的方式在基底上生成薄膜。
不同的制备方法对于材料的性能有着不同的影响。
溶液法制备的材料通常具有较好的均匀性和纯度，但其晶体结构较难控制。
熔融法制备的材料晶体结构较好，但其制备过程较为复杂。
气相沉积法制备的材料通常具有较好的薄膜性能，但对于大面积的材料制备较为困难。
二、光学性能的表征方法光学性能是评价光学材料的重要指标，常见的表征方法有透射率、折射率、吸收谱等。
透射率是指光线通过材料时的传输比例，可以通过透射光的强度与入射光的强度之比来计算。
折射率是指光线在材料中传播时的速度与真空中传播速度的比值，可以通过测量光线的入射角和折射角来计算。
吸收谱则是指材料对光的吸收程度，可以通过光谱仪等设备来测量。
除了透射率、折射率和吸收谱外，还有一些其他的光学性能指标，如散射、发光、非线性光学等。
散射是指光线在材料中的传播方向发生改变，可以通过测量散射光的强度和角度来评估。
发光是指材料在受到激发后发出的光，可以通过光谱仪等设备来测量。
非线性光学是指材料在高强度光作用下出现的非线性效应，如二次谐波产生、光学相位共轭等。
三、典型的光学材料光学材料种类繁多，其中一些典型的材料具有重要的应用价值。
例如，硅是一种常见的光学材料，具有良好的机械性能和光学性能，广泛应用于光学器件、光电子器件等领域。
另外，氧化锌是一种具有宽带隙的半导体材料，其透明度高，折射率大，可用于制备透明导电薄膜。
光学超材料的制备与性能研究
光学超材料的制备与性能研究随着现代科学技术的不断发展，光学超材料的研究成为了人们热议的热点话题之一。
光学超材料是一种通过微观结构设计实现光学特性调控的新材料，具有超出自然材料的光学性能。
本文将介绍光学超材料的制备与性能研究方面的研究现状。
一、光学超材料的制备方法1.自下而上法自下而上法是通过原子、分子或纳米粒子聚集自组装成高级结构的方法。
这种方法的优点是可以制备各种形式的超材料，还可以控制超材料的结构和性能。
2.自上而下法自上而下法是通过微细加工或光刻技术制备光学超材料的方法。
这种方法的优点是可以制备具有高边缘分辨率的光学超材料，适用于制备各种形式的超材料。
二、光学超材料的光学性能研究1.负折射率负折射率是光学超材料的一个重要特性。
负折射率意味着光可以在光学超材料中被弯曲，从而使得光可以穿过一些常规材料无法穿透的表面。
2.超透射超透射是指光学超材料的透射率超过了自由空间。
这种现象产生于超材料中的电磁波在穿过超材料时会与微观结构相互作用，从而使得光的透射率大于1。
3.Cherenkov辐射Cherenkov辐射是指当带电粒子穿过超材料时，会产生光的辐射现象。
这种现象产生的原因是电子速度超过了光速。
Cherenkov 辐射可以在高能物理实验中使用，也可以用于医学成像。
三、光学超材料的应用1.超透镜超透镜是一种可以使得光线以超过截止孔径的分辨率穿过透镜的光学元件。
超透镜可以被用于光学显微镜、纳米制造和生物成像领域。
2.隐身技术光学超材料可以用于制造隐身织物和隐身涂料。
这种材料可以使得光线穿过这种材料时比较减缓，从而产生厚度大于实际厚度的视觉效果。
3.热电转换光学超材料可以被用于制造高效的热电转换器。
这种设备可以将废热转化为电能，从而提高能源利用率。
热电转换器可以被用于各种领域，包括航空航天、汽车和工业制造。
总之，光学超材料具有许多的特殊性能和潜在应用。
在未来，随着科学技术的不断发展，光学超材料的应用前景将会越来越广阔。
超材料的制备及性质研究
超材料的制备及性质研究超材料是近年来材料科学领域最具潜力的研究方向之一，这种材料可以通过精密的制备工艺和控制结构的方式，在宏观尺度上呈现出不同于常规材料的物性和功能。
超材料具有很广泛的应用领域，如光电子学、传感器、天线、隐身等领域，因此引起了广泛的研究兴趣。
超材料的制备超材料的制备需要借助新的材料科学技术和新型制备方法。
目前，在超材料制备方法中，主要有以下几种方法：1. 液相化学方法：液相合成的方法是使用化学在不同的有机或无机溶剂中，通过化学反应、热、某些添加剂和控制反应条件来制备材料的方法。
在这种方法中，需要制备各种化学试剂，精确控制反应的过程和条件，以便精密地控制材料的结构和形态。
优点是可以制备纳米和亚纳米粒子，但这种方法的缺点是需要特殊的设备和条件，而且粒子大小和形态的控制较困难。
2. 溶胶凝胶法：溶胶凝胶法是一种基于固体凝胶化学反应的方法。
通过一个叫“溶胶”的均匀分散的液体体系，这种液体体系可以通过化学反应形成固体凝胶，相对较弱的固体状态，但对于其去除液相和水分后最终在气相或真空中为孔隙材料或功能材料。
这种方法可以制备不同大小和形状的孔隙材料。
具有宽广的应用。
但这种方法的缺点是制备过程较为繁琐和复杂。
3. 碳离子轰击法：碳离子轰击法是一种非常特殊的纳米制备方法。
在这种方法中，使用一种特定的装置，将氧化铝或者其他基底材料放置在高能量棒形碳离子束下，经过多通道扫描和加薄后形成一个很薄的铝酸盐膜材料。
这种膜材料的制备过程十分复杂，需要控制碳离子束的强度和方向，并且需要进行反馈控制。
这种方法可以制备出很小的微观材料。
具有很好的应用前景，但仍需要进一步的研究和改进。
超材料的性质和应用超材料的性质和应用是超材料研究的重要方面。
超材料的性质取决于其制备方法和结构。
超材料可以控制光场、声场、电场等多种物质形态。
其具有光学、磁学、电学、声学等多种性质，被广泛应用于光、电、声、磁和生物医学等多个领域，如下所示:1. 光学应用：超材料具有控制光场的特性，可以制备出多种光场调控器件，如超材料光学透镜、折射率为负的晶体等。
超材料的设计和制备
超材料的设计和制备随着人工智能、机器学习等技术的飞速发展，超材料的研究也逐渐成为热门领域之一。
超材料具有一些非常奇特的物理特性，例如负折射、透镜效应、超材料超表面等等。
但是，要想实现这些奇特的物理特性，就必须要有一个优秀的超材料的设计和制备方法。
超材料的设计主要是通过数值仿真计算得到。
这里的数值仿真指的是电磁场仿真，主要采用的是有限元方法或者黏度-电场耦合方法。
在这些数值仿真中，超材料的结构、形状、周期、介质材料和电学性能等等都是需要考虑的。
在数值仿真中得到最佳的超材料结构后，就可以考虑制备了。
超材料的制备方法很多，但是这里我主要想介绍的是电子束光刻法和干法制备法。
电子束光刻法是一种非常常见的超材料制备方法。
该方法可以用来制备三维复杂的超材料结构，并且可以获得非常优异的制备精度。
该方法主要是利用电子束照射在光刻胶上，制造出预设计的微小结构。
该方法的好处是可以获得非常优异的制造精度，可以控制超材料的周期和亚波长特性。
但是该方法的限制是不能够使用可见光和红外光制造出大尺寸的超材料。
干法制备法主要是利用化学气相沉积和物理气相沉积的方法，制备出具有周期性结构的超材料。
该方法的优点是可以获得大尺寸的超材料，具有极高的制备速度。
同时该方法的缺陷是不能够获得实现非常复杂的结构。
除此以外，还有一些其他的超材料制备方法，例如激光描写法、热压法、线上制备法等等。
需要注意的是，超材料的制备不仅仅局限于单一的制备方法，很多时候需要将多种制备方法结合起来，才能够快速地制备出复杂的超材料结构，例如激光描写法和电子束光刻法的结合，或者化学气相沉积和电子束光刻的结合等等。
在超材料的实际应用中，常常需要将超材料结构和其他器件相结合。
例如，在纳米光子学中，可以将超材料透镜和纳米线等等结构相结合，来实现非常高效率的纳米光源。
在基于超材料的传感器中，可以将超材料传感器结构和微析出器件结合起来，去检测微观颗粒的存在和浓度。
总体来说，超材料的设计和制备是非常关键的一环。
高性能光学材料的制备与性质研究
高性能光学材料的制备与性质研究光学材料是现代科学技术中重要的一类材料，具有很重要的应用价值。
高性能光学材料的制备与性质研究是目前科学技术领域的热点之一。
本文将从材料的制备以及其性质研究两个方面进行阐述。
光学材料的制备在现代科学技术发展的背景下，光学材料的制备工艺和方法已经不断的得到了更新。
其中最为重要的制备工艺为溶胶-凝胶法、熔融法、物理气相沉积等。
1.溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是目前应用最广泛的一种涂层制备技术。
它的主要原理是将材料的溶胶形态涂在基体上进行热处理凝胶，最终形成有机无机复合材料。
该技术在制备光学元件，特别是低散射光学器件方面的应用得到了广泛的认可。
2.熔融法熔融法相对于溶胶-凝胶法而言，其制备速度快，且可以制备较大尺寸的光学材料。
其主要原理是将材料熔化并迅速凝固，然后进行加工和表面处理。
熔融法的优点在于生产效率高和能够控制光学材料的晶粒尺寸和晶界结构，从而达到优化其光学性能的效果。
3.物理气相沉积物理气相沉积主要是指利用热蒸发、离子炮击或者反应气体等手段，在基体的表面沉积材料的工艺。
该方法可以通过控制沉积晶体的尺寸和形态，得到高度纯净、光学性能优良的材料。
光学材料的性质研究除了制备工艺的发展，高性能光学材料的性质研究也是不可忽视的。
而光学性能则是人们常关注的部分。
1.透明度材料的透明度是高性能光学材料最为关键的性能之一，其透明度越高表示其能对光线经过的程度越少，折射率越小。
2.散射率材料的散射率是光线经过材料时，由于微观结构的不均匀而发生折射所产生的贡献，散射率可以通过材料制备工艺和表面处理来控制。
3.折射率在光学器件中，折射率是非常重要的性能指标之一。
当光线穿过材料时，光线的速度会发生改变，因此可以通过折射率来衡量其透过材料的能力。
总结高性能光学材料的制备与性质研究是目前科学技术领域中非常重要的一个方向。
制备新型高性能光学材料需要掌握多项技术，而其性质研究则需要借助相关的仪器和设备进行实验研究。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
第27卷第10期强激光与粒子束V o l.27,N o.10 2015年10月H I G H P OW E R L A S E R A N D P A R T I C L E B E AM S O c t.,2015光学超材料的制备方法与参数提取*李克训1,赵亚丽1,4,江波1,王东红1,王军梅2,3(1.中国电子科技集团公司第三十三研究所电磁防护材料及技术山西省重点实验室,太原030006;2.中国科学院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室,太原030001;3.中国科学院大学,北京100049;4.山西大学化学化工学院,太原030006)摘要:在光学超材料研究过程中,其微观结构的控制制备技术至关重要㊂综述了国内外在光学超材料制备方法方面的大致发展历程㊂重点介绍了二维光学超材料的制备技术,并分析对比了各种经典制备方法的优缺点㊂在二维光学超材料制备方法基础上,进一步叙述了三维光学超材料的传统制备和新的研究制备方法㊂简要介绍了均匀介质光学超材料的介电常数㊁磁导率㊁折射率和阻抗等有效电磁参数的提取过程㊂关键词:光学超材料;实验;有效参数;刻蚀;自组装中图分类号: O436文献标志码: A d o i:10.11884/H P L P B201527.103233光学超材料是由亚波长结构单元或具有特异电磁特性的超原子组成的人工微纳结构材料㊂随着各个相关领域的发展,包括光磁学[1],光负折射率材料[2],巨大的人工手性[3],超材料非线性光学[4]和电磁隐身斗篷[5]等在内的光学超材料的诸多研究领域受到广泛关注㊂正如材料科学的许多分支一样,光学超材料的研究重点不仅仅是理论分析㊁设计与性能检测,还包括其具体微纳结构的制备技术与结构实现㊂在理论预测和仿真模拟方面,无论具有多么奇特的物理现象,都只有当其结构能够真正得以实现时,才能真正去验证理论推测和模拟结果㊂近年来,随着纳米加工技术的发展,特别是激光器[6]㊁飞秒激光[7]以及先进光学制造技术[8]的出现,使得光学超材料的制备技术得以快速发展㊂由于其结构单元需要控制在光波长范围,即几百纳米,所以相比微波频段的超材料结构,光学超材料的制备更富有挑战性㊂本文将分别叙述二维(2D)和三维(3D)光学超材料的制备方法,并简要介绍光学参数的提取,这将有利于光学超材料的模拟仿真和设计制备㊂12D光学超材料制备2D光学超材料的制备方法,主要包括电子束刻蚀(E B L)[9-11]㊁聚焦离子束(F I B)[12]㊁干涉刻蚀(I L)[13-14]和纳米压印刻蚀(N I L)技术[15-16]等方法㊂1.1电子束刻蚀电子束刻蚀是以电子聚焦束来代替光刻蚀中的光束,通过曝光在样品表面形成所需要的图案[9]㊂在光学超材料领域,大多数具有里程碑意义的研究结果,如负折射现象[10]㊁显著的磁响应[11]和巨大的手性效应[3]等都是通过电子束刻蚀来实现的㊂由于高能电子的德布罗意波长要远小于光波长,可以明显改变E B L系统中由于光的衍射极限造成的斑点,使其可以小到几个纳米,以便得到精细到纳米级别的图案㊂由于E B L为无掩模工艺,图形可以通过软件来控制,使其成为制备平面纳米结构最为普遍的工具㊂其主要缺点是效率低,时间长,价格高㊂因此,不适合制作大面积或批量制备光学超材料结构㊂1.2聚焦离子束与E B L不同,该法是用镓离子聚焦束来实现图形化,加速离子具有几十k e V的能量,足以溅射出样品表面的金属或电介质原子,其离子束聚焦光斑约为10n m,使其成为制造光学超材料的一种替代技术㊂与电子束刻蚀相比,不涉及后处理过程,且操作过程相对比较简单,能在短短20m i n内,制备出面积为16μmˑ16μm 的开口谐振环纳米图形结构[12]㊂虽然F I B法在时间上效率比较高,但其并不是制造高品质光学超材料的首选㊂该过程在本质上是一种破坏和污染过程,过程中高能离子束可以注入到样品表面,导致超材料结构的单元成分和形状发生改变,并进一步造成超材料性能预测与实际观测之间的差异㊂因此,该法在特定设计中可以快速图形化,但不作为2D光学超材料结构的一般性制备方法㊂*收稿日期:2015-05-01;修订日期:2015-07-17基金项目:山西省青年科学基金项目(2014021020-1);预研项目(201262401090404);国家重点基础研究发展计划(2013C B A01700)作者简介:李克训(1982 ),男,硕士,主要从事电磁防护研究;l i k e x u n c c@126.c o m㊂通信作者:王军梅(1986 ),女,博士,主要从事发光与光催化研究;j u n m e i_88@126.c o m㊂103233-1强激光与粒子束E B L与F I B都不适于光学超材料结构的大面积和批量制备,只适合不超过毫米量级尺寸的纳米结构制备㊂1.3干涉刻蚀干涉刻蚀法,又称全息光刻,是一种无掩模周期结构的光刻制备技术㊂通过两个或以上相干光束干涉产生一个驻波,可以记录在光致抗蚀剂上㊂对于制造光学超材料,其显著优点是具备制备大面积图形的能力,能够制备商业光学器件量级面积的超材料薄膜和涂层㊂类似标准光刻蚀技术,该法利用单步曝光替代了缓慢的光栅扫描㊂因此,一个相干光束大小的图形区域可以一次完成,所得图形可以达到c m量级㊂通过该法已经制备出近-中红外波段光学超材料[13-14]㊂但限制I L法成为光学超材料制备通用方法的原因是其仍属于光刻蚀过程,同样受到光波衍射极限的限制㊂所以该法制备的光学超材料多工作在红外区域而不是可见光波段㊂另外,不同于E B L和标准光刻蚀技术可处理几乎任意形状的图形,I L法在周期结构的几何形状方面受到限制㊂1.4纳米压印刻蚀纳米压印刻蚀技术为批量制备纳米结构和降低成本提供了可能[15]㊂该法涉及的模板需要具有纳米尺寸特征并在可控的环境条件下压在软刻蚀剂上,制作过程不受任何衍射或散射效应限制,最小可实现10n m量级的结构㊂而具有大面积渔网结构的金属-电介质-金属结构,在近红外波段可观察到负折射现象㊂该技术成功应用于室温下的红外手性超材料结构制备[16],但很少用于新型超材料结构的制备验证,因为其模版或模具的制备过程相当复杂,往往涉及到其他刻蚀过程,如电子束刻蚀㊁光刻蚀㊁聚焦离子束以及反应离子刻蚀等方法㊂2D光学超材料典型结构基于平面结构或厚度远小于波长的尺寸范围㊂为了充分展现其新颖特性,从平面结构到三维超材料结构的制备尤为重要,因此,必然涉及到对3D光学超材料亚波长和复杂超原子的合成㊂23D光学超材料制备3D光学超材料的制备方法,主要分为自上而下法包括层层堆垛[17-18]㊁双光子光聚合[19-21]㊁电子束直写[22]㊁三维全息光刻[23]等,以及自下而上法如化学自组装[24-27]等两大类㊂2.1层层堆垛许多方法已经提出并验证了足够厚度光学超材料结构的制备,其中一个比较简单的方法就是二维超材料结构的层层堆垛法[17]㊂该法同样可以由标准的E B L过程实现,是朝着制备更厚的超材料结构迈出的重要一步,但并不是制备真正3D光学超材料结构的理想方法,因为其总的厚度一般不超过200n m㊂一方面抗蚀剂厚度不能任意超过电子束处理厚度,另一方面刻蚀过程中会产生非垂直的侧壁,使横截面呈梯形结构,开口处底层比顶层小得多,随着总厚度的不断增加,顶层图形结构尺寸会不断减小,直至为零㊂为了克服这一缺陷,图形平坦法被用来制备多层超材料结构[17],图形化和平坦化过程被重复进行,以产生多个平面层,通过该过程四层呈良好排列的开口谐振环得以制备㊂尽管用平面的电子束刻蚀技术可以通过层层堆叠的方式制备更多层纳米结构,但不能制备出大面积和较厚的真正意义上的三维光学超材料结构㊂除了E B L,F I B也可用于多层光学超材料结构的制造,通过该法已制备出十层呈渔网结构的负折射超材料结构[18]㊂多层金属-电介质超材料结构的E B L和F I B制备过程是平面2D光学超材料制备方法的扩展,但并不能制备任意结构的超原子结构㊂2.2双光子光聚合双光子光聚合法,也被称为激光直写,聚合是通过非线性㊁多光子聚焦过程实现,聚合作用发生在激光束的聚焦点[19]㊂通过控制三维点阵的聚合位置,可以在空间分辨率下制备超衍射极限三维纳米结构;然后以该法得到的三维聚合物结构为骨架,进行涂敷金属过程以完成金属纳米结构制备,最终结构包含了金属和电介质单元㊂该金属化工艺通常是通过电解电镀的方式沉积完成,是比较灵活的金属化方法[20]㊂许多具有小于1μm 特征单元的复杂结构光子晶体已由激光直写法实现㊂相比于该法在光子晶体中的应用,制备块体的光学超材料结构则更富有挑战性㊂因为在同一波长下,超材料结构特征尺寸要小于光子晶体结构㊂大多数超材料结构要求单元结构中含有金属成分,这是蒸发或溅射等常规金属化方法不易实现的㊂除了以上几种金属化方法外,新的金属化聚合物骨架的方法如化学气相沉积已得到验证[21],并且可以进行特定区域的金属化操作㊂2.3化学自组装利用通过可控化学过程的自组装或自组织法,能够产生几乎所有图案的堆垛结构㊂此法成本较低,但所有103233-2103233-3的自组装都是非常具体的,尤其是一些特定的阵列结构对材料有严格的限制㊂尽管如此,已经出现了实验验证的自下而上的自组装法制备光学超材料,如自组装蛋白石作为多功能模板,可以向其中填充的客体材料包括金属㊁半导体和绝缘体等等[24],这种模板法已经成功用于硅光子晶体和三维空心银球阵列的制备,它们都是采用聚合物胶体晶体为模板[25]㊂另外,还有组装而成的负折射材料是基于自组织的多孔氧化铝和金属电镀模板合成的[26]㊂能够实现自组装的方法很多,张日东等[27]通过提拉法自组装S i O 2膜并研究了厚度与折射率的变化规律,该法同样也可以用于多层三维纳米结构的组装㊂2.4 其他方法其他制备3D 金属-电介质光学超材料纳米结构的方法主要包括电子束直写[22]㊁聚焦离子束化学气相沉积[28]㊁三维全息光刻等[23]㊂其中有些方法可能会受到材料和几何结构的严格限制,但它们已经成功用于三维光子晶体结构的制备,也同样可以用于精细3D 光学超材料结构的实现㊂另外,还有等离子刻蚀以及以上几种方法的结合使用,潘鑫等[29]正是采用等离子体刻蚀与化学气相沉积相结合的方法对金刚石膜刻蚀效果与影响机理进行了研究㊂3 提取材料参数对于给定特定结构的光学超材料,其中最重要的任务之一就是提取有效参数,包括由实验观测的介电常数ε,磁导率μ,折射率n 和阻抗Z ㊂一般情况,所有这些参数都包含实部和虚部两部分㊂四个参数可分成两组,一组是介电常数ε和磁导率μ,如式(1)㊁式(2),可直接代入麦克斯韦方程组㊂D =ε0εrE (1)B =μ0μr H (2)另外两个量折射率n 和阻抗Z ,更方便描述不同材料边界处的波现象㊂两组参数通过式(3)㊁式(4)关联㊂ε=n /Z(3)μ=nZ (4)严格来说,所有这些变量是与频率相关的㊂获取超材料的有效参数最简单的方法之一是所谓的(R ,T )法㊂其中只需要观测法向入射光入射特定厚度介质的反射率R 和透射率T ㊂R ,T 和折射率n 之间的关系由广义的菲涅耳定律描述,包括不同界面的相干条件㊂另一个方法是在垂直入射谱下,仅测量R (ω)或T (ω)光谱,然后进行克拉默斯-克朗尼(K r a m e r s -K r o n i g )关系转换㊂当样品是非透明时只有R (ω)被测量㊂然而,如果仅有一些特定的反射谱线,还必须采集幅度和相位信息㊂对于一般超材料来说,至少有四个变量需要确定㊂无论介电常数ε,还是磁导率μ,都有未知的实部和虚部㊂也可以利用折射率n 和阻抗Z 表征,如式(5)㊁式(6),同样存在实部n ᶄ与Z ᶄ和虚部n ᵡ与Z ᵡ四个未知变量,因此这些变量需要通过试验去提取有效参数来获取㊂考虑垂直入射厚度为d 的均匀介质板,假设板在真空中,则复透射系数t 和复反射系数r 与阻抗Z 和折射率n 有关,如式(7)㊁式(8)㊂n =n ᶄ+i n ᵡ(5)Z =Z ᶄ+i Z ᵡ(6)t =[c o s ()n k d -i 2(Z +1Z)s i n (n k d )]-1(7)r =-i 2(Z -1Z)s i n (n k d )t (8)式中:k =2π/λ0是自由空间波矢,能够通过菲涅耳公式简单求和得到;t 等同于传统透射系数乘以因子e i k d,是归一值[30]㊂由式(7),(8)可得式(9),(10)㊂由于平方根和三角函数的存在,需要综合考虑ε,μ,n 和Z 之间的因果关系,使得式(9)的解唯一确定,同理求得n 解㊂Z =ʃ1+()r 2-t 21-()r 2-t éëêêùûúú21/2(9)c o s ()n k d =1-r 2+t22t(10)当得到n 和Z ,则可由式(3)㊁式(4)可得到另一组材料参数㊂李克训等:光学超材料的制备方法与参数提取强激光与粒子束从复透射系数t和复反射系数r中提取有效参数的方法,不仅有利于实验数据的处理,还是超材料仿真和建模不可或缺的工具㊂但该处理过程是基于理想化均质模型而展开的,而实际中纳米结构的堆垛往往存在明显的各向异性,这就给微纳米结构电磁参数的提取带来困难,或提取的参数与实际情况存在较大差异㊂4结论针对光学超材料的理论分析㊁仿真模拟以及新颖物理特性的研究开展广泛,并取得丰硕成果㊂但光学超材料的实际应用却很少,其中主要原因之一便是光学超材料的设计与制备技术的局限㊂随着相关技术的发展和科学工作者研究的不断深入,光学超材料的设计和制备技术必将走向成熟,实现精确化㊁批量化和大面积光学超材料结构的制备,从而推动其实际应用㊂参考文献:[1]L i n d e nS,E n k r i c hC,W e g e n e rM,e t a l.M a g n e t i c r e s p o n s e o fm e t a m a t e r i a l s a t100t e r a h e r t z[J].S c i e n c e,2004,306(5700):1351-1353.[2]D o l l i n g G,W e g e n e rM,S o u k o u l i sC M,e t a l.N e g a t i v e-i n d e xm e t a m a t e r i a l a t780n m w a v e l e n g t h[J].O p t L e t t,2007,32(1):53-55.[3]P l u m E,F e d o t o vV A,S c h w a n e c k eAS,e t a l.G i a n t o p t i c a l g y r o t r o p y d u e t oe l e c t r o m a g n e t i c c o u p l i n g[J].A p p lP h y sL e t t,2007,90:223113.[4]K l e i n M W,E n k r i c hC,W e g e n e rM,e t a l.S e c o n d-h a r m o n i c g e n e r a t i o n f r o m m a g n e t i cm e t a m a t e r i a l s[J].S c i e n c e,2006,313(5786):502-504.[5]C a iWS,C h e t t i a rU K,K i l d i s h e vA V,e t a l.D e s i g n s f o r o p t i c a l c l o a k i n g w i t hh i g h-o r d e r t r a n s f o r m a t i o n s[J].O p t E x p r e s s,2008,16(8):5444-5452.[6]张汉伟,周朴,王小林,等.1137n m长波掺镱光纤激光器的出光实验[J].强激光与粒子束,2013,25(11):2785-2787.(Z h a n g H a n w e i,Z h o uP u,W a n g X i a o l i n,e t a l.E x p e r i m e n t a l s t u d y o n1137n ml o n g w a v e l e n g t hY b-d o p e d f i b e r l a s e r s.H i g hP o w e rL a s e ra n dP a r t i c l eB e a m s,2013,25(11):2785-2787)[7]张子辰,马洪良,安保礼,等.飞秒激光诱导有机薄膜自组装微结构[J].强激光与粒子束,2014,26:0810141.(Z h a n g Z i c h e n,M aH o n g l i-a n g,A nB a o l i,e t a l.F e m t o s e c o n d p u l s e l a s e r-i n d u c e ds e l f-o r g a n i z e d m i c r o s t r u c t u r eo ne u r o p i u mc o m p l e xf i l m.H i g hP o w e rL a s e ra n dP a r t i c l eB e a m s,2014,26:0810141)[8]许乔,王健,马平,等.先进光学制造技术进展[J].强激光与粒子束,2013,25(12):3098-3105(X uQ i a o,W a n g J i a n,M a P i n g,e t a l.P r o-g r e s s o f a d v a n c e do p t i c a lm a n u f a c t u r i n g t e c h n o l o g y.H i g hP o w e rL a s e r a n dP a r t i c l eB e a m s,2013,25(12):3098-3105)[9]D o l l i n g G,E n k r i c hC,W e g e n e rM,e t a1.S i m u l t a n e o u s n e g a t i v e p h a s e a n d g r o u p v e l o c i t y o f l i g h t i n am e t a m a t e r i a l[J].S c i e n c e,2006,312(5775):892-894.[10]S h a l a e vV M,C a iWS,C h e t t i a rU K,e t a l.N e g a t i v e i n d e x o f r e f r a c t i o n i n o p t i c a lm e t a m a t e r i a l s[J].O p t L e t t,2005,30(24):3356-3358.[11]C a iW S,C h e t t i a rU K,Y u a nH K,e t a l.M e t a m a g n e t i c sw i t h r a i n b o wc o l o r s[J].O p t E x p r e s s,2007,15(6):3333-3341.[12]E n k r i c hC,P e r e zW F,G e r t h s e nD,e t a1.F o c u s e d-i o n-b e a m n a n o f a b r i c a t i o no f n e a r-i n f r a r e d m a g n e t i cm e t a m a t e r i a l s[J].A d vM a t e r,2005,17(21):2547-2549.[13]Z h a n g S,F a n WJ,M i n h a sBK,e t a l.M i d-i n f r a r e dr e s o n a n tm a g n e t i cn a n o s t r u c t u r e s e x h i b i t i n g an e g a t i v e p e r m e a b i l i t y[J].P h y sR e vL e t t,2005,94:037402.[14]F e t hN,E n k r i c hC,W e g e n e rM,e t a l.L a r g e-a r e am a g n e t i cm e t a m a t e r i a l s v i a c o m p a c t i n t e r f e r e n c e l i t h o g r a p h y[J].O p t E x p r e s s,2007,15(2):501-507.[15]G u oLJ.N a n o i m p r i n t l i t h o g r a p h y:m e t h o d s a n dm a t e r i a l r e q u i r e m e n t s[J].A d vM a t,2007,19(7):495-513.[16]W u W,K i m E,P o n i z o v s k a y aE,e t a l.O p t i c a lm e t a m a t e r i a l s a t n e a r a n dm i d-I Rr a n g e f a b r i c a t e db y n a n o i m p r i n t l i t h o g r a p h y[J].A p p lP h y sA,2007,87(2):143-150.[17]L i uN,G u oH,F uL,e t a l.T h r e e-d i m e n s i o n a l p h o t o n i cm e t a m a t e r i a l s a t o p t i c a l f r e q u e n c i e s[J].N a tM a t e r,2007,7(1):31-37.[18]V a l e n t i n e J,Z h a n g S,Z e n t g r a fT,e t a l.T h r e e-d i m e n s i o n a l o p t i c a lm e t a m a t e r i a lw i t ha n e g a t i v e r e f r a c t i v e i n d e x[J].N a t u r e,2008,455(7211):376-379.[19]K a w a t aS,S u nHB,T a n a k aT,e t a l.F i n e r f e a t u r e s f o r f u n c t i o n a lm i c r o d e v i c e s-m i c r o m a c h i n e s c a n b e c r e a t e dw i t h h i g h e r r e s o l u t i o n u s i n gt w o-p h o t o na b s o r p t i o n[J].N a t u r e,2001,412(6848):697-698.[20]T a k e y a s uN,T a n a k aT,K a w a t aS.F a b r i c a t i o no f3D m e t a l/p o l y m e rm i c r o s t r u c t u r e sb y s i t e-s e l e c t i v em e t a l c o a t i n g[J].A p p lP h y sA,2008,90(2):205-209.[21]R i l lM S,P l e tC,T h i e lM,e t a l.P h o t o n i cm e t a m a t e r i a l sb y d i r e c t l a s e rw r i t i n g a n ds i l v e r c h e m i c a l v a p o u rd e p o s i t i o n[J].N a tM a t e r,2008,8(7):543-546.[22]G r i f f i t hS,M o n d o lM,K o n g DS,e t a l.N a n o s t r u c t u r e f a b r i c a t i o nb y d i r e c t e l e c t r o n-b e a m w r i t i n g o f n a n o p a r t i c l e s[J].JV a c S c iT e c h n o lB,2002,20(6):2768-2772.[23]C a m p b e l lM,S h a r p D N,H a r r i s o n M T,e t a l.F a b r i c a t i o no f p h o t o n i c c r y s t a l s f o r t h ev i s i b l e s p e c t r u m b y h o l o g r a p h i c l i t h o g r a p h y[J].103233-4李克训等:光学超材料的制备方法与参数提取N a t u r e,2000,404(6773):53-56.[24]G a l i s t e o JF,G a r c i aSF,G o l m a y oD,e t a l.S e l f a s s e m b l y a p p r o a c h t oo p t i c a lm e t a m a t e r i a l s[J].JO p tA P u r eA p p lO p t,2005,7(2):S244-S254.[25]C h e nZ,Z h a nP,W a n g ZL,e t a l.T w o a n d t h r e e-d i m e n s i o n a l o r d e r e d s t r u c t u r e s o f h o l l o ws i l v e r s p h e r e s p r e p a r e d b y c o l l o i d a l c r y s t a l t e m-p l a t i n g[J].A d vM a t,2004,16(5):417-422.[26]Y a o J,L i uZ W,L i uY M,e t a l.O p t i c a l n e g a t i v e r e f r a c t i o n i nb u l km e t a m a t e r i a l s o f n a n o w i r e s[J].S c i e n c e,2008,321(5891):930.[27]张日东,严鸿维,吕海兵,等.提拉法S i O2化学膜厚度与折射率的变化规律研究[J].强激光与粒子束,2014,26:072005.(Z h a n g R i-d o n g,Y a nH o n g we i,LüH a i b i n g,e t a l.C h a n g e sof t h i n c k n e s sa n dr e f r a c t i v e i n d e xo f s i l i c as o l-g e l f i l m b y d i p c o a t i n gp r o c e s s.H i g hP o w e rL a s e r a n dP a r t i c l eB e a m s,2014,26:072005)[28]M o r i t aT,K o n d oK,H o s h i n oT,e t a l.N a n o m e c h a n i c a l s w i t c h f a b r i c a t i o nb y f o c u s e d-i o n-b e a mc h e m i c a l v a p o r d e p o s i t i o n[J].JV a cS c iT e c h n o l B,2004,22(8):3137-3142.[29]潘鑫,马志斌,李国伟,等.氧等离子体刻蚀C V D金刚石膜的影响机理[J].强激光与粒子束,2014,26:074001.(P a nX i n,M a Z h i b i n,L iG u o w e i,e t a l.M e c h a n i s mo f e t c h i n g C V Dd i a m o n d f i l mb y o x y g e n p l a s m a.H i g hP o w e rL a s e r a n dP a r t i c l eB e a m s,2014,26:074001)[30]S m i t hDR,S c h u l t z S,M a r k o s,e t a l.D e t e r m i n a t i o no f e f f e c t i v e p e r m i t t i v i t y a n d p e r m e a b i l i t y o fm e t a m a t e r i a l s f r o mr e f l e c t i o na n d t r a n s-m i s s i o n c o e f f i c i e n t s[J].P h y s R e vB,2002,65(19):195104.P r e p a r a t i o nm e t h o do f o p t i c a lm e t a m a t e r i a l s a n d p a r a m e t e r e x t r a c t i o nL iK e x u n1, Z h a oY a l i1,4,J i a n g B o1, W a n g D o n g h o n g1, W a n g J u n m e i2,3(1.T h e E l e c t r o m a g n e t i cP r o t e c t i o n M a t e r i a l s a n dT e c h n o l o g y K e y L a b o r a t o r y o f S h a n x i,N o.33R e s e a r c h I n s t i t u t e o f C h i n aE l e c t r o n i cT e c h n o l o g y G r o u p C o r p o r a t i o n,T a i y u a n030006,C h i n a;2.S t a t eK a y L a b o r a t o r y o f C o a lC o n v e r s i o nI n s t i t u t e o f C o a lC h e m i s t r y,C h i n e s eA c a d e m y o f S c i e n c e s,T a i y u a n030001,C h i n a;3.U n i v e r s i t y o f C h i n e s eA c a d e m y o f S c i e n c e s,B e i j i n g100049,C h i n a;4.D e p a r t m e n t o f C h e m i s t r y a n dC h e m i c a lE n g i n e e r i n g,S h a n x i U n i v e r s i t y,T a i y u a n030006,C h i n a)A b s t r a c t:I n t h e o p t i c a lm e t a m a t e r i a l s r e s e a r c h p r o c e s s,i t i s e x t r e m e l y i m p o r t a n t t o c o n t r o l a n d p r e p a r e t h em i c r o s t r u c t u r e o f o p t i c a lm e t a m a t e r i a l s.T h i s p a p e r r o u g h l y r e v i e w s t h e d e v e l o p m e n t h i s t o r y o f p r e p a r a t i o nm e t h o d s o f o p t i c a lm e t a m a t e r i a l s a-b r o a d.T h e p r e p a r a t i o n o f t w o-d i m e n s i o n a l o p t i c a lm e t a m a t e r i a l sw a s h i g h l i g h t e d,w h i l e t h e a d v a n t a g e s a n d d i s a d v a n t a g e s o f v a r i-o u s c l a s s i c p r e p a r a t i o nm e t h o d sw e r e a n a l y z e da n dc o m p a r e d.O nt h eb a s i so f p r e p a r a t i o no f t w o-d i m e n s i o n a l o p t i c s,t r a d i t i o n a l a n dn e w m e t h o d s o f p r e p a r i n g t h r e e-d i m e n s i o n a l o p t i c a lm e t a m a t e r i a l sw e r e f u r t h e r d e s c r i b e d i n t h i s p a p e r.T h e p r o c e s s o f e x t r a c-t i n g t h ee f f e c t i v e p a r a m e t e r si n c l u d i n g e l e c t r i c p e r m i t t i v i t y,m a g n e t i c p e r m e a b i l i t y,r e f r a c t i v ei n d e xa n di m p e d a n c eo fo p t i c a l m e t a m a t e r i a l sw a s i n t r o d u c e d.K e y w o r d s:o p t i c a lm e t a m a t e r i a l s;e x p e r i m e n t a l;e f f e c t i v e p a r a m e t e r s;l i t h o g r a p h y;s e l f-a s s e m b l yP A C S:81.05.X j;78.67.P t;42.70.-a103233-5。