振镜的调试

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振镜延时的调节和现象

振镜延时的调节和现象

振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时,曲线延时下面分别介绍1.Laser On Delay (开光延时)下面称LOnDa.LOnD的作用原理和发生时间LOnD 发生在开光时当振镜到达指定位置后开始Mark运动,但并不同时出光而是延时LOnD后出光示意图图1 开光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光LOnD后再开始Mark运动b. 设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOnD 过小时可以看到开光处产生了爆点(产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点)图2 开光延时太小设置LOnD 过大时可以看到开光处有一部分少刻了(产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了)图3 开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些2.Laser Off Delay (关光延时)下面称LOffDa.LOffD的作用原理和发生时间LOffD 发生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动,但并不同时关光而是延时LOffD后关光示意图图4 关光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候已经将光关闭即提前关光b. 设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOffD 过小时可以看到关光处少刻了一段(产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位但实际还未到到位, 而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段)图5 关光延时太小设置LOffD 过大时可以看到关光处产生爆点(产生此情形的原因是由于振镜结束运动时,振镜已经到位, 而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点)图6 关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大3.Jump Delay (跳转延时,快跳延时)下面称JumpDa.JumpD的作用原理和发生时间JumpD 发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动示意图图7 跳转延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0 在Raylase中单位为微妙(us)即设置1 代表1us 但是最小值是50c. 设置过大或者过小时的情形设置JumpD 过小时可以看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生(产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳定, 而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态导致此现象发生)图8 跳转延时太小设置JumpD 过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大4.Mark Delay (扫描延时)下面称MarkDa.MarkD的作用原理和发生时间MarkD 发生的条件是: 在Mark指令后下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD, 即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生MarkD示意图图9 扫描延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0 在Raylase中单位为微妙(us)即设置1 代表1us 但是最小值是50c. 设置过大或者过小时的情形设置MarkD 太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段Jump运动了导致关光处出现拐角(产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差, 理论上运动已经到位但实际还未到位, 而MarkD又过小这时候下一段Jump 运动已经开始导致此现象发生)图10 扫描延时太小设置MarkD 过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大5. Poly Delay (拐角延时, 转角延时,曲线延时)下面称PolyDa.PolyD的作用原理和发生时间PolyD 发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动, 期间激光不会关闭示意图图11 曲线延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中单位为微妙(us)即设置1 代表1us 可设0 ,但是设置比0大的值必须从50开始c. 设置过大或者过小时的情形设置PolyD 过小时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有圆弧过渡导致和实际需求图形不符(产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机还未到位, 而MarkD又过小这时候下一段Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生)图12 PolyD太小设置PolyD 过大时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有爆点(产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机已经到位, 而PolyD又过大, 这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生)图12 PolyD太大PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关一般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则1. LOffD > LOnD (关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题)2.MarkD > LOffD –LOnD (扫描延时必须大于关光延时和开光延时的差,否则在进行短距离跳转时再刻蚀时会出现问题)延时的设置要根据激光的特性(频率,能量,首脉冲等),扫描速度和快跳的速度,再结合上述延时设置不当时出现的典型情形,综合考虑力求达到既能满足刻蚀图形不变形, 效率又高的最佳状态.3.。

瑞镭振镜校正方法

瑞镭振镜校正方法

瑞镭振镜校正方法
1、同样使用25点校正,根据最大扫描范围设计CAD图档,如下所示;
2、使用校正软件及初始校正文件(Y170_15_1.gcd)加工如上图形,振镜比特率设备为520,
加工出的图形会旋转90或180度,按CAD画图方向测量,二次元取25点,13点设为(0,0)点,导出25点X,Y坐标值,用设计值减去测量值,得出25个点X,Y的偏差值△X和△Y。

3、打开瑞镭校正软件,如下图
4、点File内Open打开上次使用的校正文件,如下图:打开后如下:
5、点上图中的,25点数值会清零,出现如下画面:
6、在上图中输入25个点的偏差值△X和△Y,点的位置要对应好,输入完成后点上图中的
,再点File中的Save As..,将另新的校正文件,文件名自行设定,如下图:
7、调用新的校正文件再进行校正,方法如上述一致,每次调用新的校正文件,软件需要重
启生效,直到精度校正到10um左右。

激光振镜校正方法

激光振镜校正方法

激光振镜校正方法
嘿,朋友们!今天咱就来聊聊激光振镜校正方法,这可真是个超级重要的事儿呢!
你想想看啊,要是激光振镜没校正好,那会出现啥情况?就好比你走路歪歪斜斜的,能走到目的地吗?肯定不行呀!就像我之前遇到过的一次,没好好校正激光振镜,结果整个工作都乱套了,哎呀,那叫一个郁闷呐!
那怎么校正呢?首先,咱得找个安静、干净的地方,可不能在乱七八糟的环境里搞这个。

然后呢,把那些需要的工具都准备好,就像战士上战场得带齐装备一样。

接着,按照步骤一步一步来,可别着急,一着急就容易出错。

比如说,调节那个螺丝的时候,就得慢慢来,轻轻拧,要是太用力了,那不就坏事儿啦!“老张,你说是不是这么个理儿啊!”“没错没错,我之前就粗心大意搞砸过一次。

”这就是教训呀。

咱再类比一下哈,激光振镜校正就像是给汽车做保养,你得精心呵护,它才能好好工作呀。

要是随随便便应付,那后果可不堪设想。

还有哦,校正的过程中一定要仔细观察,一旦发现有不对劲的地方,赶紧调整。

“嘿,小王,那次你就是太大意了,都没注意到有问题。

”“哎呀,别提了,我下次一定注意。


总之呢,激光振镜校正方法可得认真对待,不能马虎。

这不仅关系到工作的效率和质量,还关系到我们能不能顺利完成任务呢。

大家可都得牢记在心呀!。

振镜同轴系统视觉校正方法

振镜同轴系统视觉校正方法

振镜同轴系统视觉校正方法
振镜同轴系统的视觉校正是确保系统能够准确捕捉和跟踪目标的重要步骤。

以下是一些常见的振镜同轴系统视觉校正方法:
1. 相机标定:通过对相机进行标定,可以获取相机的内参和外参参数,包括焦距、主点坐标、畸变系数等。

这些参数可以用于纠正图像的失真和进行三维重建。

2. 光学中心校准:确定振镜系统的光学中心,使其与相机的光轴重合。

这可以通过调整振镜的位置或角度来实现。

3. 畸变校正:由于透镜的光学特性,图像可能会出现畸变。

可以使用畸变校正算法来纠正这些畸变,使图像更加真实和准确。

4. 聚焦校正:确保目标在图像中清晰对焦。

可以通过自动或手动对焦方法来调整相机的焦距,以获得清晰的图像。

5. 亮度和对比度校正:根据实际场景,可能需要对图像的亮度和对比度进行调整,以使目标更加明显和易于识别。

6. 软件校准:利用图像处理软件,可以对图像进行进一步的校准和处理。

例如,进行阈值分割、形态学操作、特征提取等,以提高
目标的检测和跟踪精度。

振镜校准板及装置和振镜校准方法

振镜校准板及装置和振镜校准方法

专利名称:振镜校准板及装置和振镜校准方法专利类型:发明专利
发明人:王松,杨东辉,王石开,贺宏武
申请号:CN202111277275.6
申请日:20211029
公开号:CN114054941A
公开日:
20220218
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明涉及3D打印领域,尤其涉及一种振镜校准板及装置和振镜校准方法,该振镜校准板包括校准单元,校准单元包括基板,基板上设置有贯穿孔;基板的上表面设置有激光反射区,激光反射区环绕设置在贯穿孔周围。

本发明提供了一种校准时间短以及动化程度高的振镜校准板及装置和振镜校准方法。

申请人:西安铂力特增材技术股份有限公司
地址:710000 陕西省西安市高新区上林苑七路1000号
国籍:CN
代理机构:西安佩腾特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:姚敏杰
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激光打标机振镜校正方法【技巧】

激光打标机振镜校正方法【技巧】

振镜如何校准呢?在使用激光打标机时,如果误操作或者振镜故障,可能需要对振镜进行重新校准,今天为大家介绍下激光打标机振镜的校准方法。

首先打开激光打标机的打标软件,找到参数设置。

1.激光打标机区域尺寸:振镜对应的实际最大标刻范围。

这个需要根据场镜来设定,如配F=160场镜,则设定尺寸110mm .如配F=254场镜,则设定尺寸170mm .2.选择振镜的XY轴。

如选择振镜1=X:表示控制卡的振镜输出信号1 作为用户坐标系的x 轴。

如选择振镜2=X:表示控制卡的振镜输出信号2 作为用户坐标系的x 轴。

3.激光打标位置偏移校准,偏移X:表示振镜中心偏移场镜中心的X 向距离。

偏移Y:表示振镜中心偏移场镜中心的Y 向距离。

4.激光打标机角度校准,角度:表示振镜偏移的角度反向:表示当前振镜的输出反方向。

注意:如果激光振镜有变形,则必须先调整完变形后再调整伸缩比例。

设置比例时,可以直接按下,我们可以将软件里设置的尺寸和测量出来的实际打标尺寸输入,软件将自动计算伸缩比例。

对于专业的激光打标机售后维修人员来说,掌握机器每一个可能出现的题并且提出解决方案这是必不可少的,因为只有掌握原理那维护起来就井然有序了,那再难解决的问题都能分析找出思绪来,对故障有一个合理的解决。

1、振镜电机不自锁先检查各连接线是否有断路或短路,连接是否正确,保险是否完好,确认无误后,打开电源,观察振镜驱动板上的指示灯是否亮绿灯或黄灯。

若不亮或者亮红灯,则拔开驱动板电源线,用万用表测量其输入端各端子的电压是否为±24V。

若电压正常,侧要再测试一下带上驱动板及机负载时,电压是否正常,如果都不正常,则打开控制盒,不带负载测试一下开关电源电压,如果电压不正常的话,刚开关电源损坏。

电源输入正常后,连好所有线后,上电,电机一般会发出二声滴答音,若没有响声,再用手手轻推一下振镜片,稍有点力度,如果振镜片没自锁的话,则驱动板坏,当然电压输出正常的情况下,驱动板灯不亮或者亮红灯那就是振镜驱动板或者电机有问题,此时找一块确认为完好的驱动板,正确连接后,打开电源,振镜电机还不自锁,则是振镜电机损坏,同理,找一个确认完好的振镜电机,接到不上电的驱动板上,打开电源,若不上电,振镜驱动板损坏,如此反复的接拔线,请务必在断电的情况下进行的。

振镜精校准工艺

振镜精校准工艺

振镜精校准工艺
振镜精校准工艺是指对振动镜(也称为扫描镜或扫描振镜)进行精确校准和调整的过程,以确保其在光学系统或激光设备中的稳定运行和准确扫描。

以下是一般的振镜精校准工艺的步骤:
1. 准备工作:确保工作环境干净、安静,并具备适当的光学设备和工具。

检查振镜的外观和连接,确保没有损坏或松动。

2. 调整振镜位置:将振镜安装在适当的位置上,并使用调整螺丝或固定装置进行固定。

确保振镜的位置和姿态与光学系统或激光设备的要求相匹配。

3. 校准偏离角度:使用光学测量仪器(如干涉仪、激光测距仪等)测量振镜的偏离角度。

根据测量结果,通过调整振镜的倾斜角度或旋转角度,使其达到所需的精确位置。

4. 调整反射面角度:对于倾斜振镜,调整其反射面的角度,以确保所反射的光束具有正确的方向和位置。

这可以通过微调反射面的位置或使用调整装置实现。

5. 校准振镜的扫描范围:使用适当的信号源(如电压源)驱动振镜,观察振镜的扫描范围和速度。

根据需要,调整振镜的驱动参数,以确保所需的扫描范围和速度。

6. 测试和验证:完成校准后,使用光学测量仪器或其他检测方法对振镜进行测试和验证,以确保其精确性和稳定性。

根据测试结果,进行必要的微调和再校准。

7. 文档记录和维护:将校准的详细信息记录下来,包括校准日
期、校准参数和结果等。

定期进行振镜的维护和检查,以确保其长期稳定的运行。

振镜精校准工艺可能因不同的振镜类型(如剖面扫描镜、平面扫描镜等)和应用领域而有所差异。

在进行振镜精校准之前,建议参考相关设备的操作手册或咨询专业人士的建议,以确保正确的操作和最佳的校准效果。

振镜延时的调节与现象(20200521133356)

振镜延时的调节与现象(20200521133356)

振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时 ,曲线延时下面分别介绍1.Laser On Delay (开光延时)下面称 LOnDa.LOnD的作用原理和发生时间LOnD 发生在开光时当振镜到达指定位置后开始Mark运动,但并不同时出光而是延时LOnD后出光示意图图1 开光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光 LOnD后再开始Mark运动b. 设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在 Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOnD 过小时可以看到开光处产生了爆点 (产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点)图2 开光延时太小设置LOnD 过大时可以看到开光处有一部分少刻了 (产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了)图3 开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些2.Laser Off Delay (关光延时)下面称 LOffDa.LOffD的作用原理和发生时间LOffD 发生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动,但并不同时关光而是延时LOffD后关光示意图图4 关光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候已经将光关闭即提前关光b. 设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在 Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOffD 过小时可以看到关光处少刻了一段 (产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位但实际还未到到位, 而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段)图5 关光延时太小设置LOffD 过大时可以看到关光处产生爆点 (产生此情形的原因是由于振镜结束运动时,振镜已经到位 , 而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点)图6 关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大3.Jump Delay (跳转延时,快跳延时)下面称 JumpDa.JumpD的作用原理和发生时间JumpD 发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动示意图图7 跳转延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中单位为微妙(us)即设置 1 代表1us 但是最小值是50c. 设置过大或者过小时的情形设置JumpD 过小时可以看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生 (产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳定, 而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态导致此现象发生)图8 跳转延时太小设置JumpD 过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大4.Mark Delay (扫描延时)下面称 MarkDa.MarkD的作用原理和发生时间MarkD 发生的条件是: 在Mark指令后下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD, 即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生MarkD 示意图图9 扫描延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中单位为微妙(us)即设置 1 代表1us 但是最小值是50c. 设置过大或者过小时的情形设置MarkD 太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段Jump运动了导致关光处出现拐角 (产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差, 理论上运动已经到位但实际还未到位, 而MarkD又过小这时候下一段Jump 运动已经开始导致此现象发生)图10 扫描延时太小设置MarkD 过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大5. Poly Delay (拐角延时, 转角延时,曲线延时)下面称 PolyDa.PolyD的作用原理和发生时间PolyD 发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动, 期间激光不会关闭示意图图11 曲线延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中单位为微妙(us)即设置 1 代表1us 可设0 ,但是设置比0大的值必须从50开始c. 设置过大或者过小时的情形设置PolyD 过小时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有圆弧过渡导致和实际需求图形不符 (产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机还未到位, 而MarkD又过小这时候下一段Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生)图12 PolyD太小设置PolyD 过大时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有爆点 (产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机已经到位, 而PolyD又过大, 这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生)图12 PolyD太大PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关一般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则1. LOffD > LOnD (关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题 )2.MarkD > LOffD – LOnD (扫描延时必须大于关光延时和开光延时的差 ,否则在进行短距离跳转时再刻蚀时会出现问题)3.延时的设置要根据激光的特性(频率,能量,首脉冲等),扫描速度和快跳的速度,再结合上述延时设置不当时出现的典型情形,综合考虑力求达到既能满足刻蚀图形不变形, 效率又高的最佳状态.。

振镜的调试

振镜的调试

振镜系统是一种由驱动板与高速摆动电机组成的一个高精度、高速度伺服控制系统,主要用于激光打标、激光内雕、舞台灯光控制等。

该系统的工作原理是:输入一个位置信号,摆动电机(振镜)就会按一定电压与角度的转换比例摆动一定角度。

整个过程采用闭环反馈控制,由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大控制电路共同作用。

本公司生产的OSST系列振镜系统,由于运用最新一代集成电路,驱动电路板采取多种抗干扰手段,系统不仅抗干扰能力强、可靠性高、线性度好、重复精度高、响应时间短,而且体积小,便于安装运输。

OSST8161 OSST8062 OSST2238
OSST8061
OSSH系列光学扫描振镜
OSSH系列高速扫描振镜系统采用目前国际最流行和最成熟的技术和工艺。

电机采用动磁式结构,角度检测采用高精度电容式传感技术,所以本公司出产的扫描振镜控制系统具有输出力矩大,转动惯量小、速度快、精度高以及运行稳定等特点。

驱动板采用贴片技术,具有体积小、抗干扰能力强等优点。

系统综合性能、技术指标均已达到或超过国际同类产品。

型号OSSH22OSSH28
适合激光光斑直径最大10mm最大16mm
电机摆角范围(机械角)±20°±20°
线性度(±20°范围内)99.9 %99.9 %
系统线性区响应速度(视镜片惯量而定)<0.35-0.50ms<0.50-0.70ms
模拟输入阻抗200K±1%Ω200K±1%Ω
电子线路稳定度20ppm/ o C20 ppm/ o C
注:可根据客户要求提供打标头。

振镜延时的调节与现象

振镜延时的调节与现象

振镜延时的调节与现象 Prepared on 22 November 2020振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为开光延时,关光延时,跳转延时,扫描延时,曲线延时下面分别介绍1.LaserOnDelay(开光延时)下面称LOnDa.LOnD的作用原理和发生时间LOnD发生在开光时当振镜到达指定位置后开始Mark运动,但并不同时出光而是延时LOnD后出光示意图图1开光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光LOnD 后再开始Mark运动b.设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOnD过小时可以看到开光处产生了爆点(产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点)图2开光延时太小设置LOnD过大时可以看到开光处有一部分少刻了(产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了)图3开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些2.LaserOffDelay(关光延时)下面称LOffDa.LOffD的作用原理和发生时间LOffD发生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动,但并不同时关光而是延时LOffD后关光示意图图4关光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前LOffD 的时候已经将光关闭即提前关光b.设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOffD过小时可以看到关光处少刻了一段(产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差,即指令认为已经到位但实际还未到到位,而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段)图5关光延时太小设置LOffD过大时可以看到关光处产生爆点(产生此情形的原因是由于振镜结束运动时,振镜已经到位,而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点)图6关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大3.JumpDelay(跳转延时,快跳延时)下面称JumpDa.JumpD的作用原理和发生时间JumpD发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动示意图图7跳转延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1代表10us最小可设0 在Raylase中单位为微妙(us)即设置1代表1us但是最小值是50c.设置过大或者过小时的情形设置JumpD过小时可以看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生(产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳定,而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态导致此现象发生)图8跳转延时太小设置JumpD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大4.MarkDelay(扫描延时)下面称MarkDa.MarkD的作用原理和发生时间MarkD发生的条件是:在Mark指令后下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD,即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生MarkD示意图图9 扫描延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1代表10us最小可设0 在Raylase中单位为微妙(us)即设置1代表1us但是最小值是50c.设置过大或者过小时的情形设置MarkD太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段Jump运动了导致关光处出现拐角(产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差,理论上运动已经到位但实际还未到位,而MarkD又过小这时候下一段Jump运动已经开始导致此现象发生)图10扫描延时太小设置MarkD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大(拐角延时,转角延时,曲线延时)下面称PolyDa.PolyD的作用原理和发生时间PolyD发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动,期间激光不会关闭示意图图11曲线延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1代表10us最小可设0在Raylase中单位为微妙(us)即设置1代表1us可设0,但是设置比0大的值必须从50开始c.设置过大或者过小时的情形设置PolyD过小时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有圆弧过渡导致和实际需求图形不符(产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机还未到位,而MarkD又过小这时候下一段Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生)图12PolyD太小设置PolyD过大时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有爆点(产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机已经到位,而PolyD又过大,这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生)图12PolyD太大PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关一般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则>LOnD(关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题)2.MarkD>LOffD–LOnD(扫描延时必须大于关光延时和开光延时的差,否则在进行短距离跳转时再刻蚀时会出现问题)3.延时的设置要根据激光的特性(频率,能量,首脉冲等),扫描速度和快跳的速度,再结合上述延时设置不当时出现的典型情形,综合考虑力求达到既能满足刻蚀图形不变形,效率又高的最佳状态.。

振镜标定校正表

振镜标定校正表

振镜标定校正表
振镜标定校正表是用于振镜(GALVO)的标定和校正的表格。

振镜是一种电磁装置,常用于激光扫描系统中,能够控制激光束的方向和位置。

为了确保扫描系统的准确性和稳定性,需要对振镜进行标定和校正。

振镜标定校正表通常包括以下内容:
1. 零位校准:确定振镜在无输入信号时的初始位置(通常为中心位置)。

2. 响应曲线:记录不同输入信号下振镜的响应情况,包括输入信号与振镜输出位置之间的关系。

3. 非线性误差校正:由于振镜本身的特性或外部因素的影响,振镜可能存在非线性误差。

校正表中可以包含对非线性误差的校正方法和数据。

4. 温度补偿:振镜的性能可能会随着温度的变化而发生改变。

校正表中可以包含温度补偿方法和相关数据,以确保在不同温度条件下的准确性。

5. 扭曲校正:振镜可能存在扭曲或畸变的情况,校正表可以提供相应的校正方法和数据。

6. 校准日期和操作者:记录标定和校正的日期以及执行者的信息,以便进行追溯和管理。

通过使用振镜标定校正表,可以确保振镜在工作过程中的精确性和可靠性,进而提高激光扫描系统的性能和稳定性。

振镜延时的调节和现象

振镜延时的调节和现象

振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时,曲线延时下面分别介绍1.Laser On Delay (开光延时)下面称LOnDa.LOnD的作用原理和发生时间LOnD 发生在开光时当振镜到达指定位置后开始Mark运动,但并不同时出光而是延时LOnD后出光示意图图1 开光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光LOnD后再开始Mark运动b. 设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOnD 过小时可以看到开光处产生了爆点(产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点)图2 开光延时太小设置LOnD 过大时可以看到开光处有一部分少刻了(产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了)图3 开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些2.Laser Off Delay (关光延时)下面称LOffDa.LOffD的作用原理和发生时间LOffD 发生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动,但并不同时关光而是延时LOffD后关光示意图图4 关光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候已经将光关闭即提前关光b. 设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab 无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOffD 过小时可以看到关光处少刻了一段(产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位但实际还未到到位, 而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段)图5 关光延时太小设置LOffD 过大时可以看到关光处产生爆点(产生此情形的原因是由于振镜结束运动时,振镜已经到位, 而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点)图6 关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大3.Jump Delay (跳转延时,快跳延时)下面称JumpDa.JumpD的作用原理和发生时间JumpD 发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动示意图图7 跳转延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0 在Raylase中单位为微妙(us)即设置1 代表1us 但是最小值是50c. 设置过大或者过小时的情形设置JumpD 过小时可以看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生(产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳定, 而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态导致此现象发生)图8 跳转延时太小设置JumpD 过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大4.Mark Delay (扫描延时)下面称MarkDa.MarkD的作用原理和发生时间MarkD 发生的条件是: 在Mark指令后下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD, 即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生MarkD示意图图9 扫描延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0 在Raylase中单位为微妙(us)即设置1 代表1us 但是最小值是50c. 设置过大或者过小时的情形设置MarkD 太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段Jump运动了导致关光处出现拐角(产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差, 理论上运动已经到位但实际还未到位, 而MarkD又过小这时候下一段Jump 运动已经开始导致此现象发生)图10 扫描延时太小设置MarkD 过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大5. Poly Delay (拐角延时, 转角延时,曲线延时)下面称PolyDa.PolyD的作用原理和发生时间PolyD 发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动, 期间激光不会关闭示意图图11 曲线延时这个值不可以设为负值b. 设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0在Raylase中单位为微妙(us)即设置1 代表1us 可设0 ,但是设置比0大的值必须从50开始c. 设置过大或者过小时的情形设置PolyD 过小时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有圆弧过渡导致和实际需求图形不符(产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机还未到位, 而MarkD又过小这时候下一段Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生)图12 PolyD太小设置PolyD 过大时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有爆点(产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机已经到位, 而PolyD又过大, 这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生)图12 PolyD太大PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关一般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则1. LOffD > LOnD (关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题)2.MarkD > LOffD –LOnD (扫描延时必须大于关光延时和开光延时的差,否则在进行短距离跳转时再刻蚀时会出现问题)延时的设置要根据激光的特性(频率,能量,首脉冲等),扫描速度和快跳的速度,再结合上述延时设置不当时出现的典型情形,综合考虑力求达到既能满足刻蚀图形不变形, 效率又高的最佳状态.3.。

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振镜系统是一种由驱动板与高速摆动电机组成的一个高精度、高速度伺服控制系统,主要用于激光打标、激光内雕、舞台灯光控制等。

该系统的工作原理是:输入一个位置信号,摆动电机(振镜)就会按一定电压与角度的转换比例摆动一定角度。

整个过程采用闭环反馈控制,由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大控制电路共同作用。

本公司生产的OSST系列振镜系统,由于运用最新一代集成电路,驱动电路板采取多种抗干扰手段,系统不仅抗干扰能力强、可靠性高、线性度好、重复精度高、响应时间短,而且体积小,便于安装运输。

OSST8161 OSST8062 OSST2238
OSST8061
OSSH系列光学扫描振镜
OSSH系列高速扫描振镜系统采用目前国际最流行和最成熟的技术和工艺。

电机采用动磁式结构,角度检测采用高精度电容式传感技术,所以本公司出产的扫描振镜控制系统具有输出力矩大,转动惯量小、速度快、精度高以及运行稳定等特点。

驱动板采用贴片技术,具有体积小、抗干扰能力强等优点。

系统综合性能、技术指标均已达到或超过国际同类产品。

型号OSSH22OSSH28
适合激光光斑直径最大10mm最大16mm
电机摆角范围(机械角)±20°±20°
线性度(±20°范围内)99.9 %99.9 %
系统线性区响应速度(视镜片惯量而定)<0.35-0.50ms<0.50-0.70ms
模拟输入阻抗200K±1%Ω200K±1%Ω
电子线路稳定度20ppm/ o C20 ppm/ o C
注:可根据客户要求提供打标头。

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