横向剪切干涉实验 (3)

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基于四波横向剪切干涉法的超表面光学表征

基于四波横向剪切干涉法的超表面光学表征

基于四波横向剪切干涉法的超表面光学表征自从J. B. Pentry教授在1996年开始提出超材料结构的负折射原理,Roger M. Walser教授1999年正式提出了超材料metamaterial的名词。

现如今,超材料已经从最初材料性研究,慢慢的过度到器件方向,而由于微纳工艺的发展,亚微米乃至纳米级周期性结构得以实现,超材料在可见光和近中红外等区域的研究近年来也逐渐增多,由此衍生的超表面、超透镜等也变成了光学前沿和技术热点,甚至于被誉为光学领域新的革命性技术。

原理知识超表面是由大量亚波长单元在二维平面上周期或非周期排布而构成的人工结构阵列,能够对电磁波进行灵活操控。

由于超表面具有超薄结构和较强的可自主设计性而受到广大研究者青睐。

超透镜是一种二维平面透镜结构,其体积极小,重量轻,易于集成,可实现对入射光振幅、相位、偏振等参量的灵活调控,在超分辨显微成像、全息光学、消色差透镜等方面有重要应用。

业内痛点超表面的目前发展主要局限于光学设计能力,在宏观基底材料上的制造数十亿纳米级结构的非均匀组装的能力以及加工成型后测量能力。

对于成型后的测量,学术界主要使用以下几种方法:第一椭偏法,该方法应用面较窄,仅适用于基于正交光偏振之间的相位差测量;第二干涉测量法,通常是基于两束光(其中一束用作参考)交汇在检测平面上进行干涉。

但是该方法对实验环境要求高,抗震能力低,导致灵敏度差,而且对机械结构要求很严格,不易于实施。

业界有提出三光束干涉的方法,其中第三束光用于分析实验期间的环境变化,但是这样会使设备结构更为复杂。

第三扫描近场光学显微镜法,该方法提供接近衍射极限的分辨率,并允许对任意复杂纳米颗粒阵列的近场相位响应进行成像,但是这种方法是一种侵入式测量方法,而且太依赖于纳米探针针尖的性能。

第四间接测量方法,如针对超透镜的偏振转换效率的测量等方法。

上述的几种方法均为部分表征或间接测量,那么有没有一种更有效的能直接的测量手段呢?今天借着本文,和大家介绍一下Phasics公司的基于四波横向剪切干涉技术的波前传感器在超表面方面的测量方案。

相移雅满横向剪切干涉仪

相移雅满横向剪切干涉仪

1158中国激光36卷得到被测相位差为一arctan矬.㈣,利用公式(10)即可求解干涉图中每一点的相位差凹,经计算机处理即町获得高精度的波面检测结果‘9|。

剪切平板前两块起偏器的厚度很容易实现相等。

若起偏器选用偏振片,由于偏振片的面积可以很大,将一块大面积的偏振片分割成两块偏振片使用可以使两块起偏器的厚度相等。

若起偏器选用偏振棱镜,则选用相同结构、尺寸的偏振棱镜即可使两块起偏器的厚度相等。

合束后的光束共同通过1/4波片与检偏器,可见偏振相移器不会破坏等光程干涉特性,同时起偏器,1/4波片与检偏器易于实现消色差,故该相移雅满横向剪切干涉仪可仍然适应于低相干性光束,如白光的波面检测。

同时,相移过程中只需要旋转检偏器,且剪切量的改变与相移器不相关,因此该相移雅满横向剪切干涉仪的结构简单且操作方便。

3实验实验光路足存已有的稚满横向剪切干涉仪中插入偏振相移光路来实现的。

雅满横向剪切干涉仪中雅满平板与楔形剪切平板的光学材料均为K9玻璃,两块雅满平板的光学尺寸完全相同,均为155mm×70mrnX40mm.两块楔形剪切平板的光学尺寸也完全相同,其厚度为40n'llTl,楔角为20”。

偏振相移光路中所用起偏器与检偏器均为消光比为100:1的偏振片,其中起偏器的口径为乒40into,检偏器的口径为650mm。

1/4波片是相位延迟量精度为A/300(A为632.8rim)的石英波片,其口径为壬50mm。

干涉图由CCD相机接收。

被测光束是口径为声40mm准直的氦氖激光束,由氦氖激光器出射的激光经过聚焦透镜、针孔和准直透镜所形成。

首先调整楔形剪切平板前两块起偏器的透光轴相互垂直并与第一雅满平板的入射面平行或者垂直,检偏器的透光轴,1/4波片的快轴与两块起偏器的透光轴分别成45。

角,此时采集的剪切干涉图如图3(a)所示。

然后依次将检偏器旋转45。

,90。

和135。

,所采集到的剪切干涉图分别如图3(b)~(d)所示。

横向剪切干涉原理

横向剪切干涉原理

横向剪切干涉原理
我们知道,当两束光相互垂直时,它们将会被叠加在一起,形成干涉。

但在现实生活中,我们总是可以看到两束光互相平行,而不会发生干涉。

这是为什么呢?
这就要提到我们今天要介绍的横向剪切干涉了。

横向剪切干涉是一种新的干涉现象,它是在光的横向方向上发生的干涉。

首先我们来了解一下光的三大基本波动现象:衍射、干涉和衍射积分。

当光在两个界面发生散射时,发生了衍射现象。

当光通过界面时,部分能量被界面散射出来,部分能量被界面吸收,而另一部分能量则被界面反射回来。

这样,两束光的波长就会发生干涉。

在光学中,干涉现象一般可以分为平面干涉和曲面干涉两类。

平面干涉是指平面上的两个光学元件(如透镜、棱镜等)在空间上平行排列时,在同一平面内所产生的两个或两个以上不同波长的光波之间相互干涉的现象;曲面干涉则是指同一平面内不同曲面之间存在的光波相互干涉的现象。

那么我们有没有办法可以让光在平面上发生横向剪切呢?当然是有的。

—— 1 —1 —。

透镜初级球差的横向剪切干涉条纹研究

透镜初级球差的横向剪切干涉条纹研究

透镜初级球差的横向剪切干涉条纹研究
横向剪切干涉条纹是一种重要的望远镜配置以及测量仪器附件,其利用透镜组
的球面曲面分光情况,实现对镜体的精细检测。

本研究是针对透镜初级球差的横向剪切干涉条纹进行的深入分析。

首先,本研究着重于球差及横向剪切干涉条纹之间的关联关系。

通过深入探究、理论计算及实验测量,发现透镜初级球差由球形衍射和椭圆衍射两种情况构成,而横向剪切干涉条纹中,前者生成两条条纹,后者四条条纹,且对应各自的球差度。

其次,本研究以光学设计及检测技术为基础,进行了横向剪切干涉条纹形成的
模拟分析,得出相应的结论:当测试物镜体的透镜初级球差为正时,在1座标面上产生的横向剪切干涉条纹将会成为两部分;当球差变为负时,横向剪切干涉条纹将逐渐消失,并产生了向外扩展的椭圆条纹。

最后,本研究也开展了新型测量仪器的设计,以便准确地测量出镜片的横向剪
切干涉条纹,以及提高测量效率。

研究结果表明,透镜初级球差与横向剪切干涉条纹之间的关系可以通过精确的测量与计算而实现,对提升镜体制造工艺的质量,为望远镜学及光学测量技术提供了重要的参考依据。

横向剪切干涉实验

横向剪切干涉实验

横向剪切干涉实验实验目的利用一个焦距为190毫米的单薄透镜的剪切干涉条纹的分布求出该透镜的轴向离焦量及初级球差比例系数。

实验元件HeNe激光、反射镜、小焦距透镜、薄透镜(190mm)、平行玻璃扳、白屏、带变焦镜头的CCD、处理软件准直镜实验原理剪切干涉是利用待测波面自身干涉的一种干涉方法,在横向剪切干涉测量中,从相互垂直方向上剪切干涉图获得的差分波前可以恢复待测的二维波前。

本次实验是利用平行平板来产生横向剪切干涉的装置,由于平行平板有一定厚度和对入射光束的倾角,因此通过被检测透镜后的光波被玻璃平板前后表面反射后形成的两个波面发生横向剪切干涉,剪切量为s ,'cos 2i dn s =,其中d 为平行平板的厚度,n 为平行平板的折射率,'i 为光线在平行平板内的折射角。

S 一般为1到3毫米左右。

当使用光源为氦氖激光时,由于光源的良好的时间和空间相干性,就可以看到很清晰的干涉条纹。

条纹的形状反映波面的象差。

(一)扩束镜焦点A 与被测准直透镜焦点F 不重合(即物点与F 不重合),但只有轴向离焦( ∆z 不为零,y0=0):)(),(221ηξηξ+=a W (7)由于剪切方向在ξ方向,所以:s a s W ξηξ∆12),,(= (8) 所以干涉条纹方程为:12m a s λξ=(m=0,±1, ±2,…)(为平行于η轴,间隔为12a s λ的直条纹,剪切条纹的零级条纹在0=ξ)。

(二) 扩束镜焦点A 与被测准直透镜焦点F 不重合,只有轴向离焦( ∆z 不为零,y0=0),透镜具有初级球差(b3不为零),.剪切方向在ξ方向:2223221)()(),(ηξηξηξ+++=b a W (9)所以波象差方程为332231))(2(2),,(s b b a s s W ηηξηηξ∆+++= (10)此时亮条纹方程为:λξηξξm s b b a s =+++332231))(2(2(m=0,±1, ±2,…)(a) (b) (c)实验装置如图2所示,剪切量取2.5毫米,凸薄透镜焦距为f '=190mm 。

横向大剪切干涉应用于水平圆管自然对流换热

横向大剪切干涉应用于水平圆管自然对流换热

i f ie s a e wi i e e twa l e e a u e r m 0 ℃ t ℃ we e o t i e a e n lt r l h a i g n i t p c t d f r n l t mp r t r s f o 4 0 n h f o1 3 r b an d b s d o a e a e rn s
A b ta t The r a— i e i t r e om e rc f i ge fna u a o e ton a ou orz nt lcr ul rc ln ri sr c : e ltm n e f r ti rn s o t r lc nv c i r nd h io a ic a y i de n
换 热 分 析 造 成 显 著 影 响 。与 文献 中 主流 准 则 关 系 式 对 比 可 知 ,利 用 横 向 大 剪 切 干 涉 技 术 仅 需 简 单 的 后 处 理 即可
得 到 具 有 很 高 的 时 间 、空 问 分辨 率 的 自然 对 流 换 热 的 可 信 数 据 。研 究 结 果 为 今 后 热 管 换 热 器 的理 论 研 究 和 工 程 应 用 提 供 了参 考 。 关 键 词 :水 平 圆 管 ; 自然 对 流 ;换 热 ;横 向剪 切 干 涉 ;剪切 量
DOI 1 . 9 9 j is . 4 8 1 5 . 0 2 1 . 0 : 0 3 6 /.s n 0 3 — 7 2 1 . 0 0 4 1
中 图分 类 号 :T 1 ;T 2 K 31 K 14
文 献 标 志 码 :A
文章 编 号 :0 3 — 1 5 ( 0 2 1 — 3 3 —0 48 17 21) 0 04 6
( 北 工 业 大 学 理 学 院 ,湖 北 武 汉 4 0 6 ; 湖 3 0 8 清华 大学 热能 系热 能 动 力 仿 真 与 控 制 研 究 所 ,北 京 1 0 8 ) 00 4

横向剪切干涉的波前重构新方法

横向剪切干涉的波前重构新方法
ck
(0) (1) (1) (0) (0) (1) (1) (0)
( )
=
∑h
n
k - 2n n
c
(1)
+
∑g
n
k - 2n
dn
(1)
( 9)
通常情况下, 离散小波取有限支撑小波, 即 {h i } 和{g i } 只有有限个值不为 0, 如D aubech ies 小波[ 12 ]。 很明显, DW T 为线性运算, 可以用一矩阵表示, 设一维 DW T 分解算子矩阵为M W , 已证明M W 为正交矩
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第 13 卷
利用最小二乘法从 ∃W i 拟合得系数 C l , 从而重构波前W ( x ) 。实际上, 已知 W ( x ) 在 S 个点上的值是很 难做到的, 并且某些情况下波前并不是光滑函数, 还有可能为突变函数, 例如平面波从某粗糙表面反射, 光束通过流场空间[ 7, 8 ] 等。另外, 多项式拟合还有能否收敛及收敛速度等问题。针对这些实际情况, 考虑 到小波分析在突变信号处理中的成功应用, 我们尝试利用小波变换实现剪切干涉的波前重构。 1. 2 小波变换与波前剪切 设小波母函数、 小波父函数 ( 尺度函数) 分别为 7 ( x ) 和 Υ( x ) [ 9 ]。 考虑二进小波有 7 且 7 ( x ) 和 Υ( x ) 满足如下关系 Υ( x ) =
- 1 重构出的 W 必定是不稳定的, 因而直接利用 S W P∃ W
p
重构是行不通的。 考虑到信号的 DW T 既能反映

基于横向剪切干涉测量光场空间相干性的研究

基于横向剪切干涉测量光场空间相干性的研究

基于横向剪切干涉测量光场空间相干性的研究完全相干光场与完全非相干光场只是部分相干光场的两个极端情况,实际光场总是部分相干的。

近年来,部分相干光场由于具有自修复,自聚焦,自分裂等特殊性质,越来越受到人们关注。

作为部分相干光场的重要参量之一,空间相干性描述了光场两个点之间光振动的关联程度。

如何测量空间相干性一直是部分相干光研究的重要课题之一,本文提出了一种基于空间调制器的横向剪切干涉方法,用于测量光场的空间相干性。

横向剪切干涉装置是一种利用物光波与其复制光波进行干涉的自干涉装置,并且物光波与复制光波之间有一个横向的错位。

横向剪切干涉装置一般用于测量相干光场的相位信息,事实上,借助于傅里叶变换条纹分析法,它还能测量部分相干光场的空间相干性。

然而,传统的横向剪切干涉系统需要引入机械移动实现物光波和其复制光波的横向错位,因此会影响实验的测量。

为了克服上述缺陷,我们提出了一种基于4f系统和空间光调制器相结合的横向剪切干涉系统,可以便捷地测量不同间隔两点间的光场相关性。

在该系统中,位于4f系统输入平面的衍射光栅将入射的待测光波分成多个衍射级次,空间滤波器通过其中的±1级次,从而得到两个复制光波。

在4f系统傅里叶平面上放置相位型空间光调制器,利用加载的复合闪耀光栅可以控制两个复制光波的横向错位,横向错开的间距通过调节闪耀光栅的周期进行控制。

最后,通过对输出平面上记录的干涉图进行傅里叶变换条纹分析,我们就能得到待测光场的空间相干性分布。

此外,通过改变空间光调制器上闪耀光栅的闪耀方向,我们的干涉装置可以测量光场相干性沿不同方向的分布。

该方法不仅能测出表达相干性量度的复相干度的绝对值(模)的分布,同时也获得了复相干度的相位值。

本文给出了利用该装置分别测量具有圆对称和非圆对称光场的空间相干性实验结果,我们发现实验测量结果与理论模拟数据基本一致,证明了该测量系统的可行性。

相比传统的横向剪切干涉装置,我们的装置中横向剪切量的调控基于电脑控制,没有引入机械移动,因此相干性的测量更便捷并且测量结果更准确。

基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究

基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究

基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究波前探测一直是光学领域的重要研究课题,多波前横向剪切干涉技术作为一种新型的波前探测手段,测量精度和动态范围比较高,是一种很有研究价值与实用意义的波前探测方法,在激光光束质量评价,光学系统成像质量检测、人眼像差测量和激光通信等自适应光学领域应用前景广泛。

多波前横向剪切干涉技术基于国际象棋棋盘结构的衍射光学元件,将待测波前分成四支子波前,使其产生自相干涉,在一幅干涉图中包含了两个正交方向上的波前梯度信息,只需要进一步进行相位提取和波前重建便可以获得待测波前相位图像。

多波前横向剪切干涉技术使用的剪切干涉设备结构简单、便于搭建波前相位探测系统,并且可以对多种波前目标进行探测,是一种性价比非常高的波前探测技术,值得研究者们继续深入研究。

本文在对国内外关于多波前横向剪切干涉技术研究进展进行整理分析的基础上,进行了大量的原理仿真以及实验研究。

对多波前横向剪切干涉技术的干涉原理、波前重建以及干涉图去噪技术进行了详细的探讨和深刻的分析,并对其在静态及动态温度场的温度分布测量研究进行了充分的验证,具体开展了以下几样工作:1、通过衍射理论对多波前横向剪切干涉过程进行了数学建模,研究了多波前横向剪切干涉技术基本原理和实现途径,从夏克-哈特曼波前传感器的衍射光学模型出发,介绍了几种多波前剪切干涉技术的模型和干涉图像理论强度分布。

并且根据棋盘型相位光栅的特性,采用标量衍射理论分析了二维相位光栅的衍射效率以及可能会产生误差的各种因素。

2、介绍了多波前横向剪切干涉图的相位提取算法以及傅里叶变换法在相位提取中的应用。

比较了不同种相位提取滤波器的特性,理论分析表明圆形光瞳下使用Gauss窗函数作为滤波器误差最小,而矩形光瞳下使用镶嵌圆柱滤波器窗函数造成的相位提取误差最小。

接下来介绍了干涉图条纹延拓技术,其中Gerchberg外插迭代法对于高载频量的干涉条纹有着较为优秀的延拓效果。

3、分析了使用干涉图像中提取的波前梯度进行波前相位拟合的傅里叶积分法和Zernike法,介绍了两种方法的理论模型和适用范围,采用对波前梯度进行镜像反对称扩展的方法,消除了重建过程中由于傅里叶变换周期基函数特性与不连续边界特点发生冲突而导致的低频误差,并且进行了仿真实验来比较两种波前相位积分方法的优点和不足。

横向剪切干涉实验报告

横向剪切干涉实验报告

轴向离焦量()=6
初级球差比例系数(A)=-250
=*100%=2.2%
4有:
轴向离焦量()=2.2643(单位?)
初级球差比例系数(A)=--263.278
()=2
(Aห้องสมุดไป่ตู้=-250
=*100%=13.2%
,分析其产生的原因主要
:
,并用AVercap采集程序记录下此时的图形,在按
3、5mm和背向准直镜移动
、2mm,并用AVercap采集程序分别记录下四个对应的图形.
启用“剪切干涉图应用程序”对实验对得到的图像进行处理.首先按照程序要
,然后按照程序要求输入相关数据,点击”求解”,即可得到所需要的轴
()和初级球差比例系数(A)
将上步得到的轴向离焦量()和初级球差比例系数(A)于理论值进行比较.
:
与焦点重合时的图形如下: 5-
从焦点往准直镜移动3mm时的图形如下:
从焦点往准直镜移动5mm时的图形如下:
从焦点背离准直镜移动2mm时的图形如下:
从焦点背离准直镜移动5mm时的图形如下:
:
:
实验中要求,激光束要通过平行板中心,这样就要求准直镜与扩束镜必须都
.因为如果不同心,激光束通过透镜时将沿主轴方向发生偏转,
.
横向剪切干涉实验
:陈正 学号:PB05210465 系别:6系
:
190毫米的单薄透镜的剪切干涉条纹的分布求出该透镜的轴向离焦量
:
!
:
:
HeNe激光、反射镜、小焦距透镜、薄透镜(190mm)、平行玻璃扳、白
CCD、处理软件.
:
首先按照实验原理图连接好实验器材,在插入透镜之前放好剪切用的平行平

波前分析仪——四波横向剪切干涉技术介绍

波前分析仪——四波横向剪切干涉技术介绍

波前分析仪——四波横向剪切⼲涉技术介绍背景介绍光束在⽣产和传播过程中,光学材料不均匀性、光学元件的加⼯与装配误差、光学系统相差、⼤⽓扰动等因素都会噪声波前畸变,从⽽降低光束质量。

对波前质量的检测是光学测量领域的研究热点。

随着科学技术的发展,军事、天⽂、医疗等多个领域对波前检测技术的要求越来越⾼,保证⾼测量精度的同时,还需要实现瞬态波前检测。

瞬渺光电推出的基于四波横向剪切技术的波前分析仪(波前传感器)测量精度⾼,可实时检测分析波前数据。

正真意义上满⾜了⼴⼤科研⽤户对⾼精度波前分析仪的需求。

波前测试技术常⽤的波前检测⽅法主要有点衍射法、夏克-哈特曼和剪切⼲涉法。

如下图1所⽰。

1,点衍射法点衍射法检测波前的关键器件点阵列板,待测的汇聚波前经点衍射版上的针孔衍射,产⽣近似理想的参考球⾯波,从点衍射板中直接透射的为携带待测波前信息的测试光波,两者发⽣⼲涉,待测波前的相位分布可以从⼲涉图中解调出来。

点衍射⼲涉法检测波前的精度较⾼,结构较为简单,单由于针孔尺⼨很⼩,调整过程中,汇聚光波与针孔的对准较为困难。

2,夏克-哈特曼波前测量夏克-哈特曼波前检测的基本过程为⼊射光波经过微透镜阵列在其焦⾯处汇聚,通过检测汇聚光斑的质⼼偏移,得到待测波前的梯度信息,进⽽重构待测波前。

侧⽅法检测精度较⾼,但受微透镜尺⼨与数量的限制,采样点数相对较少,空间分辨率不⾼。

3,剪切⼲涉波前测量剪切⼲涉波前测量是将待测波前和其⾃⾝的⼀个微⼩平移进⾏⼲涉的测量技术。

由于剪切⼲涉测量具有不需要参考波前、采⽤共光路系统、可抵抗外界扰动影响、对照明光源的相⼲性和⼲涉装置平台稳定性要求低等特点,既能保证较⾼的波前检测精度,⼜能获得较⾼的空间分辨率,该⽅法在许多实际波前检测中显⽰出其特有的优势。

图1,波前检测⽅法四波横向剪切⼲涉原理介绍当待测波前经过波前分析仪(波前传感器)时,光波通过特制光栅后得到⼀个与其⾃⾝有⼀定横向位移的复制光束,此复制光波与待测光波发⽣⼲涉,形成横向剪切⼲涉,两者重合部位出现⼲涉条纹(图2)。

Sagnac横向剪切干涉仪设计方法的研究

Sagnac横向剪切干涉仪设计方法的研究

第19卷 第2期2010年3月 航 天 器 工 程SP ACECRA FT EN GI NEERIN GVo l.19 No.287Sagnac 横向剪切干涉仪设计方法的研究白加光1 王忠厚1 白清兰1 肖相国1,2 相里斌3(1中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119)(2中国科学院研究生院,北京100039) (3中国科学院光电研究院,北京 100080)摘 要 详细论述了实体Sag nac 型干涉仪的工作原理和几何尺寸的优化设计方法,并对实体棱镜构成的干涉仪用展开成平板玻璃的方法来计算分束膜的投射高度,简单且快捷。

结合实例给出了计算结果,并对干涉仪的加工要求与装调方法等进行了定性分析。

关键词 Sag nac 干涉仪 傅里叶变换成像光谱仪 优化设计 加工装调中图分类号:T N253 文献标志码:A 文章编号:1673 8748(2010)02 0087 05A Study on Design Method for Sagnac Interferometerof Lateral ShearingBAI Jiag uang 1 WANG Zhonghou 1 BAI Qinglan 1 XIA O Xiang guo 1,2 XIAN GLI Bing 3(1Xi an Institute of Optics and Precision Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Xi an 710119,China)(2Graduate Univer sity of Chinese Academ y of Sciences,Beijing 100039,China;3Academ y o f Opto E lectr onics,Chinese Academy o f Sciences,Beijing 100080,China)Abstract:T he w o rking principle and optim al geom etry desig ning method for a specific Sagnac in terfero meter hav e been presented in detail T hen the best po sitio n of the optical axis is calculated by using the unfo lded lay out to do analysis.An example of this geom etry dimensions is given,and the fabricatio n specifications and alig nm ent adjustm ent methods hav e been qualitativ ely ana ly sed.Key words:Sagnac interfer ometer;Four ier transfor m imaging spectrom eter;optimal designing;fabricatio n and alignment收稿日期:2009 07 31;修回日期:2009 12 21作者简介:白加光(1950-),男,高级工程师,主要从事光学设计,成像光谱仪光学技术的研究。

横向剪切干涉测量中一种获得无耦合Zernike系数的模式复原方法

横向剪切干涉测量中一种获得无耦合Zernike系数的模式复原方法
ront reconstruction to obtain Zernike coefficient with no cross coupling in lateral shearing measurement
Sun Wenhan1,2,3, Wang Shuai1,2*, He Xing1,2, Chen Xiaojun1,2,3, Xu Bing1,2*
00
陈小君 1,2,3,许 冰 1,2*
1 中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209;
11.0
-1.0
0
1.0
2 中国科学院自适应光学重点实验室,四川 成都 610209;
3 中国科学院大学,北京 100049
摘要:模式耦合误差常见于横向剪切干涉测量中基于波前梯度数据的模式复原法,其原因是用于表示波前的基函数
许冰(1960-),男,硕士,研究员,主要从事自适应光学与激光技术的研究。E-mail:bingxu@
180273-1
光电工程 DOI: 10.12086/oee.2019.180273
m=0 modes with respect to weight function w(ρ)=ρ(1-ρ2) (polar coordinates). The Gram matrix method needs no auxiliary vector functions. The Zernike coefficients can be obtained with no modal cross coupling. The simulation results are given, which indicate that the modal cross coupling is avoided by using Gram matrix method. This method can be easily extended to annulus, and the coefficients of Zernike annular polynomials with no modal cross coupling can be obtained. Keywords: Zernike circle polynomials; Zernike annular polynomials; shearing interferometer; wavefront reconstruction; modal cross coupling Citation: Sun W H, Wang S, He X, et al. Modal wavefront reconstruction to obtain Zernike coefficient with no cross coupling in lateral shearing measurement[J]. Opto-Electronic Engineering, 2019, 46(5): 180273

横向大剪切量干涉技术及其在物理量检测中的应用

横向大剪切量干涉技术及其在物理量检测中的应用

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横向剪切干涉实验

横向剪切干涉实验

横向剪切干涉实验实验目的利用一个焦距为190毫米的单薄透镜的剪切干涉条纹的分布求出该透镜的轴向离焦量及初级球差比例系数。

实验元件HeNe激光、反射镜、小焦距透镜、薄透镜(190mm)、平行玻璃扳、白屏、带变焦镜头的CCD、处理软件准直镜实验原理剪切干涉是利用待测波面自身干涉的一种干涉方法,在横向剪切干涉测量中,从相互垂直方向上剪切干涉图获得的差分波前可以恢复待测的二维波前。

本次实验是利用平行平板来产生横向剪切干涉的装置,由于平行平板有一定厚度和对入射光束的倾角,因此通过被检测透镜后的光波被玻璃平板前后表面反射后形成的两个波面发生横向剪切干涉,剪切量为s ,'cos 2i dn s =,其中d 为平行平板的厚度,n 为平行平板的折射率,'i 为光线在平行平板内的折射角。

S 一般为1到3毫米左右。

当使用光源为氦氖激光时,由于光源的良好的时间和空间相干性,就可以看到很清晰的干涉条纹。

条纹的形状反映波面的象差。

(一)扩束镜焦点A 与被测准直透镜焦点F 不重合(即物点与F 不重合),但只有轴向离焦( ∆z 不为零,y0=0):)(),(221ηξηξ+=a W (7)由于剪切方向在ξ方向,所以:s a s W ξηξ∆12),,(= (8) 所以干涉条纹方程为:12m a s λξ=(m=0,±1, ±2,…)(为平行于η轴,间隔为12a s λ的直条纹,剪切条纹的零级条纹在0=ξ)。

(二) 扩束镜焦点A 与被测准直透镜焦点F 不重合,只有轴向离焦( ∆z 不为零,y0=0),透镜具有初级球差(b3不为零),.剪切方向在ξ方向:2223221)()(),(ηξηξηξ+++=b a W (9)所以波象差方程为332231))(2(2),,(s b b a s s W ηηξηηξ∆+++= (10) 此时亮条纹方程为:λξηξξm s b b a s =+++332231))(2(2(m=0,±1, ±2,…)(a) (b) (c)实验装置如图2所示,剪切量取2.5毫米,凸薄透镜焦距为f '=190mm 。

横向剪切干涉中剪切量的选取及分析

横向剪切干涉中剪切量的选取及分析

横向剪切干涉中剪切量的选取及分析刘丙才;田爱玲;王红军;王春慧【摘要】横向剪切干涉技术是一种直接测量波面相位分布的光学测量方法,由于其不需要高精度的参考平面,并且能够测量偏离量较大的表面面形偏差,因此得到了更为广泛的应用.但是,通常情况下剪切量大小的选择凭工作经验来确定.为了给出一种定量的剪切量判定方法,论文提出了一种基于Zernike多项式拟合的剪切量判定方法,通过计算机仿真和实验给出了剪切量与测量误差的关系,发现剪切量为测量口径1/10时即可达到良好的测量结果.%Lateral shearing interferometry is an important optical measurement technology which obtains the wave-front phase distribution directly. Due to the ability of measuring surface shape of large deviation without high precision reference plane, it has been used in various fields;however, the selection of shearing displacement depends on work experience. In order to provide an explicit determination method, a shearing displacement determination method based on Zernike polynomial fitting is proposed, and the relation between shearing displacement and measurement error is given by computer simulation and experiment.【期刊名称】《应用光学》【年(卷),期】2012(033)003【总页数】4页(P511-514)【关键词】横向剪切干涉;Zernike拟合;剪切量【作者】刘丙才;田爱玲;王红军;王春慧【作者单位】西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032;西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032;西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032;西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710032【正文语种】中文【中图分类】O439;TH744引言横向剪切干涉技术是一种直接测量波面相位分布的光学测量方法。

数字横向剪切干涉仪相移技术

数字横向剪切干涉仪相移技术

数字横向剪切干涉仪相移技术何煦;向阳【摘要】由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动.重点分析了柔性铰链复合四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律,计算了铰链刚度与弱截面应力,并给出了具体的设计实例.采用有限元分析方法,对设计实例中微动单元的相移量与压电陶瓷(PZT)出力之间的作用规律进行仿真,并分析了相移精度.结果显示,PZT在促动力输出范围内可促动0.1 mm~1 nm的一维相移运动,理论精度优于3.5 nm.微动单元的开环标定测试结果表明,相移微动单元的实际精度优于5 nm.【期刊名称】《光学精密工程》【年(卷),期】2013(021)009【总页数】8页(P2244-2251)【关键词】光学测量;波像差;相移式干涉仪;剪切干涉仪;柔性铰链【作者】何煦;向阳【作者单位】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033【正文语种】中文【中图分类】TH744.3波像差是定量评价光刻投影物镜性能的关键指标。

光刻物镜波像差的精确测量,能够客观反映物镜制造过程中各种综合误差对系统指标的影响、指导装调,是研制193 nm光刻投影物镜的关键技术之一。

在众多基于干涉测量的波面复原方法中,相移技术可以快速、准确地实现干涉图的识别与自动处理,是较为有效的相位检测方法之一[1-4]。

1966年,Carr[5]提出了时间相移显微干涉的基本思想,其中的四步等步长算法是目前最常用的相移算法之一[6]。

1974 年,Bruning等[7]详细描述了相移干涉的具体方法,并采用压电陶瓷(PZT)作为相移元件改造了Twyman-Green干涉仪,测试了一系列光学透镜与平面。

王利娟、刘立人等[8]介绍了一种相移式雅满剪切干涉仪,采用λ/4波片绕光轴旋转的方法来实现偏振合束相移。

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横向剪切干涉实验
PB05210153 蒋琪
实验目的
利用一个焦距为190毫米的单薄透镜的剪切干涉条纹的分布求出该透镜的轴向离焦量及初级球差比例系数。

实验元件
HeNe激光、反射镜、小焦距透镜、薄透镜(190mm)、平行玻璃扳、白屏、带变焦镜头的CCD、处理软件
准直镜
实验原理
剪切干涉是利用待测波面自身干涉的一种干涉方法,在横向剪切干涉测量中,从相互垂直方向上剪切干涉图获得的差分波前可以恢复待测的二维波前。

本次实验是利用平行平板来产生横向剪切干涉的装置,由于平行平板有一定厚度和对入射光束的倾角,因此通过被检测透镜后的光波被玻璃平板前后表面反射后形成的两个波面发生横向剪切干涉,剪
切量为s ,'cos 2i dn s =,其中d 为平行平板的厚度,n 为平行平板的折射率,'i 为光线在平行平板内的折射角。

S 一般为1到3毫米左右。

当使用光源为氦氖激光时,由于光源的良好的时间和空间相干性,就可以看到很清晰的干涉条纹。

条纹的形状反映波面的象差。

(一)扩束镜焦点A 与被测准直透镜焦点F 不重合(即物点与F 不重合),但只有轴向离焦( ∆z 不为零,y0=0):
)(),(221ηξηξ+=a W (7)
由于剪切方向在ξ方向,所以:
s a s W ξηξ∆12),,(= (8) 所以干涉条纹方程为:12m a s λξ=
(m=0,±1, ±2,…)(为平行于η轴,间隔为12a s λ
的直条纹,剪切条纹的零级条纹在0=ξ)。

(二) 扩束镜焦点A 与被测准直透镜焦点F 不重合,只有轴向离焦( ∆z 不为零,y0=0),透镜具有初级球差(b3不为零),.剪切方向在ξ方向:
2223221)()(),(ηξηξηξ+++=b a W (9)
所以波象差方程为3
32231))(2(2),,(s b b a s s W ηηξηηξ∆+++= (10) 此时亮条纹方程为:
λξηξξm s b b a s =+++332231))(2(2(m=0,±1, ±2,…)
(a) (b) (c)
实验装置如图2所示,剪切量取2.5毫米,凸薄透镜焦距为f '=190mm 。

由[1]可知,初级球差L 'δ与孔径的关系式为:
2
⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛'='f h A L δ (11)
其中222ηξ+=h ,ξ和η为孔径坐标,f '为透镜的焦距 f ,A 为初级几何球差比例系数。

而对应的波象差为其积分[1],
⎰'''=h f h d L n W 02
)(2δ (12)
将(11)代入(12)积分结果为,
2
22344
)(4)(ηξδ+='='b f Ah L W (13)
由于222ηξ+=h ,所以由(13)可以求出3b 与L 'δ、A 的关系式为:
422344f A h f L b '=''
=δ (14)
表1 理论计算的三种不同轴向离焦量下凸薄透镜的∆z 、A
图4 只有轴向离焦和初级球差,剪切量为2.5mm ,焦距为190mm 的凸透镜,发光点分别在焦点前6mm(a)、焦点前0.8mm (b)和焦点后2mm(c)时的计算模拟的剪切干涉图,透镜的通光口径为34mm ,透镜的初级几何球差比例系数A=-250/mm3。

(a) (b) (c)
下面再简单介绍怎样由干涉条纹图求得轴向离焦量和初级球差波象差系数∆z 、A 。

公式(10)令12
W m λ∆=就得到实验中的暗条纹方程,即:323133312442sa sb sb b s m ξξξηξλ+++=。

利用计算机编程(本文采用VB6编程)和最小二乘法拟合由实验图上暗条纹的分布解出1a 和3b ,由公式(6)的说明和公式(14)可以求得
∆z 、A. 实验内容
1.按图排好光路, 在插入透镜之前先放好剪切用的平行平板和白屏,并使两者平行,激光束要穿过平行平板中心,此时白屏上应该出现两个光点,记录两光点间的距离即为剪切量(一般在1~3mm )。

2.在光路中预定位置分别插入扩束镜(短焦距透镜)和准直透镜(焦距为190mm ),调整光路,使扩束镜的光轴、准直镜的光轴与激光束基本重合,对扩束镜焦距的要求是在距其焦点190mm 处光斑大小略大于准直镜的通光口径,则激光束能够平行射出,这时在白屏上可以看到剪切干涉条纹图。

3.沿光轴方向使扩束镜作微小位移,使白屏上的剪切干涉条纹形成近似图5(b)的形状(。

这时可以认为物点A 与准直镜的前焦点F 基本重合,再使扩束镜沿光轴方向向准直镜移动3、5mm 和背向准直镜移动3、2mm (调节短焦距透镜支架的微调旋钮,具体可视图象而定,),启动AVercap 采集程序,分别拍摄得到5个干涉图。

拍摄时可以调节变焦镜头,使采集到的图象为一个完整的圆形的清晰的干涉图象(如果图象不完整,会影响后面对图象的计算处理),图象的大小应满足
354x288(capture capture setup),记录相应的扩束镜移动的方向和距离。

启动桌面上的“剪切干涉图预处理应用程序”对采集的图象(类似图象a和c的)进行预处理,调入图形时要输入完整的文件名(*.bmp)(下同),记录结果。

4.启动桌面上的“剪切干涉图应用程序”对预处理的图象进行处理,先是调入文件,然后是点“确定坐标值”,按序输入剪切量、干涉图的圆心坐标、x方向的半径(Xmax)、y方向的半径(Ymax)值,接着以干涉图中心亮条纹为0级,分别点击1级、3级和5级条纹(应为暗条纹),并按提示输入相应级数(在同级条纹上可点击多点);最后点击“求解”,记录处理后的最终结果,并与测量的轴向离焦量及理论值初级球差比例系数比较。

实验图像处理
原点的图像为:
图像为:
图像为:
图像为:
图像为:
思考题
1 .得到理想图形时,各光学元件必须严格同心,为什么?
答:必须用平行光入射到平行平板上,才能得到理想图形,然后再由平行平板的两面反射到白屏上。

各光学元件必须严格同心同光轴,即让扩束境均匀扩散氦氖激光束,然后由准直镜处理成平行光。

2 .个实验可以有哪些实际应用?
剪切干涉的优点是非接触、灵敏度高和精度高,同时干涉条纹稳定,对环境要求低,仪器结构简单,造价低,在实际应用中一般用于精密测量透镜等光学仪器的球差、像差等参数。

实验体会
1.本实验的核心就是调节平行光,开始没能调出,后来在老师的帮助之下终于得以调出。

掌握了调节平行光的方法。

2.实验耗时较长,中间有一段时间曾想放弃,但最终还是静下来分析原因最终在老师的帮助下完成实验。

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