场发射扫描电子显微镜参数

场发射扫描电子显微镜参数：

1．工作条件:

1.1电源: 230V (-6%/+10%) / 50Hz (±1%)

1.2 主机功耗：< 3.0 kV A

1.3运行环境温度: 17-23 C

1.4运行环境：相对湿度< 80% (无冷凝)

1.5残余交流磁场<100nT (非同步频率)；<300nT (同步频率)

1.6噪音：< 60 dBC

1.7干燥无油压缩空气4-6 bar

1.8仪器运行的持久性：可连续运行

2．设备用途：

2.1高分辨扫描电子显微分析系统主要用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。独特的双物镜设计以及低电压成像技术，对导电性不好的样品等适用性更强。具有低真空功能，对不导电样品进行更全面的分析。

3．技术规格

3.1 电子光学系统

3.1.1 分辨率：二次电子（SE）像

* kV时优于1.0 nm；1 kV时优于1.4 nm（非减速模式）

* 低真空模式：30kV时优于1.5nm

* nm

3.1.3 放大倍率范围：1 ～1,000,000倍(根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自

动校准)

3.1.4 着陆电压：50V 至30 kV

3.1.5 电子枪：高稳定度Schottky肖特基场发射电子枪

* ～200 nA，连续可调，既保证对高分子纳米材料高分辨成像所需的低速流，也要保证EDS和EBSD分析所需的高束流高效率。

3.1.7 束流稳定性：每10小时< 0.4%

*3.1.8 具有双物镜系统（电磁透镜和静电透镜），保证对纳米材料、不导电有机无机材料、合金、磁性材料的全方位分析

*3.1.9 物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。至少6孔光阑设计

电子束位移范围：不小于±110um

3.2 样品室和样品台

3.2.1 样品室尺寸：不小于360mm×360mm

*3.2.2 抽屉式大开门结构，样品台安装在仓门上，全方位观察，方便取放样品，防止碰撞

，有效移动范围：X /Y ≧110mm，Z ≧25mm，T = -10°to +70°，R= 360°连续旋转

kg

，分析工作距离不小于5mm

(X/Y 方向)，步进进度优于100nm

，可安装能谱、波谱、EBSD、CL、STEM探头、红外探头、拉曼等），方便后期升级*3.3 探测器：

3.3.1 电子探头：

样品室二次电子检测器

极靴内二次电子探测器

极靴内背散射电子探测器

低真空二次电子探测器

3.3.2 样品室镜头安装背散射电子探测器

3.3.3 样品室IR-CCD相机

3.4 真空系统

*，要求有验收指标）

3.4.2 一个220L/S的涡旋干泵和一个分子泵

3.4.3 两个离子泵

*3.4.4 穿过透镜的压差真空系统（列出原理），保证真空条件下避免对系统的污染。

3.4.5 样品室真空度：高真空模式优于6×10-4 Pa，低真空模式优于< 200Pa

3.4.6 抽真空时间：< 210秒

3.5 数字图像处理系统

*，最大扫描和成像6144 x 4096像素

* –25,000µs/像素

3.5.3 图像显示：1920×1200像素，24”LCD显示器显示，能显示和处理图像

*，既能实现同一个显示屏上单个活动窗口全屏显示某一探测器的图像信号，又能在同一显示屏上多个活动窗口（最多不少于4个窗口）同时并列显示不同探测器的图像信号，图像信号可相互实时切换，互不干扰

3.5.5 图像记录：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可选

3.5.6 智能扫描软件，具有：至少256幅的平均或积分，线积分或平均，隔行扫描，漂

移补偿幅积分，伪彩色功能，实时存储图像，图像处理(反像, Gamma，平滑，锐化，增

强等)，图像旋转，电子束屏蔽（Beam blank）

3.6 控制和数据处理系统

3.6.1 电镜控制器，最低配置要求：

国际主流品牌计算机工作站，Intel Xeon 四核3.0GHz以上CPU；DDRIII 16.0GB内存；

1000GB硬盘；1G独立专业图像显卡；DVD刻录机；一台1920×1200分辨率的24”LCD 显示器

3.6.2 Windows 7的64位图形操作系统

3.6.3 操作方式：键盘、鼠标

3.6.4 可自动调节：电子枪对中、自动亮度对比度、自动聚焦、自动聚焦消像散、自动

电子束设定、自动合轴、真空控制、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿等

3.6.6 操作台：原装进口实验台。

3.7 应用软件

3.7.1 应具有样品台图像导航功能

3.7.2 应具有双击鼠标移动样品功能

3.7.3 应具有鼠标拖曳式放大及对中功能

，保证超大视野的图像

，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作

，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等

3.7.9 应提供内嵌式的实时帮助文件，保证操作者的使用直观便捷化。

*3.8 冷却循环单元

3.8.1 采用比空气冷却更高效、更精准控制的水冷内循环系统，分别用于冷却扫描电镜

镜筒及其它部件，高效散热，保证长期使用

3.8.2 电压要求：200 – 230 V AC, 50/60 Hz

3.8.3 温度调节控制范围：+ 5C ～+ 40C

3.8.4 控温精度：± 0.1C

3.8.5 容量：不小于5L

3.8.6 配有进口空压机一套

3. 9 附件

3. 9 .1 UPS稳压电源：1套，国际品牌Times Top，不低于10kV A

3. 9 .2 电子干燥柜：1台，上下双门，容积不低于240L，全自动电子除湿，无尘，无

滴水，无噪音

3. 9. 3 无人基站用直流变频空调：1台，不低于3P，具有除湿功能，且遇停电再恢复

供电后能够自动恢复运转状态；制冷容量不低于7.2kW，制热容量不低于8.0kW

3. 9 .4 冷暖两用空调：知名品牌，1台，挂机，1.5P