信息光学的前沿
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方法比较
• 二元衍射方法虽然能实现各种复杂面形而得到广 泛应用,但受到光刻线宽分辨率的限制,而不能 制作较大数值的微光学元件;存在量化误差。 • 掩模移动法和灰阶掩模法具有设计灵活、能制作 任意面形的微光学元件,但是掩模制作过程中数 据量较大,难于精确地控制面形。 • 热熔法由于面形不容易控制而应用领域受到限制。 • 总的说来,二元衍射方法适合于小数值孔径微光 学元件,而连续面形方法适合于制作大数值、小 口径微光学元件。
(非线性光学、超快光学现象、散射、位 相共扼、信息理论…… )
8、。。。。。。
衍射光学
定义 衍射光学(二元光学)是基于光波衍射理论发展起来的一个 新兴光学分支,是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成 的前沿学科。 优点 衍射光学元件具有微型化、易复制、易集成、造价低、可产 生任意波前、衍射效率高、设计自由度多、材料可选性宽、 色散性能独特等优点。 应用 在微透镜阵列、光通信、光互连、光计算机、激光束波面校 正等方面有广阔应用前景,是集成光信息技术中重要元件。 局限 由于光波的衍射与光波波长有关,且位相量化也会产生再现 波前的误差,衍射光学元件并不能完全代替现有的折射光学 元件。
数字实时全息图
联合变换相关识别
平面上纪录介质的透过率函数[
联合功率谱]
液晶光阀
光电混合式实时联合变换相关器
二元光学方法
第二步:设计制作二元振幅型掩膜 按照计算的位相分布,设计 并制作刻蚀用的二元振幅型掩 膜,通常N级位相台阶需要设计 n个掩膜,使
二元光学方法
第三步:在片基上刻蚀出台阶 用掩膜对涂了感光层的片基曝光与处 理,然后用电子束或离子束刻蚀机在 片基上刻蚀出台阶。这一过程应在计 算机控制下,并对n套掩膜重复作n 次,才能产生N个位相等级的台阶, 即产生所需要的衍射光学元件。 在制作过程中,掩膜和片基的定位与 对准要求很高,例如片基表面刻蚀深 度的精度要达到几个nm量级,掩膜定 位对准精度要达到0.1um量级。
(d)连续面形型
制作衍射光学元件的光学光刻法 • 光学光刻可实现二元衍射微光学元件和连 续面形微光学元件。 • 主要有二元光学方法、掩模移动法、灰阶 掩模法、热熔法和梯度折射率方法等。
二元光学方法
• 例:采用光刻方法加工8台阶二元衍射微光学元件
采用三块不同频率的掩模,通过三次甩胶、曝光、 显影、刻蚀等工艺,可实现95%衍射效率的微光 学元件。
多层衍射光学元件及镜头
校正色散的原理
窄带带通滤波器
从前,只有在玻璃上镀30层以上光学薄膜的方法才能实现, 而若应用树脂的超微细衍射结构,可实现低价格量产,飞 跃性促进个人通信系统及高速局域网的普及。
有关衍射光学元件的论文
• • • • • • • • • • • • • • 衍射光学元件的设计及其在半导体激光器中的应用研究 衍射光学元件在成像光谱中应用 衍射光学元件在红外像传感器中的应用研究 一种提高光头存储密度的衍射光学元件 衍射光学元件在光通信中的应用 在国防安全照明系统中应用的衍射光学元件 用衍射光学元件生成无衍射光束 用衍射光学元件提高出射光束的焦深 衍射光学元件在光学系统中的应用 衍射光学元件用于光学图像加密 双波长共焦衍射光学元件分析与设计 衍射光学元件的反应离子束蚀刻研究 衍射光学元件在目镜设计中的应用 -------------
信息光学前沿简介
信息光学前沿主要领域和方向是: 1、集成光信息处理
(数字光计算、光学互连、衍射光学)
2、新的成像系统
(光学计算机断层成像、三维共焦成像系统)
3、光学三维传感
(主动三维传感、被动三维传感)wk.baidu.com
4、新一代的全息术和光学信息处理 5、信息光学的新材料和装置 6、人机接口与显示 7、信息光学的基础问题
掩模移动法、灰阶掩模法和热熔法
• 采用掩模移动法制作任意面形微光学阵列元件, 首先根据要求的面形设计掩模,然后在曝光过程 中通过移动掩模,实现各部分的不同曝光量,最 后通过显影、反应离子刻蚀,将光刻胶的面形传 递到光学表面材料上。 • 灰阶掩模法是根据微光学元件所需面型(任意面 形),对掩模进行灰阶编码,形成相应的光强透 过率分布函数,通过一次曝光、显影,即可得到 相应的光刻胶面形,最后通过刻蚀,得到光学材 料上的面形。 • 热熔法是通过曝光后光刻胶的表面张力作用的收 缩,形成面形。
二元光学方法
第一步:计算元件表面的相位分布
已知成像系统中入射场和输出平面上光场分布, 计算输入平面上相位调制元件的相位分布,使得它 正确地调制入射波场,高精度地给出预期输出平面 上光场分布。 对于连续型的相位分布而言,这种计算过程实 质上是从衍射元件求解所需实际光场逆过程,在理 论上和计算上并不困难。但是衍射光学元件的制作 工艺要求元件是台阶形分布,即连续波面的量化表 示,使这个问题变得较为复杂。
飞行时间法
检测光脉冲从发出到接收之间的时间延迟,就可以计算出距离z
飞行时间法
为了满足测量精度的要求,可采用时间调制光束(正弦强度调制的激光束), 比较发射光束与接收光束之间的位相,计算确定距离。
基于激光三角测量的三维传感
• 核心部件 摄像机与投影照明系统
• 投影照明方式 按照投影照明图案模式的不同,投影照明系统可分 为点结构光、线结构光以及面结构光等投影照明方 式。 • 测量精度 高[点结构光照明——线结构——面结构光]低 • 测量速度 慢[点结构光照明——线结构——面结构光]快
主动三维传感
定义和原理 主动三维传感采用结构照明方式,由于三维面形对结构照 明光场的空间或时间调制,可以从携带有三维面形信息的 观察光场中解调得到三维面形数据。 应用 由于这种方法具有较高的测量精度,作为一种三维形貌计 量手段已经得到广泛应用。
分类
1、飞行时间法、2、基于激光三角测量的三维传感、3、基 于傅里叶变换的三维传感4、基于位相测量的三维传感。
被动三维传感
定义 被动三维传感采用非结构照明 方式,从一个或多个观察系统 获取的二维图像中确定第三维 (距离维)信息. 局限 需先验知识,或需通过相关或 匹配等运算可以重建物体的三 维面形,但这种方法要求大量 的数据运算,而且,当被测物 体上各点的反射率没有明显差 异时,这种计算变得更加困难。 应用 常常用于对三维目标的识别、理解以及位置形状分析。
光 学 计 算 机 断 层 成 像
利用激光扫描、皮
秒级时间超分辨技
术和数据处理技术
形成断层图像。
激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)
组成、原理
• 一. 组成 倒置或直立显微镜、扫描装置(照明针孔、探测 针孔和光电倍增管、扫描头控制电路)、计算机 (控制、处理和输出) 二. 原理 1、照明针孔、探测针孔与被探测点是共轭。 2、由光路中的扫描系统在焦平面上扫描,从而产 生一幅完整的共焦图像。 3、随着Z轴的不断移动,就可得到样品不同层面 连续的层析图像。
衍射透镜
具有多重离散相阶分束光栅
阵列分束器
衍射透镜
几种典型的衍射光学元件
(a)二值型,只包括两个位相等 级。 (b)多值型,包括N个位相等级。 随着N的提高,衍射效率也随之 增加,但对制作工艺的要求也 随之提高,当N趋于无穷时,成 为连续型位相分布,衍射效率 达到100%。
(c)折衍混合型,它结合了折射和衍射光学元件的优点。
基于激光三角测量的三维传感(点结构照明)
基于激光三角测量的三维传感(点结构照明)
重建
基于激光三角测量的三维传感(线结构照明)
基于激光三角测量的三维传感(线结构照明)
面结构光照明
场景
投影仪
CCD摄像机
面结构照明主动三维视觉系统
三维重建步骤
• 1、标定投影仪和摄像机内参数矩阵
a pu Ap 0 0 sp a pv 0 u p0 v p0 1
• 2、确定投影仪参考坐标系和摄像机参考坐标系与 世界坐标系间的关系 • 3、获取特征点坐标 • 4、实现三维重建
缺点:很难正确获取复杂 面形的特征点坐标。
彩色编码面结构光照明
基于傅里叶变换的三维传感
• 定义 以光栅产生的结构光场投影到持测三维物体表面,由于三 维物体表面对结构光场的空间调制,观察到的变形条纹图 形携带了三维面形信息。对变形条纹图形进行傅里叶分析、 滤波和处理,就可以得到物体的三维分布。 • 优点 该技术具有比传统莫尔技术更高的灵敏度,并全自动区分 物体表面的起伏变化,没有由光栅图形的高次谐波成分产 生的假的莫尔条纹所引起的误差。 不足 • 傅里叶变换轮廓法的不足之处在于当测量斜率大的物体需 要非常高的分辨率的图像设备和运算能力大的计算机。