Tescan-vega3扫描电镜操作规程

合集下载

SEM操作规程

扫描电子显微镜操作规程
一、开始运行系统：
1.打开总电源。

2.打开空气压缩机。

3.打开机械泵和变压器。

4.通入冷却水。

5.打开真空电源，系统开始抽低真空。

6.30分钟后，使系统抽高真空。

7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后，即可开始工
作。

二、关机
1.关闭阀1，打开“STAND BY”开关。

2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动，此时只有阀2继续抽扩散
泵的前级真空。

3.30分钟后，关真空电源。

4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。

5.关冷却水。

三、注意事项：
1.在测量高真空时，不要将表头开关置于HI V AC位置上。

2.加高压时，不要一下子加到20-30KV，特别是房间较潮湿的地方，高压
容易打火，造成仪器元件损坏。

所以可以先加10KV，再以1KV的步距
逐步增加高压。

3.要慢慢增加束流，并且是灯丝在饱和点工作。

4.灯丝一定要安正，否则看不到图像。

5.在仪器不用时，要定期开机抽真空。

-
1.。

扫描电镜操作规程

扫描电镜操作规程扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。

、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。

二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。

三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

扫描电镜简明操作规程

PHENOM TM台式扫描简明操作规程如何激活phenom当处于不活动状态1小时后，机子切换到待机状态。

电源指示灯呈橙色。

当处于72小时不活动状态时，机子进入省电模式，橙色电源灯开始闪烁。

■从待机或省电模式激活电脑：按电源控制按钮。

√在机子再次完全激活前，绿色电源指示灯会一直闪烁。

从待机状态激活需要大约4mim；从省电模式激活需要大约6min。

√机器立刻可以进行光学成像分析。

√进度条显示仍然处于正在苏醒中。

√沙漏图标显示苏醒正在进行中。

当载入试样时，触摸显示屏上的出仓按钮也可激活机器。

相见4.3载入试样。

试样的工作距离选择大部分试样应使用中工作距离（样品台旋下5-7mm即10-14格），其他的推荐使用长工作距离10-12mm。

不要使用短工作距离，目前发现的几次损害多是由于粉末样品距离太近碰到探头导致的。

试样的准备a.机器能够容纳的试样：直径25mm，高30mm。

b.严禁潮湿试样放入机器里面。

潮湿试样在真空下会放出气体。

这对成像能力造成严重问题，并且对机器造成永久性损坏。

在放入试样时务必将试样进行彻底干燥。

c.在试样放入机器中时，用压缩空气多次吹试样，确保试样中没有松散的颗粒。

d.务必将试样紧紧地固定在试样台上。

将试样从空气移动到真空可能导致松散的试样材料残留下来形成沉积物。

这些碎片能够形成柱状物，并且会歪曲电子束。

普通试样的制备在随后会有合适的说明。

这样可以获得更高质量的图像，并且减少维护。

制备试样时需要的工具：试样台（直径不超过25mm）；试样台夹；标准钳子；试样台盘；牙签（或其他可随意使用的尖锐东西）；这些工具之一即可：石墨乳（润滑剂）、银的涂料、或双面胶；更详细的试样制备过程请阅读操作手册。

其它试样的说明不能用石墨乳和银浆的试样，可以使用双面胶。

粉末试样粉末颗粒包括但不限于粉末、花粉、小铁屑、硅藻材料和其他粉尘状物质。

1、为了准备颗粒试样，先将双面胶粘在光的试样台上。

2、挑一根牙签、镊子或其他带尖的东西，弄一点颗粒试样在尖端。

Tescan型扫描电子显微镜操作规程

Tescan型扫描电子显微镜操作规程Tescan型扫描电子显微镜是一种高分辨率显微镜，可以将样品的表面形貌及结构进行精细的观察和分析。

本文将介绍Tescan型扫描电子显微镜的操作规程，以帮助使用者更加有效地使用该设备。

一、准备工作1.1 确定目的：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，首先需要确定使用该设备的目的。

用户应该了解所需观察的样品类型、结构形态和分析的问题等。

1.2 样品制备：选择适当的样品并进行制备。

样品制备可以使用化学刻蚀、机制切割、离子束切割等方法。

1.3 清洁操作区域：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，应该确保周围环境干净整洁，无杂质和灰尘等影响观察效果的物质。

1.4 开机前的准备：检查仪器的接线和电源，并确保仪器与电源相连接。

在开机前应该预热电子枪，并确保其正常工作。

二、扫描电子显微镜的操作步骤2.1 软件的启动与设置操作员需先启动Tescan型扫描电子显微镜的控制软件，通过用户界面进行图像显示、设备操作及数据采集等操作。

使用者可根据需要进行各项设置，如图像分辨率、曝光时间和扫描范围等。

2.2 样品放置将准备好的样品放置到样品台上，并调整样品的位置，以便获取所需的区域图像。

2.3 调整电子枪在设备正常工作前，调整好电子枪的参数，首先进行缺陷修复，然后将加速电子管的电压调整至合适的值。

常规加速电子压力通常在20~30kV之间。

2.4 断定缩放倍数在将电子枪的电压和电流调整好后，操作员需要指定所需的缩放倍数。

缩放倍数越高，分辨率越高，对样品的影响也越小。

2.5 图像采集操作员通过扫描压电晶体，可以获取样品的表面结构和拓扑形状等信息，并进行图像采集。

在图像采集前，需要设置图像的扫描速度、曝光时间和扫描范围等参数。

2.6 图像处理与分析图像处理和分析是Tescan型扫描电子显微镜的重要功能之一，可以对采集到的图像进行各种图像处理和数据分析，以获得更多的信息。

操作员可以通过各种图像处理工具对所获取的数据进行处理和分析，如细节增强、对比度调整、线性增强和颜色增益等等。

扫描电子显微镜操作规程

扫描电子显微镜操作规程1. 打开墙上配电箱里的空气开关（见标签上开下关）2. 打开变压器电源（正常电压应为100v）3. 打开主机电源：钥匙拧到START位置，停两秒松手，钥匙回到I位置。

4. 打开电脑电源5. 点击桌面图标，等待6. 当HT图标显示蓝色后，点VENT排气（排气时vent闪，排完气vent不闪），排完气方可打开样品室7. 正确选择Z轴高度（需要估计样品高度，Z轴大于样品高度放入样品，关闭样品台，点击EV AC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手8. 打开HT图标（此图标在非真空下是灰色，真空位蓝色，打开灯丝拍照为绿色）9. 选择扫描模式、加速电压（0.5-30KV之间选择，一般微生物类样品选10左右）、WD工作距离（10-15之间选择）、SS电子束斑（一般选30-40）10. 在SCAN2下调焦、调整对比度及亮度、调消象散（放大时照片晃动、或者样品变形、或者整体移动可点WOBBLE（一般10000倍左右调节有效果）调节光缆使照片不晃动）11. 高倍下调清晰度，低倍下拍照，拍照选择photo(曝光40秒)或者SCAN4（曝光80秒），拍完选择FREEZE并保存照片12. 拍完照后关闭灯丝，点VENT排气（排气时vent闪，排完气vent不闪），排完气方可打开样品室，取出样品台；关闭样品台，点击EV AC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手13. 依次关闭软件、电脑、主机电源、变压器、空开注意事项1.注意Z轴的距离要足够高不要让样品碰到探头2.慢慢调节光缆，防止调节过快看不到被观察物3.取、放前一定要卸真空，再抽真空4.关机的时候，要在真空状态下关机5.拍完照后要及时关闭灯丝6.请不要使用UBS接口，要拷贝数据请使用一次性光盘，光盘插入直接复制数据即可7.实验前后都要填写仪器使用登记表，实验完成后填写仪器使用记录；8.正确操作仪器，使用过程中如发现仪器出现异常情况，应及时与实验室管理人员联系；9.要求用托盘盛放药品，避免药品直接放在实验台上，实验结束及时清洁实验台，带走所有实验试剂及样品；10.仪器使用人员有义务打扫实验室卫生；11.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内实验仪器的安全；12.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内水、电安全。

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。

对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金:将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。

选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。

取出样品。

(注意:打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。

)二、扫描电镜的操作1.安装样品“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮; 1) 按2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面);3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣;4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮;5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。

(注意:推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆)2.试样的观察(注意:软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器)-51) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”(注意:为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右);2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察;3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图;4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度;5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像;6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像;7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。

TESCAN VEGA3 XMU操作手册

1、扫描窗口右侧快捷工具栏功能：（1）扫描速度的选择。

扫描速度共分为十档，1为扫描速度最快，噪声最大；10为扫描速度最慢，噪声最小。

（可通过鼠标滚轮调整）（2）缩放倍率。

放大倍率可从4倍到100000倍连续可调。

（3）调整工作距离，用于聚焦使用。

自动聚焦功能可在图标上右击鼠标，选择自动聚焦。

（4）调整像散。

软件版本中有自动消像散的功能，可在图标上右击鼠标，选择自动消像散。

（5）此功能为对比度/明暗度的手动调整。

左右推动轨迹球为调整图像对比度，上下推动轨迹球为调整明暗度。

（6）自动调节明亮对比功能，使图片显示最好的效果。

（7）此功能为束流强度(Beam Intensity)的调整。

BI值的选择决定了吸收电流的大小：BI值越大，吸收电流越大；BI值越小，吸收电流越小。

一般在低倍数时使用较大的BI值，在高倍数时使用较小的BI值，或者鼠标右击按钮选择自动。

（8）保存图片。

2、正常扫描下鼠标的功能：（1）在扫描窗口下双击鼠标左键打开或关闭聚焦窗口。

（2）通过鼠标滚轮可改变扫描速度。

（3）若电镜在整个扫描窗口下扫描，点击鼠标右键打开简单程序控制菜单。

（4）若电镜仅在聚焦窗口扫描，则：按住鼠标右键并拖动光标可以改变聚焦窗口的尺寸；按住鼠标左键并拖动光标可以移动聚焦窗口的位置；在聚焦窗口上双击右键可以移动窗口至图像的中间位置；在聚焦窗口外点击鼠标右键打开简单程序控制菜单。

本电镜配置了自动样品台，可进行以下的操作：对扫描窗口中所选对象点击鼠标滚轮，可以移动所选对象到扫描窗口的中心；在所选对象上按住鼠标滚轮并拖动光标则可以将其移动到所选位置。

3、轨迹球的控制：将轨迹球沿着X轴方向移动，可以改变当前功能的第一个参数，将轨迹球沿着Y轴方向移动，可以改变当前功能的第二个参数。

与此同时，按住F11键，可以固定当前功能的第一个参数；按住F12键，可以固定当前功能的第二个参数。

4、基本操作步骤：获得任何一张图片都必须经过寻找位置，放大，聚焦，消像散，调节对比度/亮度等操作，基本可以分为以下几步：（1）针对样品，选择合适的加速电压，在“Wide Field”或“Field”模式下找到要观察的样品；（2）在分辨率模式下，先在较低倍数下找到要观察的部分，适当放大并聚焦；（3）调节WD到适当的位置，聚焦；（4）再放大，相应的调节Beam intensity、对比度/亮度等参数，再聚焦；（5）直到希望的放大倍数，在这过程中保证要观察的区域处于扫描窗口的中央；放大倍数的改变：点击，左右滚动轨迹球，改变图像的放大倍数；聚焦：点击，左右滚动轨迹球聚焦，直至图片清晰为止；（6）若在聚焦的过程中，观察物发生变形，此时就需要消像散；消像散：点击，通过上下左右滚动轨迹球在调整像散，直至观察物变形消失，此时，图像可能会变得不清晰，需要再次聚焦；（7）在聚焦过程中，如样品位置出现较大的飘逸，说明物镜光阑没有对中，需要手动物镜光阑对中；点击“电子束信息栏”中“Adjustment”子菜单的“Manual Column Centering”，手动进行物镜光阑对中；对中后，再次聚焦；（8）图像清晰后，调整对比度/亮度；可以通过点击自动调整，也可以点击，上下左右滚动轨迹球调整；（9）最后通过鼠标滚轮调整合适的扫描速度，点击，收集并保存照片。

TESCAN-VEGA3-操作规程

TESCAN-VEGA3-操作规程TESCAN-VEGA3是一款高精度的扫描电子显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学和纳米科学领域。

本文将介绍TESCAN-VEGA3的操作规程，以便用户正确、高效地使用该仪器。

1. 准备工作在操作TESCAN-VEGA3之前，首先确保仪器连接稳定，电源正常，并保持周围环境干净整洁。

操作人员应佩戴手套和实验服，以防止样品污染。

2. 打开仪器打开TESCAN-VEGA3之前，操作人员应先确保样品已安全放置在样品台上。

然后按照仪器上的指示，打开仪器电源，并等待系统初始化完成。

3. 调整参数在开始扫描之前，需要根据样品类型和需要观察的细节，对扫描参数进行调整。

TESCAN-VEGA3提供了丰富的参数调整选项，用户可以根据具体需求进行设置。

常用的参数包括电子束能量、放大倍数、扫描速度和探针电流等。

4. 放置样品根据实验需求，将样品小心地放置在样品台上，并调整样品位置，确保待观察区域位于扫描范围内。

在放置样品时，需注意避免样品与扫描器相互碰撞，以防损坏设备。

5. 开始扫描调整完参数并放好样品后，即可开始扫描操作。

在TESCAN-VEGA3的界面上，选择合适的扫描模式，并点击开始扫描按钮。

仪器会自动对样品进行扫描，并根据设定的参数生成相应的图像。

6. 图像观察和分析扫描完成后，可以观察和分析生成的图像。

TESCAN-VEGA3提供了多种图像处理和分析工具，用户可以利用这些工具对图像进行增强、测量和分析。

例如，可以调整亮度、对比度和色彩平衡，或者绘制线条、圆形和矩形以测量长度、面积和形状。

7. 保存和导出数据在观察和分析完图像后，可以选择将数据保存和导出。

TESCAN-VEGA3支持多种数据格式，如图片格式（如JPEG、PNG）和矢量图形格式（如SVG、PDF）。

用户可以根据需要选择合适的数据格式，并选择保存位置。

8. 关闭仪器使用完TESCAN-VEGA3后，应及时关闭仪器。

扫描电镜基本操作

扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。

下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。

1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。

b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。

c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。

2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。

b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。

c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。

3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。

b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。

c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。

4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。

b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。

c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。

d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。

5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。

b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。

c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。

6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。

b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。

以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。

在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。

扫描电镜基本操作

扫描电镜基本操作 1、进样后，等待电镜抽真空，当真空读数小于5E-04，开启电子枪，打开观察Observation （点击按钮ON 变绿色），点击操作台上ACB （自动白平衡），WD 调到10.0mm （CL 要调到14.1mm ），移动操作球（X,Y ，或使用鼠标右键选取点击位置到屏幕中心），找到观察样品表面，将放大倍数调大，旋转操作球的旋钮调整Z 轴到合适的观察距离使得画面清楚（注意Z 轴动态，不要超过2mm ，操作球旋钮调整Z 轴的速率跟放大倍数成反比）。

2放大倍率旋钮顺时针可将样品放大至需要的倍数，反复调整焦距，使样品表面尽量清楚（可找到样品表面的裂缝或突起作为参照物）。

若画面还不清楚，可先放大到较高倍率（1万倍以上）反复调整像散x 、y 及焦距至影像清楚，直至影像清晰后再切回所需倍率。

3、进行上述操作后，若图像仍不清楚，可点击操作面板上的WORB 模式进行对中操作，此时面板上的WORB 和ALIGN 灯会持续闪烁，此时画面应像心脏一样跳动，若左右或上下晃动需调整像散的X ，Y ，调好后点STIG 会取消对中模式，反复切换对中模式和像散模式，结合焦距进行图像调整。

4、扫描模式：快速扫描模式QUICK VIEW （QUICK 1移动快, 再点一下显示屏上可看到变成QUICK 2），在LED （二次电子图像）模式下，移动或者调焦距需在QUICK 1模式下。

慢速扫描模式FINE VIEW （FINE 1移动慢但成像较好，FINE 2照相的速度），在BED-C （背散射模式）或CL(阴极发光模式)下可切换到FINE 1模式下观察或移动。

5、LED （二次电子图像）模式是观察样品的表面形貌；BED-C （背散射）模式代表了样品的成分，颜色不同成分不同。

鼠标左键点LED 可在下拉列表中切换。

切换前，需在右下角SRBE 前点对号把背散射探头送进去。

在BED-C （背散射模式）下可慢慢旋转BRIGHTNESS 和CONTRAST 来调节亮度和对比度，若图像模糊可把对比度和亮度调大，若图像中亮的太亮看不清内部结构可把对比度和亮度同时稍调低。

Tescan-vega3扫描电镜操作规程

纳米纤维课题组Tescan vega3扫描电镜操作规程见贤思齐1.最小化放大倍数，调整电流，home/calibrate样品台，关闭电压，点击Vent 放气。

等待右下方显示Venting Finish。

2.装载试样。

需将试样用导电胶粘紧。

(检查每一个螺丝是否拧紧。

没有放样品的螺丝也应该拧紧。

)3.小心关上仓门，点击Pump抽真空。

等待Chamber 真空度进度条变绿后，即可进行下一步。

4. 操作前参数检查：A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV 再在右上边输入所要求值。

B，其次检查Beam intensity值，正常扫描时为10.C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-6标号）。

样品台会移动到视野内。

5.调节Z轴逐次减小，使样品接近镜筒。

（这个值为样品台到镜筒的距离。

所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z轴至20。

6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先选择MODE模式(宽视野、连续宽视野)，再点击Mag（视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。

当视野中图像模糊，但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。

再放大，再聚焦，直至达到需求即可。

如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况：1）低倍时，调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjustment中第三项弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。

2）高倍时图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg 右手边一竖行快捷键中。

然后调节轨迹球。

（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不再变形，再聚焦。

扫描电镜原理、方法及操作

一、分析测试步骤开机1、接通循环水（流速～2.0L/min ）2、打开主电源开关。

3、在主机上插入钥匙，旋至“Start ”位置。

松手后钥匙自动回到“on ”的位置，真空系统开始工作。

4、等待10秒钟，打开计算机运行。

5、点击桌面的开始程序。

6、点击［JEOL ·SEM ］及［JSM-5000主菜单］。

7、约20分钟仪器自动抽高真空，真空度达到后，电子枪自动加高压，进入工作状态。

8、通过计算机可以进行样品台的移动，改变放大倍数、聚焦、象散的调整，直到获得满意的图像9、对于满意的图像可以进行拍照、存盘和打印。

10、若需进行能谱分析，要提前1小时加入液氮，并使探测器进入工作状态。

11、打开能谱部分的计算机进行谱收集和相应的分析。

12、需观察背散射电子像时，工作距离调整为15mm ，然后插入背散射电子探测器，用完后随时拔出。

更换样品1、点击“HTon ”,出现“HT Ready ”。

2、点击“Sample ”,再点击“Vent ”。

3、50秒后拉出样品台,从样品台架上取出样品台.4、更换样品后,关上样品室门,再点击“EVAC ”,真空系统开始工作,重复开机10.1.8、。

关机1、点击［EXIT ］,再点击［OK ］,扫描电镜窗口关闭,回到视窗桌面上.2、电击桌面上的［Start ］。

3、退出视窗,关闭计算机.4、关闭控制面板上的电源开关.5、等待15分钟后关掉循环水.6、关掉总电源.二. 方法原理1、扫描电镜近况及其进展扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年已经被提出来了，直到1956年才开始生产商品扫描电镜。

商品扫描电镜的分辨率从第一台的25nm提高到现在的，已经接近于透射电镜的分辨率，现在大多数扫描电镜都能同X 射线波谱仪、X 射线能谱仪和自动图像分析仪等组合，使得它是一种对表面微观世界能够进行全面分析的多功能的电子光学仪器。

数十年来，扫描电镜已广泛地应用在材料学、冶金学、地矿学、生物学、医学以及地质勘探，机械制造、生产工艺控制、产品质量控制等学科和领域中，促进了各有关学科的发展。

国检检测扫描电镜操作规程

国检检测电子扫描显微镜操作规程一．启动系统1、开启设备总电源开关2、启动主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。

3、在主机前面板上的EV AC真空控制面板上将钥匙转动到START位置，然后放手，系统开启。

4、等待计算机进入操作界面，按确定键启动软件。

二、安装样品1、在控制面板上按AIR按钮，系统开始放气。

2、等到放气结束电脑显示可更换样品时，带上清洁手套，测量安装在样品托上的整个样品的高度，然后打开样品室，将安装有样品的样品托放入样品室。

3、关上样品室，按EV AC键1～2秒，设备开始抽真空，约两分钟后可开始观察样品。

三、样品扫描1、待控制面板显示抽真空结束时，按操作软件左上角的ON按钮，开始加载加速电压。

2、加速电压加载完毕后，可开始扫描操作。

四、更换样品1、按操作软件左上角的OFF按钮，开始卸载加速电压。

2、按HOME键，将样品调整至最初位置。

3、按AIR键按1～2秒，样品室开始放气，待放气完毕即可开始更换样品。

五、关闭设备1、关闭设备前，要保持样品室是真空状态。

2、直接点击操作软件右上角的关闭键，关闭软件。

3、关闭电脑4、将前控制面板上的钥匙旋转至OFF位置。

5、关闭主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。

6、关闭设备总电源开关六、注意事项1、样品在放入样品室之前必须要干燥、清洁。

2、更换样品须带上清洁手套，不允许用赤裸的手握样品或样品托。

3、开关机顺序和更换样品顺序都必须按照规定步骤进行。

4、测量样品高度时，误差不得超过4mm，否则会导致镜头损坏。

七、维护保养1、一个星期对空压机进行排水，以保证空压机的性能。

2、一个星期检查压力计、压力开关和安全阀一次。

3、一个月对螺栓、螺钉、螺母的进行拧紧一次。

扫描电镜安全操作规程

扫描电镜安全操作规程扫描电镜安全操作规程一、设备安全操作环境要求：环境温度：17℃—24℃相对湿度： < 80%场地磁场：同步：<3x10-7T异步：<1x10-7T振动：对于主动式电磁减振： <10um/s 低于30HZ<20um/s 高于30HZ噪声：小于60dBC海拔：低于3000m二、设备硬件主要由UPS 、氮气瓶、真空泵、电镜主机部分组成1. 电镜用电安全：a) 只有工程师才能对电镜的主电源，UPS 电源线和UPS 开关进行维修操作。

b) 用户负责熟悉设备保养和安装。

电镜工作所需要的高电压是有危险性的。

2. 电镜使用UPS 时：a) 开机：首先确认市电是否正常，电池开关处于闭合状态。

按面板上的开关键（3—5秒）后放开，待UPS 内部自检完毕开机。

换样品时卸至标准气压UPS 供电电镜主机供电电脑开启真空泵开启氮气瓶更换样品换好样品后抽真空软件控制真空状态b)关机：首先确认电源负载设备断掉。

按面板上的开关键（3—5秒），此时UPS处于旁路状态。

依次关闭蓄电池组开关及市电开关。

3.电镜使用氮气时：a)使用时不可将钢瓶内的气体全部用完，一定要保留0.05MPa以上的残留压力。

b)使用时要把钢瓶牢牢固定，以免摇动或翻到。

c)开关气门阀要慢慢地操作，切不可过急地或强行用力把它拧开，防止压力过大造成损伤。

4.电镜使用nXDS10i完全无油干式涡旋泵时：a)注意防止液体侵入；b)注意防止灰尘堆积；c)注意环境不当的温度波动。

5.电镜样品室开关操作：a)样品室内标准气压时可以直接开启；b)样品室内真空状态需要先开启氮气瓶准备通入氮气，在软件内选择卸压，设备允许时进行开仓操作。

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。

它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。

本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。

二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。

当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。

这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。

三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。

首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。

其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。

注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。

2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。

在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。

预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。

3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。

然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。

4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。

主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。

调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。

5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。

选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。

在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。

6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。

首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。

等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。

清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。

Tescan_LMU操作手册(泰思肯 SEM-EDS)

SEM图像参数
基本
选择画面
窗口显示信息
窗口显示信息
样品室观察窗口打开 (红外线照相IR Camera)
制作SEM光学条件（只有制作了条件才能看到像)Load file: 选项---〉Configuration- La
是否自动调节灯丝的中心位置
SEM Main画面
点击“抽真空”
点击高压HV
10.在样品形象画面右击鼠标选择 “最小放大倍率”
10.利用 NanoStage 单击鼠标移动样品位置(上下左右移动）
（上下左右移动）
11。右击鼠标选择自动聚焦 (Auto WD)
12.点击Main 右侧 Infomation bar的 MAG后， Tracball 往左是低倍率，往右是高倍率。 (在高于需要照的倍数下 Focus之后选择需要照的倍数）自动聚焦 (Auto WD)方法 1.自动聚焦 Resoution (扫描模式 )最小放大倍率” 2.自动聚焦 X100~300 3。自动聚焦 X1，000~3,000 4。自动聚焦 X10，000~20,000 5。手动聚焦 X50，000
6.点Log in管理者ID后选择，
密码
7。自动形成 SEM Self test 模式(10秒内自动检查之后，会自动进入 SEM Main画面 )
出现问题时会出现红色的标志
出现的信息会告诉你出现了什么问题但只会出现英文
把有问题的画面复制后放在管理者的文件(file)夹里
随时都可以自检
像散校正（stigmator)试验 N.G
SEM杀毒软件有问题出现时 (connection error of SEM)
需要确认的
Filament 交换
Filament Brocken

TESCAN-VEGA3-操作规程

TESCAN VEGA3 操作规程一．开机1.打开房间总电源。

2.将左侧开关（Main switch）由 OFF 转向ON (此时PC亦自动开机) 见图3.于桌面双击Vega TC在Log in 窗口中选择guest 用户，则可在第二行密码栏中直接输入“回车”键，即可进入该用户。

4.系统进行自我检测硬件及软件(如有问题请通知维护人员)二．样品的更换5. 点选Vacuum窗口上VENT（泄真空）键，放气，显示放空完成即可打开样品室门，将样品放入并用螺丝刀固定好样品台。

点击抽真空，待窗口中Chamber vacuum 和Column vacuum下方进度条变绿后，等几分钟，真空度在表示样品室和镜筒中已经达到可工作真空度，此时可执行下一步骤在窗口Electron Beam 点选HV(加高压)，当Emission和 High Voltage下方进度条出现黄色，即已对灯丝加上高压。

注意：6.当天第一次上高压，需要将不同档位的高压都进行一次Adjustment（调整）Auto Gun Heating（电子枪自动加热）。

进行完毕，然后选择20Kv档位的高压即可进行观察。

此功能为扫描模式的选择,共有分辨率模式（Resolution）,视野模式（Filed）,广角模式（Wild Field）和景深模式（Depth）四种模式。

分辨率模式：主要用来拍摄图片。

视野模式：可用来寻找样品台上的样品。

广角模式：可观察的范围比广角模式还大，可物体有些微变形。

景深模式：可观察落差比较大的样品。

扫描速度的选择。

扫描速度共分为十档，1为扫描速度最快，噪声最大；10为扫描速度最慢，噪声最小。

缩放倍率。

放大倍率可从4倍到100000倍连续可调。

调整工作距离，用于聚焦使用调整像散，固定F11（X轴）调Y, 固定F12（Y轴）调X,此功能为对比度/明暗度的手动调整。

左右推动轨迹球为调整图像对比度，上下推动轨迹球为调整明暗度。

自动调节明亮对比功能，使图片显示最好的效果。

扫描电镜作业指导书

图4.1图5.1图5.2图5.3图5.5图5.6图5.8作业说明5.2开机准备：⑥建议用VEGA3独有的大视野模式寻找样品，点击图5中的Mode或者Info Panel中选择WIDEFIELD就可以转化到大视野模式图9，或者在Mode中选择Continual Wide Field，缩小至低倍直接转化为大视野模式。

图5.95.3测试调节：①样品台升降：在低倍下找到样品并选择感兴趣的区域放大至1kX左右，聚焦清楚，如果工作距离WD&Z比较大时可以在WD&Z的选项中输入目标的工作距离（如图8中蓝框所示），样品台上升过程中实时观察Chamber View中样品台的位置，如有危险马上点击Stop，停止样品台上升。

5.3测试调节：②调节放大倍数：继续放大感兴趣的区域，在图9中点击MAG，然后拨动轨迹球进行放大缩小倍数（向左缩小，向右放大），或者在图5.10红框中双箭头调节放大缩小。

图5.105.3测试调节：③电子束强度选择：点击图9中的BeamIntensity，在Pad中输入目标的数值（0~20），数值越小，电子束强度越小，数值越大，电子束强度越大。

低倍下选择较大的BI值，高倍下选择较小的BI值。

作业说明5.3测试调节：④聚焦:在图9中点击WD,然后拨动轨迹球进行聚焦至样品最清楚为止。

如果在聚焦过程中样品有移动，需要做电子束对中；如果在聚焦过程中样品有拉伸，需要做消像散。

5.3测试调节：⑤电子束对中：点击图9中的Manual Column Centering，图形左右晃动就调节X方向，上下晃动就调节Y方向。

可以先按住F11，滑动轨迹球直至图像在左右没有晃动，只有上下晃动，然后按住F12，滑动轨迹球至上下方向也没有晃动，直至图像在中心放大缩小，没有XY方向的移动。

5.3测试调节：⑥消像散：点击图5中的STG(或者点击右侧Info Panel中的Stigmator)激活消像散功能；消像散过程：先调节WD至图像没有变形，然后分别调节X和Y方向的像散，可以先按住F11，滑动轨迹球直至图像到最清楚的位置，然后按住F12，滑动轨迹球至图像最清楚的位置，接着再聚焦直至图像清楚，消像散需要与聚焦交替进行；作业说明5.3测试调节：⑦亮度/对比度调节：拍照前需要进行亮度调节，可以点击Auto软件自动调节亮度/对比度；也可以点击Brightness/Contrast手动调节亮度/对比度，滑动轨迹球左右移动调节图像对比度（向左对比度减小，向右对比度增大），滑动轨迹球上下移动调节图像亮度（向上亮度增大，向下亮度减小）；5.3测试调节：⑧扫描速度选择：点击图5中选择拍摄图像的扫描速度，或者滑动鼠标中键改变扫描速度。