JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程
国家质量监督检验检疫总局公告2004年第25号——调整国家计量检定规程的公告
国家质量监督检验检疫总局公告2004年第25号——调整国家计量检定规程的公告文章属性•【制定机关】国家质量监督检验检疫总局(已撤销)•【公布日期】2004.03.05•【文号】国家质量监督检验检疫总局公告2004年第25号•【施行日期】2004.03.05•【效力等级】部门规范性文件•【时效性】现行有效•【主题分类】计量正文国家质量监督检验检疫总局公告（2004年第25号）根据《国家计量检定规程管理办法》的有关规定，现对国家计量检定规程进行如下调整：一、废除以下国家计量检定规程1．JJG713-1990 直接电流法测氰仪检定规程2．JJG529-1988 随机振动试验系统检定规程3．JJG792-1992 悬臂梁式横向灵敏度比标准装置检定规程4．JJG44-1986 测微仪检定规程5．JJG85-1984 光学测齿卡尺检定规程6．JJG221-1991 铁路机车和车辆车轮检查器检定规程7．JJG222-1991 铁路机车和车辆车轮踏面样板检定规程8．JJG355-1984 隆浦型交流补偿器试行检定规程二、确认以下国家计量检定规程继续有效1．JJG570-1988 电容式测微仪检定规程2．JJG8-1991水准标尺检定规程3．JJG886-1995 圆锥滚子轴承套圈滚道直径、角度测量仪检定规程4．JJG154-1979 标准毛细管黏度计检定规程5．JJG155-1991 工作毛细管黏度计检定规程6．JJG214-1980 滚动落球黏度计检定规程7．JJG228-1993 静态激光小角度散射光度计检定规程8．JJG342-1993 凝胶色谱仪检定规程9．JJG550-1988 扫描电子显微镜检定规程10．JJG656-1990 硝酸根自动监测仪检定规程11．JJG658-1990 烘干法谷物水分测定仪检定规程12．JJG674-1990 标准海水检定规程13．JJG681-1990 色散型红外分光光度计检定规程14．JJG701-1990 毛细管法熔点测定仪检定规程15．JJG742-1991 恩式黏度计检定规程16．JJG743-1991 流出杯式黏度计检定规程17．JJG758-1991 罗维明比色计检定规程18．JJG761-1991 电极式盐度计检定规程19．JJG800-1993 电位溶出分析仪检定规程20．JJG820-1993 手持糖量（含量）计及折射仪检定规程21．JJG823-1993 离子色谱仪检定规程22．JJG826-1993 二级标准分流式湿度发生器检定规程23．JJG844-1993 回潮率测定仪检定规程三、修改以下国家计量技术规范部分内容1．JJG140-1998 铁路罐车容积检定规程2．JJF1080-2002 -50～+90℃黑体辐射源校准规范具体内容见附件。
电子电气产品中限用的六种物质 铅 镉 汞 六价铬 多溴联苯 多溴二苯醚 浓度的测定程序
13 Y T 011-1996 透射电子显微镜方法通则
MV_RR_CNJ_0011透射电子显微镜方法通则1. 透射电子显微镜方法通则的说明编号JY/T 011—1996名称(中文)透射电子显微镜方法通则(英文) General rules for transmission electron microscopy归口单位国家教育委员会起草单位国家教育委员会主要起草人张大同 王永瑞批准日期 1997年1月22日实施日期 1997年4月1日替代规程号无适用范围本通则规定了透射电子显微镜的常规分析方法，适用于高压型、高分辨型、普通型和简易型透射电子显微镜(以下简称透射电镜)。
主要技术要求 1.定义2. 方法原理3. 仪器4. 样品5. 分析步骤6. 分析结果表述是否分级无检定周期(年)附录数目无出版单位科学技术文献出版社检定用标准物质相关技术文件备注2.透射电子显微镜方法通则的摘要本通则规定了透射电子显微镜的常规分析方法，适用于高压型、高分辨型、普通型和简易型透射电子显微镜(以下简称透射电镜)。
2 定义本标准采用下列定义。
2.1 分辨率Resolution透射电镜能明显分辨两个间距最小的物点和晶面的能力。
2.2 像散 Astigmatism由于电磁透镜磁场的非旋转对称性，使透镜在相互垂直方向上的聚焦能力有差异，造成图像模糊，这称为透镜像散。
2.3 电子衍射 Electron diffraction电子束在晶体中散射，只在满足布拉格定律方向上有相互加强的衍射束出射，这种效应称为电子衍射。
3 方法原理透射电镜成像的决定因素是样品对入射电子的散射，包括弹性散射和非弹性散射两个过程。
薄样品成像时，未经散射的电子构成背景，而像衬度则取决于样品各部分对电子的不同散射特性。
采用不同的实验条件可以得到不同的衬度像。
透射电镜不仅能显示样品显微组织的形貌，而且可以利用电子衍射效应同时获得样品晶体学信息。
透射电镜的基本实验方法是成像方式和衍射方式。
3.1 成像方式电子束通过样品进入物镜，在其像面形成第一电子像，中间镜将该像放大，成像在自己的像面上，投影镜再将中间镜的像放大，在荧光屏上形成最终像，其放大倍率M为各成像透镜放大倍率的乘积：M＝M1·M2…M n(n通常为3～6)3.2 衍射方式如果样品是晶体，它的电子衍射花样呈现在物镜后焦面上，改变中间镜电流，使其对物镜后焦面成像，该面上的电子衍射花样经中间镜和投影镜放大，在荧光屏上获得电子衍射花样的放大像。
电子探针和扫描电镜常用的标准方法-25电子探针和扫描电
电子探针和扫描电镜常用的标准方法电子探针和扫描电镜涉及的标准方法及技术规范共有25个，有电子探针仪检定规程（JJG901－95）、扫描电子显微镜试行检定规程（JJG 550－88）、不同类型样品的定量分析方法、样品及标样的制备方法、微米长度的扫描电镜测量方法及X射线能谱成分定量分析方法等。
各单位计量认证分析检测的项目，必须有相应的标准检测方法。
要根据标准方法进行成分分析，要采用有效的国家标准。
没有国家标准的检测项目，可以采用行业标准或地方标准。
行业标准在相应的国家标准出台后自动作废，地方标准在相应的国家标准或行业标准出台后也自动作废。
企业标准及检测机构按用户要求制定的检测条件和试验方法，只能作参考数据。
当国家标准方法不能满足某些检测要求时，例如“方法通则”，可根据方法通则制定检测实施细则，经检验机构技术负责人批准后，可以实施。
检测报告中必须有检测依据，即检测的标准方法。
所以标准方法在认证过程中和检测过程中都是必须的。
现在电子探针和扫描电镜的标准方法，还不能满足所有样品测试的要求，特别是能谱分析方法，但基本都有通则，可根据通则制定实施细则，以满足一般检测工作的需要。
（1）GB/T 4930-93 电子探针分析标准样品通用技术条件（代替GB4930-85）（2）GB/T 15074-94 电子探针定量分析方法通则（3）GB/T 15075-94 电子探针分析仪的检测方法（4）GB/T 15244-94 玻璃的电子探针分析方法（5）GB/T 15245-94 稀土氧化物的电子探针定量分析方法（6）GB/T 15246-94 硫化物矿物的电子探针定量分析方法（7）GB/T 15247-94 碳钢和低合金钢中碳的电子探针定量分析方法（8）GB/T 14593-93 山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法（9）GB/T 15617-95 硅酸盐矿物的电子探针定量分析方法（10）GB/T 15616-95 金属及合金电子探针定量分析方法1（11）GB/T 16594-94 微米级长度的扫描电镜测量方法（12）GB/T 17359-98 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则 （13）GB/T 17360-98 钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法（14）GB/T 17361-98 沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法（15）GB/T17632-98 黄金饰品的扫描电镜X射线能谱分析方法（16）GB/T17363-98 黄金制品的电子探针定量测定方法（17）GB/T17364-98 黄金制品中金含量的无损定量分析方法（18）GB/T17365-98 金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法（19）GB/T17366-98 矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法（20）GB/T17506-98 船舶黑色金属腐蚀层的电子探针分析方法（21）GB/T17507-98 电子显微镜-X射线能谱分析生物薄标样通用技术条件 （22）GB/T17722-99 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法（23）GB/T17723-99 黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法 此外，还有以下一些其他标准可作参考，如：（24） 分析型扫描电子显微镜检定规程（JJG 011－1996）（25） 纳米级长度的扫描电镜测量方法(国家标准讨论稿)（26） 微束分析－扫描电镜－图像放大倍率校准导则（陈振宇编译）2。
扫描电子显微镜校准方法
扫描电子显微镜校准方法张欣宇;凌珊;封小亮;沈小艳【摘要】扫描电子显微镜是纳米几何尺寸测量的一种重要工具.本文对扫描电镜现有的检定规程进行评述,分析了可用的标准器现状及各参数校准的可行性.结合作者在国内已开展的工作对扫描电镜放大倍数误差、放大倍数重复性、XY方向图像线性失真度计量特性的实际校准方法进行了讨论.对扫描电镜国家计量技术规范的修订工作提出了建议.【期刊名称】《计测技术》【年(卷),期】2015(035)006【总页数】5页(P45-49)【关键词】扫描电子显微镜;标准器;计量特性;校准方法【作者】张欣宇;凌珊;封小亮;沈小艳【作者单位】广东省计量科学研究院,广东广州510405;广东省现代几何与力学计量技术重点实验室,广东广州510405;广东省计量科学研究院,广东广州510405;广东省现代几何与力学计量技术重点实验室,广东广州510405;华南理工大学,广东广州510640;华南理工大学,广东广州510640【正文语种】中文【中图分类】TB92;TN16扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是用于微观形貌观察和显微结构分析的大型分析仪器，在材料科学、生命科学、微电子、半导体工业等领域应用广泛。
由于扫描电镜分析时采用电子束逐点、逐行扫描，扫描图像的质量受扫描电子线路影响，易出现图像放大倍率偏差、XY方向图像畸变以及测长不准等问题[1]。
扫描电镜作为纳米材料和微纳米结构尺寸表征的重要工具，其长度测量值也需要能够溯源，因此有必要对扫描电镜进行校准。
1988年发布的JJG550-88《扫描电子显微镜试行检定规程》规定了对扫描电镜放大倍数示值误差、放大倍数重复性、图像的线性失真度(图像畸变程度)、二次电子像分辨本领的检定要求[2]。
随着科技的不断进步和电子显微技术的飞速发展，尤其是高分辨力场发射扫描电镜的日益普及，该规程提出的技术指标以及部分检定方法已不适合现今的仪器实际需要，但已近三十年，该规程未进行过修订。
11-2 JY T 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则
MV_RR_CNJ_0010分析型扫描电子显微镜方法通则1.分析型扫描电子显微镜方法通则的说明编号JY/T 010—1996名称(中文)分析型扫描电子显微镜方法通则(英文)General rules for analytical scanning electron microscopy归口单位国家教育委员会起草单位国家教育委员会主要起草人林承毅 万德锐批准日期 1997年1月22日实施日期 1997年4月1日替代规程号无适用范围本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。
定义主要技术要求 1.2. 方法原理3. 仪器4. 样品5. 分析步骤6. 分析结果表述是否分级无检定周期(年)附录数目无出版单位科学技术文献出版社检定用标准物质相关技术文件备注2.分析型扫描电子显微镜方法通则的摘要本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。
2 定义2.1二次电子 secondary electron在入射电子的作用下，从固体样品中出射的，能量小于50eV的电子，通常以SE表示。
2.2背散射电子 backscattered electron被固体样品中的原子反射回来的入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子，通常以BSE表示。
它又称为反射电子(Reflected Electron)，以RE表示。
其中弹性背散射电子完全改变了入射电子的运动方向，但基本上没有改变入射电子的能量；而非弹性背散射电子不仅改变了入射电子的运动方向，在不同程度上还损失了部分能量。
2.3 放大倍数 magnification扫描电镜的放大倍数是指其图像的线性放大倍数，以M表示。
如果样品上长度为L s直线上的信息，在显像管上成像在L c 长度上，则放大倍数为M ＝－L L －c s扫描电镜的有效放大倍数与电子束直径有关。
如果样品上电子束编址的单位区域，即像素，小于电子束直径，每次取样传送的信息包含一个以上的像素，前后传送的信息互相部分重叠。
国家计量检定规程目录
182 JJG 536-1998
旋光仪及旋光糖量计
2
183 JJG 537-2006
荧光光度计
5
13
国家检定规程目录
序号
检定规程号
检定规程中文名称
184 JJG 539-1997
数字指示秤
4
185 JJG 540-1988
工作用液体压力计
186 JJG 544-1997
压力控制器
187 JJG 542-1997
滚筒式车速表检验台校准仪
19 JJG 19-1985
量提
20
JJG(交通) 019-1999
车轮动平衡机检定转子
21 JJG 20-2001
标准玻璃量器
22
JJG(交通) 020-1999
23
JJG(交通) 021-1999
转向力角仪、制动踏板力计检定仪 汽车底盘测功机组合检定仪
24 JJG 21-1995
77 JJG 125-2004
直流电桥
4
78 JJG 129-1990
一等标准活塞式压力计
79 JJG 130-2004
工作用玻璃液体温度计
2
80 JJG 131-2004
电接点玻璃水银温度计
81 JJG 139-1999
拉力、压力和万能试验机
82 JJG 141-2000
工作用贵金属热电偶
83 JJG 144-1992
M4-1 型标准热敏电阻电桥
带时间比例、比例积分微分作用的动圈式温度指示调 节仪表
颠倒温度表
9
序号
检定规程号
128 JJG 294-1982
国家检定规程目录
检定规程中文名称 半自动周节检查仪
(整理)电子探针定量分析方法通则
85.
JJG 2060—1990
（中文）pH（酸度）计量器具检定系统
86.
JJG 2061—1990
（中文）基准试剂纯度检定系统
87.
JJG 2063—1990
（中文）水计量器具检定系统
88.
JJG 2064—1990
（中文）气体流量计量器具检定系统
89.
JJG 2083—1990
（中文）光谱辐射亮度、光谱辐射照度计量器具检定系统
44.
（中文）计量标准考核规范
45.
精品文档
JJF1071—2000
（中文）国家计量校准规范编写规则
46.
JJG 050--1996
（中文）石油产品用玻璃液体温度计检定规程
47.
JJG 11-1987
（中文）比色管检定规程
48.
JJG 114-1999
（中文）贝克曼温度计检定规程
49.
JJG 115-1999
精品文档
（中文）亮度计检定规程 （中文）色温表检定规程 （中文）滚动落球粘度计检定规程 （中文）热能表检定规程 (中文)热能表检定规程 (中文)双金属温度计检定规程 （中文）工业铂、铜热电阻检定规程 （中文）一等标准活塞式压力真空计检定规程 （中文）光照度计检定规程 （中文）卧式金属罐容积检定规程 （中文）标准煤气表检定规程 （中文）血压计和血压表检定规程 （中文）数显式百分表检定仪检定规程 （中文）双管水银压力表检定规程 (中文)示波器校准仪检定规程 （中文）海水分析用玻璃量器检定规程 （中文）压力式温度计检定规程 (中文)压力式温度计检定规程 （中文）指示表(百分表和千分表)检定规程 （中文）凝胶色谱仪检定规程 （中文）镍铬-金铁热电偶检定规程 （中文）半导体点温计检定规程 （中文）接地电阻表试行检定规程 （中文）热敏电阻量温计检定规程 （中文）工作用铜-铜镍热电偶检定 （中文）单光束紫外-可见分光光度计检定规程 （中文）电导仪试行检定规程 （中文）总光通量标准荧光灯试行检定规程 （中文）总光通量标准荧光高压汞灯试行检定规程 （中文）船用 pH 计检定规程 （中文）定碳定硫分析仪检定规程 （中文）精密交流电压校准检定规程 （中文）水流型气体热量计试行检定规程 （中文）工作用辐射温度计检定规程 （中文）工作玻璃浮计检定规程 （中文）WD-1 型微电位计检定规程 （中文）交流电桥检定规程 （中文）光学计检定规程 （中文）反射标准色板检定规程 (中文)标准色板检定规程 （中文）单管水银压力表检定规程 （中文）热台法熔点测定仪检定规程 （中文）生化分析仪检定规程 （中文）直流测温电桥检定规程 （中文）万能比例臂电桥检定规程 （中文）高压静电电压表检定规程 （中文）精密露点仪试行检定规程 （中文）完全吸收式电解法微量水分分析仪试行检定规程 （中文）频谱分析仪检定规程 （中文）直流比较仪式电位差计检定规程
(2014_年最新最全的)国家计量检定规程目录_JJG分解
JJG中国国家计量标准目录2014年最新JJG 1~1999 钢直尺检定规程JJG 2~1999 木直（折）尺检定规程JJG 4~1999 钢卷尺检定规程JJG 5~2001 纤维卷尺、测绳检定规程JJG 7~1986 刻度直角钢尺检定规程JJG 8~1991 水标准尺检定规程JJG 10~1987 奥氏吸管检定规程JJG 11~1987 比色管检定规程JJG 12~1987 刻度离心管、刻度试管、血糖管、消化管检定规程JJG 13~1997 模拟指示秤检定规程JJG 14~1997 非自行指示秤检定规程JJG 16~1987 邮用秤试行检定规程JJG 17~2002 杆秤检定规程JJG 18~1990 医用注射器检定规程JJG 19~1985 量提检定规程JJG 20~2001 标准玻璃量器检定规程JJG 21~1995 千分尺检定规程JJG 22~1991 内径千分尺检定规程JJG 24~1986 深度千分尺检定规程JJG 25~1987 螺纹千分尺检定规程JJG 26~2001 杠杆千分尺、杠杆卡规检定规程JJG 28~2000 平晶检定规程JJG 30~2002 通用卡尺检定规程JJG 31~1999 高度卡尺检定规程JJG 33~2002 万能角度尺检定规程JJG 34~1996 指示表（百分表和千分表）检定规程JJG 35~1992 杠杆表检定规程JJG 36~1989 内径表检定规程JJG 37~1992 正弦规检定规程JJG 39~1990 机械式比较仪检定规程JJG 40~2001 X射线探伤机检定规程JJG 41~1990 三针检定规程JJG 42~2002 工作玻璃浮计检定规程JJG 44~1986 测微仪检定器试行检定规程JJG 45~1999 光学计检定规程JJG 46~1976 扭力天平试行检定规程JJG 47~1990 抖晃仪检定规程JJG 48~1990 硅单晶电阻率标准样片检定规程JJG 49~1999 弹簧管式精密压力表和真空表检定规程JJG 50~1996 石油产品用玻璃液体温度计检定规程JJG 51~1983 二、三等标准液柱平衡活塞式压力计、压力真空计试行检定规程JJG 52~1999 弹簧管式一般压力表、压力真空表和真空表检定规程JJG 55~1984 测长仪检定规程JJG 56~2000 工具显微镜检定规程JJG 57~1999 光学数显分度头检定规程JJG 58~1996 半径样板检定规程JJG 59~1990 二、三等标准活塞式压力计检定规程JJG 60~1996 罗纹样板检定规程JJG 61~1980 直角尺检定规程JJG 62~1995 塞尺检定规程JJG 63~1994 刀口形直尺检定规程JJG 64~1990 超低频信号发生器检定规程JJG 65~1986 滚刀检查仪检定规程JJG 66~1990 高频电容损耗标准试行检定规程JJG 67~1985 工作用辐射感温器检定规程JJG 68~1991 工作用隐丝式光学高温计检定规程JJG 69~1990 高频Q标准线圈试行检定规程JJG 70~1993 角度块检定规程JJG 71~1991 三等标准金属线纹尺检定规程JJG 72~1980 线纹比较仪检定规程JJG 73~1994 长度至200mm一、二等标准玻璃线纹尺检定规程JJG 74~1992 自动平衡式显示仪表检定规程JJG 75~1995 标准铂铑10-铂热电偶检定规程JJG 77~1983 干涉显微镜检定规程JJG 78~1982 基节仪检定规程JJG 79~1982 周节仪检定规程JJG 80~1981 正切齿厚规检定规程JJG 81~1981 公法线检查仪检定规程JJG 82~1998 公法线千类分尺检定规程JJG 85~1984 光学测尺卡检定规程JJG 86~2002 标准玻璃浮计检定规程JJG 87~1987 铣刀磨后检查仪检定规程JJG 88~1983 齿轮径向跳动检查仪检定规程JJG 90~1983 齿轮齿向及径向跳动仪检定规程JJG 91~1989 基圆盘式渐开线螺旋线检查仪检定规程JJG 92~1991 万能测齿仪检定规程JJG 93~1981 万能渐开线检查仪检定规程JJG 94~1981 齿轮双面啮合检查仪检定规程JJG 95~1986 齿轮单面啮合检查仪检定规程JJG 96~1986 小模数齿轮双面啮合检查仪检定规程JJG 97~2001 测角仪检定规程JJG 98~1990 非自动天平试行检定规程JJG 99~1990 砝码试行检定规程JJG 100~1994 全站型电子速测仪检定规程JJG 101~1981 接触式干涉仪检定规程JJG 102~1989 表面粗糙度比较样块检定规程JJG 103~1988 合象水平仪检定规程JJG 105~2000 转速表检定规程JJG 106~1981 指针式精密时钟检定规程JJG 107~2002 单机型和集体中管理分散计费型电话计时计费器检定规程JJG 109~1986 百分表式卡规检定规程JJG 110~1979 标准温度灯检定规程JJG 111~1989 体温计检定规程JJG 112~1991 金属洛氏硬度计检定规程JJG 113~1991 标准金属洛氏硬度块检定规程JJG 114~1999 贝克曼温度计检定规程JJG 115~1999 标准铜-铜镍热电偶检定规程JJG 116~1983 平尺检定规程JJG 117~1991 平板检定规程JJG 118~1996 扭簧式比较仪检定规程JJG 119~1984 实验室pH（酸度）计检定规程JJG 120~1990 波形监视器检定规程JJG 121~1990 视频杂波测试仪检定规程JJG 122~1986 DO6型精密有效值电压表检定规程JJG 123~1988 直流电位差计检定规程JJG 124~1993 电流表、电压表、功率表及电阻表检定规程JJG 125~1986 直流电桥检定规程JJG 126~1995 交流电量变换为直流电量电工测量变送器检定规程JJG 127~1986 HP4191A型高频阻抗分析仪试行检定规程JJG 128~1989 二等标准水银温度计检定规程JJG 129~1990 一等标准活塞式压力计检定规程JJG 130~1984 工作用玻璃液体温度计检定规程JJG 131~1991 电接点玻璃水银温度计检定规程JJG 132~1994 组合式角度规检定规程JJG 133~1987 汽车油罐车容量试行检定规程JJG 134~1987 磁电式速度传感器试行检定规程JJG 137~1986 CC-6型小电容测量仪检定规程JJG 138~1986 CCJ-IC型精密电容测量仪检定规程JJG 139~1999 拉力、压力和万能试验机检定规程JJG 140~1998 铁路罐车容积检定规程JJG 141~2000 工作用贵金属热电偶检定规程JJG 142~2002 非自行指示轨道衡检定规程JJG 143~1984 标准镍铬-镍硅热电偶检定规程JJG 144~1992 标准测力仪检定规程JJG 145~1982 摆锤式冲击试验机检定规程JJG 146~1994 量块检定规程JJG 147~1991 标准布氏硬度块检定规程JJG 148~1991 标准维氏硬度块检定规程JJG 149~1991 标准表面洛氏硬度块检定规程JJG 150~1990 金属布氏硬度计检定规程JJG 151~1991 金属维氏硬度计检定规程JJG 152~1991 金属表面洛氏硬度计检定规程JJG 153~1996 标准电池检定规程JJG 154~1979 标准毛细管粘度计检定规程JJG 155~1991 工作毛细管粘度计检定规程JJG 156~1983 架盘天平检定规程JJG 157~1995 非金属压力、压力和万能试验机检定规程JJG 158~1994 标准补偿式微压计检定规程JJG 159~1994 二、三等标准双活塞式压力真空计检定规程JJG 160~1992 标准铂电阻温度计检定规程JJG 161~1994 一等标准水银温度计检定规程JJG 163~1991 电容工作基准检定规程JJG 164~2000 液体流量标准装置检定规程JJG 165~1989 钟罩式气体流量标准装置检定规程JJG 166~1993 直流电阻器检定规程JJG 167~1995 标准铂铑30-铂铑6热电偶检定规程JJG 168~1987 立式金属罐容量试行检定规程JJG 169~1993 互感器效验仪检定规程JJG 170~1994 长度至1000mm一、二等标准金属线纹尺检定规程JJG 171~1985 液体比重天平检定规程JJG 172~1994 倾斜式微压计检定规程JJG 173~1986 XFC-6A型标准信号发生器检定规程JJG 174~1985 XFG-7型高频信号发生器试行检定规程JJG 175~1998 测试电容传声器检定规程JJG 176~1995 声校准器检定规程JJG 177~1993 圆锥量规检定规程JJG 178~1996 可见分光光度计检定规程JJG 179~1990 滤光光电比色计检定规程JJG 180~2002 电子测量仪器内石英晶体震荡器检定规程JJG 181~1989 高稳定石英晶体震荡器检定规程JJG 182~1993 V型砧式千分尺检定规程JJG 183~1992 标准电容器检定规程JJG 184~1993 液化气体铁路罐车容积检定规程JJG 185~1997 500Hz~1MHz测量水听器检定规程JJG 186~1997 动圈式温度（指示/指示位式调节）仪表检定规程JJG 188~2002 声级计检定规程JJG 189~1997 机械式震动试验台检定规程JJG 190~1997 电动式振动试验台检定规程JJG 191~2002 水平仪检定器检定规程JJG 194~1992 方箱检定规程JJG 195~2002 连续累计自动衡器检定规程JJG 196~1990 常用玻璃量器检定规程JJG 197~1979 LCCG-1型高频电感电容测量仪试行检定规程JJG 198~1994 速度式流量计检定规程JJG 199~1996 猝发音信号源检定规程JJG 200~1999 外差式频率计检定规程JJG 201~1999 指示类量具检定仪检定规程JJG 202~1990 自准直仪检定规程JJG 204~1980 气象用通风干湿表检定规程JJG 205~1980 气象用毛发湿度表、毛发湿度计检定规程JJG 207~1992 气象用玻璃液体温度表检定规程JJG 208~1980 气象仪器用机械自记钟检定规程JJG 209~1994 体积管检定规程JJG 210~1980 气象用水银气压表检定规程JJG 211~1989 亮度计检定规程JJG 212~1990 色温表检定规程JJG 213~1990 分布（颜色）温度标准灯检定规程JJG 214~1980 滚动落球粘度计试行检定规程JJG 215~1981 旋转粘度计试行检定规程JJG 218~1991 电感工作基准检定规程JJG 219~1986 铁路规矩尺检定规程JJG 220~1986 铁路轮对内距尺检定规程JJG 221~1991 铁路机车和车辆车轮检查器检定规程JJG 222~1991 铁路机车和车辆车轮踏面样板检定规程JJG 223~1996 海洋电测温度计检定规程JJG 225~2001 热能表检定规程JJG 226~2001 双金属温度计检定规程JJG 227~1980 标准光学高温度计检定规程JJG 228~1993 静态激光小角光散射光度计检定规程JJG 229~1998 工业铂、铜热电阻检定规程JJG 230~1980 XFD-7A型低频信号发生器试行检定规程JJG 233~1996 压电加速度计检定规程JJG 234~1990 动态称量轨道衡检定规程JJG 236~1994 一等标准活塞式压力真空计JJG 237~1995 指针式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 238~1995 数字式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 239~1994 二、三等标准活塞式压力真空计检定规程JJG 240~1981 一等标准液体压力计试行检定规程JJG 241~2002 精密杯型和U型液体压力计检定规程JJG 242~1995 特斯拉计检定规程JJG 243~1993 直角尺检定仪检定规程JJG 245~1981 感应分压器试行检定规程JJG 245~1991 光照度计检定规程JJG 246~1991 发光强度标准灯检定规程JJG 247~1991 总光通量标准白炽灯检定规程JJG 248~1981 工作标准激光小功率计试行检定规程JJG 249~1981 激光小功率计试行检定规程JJG 250~1990 电子电压表检定规程JJG 251~1997 失真度测量仪检定规程JJG 252~1981 RS-2及RS-3型校准接收机检定规程JJG 253~1981 用Д1-2型衰减标准装置检定衰减器检定规程JJG 254~1990 补偿式电压表检定规程JJG 255~1981 三厘米波导热敏电阻座检定规程JJG 256~1981 DYB-2型电子管电压表检定仪检定规程JJG 257~1994 转子流量计检定规程JJG 258~1988 水平螺翼式水表检定规程JJG 259~1989 标准金属量器检定规程JJG 260~1991 显微硬度计检定规程JJG 261~1981 标准压缩式真空计试行检定规程JJG 262~1996 模拟示波器检定规程JJG 264~1981 容重器试行检定规程JJG 266~1996 卧式金属罐容积检定规程JJG 267~1996 标准煤气表检定规程JJG 268~1982 GZZ2-1型转筒式电码探空仪检定规程JJG 269~1981 扭转试验机试行检定规程JJG 270~1995 血压计和血压表检定规程JJG 271~1996 数显式百分表检定仪检定规程JJG 272~1991 空盒气压表和空盒气压计检定规程JJG 273~1991 工作基准砝码检定规程JJG 274~1981 双管水银压力表检定规程JJG 275~1981 多刃刀具角度规试行检定规程JJG 276~1988 高温蠕变、持久强度试验机检定规程JJG 277~1998 标准声源检定规程JJG 278~2002 示波器校准仪检定规程JJG 279~1981 WFG-IB型高频微伏表检定规程JJG 280~1981 M4-1（MTO-1）型标准热敏电阻桥检定规程JJG 281~1981 波导测量线检定规程JJG 282~1981 同轴热电薄膜功率座检定规程JJG 283~1997 正多面棱体检定规程JJG 284~1982 海水分析用玻璃量器检定规程JJG 285~1993 带时间比例、比例积分微分作用的动圈式温度指示调节仪表检定规程JJG 287~1982 气象用双金属温度计检定规程JJG 288~1982 颠倒温度表检定规程JJG 289~1982 表层水温表检定规程JJG 291~1999 覆膜电极溶解氧测定仪检定规程JJG 292~1996 铷原子频率标准检定规程JJG 293~1982 激光中功率计试行检定规程JJG 294~1982 半自动周节检查仪试行检定规程JJG 297~1997 标准硬质合金洛氏（A标尺）硬度块检定规程JJG 298~1995 中频标准震动台（比较法）检定规程JJG 299~1982 工作标准感光仪检定规程JJG 300~2002 小角度检查仪检定规程JJG 301~1982 触针式电动轮廓仪检定规程JJG 302~1983 水泥罐容积检定规程JJG 303~1982 频偏测量仪检定规程JJG 304~1989 邵氏硬度计检定规程JJG 305~1992 光学分度台检定规程JJG 306~1982 24米因瓦基线尺检定规程JJG 307~1988 交流电能表（电度表）检定规程JJG 308~1983 超高频毫伏表检定规程JJG 309~2001 500K~1000K黑体辐射源检定规程JJG 310~2002 压力式温度计检定规程JJG 311~1996 焦距仪检定规程JJG 312~1983 激光能量计检定规程JJG 313~1994 测量用电流互感器检定规程JJG 314~1994 测量用电压互感器检定规程JJG 315~1983 直流数字电压表试行检定规程JJG 316~1983 磁通量具试行检定规程JJG 317~1983 磁通表试行检定规程JJG 318~1983 DO-2型高平电压校准装备质检规定JJG 319~1983 超高频微伏表检定规程JJG 320~1983 波导噪声发生器检定规程JJG 321~1983 串联高频替代法鉴定衰减器检定规程JJG 322~1983 回转衰减器检定规程JJG 323~1983 波导型标准移相器检定规程JJG 324~1983 XG26型超高频功率信号发生器检定规程JJG 325~1983 XFC-1型超高频标准信号发生器检定规程JJG 326~1983 标准转速装置试行检定规程JJG 330~1983 机械式深度温度计检定规程JJG 331~1994 激光干涉比长仪检定规程JJG 332~1983 渐开线样板检定规程JJG 333~1996 预应力钢丝张垃机检定规程JJG 334~1993 金刚石压头检定规程JJG 335~1991 标准显微维氏硬度块检定规程JJG 336~1983 平米等厚干涉仪试行检定规程JJG 338~1997 电荷放大器检定规程JJG 339~1983 XB33型微波信号发生器检定规程JJG 340~1999 1HZ!~1000HZ测量水听器检定规程JJG 341~1994 光栅线位移测量装置检定规程JJG 342~1993 凝胶色谱仪检定规程JJG 343~1996 光滑极限量规定规程JJG 344~1984 镍铬-金铁热点偶检定规程JJG 346~1991 肖氏硬度计检定规程JJG 347~1991 标准肖氏硬度检定规程JJG 348~1984 谐振波长计试行检规程JJG 349~2001 通用计数器检定规程JJG 350~1994 标准套管铂电阻温度计检定规程JJG 351~1996 工作用廉金属热电偶检定规程JJG 352~1984 永磁材料标准样品磁特性试行检定规程JJG 353~1994 兰姆凹陷稳频He-Ne激光器检定规程JJG 354~1984 软磁材料标准样品试行检定规程JJG 355~1984 隆浦型交流补偿器试行检定规程JJG 356~1984 气动浮标式测量仪试行检定规程JJG 357~1984 6460型热电薄膜功率计试行检定规程JJG 358~1984 RR-2A型干扰场强测量仪试行检定规程JJG 359~1984 300MHz频率特性测试仪试行检定规程JJG 360~1984 同轴测量线检定规程JJG 361~1984 DO15型标准脉冲电压表检定规程JJG 362~1984 DO16型超高频微伏电压校准装置试行检定规程JJG 363~1984 半导体点温计检定规程JJG 364~1994 表面温度计检定规程JJG 365~1998 电化学电极气体氧分析器检定规程JJG 366~1986 接地电阻表试行检定规程JJG 367~1984 热敏电阻粮温计检定规程JJG 368~2000 工作用铜-铜镍热电偶检定规程JJG 369~1993 塑料球压痕硬度计检定规程JJG 370~1984 工作振动管液体密度计试行检定规程JJG 371~1992 激光量块干涉仪检定规程JJG 372~1985 称量法储罐液体计量系统试行检定规程JJG 373~1997 四球摩擦试验机检定规程JJG 374~1997 电平振荡器检定规程JJG 375~1996 单光束紫外-可见分光光度计检定规程JJG 376~1985 导电仪试行检定规程JJG 377~1998 放射性活度计检定规程JJG 379~1995 大量程百分表检定规程JJG 380~1995 轴承圆锥滚子直径、角度、直线度测量仪检定规程JJG 381~1986 BX-21型低频数字相位计检定规程JJG 383~2002 光谱辐射亮度标准灯检定规程JJG 384~2002 光谱辐射照度标准灯检定规程JJG 385~1985 总光通亮标准荧光灯试行检定规程JJG 386~1985 总光通亮标准荧光高压汞灯试行检定规程JJG 387~1985 10MHz~18GHz频段衰减器试行检定规程JJG 388~2001 纯音听力计检定规程JJG 389~1985 仿真耳试行检定规程JJG 390~1985 船用pH计检定规程JJG 391~1985 负荷传感器试行检定规程JJG 392~1996 感应式盐度计检定规程JJG 393~1985 r辐射防护仪器试行检定规程JJG 394~1997 超声多普勒胎儿监护仪超声源检定规程JJG 395~1997 定碳定硫分析仪检定规程JJG 396~2002 电感测微仪检定规程JJG 401~1985 球径仪检定规程JJG 402~1985 车装标准金属量器试行检定规程JJG 403~1986 超声波测厚仪检定规程JJG 404~1992 铁路规矩尺检定器检定规程JJG 405~1986 硅钢片（带）标准样品试行检定规程JJG 406~1986 弱磁材料标准样品试行检定规程JJG 407~1986 电工纯铁标准样品试行检定规程JJG 408~2000 齿轮螺旋线样板检定规程JJG 409~1986 射频同轴热电转换标准检定规程JJG 410~1994 精密交流电压校准源检定规程JJG 411~1997 锤击式布氏硬度计检定规程JJG 412~1986 流水型气体热量计试行检定规程JJG 413~1999 皮革面积测量机检定规程JJG 414~1994 光学经纬仪检定规程JJG 415~2002 工作用辐射温度计检定规程JJG 416~1986 铂铱合金管镭源检定规程JJG 417~1986 用152Eu点状r标准校准锗r谱仪检定规程JJG 418~1986 HL18型雷达综合测试仪检定规程JJG 419~1986 电信载频可变衰减器检定规程JJG 420~1986 高频标准零电平表检定规程JJG 421~1986 CJ-2型高频介质损耗测量仪检定规程JJG 422~1986 WD-1型微电位计检定规程JJG 423~1986 RR7型干扰场强测量仪检定规程JJG 424~1986 TO79（TO7A）型衰减标准装置检定规程JJG 425~1994 水准仪检定规程JJG 427~1986 带表千分尺检定规程JJG 429~2000 圆度、圆柱度测量仪检定规程JJG 430~1986 齿轮螺旋线检查仪检定规程JJG 431~1986 DEM6型轻便三杯风向风速表检定规程JJG 432~1986 机车电测远传压力表试行检定规程JJG 433~1986 相比仪检定规程JJG 434~1986 彩色电视副载频校频仪检定规程JJG 435~1986 同轴衰减型中功率座检定规程JJG 436~1986 机车交流电表检定规程JJG 437~1989 调制度测量仪检定规程JJG 438~1986 XG-2型标准信号发生器检定规程JJG 439~1986 中频精密截止式衰减器检定规程JJG 440~1986 工频单项相位表检定规程JJG 441~1986 交流电桥检定规程JJG 442~1986 UHF 电视扫频仪试行检定规程JJG 443~1998 燃油加油机检定规程JJG 444~1986 标准轨道衡检定规程JJG 445~1986 直流标准电压源检定规程JJG 446~1986 931B型有效值差分电压表检定规程JJG 447~1986 1103-（1~4）型同轴功率传递标准座试行检定规程JJG 448~1993 瓦级超声功率计检定规程JJG 449~2001 倍频程和1/3倍频程滤波器检定规程JJG 450~1986 果品硬度计试行检定规程JJG 451~1986 储罐液体称量仪标准器试行检定规程JJG 452~1986 黑白标准密度片试行检定规程JJG 453~2002 标准色板检定规程JJG 454~1986 硬度计球压头检定规程JJG 455~2000 工作测力仪检定规程JJG 456~1992 直接辐射表检定规程JJG 457~1986 单管水银压力表检定规程JJG 458~1996 总辐射表检定规程JJG 459~1986 辐射电流表检定规程JJG 461~1986 靶式流量变送器检定规程JJG 462~1986 二等标准电离真空计试行检定规程JJG 463~1996 热台法熔点测定仪检定规程JJG 464~1996 生化分析仪检定规程JJG 465~1986 球径仪样板试行检定规程JJG 466~1993 气动指针式测量仪检定规程JJG 467~1986 孔径测量仪试行检定规程JJG 468~1986 机车里程表试行检定规程JJG 469~1986 机车速度表试行检定规程JJG 471~1986 轴承内外径检查仪检定规程JJG 472~1997 多齿分度台检定规程JJG 473~1995 套管尺检定规程JJG 474~1986 木材万能试验机检定规程JJG 475~1986 电子式万能试验机检定规程JJG 476~2001 抗折试验机检定规程JJG 478~1996 a、β和r表面污染仪检定规程JJG 479~1986 X辐射防护仪试行检定规程JJG 480~1987 X射线测厚仪检定规程JJG 482~1987 标准电容传声器（自由场互易法）检定规程JJG 483~1987 杂音计检定规程JJG 484~1987 直流测温电桥检定规程JJG 485~1987 万能比例臂电桥检定规程JJG 486~1987 微调电阻箱试行检定规程JJG 487~1987 三次平衡双电桥检定规程JJG 488~1998 校表仪检定规程JJG 490~2002 脉冲信号发生器检定规程JJG 491~1987 1GHz取样示波器检定规程JJG 492~1987 铯束原子频率标准检定规程JJG 493~1987 软雌材料音频磁特性标准样品（交流磁化曲线及幅值磁导率）检定规程JJG 494~1987 高压静电电压表检定规程JJG 495~1987 直流磁电系检流计检定规程JJG 496~1996 工频高压分电器检定规程JJG 497~2000 碰撞试验台检定规程JJG 499~1987 精密露点仪试行检定规程JJG 500~1987 完全吸收式电解法微量水分分析仪试行检定规程JJG 501~2000 频谱分析仪检定规程JJG 502~1987 频率合成器检定规程JJG 503~1987 PB-2型十进频率仪检定规程JJG 504~1987 CLX-2型和CLX—20A/20B型大接头平板型同轴测量线检定规程JJG 505~1987 直流比较仪式电位差计检定规程JJG 506~1987 直流比较仪式电桥检定规程JJG 507~1987 精密步进电阻式衰减器检定规程JJG 508~1987 四探针电阻率测试仪检定规程JJG 509~1987 PP27数字工频频率计试行检定规程JJG 511~1987 微弱光照度计检定规程JJG 512~2002 白度计检定规程JJG 513~1987 直读式验电器型个人剂量计试行检定规程JJG 514~1987 微量吸管试行检定规程JJG 515~1987 轻便磁感风向风速表试行检定规程JJG 516~1987 BG2920（HQ2）型数字式晶体三级管综合（直流）参数测试仪检定规程JJG 517~1998 出租汽车计价器检定规程JJG 518~1998 皮托管检定规程JJG 519~1988 铁路支距尺检定规程JJG 520~2002 粉尘采样器检定规程JJG 521~1988 环境监测用X、r辐射空气吸收剂量率仪检定规程JJG 523~1988 200型万能比较仪检定规程JJG 524~1988 雨量器和雨量量筒检定规程JJG 525~2002 斜块式测微仪检定器检定规程JJG 527~1988 定角式雷达测速仪试行检定规程JJG 528~1988 手握式雷达测速仪试行检定规程JJG 529~1988 随机振动试验系统试行检定规程JJG 530~1988 低频移相器试行检定规程JJG 531~1988 直流电阻分压箱检定规程JJG 532~1988 三厘米波导标准负载检定规程JJG 533~1988 标准模拟应变量校准器试行检定规程JJG 534~1988 “1107—1~1107—5”系列波导射频功率传递标准检定规程JJG 535~1988 氧化锆氧分析器试行检定规程JJG 536~1988 旋光仪及旋光糖量计检定规程JJG 537~1998 荧光分光光度计试行检定规程JJG 538~1988 荧光光度计试行检定规程JJG 539~1997 数字批示秤检定规程JJG 540~1988 工作用液体压力计试行检定规程JJG 541~1988 落体式冲击试验台试行检定规程JJG 542~1997 金—铂热电偶检定规程JJG 543~1996 心脑电图机检定规程JJG 544~1997 压力控制器检定规程JJG 545~1996 频标比对器检定规程JJG 546~1997 直流比校电桥检定规程JJG 547~1988 尘埃粒子计数器试行检定规程JJG 548~1988 冷原子荧光测汞仪检定规程JJG 549~1998 方波极谱仪试行检定规程JJG 550~1988 扫描电子显微镜试行检定规程JJG 551~1988 二氧化硫分析仪检定规程JJG 552~1988 血细胞计数板试行检定规程JJG 553~1988 血液气体酸碱分析仪检定规程JJG 554~1997 彩色亮度计检定规程JJG 555~1996 非自动秤通用检定规程JJG 556~1988 轴向加荷疲劳试验机检定规程JJG 557~1988 标准扭矩检定规程JJG 559~1988 车速里程表试行检定规程JJG 560~1988 悬臂式电子皮带秤试行检定规程JJG 561~1998 RJ~3型近区电场测量仪试行检定规程JJG 562~1988 DCHY~801型近区电场测量仪试行检定规程JJG 563~1988 高压电容电桥检定规程JJG 564~2002 重力式自动装料衡器检定规程JJG 566~1996 电机线圈游标卡尺检定规程JJG 567~1989 检衡车检定规程JJG 568~1988 固定式辙叉磨耗量尺检定规程JJG 569~1998 最大需量电能表（电度表）试行检定规程JJG 570~1988 电容式测微仪试行检定规程JJG 571~1988 测量显微镜检定规程JJG 572~1998 带电动PID调节电子自动平衡记录仪检定规程JJG 573~1988 膜盒压力表试行检定规程JJG 574~1988 压陷式眼压计检定规程JJG 575~1994* 锗γ谱仪体源活度测量装置检定规程JJG 576~1988 工作用钨铼热电偶检定规程JJG 577~1994 膜式煤气表检定规程JJG 579~1998 验光镜片箱检定规程JJG 580~1996 焦度计检定规程JJG 581~1999 医用激光源检定规程JJG 584~1989 售粮专用秤试行检定规程JJG 585~1989 高压水表检定规程JJG 586~1989 皂膜气体流量标准装置试行检定规程JJG 587~1997 浮子式验潮仪检定规程JJG 588~1996 冲击峰值电压表检定规程JJG 589~2001 外照射治疗辐射源检定规程JJG 591~1989 γ射线辐射源（辐射加工用）检定规程JJG 593~1989* 个人监测用X、γ辐射释光剂量测量装置检定规程JJG 594~1989 袖珍式橡胶国际硬度计检定规程JJG 595~2002 测色色差计检定规程JJG 596~1999 电子式电能表检定规程JJG 597~1989 交流电能表检定装置检定规程JJG 598~1989 直流数字电流表试行检定规程JJG 599~1989 低失真信号发生器检定规程JJG 600~1989 存贮示波器检定规程JJG 601~1989 电子毫秒仪检定仪和秒表检定仪试行检定规程JJG 602~1996 低频信号发生器检定规程JJG 603~1989 指针式频率表试行检定规程JJG 604~1989 铁路轮对内径尺专用检具检定规程JJG 605~1989 铁路支距尺检定器检定规程JJG 607~1989 声频信号发生器检定规程JJG 609~1989* 弹簧拉压试验机检定规程JJG 610~1989 巴克尔硬度计检定规程JJG 611~1989 RR3A型干扰场强测量仪检定规程JJG 612~1989 虹吸式雨量计检定规程JJG 613~1989 电接风向速仪检定规程JJG 614~1989 二等标准水银气压表试行检定规程JJG 615~1989* 售油器检定规程JJG 617~1996 数字温度批示调节仪检定规程JJG 618~1999 高精密玻璃水银温度计检定规程JJG 619~1989 P．V．T．t法气体流量标准装置试行检定规程JJG 620~1994 监界流流量计检定规程JJG 621~1996 液压式张拉机检定规程JJG 622~1997 绝缘电阻表（兆欧表）检定规程JJG 623~1989 电阻应变仪试行检定规程JJG 624~1989 压力传感器动态校准试行检定规程JJG 625~2001* 阿贝折射仪检定规程JJG 626~1989 球轴承向游隙测量仪检定规程JJG 627~1989 印刷海流计检定规程JJG 628~1989 SLC9型直读海流计检定规程JJG 629~1989 多晶X射线衍射仪检定规程JJG 630~1989 火焰光度计检定规程JJG 632~1989 动态力传感器检定规程JJG 633~1990 气体腰轮流量计试行检定规程JJG 635~1999 一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器检定规程JJG 637~1990* 高频标准振动台试行检定规程JJG 638~1990 液压式振动试验台检定规程JJG 639~1998 医用超声诊断仪超声源检定规程JJG 640~1994 差压式流量计检定规程JJG 641~1990 液化石油气汽车槽车容量试行检定规程JJG 642~1990 球形金属罐容量试行检定规程JJG 643~1994 标准表法流量标准装置检定规程JJG 644~1990 振动位移传感器检定规程JJG 645~1989 三型钢轨探伤仪检定规程JJG 646~1990 定量、可调移液器试行检定规程JJG 647~1990 罐和桶试行检定规程JJG 648~1996 非连续累计自动衡器检定规程JJG 649~1990 数字称重显示器试行检定规程JJG 650~1990 电子皮带秤试行检定规程JJG 652~1990 旋转纯弯曲疲劳试验机检定规程JJG 653~1990 测功机检定规程JJG 654~1990 超声硬度计检定规程JJG 655~1990 噪声剂量计检定规程JJG 656~1990 硝酸根自动监测仪检定规程JJG 657~1990 呼出气体酒精含量探测器检定规程JJG 658~1990 烘干法谷物水分测定仪检定规程JJG 660~1990 图形面积量算仪检定规程JJG 661~1990 平面等倾干涉仪检定规程JJG 662~1990 热磁式氧分析器检定规程JJG 663~1990 热导式氢分析器检定规程JJG 665~1990 毫瓦级超声功率计检定规程JJG 666~1990 定负荷橡胶国际硬度计检定规程JJG 667~1997 液体容积式流量计检定规程JJG 668~1997 工作用铂铑10-铂/铂铑-13铂短型热电偶检定规程JJG 669~1990 称重传感器检定规程JJG 670~1990 柔性周径尺检定规程JJG 671~1990 丝杠动态测量仪检定规程JJG 672~2001 氧弹热量计检定规程JJG 674~1990 标准海水检定规程JJG 676~2000 工作测振仪检定规程JJG 677~1996 光干涉式甲烷测定器检定规程JJG 678~1996 催化燃烧式甲烷测定器检定规程JJG 679~1990 冷原子吸收测汞仪检定规程JJG 680~1990 烟尘测试仪检定规程JJG 681~1990 色散型红外分光光度计检定规程。
透射电子显微镜校准规范(编制说明)
《透射电子显微镜校准规范》编制说明一、任务来源及规程起草过程透射电子显微镜（简称“透射电镜”）是把经加速和聚集的电子束投射到具有薄区的试样上，电子束穿透试样并与之作用，形成明暗不同的影像或衍射花样，并在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。
透射电镜的分辨率极高，能够同时获得样品的显微形貌、尺寸、化学成分、晶体结构等信息，在纳米材料、生物医药、新能源等领域中被广泛应用。
由于磁透镜和电子枪的电流随时间的变化等因素使得透射电镜的测量长度值会产生误差，有些值的误差可达到10%，影响测量结果准确性。
因此，迫切需要建立透射电镜的量传体系，为纳米技术领域的精准测量提供技术保障。
根据国家市场监督管理总局计量函【2019】42号《市场监管总局计量司关于国家计量技术规范制定、修订及宣贯计划有关事项通知》，受全国几何量长度计量技术委员会的委托，由中国计量科学研究院和上海市计量测试技术研究院负责制定《透射电子显微镜校准规范》技术规范的工作。
二、制定规范主要参考的文件和依据本规范主要依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》进行编制，JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、JJF 1094-2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次制定，主要技术内容和计量特性参考了JJG（教委）011-1996《透射电子显微镜检定规程》和GB/T 34002-2017《微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法》的部分内容。
三、规范的主要内容及主要技术关键规范的主要内容：1、按照JJF 1071—2010《国家计量校准规范编写规则》的要求制定透射电子显微镜校准规范，在内容和格式上与JJF 1071—2010保持一致。
校准规范的具体内容有范围、应用文件、术语和定义、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果的表达、复校时间间隔等。
(2014_年最新最全的)国家计量检定规程目录_JJGDOC
JJG中国国家计量标准目录2014年最新JJG 1~1999 钢直尺检定规程JJG 2~1999 木直（折）尺检定规程JJG 4~1999 钢卷尺检定规程JJG 5~2001 纤维卷尺、测绳检定规程JJG 7~1986 刻度直角钢尺检定规程JJG 8~1991 水标准尺检定规程JJG 10~1987 奥氏吸管检定规程JJG 11~1987 比色管检定规程JJG 12~1987 刻度离心管、刻度试管、血糖管、消化管检定规程JJG 13~1997 模拟指示秤检定规程JJG 14~1997 非自行指示秤检定规程JJG 16~1987 邮用秤试行检定规程JJG 17~2002 杆秤检定规程JJG 18~1990 医用注射器检定规程JJG 19~1985 量提检定规程JJG 20~2001 标准玻璃量器检定规程JJG 21~1995 千分尺检定规程JJG 22~1991 内径千分尺检定规程JJG 24~1986 深度千分尺检定规程JJG 25~1987 螺纹千分尺检定规程JJG 26~2001 杠杆千分尺、杠杆卡规检定规程JJG 28~2000 平晶检定规程JJG 30~2002 通用卡尺检定规程JJG 31~1999 高度卡尺检定规程JJG 33~2002 万能角度尺检定规程JJG 34~1996 指示表（百分表和千分表）检定规程JJG 35~1992 杠杆表检定规程JJG 36~1989 内径表检定规程JJG 37~1992 正弦规检定规程JJG 39~1990 机械式比较仪检定规程JJG 40~2001 X射线探伤机检定规程JJG 41~1990 三针检定规程JJG 42~2002 工作玻璃浮计检定规程JJG 44~1986 测微仪检定器试行检定规程JJG 45~1999 光学计检定规程JJG 46~1976 扭力天平试行检定规程JJG 47~1990 抖晃仪检定规程JJG 48~1990 硅单晶电阻率标准样片检定规程JJG 49~1999 弹簧管式精密压力表和真空表检定规程JJG 50~1996 石油产品用玻璃液体温度计检定规程JJG 51~1983 二、三等标准液柱平衡活塞式压力计、压力真空计试行检定规程JJG 52~1999 弹簧管式一般压力表、压力真空表和真空表检定规程JJG 55~1984 测长仪检定规程JJG 56~2000 工具显微镜检定规程JJG 57~1999 光学数显分度头检定规程JJG 58~1996 半径样板检定规程JJG 59~1990 二、三等标准活塞式压力计检定规程JJG 60~1996 罗纹样板检定规程JJG 61~1980 直角尺检定规程JJG 62~1995 塞尺检定规程JJG 63~1994 刀口形直尺检定规程JJG 64~1990 超低频信号发生器检定规程JJG 65~1986 滚刀检查仪检定规程JJG 66~1990 高频电容损耗标准试行检定规程JJG 67~1985 工作用辐射感温器检定规程JJG 68~1991 工作用隐丝式光学高温计检定规程JJG 69~1990 高频Q标准线圈试行检定规程JJG 70~1993 角度块检定规程JJG 71~1991 三等标准金属线纹尺检定规程JJG 72~1980 线纹比较仪检定规程JJG 73~1994 长度至200mm一、二等标准玻璃线纹尺检定规程JJG 74~1992 自动平衡式显示仪表检定规程JJG 75~1995 标准铂铑10-铂热电偶检定规程JJG 77~1983 干涉显微镜检定规程JJG 78~1982 基节仪检定规程JJG 79~1982 周节仪检定规程JJG 80~1981 正切齿厚规检定规程JJG 81~1981 公法线检查仪检定规程JJG 82~1998 公法线千类分尺检定规程JJG 85~1984 光学测尺卡检定规程JJG 86~2002 标准玻璃浮计检定规程JJG 87~1987 铣刀磨后检查仪检定规程JJG 88~1983 齿轮径向跳动检查仪检定规程JJG 90~1983 齿轮齿向及径向跳动仪检定规程JJG 91~1989 基圆盘式渐开线螺旋线检查仪检定规程JJG 92~1991 万能测齿仪检定规程JJG 93~1981 万能渐开线检查仪检定规程JJG 94~1981 齿轮双面啮合检查仪检定规程JJG 95~1986 齿轮单面啮合检查仪检定规程JJG 96~1986 小模数齿轮双面啮合检查仪检定规程JJG 97~2001 测角仪检定规程JJG 98~1990 非自动天平试行检定规程JJG 99~1990 砝码试行检定规程JJG 100~1994 全站型电子速测仪检定规程JJG 101~1981 接触式干涉仪检定规程JJG 102~1989 表面粗糙度比较样块检定规程JJG 103~1988 合象水平仪检定规程JJG 105~2000 转速表检定规程JJG 106~1981 指针式精密时钟检定规程JJG 107~2002 单机型和集体中管理分散计费型电话计时计费器检定规程JJG 109~1986 百分表式卡规检定规程JJG 110~1979 标准温度灯检定规程JJG 111~1989 体温计检定规程JJG 112~1991 金属洛氏硬度计检定规程JJG 113~1991 标准金属洛氏硬度块检定规程JJG 114~1999 贝克曼温度计检定规程JJG 115~1999 标准铜-铜镍热电偶检定规程JJG 116~1983 平尺检定规程JJG 117~1991 平板检定规程JJG 118~1996 扭簧式比较仪检定规程JJG 119~1984 实验室pH（酸度）计检定规程JJG 120~1990 波形监视器检定规程JJG 121~1990 视频杂波测试仪检定规程JJG 122~1986 DO6型精密有效值电压表检定规程JJG 123~1988 直流电位差计检定规程JJG 124~1993 电流表、电压表、功率表及电阻表检定规程JJG 125~1986 直流电桥检定规程JJG 126~1995 交流电量变换为直流电量电工测量变送器检定规程JJG 127~1986 HP4191A型高频阻抗分析仪试行检定规程JJG 128~1989 二等标准水银温度计检定规程JJG 129~1990 一等标准活塞式压力计检定规程JJG 130~1984 工作用玻璃液体温度计检定规程JJG 131~1991 电接点玻璃水银温度计检定规程JJG 132~1994 组合式角度规检定规程JJG 133~1987 汽车油罐车容量试行检定规程JJG 134~1987 磁电式速度传感器试行检定规程JJG 137~1986 CC-6型小电容测量仪检定规程JJG 138~1986 CCJ-IC型精密电容测量仪检定规程JJG 139~1999 拉力、压力和万能试验机检定规程JJG 140~1998 铁路罐车容积检定规程JJG 141~2000 工作用贵金属热电偶检定规程JJG 142~2002 非自行指示轨道衡检定规程JJG 143~1984 标准镍铬-镍硅热电偶检定规程JJG 144~1992 标准测力仪检定规程JJG 145~1982 摆锤式冲击试验机检定规程JJG 146~1994 量块检定规程JJG 147~1991 标准布氏硬度块检定规程JJG 148~1991 标准维氏硬度块检定规程JJG 149~1991 标准表面洛氏硬度块检定规程JJG 150~1990 金属布氏硬度计检定规程JJG 151~1991 金属维氏硬度计检定规程JJG 152~1991 金属表面洛氏硬度计检定规程JJG 153~1996 标准电池检定规程JJG 154~1979 标准毛细管粘度计检定规程JJG 155~1991 工作毛细管粘度计检定规程JJG 156~1983 架盘天平检定规程JJG 157~1995 非金属压力、压力和万能试验机检定规程JJG 158~1994 标准补偿式微压计检定规程JJG 159~1994 二、三等标准双活塞式压力真空计检定规程JJG 160~1992 标准铂电阻温度计检定规程JJG 161~1994 一等标准水银温度计检定规程JJG 163~1991 电容工作基准检定规程JJG 164~2000 液体流量标准装置检定规程JJG 165~1989 钟罩式气体流量标准装置检定规程JJG 166~1993 直流电阻器检定规程JJG 167~1995 标准铂铑30-铂铑6热电偶检定规程JJG 168~1987 立式金属罐容量试行检定规程JJG 169~1993 互感器效验仪检定规程JJG 170~1994 长度至1000mm一、二等标准金属线纹尺检定规程JJG 171~1985 液体比重天平检定规程JJG 172~1994 倾斜式微压计检定规程JJG 173~1986 XFC-6A型标准信号发生器检定规程JJG 174~1985 XFG-7型高频信号发生器试行检定规程JJG 175~1998 测试电容传声器检定规程JJG 176~1995 声校准器检定规程JJG 177~1993 圆锥量规检定规程JJG 178~1996 可见分光光度计检定规程JJG 179~1990 滤光光电比色计检定规程JJG 180~2002 电子测量仪器内石英晶体震荡器检定规程JJG 181~1989 高稳定石英晶体震荡器检定规程JJG 182~1993 V型砧式千分尺检定规程JJG 183~1992 标准电容器检定规程JJG 184~1993 液化气体铁路罐车容积检定规程JJG 185~1997 500Hz~1MHz测量水听器检定规程JJG 186~1997 动圈式温度（指示/指示位式调节）仪表检定规程JJG 188~2002 声级计检定规程JJG 189~1997 机械式震动试验台检定规程JJG 190~1997 电动式振动试验台检定规程JJG 191~2002 水平仪检定器检定规程JJG 194~1992 方箱检定规程JJG 195~2002 连续累计自动衡器检定规程JJG 196~1990 常用玻璃量器检定规程JJG 197~1979 LCCG-1型高频电感电容测量仪试行检定规程JJG 198~1994 速度式流量计检定规程JJG 199~1996 猝发音信号源检定规程JJG 200~1999 外差式频率计检定规程JJG 201~1999 指示类量具检定仪检定规程JJG 202~1990 自准直仪检定规程JJG 204~1980 气象用通风干湿表检定规程JJG 205~1980 气象用毛发湿度表、毛发湿度计检定规程JJG 207~1992 气象用玻璃液体温度表检定规程JJG 208~1980 气象仪器用机械自记钟检定规程JJG 209~1994 体积管检定规程JJG 210~1980 气象用水银气压表检定规程JJG 211~1989 亮度计检定规程JJG 212~1990 色温表检定规程JJG 213~1990 分布（颜色）温度标准灯检定规程JJG 214~1980 滚动落球粘度计试行检定规程JJG 215~1981 旋转粘度计试行检定规程JJG 218~1991 电感工作基准检定规程JJG 219~1986 铁路规矩尺检定规程JJG 220~1986 铁路轮对内距尺检定规程JJG 221~1991 铁路机车和车辆车轮检查器检定规程JJG 222~1991 铁路机车和车辆车轮踏面样板检定规程JJG 223~1996 海洋电测温度计检定规程JJG 225~2001 热能表检定规程JJG 226~2001 双金属温度计检定规程JJG 227~1980 标准光学高温度计检定规程JJG 228~1993 静态激光小角光散射光度计检定规程JJG 229~1998 工业铂、铜热电阻检定规程JJG 230~1980 XFD-7A型低频信号发生器试行检定规程JJG 233~1996 压电加速度计检定规程JJG 234~1990 动态称量轨道衡检定规程JJG 236~1994 一等标准活塞式压力真空计JJG 237~1995 指针式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 238~1995 数字式时间间隔测量仪试行检定规程JJG 239~1994 二、三等标准活塞式压力真空计检定规程JJG 240~1981 一等标准液体压力计试行检定规程JJG 241~2002 精密杯型和U型液体压力计检定规程JJG 242~1995 特斯拉计检定规程JJG 243~1993 直角尺检定仪检定规程JJG 245~1981 感应分压器试行检定规程JJG 245~1991 光照度计检定规程JJG 246~1991 发光强度标准灯检定规程JJG 247~1991 总光通量标准白炽灯检定规程JJG 248~1981 工作标准激光小功率计试行检定规程JJG 249~1981 激光小功率计试行检定规程JJG 250~1990 电子电压表检定规程JJG 251~1997 失真度测量仪检定规程JJG 252~1981 RS-2及RS-3型校准接收机检定规程JJG 253~1981 用Д1-2型衰减标准装置检定衰减器检定规程JJG 254~1990 补偿式电压表检定规程JJG 255~1981 三厘米波导热敏电阻座检定规程JJG 256~1981 DYB-2型电子管电压表检定仪检定规程JJG 257~1994 转子流量计检定规程JJG 258~1988 水平螺翼式水表检定规程JJG 259~1989 标准金属量器检定规程JJG 260~1991 显微硬度计检定规程JJG 261~1981 标准压缩式真空计试行检定规程JJG 262~1996 模拟示波器检定规程JJG 264~1981 容重器试行检定规程JJG 266~1996 卧式金属罐容积检定规程JJG 267~1996 标准煤气表检定规程JJG 268~1982 GZZ2-1型转筒式电码探空仪检定规程JJG 269~1981 扭转试验机试行检定规程JJG 270~1995 血压计和血压表检定规程JJG 271~1996 数显式百分表检定仪检定规程JJG 272~1991 空盒气压表和空盒气压计检定规程JJG 273~1991 工作基准砝码检定规程JJG 274~1981 双管水银压力表检定规程JJG 275~1981 多刃刀具角度规试行检定规程JJG 276~1988 高温蠕变、持久强度试验机检定规程JJG 277~1998 标准声源检定规程JJG 278~2002 示波器校准仪检定规程JJG 279~1981 WFG-IB型高频微伏表检定规程JJG 280~1981 M4-1（MTO-1）型标准热敏电阻桥检定规程JJG 281~1981 波导测量线检定规程JJG 282~1981 同轴热电薄膜功率座检定规程JJG 283~1997 正多面棱体检定规程JJG 284~1982 海水分析用玻璃量器检定规程JJG 285~1993 带时间比例、比例积分微分作用的动圈式温度指示调节仪表检定规程JJG 287~1982 气象用双金属温度计检定规程JJG 288~1982 颠倒温度表检定规程JJG 289~1982 表层水温表检定规程JJG 291~1999 覆膜电极溶解氧测定仪检定规程JJG 292~1996 铷原子频率标准检定规程JJG 293~1982 激光中功率计试行检定规程JJG 294~1982 半自动周节检查仪试行检定规程JJG 297~1997 标准硬质合金洛氏（A标尺）硬度块检定规程JJG 298~1995 中频标准震动台（比较法）检定规程JJG 299~1982 工作标准感光仪检定规程JJG 300~2002 小角度检查仪检定规程JJG 301~1982 触针式电动轮廓仪检定规程JJG 302~1983 水泥罐容积检定规程JJG 303~1982 频偏测量仪检定规程JJG 304~1989 邵氏硬度计检定规程JJG 305~1992 光学分度台检定规程JJG 306~1982 24米因瓦基线尺检定规程JJG 307~1988 交流电能表（电度表）检定规程JJG 308~1983 超高频毫伏表检定规程JJG 309~2001 500K~1000K黑体辐射源检定规程JJG 310~2002 压力式温度计检定规程JJG 311~1996 焦距仪检定规程JJG 312~1983 激光能量计检定规程JJG 313~1994 测量用电流互感器检定规程JJG 314~1994 测量用电压互感器检定规程JJG 315~1983 直流数字电压表试行检定规程JJG 316~1983 磁通量具试行检定规程JJG 317~1983 磁通表试行检定规程JJG 318~1983 DO-2型高平电压校准装备质检规定JJG 319~1983 超高频微伏表检定规程JJG 320~1983 波导噪声发生器检定规程JJG 321~1983 串联高频替代法鉴定衰减器检定规程JJG 322~1983 回转衰减器检定规程JJG 323~1983 波导型标准移相器检定规程JJG 324~1983 XG26型超高频功率信号发生器检定规程JJG 325~1983 XFC-1型超高频标准信号发生器检定规程JJG 326~1983 标准转速装置试行检定规程JJG 330~1983 机械式深度温度计检定规程JJG 331~1994 激光干涉比长仪检定规程JJG 332~1983 渐开线样板检定规程JJG 333~1996 预应力钢丝张垃机检定规程JJG 334~1993 金刚石压头检定规程JJG 335~1991 标准显微维氏硬度块检定规程JJG 336~1983 平米等厚干涉仪试行检定规程JJG 338~1997 电荷放大器检定规程JJG 339~1983 XB33型微波信号发生器检定规程JJG 340~1999 1HZ!~1000HZ测量水听器检定规程JJG 341~1994 光栅线位移测量装置检定规程JJG 342~1993 凝胶色谱仪检定规程JJG 343~1996 光滑极限量规定规程JJG 344~1984 镍铬-金铁热点偶检定规程JJG 346~1991 肖氏硬度计检定规程JJG 347~1991 标准肖氏硬度检定规程JJG 348~1984 谐振波长计试行检规程JJG 349~2001 通用计数器检定规程JJG 350~1994 标准套管铂电阻温度计检定规程JJG 351~1996 工作用廉金属热电偶检定规程JJG 352~1984 永磁材料标准样品磁特性试行检定规程JJG 353~1994 兰姆凹陷稳频He-Ne激光器检定规程JJG 354~1984 软磁材料标准样品试行检定规程JJG 355~1984 隆浦型交流补偿器试行检定规程JJG 356~1984 气动浮标式测量仪试行检定规程JJG 357~1984 6460型热电薄膜功率计试行检定规程JJG 358~1984 RR-2A型干扰场强测量仪试行检定规程JJG 359~1984 300MHz频率特性测试仪试行检定规程JJG 360~1984 同轴测量线检定规程JJG 361~1984 DO15型标准脉冲电压表检定规程JJG 362~1984 DO16型超高频微伏电压校准装置试行检定规程JJG 363~1984 半导体点温计检定规程JJG 364~1994 表面温度计检定规程JJG 365~1998 电化学电极气体氧分析器检定规程JJG 366~1986 接地电阻表试行检定规程JJG 367~1984 热敏电阻粮温计检定规程JJG 368~2000 工作用铜-铜镍热电偶检定规程JJG 369~1993 塑料球压痕硬度计检定规程JJG 370~1984 工作振动管液体密度计试行检定规程JJG 371~1992 激光量块干涉仪检定规程JJG 372~1985 称量法储罐液体计量系统试行检定规程JJG 373~1997 四球摩擦试验机检定规程JJG 374~1997 电平振荡器检定规程JJG 375~1996 单光束紫外-可见分光光度计检定规程JJG 376~1985 导电仪试行检定规程JJG 377~1998 放射性活度计检定规程JJG 379~1995 大量程百分表检定规程JJG 380~1995 轴承圆锥滚子直径、角度、直线度测量仪检定规程JJG 381~1986 BX-21型低频数字相位计检定规程JJG 383~2002 光谱辐射亮度标准灯检定规程JJG 384~2002 光谱辐射照度标准灯检定规程JJG 385~1985 总光通亮标准荧光灯试行检定规程JJG 386~1985 总光通亮标准荧光高压汞灯试行检定规程JJG 387~1985 10MHz~18GHz频段衰减器试行检定规程JJG 388~2001 纯音听力计检定规程JJG 389~1985 仿真耳试行检定规程JJG 390~1985 船用pH计检定规程JJG 391~1985 负荷传感器试行检定规程JJG 392~1996 感应式盐度计检定规程JJG 393~1985 r辐射防护仪器试行检定规程JJG 394~1997 超声多普勒胎儿监护仪超声源检定规程JJG 395~1997 定碳定硫分析仪检定规程JJG 396~2002 电感测微仪检定规程JJG 401~1985 球径仪检定规程JJG 402~1985 车装标准金属量器试行检定规程JJG 403~1986 超声波测厚仪检定规程JJG 404~1992 铁路规矩尺检定器检定规程JJG 405~1986 硅钢片（带）标准样品试行检定规程JJG 406~1986 弱磁材料标准样品试行检定规程JJG 407~1986 电工纯铁标准样品试行检定规程JJG 408~2000 齿轮螺旋线样板检定规程JJG 409~1986 射频同轴热电转换标准检定规程JJG 410~1994 精密交流电压校准源检定规程JJG 411~1997 锤击式布氏硬度计检定规程JJG 412~1986 流水型气体热量计试行检定规程JJG 413~1999 皮革面积测量机检定规程JJG 414~1994 光学经纬仪检定规程JJG 415~2002 工作用辐射温度计检定规程JJG 416~1986 铂铱合金管镭源检定规程JJG 417~1986 用152Eu点状r标准校准锗r谱仪检定规程JJG 418~1986 HL18型雷达综合测试仪检定规程JJG 419~1986 电信载频可变衰减器检定规程JJG 420~1986 高频标准零电平表检定规程JJG 421~1986 CJ-2型高频介质损耗测量仪检定规程JJG 422~1986 WD-1型微电位计检定规程JJG 423~1986 RR7型干扰场强测量仪检定规程JJG 424~1986 TO79（TO7A）型衰减标准装置检定规程JJG 425~1994 水准仪检定规程JJG 427~1986 带表千分尺检定规程JJG 429~2000 圆度、圆柱度测量仪检定规程JJG 430~1986 齿轮螺旋线检查仪检定规程JJG 431~1986 DEM6型轻便三杯风向风速表检定规程JJG 432~1986 机车电测远传压力表试行检定规程JJG 433~1986 相比仪检定规程JJG 434~1986 彩色电视副载频校频仪检定规程JJG 435~1986 同轴衰减型中功率座检定规程JJG 436~1986 机车交流电表检定规程JJG 437~1989 调制度测量仪检定规程JJG 438~1986 XG-2型标准信号发生器检定规程JJG 439~1986 中频精密截止式衰减器检定规程JJG 440~1986 工频单项相位表检定规程JJG 441~1986 交流电桥检定规程JJG 442~1986 UHF 电视扫频仪试行检定规程JJG 443~1998 燃油加油机检定规程JJG 444~1986 标准轨道衡检定规程JJG 445~1986 直流标准电压源检定规程JJG 446~1986 931B型有效值差分电压表检定规程JJG 447~1986 1103-（1~4）型同轴功率传递标准座试行检定规程JJG 448~1993 瓦级超声功率计检定规程JJG 449~2001 倍频程和1/3倍频程滤波器检定规程JJG 450~1986 果品硬度计试行检定规程JJG 451~1986 储罐液体称量仪标准器试行检定规程JJG 452~1986 黑白标准密度片试行检定规程JJG 453~2002 标准色板检定规程JJG 454~1986 硬度计球压头检定规程JJG 455~2000 工作测力仪检定规程JJG 456~1992 直接辐射表检定规程JJG 457~1986 单管水银压力表检定规程JJG 458~1996 总辐射表检定规程JJG 459~1986 辐射电流表检定规程JJG 461~1986 靶式流量变送器检定规程JJG 462~1986 二等标准电离真空计试行检定规程JJG 463~1996 热台法熔点测定仪检定规程JJG 464~1996 生化分析仪检定规程JJG 465~1986 球径仪样板试行检定规程JJG 466~1993 气动指针式测量仪检定规程JJG 467~1986 孔径测量仪试行检定规程JJG 468~1986 机车里程表试行检定规程JJG 469~1986 机车速度表试行检定规程JJG 471~1986 轴承内外径检查仪检定规程JJG 472~1997 多齿分度台检定规程JJG 473~1995 套管尺检定规程JJG 474~1986 木材万能试验机检定规程JJG 475~1986 电子式万能试验机检定规程JJG 476~2001 抗折试验机检定规程JJG 478~1996 a、β和r表面污染仪检定规程JJG 479~1986 X辐射防护仪试行检定规程JJG 480~1987 X射线测厚仪检定规程JJG 482~1987 标准电容传声器（自由场互易法）检定规程JJG 483~1987 杂音计检定规程JJG 484~1987 直流测温电桥检定规程JJG 485~1987 万能比例臂电桥检定规程JJG 486~1987 微调电阻箱试行检定规程JJG 487~1987 三次平衡双电桥检定规程JJG 488~1998 校表仪检定规程JJG 490~2002 脉冲信号发生器检定规程JJG 491~1987 1GHz取样示波器检定规程JJG 492~1987 铯束原子频率标准检定规程JJG 493~1987 软雌材料音频磁特性标准样品（交流磁化曲线及幅值磁导率）检定规程JJG 494~1987 高压静电电压表检定规程JJG 495~1987 直流磁电系检流计检定规程JJG 496~1996 工频高压分电器检定规程JJG 497~2000 碰撞试验台检定规程JJG 499~1987 精密露点仪试行检定规程JJG 500~1987 完全吸收式电解法微量水分分析仪试行检定规程JJG 501~2000 频谱分析仪检定规程JJG 502~1987 频率合成器检定规程JJG 503~1987 PB-2型十进频率仪检定规程JJG 504~1987 CLX-2型和CLX—20A/20B型大接头平板型同轴测量线检定规程JJG 505~1987 直流比较仪式电位差计检定规程JJG 506~1987 直流比较仪式电桥检定规程JJG 507~1987 精密步进电阻式衰减器检定规程JJG 508~1987 四探针电阻率测试仪检定规程JJG 509~1987 PP27数字工频频率计试行检定规程JJG 511~1987 微弱光照度计检定规程JJG 512~2002 白度计检定规程JJG 513~1987 直读式验电器型个人剂量计试行检定规程JJG 514~1987 微量吸管试行检定规程JJG 515~1987 轻便磁感风向风速表试行检定规程JJG 516~1987 BG2920（HQ2）型数字式晶体三级管综合（直流）参数测试仪检定规程JJG 517~1998 出租汽车计价器检定规程JJG 518~1998 皮托管检定规程JJG 519~1988 铁路支距尺检定规程JJG 520~2002 粉尘采样器检定规程JJG 521~1988 环境监测用X、r辐射空气吸收剂量率仪检定规程JJG 523~1988 200型万能比较仪检定规程JJG 524~1988 雨量器和雨量量筒检定规程JJG 525~2002 斜块式测微仪检定器检定规程JJG 527~1988 定角式雷达测速仪试行检定规程JJG 528~1988 手握式雷达测速仪试行检定规程JJG 529~1988 随机振动试验系统试行检定规程JJG 530~1988 低频移相器试行检定规程JJG 531~1988 直流电阻分压箱检定规程JJG 532~1988 三厘米波导标准负载检定规程JJG 533~1988 标准模拟应变量校准器试行检定规程JJG 534~1988 “1107—1~1107—5”系列波导射频功率传递标准检定规程JJG 535~1988 氧化锆氧分析器试行检定规程JJG 536~1988 旋光仪及旋光糖量计检定规程JJG 537~1998 荧光分光光度计试行检定规程JJG 538~1988 荧光光度计试行检定规程JJG 539~1997 数字批示秤检定规程JJG 540~1988 工作用液体压力计试行检定规程JJG 541~1988 落体式冲击试验台试行检定规程JJG 542~1997 金—铂热电偶检定规程JJG 543~1996 心脑电图机检定规程JJG 544~1997 压力控制器检定规程JJG 545~1996 频标比对器检定规程JJG 546~1997 直流比校电桥检定规程JJG 547~1988 尘埃粒子计数器试行检定规程JJG 548~1988 冷原子荧光测汞仪检定规程JJG 549~1998 方波极谱仪试行检定规程JJG 550~1988 扫描电子显微镜试行检定规程JJG 551~1988 二氧化硫分析仪检定规程JJG 552~1988 血细胞计数板试行检定规程JJG 553~1988 血液气体酸碱分析仪检定规程JJG 554~1997 彩色亮度计检定规程JJG 555~1996 非自动秤通用检定规程JJG 556~1988 轴向加荷疲劳试验机检定规程JJG 557~1988 标准扭矩检定规程JJG 559~1988 车速里程表试行检定规程JJG 560~1988 悬臂式电子皮带秤试行检定规程JJG 561~1998 RJ~3型近区电场测量仪试行检定规程JJG 562~1988 DCHY~801型近区电场测量仪试行检定规程JJG 563~1988 高压电容电桥检定规程JJG 564~2002 重力式自动装料衡器检定规程JJG 566~1996 电机线圈游标卡尺检定规程JJG 567~1989 检衡车检定规程JJG 568~1988 固定式辙叉磨耗量尺检定规程JJG 569~1998 最大需量电能表（电度表）试行检定规程JJG 570~1988 电容式测微仪试行检定规程JJG 571~1988 测量显微镜检定规程JJG 572~1998 带电动PID调节电子自动平衡记录仪检定规程JJG 573~1988 膜盒压力表试行检定规程JJG 574~1988 压陷式眼压计检定规程JJG 575~1994* 锗γ谱仪体源活度测量装置检定规程JJG 576~1988 工作用钨铼热电偶检定规程JJG 577~1994 膜式煤气表检定规程JJG 579~1998 验光镜片箱检定规程JJG 580~1996 焦度计检定规程JJG 581~1999 医用激光源检定规程JJG 584~1989 售粮专用秤试行检定规程JJG 585~1989 高压水表检定规程JJG 586~1989 皂膜气体流量标准装置试行检定规程JJG 587~1997 浮子式验潮仪检定规程JJG 588~1996 冲击峰值电压表检定规程JJG 589~2001 外照射治疗辐射源检定规程JJG 591~1989 γ射线辐射源（辐射加工用）检定规程JJG 593~1989* 个人监测用X、γ辐射释光剂量测量装置检定规程JJG 594~1989 袖珍式橡胶国际硬度计检定规程JJG 595~2002 测色色差计检定规程JJG 596~1999 电子式电能表检定规程JJG 597~1989 交流电能表检定装置检定规程JJG 598~1989 直流数字电流表试行检定规程JJG 599~1989 低失真信号发生器检定规程JJG 600~1989 存贮示波器检定规程JJG 601~1989 电子毫秒仪检定仪和秒表检定仪试行检定规程JJG 602~1996 低频信号发生器检定规程JJG 603~1989 指针式频率表试行检定规程JJG 604~1989 铁路轮对内径尺专用检具检定规程JJG 605~1989 铁路支距尺检定器检定规程JJG 607~1989 声频信号发生器检定规程JJG 609~1989* 弹簧拉压试验机检定规程JJG 610~1989 巴克尔硬度计检定规程JJG 611~1989 RR3A型干扰场强测量仪检定规程JJG 612~1989 虹吸式雨量计检定规程JJG 613~1989 电接风向速仪检定规程JJG 614~1989 二等标准水银气压表试行检定规程JJG 615~1989* 售油器检定规程JJG 617~1996 数字温度批示调节仪检定规程JJG 618~1999 高精密玻璃水银温度计检定规程JJG 619~1989 P．V．T．t法气体流量标准装置试行检定规程JJG 620~1994 监界流流量计检定规程JJG 621~1996 液压式张拉机检定规程JJG 622~1997 绝缘电阻表（兆欧表）检定规程JJG 623~1989 电阻应变仪试行检定规程JJG 624~1989 压力传感器动态校准试行检定规程JJG 625~2001* 阿贝折射仪检定规程JJG 626~1989 球轴承向游隙测量仪检定规程JJG 627~1989 印刷海流计检定规程JJG 628~1989 SLC9型直读海流计检定规程JJG 629~1989 多晶X射线衍射仪检定规程JJG 630~1989 火焰光度计检定规程JJG 632~1989 动态力传感器检定规程JJG 633~1990 气体腰轮流量计试行检定规程JJG 635~1999 一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器检定规程JJG 637~1990* 高频标准振动台试行检定规程JJG 638~1990 液压式振动试验台检定规程JJG 639~1998 医用超声诊断仪超声源检定规程JJG 640~1994 差压式流量计检定规程JJG 641~1990 液化石油气汽车槽车容量试行检定规程JJG 642~1990 球形金属罐容量试行检定规程JJG 643~1994 标准表法流量标准装置检定规程JJG 644~1990 振动位移传感器检定规程JJG 645~1989 三型钢轨探伤仪检定规程JJG 646~1990 定量、可调移液器试行检定规程JJG 647~1990 罐和桶试行检定规程JJG 648~1996 非连续累计自动衡器检定规程JJG 649~1990 数字称重显示器试行检定规程JJG 650~1990 电子皮带秤试行检定规程JJG 652~1990 旋转纯弯曲疲劳试验机检定规程JJG 653~1990 测功机检定规程JJG 654~1990 超声硬度计检定规程JJG 655~1990 噪声剂量计检定规程JJG 656~1990 硝酸根自动监测仪检定规程JJG 657~1990 呼出气体酒精含量探测器检定规程JJG 658~1990 烘干法谷物水分测定仪检定规程JJG 660~1990 图形面积量算仪检定规程JJG 661~1990 平面等倾干涉仪检定规程JJG 662~1990 热磁式氧分析器检定规程JJG 663~1990 热导式氢分析器检定规程JJG 665~1990 毫瓦级超声功率计检定规程JJG 666~1990 定负荷橡胶国际硬度计检定规程JJG 667~1997 液体容积式流量计检定规程JJG 668~1997 工作用铂铑10-铂/铂铑-13铂短型热电偶检定规程JJG 669~1990 称重传感器检定规程JJG 670~1990 柔性周径尺检定规程JJG 671~1990 丝杠动态测量仪检定规程JJG 672~2001 氧弹热量计检定规程JJG 674~1990 标准海水检定规程JJG 676~2000 工作测振仪检定规程JJG 677~1996 光干涉式甲烷测定器检定规程JJG 678~1996 催化燃烧式甲烷测定器检定规程JJG 679~1990 冷原子吸收测汞仪检定规程JJG 680~1990 烟尘测试仪检定规程JJG 681~1990 色散型红外分光光度计检定规程。
检定规程一览表
JJG 1004-1986 流量计量名词术语及定义
JJG 1005-1986 标准物质常用术语
JJG 1006-1994 一级标准物质
JJG 1007-1987 温度计量名词术语(试行)
JJG 1017-1990 使用硫酸铈-亚铈剂量计测量γ射线水吸收剂量标准方法
JJG 278-2002 示波器校准仪
JJG 28-2000 平晶
JJG 283-1997 正多面棱体
JJG 291-1999 覆膜电极溶解氧测定仪
JJG 292-1996 铷原子频率标准
JJG 297-1997 标准硬质合金洛氏(A标尺)硬度块
JJG 298-1995 中频标准振动台(比较法)
JJG 219-2003 铁路轨距尺
JJG 225-2001 热能表
JJG 226-2001 双金属温度计检定规程
JJG 229-1998 工业铂、铜热电阻检定规程
JJG 233-1996 压电加速度计检定规程
JJG 237-1995 指针式时间间隔测量仪(试行)
JJG 238-1995 数字式时间间隔测量仪(试行)
JJG 2024-1989 容量计量器具检定系统框图
JJG 2034-1989 发光强度计量器具
JJG 2051-1990 直流电阻计量器具检定系统
JJG 2063-1990 水流量计量器具检定系统
JJG 2064-1990 气体流量计量器具检定系统
JJG 2082-1990 工频电流比例计量器具检定系统
JJG 485-1987 万能比例臂电桥检定规程
JJG 488-1998 校表仪
电镜保存方法
扫描电镜仪器的日常测试管理方法1．实验室环境要求1.1室内温度：20±5℃，相对湿度：70 以下，不得有冷凝现象。
1.2电源电压：（220±20）伏；频率：（50±0.5）赫兹。
1.3冷却水流量不低于2L/min，压力不低于5×104Pa，水温为20±5℃。
1.4实验室内杂散磁通量密度不超过5×10-7T，地基振幅不超过5μm，不得有电磁干扰，不得存放于实验室无关的易燃、易爆和强腐蚀性气体和试剂。
2、仪器的日常维护2.1保持电镜室的洁净，室内温度要求在20±5℃，湿度在70%以下。
2.2长期保持镜筒在一定的真空状态，即使电镜不工作期间，也要做到每周开机1~2次，以防镜筒内部锈蚀。
2.3机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上，并定期用热偶真空计测定其排气性能，以确定机械泵油是否需要更换。
如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色，说明油需要换。
2.4如发现仪器真空度太差, 确定扩散泵抽速下降, 更换机器内扩散泵油。
2.5定期清洗镜筒，确保电子光路的正常工作。
清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件，如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。
清洗的方法有所区别，如光栏用真空喷涂仪加热清洗，电子枪室用酒精和丙酮按1：1混合用棉球清洗，但不论清洗哪一个部件，最好少用或不用抛光膏。
2.6定期开启电镜各功能部分，每次时间不应小于1小时，防止电器元件的老化和仪器受潮。
2.7定期检测电镜X射线的泄漏情况(通常是防疫站完成检测)。
2.8开机、关机均应严格按照说明书指示的步骤操作。
2.9及时保存、备份有用的数据文件，以免丢失数据；删除无用数据文件，确保计算机有足够储存空间。
2.10新仪器第一次5年后进行校准，以后每3年一次，1.5年进行期间核查一次。
校准项目为直观检定、真空度的测定、放大倍数示值误差的测定、放大倍数重复性的测定、屏幕中心与四角边缘处倍率误差的测定、二次电子图像分辨率的测定、X射线能谱分辨率的测定、X射线能谱仪元素分析范围的测定；核查内容为放大倍数示值误差和X射线能谱分辨率的测定。
国家教委关于发布26个《现代分析仪器分析方法通则及检定规程》的通知
国家教委关于发布26个《现代分析仪器分析方法通则及检定规程》的通知文章属性•【制定机关】国家教育委员会(已更名)•【公布日期】1997.01.23•【文号】教备[1997]3号•【施行日期】1997.04.01•【效力等级】部门规范性文件•【时效性】现行有效•【主题分类】教育综合规定正文国家教委关于发布２６个《现代分析仪器分析方法通则及检定规程》的通知（１９９７年１月２３日教备〔１９９７〕３号）《大型精密仪器分析方法通则检定规程汇编》自１９９２年１月试行以来，对高校开放实验室通过国家级计量认证与认可工作，指导高校进口通用现代分析仪器验收工作，以及仪器的正常检定，都起到了暂行技术标准的作用。
现将上述《汇编》修改补充审定的２６个《现代分析仪器分析方法通则及检定规程》予以公布，并于１９９７年４月１日起实施，请遵照执行。
附件：２６个《现代分析仪器分析方法通则及检定规程》目录附件：２６个《现代分析仪器分析方法通则及检定规程》目录编号名称ＪＹ／Ｔ００１－１９９６傅里叶变换红外光谱法通则ＪＹ／Ｔ００２－１９９６激光喇曼光谱分析方法通则ＪＹ／Ｔ００３－１９９６有机质谱分析方法通则ＪＹ／Ｔ００４－１９９６表面热电离同位素质谱法通则ＪＹ／Ｔ００５－１９９６电子顺磁共振谱法通则ＪＹ／Ｔ００６－１９９６脉冲傅里叶变换电磁体核磁共振波谱法通则ＪＹ／Ｔ００７－１９９６超导脉冲傅里叶变换核磁共振谱法通则ＪＹ／Ｔ００８－１９９６四圆单晶Ｘ射线衍射仪测定小分子化合物的晶体及分析结构分析方法通则ＪＹ／Ｔ００９－１９９６多晶体Ｘ射线衍射法通则ＪＹ／Ｔ０１０－１９９６分析型扫描电子显微术通则ＪＹ／Ｔ０１１－１９９６透射电子显微术通则ＪＹ／Ｔ０１２－１９９６金相显微镜分析方法通则ＪＹ／Ｔ０１３－１９９６电子能谱法通则ＪＹ／Ｔ０１４－１９９６热分析法通则ＪＹ／Ｔ０１５－１９９６感耦等离子体原子发射光谱法通则ＪＹ／Ｔ０１６－１９９６波长色散型Ｘ射线荧光光谱法通则ＪＹ／Ｔ０１７－１９９６元素分析仪方法通则ＪＹ／Ｔ０１８－１９９６液体闪烁分析方法通则ＪＹ／Ｔ０１９－１９９６氨基酸分析方法通则ＪＹ／Ｔ０２０－１９９６离子色谱分析方法通则ＪＹ／Ｔ０２１－１９９６分析型气相色谱法通则ＪＹ／Ｔ０２２－１９９６紫外和可见吸收光谱通则ＪＹ／Ｔ０２３－１９９６石墨炉原子吸收分光光度法通则ＪＹ／Ｔ０２４－１９９６高效液相色谱法通则ＪＹ／Ｔ０２５－１９９６光栅型荧光分光光度法通则ＪＹ／Ｔ０２６－１９９６圆二色谱法通则ＪＪＧ（教委）００１－１９９６傅里叶变换红外光谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００２－１９９６激光喇曼光谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００３－１９９６有机质谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００４－１９９６表面热电离同位素质谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００５－１９９６电子顺磁共振谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００６－１９９６脉冲傅里叶变换电磁体核磁共振谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００７－１９９６超导脉冲傅里叶变换核磁共振谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００８－１９９６四圆单晶Ｘ射线衍射仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）００９－１９９６转靶Ｘ射线多晶体衍射仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１０－１９９６分析型扫描电子显微镜计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１１－１９９６透射电子显微镜计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１２－１９９６金相显微镜计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１３－１９９６电子能谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１４－１９９６热分析仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１５－１９９６感耦等离子体原子发射光谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１６－１９９６波长色散型Ｘ射线荧光光谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１７－１９９６元素分析仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１８－１９９６液体闪烁分析仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０１９－１９９６氨基酸分析仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２０－１９９６离子色谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２１－１９９６分析型气相色谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２２－１９９６紫外和可见吸收光谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２３－１９９６原子吸收光谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２４－１９９６高效液相色谱仪计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２５－１９９６光栅型荧光分光光度计计量检定规程ＪＪＧ（教委）０２６－１９９６圆二色谱仪计量检定规程。
扫描电子显微镜的分辨率测量及分辨率标样
扫描电子显微镜的分辨率测量及分辨率标样1.扫描电子显微镜的分辨率测量1.1扫描电镜的分辨率分辨率是形貌结构类放大仪器最重要的性能指标，它以能分辨的两点或两线间的最小间距为指标，分辨间距越小性能越好，分辨率越高。
它是光学显微镜和电子显微镜的最重要的指标。
对扫描电镜而言它首先决定于整个仪器的设计，诸如：电子透镜的最小球差设计、电子的色差降到最低、仪器固定象散的减少以及附加象散的消除等。
这一切取决于扫描电镜电子光学系统的设计、高压和透镜电源的稳定度指标、电子透镜极靴材料的磁性能、材料的均匀性及极靴的机械加工精度与加工过程中的无磁化处理等。
当一台仪器制造完成以后，这些决定扫描电镜的分辨率先天条件就决定了，它们成为了不可改变的固定条件。
所以我们说，仪器的先天条件就决定了扫描电镜的分辨率，规定了这台仪器所能达到的最优分辨率，实际使用中往往低于这个分辨率指标。
每一台扫描电镜在长期使用过程中它在每次观察物质结构的放大图象时，它的图象清晰度和实际分辨率可能时高时低，这一切又与仪器的调试对中状态、使用条件和环境等诸多因素有关。
这些因素有：(1)仪器电子光路尤其是物镜上下极靴孔以及物镜光栏的清洁程度高低有关，应该保证污染脏物导致的象散降到最低。
(2) 电子光学系统的合轴对中处于最佳状态，尽量减少轴外电子束成象,减少各种象差，尤其是球差，它与孔径角的三次方成正比。
(3) 电网电压稳定有利于电源稳定度，使包括色差在内的象差降到最低。
电网的电压波动过大，还会造成杂散磁场影响扫描电镜透镜聚焦场的稳定性从而影响分辨率，所以应该避开用电高峰，不在电网电压波动过大时拍摄分辨率照片。
(4) 避免外界强烈的机械震动，可能造成样品台和样品的微扰动而使分辨率下降，尤其是临街并有大型货车通过，或有其它强烈震动源将对分辨率造成影响。
(5) 用一个大小合适而又清洁的新的物镜光栏对获得扫描电镜的最优分辨率有好处。
只有在上述诸多方面得到满足时，才有可能发挥出扫描电镜固有的最优分辨率，得到一张好的分辨率照片。
JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程
分析型扫描电子显微镜检定规程1.分析型扫描电子显微镜检定规程的说明编号JJG(教委)010-1996名称(中文)分析型扫描电子显微镜检定规程(英文) Verification regulation for analytical scanning electron microscope 归口单位国家教育委员会起草单位国家教育委员会主要起草人万德锐林承毅批准日期 1997年1月22日实施日期 1997年4月1日替代规程号无适用范围本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。
外观要求主要技术要求 1.2. 安装条件3. 检定环境4. 检定用标样及设备5. 检定项目是否分级无检定周期(年) 3附录数目 2出版单位科学技术文献出版社检定用标准物质相关技术文件备注2.分析型扫描电子显微镜检定规程的摘要2 范围本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。
2.1原理经过电子光学系统聚焦的电子束在样品表面扫描，受照射的部位便激发出二次电子、背散射电子、特征X射线等多种物理信号。
这些信号经检测、放大后，用来调制阴极射线管的亮度，即可观察到样品的图像。
通过对特征X射线的检测、校正和计算，便可对样品进行元素成分的定性和定量分析。
2.2构成分析型扫描电镜是由常规的扫描电镜和X射线能量色散谱仪两部分组合而成。
它既能观察样品的微观形貌和结构，又能分析样品微区的元素成分。
扫描电镜，由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、电源系统以及真空冷却系统等部分组成。
扫描电镜按其电子枪类型和分辨率等性能分为热发射普通型、热发射精密型和场发射精密型三个等级(表1)。
X射线能量色散谱仪，简称X射线能谱仪，由半导体探测器、前置放大器、主放大器、脉冲堆积排除器、模拟数字转换器、多道分析器、计算机以及显示器和打印机等组成。
因此，分析型扫描电子显微镜是在常规扫描电镜的基础上增加了X射线的检测、放大、显示、记录、校正和计算等装置。
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分析型扫描电子显微镜检定规程1.分析型扫描电子显微镜检定规程的说明编号JJG(教委)010-1996名称(中文)分析型扫描电子显微镜检定规程(英文) Verification regulation for analytical scanning electron microscope 归口单位国家教育委员会起草单位国家教育委员会主要起草人万德锐林承毅批准日期 1997年1月22日实施日期 1997年4月1日替代规程号无适用范围本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。
外观要求主要技术要求 1.2. 安装条件3. 检定环境4. 检定用标样及设备5. 检定项目是否分级无检定周期(年) 3附录数目 2出版单位科学技术文献出版社检定用标准物质相关技术文件备注2.分析型扫描电子显微镜检定规程的摘要2 范围本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。
2.1原理经过电子光学系统聚焦的电子束在样品表面扫描，受照射的部位便激发出二次电子、背散射电子、特征X射线等多种物理信号。
这些信号经检测、放大后，用来调制阴极射线管的亮度，即可观察到样品的图像。
通过对特征X射线的检测、校正和计算，便可对样品进行元素成分的定性和定量分析。
2.2构成分析型扫描电镜是由常规的扫描电镜和X射线能量色散谱仪两部分组合而成。
它既能观察样品的微观形貌和结构，又能分析样品微区的元素成分。
扫描电镜，由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、电源系统以及真空冷却系统等部分组成。
扫描电镜按其电子枪类型和分辨率等性能分为热发射普通型、热发射精密型和场发射精密型三个等级(表1)。
X射线能量色散谱仪，简称X射线能谱仪，由半导体探测器、前置放大器、主放大器、脉冲堆积排除器、模拟数字转换器、多道分析器、计算机以及显示器和打印机等组成。
因此，分析型扫描电子显微镜是在常规扫描电镜的基础上增加了X射线的检测、放大、显示、记录、校正和计算等装置。
3 计量单位计数率用检测器中每秒钟的计数CPS(Count Per Second)来表示，单位为s－1。
4 计量要求4.1扫描电镜技术指标新安装的各种扫描电镜应符合说明书中规定的技术指标。
使用中和修理后的各种扫描电镜应符合本规程表1中规定的技术指标。
表1 各种扫描电镜的主要性能和技术指标扫描电镜类型热发射普通型热发射精密型场发射精密型电子枪类型钨丝电子枪钨丝或六硼化镧场发射电子枪工作真空度 10－3Pa 10－3Pa～10－5Pa 10－8Pa仪器启动抽真空时间30min 25min 20min 更换样品抽真空时间5min 4min 3min续表扫描电镜类型热发射普通型热发射精密型场发射精密型更换灯丝抽真空时间10min 8min 8min 放大倍数示值误差不大于±10％不大于±10％不大于±10％放大倍数重复性不大于5％不大于5％不大于5％显像管中心与15％ 10％ 10％边缘倍率误差二次电子图像分辨率优于10nm 优于6nm 优于2.5nm X射线泄漏剂量不大于2.5μSv 不大于2.5μSv 不大于2.5μSv4.2X射线能谱仪技术指标新安装的各种X射线能谱仪应符合说明书中规定的技术指标。
使用中和修理后的各种X射线能谱仪应符合下列技术指标。
X射线能谱谱线分辨率：155eV～133eV元素分析范围：Na11～U92(铍膜窗口)C6～U92(超薄窗口)B5～U92(极超薄窗口、氮化硼窗口或铍膜切换窗口)5 技术要求5.1外观要求5.1.1仪器无影响计量性能的损伤，面板上标志清晰；标明仪器名称、型号、生产厂名、制造日期和出厂编号。
5.1.2仪器平稳地置于地基上，装配牢固，各个调节旋钮、按钮和开关均能正常工作，无松动现象。
导线接头应有标记，结合紧密，接触良好。
5.2安装条件5.2.1杂散磁通量密度不超过5×10－7T。
5.2.2地基振幅不超过5μm。
5.2.3电源电压为220V±20V，频率为50Hz，具有独立的接地线，并接地良好。
5.2.4冷却水流量不低于21/min，压力不低于5×104Pa，水温为20℃±5℃。
5.3检定环境5.3.1室内温度为20℃±5℃。
5.3.2相对湿度不超过70％。
5.4检定用标样及设备5.4.1检定扫描电镜放大倍数的标样可选用间距为1μm的美国国家标准和技术研究院(原称国家标准局)的标样或我国制备每毫米1000条线的物理光栅，其相对误差不大于±3％。
5.4.2检定分辨率的标样为碳表面真空喷镀金颗粒制成的样品。
5.4.3电离真空计的示值相对误差不大于±20％。
5.4.4X射线剂量仪的示值相对误差不大于±20％。
5.4.5比长仪的标准尺误差不大于1μm。
5.4.6检定图像的线性失真度的非磁性金属网格方孔边长为0.1mm。
5.4.7检定X射线能谱谱线分辨率的标样为纯锰或电解锰的标样或者放射性的F o55标样。
5.4.8检定X射线能谱仪元素分析范围的标样为分别含Na、C、B的标样。
5.5检定项目5.5.1直观检定5.5.2真空度的测定5.5.3放大倍数示值误差的测定5.5.4放大倍数重复性的测定5.5.5显像管中心与四角边缘处倍率误差的测定5.5.6二次电子图像分辨率的测定5.5.7X射线能谱谱线分辨率的测定5.5.8X射线能谱仪元素分析范围的测定5.5.9X射线泄漏剂量的测定6 检定方法和检定报告6.1直观检定用目力观察，应符合本规程3.2.1和3.2.2的要求。
6.2真空度的测定6.2.1原则上应使用电离真空计测量真空度。
如果二次电子图像分辨率的技术指标符合要求，仪器工作正常，可认为真空度已达到技术要求。
6.2.2仪器从启动至达到工作真空度所需时间的测定。
关机4小时后重新启动，开始计算时间，达到工作真空度时，结束记时。
6.2.3更换样品或更换灯丝后达到工作真空度所需时间的测定。
更换样品或灯丝后，从预抽真空开始计算时间，达到工作真空度结束记时。
6.3放大倍数示值误差的测定6.3.1在扫描电镜标称的放大倍数范围内选取常用的5档放大倍数。
6.3.2将测定放大倍数的标样安装在样品台上，使其表面垂直于电子光学系统的轴线，并调整到仪器说明书规定的工作距离位置上，将标样上标记线的像移至显像管的中心，聚焦后照相记录。
6.3.3用比长仪测量标记线像的间距L(μm)，连续测量3次，取算术平均值(μm)。
6.3.4按公式(1)计算放大倍数M：M ＝－L －L －0(1)式中 L 0——标样上标记线的间距。
6.3.5 按公式(2)计算放大倍数的示值误差P ：P ＝ －N ―－M－－－ －M (2) 式中 N ——被检扫描电镜放大倍数的标称值。
用间距为1μm 的光栅检定5万倍以上的放大倍数有困难。
在这种情况下需要使用比对性标样，其标定方法见附录A(JJG 550—88附录1)。
6.4 放大倍数重复性的测定6.4.1 选取某个常用的放大倍数，按6.3.2步骤拍摄一张标样标记线的照片。
6.4.2 改变电子束的加速电压和透镜电流，5分钟后恢复到6.4.1照相时状态，再拍摄一张照片。
如此重复，共拍摄10张照片。
并按6.3.3和6.3.4步骤测量，计算出10个放大倍数。
6.4.3 按公式(3)计算出放大倍数的重复性g 。
3σg ＝－M(3)式中 M i ——第i 次测量得到的放大倍数(i ＝1，2，3，…，10)；－M——10次所得放大倍数的平均值；σ——标准偏差，σ＝n ——测量次数(n ＝6.5 显像管中心与四角边缘处倍率误差的测定6.5.1 选定扫描电镜的放大倍数为100倍。
将金属网格安装在样品台上，获得图像后选取一个网孔，分别平移到显像管的中心和四个角，各拍一张照片。
6.5.2 用比长仪分别测量出5张照片上网孔像相邻两边的长度为x 0，y 0；x 1，y 1； x 2，y 2； x 3，y 3； x 4，y 4； △x i ＝x i －x 0， △y i ＝y i －y 0。
式中i ＝1，2，3，4； △x i 中的最大值为△x max ；△y i 中的最大值为△y max 。
6.5.3 按公式(4)计算求得x 方向图像线性失真度αΔx maxα＝x 0 (4)6.5.4 按公式(5)计算求得y 方向图像线性失真度βΔy max β＝y 0(5)6.6 二次电子图像分辨率的测定6.6.1 将碳表面喷镀金粒的标样安装在样品台上，在6～10万倍下，使扫描电镜调整到最佳工作状态，拍摄金粒的二次电子图像。
6.6.2 用比长仪测量照片上可分辨的金粒边界的最小间距S (nm)。
6.6.3 按公式(6)计算求得扫描电镜的分辨率r 。
r ＝—S M(6) 6.7 X 射线能谱谱线分辨率的测定选取纯锰或电解锰的标样或者Fo55标样安装在样品台上，使加速电压、物镜光阑、束流、计数率等均处于能谱分析工作状态，收取标样的X射线谱。
利用能谱仪提供的计算分辨率的程序计算MnKα峰的半高宽，或利用谱图手算，即得X射线能谱谱线分辨率。
6.8X射线能谱仪元素分析范围的测定为了检定X射线能谱仪的元素分析范围，只需要确定出能够分析的最轻元素。
按仪器说明书所标明的元素分析范围，将含Na、C或含B的标样安装在样品台上，使加速电压、物镜光阑、束流、计数率又处于能谱分析工作状态，收取标样的X射线谱。
如果探头前是铍膜切窗口，需在真空条件下将铍窗口移开。
在1.04keV、0.28keV和0.18keV处观察能否收到NaK α、CKα或BKα的特征峰。
6.9X射线泄漏量的测定将扫描电镜调整到加速电压最高、电子束流最大的工作状态。
在距离镜筒约50mm处，用X射线剂量仪测量镜筒各部位和样品更换室的X射线泄漏量。
7 计量管理7.1检定结果处理经检定后的仪器，发给检定证书。
在检定结论中需明确说明被检定的仪器应属于何种级别、是否合格、存在的问题和建议等。
7.2检定周期扫描电镜的检定周期为3年。
在镜筒清洗、仪器大修或搬迁后均应重新进行检定。
新购置的扫描电镜，首次检定后5年内免检。
使用5年或5年以上的扫描电镜，视仪器型号和具体情况，按技术指标或适当降低指标进行检定。
注: 需要查阅全文, 请与出版发行单位联系.。