2012_02_26100958_JEM-200CX 透射电镜使用说明

JEM-200CX透射电镜使用说明
操作要点
1.双倾台严格使用φ3mm样品。

2.改变操作电压、更换样品时，应使灯丝束流降至OFF。

3.更换灯丝时，除特殊情况外，应两人以上在场，并尽量缩短安装时间。

4.每个操作者应为下一个操作者至少留10张未曝光底片，并保证予抽室中有待用底片；更换底片盒和装卸底片时必须带手套。

5.上机者不得随便更换束斑尺寸，不能变动B操作盘最右端旋钮；注意勿动各TILT钮；不许触动下列键：
VACUUM SYSTEM下GUN 和COLUMN，EMERGENCY STOP，操作盘G中GUN LIFT。

6.更换灯丝后必须进行对中，以保证仪器处于良好的使用状态
7.注意察看循环水流量。

8.详细填写工作记录，仪器出现故障要及时报告负责人。

9.使用空调机保持进气口过滤板的清洁。

操作规程
一、开机程序
1.确认下列开关和部位在正常位置：
●READY 绿灯亮
●AIRLOCK OPEN 绿灯亮
●ACCELERATING VOLTAGE：HT--- OFF
●FILAMENT EMISSION： OFF
●物镜光栏位置---0
●选区光栏位置---0
●样品台倾转角---0
2.开机：
●开启冷却水循环装置；
●启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮；
●用钥匙启动主机：从OFF位快旋到START位，松手后钥匙自动回至ON位。

等待约20分钟，仪器自动抽空（表现为：面板灯亮--压缩机工作--机械泵工作--水循环开始--真空系统DP绿灯亮--真空系统HIGH绿灯亮、READY绿灯亮）。

二、找电子束
1.确认READY和AIRLOCK OPEN绿灯亮；
2.样品台已插入镜筒；
3.加高压：按下HT键后，80－100－120－160－200KV依次缓慢按键，并注意观察束流表指示是否正常，200KV下束流在95～115μA。

4.加灯丝：将FILAMENT EMISSION 钮慢旋至锁定位置。

在LOW MAG或MAG＜1万倍下，调节大小CONDENSER钮，得到光斑。

（若无光，则移动样品或样品台退出光路后找亮）。

5.用CONDENSER钮将光斑大小改变，若光斑偏离荧光屏中心，
6.用左右ALIGNMENT：TRANS将光斑拉回
三、聚光镜光栏（一般不动）
1.确认电子束流已聚于屏中心（无样品挡光）；
2.SCAN模式下，将聚光镜光栏顺旋插入（常用2号）；
3.用CONDENSER改变光斑大小，调节聚光镜光栏小旋钮，使光以屏中心同心扩展、收缩，即得同心圆。

四、1－3合轴（一般勿调）
1.SPOT SIZE 2，调出亮斑并会聚、移至屏中心。

2.MAG模式，＜1万倍, SPOT SIZE 1。

3.束流聚小于屏中心，若偏离中心，用GUN ALIGNMENT：TRANS （X、Y）拉回。

4.SPOT SIZE 3 ，聚小光斑，若不在屏中心，用左右ALIGNMENT：TRANS拉回；若光斑消失，则改用SPOT SIZE 2，将束流调至屏中心后，再改为SPOT SIZE 3 调节。

5.反复3、4步，使束流不偏离中心。

6.返回常用束斑尺寸：SPOT SIZE 2。

五、聚光镜消像散
1.MAG模式，＜1万倍, COND STIGMATOR 开关置ON；
2.SPOT SIZE 2；
3.插入聚光镜光栏并调正（一般已在2号位，勿动）；
4.光斑聚至最小，用小会聚钮使光斑欠亮和过亮扩大，光斑较圆且不变形，则说明无像散；若光斑变椭圆，则进行下步调节；
5.慢旋COND STIGMATOR：X、Y钮，使光斑变圆；
6.反复步骤4、5，直至像散消除。

六、调灯丝像（非管理人员勿调）
1.MAG模式，～5000倍。

2.SPOT SIZE 2。

3.CONDENSER 聚光，使光斑最小，并移至中心。

4.缓慢逆转灯丝发射钮（FILAMENT EMISSION），至看到灯丝欠饱和像，即车轮像。

若车轮像对称，则省略步骤5，若车轮像不对称，则进行下面调节。

5.慢旋GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。

6.慢顺旋灯丝发射钮至车轮像消失并锁住；若光斑不在屏中心，则用左右ALIGNMENT：TRANS拉回中心。

七、电压中心调节（大于10万倍照像或高分辨工作时做）
1.确认SPOT SIZE 2，束流已对中，聚光镜无像。

2.样品位置适当，＞2.7万倍, 双目镜找一小点为参照物并移至屏中心，聚焦。

3.HV WOBBLER 置于ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，
省略步聚6，若参照物漂移，则进行下列调节。

4.用左右ALIGNMENT：TILT 调节，使参照物不偏离中心。

5.HV WOBBLER 置于OFF。

八、物镜消像散（大于10万倍照像或高分辨工作时做）
1.确认仪器对中状态良好，电压中心对中，无聚光镜像散，光栏位置正确。

2.加物镜光栏（提高图像衬度）
●光斑调正后，找到合适的样品位置；
●SA DIFF 模式下，相机长度240cm，调节衍射聚焦钮，得到零级放大光斑；
●顺旋插进物镜光栏（视样品衬度而选择光栏大小），并用其手柄上小旋钮调正。

●换到MAG模式。

3.在＞10万倍下，找一小圆孔或非晶膜薄区。

4.倾斜小荧光屏，用双目镜观察。

5.MEDIUM、FINE钮改变焦距，观察边沿条纹是否均匀或非晶小颗粒是否变形。

若有像散，则进行如下调节。

6.用OBJ STIGMATOR：X、Y钮和FOCUS 钮配合调节，消像散。

九、选区衍射
1.将欲分析区域移至屏中心，并聚焦。

2.加选区光栏
●MAG模式下，找到感兴趣的样品位置，移至屏中心，并聚焦；
●顺旋插进选区光栏（依样品位置大小而选相应光栏号）,用选区光栏小调节钮调正；
3.SA DIFF 模式。

4.撤出物镜光栏。

5.选择合适相机长度，并用CAMERA LENGTH 小钮聚焦到中心斑最小。

●物镜光栏、选区光栏、聚光镜光栏退出与插入操作动作相反。

十、明暗场像
1.在键BRIGHT 亮状态下，用左右ALIGNMENT ：TRANS 将光斑移至屏中心。

2.在键DARK 亮状态下，用左右DARK FIELD：TRANS 将光斑移至屏中心。

3.反复步骤1、2，至光斑不偏离屏中心。

4.BRIGHT 亮状态下选区衍射，并用左右ALIGNMENT：TILT 将透射斑移至中心。

5.DARK 亮状态下选区衍射，用左右DARK FIELD：TILT将透射光斑移至屏中心。

6.用左右DARK FIELD：TILT将某一衍射斑移至屏中心。

7.加物镜光栏。

8.DARK 亮，MAG模式，观察暗场像。

9.BRIGHT 亮，MAG模式，看明场像。

●明、暗场像操作结束后，DARK 亮，SA DIFF 模式下，将透射斑移至屏中心。

十一、样品台操作
1.确认样品台装卸时的状态：
样品台位置回零，倾转回零；物镜光栏、选区光栏退出；灯丝发射至OFF；
2.卸下样品台：
握住样品台手柄，直外拉到拔不动，逆旋90度至不动，直拔出。

3.装上样品台：
检查样品台“O”型环上是否有细毛等脏物。

握住样品台手柄，使销钉对准槽直插入，手指稍用力顶住手柄后端，至阀门开启，红色指示灯亮后松手，等待约5 分钟，指示灯灭后，握手柄顺90度（切勿松手），随着吸力慢送样品台入镜筒。

4.倾转样品台：
用脚踏板倾转样品过程中动作要轻，并注意查看倾转角度，且勿已倾斜至限定角度后仍继续踩，而应立即反踩。

十二、关机程序
1.放大倍数降至小于1万倍，光斑满荧光屏。

2.退灯丝至OFF。

3.按高压键HT（灯灭）。

4.退出物镜光栏、选区光栏，样品台倾转角回零，样品位置移至中心。

5.LENS、HV至OFF。

6.下面为全停机时做：
钥匙旋至OFF，等约15分钟后面板灯自动熄灭，机械泵停止工作，稍等，关稳压电源，关水。

十三、应急处理
若有特殊情况需立即停机或停水时，切断束流和高压，按EMERGENCY STOP 键，之后按关机要求操作；若突然停电，则将所有旋钮或开关置于关机状态要求的位置。