蔡司场发射扫描电镜操作项目培训
蔡司三坐标培训教材
测量策略
备注:几乎所有元素可以通 要数据备份文件存放的路径
不同的元素有不同的测量策略 主探针 s<=0.
机器型号： CONTURA G2
方式定义,可以用测量机测量. 系统在默认状态下会有自己的坐标系，其原点在左上角。
常用的策略： 用主探针进行
探头允许最大承重50g 探针组定义、添加、删除
蔡司三坐标培训教 材
培训大纲
一、软件知识
（一）基本知识
基本操作 元素采集 测量策略 坐标系 特性输出 CNC编程 输出报告设置 探针校准 数据备份 机器配置
培训大纲
（一）曲线知识
曲线生成 曲线策略和评定 曲线输出
二、硬件知识及基本知识
（一）CONTURA G2知识 （二）基本知识
基本操作
定义安全参数 启动软件后，出现如下对话框图示1，直接确定，等待系统出现归零对话框图示2，点击确定。
量程：700*1000*600 附加坐标系和基本坐标系可以是相互独立的坐标系，也可以只在原有的基本坐标系之上修改需要的相关参数。
启动软件后，出1. 现如下定对话义框安图示全1平，直面接确定，等待系统出现归零对话框图示2，点击确定。 注备意注每 ：个常元用素的的椭2. 合圆理，打圆定点槽数，义。方回槽，退圆距环最离好不要自动识别， 模系型统编 在程默方认法状一态3. 样下。会有定自己义的探坐标针系，其原点在左上角。
坐标系
一、基本坐标系
笛卡尔坐标
圆柱坐柱
球坐标
坐标系
二、附加坐标系
资源→其它→坐标系
附加坐标系和基本 坐标系可以是相互独 立的坐标系，也可以 只在原有的基本坐标 系之上修改需要的相 关参数。
蔡司SEM（SIGMA）操作规范
蔡司SEM（SIGMA）操作规范蔡司——SEM（SIGMA）操作规范⼀、仪器结构光学系统：电⼦枪、电磁透镜、扫描线圈、光阑组件机械系统：⽀撑部分、样品室真空系统样品所产⽣的信号收集、处理、显⽰系统⼆、三种主要信号背散射电⼦（BSD）：⼊射电⼦在样品中经散射后再从上表⾯射出来的电⼦。
反映样品表⾯不同取向、不同平均原⼦量的区域差别。
⼆次电⼦(SE2)：由样品中原⼦外壳层释放出来，在扫描电⼦显微术中反映样品上表⾯的形貌特征。
X射线(EDS)：⼊射电⼦在样品原⼦激发内层电⼦后外层电⼦跃迁⾄内层时发出的光⼦。
三、⼯作原理：扫描电镜的⼯作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像”。
从电⼦枪阴极发出的直径20um～30um的电⼦束，受到阴阳极之间加速电压的作⽤，射向镜筒，经过聚光镜及物镜的会聚作⽤，缩⼩成直径约⼏毫微⽶的电⼦探针。
在物镜上部的扫描线圈的作⽤下，电⼦探针在样品表⾯作光栅状扫描并且激发出多种电⼦信号。
这些电⼦信号被相应的检测器检测，经过放⼤、转换，变成电压信号，最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。
显像管中的电⼦束在荧光屏上也作光栅状扫描，并且这种扫描运动与样品表⾯的电⼦束的扫描运动严格同步，这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电⼦像，这种图像反映了样品表⾯的形貌特征。
四、操作步骤(⼀)启动系统1、开机将仪器主机上绿⾊按钮“On”打开，双击软件图标，输⼊⽤户名及密码。
2、加⾼压左击图标，单击，待⾼压上升到设定值，状态栏中显⽰为，系统状态就绪。
(⼆)更换样品1、放真空左击→→→，放真空。
2、换样品排⽓完成后，缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装⼊新样品，旋紧固定，缓慢关闭样品室。
3、抽真空单击→抽真空，待显⽰为时，抽真空完毕，可进⾏正常测试。
注：样品室不开打开太久，制样及更换样品时需戴⼿套，以免污染样品及样品室。
(三)测试样品1、选择观察区点击，将视野切换到TV模式下，前后移动Z⽅向杆将样品台调整到合适的⾼度，点击，将视野切换到Normal模式下，点击，状态栏中显⽰为⿏标左键调整图像亮度，右键调整对⽐度，使图像视野清晰；点击，状态栏显⽰为将⿏标功能切换为调整倍数、聚焦，⿏标左键将放⼤倍数调到最⼩，右键聚焦，选择较快的扫描速度（=1-3），使⽤操纵杆移动样品台位置，找到要观察的样品，并将观察区移动到视野中⼼。
蔡司场发射扫描电镜Merlin培训
第五页，共30页。
（4）自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密码，进入SmartSem软
件。
Username：SCUT Password：SCUT
仪器工作界面
工具栏
图像观察区
参数设置栏
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确认仪器状态
电子枪状态：
Fil I，Extractor V 和Extractor I。
第二十三页，共30页。
1、能谱点分析
采集电镜图像
选择分析区域，采集谱 图
确认谱图中各峰元 素归属
计算含量，形成报 告
需要保存谱图元素数据的，可以在谱图上鼠标右键，导出txt格式数据。
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第二十五页，共30页。
2、能谱线分析
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3、能谱面分布
第二十七页，共30页。
Z上下移动
X、Y及旋转移动
第十二页，共30页。
键盘功能图
像散调节
光阑对中调节
聚焦窗口
图像旋转
图像移动
换样
camera
亮度对比度
扫描速度
放大倍数调节
聚焦调节
第十三页，共30页。
（3）选择检测器类型
在Detectors栏目下，选择所需检测器，建议开始时用SE2，以便寻找样品。 TV模式和观察模式切换
像散调节钮
第十七页，共30页。
光阑对中的调节
在较高倍数下，按wobble钮，调节Aperture X和Y，使图像呈心脏般起伏，而不出现左右摇摆。调节 好后，再按一下wobble钮，回到正常模式。
像散和光阑对中调节完成后，需要再对试样进行聚焦。
第十八页，共30页。
蔡司场发射扫描电镜操作培训课件
工作原理简介
电子枪发射电子，经 过加速和聚焦形成电 子束。
信号被探测器接收并 转换为电信号，经过 处理后形成图像。
电子束在磁场作用下 扫描样品表面，与样 品相互作用产生各种 信号。
设备的主要组件和功能
聚光镜
将电子束聚焦并调 整光束大小。
探测器
接收样品产生的信 号，并将其转换为 电信号。
电子枪
发射电子，是电镜 的照明源。
蔡司场发射扫描电镜操作培训课件
目录
• 设备介绍 • 操作流程 • 高级操作与优化 • 应用与案例展示 • 安全注意事项
01 设备介绍
设备概述
01
蔡司场发射扫描电镜是一种高分 辨率、高放大倍率的电子显微镜 ，用于观察和分析材料表面的微 观结构和形貌。
02
它采用电子作为照明源，通过电 子束扫描样品表面，将产生的信 号收集并处理成图像。
紧急情况处理
如遇电镜异常或故障，应立即切断电 源，保持现场，并及时联系专业维修 人员。
若发生触电或火灾等紧急情况，应迅 速切断电源，使用灭火器扑灭火灾， 同时拨打紧急电话求救。
安全培训与教育
操作人员应接受专业培训，熟悉电镜的基本原理、操作流程 及安全注意事项。
定期对操作人员进行安全教育培训，提高安全意识，确保操 作过程的安全性。
陶瓷与玻璃材料探索
研究陶瓷和玻璃材料的微观结构，如气孔率、晶相组成和显微组织 。
表面科学探索
01
ห้องสมุดไป่ตู้
02
03
表面形貌分析
利用场发射扫描电镜观察 材料表面的形貌和粗糙度 ，分析表面的物理和化学 性质。
表面元素组成分析
结合能谱仪等附件，对材 料表面元素进行定性和定 量分析，了解表面化学组 成。
蔡司三坐标培训计划
蔡司三坐标培训计划培训内容概括：1.蔡司三坐标的简单介绍及保养细则2.蔡司三坐标对温湿度及电源、气压的要求3.蔡司三坐标的开关机4.蔡司三坐标的校准及要注意的问题5.蔡司三坐标测量工件过程及精度分析6.以一个工件为例建立自动程序，主要讲述三坐标的编程的过程7.对一些常用的测量方法及测量思路进行探讨A 测量圆锥上固定高度的截面圆直径或者固定直径的高度B 测量构造尺寸及构造元素的尺寸C 测量键槽位置度的方法及评定方法D 焊接轴的测量方法及步骤8.测量报告的分析A 位置度的评定原理及出现的问题B 平面度、垂直度、平行度等评定原理9.蔡司三坐标扫描测量原理及测量方法以一个平面或者一个内孔（圆或者圆柱）扫描测量，对测量结果进行讲解分析10.蔡司三坐标常见故障及其解决办法蔡司三坐标培训教程1.蔡司三坐标的简单介绍及保养细则德国蔡司三坐标是在国际上比较有名的，一是它的精度比较高，二是它的运行稳定性及重复性比较好，三是德国蔡司三坐标所用的探头是三维的，可以在空间的360 度方向探测，测量方向及测量误差自动进行补偿。
相对海康斯康三坐标的二维探头来说，精度比较高，测量稳定性及重复性就比较好。
对蔡司三座标的保养可以参考------- 蔡司三坐标保养细则2.蔡司三坐标对使用环境（温湿度及电源、气压）的要求VistaA对温度的要求18C〜22CB 湿度同样对机器的使用有很大的影响。
湿度过大，容易造成电子元器件的短路，需要配备除湿机；湿度过小，容易产生静电，需要配备加湿机。
Vista 对湿度的要求40％to 60 ％C 对气源的要求，要无水，无油，无尘（实际达不到），但纯度要达到99% 以上；D 一般要求压力6〜10bar,根据不同型号的三坐标，相对Vista来说要求压力6〜8bar建议配备1) 无油空压机或集中的干净气源2) 储气罐3) 粗过滤器4) 压缩空气干燥机5) 精密过滤器（除油）；精密过滤器（除尘）6) 压力调节阀（带0—10bar压力表）E对电源的要求（相对Vista型号的三坐标）电压要求220±0% 频率50HZt3.5% 最大总功率（UPS要求）1000VA3.蔡司三坐标的开关机开机：1 ）检查计量室的温湿度2）打开总电源、总气源检查气压压力3）按照安装顺序，依次打开稳压电源、UPS、空气过滤器等4）打开CMM （coordinate measuring machine）5）打开计算机外部设备，例如打印机、显示器6）打开计算机主机，进入xp 系统7）双击桌面上的快捷图标登录Calypso 软件，机器回零8）打开或者新建一个测量程序，开始测量关机：1）将测头停在合适的位置（一般要求z 轴不暴露光栅尺，位于机器右后上方）2）保存当前测量程序3）退出Calypso 软件（CMM 主机不关，再次开机时CMM 不再回零）4）退出XP 系统5）依次关掉计算机的主机、显示器、打印机等PC 设备6）按下紧急按钮，关掉CMM 主机7）按照顺序依次关掉空气过滤器、UPS、稳压电源等8）关掉总电源、总气源注意:建议每次开关机时间间隔五分钟以上。
扫描电镜操作规程
ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程
一、开机
1、烘烤：超过一个星期完全关机，再开机时要进行烘烤；
2、开总电源；
3、开UPS电源，按UPS机箱后开关至ON，等3秒后至绿灯亮；
4、开冷却水箱，按ON/OFF开关至ON；
5、开空压机，将空压机开关顺时针搬至“1”；
6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”，等2分钟后，
按绿灯“ON”；
7、输入开机密码；
8、启动软件“SmartSEM”；
9、输入用户名；
11、输入用户口令；
12、等系统真空优于5×10-5mbar，枪真空优于5×10-9mbar；
13、加电子枪高压；
14、加灯丝高压；
15、调节亮度、对比度、像散、合轴，使图像最佳。
二、关机
（一）日常关机
1、放气，取样品；
2、关灯丝高压；
3、退出软件“SmartSEM”；
4、退出软件“EMServer”；
5、关电脑；
6、按黄灯，使扫描电镜进入待机状态；
（二）完全关机
1、按红灯；
2、关空压机，搬空压机开关至“0”；
3、关冷却水箱，按开关至OFF，红灯亮后等15分钟；
4、关UPS电源，按ON/OFF开关至OFF，等3秒，关机箱后开关至OFF；
5、关总电源。
2014-1-10。
扫描电镜和电子探针分析技术培训要点
扫描电镜和电子探针分析技术培训要点扫描电镜和电子探针分析技术培训要点目标
了解扫描电镜和电子探针的基本结构与原理,了解扫描电镜和电子探针检测/校准项目及相关要求,掌握国家标准中扫描电镜和电子探针的检测方法,掌握扫描电镜和电子探针测量数据的结果处理方法及测量结果不确定度评定的基础知识。
1、扫描电镜和电子探针分析技术基础
(1) 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则
(2) 扫描电镜的结构,电子束与固体样品的相互作用,表面形貌分析基础,X
射线能谱,EDX,分析基础,电子背散射衍射技术,EBSD,分析基础。
2、扫描电镜和电子探针分析技术的仪器设备操作技术
,1,扫描电镜的成像原理与基本构成～各部件的用途和操作技术。
,2,X射线能谱仪的结构与分析软件～测量前的准备、测量条件的选择～定量分析修正方法。
,3,EBSD系统附件的构成、工作条件、背景扣除、样品处理。
3、扫描电镜和电子探针分析技术的标准方法与应用技术
,1,GB/T 17359-1998, 扫描电镜和电子探针X射线能谱定量分析方法通则
,2,GB/T 16594-1996, 微米级长度的扫描电镜测量方法
,3,GB/T 19501-2004, 电子背散射衍射分析方法通则
,4,GB/T4930-93～电子探针分析标准样品通用技术条件
4、扫描电镜和电子探针分析技术的数据分析与处理
能谱成分分析案例。
场发射扫描电子显微镜实验操作
场发射扫描电子显微镜实验操作扫描电子显微镜（SEM）是一种能够获得高分辨率表面形貌信息的重要工具。
在实验室中，我们经常会使用场发射扫描电子显微镜来观察样品的微观结构和形貌。
本文将介绍场发射扫描电子显微镜的实验操作步骤。
实验准备在进行场发射扫描电子显微镜实验之前，我们需要进行一些准备工作。
首先，确保实验室环境干净整洁，以避免样品受到污染。
其次，检查扫描电子显微镜设备，确保设备正常工作。
最后，准备好待观察的样品，并确保样品表面平整干净。
样品处理与加载处理样品是进行场发射扫描电子显微镜实验的关键步骤。
首先，将待观察的样品切割成适当大小，并利用相关方法处理表面以去除可能的杂质。
然后，将样品加载到扫描电子显微镜样品台上，并使用夹具固定样品。
参数设置在进行扫描电子显微镜实验前，需要设置合适的参数以获得清晰的显微结构图像。
首先，调整加速电压和工作距离，以适应待观察样品的性质和尺寸。
其次，设置扫描速度和倍率，以获得所需的图像分辨率。
最后，根据需要选择不同的检测模式和滤波器。
图像获取与分析当参数设置完成后，可以开始进行样品的图像获取。
通过扫描电子束对样品进行成像，获得样品表面的细微结构信息。
在获取图像后，可以利用相应软件对图像进行分析，包括测量尺寸、分析形貌等。
同时，可以记录图像和相应数据以备后续分析。
结束实验与维护实验结束后，及时关闭扫描电子显微镜设备，并对设备进行清洁和维护。
将样品从样品台取下，妥善保存或处理。
同时，整理实验记录和数据，保留有关信息以备后续参考。
通过以上步骤，我们可以完成一次成功的场发射扫描电子显微镜实验操作。
这不仅可以帮助我们深入了解材料的微观结构和形貌，还可以为科学研究和工程应用提供重要参考。
希望本文对您进行场发射扫描电子显微镜实验操作有所帮助。
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程1. 引言场发射扫描电子显微镜（Field Emission Scanning Electron Microscope，FE-SEM）是现代科学研究中常用的一种实验设备。
本文档旨在说明使用FE-SEM的安全操作规程以及设备的保养方法，保障使用人员的安全并延长设备的使用寿命。
2. 安全操作规程2.1 个人安全 - 在使用FE-SEM之前，使用人员应接受相关培训，了解设备的基本操作方式和安全注意事项。
- 在操作过程中，使用人员应佩戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、手套和实验服等。
- 在进行样品处理和加载时，应注意避免接触有毒或腐蚀性物质，并采取适当的防护措施。
- 若出现设备故障或异常情况，应立即停止操作并向相关人员报告。
2.2 设备安全 - 在操作之前，应检查设备的电源、冷却系统和真空系统是否正常工作。
- 禁止在离设备太近的地方放置易燃、易爆物品。
- 避免使用金属工具或其他尖锐物品直接接触设备，以免损坏设备外壳或导致电气短路。
- 在操作时，确保设备周围没有杂物或其他障碍物，以免影响操作或造成伤害。
2.3 样品处理与装载 - 检查待测样品是否符合FE-SEM的尺寸和材料要求。
- 在进行样品处理和装载时，避免给样品带来静电或其他污染源，保持样品表面干净。
- 使用合适的工具和技术进行样品装载，确保样品与设备接触良好。
3. 设备保养规程3.1 日常清洁 - 定期清洁设备外壳和工作区域，避免尘埃和杂物积累。
- 使用清洁棉布或软刷，避免使用酸性、碱性或腐蚀性溶剂来清洁设备。
- 定期清理样品台和探针，确保设备在正常工作状态下进行观察。
3.2 真空系统维护 - 定期检查真空泵和真空管路的密封性能，确保系统处于正常工作状态。
- 定期更换真空泵的油封、滤芯等易损件，延长设备使用寿命。
- 注意监测真空度的稳定性，如发现异常应及时处理。
3.3 电子枪维护 - 定期检查电子枪的工作状况，清洁电子发射区域，避免灰尘和污垢的堆积。
蔡司sigma300扫描电镜操作步骤及实例
界面-操作软件简介
选择图像储存的 分辨率 扫描速度
图像的冻结是以 手动形式还是扫 描完整幅图片后 自动冻结
积分次数或平均 次数
SEM control: Scan界面
选择图像噪点去 除的六种方式： 帧平均、帧积分、 线平均、线积分、 像素平均、连续 平均
界面-操作软件简介
SEM control: Stage界面
线扫描元素质量分数变化曲线
功能-面扫描(EDS)
喷涂环氧富锌漆的金属表面
单种元素面分布色图
功能-电子背散射衍射（EBSD）
简介
EBSD技术主要应用 于晶体学取向、再结 晶形核与长大机制、 织构、相变及其位向 关系、界面结构特征、 晶体缺陷密度、绝热 剪切带内部的取向及 织构等。
02
基本流程与界面
基于Windows7SmartSEM操作系统
SIGMA300/VP扫描电子显微镜/实验楼4层
工作原理和特点
01
02
表（界）面形貌 分析；
分辨率高，可达 纳米级；
03
放大倍数可连续 调节放大，十几 倍到几十万倍；
04
三维立体效果 好，扫描电镜 图像景深大；
05
样品制备简单。 导电样品只要尺 寸大小合适，可 直接观察；
流程-控制台
样品台上下高度调整、
左右倾斜角度调整
X、Y方向像散
亮度、对比度
样品台前后 左右平移、 自转
放大倍数调节
聚焦
流程-图片保存方法
注意
调整好噪点参数， 使图像平滑清晰。 鼠标移动到图片上， 点击鼠标右键，选 择 “send to” ， 然后选择需要保存 的图片格式。
流程-图片保存方法
选中需要保存的图 片格式后，跳出左 边对话框 选择你要保存的目 录
蔡司场发射扫描电镜操作培训
后，屏幕上出现一个十字
座标。拖动十字座标到感
兴趣点，点击鼠标左键。
感兴趣点将自动移到屏幕
中心。
操作软件简介
样品台导航器: 显
示样品座的位置和
一些参数。请注意:
这只代表样品座的
位置。不是样品的
位置。
操作电镜的基本流程
• 将样品放入样品室, 抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）
。真空度达到5.00e-005mbar以下时, 可打开设定的高压, 取
操作电镜的基本流程
样品台控制器:
当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。
当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。
当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左
右移动。
当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转
。
操作电镜的基本流程
图片保存: 当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择Send
• SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的
分辨率
扫描速度
图像的冻结是以手动
形式还是扫完整幅图
片后
积分次数或者是
平均次数
图像噪音去除的六种方
式选择: 帧平均，帧积
分，线平均，线积分，
像素平均，连续平均。
操作软件简介
• SEM Control: Stage界面
样品台目前所在的位
置
激活此处: 样品台泄真空时
循环机给机器降温散
热量很大, 所以隔间门
要打开, 不得关闭, 尤
其在夏天, 否则水循环
机负荷太大会损坏。
操作软件简介说明
• Smart软件的启动
• 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中
扫描电镜第二期理论知识培训
样品制备
• 对于其它导电性好的样品如金属，合金以及半 导体材料，薄膜样品基本不需要进行样品处理， 就可以直接观察。只要注意几何尺寸上的要求。 但要求样品表面清洁，如果被污染容易产生荷 电现象。
• 对于需要进行元素组成分析的样品，一般在表 面蒸发轻元素作为导电层如：金属铝和碳薄膜 层。
• 对于粉体样品可以直接固定在导电胶带上。
二次电子像的分辨率约为5-10nm，背反射电子像的分辨率约为50-200nm。X 射线的深度和广度都远较背反射电子的发射范围大，所以X射线图像的分辨 率远低于二次电子像和背反射电子像。
24
（3）景深 • 景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 • 扫描电镜的景深为比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深大
培训概况 培训内容 疑难问题解答
1
培训时间： 2012年11月21日～30日；
培训概况
培训地点： 湖北工业大学分析测试中心电镜室；
培训方式： 一、扫描电镜理论知识培训 二、扫描电镜操作培训 三、能谱理论知识及操作培训 四、上机培训
2
理论知识培训内容
➢ 扫描电镜工作原理 ➢ 扫描电镜构造 ➢ 扫描电镜主要性能指标 ➢ 样品的制备ห้องสมุดไป่ตู้➢ 使用技巧及注意问题
❖ 背散射电子的产额与原子序数密切相关
在原子序数低于40范围内，原子序数越高，背散
射电子产额越大，图象越亮，反之亦然
定
性成分分析。
如果A区的原子序数 大于B区的原子序数， 则A区相对于图象上 是亮区，B区为暗区。
A
B
B
A
A
A
B
BSE
SEI
二、扫描电镜的构造
蔡司三坐标培训教材演示课件
二、探头介绍
探头类型 探头允许最大承重50g
探头允许最大接长125mm
RDS
精选编制
VAST/XXT
探 针 系 统
三、手动装卸探针
探针组装 探针安装 探针卸载 探针定义
1. 探针组定义、添加、删除 2. 测针定义
旋转探头 增加测针 增加测针 创建探针组 旋转探头
精选编制
探 针 系 统
特 性 输 出
二、形位公差输出
形状输出 位置输出
精选编制
CNC 编 程
一、编程步骤
1. 建立工件坐标系 2. 建立安全平面 3. 采集测量元素 4. 元素策略及评定设置 5. 输出测量特性 6. 安全五项检查
a) 安全平面 b) 安全距离 c) 回退距离 d) 探针组的设定 e) 探针的设定
精选编制
二、曲线生成
名义值导入
公式生成
模型上截取 逆向获取
精选编制
曲线元素
曲 线 知 识
三、策略和评定
策略主要用于选择 曲线的获取方式
评定主要用于曲线
获取后的计算方法
曲线策略
曲线评定
精选编制
曲 线 知 识
四、曲线输出
轮廓度 Sat曲线实体
ASCII文件
精选编制
硬 件 知 识
一、硬件
机器型号： CONTURA G2 机器坐标系及零点 量程：700*1000*600 最大载重量：720公斤 精度：0.0018mm
精选编制
输 出 报 告 设 置
1.报告格式修改 2.报告表头修改 3.报告保存路径修改
用户输出格式 紧凑报告格式 缺省报告格式
精选编制
探 针 系 统
探针校准目的 探头介绍 手动装卸探针 自动装卸探针 手动校准探针 自动校准探针
德国蔡司钨灯丝扫描电镜EVO MA10技术说明
德国蔡司钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO MA10北京欧波同光学技术有限公司2017年09月07日目录一、聚焦CARL ZEISS (3)二、产品概述 (4)三、技术参数 (5)四、计划进度及培训 (7)五、环境要求 (8)六、质保及其他服务 (9)一、聚焦CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业—德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域50年及透射电镜领域60多年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、扫描离子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
欧波同有限公司做为Carl Zeiss 集团显微镜事业部的战略合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山、济南、郑州、西安等地设有营销机构和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
二、产品概述扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
蔡司全自动三次元培训教材 (1)ppt课件
2、软件基本操作
（1）、软件启动 启动软件后，出现如下对话框图示1，直接确定，等待系统出现
归零对话框图示2，点击确定。
图示1
图示2
基本操作
（2）、进入软件界面如下：
（3）、软件基本操作
基本操作
I. 创建新的测量程序 II. 打开已有的测量程序 III. 保存测量程序 IV. 关闭测程序
备注:几乎所有元素可以通 过这两种方式解决。
测量策略
不同的元素有不同的测量策略 常用的策略： 定义安全参数
1. 定义安全平面 2. 定义回退距离 3. 定义探针
定义测量方式
（打点还是扫描）
定义点列表
坐标系
一、基本坐标系
笛卡尔坐标
圆柱坐柱
球坐标
坐标系
二、附加坐标系
资源→其它→坐标系
附加坐标系和基本 坐标系可以是相互独 立的坐标系，也可以 只在原有的基本坐标 系之上修改需要的相 关参数。
输出报告设置
1.报告格式修改
2.报告表头修改 3.报告保存路径修改
用户输出格式
紧凑报告格式
缺省报告格式
探针系统
➢探针校准目的 ➢探头介绍 ➢手动装卸探针 ➢自动装卸探针 ➢手动校准探针 ➢自动校准探针
探针系统
一、目的
✓获取红宝石的直径 ✓探针间的相互位置关系
二、探头介绍
✓探头类型 ✓探头允许最大承重50g ✓探头允许最大接长125mm
RDS VAST/XXT
探针系统
三、手动装卸探针
✓探针组装
✓探针安装
✓探针卸载
✓探针定义
1. 探针组定义、添加、删除 2. 测针定义
旋转探头 增加测针
创建探针组 增加测针