氦质谱检漏仪校准规程

氦质谱检漏仪校准规程

1 目的

氦质谱检漏仪按国家有关标准制造，考虑到工厂的实际条件及可行性，以及仪器的各项检测性能完好，符合产品检测要求，特制定本规范。

2 范围

本规程适用于本公司使用中和修理后的氦质谱检漏仪的校准。

3 引用标准

生产商提供的技术文件。

4. 校准条件

校准氦质谱检漏仪的标准漏孔，应是由有关专业机构校准过的并有校准证明的渗氦型标准漏孔，漏率范围在10-9 Pa·m3/s数量级。

5. 校准程序

5.1 外观

仪器整机应完整，表面应清洁，不应有影响正常工作的破损现象，仪器内机械泵油位在正常工作范围内，肉眼观察油质无明显变化。

5.2 通电后性能

面板开关，按钮性能接触良好，内部无短路。机械泵和涡流分子泵运转正常，无异常响声。仪器通电启动后，各项真空指示正常，能在规定时间内达到仪器正常工作所需的真空度。

5.3 最小可检灵敏度

开机后仪器各项指示，性能正常，仪器内质谱室真空度达到能开启质谱灯丝的水平，打开仪器内校准漏孔，仪器的最小可检灵敏度应优于1×10-10Pa·m3/s。

5.4 响应时间

打开校准漏孔后，到仪器指示值到达仪器指示最大值的63%所需时间，即为

响应时间，响应时间应≤3s。

5.5 清除时间

关闭校准漏孔后，到仪器指示值达到仪器最大指示值的37%所需时间，即为

清除时间，清除时间应≤3s。

6 校准结果处理

如校准合格，则贴上准用标签；如保养不合格，修复后进行校准；则贴上停用标签。合格贴合格证，不合格提出申请报废意见。

7 校准周期

校准周期为一年。

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