氦质谱检漏仪校准规程
氦质谱检漏仪校准方法
氦质谱检漏仪校准方法
氦质谱检漏仪广泛应用于空调、制冷、化工、航空航天等领域，用于检测系统中的泄漏点。
为了确保检测精度和可靠性，应定期对氦质谱检漏仪进行校准。
校准前准备：
1.确认所需校准气体类型及浓度；
2.检查仪器是否处于正常工作状态。
校准步骤：
1.连接校准气体并进入“校准”模式；
2.将氦质谱检漏仪置于校准室内，在室内进行预热处理；
3.根据校准气体类型及浓度设置仪器参数，确保仪器读数正确；
4.开始校准，根据校准气体设置参考值，比较仪器读数与参考值的误差，根据误差调整仪器灵敏度；
5.校准后进行零点校准，将仪器读数调整至零点。
校准后测试：
校准后应进行测试，检测仪器是否能够准确检测泄漏点。
如有异常，应重新进行校准。
总结：
氦质谱检漏仪是一种高精度检测仪器，校准是确保其准确性和可靠性的重要步骤。
根据需要，建议定期进行校准，以保证检测结果的准确性。
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氦质谱检漏仪检漏标准
氦质谱检漏仪检漏标准
氦质谱检漏仪广泛用于发现贵重设备和系统中微小或难以访问的泄漏，它是一种高灵敏度的检测技术，能够检测到极小的气体泄漏。
具体的检漏标准如下：
1. 默认泄漏率：在正常操作条件下，当系统内压力为1.33×10^-5 Pa（0.1 torr）时，泄漏率不得大于1×10^-6 Pa·m^3/s（1×10^-8 mL/s）。
2. 类别1泄漏率：对于容积大于50 L，1.33×10^-5 Pa（0.1 torr）以下的泄漏检测，泄漏率应不大于1×10^-6 Pa·m^3/s（1×10^-8 mL/s）。
3. 类别2泄漏率：对于容积在10L~50L的系统，1.33×10^-5 Pa（0.1 torr）以下的泄漏，泄漏率应不大于5×10^-7 Pa·m^3/s（5×10^-9 mL/s）。
4. 细微泄漏率：对于容积小于10L的系统，检测细微泄漏时，泄漏率应不大于1×10^-7 Pa·m^3/s（1×10^-9 mL/s）。
值得注意的是，氦质谱检漏仪的泄漏标准是依据欧洲和美国的相关安全规范制定的，在国内生产环境中可能存在些许差异，具体标准应在实际生产中结合相关国家的标准进行调整。
氦质谱检漏仪平均校准系数
氦质谱检漏仪平均校准系数
氦质谱检漏仪的平均校准系数是指在一定的检漏范围内，氦质谱检漏仪对漏率的测量误差的平均值。
这个系数通常是通过对标准漏孔进行多次测量得到的。
具体来说，对于一个给定的氦质谱检漏仪，可以通过以下步骤来计算平均校准系数：
1. 准备一组标准漏孔，这些漏孔的漏率已知，可以通过其他检漏方法得到。
2. 对每个标准漏孔进行多次测量，记录下每次测量的漏率值。
3. 计算每个漏孔的平均漏率值，并计算每个漏孔的测量误差，即每个漏孔的测量值与平均漏率值之差的绝对值的平均值。
4. 计算所有漏孔的测量误差的平均值，即为氦质谱检漏仪的平均校准系数。
需要注意的是，氦质谱检漏仪的平均校准系数通常是与检漏仪的型号、制造商、使用条件等因素有关的。
因此，在使用氦质谱检漏仪进行检漏时，需要根据具体情况进行校准，以确保测量结果的准确性。
氦质谱检漏仪使用说明(1)
氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。
氦质谱检漏仪校准方法培训
氦质谱检漏仪校准方法培训嘿，朋友们！今天咱要来聊聊氦质谱检漏仪校准方法这个事儿。
这氦质谱检漏仪啊，就像是个超级侦探，专门负责找出那些微小的泄漏点呢！要校准这厉害的家伙，咱得一步一步来。
首先呢，你得准备好各种工具和标准物质，这就好比战士上战场得有趁手的兵器呀！然后仔细检查仪器的各个部件，看看有没有啥问题。
这就像给它做个体检，确保它是健康的，能好好干活。
接下来就是关键步骤啦！要设置好校准的参数，这可不能马虎，就跟给房子打地基似的，得稳稳当当的。
然后呢，用标准物质进行测试，看看仪器的反应是不是准确。
这就好像考试一样，得检验检验它到底学没学好。
在这个过程中，可千万要细心啊！要是有一点疏忽，那可就像千里之堤毁于蚁穴一样，后果不堪设想。
你想想，如果校准不准确，那之后用它检测出来的结果能靠谱吗？那不是闹笑话嘛！而且啊，校准的时候还得注意环境因素呢。
温度、湿度啥的都可能会影响结果。
这就好比人在不同的环境下心情和状态也会不一样。
所以得给它创造一个合适的环境，让它能好好发挥。
还有哦，校准可不是一锤子买卖，得定期进行呢。
就像人要定期体检一样，这样才能保证它一直都能精准地工作呀。
要是长时间不校准，那它可能就会“开小差”啦。
咱再打个比方，这氦质谱检漏仪就像是一辆汽车，校准就是给它做保养。
只有经常保养，它才能跑得又快又稳，为我们服务呀！总之呢，氦质谱检漏仪校准方法可不能小瞧。
只有认真对待，严格按照要求来做，才能让它成为我们可靠的伙伴，帮我们找出那些隐藏的泄漏点。
大家可一定要记住哦！别嫌我啰嗦，这可都是为了大家好呀！希望大家都能熟练掌握这个校准方法，让我们的工作更顺利，更高效！你们说是不是这个理儿呢？。
氦气检漏仪检定规程
氦气检漏仪检定规程一、引言氦气检漏仪是一种用于检测各种封闭系统和设备中气体泄漏的仪器。
在工业生产中，泄漏问题会导致能源浪费、环境污染以及设备损坏等严重后果。
因此，对氦气检漏仪进行定期检定是确保其准确性和可靠性的关键。
二、检定方法1. 准备工作在进行氦气检漏仪检定之前，首先需对设备进行准备工作，包括检查氦气检漏仪的外观是否完好，检查电源是否正常，确认氦气供应是否稳定等。
2. 检定仪器精度使用已知泄漏源模拟真实工况下的气体泄漏情况，并通过与已知泄漏率对比，评估氦气检漏仪的检测精度。
这可以通过将氦气检漏仪与标准仪器进行比对来实现。
3. 检定仪器响应时间使用已知泄漏源模拟气体泄漏，记录氦气检漏仪的响应时间。
响应时间是指仪器从检测到泄漏信号到发出警报的时间间隔。
通过与标准响应时间进行比对，评估氦气检漏仪的响应性能。
4. 检定仪器稳定性在一定时间范围内，对氦气检漏仪进行连续检测，记录检测结果，并评估仪器的稳定性。
稳定性是指仪器在长时间使用过程中的测量结果是否保持一致。
5. 检定仪器灵敏度使用已知泄漏源模拟不同泄漏量的情况，记录氦气检漏仪的检测灵敏度。
灵敏度是指仪器能够检测到的最小泄漏量。
通过与标准灵敏度进行比对，评估氦气检漏仪的灵敏度性能。
6. 检定仪器可靠性对氦气检漏仪进行长时间连续检测，记录仪器的工作状态和检测结果。
通过评估仪器的工作稳定性和准确性，评估仪器的可靠性。
三、检定结果评估根据检定结果，对氦气检漏仪的各项性能进行评估。
如果仪器的检定结果符合标准要求，则认为仪器合格；如果不符合标准要求，则认为仪器不合格。
对于不合格的仪器，需要进行维修或更换部件，然后重新进行检定。
四、检定周期氦气检漏仪的检定周期应根据仪器的使用频率和重要性来确定。
通常情况下，仪器应每年进行一次全面检定，并在每次使用前进行功能验证。
五、检定记录和报告对氦气检漏仪的检定结果应进行记录和报告，包括仪器的型号、编号、检定日期、检定人员等相关信息。
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
氦气检漏仪检定规程
氦气检漏仪检定规程一、引言氦气检漏仪是一种常用的检漏仪器，广泛应用于工业生产和实验室等领域。
为了确保氦气检漏仪的准确性和可靠性，需要进行检定。
本文将介绍氦气检漏仪检定的规程。
二、检定仪器准备1. 确保检定仪器的正常工作状态，包括电源、氦气供应、探头等。
2. 准备好标准氦气源和漏气样品。
三、检定流程1. 连接氦气源和漏气样品至检漏仪。
2. 打开检漏仪电源，待其自检完成后进入工作状态。
3. 设置检漏仪的工作参数，包括灵敏度、采样时间等。
4. 打开氦气供应，使氦气进入漏气样品。
5. 开始检测，观察检漏仪的显示屏，记录检测结果。
6. 对不同的漏气样品进行多次检测，确保结果的准确性。
四、检定结果处理1. 对于每次检测的结果，应记录漏气样品的信息、检测时间和检测结果等。
2. 对于同一漏气样品的多次检测结果，应计算平均值，并计算其相对误差。
3. 检定结果应与标准氦气源进行比对，计算误差值。
4. 根据误差值判断检漏仪的准确性和可靠性，若误差值超过规定范围，则需要进行校准或维修。
五、检定频率1. 对于日常使用的氦气检漏仪，建议每年进行一次检定。
2. 对于高精度要求的氦气检漏仪，建议每半年进行一次检定。
六、检定记录和报告1. 检定结果应记录在检定记录表中，包括仪器信息、检定日期、检定人员等。
2. 检定报告应包括检定结果、误差值、校准建议等内容。
七、质量控制1. 检定过程中应严格按照规程进行操作，确保操作的准确性和可重复性。
2. 检定人员应具备相应的技术能力和专业知识，确保检定结果的准确性和可靠性。
八、结论氦气检漏仪的检定是确保其准确性和可靠性的重要环节。
通过按照规程进行检定，可以及时发现和解决检漏仪的问题，提高其工作效率和精度。
建议按照规定的频率进行检定，并记录检定结果和报告，以便进行质量控制和追溯。
九、参考文献[1] GB/T 12512-2009 气体检漏仪的检定规程[2] JJF 1059-2010 检漏仪检定规程以上是氦气检漏仪检定规程的内容介绍，通过按照规程进行检定，可以确保氦气检漏仪的准确性和可靠性，提高工作效率和精度。
推荐-氦气检漏仪精度检验作业指导书 精品
氦气检漏仪精度检验作业指导书一、目的：对设备的精度进行检验，提高设备的检验精度，保证产品的检测精度。
二、范围适用于公司所有设备三、检验周期每周对设备进行定期检验四、职责1.设备的检验操作由设备部安排人员进行操作，并且对设备的精度进行校正。
2.检验和校正的结果由质检部进行记录和存档。
五、操作程序从吸入口，拆下分流组件，将打开的氦测试漏孔连到吸入口。
再按一次START按钮图。
吸入口被抽空，然后测量和显示测试漏孔漏率。
按STOP按钮图中止测量。
将显示“待机”模式。
再按一次STOP按钮图，直到显示器出现STAND-BY/VENTED 信息为止，于是入口被破空放气，从吸入口拆掉氦测试漏孔，再把分流组件装回吸入口5.1氦测试漏孔的应用5.1.1用于真空泄漏检测CALIBRATED LEAK TL 4-6用小法兰接头接到检漏仪上，而且可用于微调质谱仪并用于检查时间回应和检测灵敏度。
5.1.2 微调检漏仪在粗率真空范围中。
为了校准检漏仪在总的泄漏范围内，使用泄漏校准瓶本身给出的名义泄漏率。
该泄漏率通过操作出口螺钉（2/3）来获得，这样压力表上显示的压力bar将是零，为了该目的，贮水槽的闭塞阀（2/2）必须要关闭。
泄漏校准瓶TL4-6直接连到泄漏检测仪的检测端口。
现在，检漏仪可以被校准到泄漏校准瓶的名义泄漏率了。
当关闭闭塞阀隔膜片（2/6）时，也有可能可以检查零水平。
尽管闭塞阀隔膜片（2/6）很长时间保持关闭状态，开口上（“吞”氦气）将不会发生不好的峰值。
微调检漏仪后，如果需要——也作为压力计压力的功能（它能够使用TL 4-6的总的泄漏流动范围）可以画出一条独立的泄漏流动率的校准曲线。
对于工业校准曲线请参照第6节。
5.1.3 确定真空系统的监测灵敏度和回应时间。
为了该目的，TL 4-6应该装在设备的最远点。
关闭泄漏关闭阀（2/6），用出口螺钉调节压力表上指示的压力，这样，泄漏校准瓶就会提供想要的的泄漏率，但这仍要监测。
氦质谱检漏仪 技术要求
氦质谱检漏仪技术要求篇一【氦质谱检漏仪技术要求】哎呀，咱今天就好好聊聊这氦质谱检漏仪的技术要求。
为啥要整这些要求呢？你想想看，要是这仪器不靠谱，那咱们的工作不就抓瞎啦？先说这检漏的精度要求，这可是关键中的关键啊！咱得保证它能检测到最小泄漏率低于 1×10⁻¹² Pa·m³/s ，这可不是闹着玩的，要是精度不够，那小漏咱都发现不了，后面麻烦可就大了去了！**这精度要求达不到，那还检个啥漏啊？**再说说响应时间，它得快！不能磨蹭，得在 2 秒以内给出响应。
你说要是响应慢腾腾的，等它反应过来，黄花菜都凉了！**这响应时间慢，能行吗？**还有重复性，每次检测的结果得差不多才行，误差不能超过5%。
不然今天测一个样，明天又一个样，这不把人搞晕啦？操作界面也得友好，不能让人看着就头疼。
按钮标识得清楚明白，菜单设置得简单易懂，**难不成还让人拿着说明书一步一步对照着操作？**这仪器的稳定性也很重要，连续工作 8 小时以上，性能不能有明显下降。
要是干一会儿活就掉链子，那不是耽误事儿嘛！咱为啥要提这些要求？还不是为了能高效、准确地检测泄漏，保证产品质量，提高工作效率嘛！要是达不到这些要求，那后果可严重了，产品可能不合格，客户不满意，咱们的饭碗都可能保不住喽！篇二【氦质谱检漏仪技术要求】嘿，伙伴们！今天来谈谈氦质谱检漏仪的技术要求，这可关乎着大事儿呢！为啥要有这些要求？很简单啊，咱们得保证检测的准确性和可靠性，不然就是瞎忙活。
首先，分辨率得高！至少要达到1×10⁻⁷Pa·m³/s ，这意味着啥？就是再小的泄漏它也能给咱揪出来！**你说要是分辨率低了，能行吗？**仪器的检测范围也不能小，从 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 到 1×10⁻² Pa·m³/s 都得能覆盖。
范围小了，有些大漏小漏就测不了啦。
氦质谱检漏操作规程
氦质谱检漏操作规程氦质谱检漏是一种常用的高精度气体泄漏检测方法，广泛应用于各个行业的设备、管道、容器的泄漏检测。
一、操作前准备：1. 确定检测对象：确定需要检测的设备、管道或容器，并明确泄漏的位置；2. 准备仪器设备：确保氦质谱仪及其配套的氦气源、真空系统、探头等设备良好运行；3. 清洁检测对象：清除检测对象表面的油污、尘垢等物质，以免干扰检测结果。
二、操作步骤：1. 准备样品室：将需要检测的设备、管道或容器连接到氦质谱仪的样品室，保证连接口密封可靠；2. 真空抽气：打开氦质谱仪的真空系统，将检测对象及样品室内部的气体抽至真空状态，通常要求达到10^-6 Pa以下的真空度；3. 确定扫描范围：根据需要检测的泄漏位置，设置氦质谱仪的扫描范围和扫描速度，以确保能够准确检测到泄漏气体的存在；4. 进行泄漏检测：打开氦气源，将氦气加入到样品室中，同时打开氦质谱仪的检测模式，并开始进行扫描；5. 分析检测结果：根据氦质谱仪的显示结果，观察并记录泄漏信号的强度、大小和位置，以确定泄漏的具体位置；6. 确认泄漏位置：根据检测结果，排除可能的干扰因素，确定泄漏的具体位置；7. 停止泄漏检测：关闭氦气源和氦质谱仪的检测模式；8. 检修和修复：根据泄漏位置和检测结果，对泄漏位置进行维修和修复，确保设备、管道或容器的正常使用。
三、操作注意事项：1. 操作人员必须熟悉氦质谱仪的使用方法和操作规程；2. 操作过程中要注意安全，防止氦气泄漏造成爆炸危险；3. 对于高真空设备，要确保真空度达到要求后再进行泄漏检测，以免影响检测结果；4. 检测过程中要及时记录检测结果，并留下必要的检测记录和报告；5. 对于大型设备、管道或容器，可以采用分段泄漏检测的方式，以提高检测效率和准确性；6. 检测后要对设备、管道或容器进行清洁和维护，确保其正常运行。
氦质谱检漏是一种高精度、高灵敏度的泄漏检测方法，能够快速准确地定位泄漏点，提高设备、管道或容器的安全性，减少环境污染和人身伤害风险。
最新智能型氦质谱检漏仪校准规范.pdf
7.3 仪器启动时间试验（对 ZLS-26D/T 型） 用秒表记录仪器自开机后至真空达到 1×10－2 Pa 的时间（仪器已停机 8h
但未超过 24h，系统保持真空）。
7.4 漏率音响报警功能的试验
调节放大器的输出示值，检验报警点的设定范围及音响器频率的变化。
7.5 仪器的最小可检漏率
按正常开机过程，抽到高真空，激发冷规，待抽到真空度为
HJ-M-187-2009
智能型氦质谱检漏仪校准规程
2009-11-20 发布
2009-12-01
实施
陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部
HJ-M-187-2009
本规程签署人员
编制： 校对： 审核： 审定： 标审： 批准：
管理室 仪器仪表室
发放单位及份数
1
长度计量室
2
理化实验室
HJ-M-187-2009 代替 HJ-M-187-96 智能型氦质谱检漏仪校准规程
7.9 仪器的自身漏隙检查
当仪器处于最佳灵敏状态，对仪器自身的真空系统进行仔细的喷氦检漏， 观看是否有漏隙。
8. 校准结果处理及校准周期
8.1 校准结果处理
经检测所检项的指标均符合本规范技术要求的检漏仪应粘贴“ 证”。
1. 范围
本规范适用于我公司使用中及修理后的 ZLS-24C 型和 ZLS-26D/T 型氦质 谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的 ASM182T 型氦质谱检漏仪可参照本规范 校准）。
2. 概述
氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、 节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、 质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分） 。由吸枪或喷枪将通过漏孔 漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出 来，通过校准可计算出漏率值的大小。经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来 检查产品和器件的微小漏隙。
氦质谱检漏仪测试使用规范
氦质谱检漏仪1．本规范是氦气质谱检漏仪的使用和保养的技术指导规范2．概述质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。
其技术参数如下：型号：SFJ-211B最小可检漏范围：漏率显示范围：吸枪长度：探头直径：制造标准：渗氦型真空校准漏孔：校准标准：3．使用方法a.实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。
插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽真空15分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。
b.按下检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。
c.将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。
也可以根据客户要求进行测试。
4．注意事项a.在使用过程中，不允许开风扇或者有引起空气流动的动作。
b.在测试进行一个小时后，应在标漏一次。
c.设备必须在停止状态下才能松开卡箍。
d.真空校准漏孔在使用时不要磕碰、用力甩动。
e.吸枪使用时不要有污垢堵住探头口，延长线不要弯折、打结。
f.每次嗅探中途停止时，应按下停止键。
g.非测试人员不得操作设备。
5．设备保养每次使用完设备后应将机器擦拭干净、吸枪接头松开、盖上卡箍盖，用卡箍拧紧。
吸枪绕好，放在设备上方，拔掉电源线，盖上透明塑料袋。
将渗氦型真空校准漏孔收到专门的盒子内。
氦检漏程序
Revision修订号：1Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page页码：1 of 41General概述This specification covers the procedure of helium leak test.本规程规定了氦检漏的操作规程。
2Notes注意事项2.1Helium is lighter than air and can cause choking. The operator should pay attention to self-protection.氦气比空气轻且能令人窒息，操作人员应注意自我防护。
2.2The test site should be dry, lightful, with no airflow or electromagnetic disturbances.试验场地应干燥，光线明亮，无明显的气流和电磁场等外界干扰。
2.3The test site environmental humidity should be less than 75%; the test site environmental temperature shallnot be lower than 15.6 ℃ when the equipment needs to be vacuumed.试验场地环境湿度应＜75%，待设备需抽真空时，试验场地环境温度不低于15.6℃。
2.4All of the components shall be verified that they can withstand the pressure, vacuum or heating during thetest.应确认待检设备的所有组件可承受试验过程的增压、保压、真空或加热干燥。
2.5Helium leak test to be carried out prior to hydro-test.氦检漏应在设备耐压试验前进行。
氦气质谱检漏工艺规程
企业标准
低温液体贮罐氦质谱检漏工艺规程
QJ/XM03.10-2000 1. 范围
本标准规定了低温液体贮罐内容器及真空夹层漏率试验的原理、仪器设备、试验条件、试验程序、试验方法。
本标准适用于真空绝热的固定式或移动式低温液体贮罐的检漏和漏气速率测定。
2. 引用标准
下列标准所含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。
本标准出版时，所示版本均为有效。
所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GBxxxx.3-xxxx低温绝热压力容器试验方法漏气速率测定（国标级报批稿）
3. 试验方法及装置
3.1. 测试方法
低温容器真空夹层漏率测试采用动态氦质谱检漏法。
3.2. 测试装置
容器和真空夹层漏率的试验装置由氦质谱检漏仪、真空泵、真空计、抽气阀、抽气管道及标准漏孔等组成。
试验装置原理图见图1。
4．仪器、设备
常州西玛低温设备有限公司2000-06-26批准2000.07.01实施
QJ/XM03.10-2000
4.1. 氦质谱检漏仪
根据本公司的条件、使用中国科学院北京科学研制中心的ZHP-30型氦质谱检漏仪，最小可检漏率小于5☟10-8Pa.l/s。
4.2. 真空泵
粗轴泵一般选用2x-15型旋片式真空泵或BSO16/006罗茨真空泵，其极限真空度Pa
4.3. 真空阀和抽气管路
真空阀应采用高真空阀，抽气管路尽可能短，抽气管路的漏率<1☟10-9Pa.m3/s。
5. 试验准备
5.1. 被检的容器经气压试验合格，用机械真空泵抽真空，静态真空度已达到
25。
氦质谱检漏仪校准规程
氦质谱检漏仪校准规程1 目的氦质谱检漏仪按国家有关标准制造，考虑到工厂的实际条件及可行性，以及仪器的各项检测性能完好，符合产品检测要求，特制定本规范。
2 范围本规程适用于本公司使用中和修理后的氦质谱检漏仪的校准。
3 引用标准生产商提供的技术文件。
4. 校准条件校准氦质谱检漏仪的标准漏孔，应是由有关专业机构校准过的并有校准证明的渗氦型标准漏孔，漏率范围在10-9 Pa·m3/s数量级。
5. 校准程序5.1 外观仪器整机应完整，表面应清洁，不应有影响正常工作的破损现象，仪器内机械泵油位在正常工作范围内，肉眼观察油质无明显变化。
5.2 通电后性能面板开关，按钮性能接触良好，内部无短路。
机械泵和涡流分子泵运转正常，无异常响声。
仪器通电启动后，各项真空指示正常，能在规定时间内达到仪器正常工作所需的真空度。
5.3 最小可检灵敏度开机后仪器各项指示，性能正常，仪器内质谱室真空度达到能开启质谱灯丝的水平，打开仪器内校准漏孔，仪器的最小可检灵敏度应优于1×10-10Pa·m3/s。
5.4 响应时间打开校准漏孔后，到仪器指示值到达仪器指示最大值的63%所需时间，即为响应时间，响应时间应≤3s。
5.5 清除时间关闭校准漏孔后，到仪器指示值达到仪器最大指示值的37%所需时间，即为清除时间，清除时间应≤3s。
6 校准结果处理如校准合格，则贴上准用标签；如保养不合格，修复后进行校准；则贴上停用标签。
合格贴合格证，不合格提出申请报废意见。
7 校准周期校准周期为一年。
网址： 。
氦质谱检漏规程 - 副本
1、目的：为了确保产品符合技术要求，特制定检验文件指导现场进行检漏工作。
2、范围：车2.1适用于公司所有真空产品的检漏作业。
3、引用标准：3.1 QJ 3123-2000 氦质谱真空检漏方法3.2 QJ 2861-96 氦质谱检漏最小可检漏率检验方法3.3 JHFM.00-YG 核安全级真空阀门项目出厂验收测试大纲3.4 JHFM.00-SG002 核安全级真空阀门项目功能性试验大纲3.5 LH/3S-9S-05/01（D）-E-03-A0 核安全级真空气氛阀技术规格书3.6GB/T15823-2009 氦泄露检测方法4、定义：4.1真空检漏技术：就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。
在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
4.2漏率：漏率的大小需进行校准后方能确定。
一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。
检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。
对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。
如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。
这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。
如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。
4.3漏孔：漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。
容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。
漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。
漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。
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氦质谱检漏仪校准规程
1 目的
氦质谱检漏仪按国家有关标准制造，考虑到工厂的实际条件及可行性，以及仪器的各项检测性能完好，符合产品检测要求，特制定本规范。
2 范围
本规程适用于本公司使用中和修理后的氦质谱检漏仪的校准。
3 引用标准
生产商提供的技术文件。
4. 校准条件
校准氦质谱检漏仪的标准漏孔，应是由有关专业机构校准过的并有校准证明的渗氦型标准漏孔，漏率范围在10-9 Pa·m3/s数量级。
5. 校准程序
5.1 外观
仪器整机应完整，表面应清洁，不应有影响正常工作的破损现象，仪器内机械泵油位在正常工作范围内，肉眼观察油质无明显变化。
5.2 通电后性能
面板开关，按钮性能接触良好，内部无短路。
机械泵和涡流分子泵运转正常，无异常响声。
仪器通电启动后，各项真空指示正常，能在规定时间内达到仪器正常工作所需的真空度。
5.3 最小可检灵敏度
开机后仪器各项指示，性能正常，仪器内质谱室真空度达到能开启质谱灯丝的水平，打开仪器内校准漏孔，仪器的最小可检灵敏度应优于1×10-10Pa·m3/s。
5.4 响应时间
打开校准漏孔后，到仪器指示值到达仪器指示最大值的63%所需时间，即为
响应时间，响应时间应≤3s。
5.5 清除时间
关闭校准漏孔后，到仪器指示值达到仪器最大指示值的37%所需时间，即为
清除时间，清除时间应≤3s。
6 校准结果处理
如校准合格，则贴上准用标签；如保养不合格，修复后进行校准；则贴上停用标签。
合格贴合格证，不合格提出申请报废意见。
7 校准周期
校准周期为一年。
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