光学轮廓仪
白光轮廓仪原理
白光轮廓仪原理白光轮廓仪是一种用于测量物体表面形状和尺寸的仪器。
它可以通过光学方法测量物体的高度、深度和轮廓，从而得到物体的三维形状。
本文将介绍白光轮廓仪的原理、工作流程和应用领域。
一、原理白光轮廓仪的原理基于三角测量原理。
它利用光学投影和图像处理技术，通过测量光源到物体表面的距离来确定物体表面的形状和尺寸。
其基本原理如下：1. 光源发出白光，经过透镜聚焦后照射到物体表面上。
2. 物体表面反射出的光线经过透镜再次聚焦，形成像。
3. 通过调节摄像机位置和角度，捕捉物体表面的像。
4. 利用图像处理算法，分析图像中像素点的亮度和位置信息，计算出物体表面的高度和轮廓。
二、工作流程白光轮廓仪的工作流程包括以下几个步骤：1. 设置测量参数：包括光源位置、光源强度、摄像机位置和角度等。
2. 光源照射：打开光源，将光线照射到物体表面上。
3. 捕捉图像：通过调节摄像机位置和角度，捕捉物体表面的像。
4. 图像处理：利用图像处理算法，分析图像中像素点的亮度和位置信息，计算出物体表面的高度和轮廓。
5. 数据输出：将测量结果输出到计算机或其他设备上进行进一步处理和分析。
三、应用领域白光轮廓仪广泛应用于以下领域：1. 工业制造：用于测量机械零件、电子元器件、汽车零部件等的尺寸和形状。
2. 航空航天：用于测量飞机、火箭等航空器的表面形状和尺寸。
3. 医疗保健：用于测量人体器官的形状和尺寸，如牙齿、骨骼等。
4. 环境监测：用于测量地形、水文等自然环境的形状和尺寸。
5. 文物保护：用于测量文物、艺术品等的形状和尺寸，以便进行保护和修复。
四、总结白光轮廓仪是一种高精度、高效率的测量仪器，其原理基于三角测量原理，通过光学投影和图像处理技术测量物体表面的高度、深度和轮廓。
它广泛应用于工业制造、航空航天、医疗保健、环境监测、文物保护等领域。
随着科技的不断发展，白光轮廓仪将会有更广泛的应用前景。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤
SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤：
1.将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2.将夹具放置在载物台上；
3.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4.使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5.完成扫描设置和命名等操作；
6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7.进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8.进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9.如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11.进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
轮廓投影仪基本知识
轮廓投影仪基本知识轮廓投影仪是一种光学测量设备，能够通过投影物体的轮廓线来实现测量和定位的目的。
它通过将光源投射到物体上，通过物体的轮廓线在投影屏上形成一个影子，然后利用相机或传感器捕捉影子的图像进行分析和处理，从而得到物体的形状和尺寸信息。
轮廓投影仪主要由光源、透镜、投影屏、相机或传感器以及相关的图像处理软件组成。
光源可以是激光光源、LED光源或白光光源，它们能够提供高亮度和稳定的光源，使得投影的轮廓线清晰可见。
透镜用于调节光线的聚焦，使得投影的轮廓线能够在投影屏上形成清晰的影子。
投影屏是一个平面表面，用于接收投影的轮廓线形成的影子。
相机或传感器用于捕捉投影的轮廓线影子的图像，它们可以是CCD相机、CMOS相机或其他类型的传感器。
图像处理软件用于对捕捉到的图像进行处理和分析，从而得到物体的形状和尺寸信息。
轮廓投影仪的工作原理是通过光学投影和图像处理技术的结合来实现的。
当光源投射到物体上时，物体的轮廓线会在投影屏上形成一个影子。
相机或传感器捕捉到的影子图像会通过图像处理软件进行边缘检测、轮廓提取和形状重建等处理步骤，从而得到物体的形状和尺寸信息。
这些信息可以用于测量和定位物体，例如检测物体的长度、宽度、高度、直径等。
轮廓投影仪具有许多优点和应用领域。
首先，它可以快速、准确地测量物体的形状和尺寸，无需接触物体，避免了传统测量方法中可能引入的误差。
其次，轮廓投影仪适用于各种形状和材料的物体，无论是平面物体、曲面物体还是复杂形状的物体，都可以进行测量和定位。
此外，轮廓投影仪还可以实现自动化和非接触式测量，提高了生产效率和测量精度。
轮廓投影仪在许多领域有广泛的应用。
在制造业中，它可以用于零件的检测和测量，例如汽车零件、电子零件、机械零件等。
在电子产业中，它可以用于PCB板的检测和测量，例如电路板的尺寸、孔径、位置等。
在包装行业中，它可以用于包装箱的尺寸和形状的测量，以确保产品的包装质量。
在医疗行业中，它可以用于医学图像的处理和分析，例如CT扫描、X射线等。
光学轮廓仪测量原理
光学轮廓仪测量原理光学轮廓仪是一种应用在工程计量中的车辆测量设备，它利用类似单面镜的光学装置，可以同时实现定位、测量和图像采集。
通过计算，能够准确测量出车辆唯一的外形特征，被广泛应用在车辆衡量、外形尺寸测量和制作工程数据。
一、光学轮廓仪的原理1、光束投影原理：光学轮廓仪使用一种类似单面镜的光学装置，它将一条平直的红外光束照射在车辆表面上，来测量车辆的外形尺寸。
此光学装置使用镜子，就可以把投射到表面上的光束聚焦成一个强光点，两边各会有一张摄像头实时观察光点，并通过光学特性连接得到被追踪的位置，并进行高精度的点测量。
当投射点来回移动时，摄像头可以实时追踪并记录路径上的坐标点，然后通过计算，可以准确测量出车辆唯一的外形特征。
2、图片处理：光学轮廓仪实现大量的外廓点测量，但是由于视觉特征变化时会出现一定噪声，所以需要进行图片识别技术，以将来自摄像头传输过来的图片进行分析处理，然后通过识别算法进行位置定位和形状提取，完成最终的外形尺寸测量要求。
二、光学轮廓仪的优点1、快速准确：光学轮廓仪可以迅速准确地测量出车辆外型尺寸，而且数据处理速度也更快，从而可以提高工作效率。
2、测量精度高：由于光学轮廓仪具有高精度测量功能，因此可以避免在涉及车辆外形尺寸测量时发生较大测量误差，从而更加精确地进行车辆衡量。
3、使用方便：光学轮廓仪不需要采用其它次要设备，只需要一台机器，就可以实现定位、测量、图像采集等多种功能，一次性完成多个测量任务。
4、量程广：光学轮廓仪能够实现较大量程的测量，即使遇到大型实物，也可以完成定位、测量和记录。
三、光学轮廓仪的应用1、车辆量量：光学轮廓仪应用于车辆的量量，可以用来测量整车的高度、长度、宽度、悬重、定位点等外形尺寸。
2、外形尺寸测量：光学轮廓仪还可以用于测量工业产品的外形尺寸，例如机械类产品的尺寸大小等。
3、坐标精准定位：光学轮廓仪可以用来定位坐标系，可以实现精细和准确的坐标定位，以便在工程研究中能够得到准确的定位数据。
狭缝式光束轮廓仪工作原理
狭缝式光束轮廓仪的工作原理1. 引言狭缝式光束轮廓仪（slit-beam profiler）是一种常用于测量光束横截面形状和光强分布的仪器。
它通过使用一系列狭缝和透镜来收集、聚焦和分析光束，从而提供关于光束质量和工作参数的详细信息。
在本文中，我们将详细解释狭缝式光束轮廓仪的基本原理，包括其构造、工作过程以及数据处理方法。
2. 构造狭缝式光束轮廓仪通常由以下几个主要部分组成：•狭缝：用于限制入射光束的尺寸，使得只有沿着一个方向传播的光线可以通过。
•透镜系统：由多个透镜组成，用于收集和聚焦通过狭缝的光线。
•探测器：用于测量通过透镜系统聚焦后的光线在不同位置上的强度分布。
•数据处理单元：用于接收并处理探测器输出的信号，并计算出光束的横截面形状和光强分布。
3. 工作过程狭缝式光束轮廓仪的工作过程可以分为以下几个步骤：步骤1：光束的限制首先，入射光束通过狭缝，狭缝限制了光束的尺寸和形状，使得只有沿着一个方向传播的光线可以通过。
这样可以确保测量到的是一个横截面上的光强分布。
步骤2：光束的聚焦通过透镜系统，狭缝后的光线被收集和聚焦到一个焦点上。
透镜系统由多个透镜组成，用于将散乱的入射光线聚集到一个小区域内，从而增加探测器对光强变化的敏感度。
步骤3：探测器信号采集聚焦后的光线在探测器上产生一个强度分布图案。
探测器通常是一个二维阵列或单个元件，并能够测量不同位置上的光强。
探测器将信号转换为电信号，并输出给数据处理单元进行处理。
步骤4：数据处理与分析数据处理单元接收探测器输出的信号，并进行一系列处理和分析，以获得光束的横截面形状和光强分布。
常用的数据处理方法包括：•光强剖面：计算光束在不同位置上的光强。
•光斑直径：计算光斑的尺寸和形状。
•亮度分布：根据光强剖面计算亮度分布曲线。
•M²因子：用于评估光束质量和聚焦能力。
4. 数据处理方法狭缝式光束轮廓仪提供了丰富的数据，可以用于评估光束质量、聚焦能力以及其他相关参数。
轮廓仪,你真的了解吗？
轮廓仪，你真的了解吗？
轮廓仪，顾名思义，是测量产品表面轮廓尺寸的仪器，根据工作原理的不同，可以分为接触式轮廓仪和非接触式轮廓（光学轮廓仪）。
1.接触式轮廓仪
接触式轮廓仪是通过触针在被测物体表面滑过获取表面轮廓参数，如角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。
代表型号为中图仪器SJ57系列。
SJ57系列接触式轮廓仪广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。
适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。
2.非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）
非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共
计300余种2D、3D参数作为评价标准。
代表型号为中图仪器Super View W1系列。
SuperView W1光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航
空航天、国防军工、科研院所等领域中。
中图光学表面轮廓仪安全操作及保养规程
中图光学表面轮廓仪安全操作及保养规程1. 引言光学表面轮廓仪是一种常用于测量物体表面形貌的仪器。
为了确保操作人员的安全，以及保证仪器的正常运行和使用寿命，本文档旨在提供中图光学表面轮廓仪的安全操作和保养规程。
2. 安全操作规程2.1. 环境要求•操作环境应保持干燥、洁净，温度适宜（一般为20℃±5℃），相对湿度不超过70%。
•操作区域应远离振动、电磁干扰等可能影响测量精度的因素。
2.2. 操作人员要求•操作人员应受过正规培训和授权，熟悉仪器的结构、性能和操作流程。
•操作人员应穿戴适合的个人防护设备，如手套和护目镜。
•操作前应确保操作人员身体和精神状态良好，避免疲劳和嗜睡等情况下进行操作。
2.3. 仪器操作规程•在操作前，检查仪器和测量头的连接是否牢固，确保仪器处于稳定的工作状态。
•仪器电源插头应正确地插入电源插座，确保接地良好，防止电源不稳定或漏电等情况发生。
•操作人员在操作中应按照正确的操作流程，严禁随意更改或跳过任何步骤。
•操作人员不得通过非法手段绕过系统提示或安全检查。
2.4. 注意事项•仪器操作过程中，禁止触摸或摇动仪器以免造成测量误差。
•禁止使用尖锐物品或化学溶剂等可能损坏测量头或显示屏的物质接触仪器。
•在操作完成后，应将仪器恢复到初始设置状态，并将仪器上的所有按钮和开关关闭，以节约电能并确保仪器的寿命。
3. 仪器保养规程3.1. 仪器日常保养•定期检查仪器的外观，清理仪器表面的灰尘和污渍，保持仪器干净整洁。
•定期检查仪器连接线是否有松动或损坏，及时修复或更换。
•定期对仪器进行内部清洁，例如清理测量头和光学元件。
3.2. 仪器存储和运输•仪器不使用时，应将其存放在干燥、防尘的环境中，避免阳光直射和高温。
•仪器在运输过程中，应采取适当的保护措施，如使用防震包装和固定支架，以防止损坏。
3.3. 定期维护保养•按照制造商提供的保养手册，定期对仪器进行检查和维护，如更换部件、校准仪器等。
光学三维轮廓仪实验报告
光学三维轮廓仪一、实验目的对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量二、实验设备原理介绍它的工作原理主要基于光学干涉技术和非接触式测量图1工作台整体三、实验设备中用的传感器及传感器安装位置、类型三维光学轮廓仪的核心部分是光学传感器，它主要由相机、光源和适配器等组成。
主要原理为白光干涉的传感器应用。
图2标注后相机采集被测物体表面的光学信息，适配器将相机和光源组合到一起，以便在同一光路中捕获到被测物体的图像和三维坐标信息。
光源通常使用投影式光源，可以通过光斑和条纹等方式投射出特定的光学图案，用于测量被测物体表面的形态和轮廓。
其中白光干涉的传感器中，白光干涉功能强大，广泛应用于测量表面形貌和透明膜。
它特别适用于测量光滑和适度粗糙的表面。
它的优势在于任何放大倍数都能确保纳米级的纵向分辨率。
具体传感器如下：（1）CCD/CMOS摄像头：用于捕捉物体表面的图像。
（2）激光发射器：用于发射激光光束。
（3）激光接收器/相机：用于接收反射回来的激光光束或者激光散斑图案。
四、查找资料，写出设备上传感器的工作原理所用传感器的工作原理：（1）CCD/CMOS摄像头：将物体表面的图像转换成电信号。
（2）激光发射器：发射一束激光光束，通常是一条直线或者一组线条。
（3）激光接收器/相机：接收激光光束反射回来的信号，或者接收被激光光束照射后产生的散斑图案。
最后通过分析摄像头捕获到的图像或者激光接收器接收到的信号，可以计算出物体表面的三维形状和轮廓。
五、数据处理的方式在光学传感器采集到物体的图像和三维坐标信息后，需要对这些数据进行处理和分析。
数据处理主要包括：1.图像预处理。
由于光学传感器采集的图像存在噪声和失真等问题，需要采用滤波和去噪等技术对其进行预处理，以便后续处理和分析。
2.点云处理。
光学传感器采集到的三维坐标信息被称为点云，在点云中，每个点都有自己的坐标信息和颜色信息。
点云处理主要包括点云对齐、点云滤波、点云配准等操作，可以得到高质量、准确的物体表面三维坐标信息。
3d光学轮廓仪干涉仪的原理
3d光学轮廓仪干涉仪的原理哎呀，3D光学轮廓仪干涉仪，这玩意儿听起来就挺高大上的，对吧？其实呢，它的原理说起来也不是特别复杂，就是用光来测量物体表面的形状。
咱们就聊聊这个，用点大白话，别整那些高深莫测的术语。
首先，咱们得知道，这个仪器是干啥用的。
简单来说，它就是用来测量物体表面是不是平整，有没有凹凸不平的地方。
这在制造行业里特别重要，比如你造个手机屏幕，表面得平整光滑，对吧？这时候，3D光学轮廓仪干涉仪就派上用场了。
好，咱们来聊聊它是怎么工作的。
这个仪器里头，有个光源，发出的光是激光，特别亮，特别直。
这激光光束打在物体表面上，然后反射回来。
如果物体表面是平整的，反射回来的光束就跟原来的光束一模一样。
但如果物体表面有凹凸，反射回来的光束就会跟原来的光束不一样，这就是所谓的“干涉”。
这个“干涉”现象，就像是两波水波相遇，有的地方波峰会叠加，有的地方波谷会叠加，形成明暗相间的条纹。
这些条纹，就是干涉图样。
通过分析这些条纹，就能知道物体表面的形状。
具体来说，如果物体表面凸起，反射回来的光束就会比原来的光束稍微延迟一点，因为光要走更远的距离嘛。
如果物体表面凹陷，反射回来的光束就会比原来的光束稍微提前一点。
这个延迟或者提前，就是相位差。
通过测量这个相位差，就能知道物体表面的形状。
这个测量过程，需要用到一个叫做“相位解包”的技术。
这个技术，就是把相位差转换成物体表面的高度信息。
这个过程有点像是把一个复杂的密码解开，需要用到一些算法和计算。
最后，通过这些测量和计算，3D光学轮廓仪干涉仪就能给出物体表面的3D图像，也就是高度图。
这个图像，可以直观地显示出物体表面的凹凸情况，帮助工程师们进行质量控制。
总的来说，3D光学轮廓仪干涉仪的原理，就是利用激光光束的干涉现象，通过测量相位差，来测量物体表面的形状。
这个过程，虽然听起来有点复杂，但其实挺直观的，就是用光来“摸”物体表面，看看它是不是平整。
希望这个解释，能让你对这个仪器有个更直观的理解。
轮廓仪的工作原理
轮廓仪的工作原理引言轮廓仪是一种常用于测量物体外形的仪器，通常应用于工业、汽车制造、医学以及科学研究等领域。
它能够精确地测量物体的大小、形状和曲率，并将其转化为数字化的数据。
本文将介绍轮廓仪的工作原理以及相关的应用。
工作原理轮廓仪的工作基础是带有探头的悬臂式测量仪器。
当探头接触物体表面时，探头会释放出一个微小的电信号并记录下信号的变化，从而测量出物体表面的形状。
轮廓仪可以使用不同的探头，如机械、光学或激光探头。
机械探头是一种手动操作的探头，可以在机械手臂或测量机上使用。
光学探头使用高频光学扫描技术来记录物体表面的形状。
激光探头则利用激光束扫描物体表面来获取数据。
轮廓仪使用数学算法来处理测量数据，并将其转换为物体表面的三维数学模型。
这些模型可以通过计算机软件进行显示和分析，或者用于自动化制造和生产过程中的控制和检测。
应用领域轮廓仪被广泛应用于各个领域，如工业制造、医学和科学研究等。
以下是一些常见的应用领域：工业制造轮廓仪在工业制造领域中被广泛使用，例如测量汽车车身的尺寸、形状和曲率，以确保符合标准和规格。
它还可以用于检测和纠正制造和生产过程中的缺陷和错误。
医学轮廓仪也被用于医学领域，在眼科手术、整容和牙科修复中发挥着重要作用。
例如，医生使用轮廓仪来测量患者的瞳孔大小和眼球曲率，以确定适合其眼镜或隐形眼镜的适当度数。
科学研究轮廓仪在科学研究领域有广泛应用，例如测量天文学中恒星和星系的形态和大小，或者用于地形测量和制图。
结论轮廓仪在工业、医学和科学研究中都发挥着重要作用，可以精确地测量物体表面的形状和大小，并将其转化为数字化的数据。
通过计算机软件的支持，它可以实现快速、准确的数据处理和分析。
对于那些需要测量物体外形的应用领域来说，轮廓仪是一种不可或缺的工具。
光学式表面粗糙度轮廓形貌仪Proscan 2000(英国Scantron)
截面积计算
三维轮廓显示
表面轮廓粗糙度测量仪
3
Proscan 2100
表面轮廓粗糙度测量仪
技术规范 扫描仪最大尺寸（长*宽*高） 扫描仪最大重量 电控部分尺寸 电控部分重量 计算机显示器 照明与定位摄像头（可选） 扫面平台尺寸 X 和 Y 轴行程 Z 轴行程 电源 使用环境 X 及 Y 轴扫描点最小间隔距离 X 及 Y 轴扫描点最大间隔距离 标准配置扫描样品最大重量 数据采集最大速度（取决于传感器及设定） 最大扫描速度（取决于传感器及设定） 回程速度 最大扫描点数
扫描前的产品原貌 7
Proscan 2100
表面轮廓粗糙度测量仪
扫描后的分析图 对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、 Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。
8
产品介绍 英国 Scantron Industrial Products Ltd 公司生产的 Proscan 2000 光学表面粗糙度轮廓仪，采用非接触式传
感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更 方便，测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于 各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
各种可选项 * 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查； * 其他各种传感器； * 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合； * 比标准的 X 和 Y 行程范围更大的测量平台。
技术 原理 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 白光色差技术 三角测量技术 三角测量技术 三角测量技术 三角测量技术
表面轮廓仪Wyko NT1100操作说明书
光电子微纳制造工艺平台应用培训讲义--WYKO NT1100 光学轮廓仪NT1100可对表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度。
NT1100给MEMS、厚膜、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
一、检测原理：该设备是一台利用干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的微分干涉显微镜.应用相移干涉技术，实现对表面轮廓的高精度测量。
在一般场合下测量精度Z向可优于1nm.基于此原理,对试样的要求:1.该设备所测量的试样,要求表面一定要光滑，粗糙度很低.2.并且横向(即X-Y面),几何尺寸必须大于13微米以上的区域,信息才能够被设备识别.3.测试金属样品,会带来波长量级的测试误差.二、操作步骤：1. 开机顺序（1） 将气浮隔震台的气路打开。
（2） 打开光学轮廓仪的电源开关（在设备后面的右下方）（3） 打开光学轮廓仪前面的显示屏。
（4） 打开电脑主机，打开软件，进入软件界面如图1所示图12. 调节设备Z轴，在设备的前部显示屏中出现清晰的试样图像为止。
再微调Z轴使之出现衍射波纹。
3. 点击软件工具栏的图标，出现图2的界面。
图24. 此型号光学轮廓仪可以测量两种类型的试样，分别为镜面光洁度的试样采用PSI模式测量，而具有台阶深度在10微米及以上的试样采用VSI模式测量。
本次就以VSI模式测量为例介绍具体的操作步骤。
5. 首先将设备的配件调制VSI模式。
6. 在软件界面中选中Measurement Options,将Measurement Type 设为VSI(Infinite Scan)如图3所示。
图37. 选中界面VSI Options,出现图4的界面，调节Backscan和Length的数值。
即为台阶的高度和深度。
图48. 点击软件工具栏的图标，在电脑中显示衍射波纹，同时进一步调节Z轴的调节器，调节直至图象上红颜色部位刚刚消失为止。
精密光学轮廓测量仪安全操作及保养规程
精密光学轮廓测量仪安全操作及保养规程1. 前言精密光学轮廓测量仪是一种高精度的测量设备，被广泛应用于制造业中的质量检测和实验室研究。
为了确保设备的安全运行和延长设备的寿命，本文档将详细介绍精密光学轮廓测量仪的安全操作和保养规程。
2. 设备安全操作规程在使用精密光学轮廓测量仪之前，必须了解和遵循以下安全操作规程：2.1 装置位置安全•将仪器放置在稳定的平台上，并确保平台具有足够的承重能力。
•避免将仪器放置在震动或有风的地方，以免影响测量的准确性。
•在使用过程中保持周围环境的整洁，并且不要靠近可能引起气流扰动或杂散光的设备。
2.2 电源和电气安全•在连接电源之前，确保设备的电压和频率与电源符合。
•使用专用的电源插座，并确保电源接头良好插入。
•定期检查电源线是否破损或老化，并及时更换。
•避免过度拉拽电源线，以免造成电线内部断裂。
2.3 操作人员安全•使用设备时，操作人员应该戴上适当的个人保护装备，如手套和护目镜。
•操作人员应该受过培训并了解设备的使用方法，不得未经许可拆卸设备或进行非法操作。
•在调整设备参数之前，确保所有移动部件停止运动并且设备处于停机状态。
2.4 对测量样品的安全要求•定期检查测量样品是否有损坏，如有损坏应及时更换或修复。
•使用合适的装夹夹具，确保测量样品稳定且安全。
3. 设备保养规程为了维护设备的正常运行和延长设备的使用寿命，本章节将介绍精密光学轮廓测量仪的保养规程。
3.1 日常清洁维护•使用软布或吹气球轻轻清洁设备表面和显示屏。
•定期检查设备的通风孔是否堵塞，如有堵塞应使用吹气机进行清洁。
•避免使用化学溶剂或刺激性液体清洁设备。
3.2 定期校准•定期对设备进行校准，以确保测量结果的准确性。
•可以参考设备的说明书或联系售后服务人员了解校准的具体步骤。
3.3 润滑保养•定期对设备的移动部件进行润滑。
•使用适当的润滑剂，并遵循设备的操作手册上的指导。
3.4 防潮防尘保护•尽量保持设备处于干燥的环境中，并避免暴露在高温和潮湿的环境中。
光学轮廓仪测量原理
光学轮廓仪测量原理
光学轮廓仪是一种用于测量物体轮廓的仪器，它利用光学原理，将物体表面的轮廓形状转化为光学信号，再通过电子信号处理，得到物体各点的坐标信息，从而实现对物体形状进行测量和分析。
光学轮廓仪的测量原理基于光的反射和折射规律，利用激光或白光束照射在被测物体表面，然后通过光学透镜和光电传感器对反射光或透射光进行检测和采集。
由于被测物体表面形状的不同，反射或透射出来的光线也会有所不同，从而形成一组光学信号，这些信号经过电子信号处理后，可以得到被测物体各点的坐标信息，进而还原出物体表面的轮廓形状。
光学轮廓仪具有高精度、高速度、非接触式测量等优点，适用于对各种形状的物体进行精确的三维测量和形状分析。
在制造业、质检、科研等领域得到广泛应用，例如测量机械零件、塑料件、汽车车身、航空航天部件等等。
然而，光学轮廓仪也存在一些局限性。
首先，它对被测物体表面的反射和透射要求较高，如果物体表面有较强的反射或透射，则可能影响测量精度。
其次，光学轮廓仪的测量范围受限于光束的射程和角度，如果物体尺寸过大或形状复杂，则需要采用多个仪器进行拼接测量，增加了测量成本和难度。
总的来说，光学轮廓仪是一种高精度、高效率的测量仪器，具有广
泛的应用前景和市场需求。
随着科技的不断进步和应用领域的不断拓展，光学轮廓仪将会得到更加广泛的应用和发展。
3D光学轮廓仪
廓仪Sensofar S系列感受3D最新的S系列3D光学轮廓仪，为您展现全新的3D立体形貌全新设计的3D光学轮廓仪 S neox颠覆传统， 将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合于一身，测量头内无运动部件。
S neox，将三种技术都做到最好2融合3种测量方式于一体D体验共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。
它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09µm。
利用它可实现临界尺寸的测量。
当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。
专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。
相位差干涉 相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。
它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。
使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。
白光干涉白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。
它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。
根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。
该技术的最大亮点是快速 (mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（最大86°）。
此功能对工件和模具测量特别有用。
干涉多焦面叠加共聚焦无运动部件的共聚焦380160240320400480560400425450475500525550575600625650675700725Dichroic Blue FilterBlue LED Green LED Red LEDDichroic Green FilterDichroic Red FilterWhite LED多波长的LED 光源红色.绿色.蓝色.白色S neox 有4个独立的LED 光源红色(630nm), 绿色(530nm), 蓝色(460nm) 和白色，可以满足各种应用的需要。
原创!FRT光学轮廓仪在半导体测试中的应用-essun
FRT光学轮廓仪在半导体测试中的应用深圳易商的战略合作伙伴德国FRT公司，推出高精度光学轮廓仪。
能够对半导体产品产品测试，测试参数。
表面平整度，台阶高度，曲翘度，TTV，TSV，薄膜厚度，多层膜等。
其整个测试方案由主机和探头组合而成，根据不同的测试要求，配置不同分辨率的探头。
主机部分三个类型：MicroSpy、 MicroProf、 MicroGlider。
其中MicroSpy是基于平面测试，只能安装一个传感器，且不能升级到多个传感器。
但分辨率都是有由传感器保证的Micoprof 是一款通用型号，配置灵活，可配置一个，多个光传感头。
且有针对半导体测试测试的专用软件和方案。
TTV,TSV，平整度。
且可配置MHU 选件，针对不同的尺寸晶圆产品，可实现全自动测试。
MicroGlider是一款特殊用途的产品，其最主要特点是气体承载，旋转型扫描，低摩擦性。
探头分析1、CWL 探头CWL探头，采用的共聚焦方式传感，但每次对应一个波长、对应一个点。
因此每次只能测量点的高度，经过点扫描，成为一个面。
特点是简单，稳定性好。
是一种很普通，初级的传感器。
2、WLI白光干涉该产品特点是采用相干光干涉原理，参考面的光与物体表面发生光发生干涉，形成干涉条纹，最后采用CCD探测光强弱，判断粗糙，平整度。
特点：垂直分辨率高，，可通过改变物镜和目镜的倍率，实现更高垂直分辨率。
同时左边图形，采用聚焦形式，是每次只测量一个点；右边的采用的面探测的方式，每次可以直接一个面显示。
这个扫描速度要高很多。
3、CWL薄膜薄膜测量传感器CWL (FT)是专用的薄膜测试传感器，其特点是入射光经过薄膜表面反射，与透过薄膜表面再反射的反射光相互干涉，根据干涉的峰值干涉点测量出薄膜的厚度。
当要同时测量多层薄膜时，则干涉的峰值点间隔会发生改变，可同时测量多层膜厚。
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪-蓝宝石测量好帮手
SuperView W1光学3D表面轮廓仪-蓝宝石测量好帮手蓝宝石俗称刚玉，主要成分是Al₂O₃，因其具有硬度高(莫氏9级)、熔点高(高达2045℃)、光透性好、热稳定性好、化学性质稳定等优良特性而在军事和民用领域有着广泛应用。
●军事领域蓝宝石单晶在军事领域中占有一席之地，最主要的就是在红外光学窗口材料和导弹整流罩方面的应用。
蓝宝石窗口●民用领域民用方面，蓝宝石作为一种重要的技术晶体，主要应用在半导体照明、大规模集成电路及超导纳米结构薄膜等的衬底材料上；此外，蓝宝石单晶因其较好的光学及机械性能，可用在各种各样的光学元件上，比如透镜、棱镜、反射镜、科学研究用的探测仪器和在各种高温高压恶劣环境下工作的设备及仪器的观察窗口和探测窗口等；民用方面还有一个重要应用是用作替代传统玻璃的各种表镜和手机摄像头和手机屏等。
LED衬底蓝宝石表镜蓝宝石无论是用于军事装备高性能红外装置和传感器的蓝宝石窗口,还是用于微电子和光电子领域的蓝宝石基片,其加工表面的粗糙度值都会对最终产品的性能产生重大影响,因此检测其加工后的表面粗糙度成为质量控制的一个重要手段，目前蓝宝石晶片加工后表面粗糙度值都在亚微米和纳米级别，因此选择合适的检测设备非常重要，目前最适合的仪器就是光学3D表面轮廓仪。
中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款基于白光干涉原理研制而成的具有超高重复精度的检测仪器，可实现蓝宝石晶片表面质量快速批量检测，通过还原出器件表面3D图像实现对2D、3D数据的测量，其台阶测量准确度可达0.75%，重复性0.1%。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪显著特性：1.高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性。
光学轮廓测量仪安全操作及保养规程
光学轮廓测量仪安全操作及保养规程前言光学轮廓测量仪是一种高精度测量工具，用于测量工件的三维几何信息，广泛应用于机械制造、电子元器件、汽车、航空航天等行业。
为保障工作人员的人身安全和设备的正常运行，本文主要介绍光学轮廓测量仪的安全操作及保养规程。
安全操作1. 熟悉设备操作光学轮廓测量仪前，应先了解设备的性能、功能和使用方法，并确保具有必要的技术知识和能力。
如有不熟悉或不了解的地方，应向相关人员提出询问或寻求帮助。
2. 佩戴防护用品操作光学轮廓测量仪时，应佩戴防护眼镜等相关安全防护用品，以保护眼睛和面部免受高速旋转的机械部件、激光等辐射粒子以及化学液体的伤害。
3. 操作时保持身体稳定在操作设备时，应站在稳定的平台上，保持身体姿势稳定，避免突然的弯腰、伸展身体等动作，以免引起身体不适或意外伤害。
4. 严格按照使用说明操作在使用光学轮廓测量仪时，应按照使用说明书中的操作步骤进行，避免出现误差或安全事故。
在操作完成后，应关闭仪器并切断电源，避免出现电气故障。
5. 不将手指等物品放入测量仪内部在操作光学轮廓测量仪时，不得将手指、铁钎、铁锤等硬物挡道，避免发生意外伤害。
如需检查内部部件或进行清洁，应先关闭设备并采取相应的安全防护措施。
6. 注意安全风险在使用光学轮廓测量仪时，应特别注意设备的激光、高压电和高速旋转等部件所产生的安全风险，避免误操作或操作不当导致意外伤害。
7. 及时处理故障在使用光学轮廓测量仪时，如果出现设备故障或异常情况，应立即进行处理和维修，以确保设备的正常运行和工作人员的人身安全。
保养规程1. 定期清洁设备光学轮廓测量仪在长期使用过程中，会吸附大量的尘埃和污物，导致设备的精度和性能下降。
因此，应定期对设备进行清洁和维护，以确保设备的长期稳定性能。
定期清洁设备应包括以下步骤：•使用干净的擦布将设备外表面进行清洁；•使用专门的清洁剂对设备内部进行清洁；•定期更换各种滤芯，清洗过滤器或替换滤芯。