一文弄懂激光干涉仪与激光平面干涉仪

一文弄懂激光干涉仪与激光平面干涉仪

很多朋友弄不清激光干涉仪与激光平面干涉仪的区别，主要是很多时候，客户把激光平面干涉仪简称为激光干涉仪，到网上一搜，发现激光干涉仪全是用来检测导轨运动精度的，不是自己需要的激光平面干涉仪，今天小编就告诉大家如何区分这两种激光干涉仪。

激光干涉仪

1.测量原理

▲线性测量的光路原理构建图

(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光

（线偏振光）；

(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，

通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；

(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距

离等于干涉条纹数乘以激光半波长。

2.功能

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

3.应用

激光干涉仪可广泛用于数控机床、直线电机、电动滑台、线性模组、三坐标、自动化加工设备等运动精度检测。

▲SJ6000激光干涉仪检测数控机床

▲SJ6000激光干涉仪检测线性模组

▲SJ6000激光干涉仪用于自动化设备装调 激光平面干涉仪

1.测量原理

在测试平面之上有个参考平面，两个平面间的距离非常的近，以保证这两个平面反射的光线具有相干性。作为参考的反光块的上表面与下表面有个很小的夹角，这样可以保证上表面的反光不参与干涉条纹的形成。参考平面与待检测平面的反光发生干涉后产生干涉条纹，通过成像系统来接收。分析这个条纹的形状就能知道待测平面是否有缺陷。

如果两个平面绝对的平行，那么干涉后是没有条纹的。通常，两个平面是很难调整到觉得平行的，这时就会出现直的条纹。如果条纹发生了弯曲，那就是平面不平了。间隔的亮暗条纹间的高度差就是半波长。

2.功能

精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前

3.应用

激光平面干涉仪广泛用于平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性的测试；准直系统波前质量的测试。球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半

径的测量（配合光栅尺）。平面类光学元件（平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等）的表面光圈的测量。