半导体物理与器件课件..
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半导体物理与器件ppt课件
2.23
h h K为波数=2π/λ, λ为波长。 2mE 15 P
2.3薛定谔波动方程的应用
2.3.2无限深势阱(变为驻波方程) 与时间无关的波动方程为:
2 x 2m 2 E V x x 0 2 x
2.13
由于E有限,所以区域I和III 中:
课程主要内容
固体晶格结构:第一章 量子力学:第二章~第三章 半导体物理:第四章~第六章 半导体器件:第七章~第十三章
1
绪论
什么是半导体
按固体的导电能力区分,可以区分为导体、半导体和绝缘体
表1.1 导体、半导体和绝缘体的电阻率范围 材料 电阻率ρ(Ωcm) 导体 < 10-3 半导体 10-3~109 绝缘体 >109
分别求解与时间无关的波动方程、与时间有关的波 动方程可得自由空间中电子的波动方程为:
j j x, t A exp x 2mE Et B exp x 2mE Et
2.22
说明自由空间中的粒子运动表现为行波。 沿方向+x运动的粒子: x, t A exp j kx t
18
2.3薛定谔波动方程的应用
无限深势阱(前4级能量)
随着能量的增加,在任意给 定坐标值处发现粒子的概率 会渐趋一致
19
2.3薛定谔波动方程的应用
2.3.3阶跃势函数
入射粒子能量小于势垒时也有一定概率穿过势垒 (与经典力学不同)
20
2.3薛定谔波动方程的应用
2.3.3阶跃势函数 Ⅰ区域 21 x 2mE 2 1 x 0 2.39 2
半导体物理与器件-课件-教学PPT-作者-裴素华-第1章-半导体材料的基本性质
简化为
J = pqv p
1.6.4 半导体的电阻率ρ
电阻率是半导体材料的一个重要参数,其值为电导率
的倒数。 1
1
ρ= =
σ nqμn + pqμ p
对于强P型和强N型半导体业有相应的简化。
从上面的公式可以看出,半导体电阻率的大小决定于 n, p, μn ,μp的具体数值,而这些参数又与温度有关, 所以电阻率灵敏的依赖于温度,这是半导体的重要 特点之一。
b) P型硅中电子和空穴 的迁移率
载流子的迁移率还要随温度而变化。
硅中载流子迁移率随温度变化的曲线 a) μn b) μp
1.6.3 半导体样品中的漂移电流密度
设一个晶体样品如图所示, 以单位面积为底,以平 均漂移速度v为长度的矩 形体积。先求出电子电 流密度,设电场E为x方 向,在电场的作用下, 电子应沿着-x方向运动。
不论半导体中的杂质激发还是本征激发,都是依靠吸收 晶格热振动能量而发生的。由于晶格的热振动能量是随 温度变化的,因而载流子的激发也要随温度而变化。
载流子激发随温度的变化 a)温度很低 b)室温临近 c)温度较高 d)温度很高
伴随着温度的升高,半导体的费米能级也相应地发 生变化
杂质半导体费米能级随温度的变化 a)N型半导体 b)P型半导体
a)随机热运动 b) 随机热运动和外加电场作用下的运动合成
随机热运动的结果是没有电荷迁移,不能形成电流。
引入两个概念:
1. 大量载流子碰撞间存在一个路程的平均值,称为平 均自由程,用λ表示,其典型值为10-5cm;
2. 两次碰撞间的平均时间称为平均自由时间,用τ表示, 约为1ps;
建立了上述随机热运动的图像后,就可以比较实际地去 分析载流子在外加电场作用下的运动了。
第一章 微电子器件 半导体物理课件
第一章 半导体中的电子状态 基本关系式 电子有效质量
1 d 2 Ec 1 2 2 dk k k0 mn
1 dE 电子运动速度 dk
基本图形 • • • • 半导体、绝缘体、导体能带示意图 半导体本征激发能带示意图 硅半导体能带结构图 砷化镓半导体能带结构图
基本图示 • 一定温度下,载流子迁移率与杂质浓度的关系 • 一定掺杂浓度下,载流子迁移率与温度的关系 • 载流子漂移速度与电场关系 • 砷化镓载流子漂移速度与电场关系
第五章 非平衡半导体
一、基本关系式
导带电子浓度(包含非平衡导带电子)n n n0 价带空穴浓度(包含非平衡价带空穴)
表面复合率 U s s p s 电子扩散电流密度 J n 扩 空穴扩散电流密度 J p 扩 电子漂移电流密度 J n 空穴漂移电流密度
d n x qDn dx
d p x qD p dx
漂
q(n0 n)n E
q( p0 p) p E
半导体空间电荷密度方程 0 x q p0 x nDj x n0 x p Ai x
基本概念
1、状态密度——能带中能量E附近单位能量间隔内的电子状态数
2、费米统计分布——半导体电子服从的统计分布 3、少子浓度——半导体单位体积中的少子数 4、多子浓度——半导体单位体积中的多子数 5、非简并半导体——载流子分布从费米分布蜕化化服从波尔兹曼统计分布的半导体 6、简并半导体—掺杂浓度很高,使费米能级非常接近、甚至进入导带或价带的半导体 7、载流子冻析效应——温度很低时,杂质不能完全电离,电子或空穴被杂质束缚
基本关系式 漂移电流密度 J (nqn pq p ) E
1 d 2 Ec 1 2 2 dk k k0 mn
1 dE 电子运动速度 dk
基本图形 • • • • 半导体、绝缘体、导体能带示意图 半导体本征激发能带示意图 硅半导体能带结构图 砷化镓半导体能带结构图
基本图示 • 一定温度下,载流子迁移率与杂质浓度的关系 • 一定掺杂浓度下,载流子迁移率与温度的关系 • 载流子漂移速度与电场关系 • 砷化镓载流子漂移速度与电场关系
第五章 非平衡半导体
一、基本关系式
导带电子浓度(包含非平衡导带电子)n n n0 价带空穴浓度(包含非平衡价带空穴)
表面复合率 U s s p s 电子扩散电流密度 J n 扩 空穴扩散电流密度 J p 扩 电子漂移电流密度 J n 空穴漂移电流密度
d n x qDn dx
d p x qD p dx
漂
q(n0 n)n E
q( p0 p) p E
半导体空间电荷密度方程 0 x q p0 x nDj x n0 x p Ai x
基本概念
1、状态密度——能带中能量E附近单位能量间隔内的电子状态数
2、费米统计分布——半导体电子服从的统计分布 3、少子浓度——半导体单位体积中的少子数 4、多子浓度——半导体单位体积中的多子数 5、非简并半导体——载流子分布从费米分布蜕化化服从波尔兹曼统计分布的半导体 6、简并半导体—掺杂浓度很高,使费米能级非常接近、甚至进入导带或价带的半导体 7、载流子冻析效应——温度很低时,杂质不能完全电离,电子或空穴被杂质束缚
基本关系式 漂移电流密度 J (nqn pq p ) E
第二章 半导体物理和半导体器件物理基础图文
温度升高使半导体导电能力增强,电阻率下降
如室温附近的纯硅(Si),温度每增加8℃,电阻
率相应地降低50%左右
反之,纯净半导体在低温下的电阻率很高,呈
现出绝缘性
几种材料电阻率与温度的关系:
绝 缘 体
R
半导体
T
微量杂质含量可以显著改变半导体的导电能力 以纯硅中每100万个硅原子掺进一个Ⅴ族杂质(比 如磷)为例,这时 硅的纯度仍高达99.9999%,但电 阻率在室温下却由大约214,000Ωcm降至0.2Ωcm以下 适当波长的光照可以改变半导体的导电能力 如在绝缘衬底上制备的硫化镉(CdS)薄膜,无光照 时的暗电阻为几十MΩ,当受光照后电阻值可以下 降为几十KΩ 此外,半导体的导电能力还随电场、磁场等的作用而 改变即半导体的导电能力可以由外界控制
电离受主 B 价带空穴
使空穴摆脱受主束缚的能 量就是受主的电离能 受主杂质B的电离能很小, 只有0.045eV,因此受主 上的空穴几乎都能全部电 离,形成自由导电的空穴。
3.有机半导体
有机半导体通常分为有机分子晶体、有机分子络 合物和高分子聚合物。 酞菁类及一些多环、稠环化合物,聚乙炔和环化 脱聚丙烯腈等导电高分子,他们都具有大π键结 构。
2.2 半导体中的载流子
2.2.1 半导体的能带
量子态和能级
电子的微观运动服从不同于一般力学的量子力学规律, 其基本的特点包含以下两种运动形式: (1)电子做稳恒的运动,具有完全确定的能量。这种恒 稳的运动状态称为量子态,相应的能量称为能级。 (2)一定条件下(原子间相互碰撞,或者吸收光能量 等),电子可以发生从一个量子态转移到另一个量子态 的突变,这种突变叫做量子跃迁。 **量子态的最根本的特点是只能取某些特定的值,而不能 取随意值。
如室温附近的纯硅(Si),温度每增加8℃,电阻
率相应地降低50%左右
反之,纯净半导体在低温下的电阻率很高,呈
现出绝缘性
几种材料电阻率与温度的关系:
绝 缘 体
R
半导体
T
微量杂质含量可以显著改变半导体的导电能力 以纯硅中每100万个硅原子掺进一个Ⅴ族杂质(比 如磷)为例,这时 硅的纯度仍高达99.9999%,但电 阻率在室温下却由大约214,000Ωcm降至0.2Ωcm以下 适当波长的光照可以改变半导体的导电能力 如在绝缘衬底上制备的硫化镉(CdS)薄膜,无光照 时的暗电阻为几十MΩ,当受光照后电阻值可以下 降为几十KΩ 此外,半导体的导电能力还随电场、磁场等的作用而 改变即半导体的导电能力可以由外界控制
电离受主 B 价带空穴
使空穴摆脱受主束缚的能 量就是受主的电离能 受主杂质B的电离能很小, 只有0.045eV,因此受主 上的空穴几乎都能全部电 离,形成自由导电的空穴。
3.有机半导体
有机半导体通常分为有机分子晶体、有机分子络 合物和高分子聚合物。 酞菁类及一些多环、稠环化合物,聚乙炔和环化 脱聚丙烯腈等导电高分子,他们都具有大π键结 构。
2.2 半导体中的载流子
2.2.1 半导体的能带
量子态和能级
电子的微观运动服从不同于一般力学的量子力学规律, 其基本的特点包含以下两种运动形式: (1)电子做稳恒的运动,具有完全确定的能量。这种恒 稳的运动状态称为量子态,相应的能量称为能级。 (2)一定条件下(原子间相互碰撞,或者吸收光能量 等),电子可以发生从一个量子态转移到另一个量子态 的突变,这种突变叫做量子跃迁。 **量子态的最根本的特点是只能取某些特定的值,而不能 取随意值。
半导体物理与器件(吕淑媛)课件章 (2)
需要说明的是,式( 2. 9 )只在 E ≥ E c 时有效。因此 状态密度同时是体积密度和能量密度,是双重密度函数,状态 密度的值和载流子的有效质量有关。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 类似地,也可以推出价带空穴的状态密度函数,在价带的
空穴,其 E-k 关系为 价带的状态密度函数为
同样,式(2. 11 )只在 E ≤ E v 时有效。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 图 2.2 导带和价带的状态密度函数随能量 E 的变化
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
[例 2.1 ] 当室温 T =300K 时,在半导体材料硅中,计 算从 E c 到 E c + kT 之间包含的量子态总数。
解:根据导带电子的状态密度公式
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
当 E < E F 时,费米分布函数 f ( E ) >1 / 2 ,也就 是说对于 E < E F 的能级,其被电子占据的概率大于其空着 的概率,并且随着 E 的减小,电子占据能量为 E 的量子态的 概率趋近于 1 。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
通过上面的描述可以认为费米能级是电子占据能级水平高 低的度量。费米能级低,电子占据高能级的概率较低,在高能 级上的电子数较少;费米能级高,电子占据高能级的概率较大, 在高能级上的电子数较多。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 图 2.6 不同温度下费米分布函数随能量变化的关系曲线
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 图 2.7 不同温度下 1- f ( E )随能量变化的关系曲线
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
近似后的函数形式就是麦克斯韦 玻尔兹曼分布函数,把 近似后的函数称为麦克斯韦 玻尔兹曼近似下的费米分布函数, 简称玻尔兹曼近似,如图 2.8 所示。实际中,为了确定量子 态的能量比费米能级高多少才可以应用玻尔兹曼近似,我们做 了一个简单的估算。一般来说由于近似而引起的误差为 0~5% 即可。在前面的例 2.2 中,当 E - E F =3 kT 时,费米分布 函数计算的结果为 4.7% ,如果采用玻尔兹曼近似下的费米分 布函数,把分母的 1 略去,则计算的结果为 4.97% ,由此引 发的误差( 4. 97-4. 74 )/ 4. 74=4. 8%<5% ,故一般认为 E - E F =3 kT 就满足了 E - E F ≫ kT 的条件。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 类似地,也可以推出价带空穴的状态密度函数,在价带的
空穴,其 E-k 关系为 价带的状态密度函数为
同样,式(2. 11 )只在 E ≤ E v 时有效。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 图 2.2 导带和价带的状态密度函数随能量 E 的变化
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
[例 2.1 ] 当室温 T =300K 时,在半导体材料硅中,计 算从 E c 到 E c + kT 之间包含的量子态总数。
解:根据导带电子的状态密度公式
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
当 E < E F 时,费米分布函数 f ( E ) >1 / 2 ,也就 是说对于 E < E F 的能级,其被电子占据的概率大于其空着 的概率,并且随着 E 的减小,电子占据能量为 E 的量子态的 概率趋近于 1 。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
通过上面的描述可以认为费米能级是电子占据能级水平高 低的度量。费米能级低,电子占据高能级的概率较低,在高能 级上的电子数较少;费米能级高,电子占据高能级的概率较大, 在高能级上的电子数较多。
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 图 2.6 不同温度下费米分布函数随能量变化的关系曲线
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度 图 2.7 不同温度下 1- f ( E )随能量变化的关系曲线
第 2 章 平衡半导体中的载流子浓度
近似后的函数形式就是麦克斯韦 玻尔兹曼分布函数,把 近似后的函数称为麦克斯韦 玻尔兹曼近似下的费米分布函数, 简称玻尔兹曼近似,如图 2.8 所示。实际中,为了确定量子 态的能量比费米能级高多少才可以应用玻尔兹曼近似,我们做 了一个简单的估算。一般来说由于近似而引起的误差为 0~5% 即可。在前面的例 2.2 中,当 E - E F =3 kT 时,费米分布 函数计算的结果为 4.7% ,如果采用玻尔兹曼近似下的费米分 布函数,把分母的 1 略去,则计算的结果为 4.97% ,由此引 发的误差( 4. 97-4. 74 )/ 4. 74=4. 8%<5% ,故一般认为 E - E F =3 kT 就满足了 E - E F ≫ kT 的条件。
《半导体物理学》课件
重要性
半导体物理学是现代电子科技和信息 科技的基础,对微电子、光电子、电 力电子等领域的发展具有至关重要的 作用。
半导体物理学的发展历程
19世纪末期
半导体概念的形成,科学家开始认识到 某些物质具有导电性介于金属和绝缘体
之间。
20世纪中叶
晶体管的商业化应用,集成电路的发 明,推动了电子科技和信息科技的发
半导体中的热电效应
总结词
解释热电效应的原理及其在半导体中的应用。
详细描述
当半导体受到温度梯度作用时,会在两端产生电压差 ,这一现象被称为热电效应。热电效应的原理在于不 同温度下,半导体内部载流子的分布不同,导致出现 电势差。热电效应在温差发电等领域有应用价值,可 以通过优化半导体的材料和结构来提高热电转换效率 。
分析器件在长时间使用或恶劣环 境下的性能退化,以提高其可靠 性。
THANKS
THANK YOU FOR YOUR WATCHING
06
半导体材料与工艺
半导体材料的分类和特性
元素半导体
如硅、锗等,具有稳定的化学性质和良好的半导 体特性。
化合物半导体
如砷化镓、磷化铟等,具有较高的电子迁移率和 光学性能。
宽禁带半导体
如金刚石、氮化镓等,具有高热导率和禁带宽度 大等特点。
半导体材料的制备和加工
气相沉积
通过化学气相沉积或物理气相沉积方法制备 薄膜。
05
半导体器件的工作原理
二极管的工作原理
总结词
二极管是半导体器件中最简单的一种 ,其工作原理基于PN结的单向导电性 。
详细描述
二极管由一个P型半导体和一个N型半 导体结合而成,在交界处形成PN结。 当正向电压施加时,电子从N区流向P 区,空穴从P区流向N区,形成电流; 当反向电压施加时,电流极小或无电流 。
半导体物理学是现代电子科技和信息 科技的基础,对微电子、光电子、电 力电子等领域的发展具有至关重要的 作用。
半导体物理学的发展历程
19世纪末期
半导体概念的形成,科学家开始认识到 某些物质具有导电性介于金属和绝缘体
之间。
20世纪中叶
晶体管的商业化应用,集成电路的发 明,推动了电子科技和信息科技的发
半导体中的热电效应
总结词
解释热电效应的原理及其在半导体中的应用。
详细描述
当半导体受到温度梯度作用时,会在两端产生电压差 ,这一现象被称为热电效应。热电效应的原理在于不 同温度下,半导体内部载流子的分布不同,导致出现 电势差。热电效应在温差发电等领域有应用价值,可 以通过优化半导体的材料和结构来提高热电转换效率 。
分析器件在长时间使用或恶劣环 境下的性能退化,以提高其可靠 性。
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06
半导体材料与工艺
半导体材料的分类和特性
元素半导体
如硅、锗等,具有稳定的化学性质和良好的半导 体特性。
化合物半导体
如砷化镓、磷化铟等,具有较高的电子迁移率和 光学性能。
宽禁带半导体
如金刚石、氮化镓等,具有高热导率和禁带宽度 大等特点。
半导体材料的制备和加工
气相沉积
通过化学气相沉积或物理气相沉积方法制备 薄膜。
05
半导体器件的工作原理
二极管的工作原理
总结词
二极管是半导体器件中最简单的一种 ,其工作原理基于PN结的单向导电性 。
详细描述
二极管由一个P型半导体和一个N型半 导体结合而成,在交界处形成PN结。 当正向电压施加时,电子从N区流向P 区,空穴从P区流向N区,形成电流; 当反向电压施加时,电流极小或无电流 。
半导体物理与器件 课件 教学PPT 作者 裴素华 第3章 双极型晶体管
pe ( X 1 ) pe0 e qU E / kT
空穴扩散电流为
I p ( X1 ) A
qDpe p e0 qU E / kT (e 1 ) L pe
3.2. 3 晶体管的直流电流方程式
3. IVB表达式
IVB是注入基区的电子与基区中的空穴复合而形成的复合电流。 IVB=-q×单位时间内在基区中复合的电子数 在只考虑体内复合的情况下
4. ICBO的表达式
ICBO由电子漂移电流和空穴漂移电流IpCB两部分组成,即ICBO=InCB+IpCB
I nCB A qD nb n b 0 qU C / kT (e 1 ) Wb
qDpc pc0 qUC / kT (e 1 ) Lpc
qDpc pc0 qDnb nb 0 A (e qU C / kT 1 ] ) Wb LPc
nb ( X 2 ) nb0eqU E / kT
由基区注入发射区靠发射结边界X1处的空穴浓度为
pe ( X1 ) pe0eqU E / kT
(2) 根据反向PN结特性,集电结两边界X3和X4处的少子浓度分别为
nb ( X 3 ) nb0eqU C / kT nb0eqU C / kT 0 pc ( X 4 ) pc0eqU C / kT pc0eqU C / kT 0
3.1.2晶体管的制备工艺与杂质分布
3. 外延平面晶体管
在平面晶体管制造工艺的基础上又发展了一种外延平面晶体管。 其结构与杂质分布如图所示
(a)管芯结构 (b)杂质分布 硅外延平面管结构及杂质分布示意图
由图可见,双扩散外延平面晶体管的基片电阻率很低,集电极串联电阻很小, 使集电极饱和压降减小,晶体管可做得很小,基区宽度Wb很薄,从而使外延平面 晶体管在频率特性、开关速度和功率等方面都有很大的提高与改善,因此,成为 目前生产最主要的一种晶体管。
尼曼半导体物理与器件第一章课件
广义原胞
尼曼半导体物理与器件第一章
12
1.3.2 基本的晶体结构
立方晶系基本的晶体结构:
常见的三个基本的立方结构 (1)简单立方结构(sc) (2)体心立方结构(bcc) (3)面心立方结构(fcc)
尼曼半导体物理与器件第一章
13
➢简立方结构 Simple Cubic
每个顶角有一个原子
z
➢ 体心立方结构 Body Centered Cubic
• 原胞:可以复制得到整个晶格的最小单元。
单晶晶格二维表示
•晶格、原胞的选取都不是唯一的。
尼曼半导体物理与器件第一章
11
•晶胞和晶格的关系用矢量 a 、b 、c 表示,三个矢 量可不必互相垂直,长度可以不相等,基矢长度称 为晶格常数 。
•每个等效格点可用下述矢量表示
rpaqbsc
•其中,p、q、s为整数。
1. 离子晶体:离子键,例如NaCl晶体等; 2. 共价晶体:共价键,例如Si、Ge以及GaAs晶体等; 3. 金属晶体:金属键,例如Li、Na、K、Be、Mg以及Fe、 Cu、Au、Ag等; 4. 分子晶体:范德华键,例如惰性元素氖、氩、氪、氙等 在低温下则形成分子晶体,HF分子之间在低温下也通过范 德华键形成分子晶体。
• 第六章 半导体中的非平衡过剩载流子
半 • 第七章 pn结
导 • 第八章 pn结二极管
体 器
• 第九章 金属半导体和半导体异质结
件 • 第十章 金属-氧化物-半导体场效应晶体管基础
基 • 第十一章 金属-氧化物-半导体场效应晶体管:概念深入
础 • 第十二章 双极晶体管
• 第十三章 结型场效应晶体管 • 第十四章 光器件
1.11(a)-(c) 1.16 1.24(Si晶格常数5.43Å)
半导体物理与器件(吕淑媛)课件章 (5)
第 5 章 PN 结 图 5.6 PN 结空间电荷区
第 5 章 PN 结
在空间电荷区会存在电场,电场的方向是由带正电的 N 区指向带负电的 P 区,由于这个电场不是外加的,而是内部 产生的,把这个电场称为内建电场。在内建电场的作用下,载 流子还要发生电场作用下的漂移运动,由于电场的方向是由 N 区指向 P 区,因此电子在电场的作用下由 P 区向 N 区运动, 空穴在电场的作用下由 N 区向 P 区运动。载流子漂移运动的 方向与扩散运动的方向恰好相反,也就是说内建电场的出现起 了阻碍载流子继续扩散的作用。
第 5 章 PN 结 图 5.4 扩散法制作 PN 结的过程
第 5 章 PN 结
和合金结相比,扩散结中的杂质分布要复杂得多,因为最 终的杂质分布是由扩散过程和杂质补偿来共同决定的。一般来 说,扩散结的杂质分布也不像合金结那样在交界面附近突然发 生变化,而是由一种导电类型逐渐过渡到另一种导电类型。扩 散结的杂质浓度分布如图5. 5 ( a )所示。其杂质分布可表示 为
第 5 章 PN 结
这样做的目的并不仅仅是使得费米能级达到统一,也是内建电 场的存在而导致的。由于内建电场的方向是由 N 区指向 P 区, 因此 N 区的电势高, P 区的电势低,因为电子带负电, P 区的电势能比 N 区的电势能高,而能带图则是按照电子的能 量高低表示的图示,因此 P 区的能带和 N 区相比上移,即表 示出 P 区的电势能比 N 区高,同时也实现费米能级的统一。
因此采用不同的制备工艺就会得到不同杂质分布的 PN 结, 一般来说,典型的 PN 结的杂质分布主要有突变结和线性缓变 结两种。
第 5 章 PN 结 5. 2 平衡 PN 结及其能带
在这一节中主要讨论平衡 PN 结的能带和在平衡状态下 PN 结的各种特性。
半导体物理与器件第四版ppt
间接复合:电子通过禁带中的各种复合中 心能级(杂质和缺陷形成)分两步进行的 电子和空穴的复合。
非平衡载流子的净复合率: 甲:俘获电子过程; 乙:发射电子过程; 丙:俘获空穴过程; 丁:发射空穴过程。 净复合率 = 甲 - 乙 = 丙 - 丁
半导体的界面态和表面态
半导体界面: 半导体晶体和别的物质的交界面。 比如硅表面和SIO2的交界面。
复合中心能级的范畴。从而使晶体表面载 流子复合加剧,这样就使表面附近载流子 寿命减小。
非平衡载流子的扩散运动
非平衡载流子的扩散运 动:自然界任何物质都 有从浓度高处向浓度低 处运动的趋势。
非平衡载流子的扩散
扩散流与浓度差的关系:等式右边的 D表示扩散系数。 dn/dx表示浓度梯 度,即浓度差的大小。
非平衡载流子的复合
载流子寿命的概念
非平衡载流子的寿命:在外界作用 因素停止后,其随时间逐渐减少 以至消失的过程称为衰减。其平 均存在时间称为非平衡载流子的 寿命。
非平衡少数载流子寿命的意义: 其浓度降低到原来的37%(1/e) 的时间。
非平衡载流子的复合机理:
直接复合:电子在导带和价带之间的直接 跃迁造成的电子和空穴的复合。
正极 引线
P型 硅
铝合 金小球 N型 硅
底座 负极 引线
(3) 平面型二极管
PN结面积大,用 于工频大电流整流电路。
用于集成电路制造工艺中。 PN 结面积可大可小,用 于高频整流和开关电路中。
正极 引线
SiO 2
P型 硅 N型 硅
负极 引线
PN结的形成: 合金法; 扩散法; 注入法
两种不同杂质分布的PN结
u 为PN结两端的电压降
当 u>0
u>>UT时
非平衡载流子的净复合率: 甲:俘获电子过程; 乙:发射电子过程; 丙:俘获空穴过程; 丁:发射空穴过程。 净复合率 = 甲 - 乙 = 丙 - 丁
半导体的界面态和表面态
半导体界面: 半导体晶体和别的物质的交界面。 比如硅表面和SIO2的交界面。
复合中心能级的范畴。从而使晶体表面载 流子复合加剧,这样就使表面附近载流子 寿命减小。
非平衡载流子的扩散运动
非平衡载流子的扩散运 动:自然界任何物质都 有从浓度高处向浓度低 处运动的趋势。
非平衡载流子的扩散
扩散流与浓度差的关系:等式右边的 D表示扩散系数。 dn/dx表示浓度梯 度,即浓度差的大小。
非平衡载流子的复合
载流子寿命的概念
非平衡载流子的寿命:在外界作用 因素停止后,其随时间逐渐减少 以至消失的过程称为衰减。其平 均存在时间称为非平衡载流子的 寿命。
非平衡少数载流子寿命的意义: 其浓度降低到原来的37%(1/e) 的时间。
非平衡载流子的复合机理:
直接复合:电子在导带和价带之间的直接 跃迁造成的电子和空穴的复合。
正极 引线
P型 硅
铝合 金小球 N型 硅
底座 负极 引线
(3) 平面型二极管
PN结面积大,用 于工频大电流整流电路。
用于集成电路制造工艺中。 PN 结面积可大可小,用 于高频整流和开关电路中。
正极 引线
SiO 2
P型 硅 N型 硅
负极 引线
PN结的形成: 合金法; 扩散法; 注入法
两种不同杂质分布的PN结
u 为PN结两端的电压降
当 u>0
u>>UT时
半导体物理与器件(吕淑媛)课件章 (1)
第 1 章 晶体中的电子运动状态
若某平面通过某轴,则在该轴的截距数目不唯一,此时, 可以通过另一平行平面来确定米勒指数。同样,当某平面通过 原点时,也可选择另一平行平面来确定其米勒指数。
原子的面密度是晶体的一个重要特征参数。原子面密度是 单位面积内原子的个数,可以用晶胞中一个晶面内所含原子数 除以晶胞中晶面的面积来计算。在计算过程中,原子的个数是 以原子切面的百分比来计算的。
第 1 章 晶体中的电子运动状态 第 1 章 晶体中的电子运动状态
1. 1 1. 2 1. 3 习题
固体的晶格结构 量子力学初步 晶体中电子的运动状态
第 1 章 晶体中的电子运动状态
从物质形态上分,半导体属于固体。固体的结构决定了其 性质,所以首先考虑固体中原子排列规律,即固体的晶格结构。 其次,半导体中的电子运动状态难以用经典力学来描述,而量 子力学波理论却能很好地描述半导体中电子的运动状态,所以 需要对量子力学有初步了解,并学习它的分析方法。最后,用 量子力学方法对晶体中的电子运动状态进行分析,得到晶体的 E-k 关系图,利用 E-k 关系图讨论电子的有效质量,并引 入空穴的概念,同时也为计算晶体中电子的量子态密度打下基 础。
第 1 章 晶体中的电子运动状态
化合物半导体是由两种及两种以上的元素组成的。化合物 包括二元(即两种元素)、三元(即三种元素)和多元化合物。二 元化合物半导体可以是由三族元素与五族元素组成化合物, 如 GaAs 或 GaP 。二族元素与六族元素也可以组成二元化合 物半导体。三元化合物半导体由三种元素组成,如 Alx Ga 1- x As ,其中下标 x 是原子序数低的元素的组分。当然还可以制 造更复杂的半导体材料。
第 1 章 晶体中的电子运动状态
4. 基本晶格结构
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金属-半导体接触:
金-半接触的整流特 性(SBD结构—肖特基 二极管)
低掺杂的N型半导体与 金属接触,当金属的逸
出功较大时,就会形成
肖特基势垒,出现整流 特性。
欧姆接触定义:欧姆接触的概念:线 性和对称的伏安特性,接触电阻小于 材料体电阻.
获得方式:
低势垒接触:P型硅与金属的接触
影响扩散系数的因素:温度、掺杂浓 度等
:
扩散流密度与扩散定律 :扩散流密 度与载流子的浓度梯度成正比。
扩散长度Lp:是描写非平衡少子在 边扩散边复合的过程中,能够扩散 的平均距离。其在数值上等于非平 衡少子浓度衰减到原来 的1/e(即37 %)时两点之间的距离。
扩散长度的计算;
爱因斯坦方程
载流子在晶体管内 的传播
1.BJT内部的载流子传输过程
(1)因为发射结正偏,所以发
射区向基区注入电子 ,形成了扩
c
散电流IEN 。同时从基区向发射区
也有空穴的扩散运动,形成的电
N
流为IEP。但其数量小,可忽略。
所以发射极电流I E ≈ I EN 。
IB
RC
P
(2)发射区的电子注
b
入基区后,变成了少数载 R b
此时发射结正偏,集电结也正偏。
截止区——iC接近零的区域,相当iB=0的曲线的下方。
此时,发射结反偏,集电结反偏。
饱和区
放大区——
+
+
u CE
-
+
i
B
(uA)
80
u
CE
=0V
40
uCE > 1V
0.2 0.4 0.6 0.8
uBE (V)
(1)uCE=0V时,相当于两个PN结并联。硅 0.5V
硅 0.7V
(2)当uCE=1V时, 集电死结区已电进压入反偏状态,开始收导集通电压子降,所以基区复 合减少, 在同一uBE 电压下,iB 减小锗。特0.1性V曲线将向右稍微移动锗一0些.3。V
二. BJT的内部工作原理(NPN管)
三极管在工作时要 加上适当的直流偏 置电压。
+
c
+
UCB
c区 N
若在放大工作状态:
-
发射结正偏:
由VBB保证 集电结反偏: 由VCC、 VBB保证
+b
R b UBE V BB
-
b区 e区
e
RC
P UCE
VCC
N
-
UCB=UCE - UBE > 0
共发射极接法
2021/4/29
正 极引 线
P型 硅
铝 合金 小 球 N型 硅
底座 负 极引 线
(3) 平面型二极管
PN结面积大,用 于工频大电流整流电路。
用于集成电路制造工艺中。 PN 结面积可大可小,用 于高频整流和开关电路中。
正 极引 线
SiO2
P型 硅 N型 硅
负 极引 线
PN结的形成: 合金法; 扩散法; 注入法
原理:是物理学中洛仑兹力引起 的载流子定向运动。
有关公式
霍尔系数RH
霍尔效应在半导体工艺中的应用: 1.可以测量载流子浓度。 2.可判断硅片的导电类型。 3.可测量载流子的迁移率。
霍尔电压测试示意
通过测出霍尔系数和电导,可求出 载流子迁移率
推导过程从略
<八>晶体管的直流特 性
载流子复合
电子空穴对的复合:电子空穴对在晶体中 相遇,就可能复合而消失,补好了一个完 整的共价键。
这也就是电子又从导带跳回了价带,多余 的能量以发光的形式或发热的形式释放出 来。 激发和复合可形成动态的平衡。 本征载流子浓度一般是很低的。
载流子复合
施主能级
N型半导体:硅中掺入5价元 素磷、砷、锑,产生非平衡 载流子电子。在能带图中, 在禁带中靠近导带的地方, 形成一个施主能级ED。
i IS
T 为热力学温度 对于室温(相当T=300 K)
则有UT=26 mV。
影响PN结伏安特性偏离理想方程的因素:
正向复合电流:当P区来的空穴和N区来 的电子在空间电荷区复合时,就形成该电 流,此电流在正向电流较小时比重较大, 由于它对三极管发射极注入无贡献,故小 电流时三极管放大倍数会下降。
半导体体内可能存在的4种电流
PN结与半导体二极管
1.2 半导体二极管
结构
二极管 = PN结 + 管壳 + 引线
符号
P
+
阳极
N
-
阴极
二极管按结构分三大类:
(1) 点接触型二极管
PN结面积小,结电容小, 用于检波和变频等高频电路。
正 极引 线
金 属触 丝
负 极引 线
外壳
N型 锗
(2) 面接触型二极管
(3)uCE ≥1V再增加时,曲线右移很不明显。
输出特性曲线
(2)输出特性曲线 iC=f(uCE) iB=const
现以iB=60uA一条加以说明。
(1)当uCE=0 V时,因集电极无收集作用,iC=0。
(2) uCE ↑ → Ic ↑ 。
(3) 当uCE >1V后, 收集电子的能力足够强。 这时,发射到基区的电
度Eg。
导体、半导体、绝缘体的能 带的差异:禁带宽度极大的 不同。
<二>半导体中的杂质
本征半导体
本征半导体:纯净半导体,无杂质。
本征激发:在一定温度下,由于热运 动,一部分价带电子获得大于禁带宽 度的能量而跃迁到导带。(实质:共 价键上电子挣脱了出来,成为自由电 子;同时留下一个空穴。)这样形成 了空穴电子对。
N I EN I EP
VCC
流子。少部分遇到的空穴 V BB
复合掉,形成IBN。所以基 极电流I B ≈ I BN 。大部分到
e IE
达了集电区的边缘。
晶体管的输入特性 曲线
BJT的特性曲线(共发射极接法)
(1) 输入特性曲线 iB=f(uBE) uCE=const
iB T
+
+
u BE -
+
iC
半导体表面:当别的物质是空气时,半导体界面 又称为半导体表面。
半导体界面态:半导体界面上的硅原子外层电子 不能象体内那样和另一个硅原子的外层电子形成 完整的共价键,称悬挂键,它很容易和其它原子 结合,就形成了界面态。
表面态:界面态的特殊形式。
表面复合:硅晶体的表面,一般和SIO2相 接,在相互作用下,由于界面态的存在, 会在禁带中形成一些新的能级;硅晶体表 面受水汽和脏物的影响,也会在禁带中产 生一些新的能级。 这些能级其实也属于
高复合接触:大量的缺陷能级提供 反向时的载流子
高掺杂接触:空间电荷区极薄,电 子可通过隧道效应穿过去
肖特基二极管与普通二极管的 比较:
1.正向压降较低:多子电流大, 故饱和电流大。
2.开关速度较快:空间电荷区 没有电荷存储效应。
肖特基二极管结构
<七>半导体的磁电效 应——霍尔效应
霍尔效应的现象:在半导体晶体 上,在x方向加以电场,流过一个 电流,在z方向施加一个磁场,则 在y方向将会产生一个横向电压, 称为霍尔电压。
电子共有化运动
电子共有化运动:能带形成
能带概念
半导体中能带的形成:电子的 共有化运动,引起能级的分裂, 受泡利不相容原理的影响,这 些能级将形成能量稍有不同的 “能带”
能带图
能带概念
空带,满带,价带,导带,禁带宽 度:
能带上没有电子,称空带。 能带上充满电子,称满带。 能量最高的满带称为价带EV。 能量最低的空带称为导带EC。 导带和价带之间的区域称为禁带宽
非平衡载流子的复合
载流子寿命的概念
非平衡载流子的寿命:在外界作用 因素停止后,其随时间逐渐减少 以至消失的过程称为衰减。其平 均存在时间称为非平衡载流子的 寿命。
非平衡少数载流子寿命的意义: 其浓度降低到原来的37%(1/e) 的时间。
非平衡载流子的复合机理:
直接复合:电子在导带和价带之间的直接 跃迁造成的电子和空穴的复合。
施主能级
受主能级
P型半导体:硅中掺入3价元素 硼,产生非平衡载流子空穴。 在能带图中,在禁带中靠近价 带的地方,形成一个受主能级 EA。
受主能级
施主杂质和受主杂质 的补偿作用。
半导体中杂质的补偿
费米能级EF :衡量半导体掺 杂水平―――电子填充水平 高低的标志。
载流子运动方式
半导体中载流子的两种运动 方式:
雪崩击穿
影响雪崩电压大小因素:单 边突变结电压与轻掺杂一边 掺杂浓度有关,浓度大则电 压低。缓变结击穿电压高低 则与浓度梯度的大小有关, 梯度大则电压低,反之已然。
隧道击穿
隧道击穿:对于PN结两边掺 杂都较高的情况下,空间电 荷区比较窄,电场强度极大, 使得电子和空穴的能量极高, 快速穿越PN结,造成击穿。
复合中心能级的范畴。从而使晶体表面载 流子复合加剧,这样就使表面附近载流子 寿命减小。
非平衡载流子的扩散运动
非平衡载流子的扩散运 动:自然界任何物质都 有从浓度高处向浓度低 处运动的趋势。
非平衡载流子的扩散
扩散流与浓度差的关系:等式右边的 D表示扩散系数。 dn/dx表示浓度梯 度,即浓度差的大小。
两种不同杂质分布的PN结
突变结:P区和N区的杂质分 布界限分明。
缓变结:P区和N区的杂质分 布呈现此消彼涨的渐变模式。
PN结的空间电荷区 PN结的势垒 PN结的正向特性 PN结的反向特性
PN结两边的掺杂浓度
PN结两边未接触时的能带图
PN结能带图
少子在PN结两边的分布
PN结的正反向接法
间接复合:电子通过禁带中的各种复合中 心能级(杂质和缺陷形成)分两步进行的 电子和空穴的复合。