极大规模集成电路制造装备及成套工艺-中华人民共和国工业和信息化部

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中国科学院A类先导科技专项

中国科学院A类先导科技专项中国科学院A类先导科技专项和承担的国家科技重大专项简介一、A类先导科技专项战略性先导科技专项，是中科院在中国至2050年科技发展路线图战略研究基础上，瞄准事关我国全局和长远发展的重大科技问题提出的，是集科技攻关、队伍和平台建设于一体，能够形成重大创新突破和集群优势的战略行动计划。

2010年3月31日，国务院第105次常务会议审议通过中国科学院“创新2020”规划，确认中科院组织实施战略性先导科技专项，形成重大创新突破和集群优势。

1.干细胞与再生医学研究“干细胞与再生医学研究”是现代生命科学发展的前沿，2011年中科院已将其列为战略性先导科技专项之一。

战略性先导科技专项实施以来，在“细胞谱系的建立与发育调控”、“功能性细胞获得的关键技术”、“人工组织器官构建”、“干细胞应用策略的集成研究”四个项目取得的阶段性进展。

2.未来先进核裂变能中科院于2011年启动了"未来先进核裂变能"战略性先导科技专项，其中ADS嬗变系统项目和钍基熔盐堆(TMSR)核能系统项目作为其两大部署内容。

加速器驱动次临界系统(ADS,Accelerator Driven Sub-critical System),以加速器产生的高能强流质子束轰击靶—2—核(如铅等)产生散裂中子作为外源中子驱动和维持次临界堆运行,具有固有安全性。

ADS系统的中子能谱硬、通量大、能量分布宽,嬗变长寿命核素能力强,既可大幅降低核废料的放射性危害,实现核废料的最少化处置,同时还有能量输出,可以提高核资源的利用率,被国际公认为核废料处理的最有效手段。

钍基熔盐堆(TMSR)核能系统项目研究目标是研发第四代裂变反应堆核能系统，计划至2020年之前建成2MW钍基熔盐实验堆，形成支撑未来TMSR核能系统发展的若干技术研发能力,并解决钍铀燃料循环和钍基熔盐堆相关重大技术挑战,研制出工业示范级钍基熔盐堆,实现钍资源的有效使用和核能的综合利用。

电子器件制造业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明

电子器件（半导体芯片）制造业清洁生产评价指标体系编制说明（征求意见稿）1 指标体系制定的主要产业政策介绍90年代初，我国从发达国家引进清洁生产的概念，并与多个国家开展了多种形式的合作。

1997年4月，国家环境保护局制定并发布了《关于推行清洁生产的若干意见》，要求地方环境保护主管部门将清洁生产纳入已有的环境管理政策中，以便更深入地促进清洁生产。

1995和2000年两次修订颁布的《中华人民共和国大气污染防治法》中均明确规定“企业应当优先采用能源利用效率高、污染物排放量少的清洁生产工艺，减少大气污染物的产生。

”2002年6月29日，第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》，该法于2003年1月1日起实施。

从此，清洁生产有了专门的法律保障。

为贯彻落实《清洁生产促进法》，引导企业采用先进的清洁生产工艺和技术，全面推行清洁生产，国家经济贸易委员会、国家环境保护总局分别于2000，2004，2006年先后发布了3批《国家重点行业清洁生产技术导向目录》。

该目录涉及冶金、石化、化工、轻工、纺织、机械、有色金属、建材、电力、煤炭，半导体等行业，共141项清洁生产技术，是行业主管部门在对本行业清洁生产技术进行认真筛选、审核的基础上，组织有关专家进行评审后确定的。

这些技术经过生产实践证明，具有明显的经济和环境效益，同时对于推进清洁生产技术、工艺、设备、产品的升级换代，节约资源能源，促进经济增长方式转变，实现资源优化配置具有重要的现实意义。

在当今全球倡导“绿色制造”的大环境下，各国均相继出台了与电子电气产品污染控制与资源综合利用等相关的指令及法规，企业也通过不断改进技术方案做到合规。

根据《中华人民共和国清洁生产促进法》，企业应开展清洁生产技术研究，通过改进设计、使用清洁的能源和原料、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施，从源头削减污染，提高资源利用效率，减少或者避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放，以减轻或者消除对人类健康和环境的危害。

核高基重大专项

核高基重大专项——信息科技产业战略制高点工程投资额：600亿元以上工程期限：2006年——2020年2006年9月，由北京北方微电子公司和中科信公司承担的“100纳米刻蚀机与离子注入机设备攻关项目”顺利通过国家验收，标志着我国集成电路装备技术直接跨越了5个技术代。

该套设备价格超过1亿元人民币，是半导体产业的核心设备之一，全世界仅有少数几家企业能够研制。

“核高基重大专项”是“核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品”的简称，也是2006年1月国务院发布的《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》所确定的国家十六个科技重大专项之一；于2008年4月经国务院常务会议审议并原则通过，现已正式进入实施阶段。

主要由科技部领导，工业和信息化部牵头组织，由专家委员会论证实施方案。

核高基的背景与意义当前，信息产业已经与新材料、新能源共同成为支撑世界经济发展的三大重点之一，也是支撑国民经济可持续发展和保障国家战略安全的核心资源。

以网络通信、计算机、集成电路和软件为代表的信息技术的发展改变了人类的生产、生活和思维方式，极大地促进了人类社会由工业化社会向信息化社会的转变，推动全球经济的进一步增长。

2008年，电子信息产业规模占中国GDP比重近5%，对GDP增长的贡献超过0.8个百分点，出口额占全国外贸出口总额的36.5%，中国已经成为全球最大的电子信息产品制造基地。

然而我国电子信息产业虽然起步较早，但受各种因素影响发展缓慢，整体科技水平与发达国家相比仍存在较大差距。

为改变这一现状，2006年8月，科技部作为组长单位，工信部、国家发改委、财政部为副组长单位，教育部、总装备部、国防科工委和中国科学院为成员单位，开始启动“核高基”重大专项，力图扭转中国在信息产业方面的技术短板。

2006年10月，“核高基”重大专项领导小组成立，组建了领导小组办公室，组建了“核高基”重大专项实施方案编制专家组，启动了重大专项实施工作。

2014年辽宁科学技术计划项目重点支持方向-辽宁科技厅

附件2014年度辽宁省科学技术计划征集入库项目重点支持方向2014年度辽宁省科学技术计划项目重点支持方向依据《辽宁省中长期科学技术发展规划纲要》以及“十二五”期间科技工作的主要目标和重点任务，认真落实全国及全省科技创新大会精神，以加快落实创新驱动发展战略为统领，以加快转变经济发展方式为主线，充分发挥科技工作在引领经济转型、支撑区域发展和促进民生改善的重要作用。

本重点支持方向是2014年辽宁省科学技术计划征集入库项目的主要依据，对征集入库项目工作起指导和约束作用。

主题1. 着力改造提升传统产业，加快培育战略性新兴产业（联系人：赵勃、袁贞伟，电话：，23983676）加快提升我省战略性新兴产业的自主创新能力和核心竞争力，重点开展高端装备、新能源、新材料、信息技术、生物医药、节能环保和海洋工程等领域的关键技术攻关、成果转化及产业化，促进产业结构转型升级，建立现代企业体系，促进辽宁经济又好又快发展。

专题1.高端装备制造1.1整机及成套装备发挥我省装备制造业产业优势，并结合国家重大专项和重点工程，重点围绕整机及成套装备的核心技术开展研究，提高整机及成套产品的系统集成水平，打破高端装备产品长期依赖进口的局面，实现优势产业做大做强。

1.1.1 智能制造——基础制造装备a. 新一代工业机器人及自动化生产线。

面向大飞机、汽车制造等行业，可实现无缝焊接、表面涂装、货物搬运和装配、柔性制孔等功能的工业机器人系列化产品，以及对装备、工艺、系统控制、服务等技术集成构建的自动化生产线。

b. 新型激光设备。

面向制造、冶金、印刷等行业可实现激光加工、激光熔覆、激光检测、激光印刷等功能的新型专用激光设备。

c. 3D打印设备。

面向航空航天等高端制造领域，可实现快速成型制造、同步送料激光熔覆等功能的3D 打印装备。

——极大规模集成电路成套制造装备。

结合国家极大规模集成电路制造技术及成套工艺重大专项，围绕12英寸及以上匀胶显影设备、凸点封装刻蚀设备、等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）、划片机等开展极大规模集成电路制造设备。

靶材技术成熟度等级划分及定义

靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明（讨论稿）标准编制组二〇一七年十月靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明1 工作简况1.1任务来源集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础，其技术和产业水平是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。

近年来，随着我国电子信息产业飞速发展，电子元器件、集成电路制造、TFT-LCD平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生产线均有大量高技术企业出现；高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。

溅射靶材市场规模日益扩大，已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业，我国成为了世界上高纯溅射靶材的最大需求地区之一，这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。

我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展，在《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《中国制造2025》和《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将“高纯金属及合金等新材料”，作为重点领域急需突破的材料。

但迄今为止，中国在电子元器件、集成电路和平面显示等高端领域应用的溅射靶材缺乏系统深入研究，各类靶材产品的质量参差不齐，靶材技术成熟度指标等级缺乏统一标准，严重制约了国内外靶材用户对靶材制造商的产品实力，技术成熟度的评判。

技术成熟度反映的是技术对于项目预期目标的满足程度。

技术成熟度评价是为了适应新技术发展而产生的一项管理工具，是基于技术发展成熟的客观规律，对其成熟程度进行量化评价的一套系统化标准、方法和程序。

“建立新材料技术成熟度评价体系，制定新材料技术成熟度通用分级标准，完善行业管理”是工业与信息化部、发展与改革委、科技部、财政部四部委联发的《关于加快新材料产业创新发展的指导意见》和《新材料产业发展规划（2016-2020年）》中明确提出的重点任务。

2017年工信部明确提出了要大力推进重点新材料规模化发展，其中金属靶材制备技术达到国际先进水平是工作的重中之重。

本标准的研究内容同时符合国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项》立项的《超高纯系列溅射靶材开发与产业化》项目的相关内容。

中国的“芯”路历程（二）

一、路漫漫，群雄逐鹿，山头林立，一部跨越三十年的现代移动通信史惊心动魄上世纪70年代，贝尔实验室突破性的提出了蜂窝网络概念。

所谓蜂窝网络，就是将网络划分为若干个相邻的小区，整体形状酷似蜂窝，以实现频率复用，提升系统容量。

1G时代作为移动通信开天辟地的时代，群雄逐鹿，山头林立，通信标准也是五花八门。

随着人们对移动通信的要求越来越高，业界提出向2G数字时代发展，以代替1G模拟通信。

不甘落后于美国的欧洲采用数字时分多址（TDMA）和码分多址（CDMA）两种技术，分别对应GSM和CDMA系统于是迎来了2G时代，一场由美国和欧洲为代表的两大利益集团之间的竞争掀起高潮。

到上世纪90年代中期，欧洲主要国家的GSM渗透率已达80%。

欧洲GSM标准迅速蔓延全球，远远把美国抛在身后。

3G时代主要有WCDMA、CDMA2000、TD-SCDMA三种标准。

1G、2G落伍，3G不能落于人后，（2）英特尔美国处理器（3）台积电中国台湾晶圆代工（4） SK海力士韩国存储芯片（5）美光美国存储芯片（6）高通美国通信芯片（7）博通新加坡通信芯片（8）德州仪器美国模拟芯片. All Rights Reserved.（9）东芝日本存储芯片（10）西部数据美国存储芯片二、正视差距，迎战封锁，我国制定战略推进芯片研发从低端向高端冲刺（一）中国芯片产业技术发展相关重要政策（时间政策名称要点）2014年6月，《国家集成电路产业发展推进纲要》到2020年，集成电路产业与国际先进水平的差距逐步缩小，全行业销售收入年均增速超过20%；到2030年，集成电路产业链主要环节达到国际先进水平，一批企手，利用核心技术垄断优势对深圳华为、中兴等我国芯片产业龙头企业进行全供应链打压。

极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项实施

章从福摘
世界最大太阳能光伏电站在葡萄牙投入使用
据西班牙《世界报》报道, 西班牙 A CC I O N A 公司在葡萄牙建造的一座太阳能光伏电站近日投入使用, 其总装机容量达 46 兆瓦, 是、关键材料 9 项、关键技术与零部件 11 项、前瞻性研究等 8 项, 总投资 180 多亿元。据有关负责人透露, 该重大专项将陆续发布项目指南, 以 “公开、公平、公正” 为原则, 有序推进立项评审及实施管理工作。
刘广荣摘
英特尔与台积电达成合作协议
陈裕权摘译Com pound Sem iconductor , 2008, 10(11)
极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项实施 2009 年 3 月 26 日, 科技部召开国家科技重大专项 “极大规模集成电路制造
装备及成套工艺” 推进会, 这标志着该专项进入全面实施阶段。科技部、国家发改委、财政部、工业与信息化部、中科院、北京市和上海市政府等专项领导小组成员单位负责人出席会议, 科技部部长万钢讲话。 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺” 重大专项旨在开发集成电路关键制造装备, 掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术, 打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况, 带动相关产业的技术提升和结构调整。该重大专项的实施将会极大地整体提升我国电子制造业和装备制造业的创新能力和竞争力。专项领导小组还成立了专项咨询委员会、专项总体专家组和专项实施管理办公室等机构, 规范了实施管理办法。该重大专项面向全国广泛征集项目, 经过严格的筛选及 “三评两审” 立项程序, 目前拟启动 54 个项目, 其中, 装备整机 15

2018年芯片制造企业公司组织结构、业务流程、商业模式、行业现状

2018年芯片制造企业公司组织结构、业务流程、商业模式、行业现状目录一、公司内部组织结构与主要生产流程 (1)（一）内部组织结构图 (1)（二）公司主要业务流程 (1)1、产品研发 (2)2、流片 (2)3、封装测试 (3)4、产品销售流程 (3)二、公司商业模式 (3)（一）生产模式 (4)（二）销售模式 (5)（三）采购模式 (5)（四）研发模式 (6)三、公司所处行业基本情况 (7)（一）行业主管部门、监管体制和主要法律法规及政策 (7)1、行业主管部门和监管体制 (7)2、行业主要法律法规及政策 (8)（二）行业规模与发展趋势 (11)1、行业基本概况 (11)2、行业生命周期 (11)3、业内主要生产模式 (13)4、行业规模 (14)5、行业发展趋势 (15)（1）技术水平持续提升，国际差距逐步缩小 (15)（2）产业结构渐趋优化 (15)（3）产业基金引领IC 产业投资热潮 (15)（三）公司所处行业产业链及与上下游企业的关系分析 (16)（四）影响行业发展的因素 (17)1、有利因素 (17)（1）国家政策的大力支持 (17)（2）国内终端市场需求快速增长 (18)2、不利因素 (19)（1）国内集成电路产业基础依旧比较薄弱 (19)（2）高端人才较为短缺 (19)（3）行业研发投入不足 (19)（五）行业的风险特征与壁垒 (20)1、行业风险特征 (20)（1）保持持续创新能力的风险 (20)（2）研发风险和市场风险 (20)（3）委外加工风险 (21)2、行业壁垒 (21)（1）技术壁垒 (21)（2）资本壁垒 (21)（3）客户关系壁垒 (22)（4）人才壁垒 (22)（六）公司在行业中的竞争状况 (22)1、行业竞争格局 (22)2、公司在行业中的竞争地位 (25)3、竞争对手基本情况 (25)（1）聚元微 (25)（2）上海磐启微电子有限公司 (26)（3）泰凌微电子（上海）有限公司 (26)（七）公司发展规划 (26)一、公司内部组织结构与主要生产流程（一）内部组织结构图（二）公司主要业务流程在集成电路设计行业中，大部分集成电路设计公司采用Fabless的业务模式，即无生产线集成电路设计公司的模式，在该模式下集成电路的设计、制造、封装和测试分别由不同的专业企业完成：集成电路设计企业按照自身研发流程完成产品设计，通过委外加工方式完成晶圆流片、芯片封装和测试，并通过向下游客户销售合格产品获得业务收入与利润。

电子器件制造业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明分解

”2002年6月29日，第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》，该法于2003年1月1日起实施。

从此，清洁生产有了专门的法律保障。

电子器件制造业清洁生产评价指标体系编制说明

”2002年6月29日，第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》，该法于2003年1月1日起实施。

从此，清洁生产有了专门的法律保障。

北京市人民政府关于印发北京市加快培育和发展战略性新兴产业实施意见的通知

北京市人民政府关于印发北京市加快培育和发展战略性新兴产业实施意见的通知文章属性•【制定机关】北京市人民政府•【公布日期】2011.07.21•【字号】京政发[2011]38号•【施行日期】2011.07.21•【效力等级】地方规范性文件•【时效性】现行有效•【主题分类】商务综合规定正文北京市人民政府关于印发北京市加快培育和发展战略性新兴产业实施意见的通知（京政发〔2011〕38号）各区、县人民政府，市政府各委、办、局，各市属机构：现将《北京市关于加快培育和发展战略性新兴产业的实施意见》印发给你们，请结合实际，认真贯彻落实。

北京市人民政府二〇一一年七月二十一日北京市关于加快培育和发展战略性新兴产业的实施意见为全面贯彻落实《国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定》（国发〔2010〕32号）和《北京市国民经济和社会发展第十二个五年规划纲要》，提升战略性新兴产业在全市经济发展中的支柱地位，将北京建设成为具有全球影响力的科技创新中心和国家战略性新兴产业策源地，特制定本意见。

一、加快培育和发展战略性新兴产业是推动本市率先形成创新驱动发展格局的重要引擎加快培育和发展战略性新兴产业，是加快转变经济发展方式的必然要求，对于本市率先实现创新驱动发展，成为全国加快转变经济发展方式的标杆和火炬手，推动经济社会可持续发展具有重大战略意义。

（一）加快培育和发展战略性新兴产业是掌握产业发展主动权、支撑国家创新中心建设的迫切需要。

加快培育和发展战略性新兴产业是我国在全球经济竞争格局发生深刻变革的背景下，努力掌握国际经济竞争主动的必然要求。

北京作为国家首都和科技智力资源最密集的城市，高技术产业发展基础坚实，需要率先掌握战略性新兴产业的关键核心技术和相关知识产权，增强产业核心竞争力，把北京建设成为国家创新中心，更好地服务于区域和全国的创新发展，支撑创新型国家建设。

（二）加快培育和发展战略性新兴产业是加快经济发展方式转变、提升可持续发展能力的重要途径。

02专项的主要内容

02专项的主要内容
02专项，即《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，是中国科技
发展的重大专项之一，旨在提升中国集成电路制造装备和成套工艺的自主创新能力。

其主要内容包括：
1. 关键制造装备的研发和攻关：重点进行45-22纳米关键制造装备的研发
和攻关，如光刻机、刻蚀机、镀膜机等关键设备。

2. 集成电路制造工艺的研发：开发32-22纳米互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺、90-65纳米特色工艺，以及开展22-14纳米前瞻性研究。

3. 形成集成电路制造产业链：通过关键装备和工艺的研发，形成65-45纳
米装备、材料、工艺配套能力，建立完整的集成电路制造产业链。

通过02专项的实施，中国的集成电路制造产业将进一步缩小与世界先进水
平的差距，提升自主创新能力和核心竞争力。

同时，这也将为中国未来的科技发展和经济转型升级提供重要支撑。

工业和信息化部印发《产业关键共性技术发展指南(2013年)》工信部科[2013]335号

Ｉ．集成电路大规模生产先进工艺技术主要技术内容：软硬件协同设计、低功耗设计、可制造设计、可靠性设计技术；系统级芯片、关键
ＩＰ核、ＥＤＡ工具设计技术；系统解决方案设计技术。２．集成电路大规模生产工艺技术
主要技术内容：ｌ２英寸６５ｎｍ、４５／４０ｎｍ、３２／／２８ｎｍ成套公益平台开发；模拟、数模混合、ＭＥＭＳ、射频、功率器件等特色工艺技术。３．集成电路封装测试技术主要技术内容：芯片级封装（ＣＳＰ）、原片级封装（ＷＬＰ）、多芯片封装（ＭＣＰ）、多元件封装（ＭＣＯ）、系统级封装（ＳｉＰ）、硅穿孔技术（ＴＳＶ）、高密度三维封装等先进封装技术及先进测试技术。
２．高效晶硅电池制造技术主要技术内容：以提高电池转换效率，降低生
（孔隙率４０％左右，纳米微孔 ≤ ２０Ｏｈｍ，纵向拉伸强
蚀型（ＢＣＥ）为主。
元材料、富锂锰基材料等新型正极材料规模化生产技术；硅基、锡基等高能量密度负极材料；钛酸锂、硬碳为代表的高功率密度、高安全性负极材料（循环寿命 ≥ ｉ００００次）；低成本、高性能石墨负极材料
（成本降低１０％以上，能量密度 ≥ ３６０ｍ力电子器件工艺技术
主要技术内容：高压大功率ＩＧＢＴ、ＦＲＤ、ＭＯＳＦＥＴ等电力电子期问的结构设计、前道制造工艺、后道薄片工艺技术；器件少子寿命控制技术、可靠性和鲁

国家重大科技专项,河南省重大科技专项

国家科技重大专项共有16个，实施时间为2006-2020年，每个投资数百亿元，目前公布了13个1 核高基专项（核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品专项）2 集成电路装备专项（极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项）3 移动宽带通信专项（新一代宽带无线移动通信网专项）4 数控机床专项（高档数控机床与基础制造装备专项）5 油气开发专项（大型油气田及煤层气开发专项）6 大型核电站专项（大型先进压水堆及高温气冷堆核电站专项）7 水体污染治理专项（水体污染控制与治理专项）8 转基因专项（转基因生物新品种培育专项）9 新药创制专项（重大新药创制专项）10 传染病防治专项（艾滋病和病毒性肝炎等重大传染病防治专项）11 大飞机专项（大型飞机专项）12 高分专项（高分辨率对地观测系统专项）13 载人航天与探月工程专项（载人航天与探月工程专项）历年国家重大科技专项年份项目名称承担单位2003 食品安全关键技术研究2004 粮食丰产科技工程2009 玉米和棉花耐旱突变体高通量筛选和鉴定体系的创制河南大学宋纯鹏2009 全国重点煤矿区瓦斯赋存分布规律和控制因素河南理工大学张子敏2009 大型专用轴承洛阳LYC轴承有限公司2011 低浓度煤层气浓缩和安全输送技术及装备（大型油气田及煤层气开发子课题）河南煤化工集团公司与煤炭科学研究总院2012 国产数控系统在车床企业应用示范工程中科院沈阳计算公司与沈阳机床集团、沈阳高精2012 ADGM系列高速精密数控车床及车削中心数控2013 1000吨/年碳分子筛生产线河南大明化工有限公司小麦深加工技术研究与开发莲花集团肉制品加工关键技术研究与新产品开发双汇集团历年河南省重大科技专项（2006年设立，截至2012年10月共设立90项）年份项目名称承担单位2008 8万米3/时等级特大型空分设备研发及产业化2008 玉米新品种浚单20产业化研究与开发鹤壁市农科院2009 亩产800kg超级小麦新品种培育与示范2009 大直径聚晶金刚石复合片2009 600毫米缸径压机合成优质粗颗粒金刚石高技术产业化示范工程河南黄河旋风股份有限公司2010 L-乳酸产业化关键技术研究与应用河南金丹乳酸科技公司2011 特高压输变电装备关键技术许继集团有限公司、河南平高电气股份有限公司2011 大采高液压支架及电液控制系统郑州煤矿机械集团有限责任公司超薄玻璃浮法生产设备和工艺中国洛阳浮法玻璃集团有限公司2011 兆瓦级风力发电装备关键技术河南省风电产业技术创新战略联盟成员单位：许继集团有限公司等2011 大型水泥厂纯低温余热发电技术中信重工机械股份有限公司2011 盾构机成套装备关键技术中铁隧道装备制造有限公司2011 千吨级多晶硅生产线关键技术洛阳中硅高科技有限公司2011 小麦新品种百农矮抗58、郑麦366（强筋）河南科技学院、河南省农业科学院2011 玉米新品种浚单20 鹤壁市农业科学院2011 甲型H1N1流感疫苗华兰生物工程股份有限公司2011 畜禽主要疫病防控关键技术及新型疫苗洛阳普莱柯生物工程有限公司2012 硬岩盾构成套装备关键技术研究及应用中铁隧道装备制造有限公司2012 主要粮食作物生产过程信息化关键技术集成与应用郑国清2012 主要畜禽产品生产全过程信息化关键技术集成与应用河南牧业经济学院农村远程医疗信息服务系统构建与示范应用农村信息服务网络及内容分发系统关键技术集成应用2012 基于国家农村信息化平台的农村远程医疗服务系统构建与示范应用郑大一附院2012 从氧化铝分解母液中回收金属镓关键技术及产业化示范东方希望（三门峡）铝业有限公司农村信息服务网络及内容分发系统关键技术集成应用2010年第二批河南省重大科技专项计划项项目名称承担单位省辖市/省直部门低温铸件制造工艺及产业化郑州纺织机械股份有限公司郑州市亩产800公斤超级小麦新品种培育与示范河南天民种业有限公司开封市猪主要疫病防控关键技术研究与新型疫苗开发洛阳普莱柯生物工程有限公司优质钢精炼用关键耐火材料中钢集团洛阳耐火材料研究院有限公司洛阳市兆瓦级风力发电机组弹性支撑设计制造技术中国船舶重工集团公司第七二五研究所甲型H1N1流感病毒裂解疫苗研制及产业化华兰生物工程股份有限公司新乡市超级籼稻新品种选育与示范信阳市农科所信阳市超级杂交稻新组合选育与示范郑州大学省教育厅超级粳稻新品种选育与示范河南省农科院省农科院2011年河南省重大科技专项项目项目编号项目名称承担单位111100110100 BNS型杂交小麦优异亲本培育及强优势组合的创制与示范河南科技学院111100110200 优质专用型花生新品种选育与示范河南省农科院111100110300 生猪健康养殖及猪肉安全保障技术研究与示范河南农业大学111100210100 轨道交通信息集成与网络化运营调度系统关键技术研究郑州市轨道交通有限公司111100210200 城市轨道车辆关键技术研究与产业化洛阳南车城市轨道车辆有限公司111100210300 地铁再生制动能量吸收装置研究与应用郑州许继地铁工程有限公司111100210400 大容量锂离子动力电池全自动生产线研发中航锂电（洛阳）有限公司111100210500 自升式海洋钻井平台钻机的研发及产业化南阳二机石油装备（集团）有限公司111100210600 高品质钛加工材关键技术研究中国船舶重工集团公司第七二五研究所111100210700 轨道交通站台设备关键技术研究及产业化中国船舶重工集团公司第七一三研究所111100210800 高功率LED驱动IC关键技术及产业化晶诚（郑州）科技有限公司111100210900 高密度、大容量蓝光光盘高端制造装备及关键工艺技术研发河南凯瑞数码股份有限公司111100211000 镁合金挤压关键技术的研究开发及应用维恩克（鹤壁）镁基材料有限公司111100211100 轨道交通专用电能质量治理装置研发河南森源电气股份有限公司111100211200 高速动车组CRH车灯灯罩的制造、测试和标准制定郑州大学111100211300 硬岩盾构成套装备关键技术研究及应用中铁隧道装备制造有限公司111100310100 半合成抗生素母核及系列产品开发和产业化河南绿园药业有限公司111100310200 清洁镀金新材料研究与产业化开发三门峡恒生科技研发有限公司111100310300 阿托伐他汀钙关键技术研究与产业通用天方药业集团有限公司111100310400 煤制乙二醇产业化技术研究与开发河南煤业化工集团111100310500 铝冶炼综合节能与短流程连铸连轧技术的开发与应用伊川电力集团111100310600 冷轧硅钢关键生产工艺研究及产品开发安阳钢铁集团111100310700 焦炉煤气制备乙炔及氢关键技术研究及工业化开发中国平煤神马能源化工集团有限责任公司2012年度河南省重大科技专项项目项目编号项目名称承担单位121100110100 新型复合微生物肥料关键技术研究及产业化河南省科学院生物研究所有限责任公司121100110100 新型复合微生物肥料关键技术研究及产业化河南省科学院生物研究所有限责任公司121100110200 豫南稻区籼改粳技术研究与产业化信阳市农业科学院121100110300 超高产玉米新品种选育河南农业大学121100110300 超高产玉米新品种选育河南农业大学121100110400 玉米机械化收获过程关键装备技术研发与示范河南省豪丰机械装备有限公司121100110500 非道路型大功率柴油机研制中国一拖集团有限公司121100110600 高活力酸性纤维素酶的研发与应用河南仰韶生化工程有限公司121100110700 兽用天蚕素抗菌肽的研发与产业化中农颖泰林州生物科园有限公司121100110800 肉类质量安全检测及溯源技术研究与示范河南省农科院121100110900 主要粮食作物生产全过程信息化关键技术集成与研究河南省农业科学院121100111000 畜禽生产过程信息化关键技术集成与应用郑州牧业工程高等专科学校121100111100 基于国家农村信息化平台的农村远程医疗服务系统构建与示范应用郑州大学第一附属医院121100111200 河南省农村信息化三屏合一关键技术集成与示范应用中国联合网络通信有限公司河南省分公司121100111300 新型农村社区信息服务关键技术集成与应用示范河南大学121100111400 强优势BNS型杂交小麦组配与规模化高效制种技术研究河南科技学院121100111500 主要农作物新品种选育与示范--小麦新品种选育与示范河南省农业科学院121100210100 医用异戊橡胶材料及制品关键技术研究濮阳林氏化学新材料股份有限公司121100210200 MH700高端碳纤维关键技术研究及工程化河南永煤碳纤维有限公司121100210300 高耐蚀超长铜合金管新技术及新工艺的开发金龙精密铜管集团股份有限公司121100210400 锂离子电池关键材料千吨级晶体六氟磷酸锂研发及产业化多氟多化工股份有限公司121100210500 新材料体系高性能锂离子动力电池单体全产业链关键技术河南师范大学121100210500 新材料体系高性能锂离子动力电池单体全产业链关键技术河南师范大学121100210600 高压智能开关设备关键技术研究河南平高电气股份有限公司121100210700 SF6气体分解产物分析仪器仪表的关键技术研究与开发河南省日立信股份有限公司121100210800 连续萃取重相乳酸生产高品质乳酸钠新技术河南金丹乳酸科技股份有限公司121100210900 低辐射（Low－E）镀膜玻璃机组产业化关键技术研发洛阳北方玻璃技术股份有限公司121100211000 光分路器及阵列波导光栅芯片产业化河南仕佳光子科技有限公司121100211100 兆瓦级风电机组主轴关键技术研究及产业化中原特钢股份有限公司121100211200 兆瓦级风电偏航制动器研发及产业化焦作瑞塞尔盘式制动器有限公司121100211300 热升华成像技术和配套打印设备的研究及应用焦作市卓立烫印材料有限公司121100211400 轨道交通高性能减振道床系统关键技术研究洛阳双瑞橡塑科技有限公司121100211500 高速列车抗蛇行减振器系列产品研发南阳淅减汽车减振器有限公司121100211600 对位芳纶生产稳定化关键技术研究中国平煤神马能源化工集团有限责任公司121100211700 RH精炼炉用优质环保无铬耐火材料关键技术研究中钢集团耐火材料有限公司121100211800 特装重卡传动轴总成关键技术研发许昌远东传动轴股份有限公司121100211900 高效环保气缸套关键技术研发河南省中原内配股份有限公司121100212000 涡轮增压器连体壳体关键技术研究西峡县众德汽车部件有限公司121100212100 纤维素制备生物化工醇关键技术研究与开发郸城财鑫糖业有限责任公司121100212200 G6 TFT-LCD液晶玻璃基板成套技术研发郑州旭飞光电科技有限公司121100310100 手足口病基因工程多价疫苗华兰生物疫苗有限公司121100310200 六味地黄丸二次开发与技术升级河南省宛西制药股份有限公司121100310300 盐酸多西环素原料药技术改造及有机废物资源化处理研究开封制药（集团）有限公司121100310400 高端微创介入类经外周静脉置入中心导管关键技术研究与产业化圣光医用制品有限公司121100310500 水泥窑协同处置生活垃圾关键技术及装备研究开发中信重工机械股份有限公司121100310600 从氧化铝分解母液中回收金属镓关键技术及产业化示范东方希望（三门峡）铝业有限公司121100310700 宽温度低成本烟气脱硝SCR催化剂成套生产技术产业化研究与示范河南东大高温节能材料有限公司121100310800 多参数睡眠呼吸监测系统研制及产业化河南华南医电科技有限公司121100310900 水利基础设施高聚物防渗加固技术研发集成与示范郑州大学121100510100 沥青路面冷态循环利用技术及配套设备研究河南省高远公路养护技术有限公司121100510200 重大疾病全自动高精免疫诊断系统的研制郑州安图绿科生物工程有限公司121100610010 20万吨/年碳四临氢芳构化技术研究与产业化濮阳恒润筑邦石油化工有限公司121199110110 粮食产后干燥关键技术与装备的研究及示范郑州万谷机械有限公司121199110120 粮食产后清理技术与关键装备的集成研究及示范开封市茂盛机械有限公司121199210110 工业园区智能用电关键技术研究及示范应用河南省电力公司121199210120 ZF800智能变电站高压设备综合在线监测系统河南中分仪器股份有限公司121199210130 智能用电信息系统关键技术研究河南许继仪表有限公司121199210140 物联网关键技术在智能电网中的研究与应用河南腾龙信息工程有限公司121199210210 动力锂离子电池用新型高比能正极材料研发河南科隆集团有限公司121199210220 双面光高档锂电池电解铜箔关键技术研发灵宝华鑫铜箔有限责任公司121199210230 长寿命锰酸锂基储能电池的关键技术研究中航锂电（洛阳）有限公司121199310110 预防和治疗骨质疏松新药雷奈酸锶研究开发及产业化辅仁药业集团有限公司121199310120 硫酸氢氯吡格雷原料药及制剂的规模化生产河南新帅克制药股份有限公司121199310130 第四代BS基因工程菌生产核黄素关键技术研究及产业化广济药业（孟州）有限公司121199310140 拉氧头孢及其中间体合成技术产业化研究河南新天地药业股份有限公司121199310150 利用洗毛废弃物提取胆固醇技术开发及产业化河南利伟生物药业股份有限公司2013年河南省重大科技专项项目经费预算汇总表郑州市纯电动城市客车关键技术研发及产业化郑州宇通客车股份有限公司李高鹏超大断面矩形盾构顶管机（10×7m）研制中铁隧道装备制造有限公司赵华玉米新品种伟科702研发及产业化河南金苑种业有限公司康广华焦作市加工PCB钻头用0.6mm直径超细硬质合金棒材研发河南省大地合金股份有限公司陈铮许昌市预装式模块化智能充换电站关键技术研究许继集团有限公司张东江第三代二氢吡啶类抗高血压新药盐酸马尼地平关键技术研究与产业化许昌恒生制药有限公司蚩晓娜漯河市氯化法钛白粉生产关键技术研发及产业化漯河兴茂钛业股份有限公司李俊峰南阳市纯电动城市客车动力系统研究与开发河南通宇新源动力有限公司吴森。

国家重大科技专项 02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”

国家重大科技专项02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”摘要：一、引言二、国家重大科技专项02 专项简介三、极大规模集成电路制造装备及成套工艺的重要性四、我国在相关领域的发展现状五、面临的挑战与机遇六、结论正文：一、引言随着科技的飞速发展，集成电路制造技术在我国的地位日益重要。

作为国家重大科技专项02 专项的一部分，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目对我国集成电路产业的发展具有重大意义。

二、国家重大科技专项02 专项简介国家重大科技专项是为了实现国家科技战略目标，提高我国科技创新能力而设立的项目。

其中，02 专项主要针对极大规模集成电路制造装备及成套工艺进行研究，以满足国家在信息技术领域的需求。

三、极大规模集成电路制造装备及成套工艺的重要性极大规模集成电路制造装备及成套工艺是现代信息技术产业的基础，对我国经济、国防、民生等方面具有重大战略价值。

发展该技术不仅可以提高我国在国际竞争中的地位，还可以推动我国集成电路产业的整体发展。

四、我国在相关领域的发展现状近年来，我国在极大规模集成电路制造装备及成套工艺方面取得了一定的成绩，但与世界先进水平相比仍存在一定差距。

目前，我国在核心设备、关键材料、制造工艺等方面仍需加大研发力度。

五、面临的挑战与机遇在发展极大规模集成电路制造装备及成套工艺的过程中，我国面临着技术、人才、资金等多方面的挑战。

然而，随着国家对科技创新的重视，相关政策的扶持以及市场需求的不断扩大，我国在极大规模集成电路制造装备及成套工艺领域的发展机遇也在不断增加。

六、结论总之，发展极大规模集成电路制造装备及成套工艺是我国科技发展的重要任务。

国家重大科技专项_02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”

国家重大科技专项02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”1. 引言1.1 概述国家重大科技专项是中国政府为推动科技创新和促进国家经济发展而设立的一项资助计划。

其中，02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”是该专项中的一个具体项目，旨在加强我国在极大规模集成电路制造装备及成套工艺方面的研发和创新能力。

本文将围绕着该专项内容展开，首先简要介绍国家重大科技专项的概况，随后详细介绍02专项的背景、目标与意义。

接着，我们将对极大规模集成电路制造装备进行定义和回顾其发展历程，并探讨该领域所面临的关键技术与挑战。

同时还会对相关研究与应用现状进行深入剖析。

另外，在本文中还将对成套工艺进行阐述。

我们将解释成套工艺的概念和特点，并探讨工艺创新在此领域中的重要性和需求。

此外，作者还会分享国内外在成套工艺研究方面取得的进展和重要成果。

最后，在文章的结尾部分中，我们将对全文进行总结，概括主要研究成果，并展望未来发展方向和前景。

1.2 文章结构本文共分为五个主要章节。

首先是引言部分，其后是专项背景介绍、极大规模集成电路制造装备、成套工艺研究与创新以及结论与展望。

每个章节都包含了若干小节，具体内容会在后续章节中详细介绍。

1.3 目的通过撰写此长文，目的在于全面介绍国家重大科技专项02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”。

通过对该专项的背景、定义和发展历程、关键技术与挑战以及研究进展等方面进行阐述，并分享国内外在成套工艺领域的研究成果，希望能够促进我国在该领域的科技创新和产业发展。

最终，期望能够为未来该领域的发展提供一定的参考和启示。

2. 专项背景2.1 国家重大科技专项概述国家重大科技专项是指由国务院决策部署、面向我国经济社会发展中具有关键性和战略性作用的重要领域，采取统一组织、集中管理、明确目标、强化保障的科技研发项目。

这些专项旨在推动我国科技创新能力提升，促进高质量发展，推动产业结构升级与转型发展，提高国际竞争力和自主创新能力。

中国科学院沈阳自动化研究所数字工厂(第十)研究室

■ 系统功能及特点采用 GPS、WIFI、RFID、条码等技术对整车位置、生产进度及状态等信息进行采
集基于现场实时信息的生产过程追踪与可视化监控关键件物料信息采集面向整车生产工艺过程的多路径多约束作业级优化排产基于现场实时信息生产指挥调度基于现场生产进度 JIT、JIS 物料配送支持精益生产的 KPI 分析
地址：沈阳市浑南新区飞云路 19 号电话：024-8360 1283 Email: pfc@
9
第二篇技术与系统
（二）汽车行业应用系统汽车行业整车生产线 MES 系统
汽车行业整车生产线 MES 系统是面向大型车辆整车生产全过程的生产管理系统。为整车生产企业提供整车生产过程中产品位置、进度、状态等信息的实时跟踪，并根据现场实时信息进行排产与调度，以满足整车生产企业对精益生产的需求。
研究室也是国家 863/CIMS 系统集成技术实验室、辽宁省制造业信息化发展中心等国家、省级机构的依托单位。研究室与美国、德国、澳大利亚、香港等国家和地区的大学、研究所保持密切的学术交流和长期性合作关系。在技术、研发、应用和市场等诸多方面与国外著名的厂商开展了合作，建立了良好的合作伙伴关系，并与 GE 公司联合成立了制造执行系统技术实验室。近 5 年来承接国家重大专项课题、国家自然科学基金、国家 863 计划、国家科技支撑计划、中科院知识创新工程重大项目、院地合作项目、省市科技计划项目、企业委托项目等各类项目 60 余项，取得相关专利和软件著作权 40 余项。
山西大同变速箱生产线监控界面
陕西法士特变速箱生产线工位 HMI
朝阳柴油机生产档案信息查询界面
■ 典型应用案例：郑州宇通客车股份有限责任公司整车生产线 MES 系统福田汽车南海欧 V 客车工厂客车生产线 MES 系统贵州力帆时骏振兴集团重卡生产线 MES 系统

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附件3
2017年智能制造新模式应用项目
任务书
项目名称：
项目责任单位（盖章）：
项目责任人（法人代表）：
项目技术负责人：
项目年限：20 年月至20 年月填报日期： 20 年月日
中华人民共和国工业和信息化部制
二〇年月
编写说明
1．项目任务书必须依据工业和信息化部对项目的立项批复以及通过评审的项目申报书编制，不得随意变更内容。

项目总经费按照立项批复的项目总投资填写。

2．每个项目必须具备项目责任人（单位法人代表）和技术负责人。

3．项目任务书编制流程：
（1）任务书由项目责任单位编制，并报送所在地省级工业和信息化主管部门；
（2）根据项目立项批复和项目申报书的内容填报项目任务书；
（3）项目任务书一式四份，工业和信息化部、财政部各一份；项目责任单位一份；项目责任单位所在地省级工业和信息化主管部门一份。

4．填报格式说明：请用A4幅面编辑，正文字体为4号仿宋体，单倍行距。

一级标题4号黑体，二级标题4号楷体。

双面打印。

智能制造专项项目基本信息项目名称
预计完成时间
预期成果类型□标准□研究报告□试验验证平台□专利□软件□智能工厂□数字化车间□其他（请注明）
项目责任单位信息单位名称单位性质□国有□民营□三资通讯地址邮政编码
所在地区单位主管部门
联系电话
组织机构代码/
统一社会信用代
码
传真号码单位成立时间
电子信箱
项目目标产品技术水平
（新模式应用类项目填写）
□国际先进□国内领先□国内先进
□其他（请注明）
标准制定基
础
□牵头制定过行业标准/国家标准□所申报标准类项目已在国家
标准或国际标准立项
智能制造基
础
□工信部两化融合管理体系贯标企业□工信部智能制造试点示
范企业□国家级两化深度融合示范企业□其他（请注明）
2014年2015年2016年
总资产（万元）负债率
主营业务收入（万元）税金（万元）利润（万元）
项目技术负责人信息
姓名性别出生日期职称最高学位从事专业固定电话移动电话传真号码电子信箱证件类型证件号码
联合单位信息单位名称单位性质
组织机构代码/统一
社会信用代码
项目经费构成（万元）项目总投资
其中：设备（含软件及网络设备）总投资核心智能制造装备（含软件及网络设备）总投资
安全可控的核心智能制造装备（含软件及网络设备）总投资
项目所属领域□新一代信息技术产业
□高档数控机床和机器人
□航空航天装备
□海洋工程装备及高技术船舶□先进轨道交通装备
□节能与新能源汽车
□电力装备
□农机装备
□新材料
□医药与民生
一、目标和任务
1.1项目总体目标
1.2项目主要内容及技术路线
（明确通信网络架构和信息集成方案，并详细阐述智能工厂/数字化车间建设内容和智能功能，以及安全可控核心智能制造装备实施计划）
1.3项目任务分解
（项目主要内容的细化与分解，应说明联合体成员在项目中具体承担的任务）
1.4项目的技术难点和主要创新点
1.5项目实施对行业的影响和带动作用
二、考核指标与预期成果
2.1综合指标
（应满足《2017年智能制造综合标准化与新模式应用项目指南》中相应的考核指标；提供2017年本项目综合指标的基础数值，并明确列示可达综合指标的具体测算方法）
2.2技术指标
（应明确智能工厂/数字化车间的技术指标与功能要求）
2.3专利、软件著作权、标准（技术规范）指标
2.4安全可控核心智能制造装备指标
2.5其他考核指标
三、项目年度任务和考核指标（按照“考核指标与预期成果”分别细化）
年度年度任务年度考核指标预计年度总投资重要任务的时间节点
6
四、联合体成员单位任务分工情况（按照“考核指标与预期成果”分别细化）
任务名称承担单
位
任务
负责
人
目标
具体任务内
容
年度任务
分解
考核指标
年度考核指标与
重要任务的时间
节点
对本项
目的投
资额（万
元）
年度投
资分解
（万元）
安全可
控核心
智能制
造装备
年度目
标分解
7
五、经费概算
序号支出科目支出金额
1 设备费（含软件及网络设备）
2 测试化验加工费
3 材料费
4 燃料动力费
5 会议费
6 差旅费
7 合作与交流费
8 出版/文献/信息传播/知识产权事务费
9 劳务费
10 人员费
11 专家咨询费
12 管理费
13 其他支出
14 合计
5.1项目总体经费支出概算、测算说明、经费来源、用途等5.2项目总体经费支出年度概算、测算说明、用途等
5.3联合体成员单位经费支出概算、测算说明、用途等
5.4联合体成员单位经费支出年度概算、测算说明、用途等
5.5项目总投资中设备（含软件及网络设备）清单
序号名称单价数量
金额
（万元）
品牌制造商备注
合计（万元）
5.6 核心智能制造装备清单
类别序号名称单价数量
金额
（万元）
品牌制造商
是否安
全可控
备注
高档数控
机床与工
业机器人
增材制造
装备
智能传感
与控制装
备
智能检测
与装配装
备
智能物流
与仓储装
备
软件及网
络设备
合计（万元）——
六、项目组织方式及管理机制
12
13 6.1项目的组织管理（组织方式和机制、产学研用结合、创新人才队伍的建设和培养等）
6.2项目主要参与人员（一）项目技术负责人
姓名
性别
年龄
证件类别
证件号码
职务
职称
业务专业
为本项目
工作时间（人月）
所在单位
职责分工
（二）主要研发人员
姓名
性别
年龄
证件类别
证件号码
职务
职称
业务专业
为本项目
工作时间（人月）
所在单位职责分工
（三）主要管理及其他支撑服务人员
为本项目
七、附件
7.1项目责任单位与联合体成员单位之间的联合协议
（联合协议须由联合体成员单位共同签署，明确成员单位具体权责、任务分工、经费分配比例等，并在一份协议内加盖所有成员单位公章。

）
7.2联合体工作方案
（应明确联合体的组织管理、具体实施方案、过程控制及可持续运行的合作机制）
7.3其他附件
1、项目责任单位现有知识产权清单（仅填写发明专利、计算机软件著作权）和标准清单（仅填写牵头制修订的标准）；
2、核心智能制造装备采购合同/协议等；
3、其他。

八、承诺书
本项目责任人、技术负责人和责任单位承诺：
1、项目任务书所有信息真实准确，所有承诺诚信可靠。

如有失实，愿意承担相关责任。

2、在本项目建设周期内完成本项目的目标、任务，实现项目任务书的考核指标。

若不能按时按要求完成，同意将中央财政已补贴资金交回，并不再申请后续补贴资金。

项目责任人签字：
项目技术负责人签字：
项目责任单位（盖章）
年月日
九、审核意见
项目责任单位意见
法人代表签字：
单位盖章：
二〇年月日地方工业和信息化主管部门意见
单位盖章：
二〇年月日。