SEM操作手册
SEM操作手册
SEM拍摄操作过程：(1) 后面的插座按钮全部打开；(2) 打开电脑主机；(3) 打开扫描主机上右侧方按钮；(4) 打开FlexSEM 1000软件；(5) 听到机器滴的声音，点击软件中的AIR或者按机器上的EVAC/AIR按钮;(6) 进气完成后，打开样品仓；(7) 放入样品台；(8) 点击软件中Specimen exchange(9) 点击Stub size;(10) 点击选择80 mm, 之后点击OK;(11) 点击Next;(12) 点击Capture, 右边照相机左上部分的Run会变成Freeze;(13) 推入样品台；推紧之后，按机器上的EVAC/AIR，或者点击电脑上的EVAC;(14) 滴的一声之后，点击Start, 屏幕出现图像，开始测试。
(15) 测试完成之后，将电压调到5KV, 最小化倍数，点击STOP, 点击AIR 进空气，待完成之后，取出样品台；(16) 之后推样品架，抽真空；抽完真空后，关闭SEM右侧主机电源；关闭电脑，之后关上所有的插座。
SEM中EDS操作过程：(1) 将Z轴从5-0逆时针旋转到10-0；(2) 打开EDS detector Power 和右侧的Model 550i的开关；(3) 将Spot intensity 调到50到80最高；(4) 打开Iridium Ultra软件，通过调节VACC和Spot intensity，使得c/s的数值在1000-2000之间；(4) 回到SEM的拍摄界面，找到需要打EDS的位置，需要调节清晰；(5) 回到Iridium Ultra软件，点击new image, 会在软件中出现需要拍EDS的图片；(6) 点击红色+号，在你需要的位置上单击鼠标，等livetime到达30之后，进行元素分析，选择所需要的元素，然后点击Analyze下面的quantify;(7)右击鼠标，点击File-Export-Spectrum,将格式改成emsa格式，后保存相应位置，之后将后缀改成txt就可以作图；(8) 点击左上角的file-reports-create word report, 打开image的下拉菜单，然后点击place in report, 然后点击Spectrum下面的Image 1, 点击place in report，如果有其他点，可以同样操作，(9)之后在Create Microsoft Word document 下的File-Save as , 保存到相应位置。
(完整word版)SEM操作步骤
扫描电子显微镜（SEM）SHIMADZU SS-550的规范操作步骤一．启动系统1．打开计算机，登陆用户帐号operater，输入密码sem；2．打开桌面上的软件SS-550”, 打开菜单file单击online，出现对话框“do you want to initialize the stage”,单击“yes”；3．单击控制面板中的position，选择“Z-WD”；4．加高压单击控制面板上的setting，单击其中的gun setting，选择auto saturating beam on 和current down，用鼠标将filament current划键拖回零点，再点击atuo saturation now；5．合轴（1）选择gun setting，单击alignment，选择emission pattern，单击工具条上的如果椭圆光斑亮度不均，则用鼠标将filament current值微调增大至均匀，，点击memorize limit,进行下一步操作。
（注：filament current值变化不能超过0.15v）（2）单击tilt按钮，用鼠标左键按住光斑中心将其拖至调至十字型中心；（3）选择trans pattern，单击trans按钮，用同样方法将光斑中心调至十字型中心。
（4）重复步骤（1）、（2）、（3），直至光斑中心在emission pattern和trans pattern 状态下都处于十字型中心。
（5）在gun setting栏中选择normal后，单击close按钮关闭gun setting 窗口。
二、中间换样品1、单击beam on，beam on 键变暗，表示已处于beam off状态；2、初始化单击position，选择initialize，出现对话框，选择OK；2、排气单击vent 按钮，状态栏显示venting，按钮变绿后，排气完成；3、换样品缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装入新样品，并用螺丝刀固定。
SEM操作指导书
一目的为了规范实验操作方法，确保SEM观察的可靠性和准确性二适用范围适用于本公司隔膜表面观察和其他样品能谱分析三试验操作1、制样准备1）将导电胶粘贴在样品柱上；2）将隔膜样品切成小片，平贴在导电胶上；（隔膜）3）将少量粉末撒在导电胶上，用洗耳球轻轻吹走没有粘住的样品；（粉末样品）4）喷金a、将样品柱放入喷金仪中；（切记：样品座不可放入）b、打开电源（已默认为自动模式），当显示屏数值降低到“6”时，按下“START”开始自动喷金；c、喷金完成后，取出样品柱，并将其固定在样品座上，完成制样。
2、拍摄过程1）开机，将钥匙旋到“START”；2) 启动电脑及“InTouchScope”软件；3）样品放置a、点击软件上“VENT”,进行放气，当“VENT”常亮时，表示放气完毕；b、打开样品仓，将样品放在样品台上；（暂不关闭样品仓）；c、点击软件界面上“Change”图标，弹出对话框（两个选项：一是“Set Spectimen”选项，二是观察设置选项），点击“Set Spectimen”选项；d、弹出对话框，点击“acquire image”，获取图像；e、合上样品仓，点击“provide Condition”，进行抽气，抽气完成后进入观察阶段。
4）样品观察a、选择观察的样品及观察点；b、交叉调节“Magnificatiao（倍率）”、“FOCUS(焦距)”和“STIGMA(像散)”直到获得满意的图像效果，点击“PHOTO(拍照)”获取图片；c、点击软件工具栏上的“file”、“save image file”，进行保存图片。
（注意：隔膜观察束斑值“SS”为30,加速电压“Acc Voltage”为20KV,工作距离“WD”为10mm。
）5）关闭仪器a、拍摄完成后关闭灯丝，并点击软件上“VENT”,进行放气，完成后打开样品仓，取出样品；b、关闭样品仓，并点击软件上“EVAC”,进行抽真空，使其保持真空状态；c、关闭电脑软件及仪器，断开电源。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
SEM操作指南
设备名称：扫描电子显微镜生产厂家：捷克TESCAN公司设备型号：VEGA 3SBU操作步骤：（1）开机：打开N2阀门，确保电压为220v后，打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
（2）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序。
（3）单击VEGA中的[抽真空]，待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[高压]接通电镜高压，开始观察样品和照像。
（4）关机：单击[高压]，切断高压。
单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，控制出口压力表在0.1刻度左右。
（5）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，取出样品。
（6）待取出样品后，轻按样品室舱门，点击[抽真空]，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可关闭VEGA程序，然后关闭电镜主开关，由ON位转向OFF位，关闭电源和N2。
检测原理：当高能聚焦电子束沿一定方向射人试样表面时，在原子库伦电场作用下，与样品原子（原子核、电子）之间相互作用，人射电子方向改变，产生弹性散射和非弹性散射。
一部分人射电子从试样弹性和非弹性反射出来，产生背散射电子信号；另一部分人射电子激发或电离试样，产生二次电子、特征X射线等信号。
二次电子：进入样品表面的部分一次电子，激发试样中原子的外层电子使之产生电子激发，并将其轰击出来，这些轰击出来的电子就称为二次电子，其发射深度约为样品表面的5～10nm，这个发射二次电子区域和入射电子束的直径相当，样品中入射电子的扩散对图像影响较小，所以，二次电子像（SEI）的分辨率较高。
二次电子像的衬度主要取决于样品表面的形貌状态，二次电子的产额与表面元素组成无关。
背散射电子：入射电子与试样表层原子碰撞，发生弹性和非弹性散射后，同时保持比较高的能量，再次从试样表面反射出来的一次电子，称为背散射电子，其发射深度约为50～1000nm，为二次电子信息深度的100倍。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
SEM操作指导书
一目的为了规范实验操作方法，确保SEM观察的可靠性和准确性二适用范围适用于本公司隔膜表面观察和其他样品能谱分析三试验操作1、制样准备1）将导电胶粘贴在样品柱上；2）将隔膜样品切成小片，平贴在导电胶上；（隔膜）3）将少量粉末撒在导电胶上，用洗耳球轻轻吹走没有粘住的样品；（粉末样品）4）喷金a、将样品柱放入喷金仪中；（切记：样品座不可放入）b、打开电源（已默认为自动模式），当显示屏数值降低到“6”时，按下“START”开始自动喷金；c、喷金完成后，取出样品柱，并将其固定在样品座上，完成制样。
2、拍摄过程1）开机，将钥匙旋到“START”；2) 启动电脑及“InTouchScope”软件；3）样品放置a、点击软件上“VENT”,进行放气，当“VENT”常亮时，表示放气完毕；b、打开样品仓，将样品放在样品台上；（暂不关闭样品仓）；c、点击软件界面上“Change”图标，弹出对话框（两个选项：一是“Set Spectimen”选项，二是观察设置选项），点击“Set Spectimen”选项；d、弹出对话框，点击“acquire image”，获取图像；e、合上样品仓，点击“provide Condition”，进行抽气，抽气完成后进入观察阶段。
4）样品观察a、选择观察的样品及观察点；b、交叉调节“Magnificatiao（倍率）”、“FOCUS(焦距)”和“STIGMA(像散)”直到获得满意的图像效果，点击“PHOTO(拍照)”获取图片；c、点击软件工具栏上的“file”、“save image file”，进行保存图片。
（注意：隔膜观察束斑值“SS”为30,加速电压“Acc Voltage”为20KV,工作距离“WD”为10mm。
）5）关闭仪器a、拍摄完成后关闭灯丝，并点击软件上“VENT”,进行放气，完成后打开样品仓，取出样品；b、关闭样品仓，并点击软件上“EVAC”,进行抽真空，使其保持真空状态；c、关闭电脑软件及仪器，断开电源。
SEM操作手册(通用版)楷体
SEM 简易操作指南一、 开机前准备1.1 制备样品（带口罩与手套进行）SEM 样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。
但需注意以下事项：a) 样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，没有腐蚀性和放射性。
（通常是干燥固体。
）b) 由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。
金膜在一定程度上会影响样品原有形貌。
（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO ，只需用导电胶把样品表面连到样品台。
）c) 由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。
通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD ）须大于8mm 。
具体操作过程：(1) 按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1 inch,2 inch 等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。
(2) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。
若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。
（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。
）(3) 样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，推荐认真执行。
）1.2 查看真空度打开前面板盖，点击MODE 按钮直至IP1指示灯闪，在登记表记下MULT INDICATOR 数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录图1 按MODE 读取IP1-IP3。
确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。
（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1<a<9。
）如图1所示：二、 开机操作2.1 开机a) 开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。
sem操作手则
菜单中所有键，若为黄色=打开=工作中；灰色=关闭；一般用HR模式，电压10KV,Spot size 4, 编号越大，斑点越小；Scan: 一般用Slow scan1, 2 数字越大，速度越慢；开始操作：1 打开显示器；2 开高压HT；3 . 机械放气(大阀顺时针旋紧为关、逆时针放松为开气；小阀顺时针旋紧为开气，逆时针放松为关) ，谨记气流不超过一小格；4 点屏幕Vent ；5 等待样品室门缓慢打开；6放入样品（放入之前先观察样品分布，准确知道此次所测样品的最高点，最好让测试者画图），用标尺量高度，最高点低于刻度线（刻度线之上为5MM）,谨记将标尺取出，否则肯定撞上探头。
7 轻轻关上样品室门，轻按住；8 点pump,等至压强小于5.0*10-5（此时状态为黑屏）；9 Beam加10KV电压，出现一对话框(confirm focus OK ?) ，等出现图像后，点OK；?还是将Ｚ值准确至５mm后，点ＯＫ？？？10 在大概70，80倍寻找样品的最高点，如果图像不清晰可自动调节对比度（鼠标中键）；11待图像清晰后，在样品上找一小的目标（突起或污染物），从小倍数至10000倍以上聚焦，消像散：（1）200倍左右调清晰（一般看不到像散，如看得到则消像散）----3000倍左右（聚焦，消像散，调清晰、）----6000倍（聚焦，消像散，调清晰、）-------8000（聚焦，消像散，调清晰、）------120000（聚焦，消像散，调清晰、）（一定要大于10000倍）；（2）200-----4000------8000------12000（聚焦，消像散，调清晰）（一定要大于10000倍）；12 在10000倍以上待图像清晰（无像散）后，点[ Z---FWD] ,将11步中WD测量准确值传给Z;13 若此前Z值（样品台高度）大概为15mm,则将Z的值改为5 ，点[go to ] ,使样品台由11中WD的值，调节至5mm(注意此时可能并不是准确的5mm, 只是大概值如4.8 ，5.3等) ；若此前Z值（样品台高度）为25mm,则:，先将Z值改为6mm,点[ go to ]；（在第二遍聚焦、消像散时，最后将Z值改为5mm 点[ go to ]）14. 此时显示器为黑屏(或不清晰) ，降低放大倍数至最小70倍左右，重复10-13步，此时显示器显示为清晰图像，Z值准确至5MM;15降低放大倍数至最小，标定样品；16开始工作；EDX（放大倍数大于300）:1 出框，选定位置；2 由MAGN 菜单，换EDX 模式；3 BEAM加15KV电压；4 开软件；要求：（1）CPS大于1000；（2）DT % 在30%左右，若没有在，调节Amp Time ，Amp越大，DT越大；（3）FS 大于2000；满足以上条件，方可关闭收集Collect;保存数据：（1）能谱*.BMP格式；（2）能谱*.CSV格式；（3）数据*.RIF 格式（先用屏幕下方快捷方式，再另存为）；高分辨模式（UHR）（景深小，立体感差）：1.WD值小于7mm;2.放大倍数大于2500倍；取出样品：1将模式改为ＨＲ模式；2降低放大倍数至最小；3 点[Z --FWD] ，将准确WD值传给Z，（此前拍照在清晰状态,WD值为准确值)；4 将Z 值改为15 ，点[ go to] ;若下次观察断面，则降为25mm;5 点10 KV，去高压；6机械放气(大阀顺时针旋紧为关、逆时针放松为开气小阀顺时针旋紧为开气，逆时针放松为关），谨记气流不超过一小格；7 点屏幕Vent ；8 等待样品室门缓慢打开；9 关闭氮气瓶；注意：换样品前必须先检查加速电压是否已经关闭，若关闭，可按放气键（“VENT”）。
扫描电镜操作手册
SEM操作手册一、开机在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一图一a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。
b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。
c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入系统。
d 双击SmartSEM并登陆。
二、放置样品（1）从样品室放入样品a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。
该窗口包括六个控制版面（如图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。
b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。
图二c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。
图三（2）用Airlock放置样品图四a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。
b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。
c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。
（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）三、观察样品（1）移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离a如果已经勾选了Joystick disable，在stage中取消Joystick disable选项。
PS: 在SmartSEM 5.06中，增加了Stage Disabe选项，此选项也需要取消勾选。
SEM操作手册(通用版)楷体
SEM 简易操作指南一、 开机前准备1.1 制备样品（带口罩与手套进行）SEM 样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。
但需注意以下事项：a) 样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，没有腐蚀性和放射性。
（通常是干燥固体。
）b) 由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。
金膜在一定程度上会影响样品原有形貌。
（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO ，只需用导电胶把样品表面连到样品台。
）c) 由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。
通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD ）须大于8mm 。
具体操作过程：(1) 按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1 inch,2 inch 等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。
(2) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。
若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。
（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。
）(3) 样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，推荐认真执行。
）1.2 查看真空度打开前面板盖，点击MODE 按钮直至IP1指示灯闪，在登记表记下MULT INDICATOR 数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录图1 按MODE 读取IP1-IP3。
确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。
（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1<a<9。
）如图1所示：二、 开机操作2.1 开机a) 开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。
SEM-操作使用手册
Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、启动UPS打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、启动循环水冷机。
按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar。
出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警，检查水位，按Res键。
3、启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。
检查输出气压为5～6bar。
4、确认主机后两个电源开关状态为On。
此时，主机前面板上红灯亮。
5、按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：8、检查真空值，等待真空就绪。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝。
若长期停机，需做烘烤。
9、开启灯丝。
10、开TV，检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(EHT)。
13、观察样品。
待机状态1、关闭高压(EHT)。
2、关闭SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
3、关Windows。
4、必要时，关能谱、EBSD。
5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：2、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：3、检查真空值。
4、换样或加高压观察样品。
关机步骤1、关高压(EHT)和灯丝。
2、关SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
操作手册扫描电镜使用方法说明书
操作手册扫描电镜使用方法说明书为了帮助用户准确并便捷地使用操作手册扫描电镜（以下简称SEM），本说明书详细介绍了SEM的使用方法。
请用户在使用前仔细阅读并按照说明书的步骤进行操作，以充分发挥SEM的功能和性能。
一、SEM简介操作手册扫描电镜（Scanning Electron Microscope）是一种常见的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米技术等领域。
SEM通过扫描样品表面，并利用透射电子显微镜产生的信号进行成像，可以获得高分辨率的显微图像。
二、SEM的基本组成SEM主要由以下部件组成：电子枪、感应线圈、轴向磁透镜、扫描线圈、二次电子检测器、成像系统、显示器和控制系统等。
下面将逐一介绍各部件的作用和使用方法。
1. 电子枪电子枪是SEM的核心部件，负责产生高能的电子束。
在使用SEM 前，请确保电子枪处于正常工作状态。
操作时应避免碰触电子枪，以免造成损坏或伤害。
2. 感应线圈感应线圈用于控制电子束的尺寸和聚焦，用户可通过控制系统调整线圈来获得所需的电子束性能。
在操作过程中，需要根据实际要求进行相应的调节，以获得清晰的图像。
3. 轴向磁透镜轴向磁透镜用于进一步聚焦电子束，它可以通过控制磁场强度来改变电子束的聚焦效果。
用户可以通过控制系统进行调节，以提高图像的分辨率和对比度。
4. 扫描线圈扫描线圈负责控制电子束在样品表面上的扫描范围，用户可以通过控制系统设置扫描参数，如扫描速度和扫描线数等。
请确保设置合理的扫描范围，以充分观察样品的细节。
5. 二次电子检测器二次电子检测器用于检测被电子束激发后的次级电子，它能提供样品表面形貌信息。
在使用二次电子检测器时，保持探测器清洁，并根据需要进行灵敏度调节，以获取清晰的形貌图像。
6. 成像系统成像系统负责将电子束激发的信号转化为图像，用户可以通过控制系统来实时观察样品表面的形态。
在观察过程中，可以调整对比度、亮度和放大倍数等参数，以获得所需的图像效果。
SEM-操作使用手册
Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、启动UPS打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、启动循环水冷机。
按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar。
出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警，检查水位，按Res键。
3、启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。
检查输出气压为5～6bar。
4、确认主机后两个电源开关状态为On。
此时，主机前面板上红灯亮。
5、按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：8、检查真空值，等待真空就绪。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝。
若长期停机，需做烘烤。
9、开启灯丝。
10、开TV，检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(EHT)。
13、观察样品。
待机状态1、关闭高压(EHT)。
2、关闭SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
3、关Windows。
4、必要时，关能谱、EBSD。
5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：2、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：3、检查真空值。
4、换样或加高压观察样品。
关机步骤1、关高压(EHT)和灯丝。
2、关SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
SEM扫描电子显微镜操作规范说明文
SEM扫描电子显微镜操作规范说明文SEM（扫描电子显微镜）是一种常见的高分辨率显微镜，广泛应用于材料科学、生物学、地质学等领域。
本文将为您介绍SEM的操作规范，帮助您正确使用SEM，获得高质量的样品图像。
一、安全操作1.佩戴个人防护装备：在操作SEM之前，应佩戴实验室规定的个人防护装备，例如实验服、手套、护目镜等，以确保安全。
2.保持干燥环境：SEM是高真空设备，使用时需要保持室内环境干燥，避免水分对设备产生不良影响。
3.勿使用金属工具：在样品处理和放置过程中，勿使用金属工具接触样品或设备内部，以避免对设备或样品造成损坏。
4.定期检查连接线缆：定期检查SEM的连接线缆，确保连接牢固，避免因松动或接触不良导致设备故障。
二、SEM操作流程1.准备样品a) 样品准备：选择合适的样品，并将其切割成适当大小，确保样品表面光洁、无杂质。
b) 抗静电处理：对于易产生静电的样品，应进行抗静电处理，例如使用离子风枪等设备进行处理。
2.样品安装a) 选择合适的支持物：选择适当的样品支持物，例如SEM样品台、电子传导胶带等，确保样品牢固固定在支持物上。
b) 样品安装：将样品小心地放置在样品台上，确保样品与支持物之间无间隙，避免样品在观察过程中的移动。
3.真空系统a) 真空抽取：打开真空阀门及抽气泵，将SEM内部建立所需真空度，一般情况下需抽取至10^-5 Pa 左右。
b) 真空监测：SEM操作过程中，要定期监测真空度，确保操作条件符合要求，并及时进行调整。
4.操作参数设置a) 电子束参数：根据样品类型和所需观察效果，设置适当的电子束电流、加速电压等参数，以获得清晰的样品表面图像。
b) 工作距离：根据样品类型和所需观察效果，调整电子枪的工作距离，以获得所需的焦距和深度。
5.观察与图像获取a) 标定：在开始观察前，进行系统标定，以保证SEM的精确度和准确度。
b) 焦点调整：调整样品的焦点位置，确保所观察到的图像清晰、细节丰富。
SEM操作
可选择放 大倍数
左键双击 可修改放 大倍数， 并回车
11——选定一定倍数之后，点击聚焦框，按住鼠标右键，向左 和右来回拖动，会发现有一个位置最清楚。
12——调焦过程中如果出现图像横向、 纵向、 或者斜向拉长， 变形， 需要消除像散。 首 调焦过程中如果出现图像横向、纵向、或者斜向拉长，变形，需要消除像散。 调焦过程中如果出现图像横向 先调焦找到一个没有明显变形的位置。接下来操作过程和调焦类似，但需要按住shift,同 先调焦找到一个没有明显变形的位置。接下来操作过程和调焦类似，但需要按住 同 时按住鼠标右键操作，包括在横向和纵向拉动鼠标消除像散。先横向找到最清楚的位置， 时按住鼠标右键操作， 包括在横向和纵向拉动鼠标消除像散 。 先横向找到最清楚的位置 ， 然后纵向找到最清楚的位置。之后再调焦，看看有么有像散，如果还要，反复消除像散。 然后纵向找到最清楚的位置 。 之后再调焦 ， 看看有么有像散 ， 如果还要 ， 反复消除像散 。 13——调焦过程中如果出现图像整体移动。需要电子束对中。 点击对中按钮 ， 按住鼠标 调焦过程中如果出现图像整体移动。需要电子束对中。点击对中按钮， 调焦过程中如果出现图像整体移动 左键，横向和纵向分布拉动，找到一个位置，图像仅在这个位置原地振动。 左键，横向和纵向分布拉动，找到一个位置，图像仅在这个位置原地振动。
7——按F5出现四幅图，左键单击右上图。 ——按F5出现四幅图，左键单击右上图。 出现四幅图
如果图像停止不动， 点击暂停图标，该图 标有激活作用
从而激活图像
8——再按 ，单幅图放大。点击标题栏 再按F5，单幅图放大。点击标题栏Detectors，选择 再按 ，选择ETD（SE）二次电子成像 （ ）
如果图像停止不动，点 击
5——关好舱门，点击Pump抽真空，等到软件下方图标全绿，且chamber 关好舱门，点击 抽真空， 关好舱门 抽真空 等到软件下方图标全绿， vacuum 小于 小于7e10-3，可以操作机器 ，
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。
它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。
本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。
二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。
当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。
这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。
三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。
首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。
其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。
注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。
2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。
在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。
预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。
3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。
然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。
4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。
主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。
调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。
5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。
选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。
在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。
6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。
首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。
等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。
清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。
SEM操作手册
扫描电镜基本操作步骤和注意事项一、基本操作步骤：1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。
2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。
实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正常。
测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。
每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。
4. 未测试前系统处于“P ump”状态（黄色），按“V ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），约2分钟后“V ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。
5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。
放置样品时切忌对着样品室说话，并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。
（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。
鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。
等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设置好高压和Spot的值，方可点击“High Voltage”加上高压。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、引言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种高分辨率的显微镜，通过扫描样品表面并测量电子束与样品之间的相互作用来获取显微图像。
SEM具有广泛的应用领域，如材料科学、生物学、地质学等。
本操作手册将介绍如何正确地使用扫描电镜并获取高质量的图像。
二、安全注意事项在操作扫描电镜之前，必须了解并遵守以下安全注意事项：1. 确保操作室的通风良好，以避免可能的有毒气体积聚；2. 戴上适当的个人防护设备，如手套、防护眼镜和防护服；3. 使用扫描电镜时务必遵循厂商提供的操作指南和安全规程；4. 确保在扫描电镜操作室中无可燃物或易爆物。
三、扫描电镜基本操作步骤1. 打开电源：确认设备的电源开关处于关闭状态，然后将电源插头插入电源插座，并按下电源开关将设备打开；2. 仪器预热：根据设备的要求，进行预热操作，通常需要预热几分钟或更长时间；3. 样品准备：将待观察的样品固定在扫描电镜样品台上，确保样品表面平整并去除任何可能的尘埃；4. 进样室准备：打开进样室门，将样品小心地放入进样室中；5. 调整焦距：根据样品的特性，调整合适的工作距离和适当的放大倍数；6. 调节束流强度：根据样品要求和所需的图像质量，调整束流强度，确保图像清晰度和对比度；7. 获取显微图像：通过电镜操作软件，选择合适的参数和扫描模式来获取样品的显微图像；8. 图像处理和分析：将获取的显微图像导入图像处理软件中进行后期处理和分析；9. 关机：关闭设备时，首先关闭电源开关，然后将电源插头从电源插座拔出。
四、扫描电镜维护和保养为了保持扫描电镜的正常运行并延长设备的寿命，应定期进行下列维护和保养操作：1. 清洁样品台和进样室：使用特定的清洁剂和软布清洁样品台和进样室，避免使用含酸性或碱性溶液；2. 清理镜头和探针：使用干净的棉签蘸取少量的清洁剂，轻轻地擦拭镜头和探针表面，注意不要在镜头和探针上留下棉签绒毛；3. 替换耗材：根据设备的使用寿命和厂商的建议，定期更换扫描电镜所需的耗材，如探针和滤光片；4. 定期保养：根据设备的保养手册，定期进行设备内部的保养和维护工作，如清洁电子束发射器和调整光学系统。
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扫描电镜基本操作步骤和注意事项
一、基本操作步骤：
1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），
用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。
2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。
实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正
常。
测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。
每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。
4. 未测试前系统处于“P ump”状态（黄色），按“V ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），
约2分钟后“V ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。
5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。
放置样品时切忌对着样品室说话，
并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。
（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）
6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，
左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。
鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。
等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设置好高压和Spot的
值，方可点击“High Voltage”加上高压。
7. 鼠标左键选择一个成像窗口，点击“||”钮去掉窗口锁定，点击方框钮，选定一个合适
大小的区域聚焦和消像散。
聚焦：按鼠标右键左右拖动至最清晰的位置。
消像散：等聚焦好后，按住Shift键并按下鼠标右键上下左右调至图像最清晰。
左手放在小键盘“-，+”键上，以便及时的放大缩小图像。
每次聚焦图像清晰后，都必须点击“Link Z to FWD”按钮，建立Z轴高度与焦距的关联（点击该键后，如果在CCD窗口拉动样品的高度，则在扫描窗口下端任务栏里的WD值随之变化，如果不点击该键，则WD值不懂，无法判断高度；每次聚焦后都必须点击该键）。
按“Snapshot”钮拍照（根据需求加大或者减小拍照速度）。
将照片存储在support机自己的文件夹下（刚开始点“Save as”时，可能相应很慢，需耐心等待）。
F5键切换窗口最大/还原。
8. 做完测试后，点击“V ent”等大约2分钟后该按钮从黄色变灰色，轻轻拉开门取出样
品，并关闭门，按Ctrl+0键将Stage移至中心，点击“Pump”。
最后做完测试的同志，务必使样品室处于“Pump”状态。
9. 一周内至少打扫卫生（拖地、桌面清理、整理工具耗材）一次以上，望同志们主动。
10. 实验过程遇到问题，应马上通知管理老师，切忌自行解决。
11. 操作STEM：必须熟练使用SEM基础上方可使用。
做完STEM后，务必将状态调
节到SEM模式。
首先，换成mode1，如果该模式是SEM模式，就可以关高压，放气，如果是STEM模式，则先更换成SEM模式，并且确认探头是否为ETD探头（在Detectors 菜单更改）
二、注意事项：
1. 制样品时，要保证被放入样品室的样品干燥、清洁，尤其不能附带油性物质，不能
用手直接触摸样品或者镊子夹样品端。
长时间使用，铝台较脏，则应用乙醇或丙酮
超声处理清洗铝台。
2. 保证手没有直接碰触放入SEM系统的任何样品、配件（手上油脂影响真空）。
3. 每次制样完毕，收拾制样桌面，并把工具和实验耗材放回原处。
4. 进入SEM室时，随时关门。
5. 拒绝测试磁性样品，如组里必须，则应与管理老师联系，只能使用第一个模式，切
忌用第二个模式（该模式下，磁场很强，容易把样品吸到样品的镜筒里面）；且磁性样品制作时，要尽可能的让其粘结牢固，比如粉末样品，用氮气枪吹掉粘结不牢的粉末。
6. 外课题组组成员不能独立使用电镜，如要测试，让其找组里成员代测。
7. 每个小课题组有SEM操作经验的同学负责培训本课题组新加盟的成员，直到新成员
能独立使用SEM，并经过管理人员的考核（如果不合格，管理者应指导学生，直到该学生具备独立操作能力），才可让其独立操作。
8. 为了电镜室更加洁净，进电镜室请更换拖鞋。
9. “V ent”后，如果打不开”C hamber”的门，切忌用力拉，应确认是否还有足够的氮气。
如果氮气压力不够，联系管理人员，切忌自己操作减压阀。
10. 做STEM时，务必带一次性手套，需要适当的固定样品，注意销钉不要太紧，取出
样品时，要先松开销钉，再取样品。
11. 样品放入chamber后，轻轻推门至接触，应将手指放在接触的缝隙，确保chamber
密闭，方可点击“pump”。
12. 做好样品，vent后，取出样品，再抽真空（Pump），并把Stage移到正中间，务必
确认抽上真空方可离开（点击Pump后，观察无异常后方可离开）。
13. 离开前，务必检查水、电、门、窗。
三、特殊情况的处理：
1．电镜控制器（Controller）死机：
a.关闭高压（如果无法控制则进行下一步）；
b.样品室放气（如果无法控制则进行下一步）；
c.关闭Column Control（注意不得在Server界面中左键单击“Shut
Down”），退出XT Microscope Server，然后重新进入（如果无法控制则进行下一步）；
d.关闭所有应用软件的窗口后，重新启动电镜控制器（主机）（如果无法
控制则进行下一步）；
e.关闭电镜控制器（Controller）并拔下它的电源线，等待10分钟后重
新启动电镜控制器并进入Server及UI。
2．电镜控制器（Controller）硬件故障：
a.按照前述步骤逐步将电镜控制器退出系统；
b.联系报修。
3．误操作致使样品台（或样品）撞上极靴：
a.在SED模式下，手动降下样品台，确认高压已关闭，IGP及Emission
Current正常，放气后拉出样品台清洁相关部位，然后重新工作；
b.在STEM或LVD模式下，还要检查探头是否损坏；
c.必要时重新设置全部的Map Point。
4．供电线路有计划停电：
a.短时停电：关闭高压，样品室放气，关闭主显示器，关闭Support PC
及其显示器；
b.长时停电：使系统进入Standby状态。
5．工作时突然停电：。