silvaco安装教程
Silvaco操作指南
第二篇半导体工艺及器件仿真软件Silvacｏ操作指南主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaｃｏ得基本使用。
书中通过例程引导学习工艺仿真模块Athenａ与器件仿真模块Atlａs,通过这两部分得学习可以使学习人员深入了解半导体物理得基本知识,半导体工艺得流程,以及晶体管原理得基本原理，设计过程，器件得特性。
对于学习集成电路得制备及后道工序有一定得帮助。
第一章ＳIＬVACO软件介绍ﻩ错误!未定义书签。
1、1程序启动............................... 错误!未定义书签。
1、2选择一个应用程序例子ﻩ错误!未定义书签。
1、3工艺模拟ﻩ错误!未定义书签。
1、3、１运行一次模拟 .................... 错误!未定义书签。
１、3、2 渐进学习模拟ﻩ错误!未定义书签。
1、3、３绘制结构 ........................ 错误!未定义书签。
1、３、4 使用Tonypｌot进行绘图ﻩ错误!未定义书签。
1、3、5 修正绘图得外观ﻩ错误!未定义书签。
1、3、6 缩放及在图上进行平移ﻩ错误!未定义书签。
1、３、7 打印图形ﻩ错误!未定义书签。
1、４使用H ISTＯRＹ功能..................... 错误!未定义书签。
１、5明确存贮状态ﻩ错误!未定义书签。
1、6创建用于比较得两个结构文件 ............ 错误!未定义书签。
1、6、1 存贮文件创建 ..................... 错误!未定义书签。
1、6、2 文件交叠 ......................... 错误!未定义书签。
1、7运行ＭOS工艺程序得第二部分 ........... 错误!未定义书签。
1、７、1 `Stop Ａt’ 功能ﻩ错误!未定义书签。
１、７、2 使用Ｔｏnｙploｔ用于2-Ｄ结构.. 错误!未定义书签。
１、7、3 使用Ｔoｎyplｏt来制备一轮廓图ﻩ错误!未定义书签。
Silvaco操作指南教学提纲
Silvaco操作指南教学提纲S i l v a c o操作指南第二篇半导体工艺及器件仿真软件Silvaco操作指南主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件S il vaco的基本使用。
书中通过例程引导学习工艺仿真模块At hena和器件仿真模块At l as，通过这两部分的学习可以使学习人员深入了解半导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶体管原理的基本原理，设计过程，器件的特性。
对于学习集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。
第一章SILVACO软件介绍 (4)1.1程序启动 (4)1.2选择一个应用程序例子 (5)1.3工艺模拟 (7)1.3.1 运行一次模拟 (7)1.3.2 渐进学习模拟 (7)1.3.3 绘制结构 (8)1.3.4 使用Tonyplot进行绘图 (9)1.3.5 修正绘图的外观 (9)1.3.6 缩放及在图上进行平移 (10)1.3.7 打印图形 (11)1.4使用H I S T O R Y功能 (11)1.5明确存贮状态 (12)1.6创建用于比较的两个结构文件 (12)1.6.1 存贮文件创建 (12)1.6.2 文件交叠 (13)1.7运行MOS工艺程序的第二部分 (15)1.7.1 `Stop At' 功能 (15)1.7.2 使用Tonyplot用于2-D结构 (17)1.7.3 使用Tonyplot来制备一轮廓图 (17) 1.7.4 产生交互式图例 (19)1.8工艺参数的抽取 (20)1.8.1 源漏结深 (20)1.8.2 器件阈值电压 (21)1.8.3 电导及偏压曲线 (22)1.8.4 一些薄层电阻 (23)1.8.5 沟道表面掺杂浓度 (24)1.9器件模拟 (25)1.9.1 器件模拟界面工艺 (25)1.9.2 建立器件模拟 (25)1.9.3 执行器件模拟 (26)1.9.4 抽取器件参数 (26)第二章电阻仿真及阻值抽取 (28)第三章扩散二极管仿真 (38)2.1硼扩散 (38)2.2进行M E S H的实验 (43)2.3绘制杂质掺杂轮廓曲线 (44)2.4查看抽取结果 (45)第四章NMOS电学特性仿真 (47)3.1NMOS例子加载 (47)3.2T O N Y P L O T操作 (48)3.3查看电学仿真结果 (52)第五章工艺流程的横断面观察 (55)4.1初始化衬底 (55)4.2氧化层屏蔽 (55)4.3NWELL注入 (56)4.4PWELL注入 (56)4.5场氧化层生长 (57)4.6 阱推进58第一章 Silvaco软件介绍本章将介绍下面两个VWF（虚拟wafer制备）交互工具的基本使用：Deckbuild：VWF运行时控制应用程序。
SILVACO-ATLAS操作文档
实 四、 模型指定命令组 以上我们已经建立了器件结构，现在我们将进入模型指定命令组。在这个命令组中，我们将分别用 Model
室
验
实
子
电
微
学
大 图 4.3
图 4.4
山 以上我们将每个电极均定义为欧姆接触，接触势为 4.1。 中 3. 指定接触面特性
室 2. ATLAS 命令的顺序 在 ATLAS 中，每个输入文件必须包含按正确顺序排列的五组语句。这些组的顺序如图 1.1 所示。如果
不按照此顺序，往往会出现错误信息并使程序终止，造成程序非正常运行。
验
实
子
电
微
3. 开始运行 ATLAS
学图 1.1
1) 2)
大 点击桌面图标“Exceed XDMCP Broadcast”。 （如图 1.2）
1. 定义网格 在 ATLAS 中定义器件只能用矩形方式定义。如欲定义如右图的结构，必须按照三个
学 黑色矩形来定义。 这些矩形区域在 ATLAS 中称之为网格。网格的大小由 X、Y 坐标（loc）定义，为了 更为精确的描述网格，ATLAS 将网格进行细分(spac)，等号后面的参数即为细分的间隔。
大 网格的疏密决定仿真结果的精确程度。
能带间隙、少子寿命等。本节将用 material 命令来定义相关参数。 Material 参数分为几大类。区域参数，能带结构参数，迁移率模型参数，复合模型参数等等。每个参数
室 都对应一定的物理模型，由一系列方程来表示这些量。 常用参数（命令）有：本征载流子浓度允许的最小值（ni.min）、电子空穴的寿命（taun0、taup0）、电
Silvaco之windows版安装教程
Silvaco之windows版安装教程1、执行12110-tcad-2010-00-win文件，选择Install License Server2、点击Next，Silvaco开始安装3、如果安装过程中出现如下情况，一定要选择允许4、之后会出现设置服务器密码窗口，设置一个能记住的密码例如1234565、之后出现如下窗口点击确定继续安装6、最后出现如下窗口，点击Finish完成安装Silvaco破解方法1、双击打开桌面上S. EDA Tools快捷方式，双击Stop Server图标2、会弹出一个DOS窗口3、窗口自动关闭后，服务器关闭，此时将Key文件夹中的rpc.sflmserverd文件拷贝至C:\sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.2.1.R\x86-nt替换原有文件4、替换完成后双击打开桌面上S. EDA Tools快捷方式，双击StartServer图标5、弹出的DOS窗口会自动关闭，表示服务已经启动，此时双击6、打开服务器管理程序7、输入安装步骤4中设定的密码，点击Login，之后出现以下界面8、点击Register Online，出现以下界面9、随便填上一些信息，注意要符合要求，点击Next，随后出现以下界面10、点击Next，就会出现，Server Code Name如下图所示11、记下该Code，用记事本打开Key文件夹下的all.lic文件12、把LM_HOSTIDS后面的字符串替换成刚才记下的Code，保存，关闭记事本。
13、此时在点击第11步中的OK按钮，出现以下界面14、点击Install New License，选择Install Saved File15、在之后的窗口中点击浏览选择，刚才更改的all.lic文件，点击agree，如果显示SFLMhas installed the specified license file则表示破解成功，点击Done完成安装16、deckbuild启动时需要设置工作目录，点击deckbuild的edit菜单，选择preferences，在working directory中指定一个工作目录即可。
silvaco的安装方法
HAO-443d1ef8-b5d72dac
这说明LICENSE安装测试成功了,软件就好用了.
注意:偶尔会有找不到lic服务器的问题,由于lic服务器每隔一段时间会出错重起，你需要等待它重起后才能用。
郁闷的是2006版也有同样的问题.
去开始-程序-S. EDA Tools-SFLM-Show ID,记下你的MachineID 是 HAO-443d1ef8-b5d72dac
打开all.lic,将里面LM_HOSTIDS nint-atmel-c0045268-462abd95的nint-atmel-c0045268-462abd95改为你的ID
-- 作者： hao007
-- 发布时间： 2008/01/30 08:34pm
安装软件,安装的第一个界面里的install license server前要打上对勾.
安装完后会让你输入SFLM的密码,随便起一个,例如1234.
将这地址记住,应该是http://server:3162/Admin/Ssmid, (例如http://hao:3162/Admin/Ssmid).
例如LM_HOSTIDS HAO-443d1ef8-b5d72dac,存盘退出后拷贝到C:\sedatools\etc\下.
启动IE,敲上http://server:3162/Admin/Ssmid, (例如http://hao:3162/Admin/Ssmid),敲入SFLM密码(例如1234),
进去后点Install new license(s), 点install saved file,点浏览,在里面添加你修改过的all.lic,点NEXT后
Silvaco_TCAD_2012_安装说明
Silvaco TCAD 2012版本安装说明1、运行安装文件：12110-tcad-2012-00-win.exe，在“Install License Server”前打上勾。
点击 Next.2、安装完毕后，会提示输入服务器密码，此时随便设置一个密码并记住就可以了。
此时可能会在浏览器中打开一个网页，不用管它，后面会用到。
3、先停止Standard Floating License Manager (SFLMSERVERD)这个服务。
如果不停止，后面的拷贝覆盖操作将无法完成。
停止服务的办法：运行桌面上快键方式“S. EDA Tools”，选择“Stop Server”来完成服务停止的操作，同样，开启服务则选择“Start Server”；如果杀毒软件或者360提示操作，一律选择“允许”。
4、把_key 文件夹中的rpc.sflmserverd.exe文件复制，然后找到您的安装目录，将该文件拷贝到下面的路径：sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.2.7.R\x86-nt替换原来的文件。
5、在快捷方式中运行“Start Server”，确保下面的系统服务启动：Standard Floating License Manager (SFLMSERVERD)6、服务器的网页在安装结束后会打开，或者运行快捷方式中的“SFLM Admin”打开服务器页面：输入刚才设置的密码，点击login.并复制记下方框中的“Machine IDs”，每个电脑的Machine ID都不一样，比如在这个例子中是：“Shane-PC-dcd135d6-50b4108d”。
DELL-ae750aa0-139be0787、修改_key 文件夹中Silvaco.lic中下面的一行（可用记事本打开），替换为您刚才复制的Machine IDs：LM_HOSTIDS xxxxxxxxxNL_HOSTIDS （如图所示）。
Silvaco操作指南
第二篇半导体工艺及器件仿真软件Silvaco操作指南主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaco的基本使用。
书中通过例程引导学习工艺仿真模块Athena和器件仿真模块Atlas，通过这两部分的学习可以使学习人员深入了解半导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶体管原理的基本原理，设计过程，器件的特性。
对于学习集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。
第一章 SILVACO软件介绍 (3)1.1程序启动 (3)1.2选择一个应用程序例子 (4)1.3工艺模拟 (5)1.3.1 运行一次模拟 (5)1.3.2 渐进学习模拟 (5)1.3.3 绘制结构 (5)1.3.4 使用Tonyplot进行绘图 (6)1.3.5 修正绘图的外观 (6)1.3.6 缩放及在图上进行平移 (7)1.3.7 打印图形 (8)1.4使用H ISTORY功能 (8)1.5明确存贮状态 (9)1.6创建用于比较的两个结构文件 (9)1.6.1 存贮文件创建 (9)1.6.2 文件交叠 (10)1.7运行MOS工艺程序的第二部分 (12)1.7.1 `Stop At' 功能 (12)1.7.2 使用Tonyplot用于2-D结构 (13)1.7.3 使用Tonyplot来制备一轮廓图 (13)1.7.4 产生交互式图例 (15)1.8工艺参数的抽取 (16)1.8.1 源漏结深 (17)1.8.2 器件阈值电压 (17)1.8.3 电导及偏压曲线 (17)1.8.4 一些薄层电阻 (19)1.8.5 沟道表面掺杂浓度 (19)1.9器件模拟 (20)1.9.1 器件模拟界面工艺 (20)1.9.2 建立器件模拟 (20)1.9.3 执行器件模拟 (21)1.9.4 抽取器件参数 (21)第二章电阻仿真及阻值抽取 (22)第三章扩散二极管仿真 (32)2.1硼扩散 (32)2.2进行MESH的实验 (37)2.3绘制杂质掺杂轮廓曲线 (38)2.4查看抽取结果 (39)第四章 NMOS电学特性仿真 (41)3.1NMOS例子加载 (41)3.2T ONYPLOT操作 (42)3.3查看电学仿真结果 (46)第五章工艺流程的横断面观察 (49)4.1初始化衬底 (49)4.2氧化层屏蔽 (49)4.3NWELL注入 (50)4.4PWELL注入 (50)4.5场氧化层生长 (51)4.6 阱推进51第一章 Silvaco软件介绍本章将介绍下面两个VWF（虚拟wafer制备）交互工具的基本使用：•Deckbuild：VWF运行时控制应用程序。
(整理)silvaco教程.
§4 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD本章将向读者介绍如何使用SILV ACO公司的TCAD工具ATHENA来进行工艺仿真以及A TLAS来进行器件仿真。
假定读者已经熟悉了硅器件及电路的制造工艺以及MOSFET 和BJT的基本概念。
4.1 使用ATHENA的NMOS工艺仿真4.1.1 概述本节介绍用A THENA创建一个典型的MOSFET输入文件所需的基本操作。
包括：a. 创建一个好的仿真网格b. 演示淀积操作c. 演示几何刻蚀操作d. 氧化、扩散、退火以及离子注入e. 结构操作f. 保存和加载结构信息4.1.2 创建一个初始结构1定义初始直角网格a. 输入UNIX命令：deckbuild-an&，以便在deckbuild交互模式下调用A THENA。
在短暂的延迟后，deckbuild主窗口将会出现。
如图 4.1所示，点击File目录下的Empty Document，清空DECKBUILD文本窗口；图4.1 清空文本窗口b. 在如图4.2所示的文本窗口中键入语句go Athena ；图4.2 以“go athena”开始接下来要明确网格。
网格中的结点数对仿真的精确度和所需时间有着直接的影响。
仿真结构中存在离子注入或者形成PN结的区域应该划分更加细致的网格。
c. 为了定义网格，选择Mesh Define菜单项，如图4.3所示。
下面将以在0.6μm×0.8μm 的方形区域内创建非均匀网格为例介绍网格定义的方法。
图4.3 调用ATHENA网格定义菜单2 在0.6μm×0.8μm的方形区域内创建非均匀网格a. 在网格定义菜单中，Direction（方向）栏缺省为X；点击Location（位置）栏并输入值0；点击Spacing（间隔）栏并输入值0.1；b. 在Comment（注释）栏，键入“Non-Uniform Grid(0.6um x 0.8um)”,如图4.4所示；c. 点击insert键，参数将会出现在滚动条菜单中；图4.4 定义网格参数图 4.5 点击Insert键后d. 继续插入X方向的网格线，将第二和第三条X方向的网格线分别设为0.2和0.6，间距均为0.01。
Silvaco傻瓜教程—张林—长安大学—2018.06
长安大学半导体工艺与器件仿真实验指导书——Silvoca“傻瓜教程”指导老师：张林副教授电子科学与技术系2018.06前言1. 仿真软件只是一种辅助计算工具，它只是根据你设定的输入和内部设定的运算方法客观的给出输出；仿真结果没有对与不对之分。
作为一个专业人员，需要理解软件的仿真过程，了解你的输入到底如何被代入软件运行过程中，从而影响输出结果。
2. 仿真只是一种手段，只是专业理论知识的延续。
仿真的内容和仿真的结果，如果缺乏专业知识的支撑，就只是一些代码和数据。
软件是个黑匣子，越是复杂的界面和功能，越是会影响你理解仿真的内部过程。
不要被软件代替你思考！3. 仿真有什么用？第一，仿真是对理论的一种重现，各种模型之间相互验证；第二，在准确的仿真基础和工艺逻辑上，可以准确预测不同的结构和工艺，设计和优化器件；4. 如何开展仿真？第一，仿真前先了解器件的原理，预测仿真的结果；第二，根据相关的理论，定义器件和仿真内容；第三，根据预设的目的，分析仿真结果。
运行完成并不是结束，而是开始。
如何利用仿真结果指导工作才是专业人员的工作中心。
3. 专业软件一般都没有“中文版傻瓜教材”，学会充分利用软件自带的例库和用户手册才是王道。
需要仿真什么，先在软件中找类似的例子，直接修改。
遇到不会用的操作或者语句，在用户手册中查找语法。
不要痛恨英文说明手册，谁叫软件都是老外编的呢！4. 在安装文件夹中检索名为athena_users和atlas_users的pdf文件。
目录Chap 1. 器件仿真领域的“Hello World”！ (1)Chap 2. 一个最简单的PN结仿真 (5)Chap 3. 一个简单的MOSFET仿真 (10)Chap 4. 一个也许是最简单的工艺仿真 (14)Chap 5. 一个也许是最简单的MOSFET工艺仿真 (17)Chap 6. 一个完整的MOSFET工艺仿真流程详解 (19)Chap 7. 也许是最简单的BJT仿真 (28)Chap 8. 采用电流扫描的PN结击穿仿真 (32)Chap 9. PIN功率二极管反向恢复特性仿真 (34)作者的编后语 (38)Chap 1. 器件仿真领域的“Hello World”！下面的例子，可能最简单的一个仿真例子了！go atlasmeshx.mesh location=0.00 spac=1.0x.mesh location=1.00 spac=1.0y.mesh location=0.00 spac=0.1y.mesh location=1.00 spac=0.1region num=1 siliconelectrode name=anode topelectrode name=cathode bottomdoping n.type conc=5e16 uniformmodel conmob fldmobsolve initlog outfile=resist.logsolve vanode=0.05 vstep=0.05 vfinal=1 name=anodequit下面我们来解释一下这个例子：go atlas#启动软件中的仿真器atlas，在atlas中可以直接定义器件结构并仿真其电学特性；mesh#开始定义网格；x.mesh location=0.00 spac=1.0x.mesh location=1.00 spac=1.0y.mesh location=0.00 spac=0.1y.mesh location=1.00 spac=0.1#网格的空间范围同时“框定”了材料的初始区域（长宽分别为1和1μm的矩形）；并对这个区域进行了离散化；#定义了一个一维的、均匀的网格结构；（x方向实际没有划分网格，y方向均匀划分）region num=1 silicon#定义材料为硅，没有指定区域，就是之前定义的整块材料；electrode name=anode topelectrode name=cathode bottom#定义电极的名称和位置，位于“顶上”的那条边设定为名称为“anode”的欧姆接触电极，位于“底部”的那条边设定为名称为“cathode”的欧姆接触电极；doping n.type conc=5e16 uniform#定义整块材料为N型均匀掺杂，浓度为5e16，没有指定区域，就是整块材料。
silvaco教程
•LEFT, RIGHT, ABOVE, and BELOW : 配合參數P1.X, P1.Y, P2.X, and P2.Y 所指定 之區域進行蝕刻 •P1.X, P1.Y, P2.X, and P2.Y : P1參數為平 行或垂直線配合上下左右參數使用，P2參數 為指定蝕刻角度 etch poly right p1.x=0.3 •Thickness : 蝕刻厚度 •START, CONTINUE, and DONE : 配合X， Y參數進行蝕刻 •X, Y : 標定蝕刻區域
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ATHENA、ATLAS
•ATLAS is a physically-based two and three dimensional device simulator. It predicts the electrical behavior of specified semiconductor structures and provides insight into the internal physical mechanisms associated with device operation. •Tonyplot 圖形展現環境 •Deckbuild 程式編輯環境 •程式模擬語法 ATHENA User’ s Manual ATLAS User’ s Manual
ATHENA：MOSFET
ATHENA模擬器計算顯影光阻層。光阻曝光劑量為200 mJ cm-2，曝光後在115℃ 下烘烤45 分鐘，然後圖案顯影60 秒，以上全部是正規參數。其中使用了Dill 顯影 模型。上面的影像顯示在曝光和烘烤後的PAG 濃度。左下的模擬顯示顯影到中途 的光阻圖形，右下的模擬顯示完全顯影的光阻圖形
ATHENA模擬LOCOS隔離結構初使結構是先沉積二氧化矽在沉積氮化矽,接著蝕 刻左邊露出矽.矽被蝕刻以形成嵌壁式氧化層,此結構進行90分鐘,1000℃的水蒸氣 氧化.在這個結構中也顯示了鳥嘴的形狀隨時間演變的情形
silvaco安装教程详细图解
[原创]Silvaco在linux下的安装方法——提供给要学习silvaco软件的各位首先声明：本教程借鉴了前人的安装成果，在此表示感谢。
要安装此版本需要有windows版本的支持（必须先在Windows下安装一次silvaco!），因为linux版本无破解档，所以我并没有像网上安装一样安装服务在linux版本下，我安装服务在windows，linux从windows获得服务，从而开启linux下的silvaco。
（本教程及软件是给那些想要学习silvaco软件的，请勿用于任何其它商业用途）第一部分、安装Windows版本silvaco收藏该网页后，请把该网页关闭！但是在上一步操作之前，要先进行下面的一步操作，否则会出错。
第二部分、安装linux版本silvaco1.要将silvaco档复制到虚拟机，要建立共享，通过此档夹进行windows与虚拟机之间的档传输，共享方法如下Vm→settings→options→shared folder→add选择silvaco所在档夹及自己设置的共享的名称2.共享后可在/mnt/hgfs/目录下找到此文件夹，复制silvaco linux版本安装档至虚拟机我新建了个活页夹/eda(linux4在guest’s home里创建)3.直接选择silvaco压缩文件后右键点击“Extract here”解压档4.查看虚拟机与windows的ip地址右击网上计算机→可以看到虚拟了两个网络，vmnet8vmnet1，查看vmnet8的ip地址右击属性→双极tcp/ip协议可以看到ip地址（是在windows与虚拟机之间使用的ip地址，并非上网的ip地址），记住此地址5.进入虚拟机，打开终端，查看网络是否通畅ping刚才看的vmnet8的ip地址，如果能有数据接收（若不通请关闭防火墙，vista用户注意，由于vmware 6.5不能与redhat网络兼容，好像刚刚装好网络不通，请按照此方法设置打开终端gedit/etc/sysconfig/network-scripts/ifcfg-eth0在最后加入check_link_down(){return1;}保存退出ifdown eth0ifup eth0这样的话网络应当通了吧）建立环境变量gedit/etc/csh.cshrc在最后一行加入set path=($path:q/eda/bin)后面的目录就是silvaco 解压后bin文件夹所在目录setenv SFLM_SERVERS刚才查看的vmnet8的ip地址注意：这里可能会出现一个问题！详细过程如下：6.打开终端，输入cshdeckbuild(如果显示不能打开，缺少什么库什么的，请将此信息复制到网上，可以下到此库安装下就行了。
Silvaco之windows版安装教程
Silvaco之windows版安装教程1、执行12110-tcad-2010-00-win文件，选择Install License Server2、点击Next，Silvaco开始安装3、如果安装过程中出现如下情况，一定要选择允许4、之后会出现设置服务器密码窗口，设置一个能记住的密码例如1234565、之后出现如下窗口点击确定继续安装6、最后出现如下窗口，点击Finish完成安装Silvaco破解方法1、双击打开桌面上S. EDA Tools快捷方式，双击Stop Server图标2、会弹出一个DOS窗口3、窗口自动关闭后，服务器关闭，此时将Key文件夹中的rpc.sflmserverd文件拷贝至C:\sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.2.1.R\x86-nt替换原有文件4、替换完成后双击打开桌面上S. EDA Tools快捷方式，双击StartServer图标5、弹出的DOS窗口会自动关闭，表示服务已经启动，此时双击6、打开服务器管理程序7、输入安装步骤4中设定的密码，点击Login，之后出现以下界面8、点击Register Online，出现以下界面9、随便填上一些信息，注意要符合要求，点击Next，随后出现以下界面10、点击Next，就会出现，Server Code Name如下图所示11、记下该Code，用记事本打开Key文件夹下的all.lic文件12、把LM_HOSTIDS后面的字符串替换成刚才记下的Code，保存，关闭记事本。
13、此时在点击第11步中的OK按钮，出现以下界面14、点击Install New License，选择Install Saved File15、在之后的窗口中点击浏览选择，刚才更改的all.lic文件，点击agree，如果显示SFLMhas installed the specified license file则表示破解成功，点击Done完成安装16、deckbuild启动时需要设置工作目录，点击deckbuild的edit菜单，选择preferences，在working directory中指定一个工作目录即可。
vmware导入linux系统和cadence,silvaco等软件的方法
Vmware导入linux系统和cadence，silvaco等软件的方法1.下载Redhat Enterprise Linux 4.0.rar，用“好压”软件解压2.双击打开vmware打开系统文件，系统文件为解压后Redhat Enterprise Linux 4.0文件夹下的Red Hat Enterprise Linux 4.vmx文件file open3.点击绿色标志，启动系统启动中启动完成后即可看到cadence 6.1.0的界面，且含有tsmc0.18 的pdk，可以直接新建shematic 并仿真。
而且系统已经安装好calibre，可以进行layout验证。
4.vmware具有快照snapshot功能，即把系统暂存下来，需要时可以恢复。
以打开silvaco为例，在恢复其它snapshot前必须先把当前的状态保存，不然会丢失当前的数据。
先保存当前的状态，命名为today保存中查看状态保存snapshot结果可以看到有today的状态，并且有缩略图，即当时保存状态的画面。
5.另外还有四个snapshot是保存的其它软件，先双击20140208 silvaco including a example，选择yes。
需要输入密码，输入123后按enter可以看到打开terminal输入silvaco，就可以看到仿真界面注意snapshot中还有sysnopsys的后端软件，那是帮别人装的，本人做模拟的，没有用过，不知道是否能跑通。
6.最后，如果想回到today的系统，可以双击today，再次提醒，恢复其它系统前需要先保存当前的状态，否则会丢失数据。
7.登录帐号:csu密码：123root密码：123下面是三个励志小故事，不需要的朋友可以下载后编辑删除谢谢！！！你可以哭泣，但不要忘了奔跑2012年，我背着大包小包踏上了去往北京的火车，开启了北漂生涯。
彼时，天气阴沉，不知何时会掉下雨滴，就像我未知的前方一样，让人担忧。
silvaco 破解
4、在控制面板/管理工具/服务下重新启动
Standard Floating License Manager (SFLMSERVERD)，之后在快捷方式中运行Start Server。
5、通过IE浏览器输入 http://127.0.0.1:3162 进入SFLM设置,通过SFLM在线获取该电脑的SFLM_ID。
例如 LM_HOSTIDS XXX 应改为 LM_HOSTIDS 0SSMID12345678 这样的形式。
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
7、拷贝修改后的Silvaco.lic到下面路径：
sedatools\etc\license
8、通过SFLM Access，正常选择安装Silvaco.lic 或 all.lic。
和虚拟机通信一定要关闭windows防火墙
C:\sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.6.R\x86-nt
license安装步骤：
1、安装TCAD 2007.04，如果作为LICENSE服务器，请选择安装SFLM server。会要你设密码，随便写一个就行。
2、然后在控制面板/管理工具/服务里停止：
Standard Floating License Manager (SFLMSERVERD)，如果有这个服务的话。
3、把rpc.sflmserverd.exe拷贝到下面的路径（我亲自破解的哦）：
sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.3.R\x86-nt
可能得到的格式如下：0SSMID11576821 0SSMID11577304 0SSMID11577403 0SSMID11577571 0SSMID11577606 0SSMID11577764
silvaco教程
§4 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD本章将向读者介绍如何使用SILV ACO公司的TCAD工具ATHENA来进行工艺仿真以及A TLAS来进行器件仿真。
假定读者已经熟悉了硅器件及电路的制造工艺以及MOSFET 和BJT的基本概念。
4.1 使用ATHENA的NMOS工艺仿真4.1.1 概述本节介绍用A THENA创建一个典型的MOSFET输入文件所需的基本操作。
包括：a. 创建一个好的仿真网格b. 演示淀积操作c. 演示几何刻蚀操作d. 氧化、扩散、退火以及离子注入e. 结构操作f. 保存和加载结构信息4.1.2 创建一个初始结构1定义初始直角网格a. 输入UNIX命令：deckbuild-an&，以便在deckbuild交互模式下调用A THENA。
在短暂的延迟后，deckbuild主窗口将会出现。
如图 4.1所示，点击File目录下的Empty Document，清空DECKBUILD文本窗口；图4.1 清空文本窗口b. 在如图4.2所示的文本窗口中键入语句go Athena ；图4.2 以“go athena”开始接下来要明确网格。
网格中的结点数对仿真的精确度和所需时间有着直接的影响。
仿真结构中存在离子注入或者形成PN结的区域应该划分更加细致的网格。
c. 为了定义网格，选择Mesh Define菜单项，如图4.3所示。
下面将以在0.6μm×0.8μm 的方形区域内创建非均匀网格为例介绍网格定义的方法。
图4.3 调用ATHENA网格定义菜单2 在0.6μm×0.8μm的方形区域内创建非均匀网格a. 在网格定义菜单中，Direction（方向）栏缺省为X；点击Location（位置）栏并输入值0；点击Spacing（间隔）栏并输入值0.1；b. 在Comment（注释）栏，键入“Non-Uniform Grid(0.6um x 0.8um)”,如图4.4所示；c. 点击insert键，参数将会出现在滚动条菜单中；图4.4 定义网格参数图 4.5 点击Insert键后d. 继续插入X方向的网格线，将第二和第三条X方向的网格线分别设为0.2和0.6，间距均为0.01。
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[原创]Silvaco在linux下的安装方法
——提供给要学习silvaco软件的各位
首先声明：要安装此版本需要有windows版本的支持，因为linux版本无破解文件，所以我并没有像网上安装一样安装服务在linux版本下，我安装服务在windows，linux从windows 获得服务，从而开启linux下的silvaco。
（本教程及软件是给那些想要学习silvaco软件的，请勿用于任何其他商业用途）
本教程从安装windows的silvaco开始到虚拟机一直教到大家将silvaco安装完成为止。
首先告诉大家此教程是在windows xp下操作的，如果是vista用户，操作有些不同，我会慢慢提出来。
安装windows xp版本的silvaco ，这个网上都有：
1、安装TCAD 2007.04，如果作为LICENSE服务器，请选择安装SFLM server。
然后在系统服务里停止：
Standard Floating License Manager (SFLMSERVERD)，如果有这个服务的话。
2、把rpc.sflmserverd.exe拷贝到下面的路径：
sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.3.R\x86-nt
替换原来的文件。
3、在快捷方式中运行Start Server
确保下面的系统服务启动：
Standard Floating License Manager (SFLMSERVERD)
会要你设密码，随便写一个就行。
4、通过IE http://127.0.0.1:3162进入SFLM设置,通过SFLM在线获取该电脑的SFLM_ID。
可能得到的格式如下：0SSMID12345678，也可能是比这个复杂多的形式
5、修改Silvaco.lic中下面的一行，替换为4中你申请到的SFLM_ID。
LM_HOSTIDS XXX
6、拷贝修改后的Silvaco.lic到下面路径：
sedatools\etc\license
7、通过SFLM Access，正常选择安装Silvaco.lic。
8、检查license状态，所有license现在应该正常可用了。
9、设置局域网其他用户到该PC的ip地址获取license。
所有人应该正常可用。
（我需要提出的是：如果你是vista用户请注意，虽然xp版本的也能使用，不过要注意如何操作，在开启和关闭服务的时候如果不能关闭，也就是复制破解exe覆盖文件时不能覆盖，请注意请在关闭和开启服务时右击“以管理员身份运行”，这样就能正常使用了。
）
二、安装VMware 5.5虚拟机及redhat系统
1.从网上下载VMware 5.5（及注册码）及redhat系统
2.安装VMware 5.5，输入注册码，重启电脑。
（VMware 5.5不支持vista用户，使用vista的请注意应当下载VMware 6.5以上版本。
）
3.新建虚拟机file->new->new virtual machine
4.直接下一步
5.选择Typical 下一步
6.选择系统点linux，redhat linux->下一步
7.选择安装的路径以及虚拟机名
8.网络模式选择NAT模式
我分配了12G
10.选择镜像文件，双击CD-ROM，选择redhat三张iso文件的第一张光盘文件（或者选择使用光盘安装）
(vista 用户若安装6.5以上版本，不需要在此选择镜像，在新建虚拟机的时候会
让你选择)
11.start开始运行虚拟机安装光盘镜像，开始安装虚拟机系统，直接回车
12.选择skip
14.选择简体中文，下一步
15.键盘选择，us English
标后面鼠标会不听话
必担心，直接自动分区格式化就行了），不停地下一步。
要记住此密码
19.开始安装软件包，安装完第一个镜像文件会让你插入第二张光盘
（注意看看connected有没有打勾，不打勾不能继续安装）
21．选择第三张光盘镜像，方法同上
22.点否——>我不想创建引导盘
23.选择默认虚拟显卡
24.在选择显示器之前我先提醒大家先做好备份，一面显示器选错了，重启没有图形界面snapshot，可以看下备份方法，如果安装不好，可以选择revert snapshot来恢复备份
选择显示器，台式机选择一个型号相仿的就行了，如果笔记本，就选择一个频率在60hz左右的就行了。
你可以看下一步，有没有选择1024*768，24真彩色，如果没有请重新选择显
示器。
25.一直下一步，重启进入欢迎界面
26.进入登录界面，用户名root，密码你刚开始安装系统时输入的根密码
1.vm install vmware-tools，系统会自动打开一个文件夹，里面有两个文件
2.将gz后缀的文件复制到虚拟机目录下,并卸载光盘我放在/ 目录下
右击打开终端输入umount /dev/cdrom
3.在桌面下右击打开终端
cd /
tar –zxvf 刚复制的文件名解压文件
在/ 目录下会出现个vmware-tools-distrib文件夹
4.cd vmware-tools-distrib
./vmware-install.pl
开始安装vmware-tools，一直enter下去
还是一句话，可以在选择前做好备份工作，可以备份很多次
6.重启虚拟机
四、安装silvaco
1.要将silvaco文件复制到虚拟机，要建立共享，通过此文件夹进行windows与虚拟机之间的文件传输，共享方法如下
Vm→settings→options→shared folder→add
选择silvaco所在文件夹及自己设置的共享的名称
我新建了个文件夹/eda
3.解压文件，打开终端
cd /eda
tar –zxvf silvaco安装文件名
4.查看虚拟机与windows的ip地址
右击网上电脑→可以看到虚拟了两个网络，vmnet8 vmnet1，查看vmnet8的ip地址
右击属性→双极tcp/ip协议
可以看到ip地址（是在windows与虚拟机之间使用的ip地址，并非上网的ip地址），记住
此地址
5.进入虚拟机，打开终端，查看网络是否通畅
ping 刚才看的vmnet8的ip地址，如果能有数据接收
（若不通请关闭防火墙，vista用户注意，由于vmware 6.5不能与redhat网络兼容，好像刚刚装好网络不通，请按照此方法设置
打开终端
gedit /etc/sysconfig/network-scripts/ifcfg-eth0
在最后加入
check_link_down()
{
return 1;
}
保存退出
ifdown eth0
ifup eth0
这样的话网络应当通了吧）
建立环境变量
gedit /etc/csh.cshrc
在最后一行加入
set path = ( $path:q /eda/bin) 后面的目录就是silvaco解压后bin文件夹所在目录
setenv SFLM_SERVERS 刚才查看的vmnet8 的ip地址
6.打开终端，输入
csh
deckbuild
(如果显示不能打开，缺少什么库什么的，请将此信息复制到网上，可以下到此库安装下就行了
Rpm包安装rpm –i ****.rpm)
界面打开了
写此教程写了很长时间了，终于结束了，希望大家能够安装成功。