半导体量子结构的生长方式

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半导体量子点的基本原理及应用

半导体量子点的基本原理及应用

半导体量子点的基本原理及应用半导体量子点,是一种几何尺寸小于几纳米的半导体材料,具有独特的物理特性。

它的发现和应用,开启了纳米科技领域的新篇章。

一、基本原理半导体量子点的基本结构是由一层或数层半导体材料组成的球状或立方体状结构。

因为它的体积非常小,只有几个纳米左右,而且其表面积极大,所以其电子结构和物理性质也非常特殊。

半导体量子点的电子结构与大块材料相比有很大不同。

通常,半导体材料的电子结构由两部分组成:价带和导带。

价带中填满着电子,当外加电场或热能激发后,电子被激发到导带中,自由移动,产生电流。

而在半导体量子点中,由于其小尺寸,电子不能自由移动,因而在其内部形成一个嵌套的能级结构,只有当外加光子,温度等外部条件激发时,电子才能从一级能级跃迁到另一级能级,从而产生特殊的光、电、磁学等物理表现。

半导体量子点的物理性质的精细调控和简单控制是众多工程应用的前提。

二、应用领域目前,半导体量子点技术已经广泛应用于生物医学、激光照明、光储存、太阳能电池、强光学等领域,并取得了重要的进展。

1.生物医学应用在生物医学方面,半导体量子点由于其尺寸可控制、光谱特征稳定、荧光明亮等性质,已经广泛应用于活细胞荧光成像、肿瘤诊断、药物传输等方面。

近年来,半导体量子点还被用于细胞、细菌等微生物生长及活动等更基础的生物学研究。

2.激光照明应用在激光照明方面,半导体量子点已成为了LED与激光器等器件的重要组成部分。

半导体量子点激光器的发展,不仅提高了激光器的输出功率,而且缩小了其体积,降低了成本。

3.太阳能电池应用在太阳能电池领域,半导体量子点可用于制备高效率的太阳能电池。

相比于传统的硅太阳能电池,半导体量子点太阳能电池可以使得光电转换效应更加明显,从而获得更高的能量利用率。

4.光储存和强光学应用半导体量子点可以在其内部存储多个荧光能级,从而储存多种信息。

同时,其具有独特的多荧光谱性质,并且在特定的波长下,其荧光强度线性增加。

半导体纳米材料的制备与应用

半导体纳米材料的制备与应用

半导体纳米材料的制备与应用随着材料科学技术的不断进步,半导体纳米材料在能源、生物医学、信息等领域的应用逐渐扩大。

因此,半导体纳米材料的制备与应用在学术研究和实际生产中得到越来越多的关注。

一、半导体纳米材料的制备方式半导体纳米材料的制备方式分为以下几种:1. 生长法。

生长法是指通过化学气相沉积、物理气相沉积、溶胶-凝胶法等方法,在载体表面或表面上制备半导体纳米材料。

其中,化学气相沉积法是一种常见的方法,通过分解含有半导体元素的气体,在高温下使半导体元素沉积在基底表面形成纳米颗粒。

2. 结晶法。

结晶法是指利用溶解度差异,控制晶体的生长方向,使半导体原子在液相或气相中集聚,形成纳米晶体。

3. 纳米压缩。

纳米压缩是一种通过压缩纳米粒子形成纳米材料的制备方法。

将半导体粉末或纳米颗粒放置在高压环境下,通过物理力量作用将颗粒压缩合成一体。

二、半导体纳米材料在能源领域的应用半导体纳米材料在能源领域的应用主要体现在太阳能电池、燃料电池、电解水产氢等领域。

1. 太阳能电池。

半导体纳米材料的能带结构具有催化光解水的能力,在太阳能电池中可以作为光阳极材料使用。

例如,TiO2纳米颗粒能够在紫外光下吸收能量,激发电子移动,从而产生电流。

2. 燃料电池。

在燃料电池中,半导体纳米材料主要用作电解质材料。

例如,ZnO纳米材料的高比表面积可以增加电化学反应的速率,从而提高燃料电池的效率。

3. 电解水产氢。

半导体纳米材料也可用于电解水产氢。

例如,SrTiO3纳米晶体可以催化水的分解,产生氢气。

三、半导体纳米材料在生物医学领域的应用半导体纳米材料在生物医学领域的应用主要包括药物输送、生物成像、诊断和治疗等方面。

1. 药物输送。

半导体纳米材料可以被功能化,被用于靶向治疗。

例如,纳米尺寸的Ag2S可以被表面改性,在低温条件下,可以被利用于药物的送递。

2. 生物成像。

半导体纳米颗粒因为其在可见光区域透明度高而被用于生物成像。

例如,Ag2S纳米晶体可以通过荧光显微镜成像,用于癌细胞等组织分析。

半导体量子点

半导体量子点

光器出现不久的1962年,就出现了P-N结半导体激光器。

但是这种激光器的阈值电流很大(>50,000 A/cm2),因此而无法在室温下连续工作,只能是实验室观察研究的对象。

十几年之后,异质结和量子阱成功地应用于半导体激光器,使其阈值电流被降低了两个数量级(<500 A/cm2)。

这一进步使半导体激光器获得实际应用。

现在,半导体激光器是光纤通讯技术的基石。

量子阱的基本结构是一层厚度大约等于电子德布罗意波长(10-100纳米)的窄禁带半导体夹在宽禁带半导体中。

量子阱的电子结构是由体材料单一电子能带分裂出的数个子带。

由于这种子能带结构可以通过调节结构和生长参数改变,因此量子阱和超晶格被称为“能带工程”。

由量子阱概念出发,人们自然地提出了量子点的概念。

如果把量子阱中的薄层改变成纳米颗粒,这些颗粒中的电子结构则相应地成为分立的电子能态,就像常压下气体原子中的电子能级。

由于这种电子结构的相似性,半导体量子点被称为“人造原子”。

与量子阱和超晶格的“能带工程”相应,半导体量子点的制备应该被称为“能级工程”。

与量子阱的连续子能带相比,具有分立电子结构的量子点是更为理想的半导体激光器工作介质。

半导体量子点被认为可以应用在许多新型光电子器件中,如单电(光)子器件、微腔光源、激光器等。

这些量子点器件将在信息技术领域发挥巨大的作用。

但是,量子点概念最初是针对半导体激光器提出的,而且现在看来,量子点最有可能首先在半导体激光器方面获得广泛应用。

因此,可以用激光器对工作物质的要求来说明量子点体系应该在结构上所具有的性质。

激光器介质的工作单元应该是相对独立而又性质结构全同的粒子,它们具有同一的电子能量结构,在受激状态下的光发射线宽尽可能窄。

根据这些要求,可以想象出理想量子点半导体量子点吴献 营口职业技术学院 1150031.引言纳米科学是新世纪的科学前沿,它将改变人类的生产和生活方式。

同时,纳米科技在基础科学方面向人们提出许多新的挑战,促进基础科学的发展。

半导体量子点分子的电子结构及其动力学性质共3篇

半导体量子点分子的电子结构及其动力学性质共3篇

半导体量子点分子的电子结构及其动力学性质共3篇半导体量子点分子的电子结构及其动力学性质1半导体量子点分子的电子结构及其动力学性质随着科技的不断发展,人类对于材料结构与性质的研究也越来越深入。

在材料的基本单位——分子层面上的研究中,半导体量子点分子成为了研究的热点之一。

本文将从半导体量子点分子的电子结构与动力学性质两方面展开阐述。

一、半导体量子点分子的电子结构半导体量子点分子电子结构的研究主要是针对其在外界电场作用下的表现进行的。

在普通半导体中,大量载流子基于狄拉克-费米分布,通过电子能带的输运去产生与传导电流的。

但是,在量子限制的圆形半导体量子点分子中,垂直于含条制样的轴线方向的电子被限制在二维的平面内运动,它们仅仅在数量少的离散能级内运动。

这种离散的能级就是量子点分子的量子态。

对于量子点分子来说,电子输运是通过电子之间的激发与减少。

在外加静电场的作用下,能量障碍被它压缩,一个电子从一个能级转移到另一个尺度更大的能级。

根据规定,能够被半导体吸收的光子必须有令人瞩目的能量。

如果这样,一个电子就可以从平面的“基态”量子输运到一系列更高的离散态中,而其中一个量子态要尤其稀有。

因此,普通的半导体材料只能被高能量的光子激发,而半导体量子点分子,由于其具有尺度的限制,弱化了这一要求。

这给予了其中的载流子以比较独特的输运性质。

二、半导体量子点分子的动力学特性半导体量子点分子的动力学特性主要有三个方面,包括荧光寿命、荧光光谱和荧光强度等。

荧光寿命是指荧光从束缚态复合到基态的时间。

通过观察荧光寿命,可以研究载流子的寿命及其在热平衡下的运动特性。

荧光光谱是指材料吸收激光后发出的光谱,其峰值对应着一个确定的能量值。

通过荧光光谱可以了解半导体量子点分子的电子结构信息,比如它的能级分布和Trap状态等等。

荧光强度是指材料荧光强度的大小,也是指材料荧光的亮度。

荧光量子产量即为荧光强度和吸收率比值,是评价量子点分子的荧光效率的一个评价标准。

低维半导体材料的生长与性能研究

低维半导体材料的生长与性能研究

低维半导体材料的生长与性能研究随着科技的不断发展和人们对于节能环保理念的日益强烈意识,对于新型半导体材料的研究也变得越来越重要。

低维半导体材料作为其中的一种新型半导体材料,备受关注。

一、低维半导体材料概述低维半导体材料是指一种宽带隙半导体材料,它在磊晶生长过程中的一个或多个尺度被限制在纳米级别。

这种材料呈现出非常特殊的光电性能,主要表现在:具有高载流子流动率、较小的载流子有效质量、超高自由载流子寿命以及较高的量子效率等方面。

由于低维半导体材料具有优异的性能,一些研究机构将其定义为“下一代新型半导体材料”。

二、低维半导体材料的生长低维半导体材料的生长是指将低维半导体材料从气体相、液相或固相转化成晶体的过程。

通常采用的生长方法有气相外延、液相外延、分子束外延以及溅射等方法。

其中气相外延是最常采用的低维半导体材料生长方法之一。

该方法通过控制气相物种与衬底表面反应,使半导体材料在衬底表面上生长而成。

气相外延还有一些衍生的方法,如金属有机气相外延、分子束流外延等。

液相外延是利用熔融合金与触晶棒之间相互扩散的方式,在触晶棒表面上生长低维半导体材料。

该方法相对于气相外延具有比较高的可生长面积和所需的设备成本低等优点。

溅射生长是通过离子轰击的方式,将靶材上的原子或离子释放到衬底表面上生成原子薄膜的生长方法。

此方法也是可生长面积较大、设备成本相对较低的方法,因此在低维晶体材料的生长中也得到广泛应用。

三、低维半导体材料的研究1. 光电性能低维半导体材料的光电性能是指材料对于光的响应及其光电特性,这也是低维半导体材料研究中的重要方面。

对于低维半导体材料而言,其载流子运动受到约束,因此载流子的寿命会变长。

同时,由于低维半导体材料表面积小,表面反应活性很强,因此极易出现表面态。

这些表面态往往会对材料的光电性能产生重要影响。

低维半导体材料的光电性能研究对于进一步了解材料的特性、提升材料的性能以及开发新型光电器件有着重要意义。

量子点成核与生长动力学

量子点成核与生长动力学

量子点成核与生长动力学
量子点成核与生长动力学是一门研究量子点形成和演变的学科。

量子点是一种纳米尺度的半导体材料,由于其独特的量子限制效应,具有许多潜在的应用价值。

了解量子点的成核与生长动力学有助于更好地控制量子点的形貌、尺寸和分布,进而优化其光电性能。

在量子点的成核阶段,物质从液态或气态凝聚成固态的核,这个过程涉及到原子或分子的重新排列。

影响因素包括温度、压力、溶剂性质、前驱物浓度等。

通过控制这些因素,可以调控量子点的形核速率和最终形貌。

生长阶段是量子点从形核演化到稳定尺寸的过程。

这个过程中,量子点不断吸收周围的原子或分子,进行固态生长。

量子点的生长动力学涉及到许多复杂的物理和化学过程,如表面吸附、扩散、反应等。

这些过程共同决定了量子点的最终尺寸和晶体质量。

为了深入理解量子点的成核与生长动力学,研究者们采用了多种实验技术和计算模拟方法。

其中包括实时监测技术、光谱分析、原子力显微镜、计算机模拟等。

这些技术为揭示量子点生长的微观机制提供了有力支持。

除了基础研究,量子点的成核与生长动力学还在许多领域展现出巨大应用潜力。

例如,在太阳能电池中,通过优化量子点的形貌和尺寸,可以提高光电转换效率。

在生物成像和光疗中,量子点可以作为荧光探针和光热治疗的有效载体。

在LED显示领域,高性能的量子点
材料能够显著提高显示器件的色彩饱和度和稳定性。

未来,随着量子点技术的不断进步和应用领域的拓展,对量子点成核与生长动力学的理解将更加深入。

这不仅有助于推动量子点材料的基础研究,也将为新材料的开发和应用提供重要指导。

半导体量子阱半导体量子阱的形成和结构

半导体量子阱半导体量子阱的形成和结构

半导体量子阱半导体量子阱的形成和结构电子层光的吸收和激发光的发射量子网格和点量子有限的结构固体的光性质不是总依赖于他们的尺寸,红宝石对于非常笑的晶体,光学性质确实是取决于他们的尺寸参杂半导体的玻璃在非常笑的晶体中光学性质取决于大小是量子限制效应的结果量子限制效应海申堡的不确定原理告诉我们如果我们把粒子限制在 x的长度,相应的动量由上部分蓝色公式给出如果粒子是自由的且有质量m,在x方向上的限制给他额外的能量,如上部分蓝色公式所示这部分能量只有在大于或者于粒子的动能kT有可比性的时候才有意义由第一个公式推导出量子尺寸的影响是重要的当(第二个公式所示)Delt x的值必须和德布罗意波长是一个量子的,为的是获得更明显的量子效应对于一个电子在典型的半导体质量为0.1m0.室温下,delt x必须是约等于5nm,才能获得量子限制效应,非常薄的一层三种基本类型的量子限制结构量子阱限制一维量子线限制二维量子点限制三维体积(正货)三维晶体量子阱二维晶体量子线一维晶体量子点零维晶体制备技巧量子阱先进的外延晶体生长量子线平版印刷技术或者外延生长量子点平版印刷技术或者自然生长技术半导体量子阱的形成和结构外延晶体生长技术分子束外延和金属有机物化学气相沉积D的选择要接近于第一个公式量子化的运动在z方向在xy平面上是自由移动由于能量带的不连续能带结构电子和小孔被困在砷化镓层并联量子阱有更大的数值绝缘的超晶格有更细的??耦合的和新的外延形式在z方向上形成额外的性能参数分离电子和孔在量子阱中在xy方向上是自由的在z方向是被限制的这就允许我们写出如下式子见第一个公式在xy平面上的自由移动可以用波矢k来描述见公式二和三Z方向上量子化的能量用量子数n来表示见公式四和五所以电子或小孔第n层的总能量由公式六表示无限深势阱薛定谔公式见第一个公式边界条件见第二个公式波函数见第三个公式在势阱中波动函数被描述成驻波其形式见第四个公式相对应的第n层的能量见第五个公式能级的能量反比于有效质量和井的宽度的平方电子重的空穴轻的空穴有不同的量子化能量在价带上重的空穴在大多数情况下占主导地位因为他们形成了基态波函数可以由节点的数量确定第n能级有n-1个节点奇数n的情形有偶宇称性反之亦然见公式三有限深势阱真正的量子阱是有限的边界的粒子可以像过隧道一样穿过障碍在一定程度上这就允许波函数传播到更远因此减少限制的能量无限深势阱模型过高的评价了量子化的能量空穴的量子化能量比电子的更笑(更小的质量)选择规则无限深势阱中的选择原则是delt n =0 费米黄金法则见第二个公式在有限深势阱中稍微违背上面的选择性原则Delt n不能与0 过渡非常的微弱如果deltn是奇数的话过渡被严格禁止因为反宇称性要求重叠部分的能力是0两个维度上的吸收从价带的基态(n=1的重空穴层)到最低导电态(n=1的电子层)的临界值见公式1二维的量子阱的吸收限相对于成块的半导体有蓝移不同井宽的吸收限的频率不同由于在xy平面上的自由移动电子和空穴的总能量和导电带价带的关系如第一式所示能量过渡由图示的垂直箭头展示Miu是电子和空穴减少的有效质量二维连接态的强度不受能量的支配有第二个公式给出量子阱的吸收系数有一个阶梯状的结构由于能量的限制吸收限蓝移很明显QW吸收光谱的阶梯结构第n层过渡的临界能量由第三式给出测量吸收光谱像阶梯一样的行为每一步边缘的强峰激子的影响箭头所指的弱峰是delt n 不等于0造成的量子井中的激子由于量子限制效应量子阱中激子会被放大在室温下位于量子阱中的激子任然是稳定的光的发射电子和空穴像电或光一样喷射很快放松到能带的底端电子和空穴被允许的最低层是相对于n=1的限制状态在能量(公式所示的能量)时发冷光的光谱由光谱宽度为KT的峰组成反射峰有比块状更多的能量量子阱提供三大比疏松物质更多的优点选择不同的井宽由于能力的限制造成的冷光峰的蓝移有所不同量子阱中在电子和空穴中的重叠部分的增加意味着发射的可能性更高辐射的时间更短能效更高。

半导体量子点的结构和性质

半导体量子点的结构和性质

半导体量子点的结构和性质半导体量子点作为纳米级别的半导体材料,由于其独特的结构和性质,被广泛应用于光电子、生物医学、能源等领域。

本文将着重介绍半导体量子点的结构和性质。

一、半导体量子点的结构半导体量子点是由半导体材料在三个方向上被限制在纳米尺度大小所形成的球形结构。

其结构可以分为两种:自然量子点和人工量子点。

1. 自然量子点自然量子点是由材料本身的结构性质所形成,如胆矾矿和碲化铅等半导体材料,在合成时会形成球形的量子点结构。

自然量子点的大小和分布不可控,因此在应用中也受到一定限制。

2. 人工量子点人工量子点是通过化学合成和制备技术制备的,可以控制其大小和形貌,因此可以根据需要进行调节和设计。

最常见的人工量子点制备方法有溶胶-凝胶法、高温合成法和热分解法等。

二、半导体量子点的性质1. 光学性质半导体量子点具有独特的光学性质,主要表现在其量子大小的限制下,能带结构被禁锢在允许区中,因此具有精细的能级结构和明显的量子尺寸效应。

在光激发下,半导体量子点可以产生明显的光致发光现象,且发光颜色可以通过调节量子点大小和材料类型进行调控。

2. 电学性质半导体量子点的电学性质也十分重要,主要表现在其电学能级结构的限制下,需要在一定的电场下才能发生电子跃迁,这种巨量子限制可以用于制备高效可控的光电器件。

此外,半导体量子点还具有抗电子注入的特性,因此可以减少由电子波动引起的热散射和漂移的影响。

3. 磁学性质半导体量子点的磁学性质也是其独特性质之一。

磁场对量子点的性质产生的影响主要表现在光学性质和电学性质方面,例如在强磁场的作用下,量子点的荧光强度和发光寿命都会发生改变。

4. 生物医学应用由于半导体量子点具有独特的电学和荧光特性,被广泛应用于生物医学领域。

例如,在病毒和癌细胞的检测和治疗中,可以利用量子点的荧光特性进行标记和监测。

5. 能源应用由于半导体量子点具有高效的荧光发光和稳定性,因此可以用于发展新型太阳能电池和LED照明器件等。

半导体量子点及其应用概述

半导体量子点及其应用概述

2011年8月第23期科技视界SCIENCE &TECHNOLOGY VISION 科技视界Science &Technology Vision作者简历:李世国(1978.04—),博士,深圳信息职业技术学院讲师,主要从事半导体低维光电材料与器件方面的研究。

半导体量子点及其应用概述李世国王新中范金坪夏林中张春晓杜军(深圳信息职业技术学院广东深圳518029)【摘要】半导体量子点是由少量原子组成的准零维的纳米量子结构,表现出较其它维度的结构的半导体材料更优越的性能,被广泛应用于量子计算、量子生物医学、量子光伏器件、量子发光器件和量子探测器中,是现在前沿科学研究的热门课题之一。

【关键词】量子点;纳米结构;量子效应;量子点应用0引言近年来半导体材料科学主要朝两个方向发展:一方面是不断探索扩展新的半导体材料,即所谓材料工程;另一方面是逐步从高维到低维深入研究己知半导体材料体系,这就是能带工程。

半导体量子点就是通过改变其尺寸实现能级的改变,达到应用的目的,这就是半导体量子点能带工程。

半导体量子点是由少量原子组成的准零维纳米量子结构,原子数目通常在几个到几百个之间,三个维度的尺寸都小于100纳米。

载流子在量子点的三个维度上运动受尺寸效应限制,量子效应非常显著。

在量子点中,由于量子限制效应作用,其载流子的能级类似原子有不连续的能级结构,所以量子点又叫人造原子。

由于特殊能级结构,使得量子点表现出独特的物理性质,如量子尺寸效应、量子遂穿效应、库仑阻塞效应、表面量子效应、量子干涉效应、多体相关和非线性光学效应等,它对于基础物理研究和新型电子和光电器件都有很重要的意义,量子点材料生长和器件应用研究一直是科学界的热点之一[1]。

1量子点制备方法目前对量子点的制备有很多方法,主要有外延技术生长法、溶胶-凝胶法(Sol-gel)和化学腐蚀法等,下面简单介绍这几种制备方法:1.1外延技术法外延技术法制备半导体量子点,主要是利用当前先进的分子束外延(MBE)、金属有机物分子束外延(MOCVD)和化学束外延(CBE)等技术通过自组装生长机理,在特定的生长条件下,在晶格失配的半导体衬底上通过异质外延来实现半导体量子点的生长,在异质外延外延中,当外延材料的生长达到一定厚度后,为了释放外延材料晶格失配产生的应力能,外延材料就会形成半导体量子点,其大小跟材料的晶格失配度、外延过程中的条件控制有很大的关系,外延技术这是目前获得高质量半导体量子点比较普遍的方法,缺点是对半导体量子点的生长都是在高真空或超高真空下进行,使得材料生长成本非常高。

半导体发光材料生长方法

半导体发光材料生长方法

半导体发光材料生长方法引言:半导体发光材料作为一种重要的光电器件材料,广泛应用于LED、激光器、光电器件等领域。

为了获得高质量的半导体发光材料,需要采用合适的生长方法进行制备。

本文将介绍几种常用的半导体发光材料生长方法,包括气相生长、液相生长和分子束外延生长。

一、气相生长方法气相生长方法是一种将气体中的原子或分子沉积在基底上形成晶体的方法。

其中最常用的气相生长方法是金属有机气相外延(MOCVD)和分子束外延(MBE)。

1. 金属有机气相外延(MOCVD)MOCVD是一种利用金属有机化合物和气相载体反应生成薄膜的方法。

该方法主要用于生长III-V族半导体材料,如GaAs、InP等。

具体步骤包括:将金属有机化合物和气相载体分别通过加热后输送到反应室中,使二者在反应室中发生化学反应,生成所需的半导体材料。

2. 分子束外延(MBE)MBE是一种利用高速分子束对基底进行瞬时沉积生长的方法。

这种方法主要用于生长III-V族和II-VI族半导体材料,如GaAs、InP、CdTe等。

具体步骤包括:通过热蒸发或分子束热源产生高能分子束,使分子束与基底相互作用,从而在基底上生长出所需的半导体材料。

二、液相生长方法液相生长方法是一种将溶液中的溶质沉积在基底上形成晶体的方法。

其中最常用的液相生长方法是金属有机化学气相沉积(MOCVD)。

1. 金属有机化学气相沉积(MOCVD)MOCVD方法在液体中溶解金属有机化合物,通过控制温度和压力等条件,使其在基底上生长出所需的半导体材料。

该方法主要用于生长II-VI族和III-V族半导体材料,如CdTe、GaAs等。

三、分子束外延生长方法分子束外延生长方法是一种将高纯度原子或分子束瞄准在基底上进行生长的方法。

该方法主要用于生长半导体薄膜和量子点等。

分子束外延生长方法包括分子束外延(MBE)和分子束附着(Molecular Beam Epitaxy,MBE)。

1. 分子束外延(MBE)MBE是一种在超高真空环境中,通过热蒸发或分子束热源产生高能分子束,使其与基底相互作用,从而在基底上生长出所需的半导体材料的方法。

半导体材料的生长与制备技术

半导体材料的生长与制备技术

半导体材料的生长与制备技术半导体材料是现代电子产业的核心,它是制造晶体管、光电器件等电子元件的基础。

它的生长和制备技术是电子产业中最重要的环节之一。

本文将介绍半导体材料的生长和制备技术的基本原理和方法,以及这些技术应用的发展趋势。

一、半导体材料的生长技术半导体材料的生长技术主要包括晶体生长、薄膜生长和量子点生长等方面。

1. 晶体生长技术晶体生长通常是通过在高温熔解状态下,在单晶种子上生长单晶体。

晶体生长的过程中,需要控制合金元素的添加、温度、压力、晶体生长速率等因素。

常见的晶体生长技术包括:固相生长、液相生长、气相生长以及分子束外延等技术。

2. 薄膜生长技术薄膜生长技术通常是在具有特殊表面能的衬底上通过物理蒸发、化学气相沉积、离子束外延等方式来生长制备。

其生长的过程中需要控制特定的参数,如蒸发速率、气压、反应温度等。

其中,化学气相沉积和物理气相沉积是薄膜生长技术中最常见的方法。

3. 量子点生长技术量子点生长技术是一种特殊的薄膜生长技术,它能制备出尺寸在几个到几十个纳米的半导体量子点。

量子点具有比基材内部物质更大的限制和量子效应,自然地表现出不同的电学和光学属性。

其生长技术主要包括原位处理、结构上生长和自形成等方法。

二、半导体材料的制备技术半导体材料的制备技术主要包括微电子加工技术、光电子加工技术、光刻技术等方面。

1. 微电子加工技术微电子加工技术是制备半导体芯片的主要方法,可分为前端工艺和后端工艺两个部分。

前端工艺主要是通过光刻或电子束刻蚀等方式制备出光刻胶层图形,然后将胶层用于约束理化腐蚀等技术制备出所需的图案结构。

后端工艺则包括金属化、制造管孔和封装等步骤。

2. 光电子加工技术光电子加工技术主要是通过光刻和光刻胶压印等方法来制造精确的微纳米结构。

光刻技术具有极高的图形形成精度和可重复性,通过在光刻胶层上的光学显影过程,将图案转移至掩模芯片上,使得芯片上的所需结构与掩模芯片上的图案几乎完全一致。

(完整word版)半导体物理发展历程

(完整word版)半导体物理发展历程

一、半导体物理的发展历程半导体物理是凝聚态物理领域中的一个活跃分支,也是半导体科学技术发展的重要物理基础。

半个多世纪以来,半导体物理自身不仅在晶态半导体、非晶态半导体、半导体表面、半导体超晶格、纳米半导体和有机半导体等领域中都获得了令世人瞩目的重大进展,而且它还是一系列新材料、新结构、新效应、新器件和新工艺产生的源泉,极大地丰富了凝聚态物理的研究内容和有力地促进了半导体科学技术的迅速发展。

温故而知新。

今天,我们重新认识它的发展规律与特点,对于把握半导体物理在21世纪的发展走向具有直接的现实指导意义.(一)半导体物理早期发展阶段20世纪30年代初,人们将量子理论运用到晶体中来解释其中的电子态.1928年布洛赫提出著名的布洛赫定理,同时发展完善固体的能带理论。

1931年威尔逊运用能带理论给出区分导体、半导体与绝缘体的微观判据,由此奠定半导体物理理论基础。

到了20世纪40年代,贝尔实验室开始积极进行半导体研究,且组织一批杰出的科学家工作在科学前沿。

1947年12月,布拉顿和巴丁宣布点接触晶体管试制的成功.1948年6月,肖克利研制结接触晶体管。

这三位科学家做出杰出贡献,使得他们共同获得1956年诺贝尔物理学奖.晶体管的发明深刻改变人类技术发展的进程与面貌,也是社会工业化发展的必然结果.早在20世纪30年代,生产电子设备的企业希望有一种电子器件能有电子管的功能,但没有电子管里的灯丝,这因为加热灯丝不但消耗能量且要加热时间,这会延长工作启动过程。

因此,贝尔实验室研究人员依据半导体整流和检波作用特点,考虑研究半导体能取代电子管的可能性,从而提出关于半导体三极管设想。

直到1947,他们经反复实验研制了一种能够代替电子管的固体放大器件,它主要由半导体和两根金属丝进行点接触构成,称之为点接触晶体管。

之后,贝尔实验室的结型晶体管与场效应晶体管研究工作成功。

20世纪50年代,晶体管重要的应用价值使半导体物理研究蓬勃地展开。

半导体纳米材料生长机理以及应用

半导体纳米材料生长机理以及应用

半导体纳米材料生长机理以及应用半导体纳米材料的生长机理以及应用半导体纳米材料是一种具有重要科学及工程应用的纳米材料。

它们具有显著的物理和化学特性,其最大尺寸在20-100 nm之间。

半导体纳米材料特别适用于物理、化学、生物、计算机和光电子学等领域。

半导体纳米材料的生长机理是从化学原理中解释的。

本文将讨论半导体纳米材料的生长机理以及应用。

半导体纳米材料的生长机理半导体纳米材料的生长机理基于化学原理中的自组装法。

自组装是一种自上而下的建立定向性结构的方法。

半导体纳米材料的自组装生长机理包括以下几个过程:第一,可控溶剂的选择。

半导体纳米材料的制备与溶液的稳定性有关。

合适的溶剂可以提高材料的稳定性和性能。

第二,物种选择。

这包括半导体材料的选择、nanoparticle物质的化学表面修饰,以及电子传输层的选择等。

第三,可控的溶液剂剂量。

质量和形状的控制是优化制备的关键。

第四,粒子生长和配对,质量分散度的控制、缓慢的Nucleation Pathway等方面的精细控制。

半导体纳米材料的应用半导体纳米材料具有重要的科学和工程应用。

这些应用包括:第一,纳米荧光探针。

纳米荧光探针是利用金属纳米和半导体量子点的荧光性质来探测生物分子、细胞或分子的技术。

这可以用于医学、环境监测、食品检测和生物学等方面。

半导体纳米材料作为荧光探针的重要应用领域之一,也可以用于半导体为基础的太阳电池和发光二极管。

第二,纳米电子器件。

半导体纳米材料可以应用在纳米电子器件中。

例如,纳米管晶体管可以通过由金属-半导体薄膜间的传输高度限制来实现长滞留时间和高载流子迁移率。

这也可以应用于半导体纳米材料为基础的集成电路。

第三,磁性材料。

磁性半导体和磁性材料可以用于磁性存储媒介、磁性随机进存储器、医疗磁共振和生物传感器等领域。

磁性纳米颗粒的结构和形状可以通过选择正确的合成方法控制。

通过调整粒子形状和尺寸可改变磁性材料的磁化特性。

第四,生物疫苗和药物传输。

半导体量子点及其应用

半导体量子点及其应用
Abstract Quantum dots , usually called“artificially made atoms”, are one of the most important subjects of nanometer science and technology. The superior properties of semiconductor quantum dots resulting from the three2di2 mensional confinement of the carrier constitute the basis of quantum devices and circuits. The research and develop2 ment as well as application of semiconductor quantum dots are expected to attract more and more attention and greatly influnce nanometer electronics and optoelectronics , photon and quantum computing and even the life sciences. In this article the fabrication and properties of semiconductor quantum dots and potential application of the devices based on quantum dots are briefly reviewed. Key words quantum dot , preparation , character , detection , application

半导体基础知识

半导体基础知识

外延基础知识一、基本概念同质结:组成PN结的P型区和N型区是同种材料。

(如红黄光中的:GaAs上生长GaAs,蓝绿光中:U(undope)-GaN上生长N(dope)- GaN)异质结:两种晶体结构相同,晶格常数相近,但带隙宽度不同的半导体材料生长在一起形成的结,称为异质结。

(如蓝绿光中:GaN上生长Al GaN)超晶格(superlatic):由两种或两种以上组分不同或导电类型各异的超薄层(相邻势阱内电子波函数发生交迭)的材料,交替生长形成的人工周期性结构,称为超晶格材料。

量子阱(QW):通常把势垒较厚,以致于相邻电子波函数不发生交迭的周期性结构,称为量子阱(它是超晶格的一种)。

二、半导体固体按其导电性分为导体、半导体、绝缘体。

对于被电子部分占满的能带,在外电场作用下,点子可从外电场中吸收能量跃迁到未被电子占据的能级去,形成了电流,起导电作用,常称这种能带为导带。

绝缘体、半导体和导体的能带示意图禁带(a)绝缘体(b)半导体(c)导体1.分类:元素半导体:Si 、Ge化合物半导体:GaAs、InP、GaN(Ⅲ-Ⅴ)、ZnSe(Ⅱ-Ⅵ)、SiC2.化合物半导体优点:a.调节材料组分易形成直接带隙材料,有高的光电转换效率。

(光电器件一般选用直接带隙材料)b.高电子迁移率。

c.可制成异质结,进行能带裁减,易形成新器件。

3.半导体杂质和缺陷杂质:替位式杂质(有效掺杂)间隙式杂质缺陷:点缺陷:如空位、间隙原子线缺陷:如位错面缺陷:(即立方密积结构里夹杂着少量六角密积)如层错4.外延技术LPE:液相外延,生长速率快,产量大,但晶体生长难以精确控制。

(普亮LED常用此生长方法)MOCVD(也称MOVPE):Metal Organic Chemical Vapour Deposition金属有机汽相淀积,精确控制晶体生长,重复性好,产量大,适合工业化大生产。

HVPE:氢化物汽相外延,是近几年在MOCVD基础上发展起来的,适应于Ⅲ-Ⅴ氮化物半导体薄膜和超晶格外延生长的一种新技术。

半导体纳米结构及量子点原理解析

半导体纳米结构及量子点原理解析

半导体纳米结构及量子点原理解析在当今科技发展的浪潮中,纳米技术和量子技术成为了炙手可热的研究领域之一。

其中,半导体纳米结构和量子点成为了纳米技术和量子技术的两大核心。

本文将对半导体纳米结构和量子点的基本原理进行解析。

半导体纳米结构是指尺寸在纳米级别的半导体材料。

相比于宏观结构的半导体材料,纳米结构具有许多独特的性质和潜在应用。

首先,纳米结构对于光、电、声、热等信号的传导和反射具有特殊的特性。

其次,纳米结构能够通过引入合金、掺杂等方式调控其电子能带结构,进而改变其电学性质。

此外,纳米结构还具有相对较高的比表面积,从而有利于电子和光子在表面的相互作用。

因此,纳米结构具有广泛的应用领域,涵盖了能源、传感、信息存储和生物医学等多个领域。

纳米结构的制备方法多种多样,常见的方法包括溶液法、气相法和凝胶法等。

溶液法是通过溶液中的化学反应来实现纳米结构的合成。

该方法具有工艺简单、成本低廉的优点,适合实现大规模生产。

气相法则是利用气相反应在高温高压条件下进行纳米结构的制备。

相比溶液法,气相法能够实现更高的纳米结构纯度和晶格完整度。

凝胶法则是通过凝胶中的凝胶化反应形成纳米结构。

凝胶法具有成本低、反应速度快的特点,适用于制备大面积、均匀分布的纳米结构。

量子点,又称为量子颗粒,是一种尺寸在纳米级别的半导体材料。

它的尺寸在纳米级别时,会出现量子约束效应。

量子约束效应使得量子点的能带结构和能级分布有所不同,导致了量子点特殊的光学、电学和能带结构等性质。

具体来说,量子点的能带结构中,可以出现禁带宽度的离散化,也就是出现了能级的分立。

这种离散化的能级结构使得量子点能够在吸收或发射光子时,只能在特定能级之间跳跃,从而呈现出特定的光学性质。

在制备过程中,量子点的尺寸大小决定着其光学性质。

尺寸越小,能带宽度越大,能级间距越大。

量子点的尺寸可以通过调控合成过程中的反应条件、溶剂浓度等参数来控制。

此外,通过合成不同材料的量子点,还可以改变其光学性质和稳定性。

半导体量子结构的生长方式

半导体量子结构的生长方式

半导体量子结构的生长方式半导体量子结构具有很多优异的特性,如高光电转化效率、量子限制效应和催化活性等。

其中生长方式对半导体量子结构的性能和应用有着至关重要的影响。

本文将介绍半导体量子结构生长方式的基本原理和主要方法。

基本原理半导体量子结构的生长方式主要涉及三个方面的基本原理:材料传输、物种反应和晶体生长。

在材料传输方面,常见的方法包括分子束外延(MBE)和金属有机气相沉积(MOCVD)。

在物种反应方面,常见的方法包括气相和液相生长。

晶体生长的规则和条件控制对于生长高质量的半导体量子结构也至关重要。

主要方法分子束外延(MBE)分子束外延(MBE)是一种利用热蒸发或电子束蒸发技术,使材料原子以超高真空度下的分子束形式沉积到晶体表面上的方法。

MBE可以按照想要的组成和结构一层一层地分子束生长,自控制外延(MOVE)技术可以实现对结构设计的精确控制,如量子阱、量子点等。

但是MBE有如下不足:成本昂贵,对设备真空度的要求高。

金属有机气相沉积(MOCVD)金属有机气相沉积(MOCVD)是一种通过在低压气氛下加热材料的一种化合物金属有机热分解,使其降解并在晶面上沉积形成最终薄膜的方法。

由于其成本低廉、生长速度快和控制性较高等优点受到了广泛的应用,特别是在工业化生产方面。

气相生长气相生长可以分为气相外延和气相浸润两种。

气相外延是将材料原子或分子在装置中预制好的晶面上自然沉积,而气相浸润是在半导体表面沉积一个相似晶体的纤维形成粒径为数纳米的核心就是所谓的量子点。

液相生长液相生长通过在晶面上附着一层原料,然后通过某种液体溶剂进行降解,最后形成具有特定晶体结构的半导体量子结构。

较为常见的是水热法,通过在水反应釜中控制反应时间、温度、压强和溶剂的选择等条件,生长出高品质的半导体量子结构。

半导体量子结构的生长方式决定了其性能和应用领域。

上述介绍的分子束外延、金属有机气相沉积、气相生长和液相生长等方法都可以用来获得不同类型的半导体量子结构。

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科研训练报告题目:半导体量子结构的生长方式学生姓名:学院:理学院班级:指导教师:2012年09 月12 日一、国内外研究进展及研究意义1.1 国内外研究现状和发展动态半导体量子结构的生产方式有三种,包括量子点、量子线,量子点三种方式,量子点是在把导带电子、价带空穴及激子在三个空间方向上束缚住的半导体纳米结构。

美国科学家首度利用光将胶状(colloidal)半导体量子点(quantum dot)磁化,且其生命周期远远超过先前的记录。

这个结果除了能激发更多基础研究,对于同时利用自旋与电荷的自旋电子元件(spintronics)领域,也是一项重大的进展。

直到目前,半导体只能在相当低温下呈现磁性,原因是磁化半导体纳米微粒需要靠激子(exciton)之间的磁性交互作用,但此作用的强度在30 K附近就不足以对抗热效应。

最近,华盛顿大学的Daniel Gamelin等人制造出掺杂的纳米微晶,它们的量子局限效应(quantum confinement effect)使激子具有很大的磁性交互作用,且生命周期可长达100 ns,比先前的记录200皮秒(picosecond, ps)高出很多。

研究人员利用光将激子注入胶状纳米微晶中,产生相当强的光诱发磁化(light-induced magnetization)现象。

华大团队成功的关键在于以磁性锰离子取代镉化硒(CdSe)半导体纳米微晶中的部份镉离子。

这些悬浮在胶状溶液中的微晶大小不到10 nm,照光时内部产生的强大磁场可将锰离子的自旋完全排正。

Gamelin表示,排正的过程非常快,此效应在低温时非常强,且可维持到室温。

这要归功于第一次在研究中被观察到的高温磁激子(excitonic magnetic polaron, EMP)。

上述团队舍弃以传统的分子束磊晶法(MBE),而改用新的化学方法直接合成磁性半导体量子点。

Gamelin解释,由于掺质-载子间的交互作用够强,EMP稳定性因而增强超过100倍,所以才能在300 K下观察到磁化效应。

美国科学家开发出一种新型的电子胶(electronic glue),能将个别的纳米晶体(nanocrystals)连接在一起。

这种电子胶还能用来制作大面积的电子元件和光伏(photovoltaics)元件。

利用旋转或浸泡涂布(dip coating)和喷墨印刷等溶液类制程来制作大面积太阳电池,例如便宜的屋顶太阳能面板,是高成本效益的方法。

不过这些技术必须让半导体溶解,以方便做为墨水(ink)使用。

半导体纳米微晶是微小的半导体块状物,是制作此类墨水的理想材料。

然而,在纳米微晶表面由庞大、绝缘有机分子组成的表面配位基,会阻隔纳米晶体间的电荷转移,造成印刷阵列内的个别纳米微晶彼此连结不佳,这点大大降低了纳米微晶在太阳电池和其它的元件上的应用。

最近,芝加哥大学的Dmitri Talapin等人开发出一种新的化学材料,能让个别纳米微晶以强连结的方式相互结合成阵列,克服了前述的问题。

Talapin表示,他们的方法提供一个材料设计的多功能的平台,将会对电子元件、光伏元件和热电(thermoelectrics)元件的制作带来冲击。

另外,此方法提高全溶液(all-solution)元件制作的可能性,让此材料在连续式滚筒(roll-to-roll)制程的应用上增添不少吸引力,例如薄膜太阳能电池的制作。

研究人员使用一种名为复合金属硫化物(metal chalcogenide complex)的材料,来将胶体状的纳米晶体相互黏合。

其配位基较先前使用的有机配位基更为稳定、坚固,而且不会改变纳米晶体的化学性质,还可让纳米晶体间的电荷转移更有效率。

Talapin 等人确实观察到系统中的导电率有增加的趋势。

目前,该团队正在研究如何在实际应用上使用纳米晶体的连接技术,并且调查除了金属硫化物材料外,是否还有其它合适的材料。

芝加哥大学已授权Evident Technologies公司在热电应用上采用此技术。

详见Science DOI: 10.1126/science.1170524。

此外,胶状半导体量子点与软式微影术(soft lithography)及喷墨印刷术(in-jet printing)等常见的制程相容。

Gamelin认为胶体可望成为纳米科技在各种元件应用上的新工具箱。

量子点的应用非常广泛,因为它们控制的尺寸L反过来控制了当晶体被短波光照时发射光的波长,这些短波光在半导体带隙两端产生电子-空穴对。

量子点在溶液中生长,然后以优美方式被包裹,首先保护半导体晶体不与水环境接触,然后进一步包裹并将这个荧光标记连接到想要的组织类型上。

半导体(InAs)量子点在一些特定类型激光上有独特的应用。

激光被广泛应用于通信、音响器材制造,如CD播放机。

这些在通信方面的应用同样基于发射谱的可调谐性,即通过调节尺寸L来调节发射谱。

然而,这些量子点要并入激光器的异质结中,以使电子从结的一边注入,空穴从另一边注入。

所以这些量子点是被电“泵入”到一个不稳定的电子态,和前面的应用完全一样,这个电子态将辐射光子。

这就是所谓的注入式激光器,在工业中有很多应用。

但是问题是:怎样在异质PN结中生产量子点。

答案是应用外延薄膜生长技术:在超高真空室中使用分子束外延生长设备在单晶基片上外延生长薄膜,在具有应力的GaAs(100)方向上外延生长的InGaAs量子阱结构可以自组装InAs量子点。

这是外延生长InAs量子点的一个例子[4]。

外延生长意味着材料在超高真空的条件下以合适的沉积速率和合适的基体温度按照与基体相同的晶格持续地沉积生长。

即使化学组分改变外延性也会一直保持,但在生长层中会有应力存在。

例如,在GaAs基片上生长GaAs时向Ga束中加入一些In,如果In的含量不是很大,可以得到一个完美的InGaAs晶体层,只是有轻微的应力。

将In加入生长层的效果,从电学的角度看,是减少局部的带隙能量Eg, GaAs 和InGaAs的交替层产生一个方形波带隙调制,这就叫做量子阱结构。

电子会被隔离在层中,层的带隙更小(降低的导带边)。

这些电子在二维能带中,因为InGaAs层的厚度很小,所以会提高迁移率,载流子会在远离施主离子电荷的区域集中,同时施主离子电荷会散射它们,使迁移率变得更低。

如果加入In的含量提高,会使局部的应力升高,从而使量子点情形出现,最后外延性将不会进行,而会在局部有InAs出现。

这些就是自组装的InAs量子点,它们的尺寸(或其发射光谱)在生产过程中可以通过沉积条件的细节加以控制。

这是分子束外延(MBE)技术制造量子点的先进方法,称做局部偏离外延性法。

用这种方法使激光器的效率大大提高,因为量子点有原子一样非常窄的光发射范围。

1.2 研究意义人们采用自组织方法生长纳米量子点的初衷之一, 则是设制并制作量子点激发器。

因此, 材料物理学家们在采用这种方法, 生长各类高质量量子点结构的同时, 便开始进行了这方面的研究探索, 并获得了初步进展。

现就其中的两种加以简单介绍。

垂直腔面发射激光器( VCSEL)图11是由H. Saito 等人[5]采用自组织生长制作的量子点垂直腔面发射激光器( QDVCSEL) 。

其衬底是GaAs( 100) 基片, 衬底上的分布型布喇格反射镜( DBR) 多层膜, 在衬底侧是18周期, 在表面侧是14周期, 中间是10个周期的In015Ga015As 量子点有源区。

采用这种结构和利用蚀刻技术制备了25Lm2的面发射激光器。

图12示出了室温条件下的电流-光输出特性和振荡光谱。

在连续状态其阈值电流为32mA, 振荡波长为962nm。

由于采用这种结构实现了室温下的连续振荡, 因而表明采用S-K 模式自组织生长的量子点结构是可以应用于激光器制作的。

对于垂直共振腔面发射激光器而言, 激光振荡波长由共振器的共振波长所决定。

因此,可以利用电流注入来评价从端面的发光特性, 并揭示其振荡机理。

图13示出了集层量子点结构的EL谱, 图中的垂直点线是垂直共振器的共振峰。

由图可以清楚看出, 随着注入电流的增加, 其发光强度亦明显增加, 并出现谱峰蓝移现象。

这种谱峰蓝移行为起因于, 由于注入电流的增加, 引起了电子在高能级间的跃迁所导致。

InAs/ GaAs量子点激光器Y. Sugiyama等人[6]采用MBE以自组织方式在GaAs( 100) 衬底上制备了InAs量子点, 其高度为5nm, 直径为20nm。

为了提高光增益, 共制作了三层量子点结构。

300K下的PL谱证实, 在1113Lm附近观测到了来自于基态能级的发光, 其峰值半宽为80meV。

这个较宽的发光峰起因于量子点的尺寸与组分的不均匀性。

图14是量子点层数N= 1和共振器长度为L= 300Lm的激光器的EL谱。

很显然, 由于量子点的离散能级, 在EL谱中出现了明显离散的谱峰。

其中长波长侧的谱峰与基态能级相对应, 一直观测到第三个激发态能级, 最短波长的谱峰是来自于InAs浸润层。

由图还可以看出, 由于高激发态能级的简并度比低激发态能级的大, 所以随着注入电流的增加, 高激发态能级将具有更强的发光效率。

图15示出了具有不同量子点层数(N)和共振器长度(L) 激光器的EL谱。

由图可见, 当量子点层数N= 1, 共振器长度L 从300Lm变化到900Lm时, 激光振荡的能级从浸润层移到第三激发态能级。

对于共振器长度L= 900Lm的激光器, 当量子点层数由N=1增加到N= 3时, 其光增益明显增大, 其激光振荡从第三激发态移向了第二激发态能级。

对于量子点层数N=3和共振器长度L=900Lm的激光器, 可实现室温下的连续振荡。

1.3 主要参考文献[1]彭英才等. 真空科学与技术学报.1996, 16:185[2] 彭英才半导体量子点的自组织生长及其应用.半导体杂志,1999,(03)[3] 庄乾东,李晋闽,曾一平,潘量,孔梅影,林兰英 InGaAs/GaAs垂直对准量子点超晶格的正入射红外吸收. 红外与毫米波学报,1998,(06)[4]Saito H, et al. Appl.Phys. lett., 1996,69:3140[5]Sugiyama T, et al. Jpn. J.Appl.Phys. , 1996, 35:1320[6] 西研一等. 应用物理(日) , 1998,67: 793[7] 彭英才.固体电子学研究与进展, 1997,17:165二、研究内容及方案2.1 研究内容将以极化为特征具有丰富功能特性的介电氧化物材料通过外延薄膜的方式,在半导体GaN上制备介电氧化物/GaN集成薄膜,其多功能一体化与界面耦合效应可推动电子系统单片集成化的进一步发展。

然而,由于2类材料物理化学性质的巨大差异,在GaN上生长介电薄膜会出现严重的相容性生长问题采用激光分子束外延技术的缓冲层来减小晶格失配度,降低介电薄膜生长温度,(LMBE),通过弹性应变的TiO2控制界面应变释放而产生的失配位错,提高了介电薄膜外延质量; 通过低温外延生长MgO 阻挡层,形成稳定的氧化物/GaN界面,阻挡后续高温生长产生的扩散反应; 最/MgO组合缓冲层控制介电/GaN集成薄膜生长取向、界面扩散,降低集成终采用TiO2薄膜的界面态密度,保护GaN半导体材料的性能所建立的界面可控的相容性生长方法,为相关集成器件的研发提供了一条可行的新途径。

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