Tescan 扫描电镜操作规程
TESCAN扫描电镜使用说明书
Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。
（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
（4）系统自动进行硬件、软件自检。
（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。
（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。
2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。
（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。
（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。
（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。
（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。
（6）确认BSE探头已摇出。
3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20kv (100±5) μA ），进行观察。
（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。
（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储。
（4）如果对样品进行成分分析，应该将WD调至15mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。
（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整BI，检测计数率。
（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万）。
Tescan型扫描电子显微镜操作规程
Tescan型扫描电子显微镜操作规程Tescan型扫描电子显微镜是一种高分辨率显微镜，可以将样品的表面形貌及结构进行精细的观察和分析。
本文将介绍Tescan型扫描电子显微镜的操作规程，以帮助使用者更加有效地使用该设备。
一、准备工作1.1 确定目的：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，首先需要确定使用该设备的目的。
用户应该了解所需观察的样品类型、结构形态和分析的问题等。
1.2 样品制备：选择适当的样品并进行制备。
样品制备可以使用化学刻蚀、机制切割、离子束切割等方法。
1.3 清洁操作区域：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，应该确保周围环境干净整洁，无杂质和灰尘等影响观察效果的物质。
1.4 开机前的准备：检查仪器的接线和电源，并确保仪器与电源相连接。
在开机前应该预热电子枪，并确保其正常工作。
二、扫描电子显微镜的操作步骤2.1 软件的启动与设置操作员需先启动Tescan型扫描电子显微镜的控制软件，通过用户界面进行图像显示、设备操作及数据采集等操作。
使用者可根据需要进行各项设置，如图像分辨率、曝光时间和扫描范围等。
2.2 样品放置将准备好的样品放置到样品台上，并调整样品的位置，以便获取所需的区域图像。
2.3 调整电子枪在设备正常工作前，调整好电子枪的参数，首先进行缺陷修复，然后将加速电子管的电压调整至合适的值。
常规加速电子压力通常在20~30kV之间。
2.4 断定缩放倍数在将电子枪的电压和电流调整好后，操作员需要指定所需的缩放倍数。
缩放倍数越高，分辨率越高，对样品的影响也越小。
2.5 图像采集操作员通过扫描压电晶体，可以获取样品的表面结构和拓扑形状等信息，并进行图像采集。
在图像采集前，需要设置图像的扫描速度、曝光时间和扫描范围等参数。
2.6 图像处理与分析图像处理和分析是Tescan型扫描电子显微镜的重要功能之一，可以对采集到的图像进行各种图像处理和数据分析，以获得更多的信息。
操作员可以通过各种图像处理工具对所获取的数据进行处理和分析，如细节增强、对比度调整、线性增强和颜色增益等等。
扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程
1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。
将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。
利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。
打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。
TESCAN-VEGA3-操作规程
TESCAN-VEGA3-操作规程TESCAN-VEGA3是一款高精度的扫描电子显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学和纳米科学领域。
本文将介绍TESCAN-VEGA3的操作规程，以便用户正确、高效地使用该仪器。
1. 准备工作在操作TESCAN-VEGA3之前，首先确保仪器连接稳定，电源正常，并保持周围环境干净整洁。
操作人员应佩戴手套和实验服，以防止样品污染。
2. 打开仪器打开TESCAN-VEGA3之前，操作人员应先确保样品已安全放置在样品台上。
然后按照仪器上的指示，打开仪器电源，并等待系统初始化完成。
3. 调整参数在开始扫描之前，需要根据样品类型和需要观察的细节，对扫描参数进行调整。
TESCAN-VEGA3提供了丰富的参数调整选项，用户可以根据具体需求进行设置。
常用的参数包括电子束能量、放大倍数、扫描速度和探针电流等。
4. 放置样品根据实验需求，将样品小心地放置在样品台上，并调整样品位置，确保待观察区域位于扫描范围内。
在放置样品时，需注意避免样品与扫描器相互碰撞，以防损坏设备。
5. 开始扫描调整完参数并放好样品后，即可开始扫描操作。
在TESCAN-VEGA3的界面上，选择合适的扫描模式，并点击开始扫描按钮。
仪器会自动对样品进行扫描，并根据设定的参数生成相应的图像。
6. 图像观察和分析扫描完成后，可以观察和分析生成的图像。
TESCAN-VEGA3提供了多种图像处理和分析工具，用户可以利用这些工具对图像进行增强、测量和分析。
例如，可以调整亮度、对比度和色彩平衡，或者绘制线条、圆形和矩形以测量长度、面积和形状。
7. 保存和导出数据在观察和分析完图像后，可以选择将数据保存和导出。
TESCAN-VEGA3支持多种数据格式，如图片格式（如JPEG、PNG）和矢量图形格式（如SVG、PDF）。
用户可以根据需要选择合适的数据格式，并选择保存位置。
8. 关闭仪器使用完TESCAN-VEGA3后，应及时关闭仪器。
台式扫描电镜操作规程
台式扫描电镜操作规程引言：台式扫描电镜(SEM)是一种常用的显微镜仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
为了确保SEM的正常运行和保证操作人员的安全，制定一套操作规程是非常必要的。
本文将详细介绍SEM的操作规程，包括准备工作、开机和关机操作、常规操作和安全注意事项等内容。
一、准备工作：1.操作人员需穿戴好个人防护装备，包括实验室服、手套、护目镜等。
2.检查SEM设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷阱和真空恢复系统等。
3.准备好所需的样本，确保样本符合SEM的要求。
同时，确保样本干燥、清洁，尽量避免灰尘和污物。
二、开机操作：1.打开SEM控制软件，并登录系统。
2.打开SEM设备的电源，确保系统电源稳定。
3.打开真空恢复系统开关，等待真空稳定。
4.打开冷阱开关，确保冷阱工作正常。
5.进行电子束的对准操作，确保电子束的准直性。
三、常规操作：1.在样品台上固定好样本，并通过样品台调节电子束焦点和位置。
2.设置所需的加速电压、探针电流、显微放大倍数等参数。
3.检查SEM图像，并进行必要的图像调整和优化。
4.对样本进行显微观察，记录所需的显微图像。
5.在操作过程中，若需要更换样品或对设备进行其他操作，应先将电子束关闭，避免辐射伤害。
四、关机操作：1.保存操作数据，并关闭SEM控制软件。
2.将电子束调节至合适位置，并关闭加速电压。
3.关闭冷阱和真空恢复系统，并等待真空泄压完成。
4.关闭SEM设备的电源，并断开电源线。
五、安全注意事项：1.操作人员需严格遵守实验室安全规程，确保自身安全。
2.在操作过程中，注意保持SEM设备的稳定和平衡，避免碰撞或摔落。
3.使用SEM时，应注意防止静电产生和电磁干扰，以避免对设备造成损坏。
4.操作结束后，应集中处理样品残留物，并清理工作区域。
5.定期对SEM设备进行维护和保养，确保其正常运行并延长使用寿命。
6.严禁未经授权人员操作SEM设备，以免造成不必要的损坏和安全事故。
扫描电子显微镜操作规程
扫描电子显微镜操作规程
JSM-6610LV型扫描电子显微镜操作规程
1 样品镀膜
1.1 关闭充气阀门，打开镀膜机开关。
1.2 当真空度达到2×10-1mbar时，调节等离子电流至10mA （最大不超过20mA），根据样品情况，设置镀膜时间，镀膜时间一般不超过120m。
1.3 镀膜完成后，关闭镀膜机开关，打开充气阀门，取出样品，盖好上盖。
2 上机
2.1 打开稳压电源。
2.2 开启扫描电镜总电源，待泵运行稳定后，依次打开扫描电镜、能谱仪的主控计算机。
2.3 打开分析软件操作界面，点击“VENT”对样品室进行释压，同时检查“STAGE”状态，设定Z值为30mm。
待完全释压后，轻轻打开样品室门取出样品座，将样品固定在样品座上，然后将样品座放回样品室，关闭样品室门，点击“EVAC”开始对样品室抽真空。
2.4 当样品室真空度达到要求后，即可打开灯丝开始样品分析。
2.5 找到被测样品，调整好工作距离，设置合适的物镜光阑尺寸、束斑尺寸及加速电压。
分析样品前，检查灯丝相状态，如果灯丝相不饱和，要进行电子枪对中（电镜合轴）、聚焦、消像散等步骤，将电镜调至最佳观察状态。
2.6在“SCAN1”模式下进行对中、聚焦、消像散，在“SCAN2”模式下进行样品观察，选择具有代表性的视域，调整亮度、明暗度等至图像最清晰为止，在“SCAN4”模式下扫描拍照，并将所拍照保存至指定文件夹中。
摄取的照片用一次性光盘刻录拷贝，主控计算机严禁插入其他移动存储设备。
3 关机
关闭灯丝，退出分析软件操作界面，然后依次关闭主控计算机、
扫描电镜总电源、稳压电源。
4 及时填写仪器运行记录。
S扫描电镜操作步骤
S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
电子显微镜标准操作规程
电子显微镜标准操作规程1．目的建立电子显微镜标准操作规程，为了使操作者操作电子显微镜更规范、更精确。
2．范围适用于电子显微镜标准操作规程。
3．职责操作者。
4．规程4.1 将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧，预抽室门按下EVAC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1后关闭MV1。
4.2 核样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1，取出样品，关闭MV1重复第一步。
4.3 打开主机面板上display power开关，接通操作系统开关，按照计算工机提示进入windows操作界面。
4.4 点击桌面上的PC—SEM文件，进入扫描电镜操作平台。
4.5 打开Lock开关，拨向Aout open方向，点击SEN操作界面上的Vacc 打开高压对话框。
将电流在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节。
4.6 有图像数据点击speed3，点击M键，关闭Image窗口选择yes，确定存储路径，点击save完成图像的抓取。
4.7 注意事项4.7.1 核样品时样品只能在X方向上平行滑动，不能旋转等。
4.7.2 粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜。
剩余包装材料处理程序、目的：建立剩余包装材料处理程序，使剩余包装材料的处理正确、规范，防止错药、混药事故发生。
二、适用范围：适用于剩余包装材料的处理。
三、责任者：工艺员包装班班长、仓库保管员、QA质监员，生产部质检员。
四、程序：1 每批产品包装完成后，对未用完的包装材料进行清理，将已盖批号或有效期和未盖批号、有效期的包装材料分别存放，分别处理。
2 对已盖批号、有效期的包装材料的处理：对标签、说明书、合格证及大、中、小盒一律销毁，并做好销毁记录，负责销毁人及监督销毁人员均要签字；销毁记录见《包装材料销毁记录》（编码：RD0104500）（附件1）；3 对于未加盖批号有效期的包装材料的处理：3.1 对未加盖批号但有质量问题的包装材料在质量监督员监督下销毁。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。
、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。
二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。
三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
扫描电镜作业指导书
图4.1图5.1图5.2图5.3图5.5图5.6图5.8作业说明5.2开机准备：⑥建议用VEGA3独有的大视野模式寻找样品，点击图5中的Mode或者Info Panel中选择WIDEFIELD就可以转化到大视野模式图9，或者在Mode中选择Continual Wide Field，缩小至低倍直接转化为大视野模式。
图5.95.3测试调节：①样品台升降：在低倍下找到样品并选择感兴趣的区域放大至1kX左右，聚焦清楚，如果工作距离WD&Z比较大时可以在WD&Z的选项中输入目标的工作距离（如图8中蓝框所示），样品台上升过程中实时观察Chamber View中样品台的位置，如有危险马上点击Stop，停止样品台上升。
5.3测试调节：②调节放大倍数：继续放大感兴趣的区域，在图9中点击MAG，然后拨动轨迹球进行放大缩小倍数（向左缩小，向右放大），或者在图5.10红框中双箭头调节放大缩小。
图5.105.3测试调节：③电子束强度选择：点击图9中的BeamIntensity，在Pad中输入目标的数值（0~20），数值越小，电子束强度越小，数值越大，电子束强度越大。
低倍下选择较大的BI值，高倍下选择较小的BI值。
作业说明5.3测试调节：④聚焦:在图9中点击WD,然后拨动轨迹球进行聚焦至样品最清楚为止。
如果在聚焦过程中样品有移动，需要做电子束对中；如果在聚焦过程中样品有拉伸，需要做消像散。
5.3测试调节：⑤电子束对中：点击图9中的Manual Column Centering，图形左右晃动就调节X方向，上下晃动就调节Y方向。
可以先按住F11，滑动轨迹球直至图像在左右没有晃动，只有上下晃动，然后按住F12，滑动轨迹球至上下方向也没有晃动，直至图像在中心放大缩小，没有XY方向的移动。
5.3测试调节：⑥消像散：点击图5中的STG(或者点击右侧Info Panel中的Stigmator)激活消像散功能；消像散过程：先调节WD至图像没有变形，然后分别调节X和Y方向的像散，可以先按住F11，滑动轨迹球直至图像到最清楚的位置，然后按住F12，滑动轨迹球至图像最清楚的位置，接着再聚焦直至图像清楚，消像散需要与聚焦交替进行；作业说明5.3测试调节：⑦亮度/对比度调节：拍照前需要进行亮度调节，可以点击Auto软件自动调节亮度/对比度；也可以点击Brightness/Contrast手动调节亮度/对比度，滑动轨迹球左右移动调节图像对比度（向左对比度减小，向右对比度增大），滑动轨迹球上下移动调节图像亮度（向上亮度增大，向下亮度减小）；5.3测试调节：⑧扫描速度选择：点击图5中选择拍摄图像的扫描速度，或者滑动鼠标中键改变扫描速度。
TESCAN-VEGA3-操作规程
TESCAN VEGA3 操作规程一．开机1.打开房间总电源。
2.将左侧开关（Main switch）由 OFF 转向ON (此时PC亦自动开机) 见图3.于桌面双击Vega TC在Log in 窗口中选择guest 用户，则可在第二行密码栏中直接输入“回车”键，即可进入该用户。
4.系统进行自我检测硬件及软件(如有问题请通知维护人员)二．样品的更换5. 点选Vacuum窗口上VENT（泄真空）键，放气，显示放空完成即可打开样品室门，将样品放入并用螺丝刀固定好样品台。
点击抽真空，待窗口中Chamber vacuum 和Column vacuum下方进度条变绿后，等几分钟，真空度在表示样品室和镜筒中已经达到可工作真空度，此时可执行下一步骤在窗口Electron Beam 点选HV(加高压)，当Emission和 High Voltage下方进度条出现黄色，即已对灯丝加上高压。
注意：6.当天第一次上高压，需要将不同档位的高压都进行一次Adjustment（调整）Auto Gun Heating（电子枪自动加热）。
进行完毕，然后选择20Kv档位的高压即可进行观察。
此功能为扫描模式的选择,共有分辨率模式（Resolution）,视野模式（Filed）,广角模式（Wild Field）和景深模式（Depth）四种模式。
分辨率模式：主要用来拍摄图片。
视野模式：可用来寻找样品台上的样品。
广角模式：可观察的范围比广角模式还大，可物体有些微变形。
景深模式：可观察落差比较大的样品。
扫描速度的选择。
扫描速度共分为十档，1为扫描速度最快，噪声最大；10为扫描速度最慢，噪声最小。
缩放倍率。
放大倍率可从4倍到100000倍连续可调。
调整工作距离，用于聚焦使用调整像散，固定F11（X轴）调Y, 固定F12（Y轴）调X,此功能为对比度/明暗度的手动调整。
左右推动轨迹球为调整图像对比度，上下推动轨迹球为调整明暗度。
自动调节明亮对比功能，使图片显示最好的效果。
国检检测扫描电镜操作规程
国检检测电子扫描显微镜操作规程一．启动系统1、开启设备总电源开关2、启动主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。
3、在主机前面板上的EV AC真空控制面板上将钥匙转动到START位置，然后放手，系统开启。
4、等待计算机进入操作界面，按确定键启动软件。
二、安装样品1、在控制面板上按AIR按钮，系统开始放气。
2、等到放气结束电脑显示可更换样品时，带上清洁手套，测量安装在样品托上的整个样品的高度，然后打开样品室，将安装有样品的样品托放入样品室。
3、关上样品室，按EV AC键1～2秒，设备开始抽真空，约两分钟后可开始观察样品。
三、样品扫描1、待控制面板显示抽真空结束时，按操作软件左上角的ON按钮，开始加载加速电压。
2、加速电压加载完毕后，可开始扫描操作。
四、更换样品1、按操作软件左上角的OFF按钮，开始卸载加速电压。
2、按HOME键，将样品调整至最初位置。
3、按AIR键按1～2秒，样品室开始放气，待放气完毕即可开始更换样品。
五、关闭设备1、关闭设备前，要保持样品室是真空状态。
2、直接点击操作软件右上角的关闭键，关闭软件。
3、关闭电脑4、将前控制面板上的钥匙旋转至OFF位置。
5、关闭主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。
6、关闭设备总电源开关六、注意事项1、样品在放入样品室之前必须要干燥、清洁。
2、更换样品须带上清洁手套，不允许用赤裸的手握样品或样品托。
3、开关机顺序和更换样品顺序都必须按照规定步骤进行。
4、测量样品高度时，误差不得超过4mm，否则会导致镜头损坏。
七、维护保养1、一个星期对空压机进行排水，以保证空压机的性能。
2、一个星期检查压力计、压力开关和安全阀一次。
3、一个月对螺栓、螺钉、螺母的进行拧紧一次。
场发射新扫描电镜操作说明及注意事项
场发射新扫描电镜基本操作规程1检查仪器状态,放入样品,必须戴手套操作,将制备好的样品放入样品座中。
调节样品高度，样品不得高于样品座上边沿。
2 预抽室放气，按下“Vent”键，打开预抽室仓门，将样品座平边推入样品座卡槽，关上仓门并扣紧，按下“EVAC”键，抽真空。
3观察样品，待真空抽至“4.4×10-4”后，点加电压“ON”，待电流上升至10uA的发射电流后，按下“GUN”。
4 加速电压逐步从低到高升到5kv，工作距离一般选用10mm。
5 控制图像移动可用鼠标右键单击实现，可将点击目标移至屏幕中央。
6 Low Mag（快速移动到要观察的样品上），ACB（自动黑白对比）--调焦—改变放大倍数--配合Alignment，和像散调节—得到一幅满意的图像；7 图像存储，在保存一幅图像之前，直接在Quick View时按Photo键，在操作下一步之前点Freeze解除。
8 取出样品，先关闭“Gun”灯亮，关闭高压，按下“Exchange P osition”键。
确认“EXCH POSN”灯亮；9 将样品杆放下置水平位置，向前轻推样品杆至无法再推动为止。
10 按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，松开预抽室锁扣，打开预抽室，取出样品，将预抽室抽好真空（按“EVAC”键）。
场发射新扫描电镜注意事项（1）在接触到样品座的所有操作，必须戴手套；（2）在拧样品座上的螺丝时，要轻拧，不得使大力，防止固定螺丝损坏；（3）换样品时样品杆只能在水平方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等，样品杆操作要在水平方向上轻推轻拉；（4）样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；（5）关闭高压系统前必须先关闭“Gun”--灯亮。
操作顺序不得反转；（6）在打开“Gun”--灯灭时，样品室真空度必须达到4.4×10-4Pa；（7）严禁测试磁性材料样品；（8）样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，防止悬浮颗粒进入电镜；（9）禁止操作样品杆、样品升降台、轨迹球外旋钮、背散射按钮（否则出现问题，后果自负，仪器损坏，负责赔偿）.预约扫描电镜须知1.样品必须清洗干净，特别是腐蚀样品，需用乙醇彻底清洗，之后在测试之前烘箱烘干2-5小时；2.禁止送磁性材料样品测试，请提前确认样品有无磁性；3.禁止使用U盘或外带光盘拷贝数据，以免电脑软件中毒；4.块体样品大小8mm*8mm*8mm以内，超出的请提前切割处理；5.测试时禁止在实验室打闹，禁止学生触摸实验设备，设备有高压电，以免发生危险；6.预约请提前1天以上，周末和晚上请勿打扰；7.未经培训的人员，禁止操作仪器设备；8.仪器设备贵重，请来测试人员注意，如有损坏照价赔偿；9.测试完请填写实验记录，打扫实验室。
场发射扫描电镜操作规程
11．当加速电压按钮“HT”变为兰色时，打开加速电压，按钮“HT”变为绿色。根据试样设置加速电压（0.5~30KV），工作距离（1.5, 2, 3, 6, 8, 15mm），探针电流值。
12．当发射电流值为10μA时，打开枪阀，扫描开始。
2．做完“Flash”后首次开加速电压，电压值应从0.5KV 开始逐步加大，步长小于4KV，并且要等发射电流值为10μA时，才能改变加速电压。
3．样品表面最高不能超过样品台6mm，并且在超过样品台表面一定高度后，设置的工作距离要相应加上该高度值。例如： 想观察一定电压下工作距离为3mm时的图像，而样品表面高过样品台2mm，则要调节工作距离旋钮，使工作距离值为5mm。
场发射扫描电镜操作规程
1.打开电脑，启动扫描程序。
2.将待测样品固定到样品夹上，送入样品室。
3.设置合适的加速电压、工作距离，对样品表面进行扫描观测。
4.调节操作面板上的放大倍数，焦距，亮度，对比度，像散等旋钮，获得清晰的样品图像。
5.保存样品图像。
6.测试完毕，关闭加速电压，从样品室取出样品。
7.退出扫描程序，关闭脑。
4．扫描样品时要先开加速电压，等发射电流值为10μA时再开枪阀，扫描结束后要先关闭枪阀，再关加速电压。
5．测试弱磁性的样品，放样品和取样品时要打开操作面板上的“Low Mag”按钮以减小物镜磁性，并且工作距离要在8mm以上。
6．测试样品一定要固定好以防掉入样品室。
天津理工大学材料科学与工程学院
2004年3月
6．当样品室操作面板上的“VENT” 指示灯停止闪烁保持一直亮的状态时，打开样品交换室。
TEM 操作规程
TEM 操作规程1、接通电源。
2、接通循环冷却水电源。
3、接通电镜电源开关，红灯亮。
4、接通电脑开机键，同时接通显示器开关。
5、输入登陆密码，进入电脑工作界面。
6、待工作界面电镜标识变绿色，点击电镜操作标识登陆。
7、进入登陆操作界面后，接通抽真空开关VAC键，电镜开始抽真空。
8、回答提示栏提出的问题，机器自检。
9、戴震控指示处变为绿色时及相应按键处激活状态时，点击HT按键。
10、从20KV起逐步加HT。
11、检查发射电流的设置是否在适当位置。
12、装入超薄切片：1）首先检查样品室红灯是否处于熄灭状态，红灯亮时不得送样品2）将样品杆销对准白色标识线且水平插入样品室，此时样品室红灯亮3）待红灯灭，逆时针旋转样品杆，将其送入镜筒。
13、观察镜筒真空，当COL在20LOG以下时，点击电镜电流按键。
14、待电流强度升至预先设置的数值后，点击镜筒阀门开关，此开关按键由黄色变为灰色。
15、用放大倍率扭，将放大倍率降到合适位置。
16、用操作盘，左手旋钮控制观察亮度。
17、同时用左手轨迹球控制光斑对中。
18、同时用右手轨迹球移动被观察样品的图象，用聚焦旋钮聚焦图象。
19、消除物镜像散。
20、将要拍照的视野放入观察屏的四框内，调整亮度使曝光时间在3.0秒左右，按左手操作台上的Export键拍照图象。
21、数码摄像。
22、关机：1) 将放大倍率降低，取出样品杆2) 切断灯丝电源3)切断HT4)切断Vac真空开关5)带冷却30分钟后关循环水电源6)推出操作界面7)按电镜开关OFF键红、绿灯同亮。
注意事项：1、必须确认冷却循环水启动无误后，方可进行下一步操作；2、更换样品需由仪器负责人操作，以免发生故障。
工作原理：利用电子射线（或称电子束也称电子波）穿透样品，而后经多级电子放大后成像于荧光屏。
主要优点：分辨率高，可用来观察组织和细胞内部的超微结构以及微生物和生物大分子的全貌。
根据加速电压的大小分为以下3种：1）一般TEM。
双束扫描电镜安全操作及保养规程
双束扫描电镜安全操作及保养规程前言双束扫描电镜是一种高档的电子显微镜，用于观察物质的内部结构和成分，具有较高的分辨率和清晰度。
为确保安全和保障设备的长期使用，特撰写此文，介绍双束扫描电镜的安全操作和保养规程。
同时，所有操作前需要确保已经具备相关知识和技能，以及获得工作人员的指导和监督。
安全操作规程1. 机体安全1.1 操作前，要先检查仪器的安装、调试、维修情况是否稳定，严禁故障设备操作和维修。
1.2 遵守安全操作规程，严格执行操作手册中的具体步骤、注意事项和安全标准。
1.3 在操作后，要保证设备处于正常关闭状态，并及时关闭高压电源和降压电源，为安全提供保障。
2. 电源安全2.1 在开机前，先确认电源稳定、接地可靠，避免电源异常，引发安全风险。
2.2 操作时，不得随意触碰电源、高压线，以防触电。
2.3 在出现异常、机体故障,不能随意拆取和维修。
如需拆卸，请安排专业人员进行。
3. 操作安全3.1 操作人员要严格遵守机器操作规程，避免进行非常规、无章可循的试验和猜测，以防对设备造成影响。
3.2 在操作过程中，应该注意不要向扫描电镜呼吸，不得随手触摸或移动，以防对扫描镜表面和玻璃窗造成破损。
3.3 当作业完成后，及时关机、断电，避免任何过度运作。
4. 样品安全4.1 样品安全是保障设备的根本，在制作和安放成品样品时，一定要注意样品和设备内部结构的完整性和安全可靠性。
4.2 在观察过程中，不得把手和脚伸到样品下方，在接近样品时要注意防静电，使用手套等防护措施。
4.3 为了避免样品过热及其他异常情况发生，需要严格遵守样品预处理要求。
5. 其他安全要求5.1 保管好仪器，特别是放置在具体房间内，要避免沉重物品压在设备上。
5.2 保持电镜内部的清洁，预防尘灰和污染的产生。
5.3 对机器进行常规维护，保持设备的正常活动，检查设备的维修状态。
保养规程1. 操作记录1.1 双束扫描电镜设备的操作记录应当统一规范，每天开机前对仪器进行一次维护和检查，以保证设备正常工作。
Tescan扫描电镜操作规程
Tescan扫描电镜操作规程1.点击Vent（操作界面右下方）按钮，放气。
等待右下方显示VentingFinih,即可进行下一步操作。
2.装载试样。
需将试样用导电胶粘紧。
（放样时注意操作界面Z轴距离，钨灯丝100以上。
）检查每一个螺丝是否拧紧。
不应有露在外的螺丝头。
3.小心关上仓门，点击Pump（位于Vent旁边）。
抽真空。
等待Chamber真空度钨灯丝到达5某10以上即可进行下一步。
4.操作前参数检查：A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV再在右上边输入所要求值。
B，其次检查Beamintenity值，正常扫描时为10，打能谱时调节为12。
C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-7标号）。
样品台会移动到视野内。
5.调节Z轴逐次减小，使样品接近镜筒。
（这个值为样品台到镜筒的距离。
所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z轴至20。
6.找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先点击Mag （视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。
当视野中图像模糊，-2但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。
再放大，再聚焦，直至达到需求即可。
如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况：1）调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjutment中第三项弹出一个对话框点Ne某t视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。
2）图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg右手边一竖行快捷键中。
然后调节轨迹球。
（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不在变形，再聚焦。
200扫描电镜实验室安全操作规程
200扫描电镜实验室安全操作规程1、开机前的检查1、1 室温：18℃～25℃；1、2 湿度：<80％；1、3 Quanta200 真空泵PVP1和PVP2的油面指示应在规定位置，油要干净，无色透明，无污染，每月检查一次；2、试样制备2、1 微细和超细粉体（粒度<10mm）样品，取少量样品直接放在烧杯中，用无水乙醇做溶剂，超声分散，用干净滴管吸取少量液滴置于铜托上，并用红外灯照射干燥；2、2 粗颗粒样品，取少量粘在铜托上的导电胶带上，用无毛纸轻压，使样品颗粒牢牢粘住，并清楚粘在铜托侧面上的粉样；2、3 块状样品，高度应在15mm以下，要用无水乙醇浸泡，清洗干净，放在超声波水槽中处理，以除去油脂、灰尘、赃物和水分；2、4 试样一定要无水、无油，观察前要用红外灯照射干燥。
3、开机严格按开机顺序操作，开机抽真空5分钟内，系统真空应达到要求（<1、010-4Torr），如果系统真空不能达到要求，应检查样品室门是否关好、样品室密封圈垫圈及密封平面是否干净或其它连接处是否有漏气现象。
如果不能解决应及时报告，并与厂商联系。
4、试样观察4、1 按仪器说明步骤操作，选择合适工作参数；4、2 注意样品高度，样品的高度要小于卡尺的长度，千万不要使样品观察面碰触物镜下方的背散射电子探测器；4、3 更换样品时，一定要先切断灯丝高压，待灯丝冷却5分钟以后再放气。
开关样品室门，手扶住门下侧的拉杆，轻轻地向外或向里推。
勿抓X、Y、Z、R调节杆来开关门，门要拉到合适的位置，才能更换试样。
要带手套取放样品架，手千万不要伸到样品室内，以防止碰伤各种探测器；4、4 更换样品时，开关门动作要轻，不使镜筒产生过大振动。
更换样品后要及时关门，样品室放大气的时间不宜过长，一般不得超过20分钟；4、5 样品室内如果脏了，用无尘纸（布）擦拭，注意不要碰触探测器；4、6 仪器观察过程中，若暂时停止观察，应立即切断灯丝高压；4、7 仪器观察过程中，若突然发生断电事故，应立即切断计算机电源开关再切断服务器电源开关，最后切断总电源开关。
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Tescan 钨灯丝扫描电镜操作规程
1.点击Vent （操作界面右下方）按钮，放气。
等待右下方显示Venting Finish,即可进行下一步操作。
2.装载试样。
需将试样用导电胶粘紧。
（放样时注意操作界面Z轴距离，钨灯丝100以上。
）检查每一个螺丝是否拧紧。
不应有露在外的螺丝头。
3.小心关上仓门，点击Pump（位于Vent旁边）。
抽真空。
等待Chamber 真空度钨灯丝到达5*10-2以上即可进行下一步。
4. 操作前参数检查：
A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV 再在右上边输入所要求值。
B，其次检查Beam intensity值，正常扫描时为10，打能谱时调节为12。
C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-7标号）。
样品台会移动到视野内。
5.调节Z轴逐次减小，使样品接近镜筒。
（这个值为样品台到镜筒的距离。
所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z 轴至20。
6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先点击Mag（视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。
当视野中图像模糊，
但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。
再放大，再聚焦，直至达到需求即可。
如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况：
1）调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjustment 中第三项弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。
2）图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg右手边一竖行快捷键中。
然后调节轨迹球。
（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不在变形，再聚焦。
（一般要求调节清楚地放大倍数大于需要拍照倍数。
例如：需要1000倍，则应将2000倍调节清楚。
）
7.拍照之前应检查亮度对比度是否合适，视野右手边一竖行快捷键中选择选项，然后轨迹球上下调节对比度，左右调节亮度。
8.右手边一竖行快捷键中选择Speed选项选择扫描速度6
或7，（调节时Speed选择4以下）。
然后点击右手边一竖行快捷键中最后一项保存照片。
9.重复6-8完成拍照。
10.实验完成后归位操作：
A. 将Z轴输入钨灯丝100，使样品台降回原位。
B. 放大倍数调至最小（MAG可以直接输入0，则自动变为最小值）
C．扫描速度最低（speed调节为1）；
D．关闭高压（点击HV）。
11.点击Vent放气，等待完成后拉开仓门，取出试样后仍然应当将螺丝拧进去。
12.取样完成后关闭仓门抽上真空。
补充：对于试样：
A．不导电样品应选择喷金或喷碳。
B．块体试样底面应尽量平整。
C．粉体试样，粒度相对大的可以用镊子夹取按在导电胶上，粒度小的细粉应拿不与之反映的溶剂分散后，滴一滴在锡箔纸上。