晶体长晶方向选择(Ky法)

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KY晶体生长方向选择

蓝宝石晶体( -Al2O3)是一种简单配位型氧化物晶体,属六方晶系,空间群D -R mc,六方晶系a1=a2=a3≠c;三根a轴在同一水平面上成120°角分步,c轴垂直于该平面(三根a轴的平面)。我们常常提起的A面、C面就是分别和a轴、c轴垂直的面。

蓝宝石晶体的纯度在99.99%~99.999%之间,意味这晶体中存在大量的填隙原子和杂质原子,也就是点缺陷;这些点缺陷在力场中通过成核和增殖产生位错——线缺陷。蓝宝石衬底常常提起的EPD,其实就是位错(线缺陷)与C面相交,并在C面上的投影。

如果晶体的材料的单晶性不好(与坩埚壁接触的寄生成核),就会产生面缺陷,面缺陷与C面相交,并在C面上的投影就是衬底材料常常提起名词——差排线。

在蓝宝石晶体中位错来源有二,填隙原子和杂质原子在力场中通过成核和增殖产生的,二是籽晶遗传的。同时位错线具有特殊的拓扑性质:它要么构成闭合的圈圈,要么延伸到晶体表面,绝不可能中断在晶体之中。六方晶系蓝宝石a1=a2=a3≠c;三根a轴在同一水平面上成120°角分步,c轴垂直于该平面(三根a轴的平面)。我们常常提起的A面、C面就是分别和a轴、c轴垂直的面。

这就意味着位错在沿C面垂直(C向生长)方向延伸时,所受的应力基本是平衡的,它会一直延伸到露出晶体的C面。如果是C向

生长,由于杂质和应力的存在,随着生长界面的推移,不停的有位错线产生并累加,晶体的位错会越来越高,甚至发生多晶和散点。实验数据也证明了C向生长的晶体头部的EPD要低于尾部的EPD,既晶体头部的质量要高于尾部的晶体质量。

反之,如果沿A向生长,位错线在应力场得作用下,很快的发生滑移和弯曲,很快的在C向露头,虽然不停的有新位错线产生,但不停的有位错线在C向露头消亡。实验数据也证明了A向生长的晶体头部的EPD要高于尾部的EPD,既晶体尾部的质量要高于头部的晶体质量,同时A向生长的晶体的平均质量要远远高于C向生长的晶体。

这就意味着沿C生长蓝宝石晶体对原料纯度的要求要远远高于A向生长。

同时,A向生长蓝宝石晶体符合晶体生长方向选用原子最密面的原则。

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