半导体光电子学第2章_异质结.pptx
《半导体光电子学课件》下集2.5异质结对载流子的限制
结合理论知识,解释实验结果,深入理解异质结对载流子的限制 作用。
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金属有机化学气相沉积法
利用金属有机化合物和气相反应物在衬底上 合成异质结。
激光脉冲沉积法
利用激光脉冲在衬底上加热,形成熔融态薄 膜,再通过快速冷却形成异质结。
异质结的优化策略
材料选择
根据应用需求,选择合适的半导体材料组合, 以提高异质结的性能。
结构设计
优化异质结的结构参数,如厚度、界面平滑 度等,以降低载流子传输阻力。
异质结的分类与结构
分类
根据构成异质结的半导体材料类型, 可以分为同型异质结和异型异质结; 根据材料带隙宽度,可以分为宽带隙 异质结和窄带隙异质结。
结构
典型的异质结结构包括单层异质结、 双层异质结和多层异质结等。
02
异质结对载流子的影响
载流子的传输机制
直接隧穿
01
载流子通过势垒的量子隧穿效应,适用于势垒较窄、载流子能
量高于势垒的情况。
间接隧穿
02
载流子通过声子辅助的量子隧穿效应,适用于势垒较宽、载流
子能量较低的情况。
热电子发射
03
载流子通过热运动越过势垒,适用于势垒较窄、载流子能量接
近势垒的情况。
异质结对载流子的限制效应
空间电荷区限制
在异质结中,由于能带弯曲产生空间电荷区,对载流子产生限制 作用,影响其传输和分布。
探测器:光电二极管或 光子计数器
实验步骤与操作
1. 准备实验材料和设备,搭建实验装置。
2. 将光源连接到信号发生器上,调整信号发生器 输出频率和幅度。
3. 将探测器连接到示波器或数据采集系统,以便 实时监测实验结果。
半导体器件物理 课件 第二章
(e) 曝光后去掉扩散窗口 (f)腐蚀SiO2后的晶片 胶膜的晶片
10
引言
•采用硅平面工艺制备结的主要工艺过程
SiO2
N Si N+
P Si
N+
SiO2
N Si
(g)完成光刻后去胶的晶片
(h)通过扩散(或离子注入)形成 P-N结
金属
金属
P Si N+
SiO2
N Si
P Si
金 属
(2-2-11) (2-2-12)
在注入载流子的区域,假设电中性条件完全得到满足,则少数载流子由于 被中和,不带电,通过扩散运动在电中性区中输运。这称为扩散近似。于 是稳态载流子输运满足扩散方程
。
28
2.3 理想P-N结的直流电流-电压特性
29
2.3 理想P-N结的直流电流-电压特性
理想的P-N结的基本假设及其意义
硅表面二氧化硅薄膜的生长方法: 热氧化和化学气相沉积方法。
5
•
扩散工艺:
•由于热运动,任何物质都有一种从浓度高处向浓度低 处运动,使其趋于均匀的趋势,这种现象称为扩散。 •常用扩散工艺:液态源扩散、片状源扩散、固 -固扩散、 双温区锑扩散。
•液态源扩散工艺:使保护气体(如氮气)通过含有扩 散杂质的液态源,从而携带杂质蒸汽进入高温扩散炉中。 在高温下杂质蒸汽分解,在硅片四周形成饱和蒸汽压, 杂质原子通过硅片表面向内部扩散。 6
102
101
1.0
10
VR ,V
(a)
VR ,V
(b)
图 2-6 耗尽层宽度随外加反偏压变化的实验结果与计算结果 (a) x j
1m 和(b) x j 10 m 10 20 / cm 3
半导体光电子学第2章_异质结
x1 φ1
EC1
ΔEC
Eg1
F1
EV1
ΔEV
p
图2.1-1
x2 φ2
真空能级
EC2 F2
Eg2
EV2
N
②两种材料形成异质结后应处于同一平衡系统中,因而各自的费米能 级应相同; ③画出空间电荷区(由内建电势可求空间电荷区宽度),φ值在空间 电荷区以外保持各自的值不变; ④真空能级连续与带边平行(弯曲总量为两边费米能级之差,每侧弯 曲程度由费米能级与本征费米能级之差决定,由掺杂浓度决定); ⑤而各自的χ、Eg不变。原来两种材料导带、价带位置之间的关系在 交界处不变。(即:ΔEc、ΔEv、Eg、Eg不变)
一、非平衡状态下的pn结 1、外加电压下,pn结势垒的变化及载流子的运动。
正向偏压
P-N结加正向偏压V (即P区接电源正极,N区接负极)
势垒区内载流子浓度很小,电阻很大,势垒区外的P区和N 区中载流子浓度很大,电阻很小,所以外加正向偏压基本 降落在势垒区。
正向偏压在势垒区中产生了与内建电场方向相反的电场,因而 减弱了势垒区中的电场强度,这就表明空间电荷相应减少。故 势垒区的宽度也减小,同时势垒高度从qVD下降为q(VD-V)。
这时,P-N结中有统 一的费米能级EF,P-N结 处于平衡状态,其能带图 如图所示。
能带相对移动的原因 是P-N结空间电荷区中存 在内建电场的结果。
由于整个半导体处于 平衡状态,因此在半 导体内各处的Fermi 能级是一样的。可以 看到,这时由于势垒 的存在,电子和空穴 也没有机会复合
如果一个半导体的两端加一个电压, 由于电场的作用,使得能带整体沿 着电场方向倾斜。电子和空穴的势 能也发生变化,电子势能逆着电场 方向降低,而空穴势能顺着电场方 向降低。所以电子和空穴向两个相 反方向移动。
《半导体光电子学课件》下集2.1 异质结及其能带图
③ 能带图 界面上静电场是不连续的;功函数Φ;电子 亲和势X
电子势能增加方向 真空能级 内建电场
Ec1
F
Ev1
x1
VD VDP VDN
E g1 E g 2
1
VDP
Ec
VDN
Ec 2
Ev
x1 x2
1 2
x1 E g1 x2 E g 2
Ev 2
xp
xn
④ p-n结 p- n: n型和p型样占接触在一起p- n结。 n区电子向p区扩散→n区剩下电离施主,形成带 正电荷区。 p区孔穴向n区扩散→p区剩下电离受主,形成带 负电荷区。 加正向偏压 v f 时,外加电场与内建电场方 向相反,空间电荷相应减少,势垒区宽度减少, 扩散运动超过了漂移运动 qvD q(vD v f ) , 载流子扩散运动超过了漂移运动→成为正向电流。
Ev ( Eg 2 x2 ) ( Eg1 x1 )
E g x E g E c
二.突变同型异质结
nN , pP 1.同型异质结由多数载流子相互扩散形成空间电荷区 2.同型异质结性质由多数载流子决定 3.同型异质结材料费米能级有差别 → 扩散 4. Eg: X: 不同, 能带不同 Φ: F:
x1 x2
x1
Ec1
Ev1
E g1
1
Ec
-
+
1 2
x1 E g1 x2 E g 2
1
Ev
2
+ +
Ec 2
F
Ev
Ev 2
形成结后能带
三.缓变异质结
1.能带不连续性小时,尖峰、尖谷淡化 2.在外加电场作用下,缓变结与突变结有相同的性 质, Ev场方向相反空间电荷相应减少势垒区宽度减少扩散运动超过了漂移运动区电子进入p区成为p区非平衡少数载流子
半导体pn结,异质结和异质结构PPT课件
如:五价的杂质原子(P,As)掺入四价Si后必 有一个电子成为自由电子运动在导带中,形成电子导电 类型的n型半导体。由于有较高能量的自由电子的进入导 致原来在带隙中的费米能级逐渐向上移。如果在半导体 中加入 三价的杂质原子(B),与硅的结合将有一个键 悬空,形成空穴,此空穴可以在价带中自由移动,形成 了空穴导电类型的p型半导体,由于有空穴的进入导致原 来在带隙中的费米能级逐渐向下移。
本征半导体载流子浓度ni, p i
本征半导体:
ni = pi = n =p = Eg/2KT) = A T^3/2
4.9 E15 (me mh/mo)^3/4
e^(-Eg/2KT)
T^3/2 exp(-
是温度T,禁带宽度Eg的函数,温度越高, ni越大, Eg越宽, ni越小 T为3OOK时, Si: ni = p i=1.4 E10/cm*-3
几个重要参数和概念
• 接触电位差:
由于空间电荷区存在电场,方向由N 到P,因此N区电位比P区高,用V表示,称作接 触电位差,它与半导体的类型(禁带宽度), 杂质掺杂浓度,环境温度等密切相关,一般 为0.几V到
1.几V
• 势垒高度:
在空间电荷区内电子势能为-qV, 因此电子从N区到P区必须越过这个势能高 度,该高度称作势垒高度
PN结加反向电压时,空间电荷区中的正负电荷 构成一个电容性的器件。它的电容量随外加电压 改变,反向时电容减小正向时电容增大.
半导体同质p-n结,异质结的形成
采用不同的掺杂工艺,将P型半导体与N型 半导体制作在同一块半导体上,在它们的交界面就形 成空间电荷区称PN结。
半导体物理异质结解析PPT课件
界面量子阱中二维电子气的势阱和状态密度
第14页/共30页
电子的能量:
二维电子气的状态密度
k空间原胞的面积:
k空间k-k+dk圆环的面积: E-k关系: 状态密度:
第15页/共30页
低维半导体材料及其状态密度
Bulk
QW
QD
3D
2D
0D
DD((EE))
DD((EE))
D(E)
E
• qVD = qVD1 + qVD2 = EF2 - EF1 = W1 - W2
半导体物理学
第7章 金第属4页和/半共导30体页的接触
SCNU 光电学院
4
突变反型异质结的能带特征
• n型半导体的能带弯曲量为qV2,且导带底在交界面处形成一个向
上的“尖峰”。
• p型半导体的能带弯曲量为qV1,且导带底在交界面处形成一个向
第2页/共30页
pn结的能带图
qVD E Fn EFp
第3页/共30页
突变反型异质结的能带图
• 形成异质结时电子从n型半导体流向p型半导体,空穴的流动方向相反。
• 达到平衡时,两块半导体具有统一的费米能级。
• 在异质结界面的两边形成空间电荷区,产生内建电场和附加电势能,使 空间电荷区中的能带发生弯曲。
EE
EE
Modification of density of states by confining carriers
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双异质结间的单量子阱结构
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双异质结间的单量子阱结构
势阱形状: 波函数分离变量: 波函数分离变量: 薛定谔方程:
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半导体光子学第2章
2010-8-27
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异质结的概念
同型异质结:导电类型相同的异质结 如:N-AlxGa1-xAs/n-GaAs, p-GexSi1-x/p-Si 异型异质结:导电类型不同的异质结 如:N-AlxGa1-xAs/p-GaAs, p-GexSi1-x/n-Si 异质结构 (Heterostructures): 含有异质 结的二层以上的器件结构。
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价带不连续性
依据这一分析,很容易发现异质结界面无 论是导带还是价带都会出现不连续性。导带低 和价带顶的这种不连续性分别为EC和EV:
E g = Ec + Ev = ( E g 2 E g1 )
Ec = χ1 χ 2 = χ
E v = E g E c = E g χ
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P=1.65x1017cm-3
n=1. x1018cm-3
P=1.65x1017cm-3
n=3 x1017cm-3
宽不同的单晶材料组成的晶体界面。
如: AlxGa1-xAs/GaAs, GexSi1-x/Si 材料1:Eg1,材料2:Eg2, Eg1 ≠ Eg2
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异质结的概念
突变结: 在异质结界面附近,两种材料的
半导体光电子学第二章第四章解析
j
q
n
p0 Dn Ln
pn0 Dp Lp
e
qV kT
1
真空能级 x2
EC F2
φ2
Eg2
EV
n
x3 EC
φ3
Eg3
F3 EV
P
n
真空能级
x2
φ2
F Eg2
x3
φ3
Eg3
P
二、突变同型异质结
真空能级
x1 EC
F1
φ1
Eg1
EV
N
x2
EC F2
φ2
Eg2
EV
n
N
真空能级
x1 EC
φ1
F
Eg1
n
异质结:两种禁带宽度不同的半导体材料,通
过一定的生长方法所形成的结。 半导体中是两种不同单晶半导体材料之间的晶体 界面,也可以说是由两种基本物理参数不同的半 导体单晶材料构成的晶体界面,不同的物理参数 包括Eg,功函数(φ),电子亲和势(χ),介电 常数(ε)。
同质结:由两种禁带宽度相同的半导体材料构成的
同质结:由两种禁带宽度相同的半导体材料构成
的结。
p
n
突变结:在交界面处,杂质浓度由NA(p型)突变为
ND(n型),具有这种杂质分布的p-n 结称为突变结。
缓变结:杂质浓度从p区到n区是逐渐变化的,通常称为缓变结。
空间电荷区-耗尽层
空间电荷 空间电荷区 内建电场 电势差VD
XN
XP
N
P
2.1 异质结及其能带图
第二章 异 质 结
前言:半导体同质结 2.1异质结及其能带图 2.2异质结在半导体光电子学器件中的作用 2.3异质结中的晶格匹配 2.4 对注入激光器异质结材料的要求 2.5 异质结对载流子的限制 小结
异质结
耗尽层宽度分别是 2 ε pε N N DVD xp = ⋅ , e N A (ε p N A + ε N N D ) 由上面的分析,还可以得到结电容 1 2 ε p N A + ε N ND = ⋅ ⋅ VD C 2 e ε pε N N A N D j
2 ε pε N N AVD xN = ⋅ e N D (ε p N A + ε N N D )
N AND pn n ≈ k BT ln 1 2 = k BT ln 2 ni2 n1 p1 n1
即内建电势取决于两种半导体载流子浓度的比值。具体到pN结,取 决于N型半导体中的多子(电子)与p型中的少子(电子)浓度比。
§2.3 半导体异质结
根据《半导体物理》的结论,p区和N区各自的内建电势分别是 2 eN A x 2 eN N x N p , VDN = VDp = 2ε p 2ε N 若近似认为,正负电荷在耗尽层是均匀分布的,则电中性条件为
J = e⋅ X Ln1 exp − k T ⋅ exp k T − exp − k T B B B
在正向偏置时,方括号中第一项起主要作用,反向偏置时,第二项 起主要作用。所以,在正向偏置下,有
D N eV J = e ⋅ X n1 D 2 exp − DN k T L n1 B eV ⋅ exp 2 k T B
N A x p = N D xN
于是得
VDp VDN
=
ε N ND ε pNA
该式表明,内建电势主要降落在杂质浓度较低的一侧。结合以上各 式,得到内建电势分别为
§2.3 半导体异质结
VDp =
《半导体光电子学课件》下集2.1异质结及其能带图
将异质结泡在溶液中,在合适的条件下生长形成异质结材料。
异质结效应
拉克特效应
异质结的巨拉克特效应提供了 高灵敏度和高速度的光电转换。
异பைடு நூலகம்结电阻效应
由于材料性质差异带来的电阻 变化,用于电子器件中的控制 和调节。
热电效应
利用异质结在温度梯度下产生 的热电势差实现能量转换。
异质结失效机制
惯性效应
当异质结材料无法快速响应外界变化时,会产 生失效。
通过施加电场,改变异质结的 材料电位差,形成能带结构的 变化。
外界压力作用下的形 成
外界压力对异质结材料的物理 和结构性质的影响,使能带发 生变化。
掺杂作用下的形成
通过对材料进行掺杂,引入杂 质能级,改变能带结构。
异质结应用
1 光伏电池
异质结是光伏电池的关键构件,转换太阳能 为电能。
2 激光器
异质结的能带结构和电子能级分布是激光器 实现激光输出的基础。
损耗效应
由于能带结构和电子能级的变化,异质结材料 会发生能量损耗。
串扰效应
异质结中的电场和电子状态相互影响,导致器 件性能下降。
失效测试方法
通过对异质结性能的测试和分析,判断异质结 是否失效。
总结
异质结的重要性
异质结在半导体器件中起着重要的作用,广泛应用 于光电子学领域。
展望其未来的应用
随着技术的不断发展,异质结将在能源、通信和信 息等领域有更广泛的应用。
能带结构
能带简介
能带描述了材料中电子的能量分 布情况,直接影响半导体的导电 性能。
能带在异质结中的分布
异质结中的能带分布受到材料性 质差异的影响,形成能带弯曲或 偏移。
常见异质结的能带图
半导体光电子学异质结
半导体光电子学异质结引言半导体光电子学异质结是半导体器件中的一种重要结构,其特殊的层状组合能够实现光电转换和电子输运功能的有效集成。
本文将对半导体光电子学异质结的基本原理、应用领域和未来发展方向进行详细介绍。
基本原理半导体光电子学异质结的基本原理源于不同材料间的价带和禁带差异导致的能带弯曲。
在正向偏置情况下,载流子在异质结中会因能带曲率而发生漂移,在逆向偏置时则会发生空间电荷屏蔽效应。
这些特性使得半导体光电子学异质结能够对光信号进行高效转换。
应用领域半导体光电子学异质结在光电器件中有着广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域:光伏电池光伏电池是半导体光电子学异质结最常见的应用之一。
通过将光线照射到光伏电池上,光能被转换为电能。
光伏电池的效率取决于异质结界面的设计和材料的选择。
光电探测器光电探测器利用了半导体光电子学异质结的光电转换特性,可以将光信号转换为电信号。
它们在光通信、光谱测量等领域中发挥着重要作用。
光发射器光发射器利用半导体光电子学异质结中的电流注入和复合过程,将电能转换成光能。
它们在光通信领域中被广泛应用,能够实现高速、高效的光信号传输。
光放大器光放大器是利用半导体光电子学异质结结构实现光信号放大的器件。
它们在光通信中具有重要地位,能够帮助信号在光纤中传输更远的距离。
未来发展方向半导体光电子学异质结领域仍然存在许多挑战和发展机遇。
以下是一些可能的未来发展方向:新型材料尽管现有的半导体材料已经取得了令人瞩目的成果,但仍然有许多材料可以探索。
通过研究和开发新型材料,可以进一步改善异质结的光电转换效率和稳定性。
结构优化异质结的结构优化是提高器件性能的关键。
通过精确控制界面的形貌和材料的晶格匹配,可以降低界面态和缺陷的影响,提高器件的效率和稳定性。
新型器件设计除了上述常见的应用领域,半导体光电子学异质结还有许多潜在的应用,如光存储器、光计算、光传感器等。
发展新型器件设计是推动半导体光电子学异质结前进的关键。
半导体光电子学第2章_异质结
空间电荷 空间电荷区
当扩散的载流子数等于 漂移的载流子数时,达 到了动态平衡。这时在 分界面附近形成了稳定 的正负离子区,即p-n结, 也称为空间电荷区(space charge region),或耗散 区(depletion region)。
内建电场 电势差 在整个V半D导体中,在耗散区存在
由正离子区指向负离子区的电场, 这就使得耗散区出现电势的变化, 形成p区和n区之间的电势差V0。 n区的电势大于p区的电势。因此, 对空穴来说,n区的势能大于p区 的势能,形成了一个势垒eV0,这 使得空穴只能在p区,不能到达n 区。对电子来说,p区的势能大于 n区的势能,也形成了一个势垒 eV0,使得电子只能在n区,不能 到达p区。 整个半导体的能带结构如图所示。 这个能带图是以电子能量为参照 的。
功函数φ:将一个电子从费米能级EF处转移到真空能级所 需能量。
电子亲和势χ:一个电子从导带底转移到真空能级所需的 能量。
真空能级:真空中静止电子的能量。
功函数φ
真空能级
xφ
EC
F
电子亲和势χ
Eg
真空能级Βιβλιοθήκη EVN一、p-N异质结
作能带图的步骤是: ①以同一水平线的真空能级为参考能级,根据各自的φ、 χ、Eg值画出两种半导体材料的能带图,如图2.1-1所示
当本征半导体的两边分别掺杂不 同类型的杂质时,由于浓度差的 作用,n区的多数载流子电子和p 区的多数载流子空穴分别向p区 和n区扩散。这样在p区和n区的 分界面附近,n区由于电子扩散 到p区而留下不能移动的正离子, p区由于空穴扩散到n区而留下不 能移动的负离子。这些不能移动 的正负离子在分界面附近形成一 个电场E0,称为内置电场。内置 电场的方向是从n区指向p区,阻 碍着电子和空穴的扩散,它使n 区的少数载流子空穴和p区的少 数载流子电子分别向p区和n区作 漂移运动,
半导体光电子学 §2.2 异质结在光电子器件中的应用
限制层
P
有缘层 P
限制层
N
衬底
n
电极
二.在LED中的应用
①光子在光波导效应下减少内部损耗
②表面发射LED中(表面生长透明同型异质结 钝化表面)减少表面复合
三.异质结在光电二级管探测器中的应用
提高光谱响
应范围和光 电转换效率 (带宽隙半 导体成为窄 带宽半导体 的输入窗)
吸收系数
T1
Eg1
2
光子能量
Eg2
Eg1 Eg2
§2.2 异质结在光电子器件中的应用
一.异质结在LD中的应用
1.异质结有助于载流子的注入
--
2.同型异质结 高势垒,阻挡
+
电子准基半能级
P区电子漏出 (如图)
空穴准基半能级
势垒
N
pP3.Eg∝1(折射率)n
双异质结在器件中形
成光波导效应
4.重参杂异质结作为盖 帽层与电极形成金属 接触
电极
盖帽层
P
半导体光电子学第2章异质结
半导体光电子学第2章异质结半导体光电子学是研究半导体材料光电特性及其应用的学科。
其作为现代光电子技术的基础,为光通信、光传感、光信息处理等领域的发展提供了坚实的支持。
在半导体光电子学的学习过程中,我们需要了解异质结的概念、特性及应用。
本章将对异质结进行详细阐述。
1. 异质结的概念异质结是由两种或更多种不同半导体材料相接而形成的结构。
其中,相邻两种材料的晶格常数和禁带宽度不同,导致在结面上形成电子和空穴的能带弯曲。
这种能带弯曲会导致电子和空穴的能级重组,形成“内建电场”。
异质结的概念是实现光电转换、能带调控和电子输运等重要功能的基础。
2. 异质结的特性异质结具有多种特性,下面将对其中几个重要特性进行介绍。
2.1 能带偏移由于异质结两侧材料的禁带宽度不同,电子和空穴在结面上的能带位置会发生偏移。
这种偏移可以通过外加电场和局域界面态等方式进一步调控,从而实现电子和能带的控制和调节。
2.2 冯特效应冯特效应是指异质结中带电粒子受到界面内建电场的作用,导致能带弯曲。
这种弯曲会在异质结区域形成空间电荷区,从而产生高电场效应。
冯特效应不仅可以用于增强材料的光电转换效率,还可以用于光电探测和激光调制等应用中。
2.3 谐振隧穿效应当异质结中的能带弯曲达到一定程度时,电子和空穴可以发生隧穿穿过禁带区,形成谐振隧穿效应。
该效应可以用于制备高速、低噪声的光电二极管和光电输运器件。
3. 异质结的应用异质结由于其独特的特性,被广泛应用于光电子学领域。
3.1 光电转换器件异质结被用于制备光电二极管、光电导等转换器件,用于将光信号转换为电信号或将电信号转换为光信号。
这些器件在光通信、光传感、光信息处理等领域起到重要作用。
3.2 光电检测器基于异质结的光电检测器具有高灵敏度、快速响应和宽波段等特点。
它们可以用于光电通信中的光信号接收、光传感中的光信号检测以及光学成像等领域。
3.3 光电调制器异质结可以通过冯特效应实现光的调制。
光电调制器可以用于光通信中的信号调制、光学成像中的图像增强和光信息处理中的信号调节等应用。
半导体光电子学第二章第四章
前言:半导体同质结
2.1异质结及其能带图
2.2异质结在半导体光电子学器件中的作用
2.3异质结中的晶格匹配
2.4 对注入激光器异质结材料的要求
2.5 异质结对载流子的限制
小结
前言:半导体同质结
p-n结:把一块p型半导体和一块n型半导体结合在
一起,在二者的交界面处就形成了所谓的p-n结。 同质结:由两种禁带宽度相同的半导体材料构成 的结。
p n
突变结:在交界面处,杂质浓度由NA(p型)突变为
ND(n型),具有这种杂质分布的p-n 结称为突变结。
缓变结:杂质浓度从p区到n区是逐渐变化的,通常称为缓变结
。
空间电荷区-耗尽层
空间电荷 空间电荷区 内建电能带图
异质结:两种禁带宽度不同的半导体材料,通
异质结的电流-电压特性
A1 exp[ (Ec eVDp ) kBT eVDN ] A2 exp[ ] kBT
J A2 exp[e(VDN V2 ) / k B T ] A1 exp[
(Ec (eVDp V1 )) k BT
]
J A2 exp(eVDN / kBT )[exp(eV2 / kBT ) exp(eV1 / kBT )]
4、在光电二极管探测器中,是如何利用异质结的窗口效应来提高其光 谱响应范围的?
5、异性异质结的性质是由 而同性异质结的性质则是由 决定的, 决定的。
第三节 异质结中的晶格匹配
形成理想的异质结,要求两种半导体材料在晶体 结构上应尽量相近或相同,晶格常数应尽量相同,以 前的异质结都是由晶体结构相同的半导体材料构成的 (如GaAlAs/GaAs、InGaAsP/InP都是具有闪锌矿结 构),近年来由于光电子集成(OEIC-Optoelectronic Integrated Circuit)技术的迫切需要,并考虑到硅是一 种常用来制造微电子学器件且制造与加工工艺均成熟 的材料,因此在价格便宜的硅基体上MBE和MOCVD 技术生长GaAs而构成异质结的技术正不断发展。
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势垒区电场减弱,
破坏了载流子的扩散 运动和漂移运动之间 的平衡,削弱了漂移 运动,使扩散电流大 于漂移电流。
所以在加正向偏 压时,产生了电子从N 区向P区以及空穴从P 区到N区的净扩散电流。
由于pn结阻碍多数载流子的定向移动,因此从电路性质看,它 是高阻区。如果在半导体两端有外加电压,那么电压基本上都 施加在pn结上。现在在半导体加一个电压V,p区结电源正极, n区接负极,形成正向偏置。外加电压基本上都施加在pn结上, 这也等于在pn上施加一个外加电场E。外加电场的方向与内置 电场E0的方向相反,总电场E0-E比原来的电场小了。这削弱了 电子和空穴的势垒,由原来的eV0变为e(V0-V)。同时空间电荷 区宽度变窄,由原来的w0变为w。
当本征半导体的两边分别掺杂不 同类型的杂质时,由于浓度差的 作用,n区的多数载流子电子和p 区的多数载流子空穴分别向p区 和n区扩散。这样在p区和n区的 分界面附近,n区由于电子扩散 到p区而留下不能移动的正离子, p区由于空穴扩散到n区而留下不 能移动的负离子。这些不能移动 的正负离子在分界面附近形成一 个电场E0,称为内置电场。内置 电场的方向是从n区指向p区,阻 碍着电子和空穴的扩散,它使n 区的少数载流子空穴和p区的少 数载流子电子分别向p区和n区作 漂移运动,
不论是n型或p型半导体材料,若Fermi能级都处于禁带 中。——轻掺杂半导体。 这时在外加电压作用下电子和空穴虽然也能复合产生光子, 但是由于载流子浓度有限,形成不了粒子数反转和受激辐射。 这种材料只能用于发光二极管。 为了使半导体材料在外界作用下实现粒子数反转,必须对半 导体进行重掺杂,使n型的Fermi能级处于导带中,p型的 Fermi能级处于价带中。
突变结:在交界面处,杂质浓度由NA(p型)突变为
ND(n型),具有这种杂质分布的p-n 结称为突变结。
缓变结:杂质浓度从p区到n区是逐渐变化的,通常称为缓变结。
突变结、缓变结:按照过度区空间电荷分布情况及 厚度的不同,前者厚度只有几个晶格常数大小,而 后者可达几个载流子扩散长度。
p-n结的形成过程
平衡P-N结的能带图
N型、P型半导体的能带图,图中EFn和EFp分别表示N型 和P型半导体的费米能级。 EFn高于EFp表明两种半导体中的电子填充能带的水平不同。
当两块半导体结合形成P-N结时,按照费米能级的意义 (即电子在不同能态上的填充水平),电子将从费米能级高的N 区流向费米能级低的P区,空穴则从P区流向N区。因而EFn不 断下移,而EFp不断上移,直至EFn=EFp。
这时,P-N结中有统 一的费米能级EF,P-N结 处于平衡状态,其能带图 如图所示。
能带相对移动的原因 是P-N结空间电荷区中存 在内建电场的结果。
由于整个半导体处于 平衡状态,因此在半 导体内各处的Fermi 能级是一样的。可以 看到,这时由于势垒 的存在,电子和空穴 也没有机会复合
如果一个半导体的两端加一个电压, 由于电场的作用,使得能带整体沿 着电场方向倾斜。电子和空穴的势 能也发生变化,电子势能逆着电场 方向降低,而空穴势能顺着电场方 向降低。所以电子和空穴向两个相 反方向移动。
一、非平衡状态下的pn结 1、外加电压下,pn结势垒的变化及载流子的运动。
正向偏压
P-N结加正向偏压V (即P区接电源正极,N区接负极)
势垒区内载流子浓度很小,电阻很大,势垒区外的P区和N 区中载流子浓度很大,电阻很小,所以外加正向偏压基本 降落在势垒区。
正向偏压在势垒区中产生了与内建电场方向相反的电场,因而 减弱了势垒区中的电场强度,这就表明空间电荷相应减少。故 势垒区的宽度也减小,同时势垒高度从qVD下降为q(VD-V)。
这就使得n区的电子比较容易克服势垒而扩散到p区,同时p区 的空穴也比较容易克服势垒而扩散到n区。这就使得电子和空 穴有机会复合产生光子。 当对半导体施加电压时,半导体加在pn结 上,p区和n区所受到的影响相对比较小,可以把它们看成处 于局部平衡态,各自具有Fermi能级Efp和Efn。当半导体处于 平衡状态时,Efp=Efn=Ef。当对半导体施加电压时,Efp和Efn 不相等。可以证明,Efp-Efn=eV。
空间电荷 空间电荷区
当扩散的载流子数等于 漂移的载流子数时,达 到了动态平衡。这时在 分界面附近形成了稳定 的正负离子区,即p-n结, 也称为空间电荷区(space charge region),或耗散 区(depletion region)。
内建电场 电势差 在整个V半D导体中,在耗散区存在
由正离子区指向负离子区的电场, 这就使得耗散区出现电势的变化, 形成p区和n区之间的电势差V0。 n区的电势大于p区的电势。因此, 对空穴来说,n区的势能大于p区 的势能,形成了一个势垒eV0,这 使得空穴只能在p区,不能到达n 区。对电子来说,p区的势能大于 n区的势能,也形成了一个势垒 eV0,使得电子只能在n区,不能 到达p区。 整个半导体的能带结构如图所示。 这个能带图是以电子能量为参照 的。
这时,p区有更多的 载流子空穴,n区有 更多的载流子电子。 当半导体正向偏置时, 可以证明:当Efp- Efn=eV>Eg时,就可 以实现粒子数反转。
在以上介绍的pn结半导体激光器中,p区和n区是同一种材料, 只是掺杂类型不同,因此整个半导体具有相同的禁带宽度。这 种半导体激光器存在一个缺点。当半导体激光器正向偏置时, 除了在pn结附近电子和空穴复合外,还有一部分电子越过pn 结,经过p区扩散到电源正极。同样,还有相等一部分空穴越 过pn结,经过n区扩散到电源负极。这部分电子和空穴没有复 合产生光子,被浪费掉了。这就降低了半导体激光器的发光效 率。 双异质结激光器的两边仍然是相同的材料,只是进行了不同类 型的重掺杂,它们的禁带宽度是相同的。但是在它们之间加了 一个非常薄的不同半导体材料(~0.2mm),它的禁带宽度要比 两边材料小,一般是非掺杂或轻掺杂的。在这里是p型掺杂。 这样在pn+结形成很大的势垒,使n+区的电子不能越过它到达 中间的p区和左边的p+区。同时在p区和p+区的分界面附近, 由于掺杂浓度的差别,使得p+区的价带顶高于p区的价带顶, 即在p+区的空穴势能低于p区空穴的势能。这时空穴集中在p+ 区。即在p区和p+区的分界面附近也形成一个势垒,但这个势 垒的高度比pn+结势垒高度小得多。