电子工厂高级别洁净室的建造
超洁净室的设计与建造
超洁净室的设计与建造随着科技的发展和工业化的加速,越来越多的行业需要使用超洁净室。
超洁净室是指室内空气经过过滤处理,以达到去除细微颗粒、微生物等有害物质的级别,使室内空气洁净度达到极高水平的特殊空间。
超洁净室不仅应用于半导体、光电、食品制造等行业,还涉及生物制药、医疗设备等领域。
本文将介绍超洁净室的设计与建造。
一、超洁净室设计的要点1. 环境要求:洁净室的设计需要考虑它所处的环境条件,如温湿度、照明、地面等等,这些环境因素将影响空气纯度。
同时,在室内加装设备、管路、人员等也会影响室内环境,必须保证环境的稳定性。
2. 通风系统:通风系统是洁净室的核心部分,它是控制室内污染物质的关键。
通风系统需要有恰当的过滤器,严密的密封体系和稳定的负压,确保洁净室室内的空气新鲜清洁。
3. 空气洁净度:洁净度是洁净室的核心指标之一,它直接影响到室内的产品品质。
空气洁净度有几个标准级别,最常见的是ISO14644标准,其中级别越高,空气中的污染物浓度越低。
4. 前处理和后处理:为了清除污染物,需要进行前处理,如空气过滤器、防护系统、隔离区。
另一方面,也需要进行后处理,以确保污染物不会从洁净室中传播到其他地方。
二、超洁净室建造的要点1. 建造标准:建造超洁净室需要遵循标准,如严格控制建造过程中的防尘措施、确保建筑材料不会产生污染物。
在建造过程中,需要进行严格的质量控制,确保洁净室的各项指标可以达到预定要求。
2. 区域划分:超洁净室的区域划分需要根据不同的工艺要求进行, 建议采用柔性隔墙和活动空气幕实现各区域的分隔,空气幕的用途是阻挡室内外空气的相互传递,控制室内空气质量,避免二次污染。
3. 建筑材料:超洁净室建筑材料的选择应做到非常严谨,尽可能避免添加对室内环境有害的添加剂,还应考虑到材料的易清洗性,方便维护,减少二次污染的可能性。
4. 建筑照明:由于超洁净室进入人员的数量需要控制,因此在室内照明要明暗适应,照明器具应尽量采用LED灯具等低温节能型的产品,避免产生过多的热量,影响室内空气质量。
电子企业洁净室工程施工
电子企业洁净室工程施工随着电子行业的飞速发展,对洁净室工程的要求也越来越高。
洁净室工程是电子企业生产过程中至关重要的一环,它直接影响到产品的质量和产量。
本文将从洁净室工程施工的几个关键方面进行详细介绍。
一、洁净室的设计与规划洁净室的设计与规划是洁净室工程的基础。
在设计过程中,需要充分考虑企业的生产需求、产品特点和生产规模等因素。
首先,洁净室的面积应根据生产设备的尺寸和生产流程进行合理规划,确保生产过程的顺畅进行。
其次,洁净室内的布局应合理,设备摆放、管道布局和通风系统的设计都要考虑到生产效率和人员操作的便利性。
此外,洁净室的设计还要考虑到未来的扩展和升级,留有足够的空间和接口。
二、洁净室的材料选择洁净室的材料选择对保证洁净室的环境至关重要。
墙面和天花板应选择易清洁、抗菌防霉、不释放有害气体的材料,如不锈钢板、PVC板等。
地面通常采用环氧自流平地坪,具备防静电、耐磨损、易清洁等特点。
适合车间环境的材料选择能够降低细菌滋生和灰尘积累的风险,确保洁净室的洁净度。
三、洁净室的通风系统洁净室的通风系统是保证洁净室环境的关键。
通风系统的设计应确保车间内的空气质量,及时排除产生的尘埃和有害气体。
根据车间使用需求,通风系统应配备高效空气过滤器、洁净工作台、负压隔离器等设备。
同时,通风系统的设计还要考虑到节能和环保,合理配置风量和风速,减少能源消耗。
四、洁净室的设备与设施配置洁净室内需要安装各种设备和设施,以满足生产需求。
常见的设备包括洁净工作台、自动化设备、检测设备等。
这些设备的选型和安装应根据产品的特点和生产工艺进行。
此外,洁净室还应配备相应的检测设备和仪器,以确保车间内环境的洁净度和工作效率。
五、洁净室的施工管理与质量验收洁净室的施工管理对保证工程质量至关重要。
在施工过程中,应严格按照设计要求进行施工,确保材料安装的质量和工艺的合理性。
施工完成后,应进行专业的洁净度检测和质量验收,确保洁净室的环境达到设计要求。
电子工业洁净厂房设计规范
《电子工业洁净厂房设计规范》3.2.5 单向流和混合流洁净室(区)的的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
4.3.31 按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。
5.5.6 洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定:1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统;2 对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时,应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分;3 传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。
氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。
6.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内,净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。
不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置,应符合下列规定;1 每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定2 安全出口应分散布置,并应设有明显的疏散标志;安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
安全疏散用门应向疏散方向开启,并应设观察玻璃窗;3 丙类生产的电子工业洁净厂房,在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后,安全疏散距离可按工艺需要确定,但不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。
注:对于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD厂房,且洁净生产区人员密度小于0.02人/㎡,其疏散距离应按工艺需要确定,但不得大于120m。
电子工厂高级别洁净室的建造
电子工厂高级别洁净室的建造文件2017年版本电子工厂高级别洁净室的建造特点一、高级别洁净室在电子工厂中的应用本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高(ISO-2、3、4、5级),生产环境温湿度的精确度高,其他一些环境参数,例如:静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室。
这类面积大、环境参数要求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中,如:大规模集成电路(LE1)、超大规模集成电路(VLS1)等微电子产业的电子工厂以及彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD);发光二极管(LED)以及等离子技术(PDP)等光电子产业的电子工厂之中。
当今世界,微电子和光电子产业已成为一个国家、一个地区国民经济和科学技术发展的基础和平台,也是衡量一个国家和地区经济发展和科学技术水平的重要标志。
发达国家(美国、日本、以及欧洲各国)都极为重视,纷纷投入大量的人力、物力、财力进行开发、研究和生产。
我国在“十五”规划中夜明确指出“重点发展集成电路、新型元件、器件、计算机和通信设备。
”争取用10~15年的时间,把我国建设成为世界电子信息产业的强国。
以超大规模集成电路为代表的微电子产业,在今后的十年中全世界年平均增长率高达15%。
到2010年全世界微电子产品的销售额将高达6000~8000亿美元。
到那时我国将成为全球第二大半导体市场。
而光电子是继微电子技术之后近十年内迅速崛起的新兴高科技产业,它是集固体物理、导体光学、材料力学、微细加工和微电子技术为一体,是微电子技术和光电子技术的结合和扩展。
光电子产业以液晶显示器(LCD)、等离子技术(PDP)和发光二极管(LED)为代表,尤其是彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)它是微电子技术与透射式彩色液晶显示器技术的完美结合。
它对生产环境的参数,原材料的纯度以及生产设备和技术都等同甚至超过大规模集成电路的生产要求。
到2010年以光电子产业为代表的信息产品的总产值将突破50000亿美元。
高洁净电子厂房华夫板施工工法(2)
高洁净电子厂房华夫板施工工法高洁净电子厂房华夫板施工工法一、前言高洁净电子厂房华夫板施工工法是一种常用于电子厂房建设的施工工艺,在工程实践中已经得到验证并广泛应用。
本文将对该工法的特点、适应范围、工艺原理、施工工艺、劳动组织、机具设备、质量控制、安全措施和经济技术分析进行详细介绍,并提供一个实际工程实例。
二、工法特点1. 高洁净电子厂房华夫板施工工法的最大特点是施工速度快、效率高。
采用该工法可以缩短施工周期,降低项目成本。
2. 该工法具有较高的施工质量和建筑密封性能,可以有效隔离外界环境对电子设备的污染。
3. 工法灵活性强,适用于各类洁净度要求不同的电子厂房建设。
三、适应范围高洁净电子厂房华夫板施工工法适用于晶圆制造、半导体生产、光学仪器制造等对净化环境要求较高的工业领域。
也适用于类似环境,如食品加工厂、医药制造厂等。
四、工艺原理高洁净电子厂房华夫板施工工法采用先进的强化混凝土结构技术,通过合理的布置与施工工艺,实现了精确的线路布线、设备安装,以及电子设备的高洁净度要求。
同时,该工法采取特殊材料,提供了良好的保湿、保温、隔音和防火性能,以满足高洁净电子厂房对环境要求的需要。
五、施工工艺1. 地基处理:根据设计要求,进行地基处理,保证施工基础的平整度和承载力。
2. 华夫板浇筑:按照设计标高和布置要求,进行华夫板的浇筑,确保其平整度和强度。
3. 强化混凝土结构施工:在华夫板浇筑完成后,进行强化混凝土结构的施工,包括柱、梁、板等。
4. 外围墙体和隔墙施工:根据设计要求,进行外围墙体和隔墙的施工,同时进行电缆沟槽和排水系统的安装。
5. 设备安装:在施工过程中,进行电子设备的安装,包括线路布线、设备支架安装等。
6.各类设备检测与调试:所有设备完成安装后,进行各类设备的检测与调试,确保其工作正常。
六、劳动组织在高洁净电子厂房华夫板施工工法中,需要合理组织施工人员,包括项目经理、施工队长、技术人员、操作工等,并确保提供足够的劳动力和机具设备。
电子工厂施工要求与洁净室建设规范
电子工厂施工要求与洁净室建设规范在现代社会中,电子工厂已成为一个不可或缺的产业。
随着科技的不断进步,电子产品的需求也越来越大,因此电子工厂的建设变得尤为重要。
而在电子工厂的建设中,洁净室的建设更是必不可少的一部分。
洁净室的建设规范对于电子产品的生产过程起到至关重要的作用。
首先,电子工厂的施工要求是非常严格的。
由于电子产品的生产对环境要求极高,因此在建设电子工厂时需要遵守一系列的规定和标准。
例如,建筑材料必须符合环保标准,以减少对工作人员和产品的污染。
此外,施工过程中需要严格控制噪音和振动,以保证生产设备的正常运行。
此外,工程质量也是电子工厂施工不可或缺的一部分,所有的施工和安装必须符合相关的施工标准,并经过严格的验收。
其次,洁净室的建设规范对于电子产品的生产至关重要。
洁净室是为了保证产品的质量而建立的一个封闭环境,内部的空气质量必须达到特定的标准。
在建设洁净室时,首先要选择合适的建筑材料和设备,以保证空气的净化效果。
其次,必须严格控制洁净室内外的空气流动和温度湿度等参数,以避免异物和污染物进入洁净室。
此外,洁净室的清洁和维护也是至关重要的。
洁净室内的清洁工作要定期进行,以确保洁净度的稳定。
电子工厂的建设和洁净室的建设离不开科技的支持。
随着科技的不断进步,洁净室的建设也在不断改进。
比如,现在很多洁净室都采用了自动化控制系统,可以实时监测和调节洁净室的空气质量和温湿度等参数。
此外,一些新型的过滤器和净化设备也被广泛应用于洁净室的建设中,以提高洁净室的净化效果。
未来,随着科技的不断发展,电子工厂的建设和洁净室的构建将会进一步完善。
对于电子工厂来说,除了保持洁净室的建设规范外,还需要不断引进新的技术和设备,以提高生产效率和产品质量。
同时,电子工厂也应该关注环境保护,减少对环境的污染。
总之,电子工厂施工要求与洁净室建设规范是电子产品生产过程中的重要环节。
通过严格遵守施工要求和建设规范,可以保证电子产品的生产过程达到高质量的标准。
电子厂洁净车间施工方案
电子厂洁净车间施工方案一、施工准备项目团队组建:组建由项目经理、技术负责人、质量安全负责人、各专业施工人员组成的施工团队。
技术交底:对施工团队进行洁净车间施工的技术要求、规范、标准等方面的交底。
材料采购:按照设计方案和施工要求,提前采购所需的墙体、地面、通风、空调、电气等材料,确保材料质量和性能符合洁净车间标准。
施工现场准备:确保施工现场清洁、平整,设置必要的施工标志和警示标识。
二、空间布局设计功能区域划分:根据电子厂的生产工艺流程,合理划分洁净区、准洁净区和非洁净区。
物流路径规划:设计合理的物料进出、产品转运路径,减少交叉污染的可能性。
人流路径规划:规划员工进出、更衣、洗手等流线,确保人员流动不干扰生产环境。
三、墙体、地面建设墙体材料选择:选用抗静电、易清洁、不易积尘的墙体材料,如彩钢板、不锈钢板等。
地面材料选择:采用环氧自流平、PVC地板等抗静电、耐磨、易清洁的地面材料。
施工要求:墙体、地面施工要平整、无裂缝、无死角,确保密封性和清洁性。
四、通风系统设计风量计算:根据洁净车间的面积、高度、洁净度等级等因素,计算所需的新风量、排风量。
风口布置:合理布置送风口、回风口、排风口,确保空气流通均匀、无死角。
过滤器选择:选用高效过滤器,确保空气中的尘埃粒子得到有效过滤。
五、空调系统设计温湿度控制:根据生产工艺要求,设计合理的温湿度控制系统,确保生产环境稳定。
洁净度控制:通过设置空气洁净度控制系统,保持车间内的洁净度符合生产要求。
节能措施:采用变频技术、智能控制等节能措施,降低空调系统的能耗。
六、电气系统施工照明设计:选用高效节能、无频闪的照明设备,确保车间内光照充足、均匀。
动力配电:根据生产设备的用电需求,合理设计动力配电系统,确保供电稳定、安全。
防雷接地:按照电气安全要求,进行防雷接地处理,确保电气系统安全可靠。
七、设备调试与验收设备调试:对洁净车间的通风、空调、电气等系统进行调试,确保各系统运行正常、协调。
电子厂洁净棚设计方案
电子厂洁净棚设计方案随着电子行业的发展,对洁净度要求越来越高,洁净棚成为电子厂的重要组成部分。
以下是一个针对电子厂洁净棚的设计方案。
1. 洁净棚的位置选择洁净棚应尽量远离生产车间入口和出口,避免尘埃和其他污染源进入。
同时,应尽量避免阳光直射,以减少温度波动。
2. 洁净棚的结构选择洁净棚应采用金属结构,如铝合金或不锈钢,以便清洁和消毒。
墙壁和天花板应封闭严密,没有裂缝或缝隙,以防污染物进入。
3. 洁净棚的通风系统洁净棚的通风系统应有效过滤空气中的颗粒物和微生物,并保持恒定的温湿度。
可以安装高效过滤器和风机,通过定期更换和清洗过滤器来确保空气的质量。
4. 洁净棚的照明系统洁净棚的照明系统应使用无尘灯具,以减少灰尘的产生。
灯光应均匀分布,避免出现阴影区域。
5. 洁净棚的地板选择洁净棚的地板应选择防静电地板或地毯,以防止静电的产生。
地板的表面应光滑易清洁,不易积累灰尘和污垢。
6. 洁净棚的装备和设备洁净棚内的所有装备和设备应易于清洁和消毒,并符合洁净棚的使用要求。
设备的遮盖应符合洁净度要求,并定期进行检查和维护。
7. 洁净棚的进出口洁净棚的进出口应配备空气帘,以防止室外空气和粉尘进入。
同时,应设立压差控制系统,确保洁净棚内外的压差符合要求。
8. 洁净棚的清洁和消毒洁净棚的清洁和消毒应定期进行,保持洁净棚的洁净度。
清洁和消毒工作应由专业的清洁人员负责,并记录相关数据。
总结起来,电子厂洁净棚设计方案应考虑到洁净度要求、通风系统、照明系统、地板选择、装备和设备、进出口控制、以及清洁和消毒等方面。
通过合理的设计和管理,可以确保洁净棚的洁净度和生产环境的质量,提高电子产品的质量和可靠性。
电子厂房洁净工程方案
电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展,电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。
而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。
因此,洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。
本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。
一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段,将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。
在电子厂房中,洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入,保证生产环境的洁净度,提高生产效率和产品质量。
在实际应用中,洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。
二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定:洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定,保证生产环境的洁净度和安全性。
2.合理布局:根据生产流程和工艺要求,合理布局洁净室和洁净设备,保证生产流畅不受影响。
3.选材节能:选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备,提高能源利用效率。
4.可维护性:洁净设备应容易维护和清洁,保证设备正常运转。
5.系统集成:各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成,保证整个洁净工程系统的协调运行。
三、洁净工程方案设计1.洁净室设计(1)洁净室分类:根据生产需求和洁净度要求,电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。
(2)洁净室布局:根据生产流程和工艺要求,合理设置洁净室的位置和大小,保证生产流畅。
(3)洁净室装修:使用符合洁净环境标准的建筑材料,进行合理的装修设计,保证洁净室的洁净度和安全性。
2.空调系统设计(1)空调系统选型:根据洁净室的面积和洁净度要求,选择适合的空调设备,保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。
(2)空调系统布局:合理设置空调设备的位置和数量,进行合理布局,保证整个厂房内的空气流通和循环。
(3)空调系统调节:对空调系统进行定期调节和维护,保持系统的高效运行,保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。
3.过滤器设计(1)过滤器选择:根据生产环境和洁净度要求,选择适合的过滤器类型和规格,保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。
电子企业洁净室工程施工
电子企业洁净室工程施工一、洁净室工程的定义洁净室是一种具有一定洁净度和温湿度条件的空间环境,用于保护特定产品或工艺免受微粒、细菌、霉菌和病毒等有害物质的影响。
在电子企业中,洁净室被广泛应用于半导体生产、医疗器械制造、光学仪器生产等领域。
洁净室工程施工是指在空旷的建筑内部构筑微环境控制系统,同时保证其外观、气密性、洁净度等建筑物的问题。
二、洁净室工程的施工流程1.前期准备阶段在开始洁净室工程施工前,首先需要完成施工图纸设计、招投标和合同签订等工作。
然后进行洁净室布局方案的确定、原材料的采购以及施工人员的招募和培训等准备工作。
2.施工准备阶段施工准备阶段是洁净室工程施工的重要阶段,包括场地测量、基础准备、设备进场和安装等工作。
需要按照施工图纸进行施工,并确保施工现场的安全和整洁。
3.主体施工阶段主体施工阶段是洁净室工程施工的重点阶段,主要包括墙体、天花板、地面、空调系统等各项工程的施工。
施工过程中需要严格按照施工图纸和相关规范进行施工,确保施工质量和工期。
4.设备调试阶段设备调试阶段是洁净室工程施工的最后阶段,主要是对洁净室内的设备进行调试和验收。
调试完成后,需要进行洁净室的空气洁净度测试,并对洁净室进行清洁和消毒。
5.竣工验收阶段在洁净室工程施工完成后,需要进行竣工验收。
竣工验收是对整个工程的施工质量、工程造价、工程环境、安全卫生等方面进行检查,确保洁净室工程符合相关标准和规范。
三、洁净室工程的施工技术1.洁净室墙体施工技术洁净室墙体是保持洁净室内部洁净度的重要构件,其施工技术包括选材、砌筑、抹灰、涂料等。
需要选择符合洁净室要求的墙体材料,确保墙体的平整度和密封性。
2.洁净室天花板施工技术洁净室天花板是保持洁净室内部洁净度的重要构件,其施工技术包括选材、安装、拆卸等。
需要选择符合洁净室要求的天花板材料,确保天花板的平整度和耐久性。
3.洁净室地面施工技术洁净室地面是保持洁净室内部洁净度的重要构件,其施工技术包括选材、施工、养护等。
电子厂房洁净工程施工设计
电子厂房洁净工程施工设计一、引言随着科技的不断发展和进步,电子行业成为了现代社会中不可或缺的重要产业之一。
电子产品的生产需要在洁净的环境中进行,以确保产品的质量和性能。
因此,电子厂房的洁净工程设计和施工显得尤为重要。
本文将对电子厂房洁净工程的施工设计进行详细的介绍。
二、洁净工程的意义1. 提高产品质量:电子产品制造需要在洁净环境中进行,可以降低产品的损坏率,提高产品的质量。
2. 减少污染:洁净工程可以减少外界环境对生产过程的污染,确保产品的卫生和安全。
3. 保护员工健康:洁净工程可以减少员工受到有害微粒和细菌的侵害,保护员工的健康。
4. 提高生产效率:洁净工程可以减少生产过程中的干扰,提高生产效率。
5. 降低成本:洁净工程可以减少产品的损坏率,节约生产成本。
三、洁净工程的施工设计1. 空气净化系统(1)净化设备选型:根据电子产品生产的需求确定净化设备的类型和规格,如高效过滤器、静电除尘器等。
(2)排风系统设计:设计合理的排风系统,控制空气流速和压差,确保空气净化的效果。
(3)空气循环系统设计:设计有效的空气循环系统,确保空气流通畅通,保证洁净度。
2. 地面铺设(1)地面铺设材料选用:选择抗静电、防尘、易清洁的地面材料进行铺设,如PVC地板、地板涂料等。
(2)地面设计规划:设计合理的地面布局,确保从工作区域到入口区域的地面一致性,避免外界环境的污染。
3. 墙壁装修(1)壁面材料选用:选择抗静电、防尘、易清洁的壁面材料进行装修,如PVC板、玻璃钢板等。
(2)壁面设计规划:设计合理的壁面布局,避免墙壁表面有裂缝和凹凸,确保墙壁的洁净度。
4. 照明系统设计(1)照明设备选型:选择符合洁净工程要求的照明设备,确保光照强度和光照均匀性。
(2)照明系统布局:设计合理的照明系统布局,避免遮挡物对照明的影响,确保工作区域的照明效果。
5. 管道和设备安装(1)管道材料选用:选择耐腐蚀、易清洁的管道材料进行安装,确保管道的洁净度。
电子厂房洁净工程施工
电子厂房洁净工程施工一、概况随着电子产业的快速发展,电子厂房洁净工程已经成为厂房建设中的重要部分。
洁净工程是为了保证电子产品制造中的洁净生产环境而设计的特殊工程。
电子厂房洁净工程的施工不仅涉及到基础设施建设,还需要精密的空气净化设备、无尘工艺、安全防护设施等,因此需要高度专业化的施工队伍和严格的施工流程。
二、洁净工程施工流程1. 立项准备在进行洁净工程施工之前,首先需要进行立项准备工作。
这包括对施工现场的勘察和评估,确定施工设备和材料的采购计划,以及制定洁净工程施工方案和进度计划。
2. 施工准备在施工现场确定后,施工队伍需要进行施工准备工作。
这包括对现场进行安全和环保等方面的评估,然后制定相应的安全和环保措施并组织实施。
同时需要对施工现场进行清理和平整,为后续的施工作好准备。
3. 基础设施建设洁净工程的基础设施建设是整个施工的起步阶段。
这包括地面的平整、地下管道的敷设、电力和水暖设施的安装等。
这些基础设施的建设需要高度的精密度和专业技术,因为它们将影响到后续洁净工程设备的安装和运行。
4. 洁净设备安装洁净工程中最重要的部分就是洁净设备的安装。
这些设备包括空气净化设备、无尘工艺设备、空调设备等。
在进行这些设备的安装过程中,施工队伍需要严格遵守设备安装规范和技术标准,确保设备的正常运行和高效工作。
5. 空气净化空气净化是洁净工程的核心部分。
在电子生产过程中,需要将空气中的尘埃、细菌和有害气体去除,以确保产品的质量和员工的健康。
因此,施工队伍需要对空气净化系统进行精密调试和运行,并进行相关的管路调试和连接工作。
6. 洁净房间建设洁净房间是电子厂房中的关键部分,它对产品质量和生产效率有着重要的影响。
在洁净工程施工过程中,需要对洁净房间进行布局设计和装修工程,包括墙面、地面、天花板的装修和空调设备、净化设备的安装。
同时还需要进行空气检测和调节,确保洁净房间的正常运行和稳定运转。
7. 安全防护设施建设在洁净工程的施工过程中,安全防护设施的建设是至关重要的。
标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
1、电子工厂洁净厂房特点
表 25 集成电路芯片(64M)生产过程部分化学品的质量要求
化学品种类
H3PO4 HCl H2SO4 H2O2 NH4OH
HNO3 49%HF 5%HF 1%HF
微粒(PC/CC)
0.1μ m
0.2μ m
<40
<20
<30
<20
<20
<10
<20
<10
<20
<10
<30
<20
2、章节内容安排
附录A 各类电子产品生产对洁净度等级的要求 附录B 电子产品生产间/工序火灾危险性分类举例 附录C 一些精密设备、仪器仪表的允许振动值 附录D 洁净室(区)性能测试和认证 本规范用词说明 附:条文说明
3、强制性条文等介绍
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工 业洁净厂房设计。
位置
上海 上海 成都 上海 苏州 重庆 浙江
北京 上海 昆山 深圳 台湾 上海 北京 日本
状况
生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 建设中 生产运行
生产运行 生产运行
试生产 正在建设 生产运行 正筹建 正筹建 生产运行
规格 (㎜) 300(12") 300(12") 200(8") 200(8") 200(8") 200(8") 150(6")
12、电气设计 12.1 配电 12.2 照明 12.3 通信及安全保护装置 12.4 自动控制 12.5 接地
13、防静电与接地设计 13.1 一般规定 13.2 防静电措施 13.3 防静电接地
14、噪声控制 14.1 一般规定 14.2 噪声控制设计
大型电子洁净厂房建筑设计分析
大型电子洁净厂房建筑设计分析发布时间:2022-11-03T05:09:21.281Z 来源:《工程建设标准化》2022年第12期第6月作者:茅琳璐[导读] 建筑行业一直都是一个国家发展当中最为重要的行业之一,不仅仅是电子产品的投入使用茅琳璐中国电子系统工程第二建设有限公司江苏省无锡市 214000摘要:建筑行业一直都是一个国家发展当中最为重要的行业之一,不仅仅是电子产品的投入使用,同时建筑行业本身的智能建筑也发展迅速,大型电子洁净厂房是现如今最常见的建筑之一,电子产品的使用逐渐普及,同时其发展的方向也开始向着高清、轻薄的方向发展,这也使得电子产品的生产难度有所上升,而为了更好地保证电子产品的最终生产效率,我们就需要对电子洁净性以及科学性进行完善。
本文当中就将探讨大型电子洁净厂房当中的建筑设计,以及相关的特点分析。
关键词:电子洁净厂房;建筑设计;特点分析引言:电子产品的生产工艺在近几年来的发展速度极快,往往一两年当中就会出现多次的迭代升级,而这快速的发展所带来的就是电子产品的轻量化以及精密化,而这种情况下电子产品的生产难度有所提升,而为了更好地保证生产的效率和生产质量,洁净厂房生产是必不可少的,洁净厂房能够以最快的速度进行电子元件的生产,其中重点生产对象就是纳米级的集成电路,像是TFT-LCD生产,现如今我国多个厂家已经开展了第五、第六代的生产线,以此来最大程度上的提升电子产品的生产效率和质量。
下文当中我们就将详细的探讨,大型电子洁净厂房的建筑设计,以及相应的特点和共性。
一、电子洁净厂房以及其设计思想(一)电子洁净厂房大型电子洁净厂房实际上指的是在一定空间范围内,对空气当中的有害气体、微粒子以及细菌等可能对电子产品的原件产生影响的物质排除在厂房车间之外,同时洁净厂房本身的温度、湿度和压力等数值也需要根据生产要求进行控制和调整。
而这一目的就是为了最大程度上降低外界生产环境对电子元件造成的影响。
同时在电子洁净厂房的设计过程当中我们需要应对厂区室外的噪音以及灰尘进行处理,保证洁净厂房内部不会出现灰尘。
标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
空气洁净等级与温湿度
总结词
根据产品生产要求,确定不同区域所需的空气洁净等级,并确保温湿度满足工艺要求。
详细描述
在电子工厂洁净厂房设计中,首先需要根据产品生产的要求确定不同区域所需的空气洁 净等级,如百级、千级、万级等。同时,为了确保生产过程的顺利进行,温湿度也需要 满足一定的工艺要求。因此,在设计中需要充分考虑空气洁净等级与温湿度的关系,确
维护与保养
定期对工艺设备进行维护和保养,延长设备使用寿命,提高设备运 行效率。
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便于操作维修
设备的布置应便于操作和 维护,提高设备的使用寿 命和生产效率。
电子工厂洁净厂房建筑结构
03
要求
建筑结构形式
01 主体结构
应采用钢筋混凝土框架结构或钢结构,确保厂房 的稳定性和抗震性能。
02 楼面承载能力
根据生产设备和工艺需求,确定楼面的承载能力, 确保设备正常运行和人员安全。
03 柱网布置
电子工厂洁净厂房给水排水
05
设计
给水系统设计
总结词
满足生产、生活和消防的用水需求
详细描述
根据电子工厂洁净厂房的生产、生活和消防的用水需求,设计合理的给水系统,包括水源选择、给水管网布置、 水压和水量等参数的确定。
排水系统设计
总结词
确保废水有效收集与处理
详细描述
针对电子工厂洁净厂房的排水需求,设计合理的 排水系统,包括废水收集、处理和排放等环节, 确保废水得在满足生产工艺要求的前提下,应尽量采用高效 节能的技术和设备,降低能耗,提高能源利用效 率。
03 安全环保
厂房设计应充分考虑安全和环保因素,采取有效 的安全防护措施,确保生产安全;同时,应采取 环保措施,减少对环境的污染。
电子厂房洁净工程施工设计
电子厂房洁净工程施工设计随着科技的飞速发展,电子产品对生产环境的要求越来越高。
电子厂房洁净工程作为生产高质量电子产品的关键环节,其施工设计显得尤为重要。
本文将详细介绍电子厂房洁净工程施工设计的主要内容。
一、洁净室的基本概念洁净室是一种高度洁净、无尘、无菌、无污染的生产环境。
洁净室工程旨在为电子产品生产提供一个良好的环境,确保产品质量和可靠性。
洁净室的主要特点是空气质量高,尘埃、细菌、霉菌等污染物得到有效控制。
二、洁净室的等级划分根据国家相关标准,洁净室分为若干等级,主要根据空气洁净度、尘埃粒子数量和大小、微生物含量等指标进行划分。
电子厂房洁净工程应根据生产产品的质量和要求,合理选择洁净室等级。
三、洁净室的设计原则1. 合理布局:根据生产流程和设备需求,合理规划洁净室的空间布局,确保生产过程顺畅,同时避免污染和交叉感染。
2. 优质材料:选择符合洁净室要求的建筑材料,如防静电、防尘、易清洁的地面和墙面材料。
3. 空气流动:合理设计空气流动方式,确保洁净室内部空气质量。
通常采用层流或局部层流方式,通过空气过滤和送风系统来保持空气洁净。
4. 温湿度控制:根据生产需求,设计合适的温湿度控制系统,确保洁净室内部温度和湿度稳定。
5. 洁净设备:选择符合洁净室要求的设备,如高效过滤器、送风系统、排风系统等。
6. 细节处理:注意洁净室的细节处理,如照明、通风、消防等设施的设计。
四、洁净室的施工要点1. 施工顺序:按照洁净室施工图,先进行地面、墙面、天花板的施工,然后进行通风、照明、消防等设施的安装。
2. 材料验收:对施工所用的材料进行严格验收,确保材料符合洁净室要求。
3. 施工质量:严格把控施工质量,确保洁净室的施工质量达到设计要求。
4. 施工安全:加强施工现场的安全管理,确保施工过程中的人员和设备安全。
五、总结电子厂房洁净工程施工设计是确保电子产品质量的关键环节。
通过合理布局、优质材料、空气流动设计、温湿度控制等手段,为电子产品生产提供一个洁净、无尘、无菌的生产环境。
电子工厂高级别洁净室的建造
电子工厂高级别洁净室的建造文件电子工厂高级别洁净室的建造特点1、高级别洁净室在电子工厂中的应用本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高(ISO-2、3、4、5 级),生产环境温湿度的精确度高,其他一些环境参数,例如:静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室。
这类面积大、环境参数要求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中,如:大规模集成电路(LE1)、超大规模集成电路(VLS1)等微电子产业的电子工厂以及彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD); 发光二极管(LED)以及等离子技术(PDP)等光电子产业的电子工厂之中。
当今世界,微电子和光电子产业已成为一个国家、一个地区国民经济和科学技术发展的基础和平台,也是衡量一个国家和地区经济发展和科学技术水平的重要标志。
发达国家(美国、日本、以及欧洲各国)都极为重视,纷纷投入大量的人力、物力、财力进行开发、研究和生产。
我国在“十五”规划中夜明确指出“重点发展集成电路、新型元件、器件、计算机和通信设备。
”争取用10~15 年的时间,把我国建设成为世界电子信息产业的强国。
以超大规模集成电路为代表的微电子产业,在今后的十年中全世界年平均增长率高达15%。
到2010 年全世界微电子产品的销售额将高达6000~8000 亿美元。
到那时我国将成为全球第二大半导体市场。
而光电子是继微电子技术之后近十年内迅速崛起的新兴高科技产业,它是集固体物理、导体光学、材料力学、微细加工和微电子技术为一体,是微电子技术和光电子技术的结合和扩展。
光电子产业以液晶显示器(LCD)、等离子技术(PDP)和发光二极管(LED)为代表,尤其是彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)它是微电子技术与透射式彩色液晶显示器技术的完美结合。
它对生产环境的参数,原材料的纯度以及生产设备和技术都等同甚至超过大规模集成电路的生产要求。
到2010 年以光电子产业为代表的信息产品的总产值将突破50000 亿美元。
电子洁净厂房建设设计方案
电子洁净厂房建设设计方案1. 引言本文档旨在提供一份关于电子洁净厂房建设设计方案的综合性指南。
电子洁净厂房是为了满足电子行业对洁净环境的要求而设计的专用场所,以确保在制造和处理电子产品时的高度洁净和无尘环境。
本方案将详细介绍电子洁净厂房的必要性、设计原则、空气处理系统、洁净室分类和布局等关键要点。
2. 电子洁净厂房的必要性电子洁净厂房在电子行业中的应用越来越广泛,原因如下:- 确保电子产品制造和处理中的高质量和可靠性;- 防止灰尘和污染物对电子产品的损害;- 降低产品制造过程中的次品率;- 提高产品的性能和寿命。
3. 设计原则在设计电子洁净厂房时,应遵循以下原则:- 最小化外部环境对洁净室的影响;- 构建合适的空气处理系统以维持洁净室的洁净度;- 合理选择洁净室的材料和设备;- 优化洁净室的空间布局。
4. 空气处理系统电子洁净厂房的空气处理系统是保持洁净度的关键。
以下是一个典型的空气处理系统的组成部分:- 高效过滤器:用于过滤空气中的颗粒物;- 风机和风道:用于循环和分配洁净空气;- 温湿度控制系统:维持洁净室的恒温恒湿;- 排风系统:排除洁净室内产生的污染物。
5. 洁净室分类和布局根据对洁净度要求的不同,洁净室可以分为多个等级。
洁净室的布局应根据工艺流程和设备要求来进行规划,以最大程度地提高生产效率和洁净度。
以下是常见的洁净室布局类型:- 直线流洁净室布局:适用于工艺流程简单、生产线直线排布的场景;- U型流洁净室布局:适用于中等复杂度的工艺流程,以U字形布局提高生产效率;- 列流洁净室布局:适用于对生产线的高洁净度要求,要求空气流向保持直线排布。
结论电子洁净厂房的建设设计是确保电子产品质量和可靠性的重要环节。
通过遵循设计原则、合理构建空气处理系统、精心规划洁净室布局,可以实现洁净环境下的高效电子产品制造和处理。
本文档提供了一个综合性的建设设计方案指南,可供参考和实施。
电装洁净间建设需求
电装洁净间建设需求
1.平面由工艺决定。
电子工业清洁车间的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性,满足产品生产工艺改造和生产规模扩大的需要。
2.主体结构应采用大空间和大跨度柱,内墙承重系统不应采用。
3.大型电子工业清洁车间通常采用上工艺中间层和下工艺中间
层结构。
4.考虑到大型生产工艺设备的安装和维修要求,设置必要的运输通道和安装或维修港口,不影响清洁生产环境。
5.电子无尘车间按耐火等级II级设计。
6.特殊气体储存配电室与无尘车间(区)用防火隔墙隔开,耐火级限不小于1h。
有毒硅烷或其混合物的圆柱至少三面开放,圆柱与周围结构或围栏之间的距离应大于3米,储存天篷不小于3.5米。
7.电子工业无尘车间的装修材料不得释放影响电子产品的材料。
8.电子洁净室允许设置淋浴室,与一般的生物洁净室不同。
淋浴室毕须靠近干净的工作服更衣室。
单人淋浴室由每班30人设计。
工人超过5人时,应设置侧门。
人太多或为了缩短时间,也可以设置隧道式淋浴室。
9.对于无尘车间,为了不影响空气流动的单向和平行,采用净化泪灯作为照明灯。
10.电子工业的无尘车间往往需要根据生产工艺要求设置防静电环境,以意制静电产生,快速、安.全地消除产生的静电。
11.电子无尘车间需要抗微振,因此在车间环境中应避免振动源。
12.除一般给排水要求外,电子无尘车间还有超大集成电路用水标准。
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电子工厂高级别洁净室的建造文件2017年版本电子工厂高级别洁净室的建造特点一、高级别洁净室在电子工厂中的应用本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高(ISO-2、3、4、5级),生产环境温湿度的精确度高,其他一些环境参数,例如:静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室。
这类面积大、环境参数要求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中,如:大规模集成电路(LE1)、超大规模集成电路(VLS1)等微电子产业的电子工厂以及彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD);发光二极管(LED)以及等离子技术(PDP)等光电子产业的电子工厂之中。
当今世界,微电子和光电子产业已成为一个国家、一个地区国民经济和科学技术发展的基础和平台,也是衡量一个国家和地区经济发展和科学技术水平的重要标志。
发达国家(美国、日本、以及欧洲各国)都极为重视,纷纷投入大量的人力、物力、财力进行开发、研究和生产。
我国在“十五”规划中夜明确指出“重点发展集成电路、新型元件、器件、计算机和通信设备。
”争取用10~15年的时间,把我国建设成为世界电子信息产业的强国。
以超大规模集成电路为代表的微电子产业,在今后的十年中全世界年平均增长率高达15%。
到2010年全世界微电子产品的销售额将高达6000~8000亿美元。
到那时我国将成为全球第二大半导体市场。
而光电子是继微电子技术之后近十年内迅速崛起的新兴高科技产业,它是集固体物理、导体光学、材料力学、微细加工和微电子技术为一体,是微电子技术和光电子技术的结合和扩展。
光电子产业以液晶显示器(LCD)、等离子技术(PDP)和发光二极管(LED)为代表,尤其是彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)它是微电子技术与透射式彩色液晶显示器技术的完美结合。
它对生产环境的参数,原材料的纯度以及生产设备和技术都等同甚至超过大规模集成电路的生产要求。
到2010年以光电子产业为代表的信息产品的总产值将突破50000亿美元。
我国在微电子产业方面,“八五”、“九五”、“十五”期间发展很快,继“华越”和“华虹”之后又有“中芯”、“宏力”、“贝岭”、“先进”等超大规模集成电路生产线相继建成投产。
在光电子产业方面“LCD”、“PDP”、“LED”、“TFT-LCD”已成为我国光电子产业的新的增长点,随着“吉林通海高科”TFT-LCD生产线建成投产后又有更大规模的“上广电”、“京东方”等TFT-LCD生产线相继建成投产。
深圳的“深超”和具有第六代TFT-LCD生产线的“京东方”也在建设之中。
二、电子工厂高级别洁净室的建造特点(一)电子工厂生产工艺对洁净室生产环境的要求非常严格电子工厂尤其是微电子和光电子产业的电子工厂,工艺生产对大面积高洁净度洁净室所要求的生产环境不仅仅有:建筑围护、结构、空气、水以及气体、溶剂等原材料,而且还有声、光、电、磁、振等各种环境。
例如:建筑形式、层高承重、围护的装修材料;空气的洁净度、温湿度、静压力;水和气体的纯度和重金属等含量以及噪声、照度、电磁波、微振动等等。
总的来说,微电子和光电子对生产环境的要求可用“精”、“纯”、“大”来描写。
建造电子工厂的高级别洁净室最重要的是要使建造的洁净室能满足生产工艺对生产环境的严格要求,使之能高效率、高成品率地生产出高质量的电子产品。
这是建造高级别洁净室最根本的目的。
下表给出了微电子、光电子生产工艺对生产环境所要求的条件和参数:超大规模集成电路对生产环境污染控制的要求超大规模集成电路对生产环境污染控制的要求电子、光电子产品生产对生产环境的要求(二)电子工厂高级别洁净室的建造投资费用非常高高级别洁净室建造投资的费用很高。
一般来说,4级(10级)、5级(100级)垂直单向流洁净室,其室内建筑围护装修(包括墙、顶、地、门窗等)和净化空调系统(包括制冷和空调、净化设备、管道和配件)其建设初投资大约为10000~15000元/m²;如果再加上纯水制备设备和系统管线配件,纯气的发生设备和系统管线配件、废水废气排放设备和系统管线配件;消防系统设备管线配件;供配电和自动控制系统的设备管线配件以及集中式真空清扫系统设备配件管线等等,其单位面积的初投资可高达25000~30000元/m²。
现以1998年已建成投资的上海某超大规模集成电路前工序生产线举例来说,其月投片(8”硅片)30000片,有洁净室面积约10000m²,其中400m²3级(1级)、4级(10级)高洁净度垂直单向流洁净室,另外6000m²为6级(1000级)、7级(10000级)非单向流洁净室。
总净化送风量约6400000m³/h。
该项目总投资约100亿人民币,其中动力设备和土建部分投资约为20亿人民币。
占总投资的20%。
其核心部分10000m²高级别洁净室建造投资费高达6000万美元(不含土建结构部分)折合单位面积投资为600美元/m²,大约折合人民币50000元/m²。
再举目前正在建造即将竣工的深圳某精密光电有限公司建造的TFT-LCD基板生产线,其总面积约为800m²,其中3级(1级)、4级(10级)垂直单向流洁净室的面积约200m²;其余5级(100级)垂直单向流洁净室。
除了土建结构以外洁净室的建筑围护装修、冷冻和净化空调系统、废水废气的排放系统、纯水存钱的制备和输送系统、供配电和自动控制系统等的总投资约3200万元人民币,折合单位面积约40000元/m²人民币。
由上述两个实例说明建造这样的微电子、光电子工厂高级别洁净室的建造投资费用是非常高的。
这是另一个特点。
(三)电子工厂高级别洁净室的运行管理费用非常贵因为电子工厂高级别洁净室的净化送风量大,工艺设备局部排风量大,新风量大,湿、温度要求严格,所以送风的空气热湿度处理的冷量、热量、加湿量也大,空气输配的能量消耗量大,运行费用很贵。
还拿上述两个项目为例来说明:上海某超大规模集成电路前工序生产线10000m²洁净室总送风量为6400000m³/h,空气输配的风机总耗电量为3840kw/h,全年电费为1659万元(每度电按0.6元/度计),空气热湿处理耗电量约8000kw/h,全年电费为3456万元。
全年净化空调系统本身的运行费用高达5115万元人民币。
折合单位面积净化空调系统运行费用为5115元/m²。
而深圳某精密光电的基板生产线高级别洁净室面积约800m²,净化送风量1200000m ³/h,新风量90000m³/h,空调冷量约为300kw/h,全年电费约130万元人民币(每度电按0.6元/度计),而空气热湿处理的耗电量760kw/h,(其中:冷冻机电量为400kw,冷冻水泵电量为130kw,冷却水泵电量为160kw,干冷水泵电量为44kw,冷却塔电量为22kw)全年电费约为330万元人民币。
全年净化空调系统运行总费用高达约460万元,折合单位面积年运行费用约为5750元/m²。
由上述两个例子来看,电子工厂高级别洁净室仅仅保持室内的洁净度、温湿度每平方米所花的运行费用就要高达5000~6000元/m²人民币。
由此可见它的运行管理费用相当贵。
这是第三个特点。
(四)电子工厂高级别洁净室的适应性、灵活性要非常强微电子集成电路的发展规律告诉我们,每隔2~3年就上一个台阶,其芯片的集成度就要增加4倍,特征尺寸(线宽)就要缩小30%,年销售价格就要下降30%。
因为,集成电路又是发展速度十分迅速的产业,随之而来的为其服务的生产环境技术和高级别洁净室技术也必须随之发展而发展,才能适应微电子产业的飞速发展。
继微电子之后发展起来的光电子产业的发展速度比微电子产业还要快。
如TFT-LCD 技术每1~2年就更新一代,去年前年还是第五代TFT-LCD;今年就发展到第六代产品了。
因此,为其服务的生产环境技术、高级别洁净室技术必须具有极大适应性、灵活性以满足微电子、光电子技术不断发展的要求。
因为,建一个厂房,建造一个高级别洁净室是百年大计,不是一年二年就能拆掉重建。
因此,在设计和建造这样高级别洁净室时,就应考虑到生产工艺的发展、变更,使洁净室具有很好的适应性和灵活性。
多年建造经验告诉我们,从洁净室等等都必须百分之百的满足生产工艺的要求。
保证环境参数可靠,稳定不出差错。
另外,从安全角度上讲,即建筑结构承重的安全和防火防爆防毒的安全更是十分重要的,要遵照“以人为本”的方针,保证人员的生命安全和保护工厂财产的安全更是设计、建造和使用洁净室时应注意的头等大事。
因此,努力降低高级别洁净室的建造投资和运行费用;努力提高洁净室的灵活性和适应性以满足生产工艺不断发展的要求和保证高级别洁净室的安全、可靠是给洁净室的设计和建造者提出的重要课题。
三、电子工厂高级别洁净室的空调负荷特点和节能(一)洁净室的空调负荷洁净室的净化空调负荷由下面几个部分组成:1、室内负荷主要包括:①室内作业人员的散热、散湿负荷。
②室内照明灯具的散热负荷。
③洁净室围护结构(墙、顶、地、门、窗)的传热、传湿负荷。
④生产设备和生产过程的散热、散湿负荷。
2、洁净室新风处理的热、湿负荷。
夏季是降温、去湿;冬季是加热、加湿。
3、空气输配时风机(或FFU)的温升和水泵的温升负荷。
(二)高级洁净室的空调负荷特点1、高级别洁净室(100级,10级,1级)是垂直单向流洁净室,其送风机的风量非常大,高达400~500次/h换气,而且风机的压头也很高,一般多在1000~1500Pa,因此风机温升的负荷大。
按理论计算:在集中送风方式的系统中,风机的温升为1.5°C,仅此一项的负荷就是500~700W/m²;如果采用FFU送风方式,风机温升的负荷也要250~350W/m²。
因此,风机温升的负荷大是起一个负荷特点。
2、服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工艺排风量大,所以新风量也很大,新风量一般在10~20次/h换气;因此,处理如此多新风的负荷大约是400~800W/m²;个别工艺的排风量更大,固新风负荷也还会更大。
因此新风负荷大师其第二个负荷特点。
3、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大,是高级别洁净室的第三个负荷特点。
生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。
4、围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业人员的发热这三项负荷相对比较小,三项负荷之和还不足总空调负荷的10%(其中:照明负荷大约25~30W/m²;围护结构负荷大约20~30W/m²;作业人员负荷大约10~15W/m²),这是高级别洁净室的第四个负荷特点。