能谱分析
光电子能谱分析
光电子能谱分析光电子能谱分析是一种基于光电效应原理的表征材料电子结构和性质的重要技术手段。
通过研究材料的光电子能谱，可以得到材料中的电子能带结构、费米能级、元素组成等信息，从而深入了解材料的性质和反应过程。
本文将介绍光电子能谱分析的原理、仪器设备以及应用领域等内容。
一、光电子能谱分析的原理光电子能谱分析是基于光电效应的原理进行的。
光电效应是指当光束照射到物质表面时，光子与物质中的电子相互作用，使得电子从物质中抽离出来，形成光电子。
当光子的能量大于或接近于材料中最外层电子的束缚能时，光电子就会被抽离出来，并在外加电场的作用下被加速，形成具有动能的光电子。
通过测量光电子的动能和强度，就可以得到光电子能谱图。
二、光电子能谱分析的仪器设备光电子能谱分析需要使用光电子能谱仪。
光电子能谱仪主要由光源、样品台、能谱分析器和探测器等部分组成。
光源通常采用气体放电光源或光阴极等发射强度较高的光源，用于产生高能量的光子。
样品台用于固定待测材料，通过样品台上的电子能量分析器，对光电子的能量进行分析，从而得到光电子能谱。
探测器接收并放大光电子信号，将信号传递至数据采集系统进行记录和分析。
三、光电子能谱分析的应用领域光电子能谱分析在材料科学、表面物理化学、固体电子学等领域具有广泛的应用。
以下列举几个典型的应用领域：1. 材料表征与表面分析：通过光电子能谱分析，可以获取材料中电子能带结构、元素组成、表面形貌等信息，用于表征和研究材料的物理性质和化学反应过程。
2. 半导体器件分析：光电子能谱分析可用于研究半导体材料中的载流子分布、能量态密度分布等，从而为半导体器件的设计和性能优化提供依据。
3. 催化剂研究：光电子能谱分析可用于研究催化剂表面活性位点的形成、电子结构及与反应物的相互作用，有助于优化催化剂的催化性能。
4. 电子能带结构研究：通过对不同材料的光电子能谱分析，可以揭示材料电子能带结构的演化规律，深入了解材料的导电性质和能带间的相互作用机制。
能谱分析报告
能谱分析报告背景介绍能谱分析是一种基于光谱学原理的分析方法，通过研究物质与电磁波的相互作用来获取物质的结构和性质信息。
能谱分析技术广泛应用于化学、物理、生物学等领域，对于研究物质的组成、结构和反应机制具有重要意义。
实验目的本实验旨在通过能谱分析的方法，研究样品A的结构和组成，并通过结果分析得出结论。
实验步骤1.实验前准备：–准备样品A并进行适当的处理。
–打开能谱分析仪器，并进行预热和校准。
2.实验操作：–将样品A放置在能谱分析仪器中进行测试。
–调整仪器参数，如加速电压、放大倍数等。
–开始数据采集和记录，保持稳定的测试条件。
3.数据处理：–导出能谱数据，并进行相关的数据处理和分析。
–绘制能谱图，并分析图中的峰值和特征。
–根据能谱图的结果，推断样品A的组成和结构特点。
4.结果与讨论：–结合实验数据和已有知识，对样品A的组成和结构进行深入分析和讨论。
–比较样品A与已知物质的能谱数据，寻找相似性和差异性。
–探讨样品A可能的化学反应和性质。
5.结论：–综合实验结果和讨论，得出关于样品A结构和组成的结论。
–提出进一步研究的方向和可能的应用领域。
结果分析通过能谱分析实验，我们获得了样品A的能谱图，并对其进行了详细的分析和讨论。
根据能谱图中的峰值和特征，我们得出了以下结论：1.样品A的能谱图显示出若干明显的峰值，表明样品中存在不同的化学成分。
2.样品A的能谱图与已知物质的能谱数据存在相似性，表明样品A可能含有某些已知成分。
3.样品A的能谱图中出现了特殊的峰值，表明样品中可能存在一些特殊的结构或化学反应。
4.根据已有知识和实验数据，我们初步推测样品A可能是一种含氮化合物，但具体的结构和组成仍需进一步研究和确认。
结论与展望通过本次能谱分析实验，我们初步了解了样品A的结构和组成情况，但仍有许多未解之谜需要进一步研究和探索。
未来，我们将继续深入研究样品A的化学反应和性质，并与其他分析方法相结合，以更加全面和准确地了解样品A的特性。
能谱分析是测什么的
能谱分析是测什么的做SEM或者TEM的时候，一般都会进行EDS打点或者区域扫描，这时软件会给出一个峰谱图，选择想要参与计算的元素及相应的线系后，就能得到各个元素的原子百分比。
今天给大详细介绍一下EDS能谱仪。
能谱分析是测什么的 1EDS能谱仪，又名显微电子探针，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素，检测流程包括电镜样品制备，上机操作分析，后提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。
能谱分析是测什么的 21、EDS测试与扫描电镜或者透射电镜联用，选定微小位置区域，探测元素成份与含量；2、EDS测试是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的重要的检测手段；3、EDS测试是区分有机物与无机物的简便的手段，对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素，基本可以断定含有大量有机物。
能谱分析是测什么的 31.如果不需要将样本切片，直接观察对话，用电子显微镜准备样本一般需要半个小时。
在电脑上观察前必须保持机器处于真空状态，半小时内即可获得图像数据。
一般你喜欢怎么看就怎么看。
2.需要液氮冷却探头。
如果不加液氮，要等一个小时才能冷却。
能谱分析是测什么的 4对于非金属样品，为了提高放大倍率，需要镀金，样品原貌会有一定改变；对于金属样品，不用镀金就可以进行元素分析；EDS的结构1、探测头:把x射线光子信号转换成电脉冲信号，脉冲高度与x射线光子的能量成正比。
2、放大器:放大电脉冲信号。
3、多道脉冲高度分析器:把脉冲按高度不同编入不同频道，也就是说，把不同的特征X射线按能量不同进行区分。
4、信号处理和显示系统:鉴别谱、定性、定量计算;记录分析结果。
EDS的分析技术1、定性分析:EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。
定性分析是分析未知样品的第一步，即鉴别所含的元素。
如果不能正确地鉴别元素的种类，最后定量分析的精度就毫无意义。
能谱分析仪
能谱分析仪能谱分析仪是一种用于分析物体、物质或材料的光谱特性的仪器。
它通过对物体辐射或吸收的光进行分析，从而得出物体的能谱特征，进而获得有关物体的信息。
能谱分析仪在科学研究、工业生产和医学诊断等领域起着重要的作用。
能谱分析仪通过测量物体辐射或吸收的光来获得能谱特征。
当物体被激发或受到外界能量的作用时，原子、分子或晶体中的电子会发生跃迁，从而产生特定波长的辐射或吸收光。
能谱分析仪通过收集并分析这些辐射或吸收光，可以得到物体的能谱特征。
能谱分析仪的分析原理基于能量守恒和量子力学的基本原理。
物体的能量跃迁和辐射或吸收光的能量之间存在特定的关系，通过测量这些能谱特征，我们可以推断出物体的化学成分、结构特征和其他相关信息。
能谱分析仪有多种类型和工作原理，其中常用的包括红外光谱仪、紫外可见光谱仪、质谱仪等。
红外光谱仪主要用于分析物质的红外吸收特性，可以用于物质的组成分析、结构鉴定和动态变化的追踪等。
紫外可见光谱仪则用于分析物体在紫外可见光波段的吸收和辐射特性，常用于药物分析、环境监测和颜料鉴定等。
质谱仪则通过分析物质中质子、中子、电子等粒子的质量和相对丰度，从而得出物质的组成、结构和性质等信息。
能谱分析仪在科学研究中起着重要的作用。
科学家们可以利用能谱分析仪来研究物质的组成和结构特征，揭示物质的性质和行为规律。
这些研究结果对于推动科学的发展和解决实际问题具有重要的意义。
例如，在药物研发领域，研究人员可以使用能谱分析仪来分析药物的成分和结构特征，从而优化药物的设计和生产过程。
在工业生产中，能谱分析仪也发挥着重要的作用。
通过对生产材料和产品进行能谱分析，生产者可以确保产品的质量和安全性。
能谱分析仪可以帮助工程师们分析材料的成分和结构特征，从而优化生产过程，提高产品的性能和竞争力。
在医学诊断领域，能谱分析仪也被广泛应用。
医生可以通过对患者体内物质的能谱分析，获得患者的健康状况和病情等信息。
例如，通过对患者血液或尿液中的物质进行能谱分析，医生可以快速准确地诊断出患者的疾病类型和严重程度，为患者提供有效的治疗方案。
能谱分析仪
能谱分析仪（EDS）能谱分析仪（EDS）是微区成份分析的主要手段之一。
通常EDS检测限为0.1%-0.5%（元素含量）。
EDS的能量分辨率：～130eV。
图1 EDS1、主要有以下特点：1）、能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。
2）、对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。
3）、能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。
4）、检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。
2、EDS分析方法----点分析法电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。
该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。
图2 某试样EDS点分析3、EDS的分析方法－线扫描分析电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。
结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。
图3 某试样线扫表分析4、EDS的分析方法－面分布电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。
研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。
面分布常常与形貌对照分析。
图5-a 某试样EDS检测(未镀膜）图5-b 某试样EDS检测（镀膜）5、定量分析对试样的要求1）样品在真空和电子束轰击下要稳定;2）高准确度的分析时,要求试样分析面平、垂直于入射电子束;图6 不同入射角度对比图3）试样尺寸大于X射线扩展范围;4）有良好的导电和导热性能;不导电试样或者导电性差的试样，例如无机非金属材料、有机材料、矿物及生物材料等，在常规SEM/EDS分析条件下会产生如下现象：（1）、荷电现象（电荷积累）；（2）电子束不稳定，无法确定分析点或者分析点漂移。
(3)、图像质量差（图像畸变、衬度和亮度异常），试样经常放电或者无法成像。
能谱分析报告
能谱分析报告1. 引言能谱分析是一种重要的科学方法，用于确定样品中不同元素的存在和相对含量。
本报告旨在介绍能谱分析的基本原理、仪器设备以及样品处理方法，并通过一个具体的实例解释其应用。
2. 能谱分析原理能谱分析是利用物质与射线相互作用的方法来获取有关样品成分和结构的信息。
常用的射线包括X射线和γ射线。
当射线通过样品时，会与样品中的原子相互作用，产生特定的能谱。
根据这些能谱，可以推断样品中的元素种类和相对含量。
3. 仪器设备能谱分析需要使用专门的仪器设备，包括能谱仪和样品处理设备。
3.1 能谱仪：能谱仪是一种利用能谱探测器来测量射线能谱的仪器。
常见的能谱探测器包括闪烁体探测器和半导体探测器。
闪烁体探测器通过闪烁效应将射线能量转化为光信号，再通过光电倍增管转换为电信号。
半导体探测器则直接将射线能量转化为电信号。
能谱仪还包括信号放大器、多道分析器等辅助设备。
3.2 样品处理设备：样品处理设备用于将样品制备成适合进行能谱分析的形式。
常见的处理方法包括溶解、研磨、熔融等。
4. 样品处理方法在进行能谱分析之前，需要对样品进行适当的处理。
4.1 样品制备：根据不同的样品类型和分析要求，可以选择不同的样品制备方法。
例如，对于固体样品，可以通过研磨和烧蚀的方式制备成均匀的粉末样品；对于液体样品，可以通过溶解和稀释的方式制备成适合分析的溶液样品。
4.2 样品清洁：样品表面的杂质可能会对能谱分析结果产生干扰。
因此，在进行分析之前，需要对样品进行适当的清洗处理。
常用的清洗方法包括超声波清洗、酸碱清洗等。
5. 能谱分析实例以金属样品为例，介绍能谱分析的具体步骤和结果。
5.1 样品制备：将金属样品研磨成粉末，并进行烧蚀处理。
5.2 样品加载：将制备好的样品放入能谱仪中，确保样品与射线充分接触。
5.3 能谱测量：打开能谱仪，进行能谱测量。
通过仪器的显示屏或计算机软件，可以获取样品的能谱图像。
5.4 能谱分析：根据能谱图像，推断样品中的元素种类和相对含量。
物理实验技术中的能谱分析原理与实验方法介绍
物理实验技术中的能谱分析原理与实验方法介绍导言：能谱分析是物理实验技术中一种重要的手段，通过对放射性物质的测量和分析，可以获得有关物质的各种性质和组成的信息。
本文将介绍物理实验技术中能谱分析的原理和实验方法。
一、能谱分析原理能谱分析是通过测量和分析放射性物质产生的辐射能量分布，从而获得有关物质的信息的方法。
放射性物质发生衰变时会产生各种不同能量的辐射粒子，这些辐射粒子会通过相互作用进入探测器，在探测器中产生能谱。
能谱分析的原理主要包括下面几个方面：1. 互作用过程：辐射粒子与物质原子核或电子的相互作用过程决定了能谱的形状。
常见的互作用过程包括电离、散射、共振吸收等。
2. 能量损失：辐射粒子在物质中的传输过程中会发生能量损失。
不同能量的粒子在物质中传输的距离和方式不同，因此能谱中不同能量的峰的形状和位置会有所差异。
3. 探测器响应：探测器对辐射粒子的响应和能量的测量准确性对能谱的分析结果有重要影响。
探测器的分辨率越高，能谱中不同峰的分离程度越好。
二、常用的能谱分析方法能谱分析在许多领域都有广泛应用，常用的能谱分析方法有以下几种：1. 微堆积法：这是最常见的一种能谱分析方法。
该方法主要通过将辐射源与探测器相距适当距离，使得辐射粒子在空气中扩散后到达探测器。
通过测量不同能量下的计数率，可以得到辐射源的能谱。
2. 动能反冲法：该方法是将辐射源置于带有能谱分析装置的样品台上，通过控制台上移动的探测器与源的距离，测量到达探测器的辐射粒子的能谱。
该方法适用于分析非均匀的样品。
3. 准直法：准直法是将辐射粒子流通过准直器，使得经过准直器后的辐射粒子呈平行束流，然后通过探测器进行能谱分析。
该法适用于对束流进行分析。
4. 偏转法：偏转法用于测量辐射源的能辐射粒子数分布。
通过将辐射粒子束通过一系列磁铁和电场的作用，使得能量不同的粒子在空间中具有不同的轨迹，然后通过探测器进行能谱分析。
5. 影子法：影子法是一种通过探测仪器观察辐射源发出的能量辐射而获得能量分布的方法。
电子能谱分析
2.3.2 XPS仪器 仪器结构框图与AES相似，差别在于探针不同。xray源为x光管，常用铝靶或镁靶作为X光管的靶材 料。
对于Al靶的Kα为1.49Kev，半宽度为0.68 ev ； Mg靶的Kα为1.25Kev，半宽度为0.83 ev。
2.3.3应用 1 定性分析 月球土壤
2 定量分析 聚四氟乙烯定量分析
3 表面的电子结构与体内原子结构不同。
每个原子/离子在体内的都是有规律地排布，从空 间上讲是电子处于一种平衡状态，而表面原子从空 间分布上至少是缺一个方向的平衡（面、棱、角）， 电子云的分布也不相同。因此，表面的原子比体内 原子活性更大。
2.1.3表面分析方法
表面分析方法是借助于某种“探针”，通过“探针” 与物质的表面作用，从而获得有关表面的信息的分 析方法
定量分析方法常用相对灵敏因子法（归一化法）
ci—第i种元素的摩尔分数（相对值）；Ii——AES 信号强度；Si——相对灵敏度因子（与Ag相比，可 查到）
3 实际应用举例
Element O V Au Si Na
Wt% 39.77 60.23 11.32 22.89 02.06 At% 67.76 32.24 01.74 24.66 02.71
退激发的方式有两种：一种是发射特征X－ray； 另一种是较外层电子向空穴跃迁，退激发的能量 使外层电子克服结合能脱离原子，发射出来的电 子被称为俄歇电子。
2.2.2俄歇电子能谱（AES）基本原理
1 俄歇过程命名法
俄歇过程涉及到三个能级，分别用Wi、Xp、Yq表示。其 中W表示产生空穴的主能级，i表示次能级。X表示向空穴 跃迂电子的主能级，p表示次能级；Y为发射俄歇电子的 主能级，q表示次能级 。 命名：以空穴所在电子层命名俄歇系 K系列—空穴在K层； L系列—空穴在L层
电镜的能谱分析
电镜的能谱分析
电子显微镜的能谱分析是纳米技术中应用最为普遍的一种技术，此技术可以全面而精准的检测出从几十纳米管大小到极小微纳米级量子结构尺寸的实验样品，可以检测可见光、近红外谱、紫外-可见反射谱和电子衍射谱等、同时也可以检测出物质中极小分子和微纳米结构构成物种，而这些物种在抗热、抗冷、抗强酸强碱、耐腐蚀方面有着优异的性能。
电子显微镜的能谱分析可以获得高质量的谱图矩阵，从而可以获得多种信息，比如：纳米材料成分结构分析，聚合物和多维纳米结构的分析，分子物性检测，以及精细的显影等。
这些信息的获取有效地提高了热电技术、纳米传感技术以及纳米成像技术的有效性，因此，谱图可以理解为分子结构和构型化学性质的“镜像”，这非常有助于显示物质与生物系统之间的相互作用。
电子显微镜的能谱分析不仅可以在科学研究中发挥作用，而且在生活中也可以看到它的分辨率之高、检测精度之准确。
在工业制造和农业生产中，电镜的能谱分析使得可以有效地控制生产的质量和效率，检测聚合物的粘度及其他物性性质，同时可以检测农产品中毒素成分，从而确保农产品的安全，而不会损害人类健康。
总而言之，电子显微镜的能谱分析是纳米技术应用中的重要技术，它使得我们有效地检测到一些极微小的结构，同时可以检测出具有优异性能的物质，这对于我们的生活娱乐和工作研究都非常有帮助。
EDS原理及应用
EDS原理及应用EDS(能谱分析仪)是一种用于材料成分分析的仪器，其原理是通过测量材料中的元素的能谱图来确定其成分。
EDS广泛应用于材料科学、地球化学、生物学、环境科学等领域。
EDS的原理基于X射线荧光光谱分析的概念。
当高能电子或光子进入原子时，会激发原子的内层电子，使其跃迁到较高的能级。
当电子回到原来的能级时，会放出一定能量的X射线。
每个元素的电子跃迁都有一定的能量差，因此每个元素都会发射出特定能量的X射线。
EDS通过测量X射线的能量和强度，可以确定材料中存在的元素及其相对含量。
EDS由三部分组成：激发源、能谱分析器和信号处理器。
激发源通常是一束高能的电子或光子，进入材料后激发元素的内层电子。
能谱分析器是一个能够测量X射线能量的装置，通常使用硅或锂草酸钠晶体。
信号处理器则将能谱转化为数字信号，并进行分析和识别。
EDS具有许多应用。
首先，EDS在材料科学中被广泛用于分析样品的成分。
可用于确定金属合金中的成分，检测矿石中的金属元素，鉴定陶瓷或玻璃中的杂质等。
其次，EDS在地球化学领域中用于分析岩石、矿物和土壤的成分。
它可以确定岩石中的元素含量，识别不同矿物的化学组成，并揭示地球化学过程。
此外，EDS还在生物学中用于研究细胞和组织的元素分布和组成。
它可以帮助确定细胞中的微量元素，如钙、铁、锌等。
另外，EDS还在环境科学中应用广泛，用于分析土壤、水和大气中的污染物。
它可以检测重金属、有机物和其他有害物质的存在。
EDS具有许多优点，使其在分析领域中得到广泛应用。
首先，它是非破坏性的分析技术，样品不需要进行任何前处理，不会损坏样品。
其次，EDS适用于不同种类的样品，包括固体、液体和气体。
再次，EDS具有非常高的灵敏度，可以检测到小到几落区域的微量元素。
此外，EDS可以提供元素的定量信息，可以确定每个元素的相对含量。
最后，EDS具有高分辨率，可以分辨出非常接近的能级差异。
总之，EDS是一种常用于材料成分分析的仪器，通过测量材料中元素的能谱图来确定其成分。
能谱分析报告
能谱分析报告引言能谱分析是一种用于研究物质的成分和结构的分析方法。
通过测量物质与射线相互作用产生的能量分布，可以得到物质的能谱。
能谱分析在化学、物理、生物和医学等领域中广泛应用，用于研究物质的组成、变化和特性。
本报告将介绍能谱分析的原理、方法以及在不同领域中的应用。
原理能谱分析的原理基于射线与物质的相互作用。
当射线（如X射线或γ射线）穿过物质时，与物质中的原子相互作用会导致能量的转移和吸收。
这些转移和吸收的能量可以被探测器测量，并以能谱的形式呈现。
能谱分析中常用的探测器包括闪烁体探测器、半导体探测器和气体探测器。
这些探测器能够将射线与物质的相互作用转换为电信号，并提供具有能量信息的输出。
方法能谱分析中常用的方法包括以下几种：1. 闪烁计数法闪烁计数法是最常见的能谱分析方法之一。
该方法使用闪烁体探测器，当射线穿过闪烁体时会使其发出光子，光子被光电倍增管吸收并转化为电信号，最终形成能谱。
闪烁计数法具有高灵敏度和广泛适用性的特点，常用于放射性同位素的测定和核素识别。
2. 能谱仪法能谱仪法是一种使用设备更为复杂的能谱分析方法。
该方法使用高能分辨率的探测器，如硅探测器或合金探测器，能够提供精确的能量测量。
能谱仪法通常用于分析复杂混合物和测量特定元素的含量。
3. 能谱显微镜法能谱显微镜法是将能谱分析与显微镜技术相结合的方法。
通过在显微镜下观察样品，并使用能谱分析仪器对不同区域进行能谱测量，可以同时获得样品的形貌信息和元素分布信息。
能谱显微镜法常用于材料科学、地质学和生物学等领域的研究。
应用能谱分析在不同领域中具有广泛的应用，以下是几个常见的应用示例：1. 环境监测能谱分析在环境监测中常用于分析土壤、水和大气等样品中的有害元素和放射性核素。
通过能谱分析，可以及时监测和评估环境中的污染程度，为环境保护和健康风险评估提供数据支持。
2. 药物研究能谱分析在药物研究中可用于分析药物中的成分和纯度。
通过能谱分析，可以快速、准确地检测药物中的杂质和控制药物的质量。
物理实验技术中的能谱测量与分析方法
物理实验技术中的能谱测量与分析方法能谱测量与分析是物理实验中常用的技术方法之一，它主要用于研究物质内部的能级结构与能级变化情况。
在物理学、化学、材料科学等领域中，能谱测量与分析提供了重要的信息，有助于深入理解物质的性质和相互作用。
一、能谱测量方法1. 光谱法光谱法是最常见的能谱测量方法之一。
它利用物质对不同波长或频率的光的吸收、发射、散射等现象，来获得物质的能级分布情况。
光谱法通常使用光谱仪进行测量，可以分为吸收光谱、发射光谱和散射光谱等。
吸收光谱是通过测量物质对入射光的吸收情况，来推断物质内部存在的能级结构。
例如，紫外可见吸收光谱可以揭示物质的电子跃迁行为，红外吸收光谱可以分析物质的分子结构。
发射光谱则是通过测量物质在受激后发光的波长和强度，来研究物质内部的能级结构。
例如，荧光光谱可以用于材料表面缺陷的检测，拉曼光谱可以分析分子的振动和转动行为。
散射光谱则是通过测量入射光在物质中的散射现象，来了解物质内部的微观结构和粒径分布。
例如，X射线衍射可以用于分析晶体的结构，散射傅立叶变换红外光谱可以测定固体表面的物质组成。
2. 能谱测量仪器能谱测量仪器是实现能谱测量方法的核心工具。
除了光谱仪，还有其他常用的能谱测量仪器，如质谱仪、核磁共振仪等。
质谱仪利用质荷比法测定物质中各种离子的质量与电荷比，从而确定物质的组成与结构。
质谱仪具有高灵敏度、高分辨率和高检测速度等优点，在有机化学、生物化学等领域有着广泛的应用。
核磁共振仪则是利用核自旋共振现象来测量核磁共振信号，从而获取物质内部的结构与相互作用信息。
核磁共振仪在化学、生物医学等领域中有着广泛的应用，如分析有机化合物的结构、研究蛋白质的折叠动力学等。
二、能谱分析方法能谱分析是对测得的能谱数据进行处理与解读的过程，目的是提取有用的信息并加以研究。
能谱分析在实验数据处理和理论模型验证中具有重要作用。
1. 转换与校正能谱数据通常以图像或曲线的形式出现，需要进行转换与校正才能得到有关的信息。
电子能谱分析
2021/5/27
This energy is known as the
surface free energy. In the
case of liquid interfaces, this
energy is called surface
tension.
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（2） 单色光和单色光源
单色光：具有单一频率的光。 单色光源：产生单色光的光源。
（2）用被激发电子所在能级轨道来标示光电子
2. 光电子谱峰的强度
在光电子能谱图中，可以将一个谱峰的峰高或面积求出来作为该 谱峰的强度，谱峰强度在样品结构及定量分析中起着重要作用。
影响谱峰强度的因素：光电离截面、光电子能量
光电离截面 (光电离几率)：一定能量的光子在与原子作 用时，
从某个能级激发出一个电子的几率；
Chapter3电子能谱分析
3.1电子能谱分析 3.1.1电子能谱分析的概念
2021/5/27
电子能谱分析是一种表 面（界面）物理分析方 法，通过用单色光（X射 线、紫外光）或电子束 照射样品产生光电子或 俄歇电子，收集这些电 子所带有的样品表面信 息和能量，从而对样品 的组成和表面元素状态 进行分析的方法。
（3）俄歇电子的能量
俄歇电子能谱主要是依靠俄歇电子的能量来识别元素的， 因此准确了解俄歇电子的能量对俄歇电子能谱的解析是非 常重要的。 通常有关元素的俄歇电子能量可以从俄歇手册上直接查得， 不需要进行理论计算。
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2021/5/27
1. 各元素以及各激发线的俄 歇电子动能图
2. 每个元素均具有多条激发 线
俄歇电子能量与激发光源 能量无关，仅与原子所处 能级即原子结构有关
eds能谱分析
eds能谱分析EDS（能谱分析）：从微观世界解读材料特性的利器概述能谱分析是一种重要的材料表征技术，其利用能量分辨的方法，通过测量材料中元素的能谱信息，从而得到材料的化学成分、电子结构等参数。
EDS（能量散射谱）是能谱分析的一种常见方法，具有高灵敏度、高分辨率和非破坏性等特点，广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域。
原理EDS的原理基于能量散射效应，当材料被高能电子或X射线轰击时，原子核和电子发生相互作用，导致电子从低能级跃迁至高能级，随后重新回到基态时会释放出特定的能量。
这些能量可以被探测器捕捉到，通过分析能谱可以确定元素的存在和相对含量。
仪器EDS依赖于扫描电镜和能谱仪两部分构成。
扫描电镜能够产生高能电子或X射线束，用于激发材料。
能谱仪则包括探测器、信号放大器和数据处理部分，用于采集、放大和分析能谱信号。
目前市场上常见的能谱仪种类繁多，有光子计数器、硅探测器、硅锗探测器等。
应用EDS在材料科学中应用广泛。
首先，它在金属材料的分析中发挥着重要作用。
通过EDS的能量分辨能力，可以对金属中的元素类型和含量进行非破坏性分析，为材料加工和质量控制提供支持。
其次，在纳米材料研究中，EDS能够准确检测纳米颗粒的成分，帮助研究人员了解材料的结构和性能。
此外，EDS还被广泛应用于地质学和生物学领域，如岩石成分分析和细胞组织化学成分分析等。
优势与挑战EDS作为一种常见的能谱分析方法，具有多个优势。
首先，它具有高灵敏度，可以检测到很低浓度的元素。
其次，EDS具有高分辨率，能够准确分辨不同元素的能谱峰。
此外，EDS是非破坏性技术，可以以非常小的样品损伤完成分析。
然而，EDS也存在一些挑战。
例如，由于能量散射的特性，EDS只能分析出材料表面的元素信息，不能获取深层元素的信息。
此外，噪声和背景干扰也会影响EDS的准确性。
发展动态随着科技的进步，EDS技术不断发展，提高了分析的性能和准确度。
近年来，许多研究人员致力于开发新型的探测器和数据处理算法，以提高EDS的灵敏度和分辨率。
eds能谱各元素分布
能谱分析（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，EDS）是一种常用的材料表征技术，用于分析材料中的元素组成和分布情况。
通过EDS能谱分析，可以获取元素的信号强度和能量信息，并进一步获得元素分布的定量和定性结果。
以下是EDS能谱分析中元素分布的一般情况：
元素的信号强度：通过EDS仪器采集到的能谱数据，可以得到不同元素的信号强度。
信号强度越高，表示该元素在样品中的含量越高。
元素的能谱峰位置：每个元素都具有特定的能量特征，对应于其X射线的能量。
通过分析能谱数据中的峰位信息，可以确定元素的存在和相对含量。
元素分布图像：通过在扫描电子显微镜（SEM）上进行EDS扫描，可以获得元素分布图像。
这些图像显示了样品中不同区域元素的分布情况，可以用来研究样品的化学组成和空间分布。
需要注意的是，EDS能谱分析提供的元素分布信息是在微米或亚微米尺度上的。
它可以用来研究样品中元素的局部分布、相互作用和界面等特征。
具体的元素分布图像和分析结果将根据样品的特性和实际的分析需求而有所不同。
因此，对于具体样品的元素分布分析，建议进行实际的EDS能谱测试，并使用相应的分析软件进行数据处理和解释。
能谱分析
能谱分析能谱分析是一种常见的光谱分析方法，它在物理、化学、生物等领域都有广泛的应用。
本文将从能谱分析的基本原理、常见的应用领域以及优缺点等方面进行介绍和解析。
能谱分析是利用物质与辐射相互作用时所产生的能量变化进行分析的方法。
这种分析方法依据物质与辐射作用的不同方式，可以分为不同的类型，其中包括光谱分析、质谱分析、核磁共振谱分析等。
在这些方法中，能谱分析在光谱分析中占据重要地位。
光谱是指物质与辐射相互作用后所产生的电磁波谱线。
能谱分析是通过分析和解释光谱中谱线的特性，从而得到有关物质组成和结构的信息。
光谱分析的基本原理可以归结为两个方面，即光与物质的相互作用和谱线的形成机制。
在光与物质的相互作用中，光束通过物质时，会与物质中的原子、分子或离子发生相互作用。
这种相互作用一般可以分为吸收、发射和散射三种方式。
吸收是指物质吸收光束能量的过程，物质吸收的光束能量与物质的组成和结构有关，因此通过测量物质的光吸收谱线，可以获得物质的信息。
发射是指物质在受到外界能量激发后，释放出与激发能量相等的光能量。
散射是指物质对入射光进行散射，散射的光束中会包含物质的信息。
光谱分析中的另一个重要方面是谱线的形成机制。
谱线是指光谱中的独立小尖峰，每一个谱线代表了一种特定的能量传递过程。
谱线的形成可以通过原子或分子的能级跃迁来解释。
例如，原子在受到能量激发后，会从低能级跃迁到高能级，或从高能级跃迁到低能级，这些跃迁过程产生了特定波长的光谱线。
能谱分析在许多领域都有着广泛的应用。
在材料科学领域，能谱分析可以用于分析材料的组成和结构，帮助科研人员了解材料的性质和性能。
在环境科学领域，能谱分析可以用于大气污染物的监测和分析，对环境质量进行评估。
在化学领域，能谱分析可以用于分析化学反应的中间产物和终产物，从而推测反应机理。
在生物医学领域，能谱分析可以用于分析生物分子的结构和功能，对于研究和治疗疾病具有重要意义。
虽然能谱分析具有许多优点，但也存在一些局限性。
能谱分析课程设计
能谱分析课程设计一、教学目标本课程的教学目标是使学生掌握能谱分析的基本概念、原理和方法，能够运用能谱分析解决实际问题。
具体来说，知识目标包括：了解能谱分析的基本原理、掌握能谱分析的基本方法、了解能谱分析在各个领域的应用。
技能目标包括：能够独立进行能谱分析的实验操作、能够运用能谱分析解决实际问题。
情感态度价值观目标包括：培养学生对科学研究的兴趣和热情、培养学生的创新意识和团队协作精神。
二、教学内容本课程的教学内容主要包括能谱分析的基本原理、基本方法以及在各个领域的应用。
具体来说，教学大纲如下：1.能谱分析的基本原理–能谱的定义和表示方法–能谱分析的基本原理2.能谱分析的基本方法–能谱仪的结构和工作原理–能谱数据的采集和处理–能谱分析的常用技术3.能谱分析在各个领域的应用–能谱分析在材料科学中的应用–能谱分析在生物医学中的应用–能谱分析在环境科学中的应用三、教学方法为了达到本课程的教学目标，我们将采用多种教学方法，包括讲授法、讨论法、案例分析法和实验法等。
通过多样化的教学方法，激发学生的学习兴趣和主动性，帮助学生更好地理解和掌握能谱分析的知识和方法。
四、教学资源为了支持本课程的教学内容和教学方法的实施，我们将选择和准备适当的教学资源。
教学资源包括教材、参考书、多媒体资料和实验设备等。
我们将尽量使用高质量的教材和参考书，提供丰富的多媒体资料，确保实验设备的完善和充足，以丰富学生的学习体验。
五、教学评估本课程的教学评估将采用多元化的评估方式，以全面、客观、公正地评估学生的学习成果。
评估方式包括平时表现、作业、考试等。
平时表现将根据学生在课堂上的参与度、提问回答、团队协作等情况进行评估。
作业将包括练习题、小论文、实验报告等，以巩固学生对知识的理解和应用。
考试将包括期中和期末考试，以检验学生对课程知识的掌握程度。
同时，我们还将鼓励学生进行自我评估和同伴评估，以提高学生的自我认知和反思能力。
六、教学安排本课程的教学安排将根据课程内容和学生的实际情况进行合理规划。
eds能谱分析报告怎么看
EDS能谱分析报告怎么看EDS（Energy Dispersive Spectroscopy）能谱分析是一种常用的材料表征方法，通过测量材料中的X射线能谱来分析材料的组成和结构。
本文将逐步介绍如何正确阅读EDS能谱分析报告。
1.报告概述 EDS能谱分析报告通常以一个简要的概述开始，介绍样品的基本信息，例如样品名称、来源和分析日期等。
这部分内容有助于我们了解报告的背景和目的。
2.样品描述接下来，报告会对样品进行详细描述。
这包括样品的形状、尺寸、表面情况以及可能的特殊处理或准备方法。
了解样品的特点可以帮助我们理解分析结果的可靠性和适用性。
3.仪器参数报告中会列出用于进行EDS能谱分析的仪器参数。
这些参数包括加速电压、探测器类型、扫描速度等。
仪器参数对于理解分析过程的可靠性以及结果的准确性至关重要。
4.能谱图 EDS能谱分析报告的核心部分是能谱图。
能谱图显示了材料中不同元素的特征峰和峰强度。
通过观察能谱图，我们可以了解材料的元素组成。
在能谱图中，每个峰代表了一个元素，峰的强度表示该元素的相对含量。
5.峰分析在报告中，通常会对能谱图中的峰进行分析。
这包括确定每个峰对应的元素以及其相对含量。
峰分析是通过与已知标准峰进行比对来进行的。
通过峰分析，我们可以准确确定材料的组成。
6.元素分布图一些EDS能谱分析报告还可能包括元素分布图。
元素分布图显示了材料中不同元素的分布情况。
通过观察元素分布图，我们可以了解材料内部的元素分布均匀性。
7.结果解释在最后一部分，报告会对分析结果进行解释。
这包括对样品组成和结构的解释，以及与预期结果的对比。
结果解释是整个报告的关键，帮助我们理解分析结果的意义和可能的应用。
8.结论报告的最后一部分是结论。
结论对整个分析结果进行总结，并提出进一步研究或应用的建议。
阅读结论可以帮助我们将分析结果与我们的研究或实际需求联系起来。
通过以上步骤，我们可以逐步了解和解读EDS能谱分析报告。
正确理解和使用报告的结果对于材料科学研究和工程应用至关重要。
能谱分析
化学位移示例
图13-2 Mo(110)面俄歇能谱
伴峰
由于俄歇电子逸出固体表面时，有可能产生不连续的能量损失，从而 造成在主峰的低能端产生伴峰的现象。 如：入射电子引起样品内壳层电子电离而产生伴峰(称为电离损失峰)； 又如：入射电子激发样品(表面)中结合较弱的价电子产生类似等离子 体振荡的作用而损失能量，形成伴峰(称等离子体伴峰)等。
谱峰分裂
能谱峰分裂有多重态分裂与自旋轨道分裂等。 如果原子、分子或离子价(壳)层有 未成对电子存在，则内层芯能级电 离后会发生能级分裂从而导致光电 子谱峰分裂，称之为多重分裂。 图13-8所示为O2分子X射线光电 子谱多重分裂。电离前O2分子价壳 层有两个未成对电子，内层能级 (O1s)电离后谱峰发生分裂(即多 重分裂)，分裂间隔为1.1eV。
局限性
①不能分析氢和氦元素； ②定量分析的准确度不高； ③对多数元素的探测灵敏度为原子摩尔分数0.1%~1.0%； ④电子束轰击损伤和电荷积累问题限制其在有机材料、生物样品和某 些陶瓷材料中的应用； ⑤对样品要求高，表面必须清洁(最好光滑)等。
第二节 X射线光电子能谱法 射线光电子能谱法
X射线光电子能谱法（XPS），因最初以化学领域应用为主要目标， 故又称为化学分析用电子能谱法（ESCA）。 技术基础：X射线激发物质光电离、光电子发射过程及其能量关系等 见第二章。
二、俄歇电子能谱仪
主要组成部分：电子枪、能量 分析器、二次电子探测器、 （样品）分析室、溅射离子枪 和信号处理与记录系统等。 样品和电子枪装置需置于107~10-8Pa的超高真空分析室中。
图13-3 俄歇谱仪示意图
俄歇电子能谱仪发展
初期的俄歇谱仪只能做定点的成分分析。 70年代中，把细聚焦扫描入射电子束与俄歇能谱仪结合构成扫描俄歇 微探针(SAM)，可实现样品成分的点、线、面分析和深度剖面分析。 由于配备有二次电子和吸收电子检测器及能谱探头，使这种仪器兼有 扫描电镜和电子探针的功能。
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1．俄歇电子产额
K
俄歇电子产额或俄歇跃迁几率 决定俄歇谱峰强度，直接关系 到元素的定量分析。俄歇电子 与特征X射线是两个互相关联和 竞争的发射过程。对同一K层空 穴，退激发过程中荧光X射线与 俄歇电子的相对发射几率，即 图13-1 俄歇电子产额与原子序数的关系 荧光产额(K)和俄歇电子产额 由图可知，对于K层空穴Z<19，发射俄歇 ( K )满足 电子的几率在90％以上；随Z的增加，X射 =1－K (13-1)
图13-5 俄歇电子能量图
主要俄歇峰的能量用空心 圆圈表示， 实心圆圈代表每个元素的 强峰
定性分析的一般步骤：
(1)利用“主要俄歇电子能量图”，确定实测谱中最强峰可能对应的几 种(一般为2、3种)元素； (2)实测谱与可能的几种元素的标淮谱对照，确定最强峰对应元素的所 有峰； (3)反复重复上述步骤识别实测谱中尚未标识的其余峰。 注意：化学环境对俄歇谱的影响造成定性分析的困难(但又为研究样 品表面状况提供了有益的信息)，应注意识别。
图2-8 Ag的光电子能谱图 （Mg K激发）
二、X射线光电子能谱仪
主要组成部分：X光源(激发源)， 样品室，电子能量分析器和信 息放大、记录(显示)系统等组 成。
图13-9 (X射线)光电子能谱仪方框图
三、X射线光电子能分析与应用
1．元素(及其化学状态)定性分析 方法：以实测光电子谱图与标准谱图相对照，根据元素特征峰位置 (及其化学位移)确定样品(固态样品表面)中存在哪些元素(及这些元素 存在于何种化合物中)。 常用Perkin-Elmer公司的X射线光电子谱手册 定性分析原则上可以鉴定除氢、氦以外的所有元素。 分析时首先通过对样品(在整个光电子能量范围)进行全扫描，以确定 样品中存在的元素；然后再对所选择的峰峰进行窄扫描，以确定化学 状态。
第一节 俄歇电子能谱法
俄歇电子能谱法是用具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇 效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学 成分和结构的信息的方法。
一、基本原理
光谱分析中已描述了原子中的电子跃迁及其俄歇电子的发射过程。 俄歇电子的激发方式虽然有多种（如X射线、电子束等），但通常主 要采用一次电子激发。 因为电子便于产生高束流，容易聚焦和偏转。俄歇电子的能量和入射 电子的能量无关，只依赖于原子的能级结构和俄歇电子发射前它所处 的能级位置。
第二十四章 电子能谱分析法
什么是电子能谱分析法？
电子能谱分析法是采用单色光源（如X射线、紫外光）或电子束去照 射样品，使样品中电子受到激发而发射出来，然后测量这些电子的产 额（强度）对其能量的分布，从中获得有关信息的一类分析方法。 本章主要介绍 俄歇电子能谱法(AES) X射线光电子能谱法(XPS) 紫外光电子能谱法(UPS)
局限性
①不能分析氢和氦元素； ②定量分析的准确度不高； ③对多数元素的探测灵敏度为原子摩尔分数0.1%~1.0%； ④电子束轰击损伤和电荷积累问题限制其在有机材料、生物样品和某 些陶瓷材料中的应用； ⑤对样品要求高，表面必须清洁(最好光滑)等。
第二节 X射线光电子能谱法
X射线光电子能谱法（XPS），因最初以化学领域应用为主要目标， 故又称为化学分析用电子能谱法（ESCA）。 技术基础：X射线激发物质光电离、光电子发射过程及其能量关系等 见第二章。
图13-11 X射线光电 子标准谱图示例
应用实例
图13-12为已标识的 (C3H7)4NS2PF2的X射线光电子 谱图。 由图可知，除氢以外，其它元 素的谱峰均清晰可见。图中氧 峰可能是杂质峰，或说明该化 合物已部分氧化。
图13-12
(C3H7)4NS2PF2的XPS谱图
注意
定性分析时，必须注意识别伴峰和杂质、污染峰(如样品被CO2、水分 和尘埃等沾污，谱图中出现C、O、Si等的特征峰)。 定性分析时一般利用元素的主峰(该元素最强最尖锐的特征峰)。 显然，自旋-轨道分裂形成的双峰结构情况有助于识别元素。特别是 当样品中含量少的元素的主峰与含量多的另一元素非主峰相重叠时， 双峰结构是识别元素的重要依据。
2．定量分析
方法：理论模型法、灵敏度因子法、标样法等。 应用最广的是元素(原子)灵敏度因子法。定量结果的准确性比俄歇能 谱相对灵敏度因子法定量好，一般误差可以不超过20％。 由于在一定条件下谱峰强度与其含量成正比，因而可以采用标样法 (与标准样品谱峰相比较的方法)进行定量分析，精确度可达1%~2%。 但由于标样制备困难费时，且应用具有一定的局限性，故标样法尚未 得到广泛采用。
谱峰分裂
能谱峰分裂有多重态分裂与自旋轨道分裂等。 如果原子、分子或离子价(壳)层有 未成对电子存在，则内层芯能级电 离后会发生能级分裂从而导致光电 子谱峰分裂，称之为多重分裂。 图13-8所示为O2分子X射线光电 子谱多重分裂。电离前O2分子价壳 层有两个未成对电子，内层能级 (O1s)电离后谱峰发生分裂(即多 重分裂)，分裂间隔为1.1eV。
一、基本原理
能谱中表征样品芯层电子结合 能的一系列光电子谱峰称为元 素的特征峰(参见图2-8)。
图2-8 Ag的光电子能谱图（MgK激发）
1．化学位移
因原子所处化学环境不同，使 原子芯层电子结合能发生变化， 则X射线光电子谱谱峰位置发生 移动，称之为谱峰的化学位移。 图13-7所示为带有氧化物钝化 层的Al的2p光电子能谱图 由图可知，原子价态的变化导 致A1的2p峰位移。
俄歇电子能谱在材料科学研究中的应用
①材料表面偏析、表面杂质分布、晶界元素分析； ②金属、半导体、复合材料等界面研究； ③薄膜、多层膜生长机理的研究； ④表面的力学性质(如摩擦、磨损、粘着、断裂等)研究； ⑤表面化学过程(如腐蚀、钝化、催化、晶间腐蚀、氢脆、氧化等)研 究； ⑥集成电路掺杂的三维微区分析； ⑦固体表面吸附、清洁度、沾染物鉴定等。
图13-8 氧分子O1s多重分裂 (a)氧原子O1s峰； (b)氧分子中O1s峰分裂
自旋-轨道分裂
一个处于基态的闭壳层(闭壳层 指不存在未成对电子的电子壳 层)原子光电离后，生成的离子 中必有一个未成对电子。若此 未成对电子角量子数l＞0，则 必然会产生自旋-轨道偶合(相 互作用)，使未考虑此作用时的 能级发生能级分裂(对应于内量 子数j的取值j＝l+1/2和j＝l1/2形成双层能级)，从而导致 光电子谱峰分裂；此称为自旋轨道分裂。 图2-8所示Ag的光电子谱峰图 除3S峰外，其余各峰均发生自 旋-轨道分裂，表现为双峰结构 (如3P1/2与3P3/2)。
2．定量分析
基本上是半定量的水平(常规情况下，相对精度仅为30%左右) 常用的定量分析方法是相对灵敏度因子法。该法准确性较低，但不需 标样，因而应用较广。
四、俄歇电子能谱法的应用
优点： ①作为固体表面分析法，其信息深度取决于俄歇电子逸出深度(电子 平均自由程)。对于能量为50eV~2keV范围内的俄歇电子，逸出深度为 0.4~2nm。深度分辨率约为1nm，横向分辨率取决于入射束斑大小。 ②可分析除H、He以外的各种元素。 ③对于轻元素C、O、N、S、P等有较高的分析灵敏度。 ④可进行成分的深度剖析或薄膜及界面分析。
图13-13 1，2，4，5-苯四甲酸；1，2苯二甲酸和苯甲酸钠的C1s光电子谱图
由图可知，与聚乙烯相比，聚 氟乙烯C1s对应于不同的基团 CFH-与-CH2-成为两个部分分开 且等面积的峰。
图13-14 两种聚合物的C1s电子谱图 (a)聚乙烯 (b)聚氟乙烯
在固体研究方面的应用
对于固体样品，X射线光电子平均自由程只有0.5~2.5nm(对于金属及 其氧化物)或4~10nm(对于有机物和聚合材料)，因而X射线光电子能谱 法是一种表面分析方法。 以表面元素定性分析、定量分析、表面化学结构分析等基本应用为基 础，可以广泛应用于表面科学与工程领域的分析、研究工作，如表面 氧化(硅片氧化层厚度的测定等)、表面涂层、表面催化机理等的研究， 表面能带结构分析(半导体能带结构测定等)以及高聚物的摩擦带电现 象分析等。
化学位移示例
图13-2 Mo(110)面俄歇能谱
伴峰
由于俄歇电子逸出固体表面时，有可能产生不连续的能量损失，从而 造成在主峰的低能端产生伴峰的现象。 如：入射电子引起样品内壳层电子电离而产生伴峰(称为电离损失峰)； 又如：入射电子激发样品(表面)中结合较弱的价电子产生类似等离子 体振荡的作用而损失能量，形成伴峰(称等离子体伴峰)等。
线荧光产额增加，而俄歇电子产额下降。 Z<33时，俄歇发射占优势。
俄歇分析的选择
通常 对于Z≤14的元素，采用KLL俄歇电子分析； 14<Z<42的元素，采用LMM俄歇电子较合适； Z>42时，以采用MNN和MNO俄歇电子为佳。
为什么说俄歇电子能谱分析是一种表面分析方法且空间分辨 率高？
图13-7 A1的2p电子能 谱的化学位移
物理位移
由于固体的热效应与表面荷电效应等物理因素引起电子结合能改变， 从而导致光电子谱峰位移，此称之为物理位移。 在应用X射线光电子谱进行化学分析时，应尽量避免或消除物理位移。
2．伴峰与谱峰分裂
能谱中出现的非光电子峰称为伴峰。 如光电子(从产生处向表面)输远过程中因非弹性散射(损失能量)而产生 的能量损失峰，X射线源(如Mg靶的K1与K2双线)的强伴线(Mg靶的 K3与K4等)产生的伴峰，俄歇电子峰等。
二、俄歇电子能谱仪
主要组成部分：电子枪、能量 分析器、二次电子探测器、 （样品）分析室、溅射离子枪 和信号处理与记录系统等。 样品和电子枪装置需置于107~10-8Pa的超高真空分析室中。