紫外激光器研究进展及其关键技术

紫外激光器研究进展及其

关键技术

Last revision on 21 December 2020

紫外激光器研究进展及其关键技术

黄川

摘要：本文详细介绍了利用LD泵浦的紫外激光器产生紫外激光的非线性原理，并在此基础上介绍了在全固态紫外激光器中用到的倍频晶体的种类和各自的应用场景；介绍了近年来高功率固体紫外激光器研制的国内外进展情况，最后展望了高功率全固体紫外激光器研制的未来。

关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配

1、引言

因为紫外激光具有的短波长和高光子的能量特点，所以紫外激光在工业领域内具有非常广泛的应用。在工业微加工领域内，相较于红外激光的热熔过程，紫外激光加工时的“冷蚀效应”可以使加工的尺寸更小，达到提高加工精度的目的。另外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛的应用。

一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。其中固体紫外激光器应用最为广泛的是激光二极管泵浦全固态激光器。而利用激光二极管抽运的固体UV激光器相较于其他类型的紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件结构简单的特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运的全固态UV激光器也得到了迅猛的发展。

在实际的应用当中，实现紫外连续激光输出的方法一般是利用晶体材料的非线性效应实现变频的方法来产生。产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。最常见的是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm 的紫外激光。下文将简单介绍紫外激光产生的非线性原理。

2、非线性频率转换原理

介质的非线性极化

激光作用在非线性介质上会引起介质的非线性极化，这是激光频率变换的非线性基础。在单色的电磁波作用下，介质的内部原子，离子等不会发生本征能级的跃迁，但是这些离子的电荷分布以及运动状态都会发生一些变化，引起光感应的电偶极矩，这个电偶极矩作为新的辐射源辐射电磁波。

一般来说，我们用介质的电极化矢量P描述介质的极化，在入射光较弱的情况下，P 与入射光场E成线性关系：

（2-1）其中，E为电场强度，χ(1)为线性极化系数，ε0为真空中的介电常数。

如果入射光强很大时，电极化矢量P与电场强度E不再成简单的线性关系，而是呈现出一种非线性关系：

（2-2）上式中，χ(2)，χ(3)分别为为二阶非线性极化率和三级非线性极化率。非线性极化项的引入会导致广播的频率发生改变。在这里假设有两书入射光，光波方程如下所示：当两束光入射到介质上，会引起介质的非线性极化，产生的极化强度为：

由于电场强度具有二次项，因此会引入很多新的频率成分。

从上式可以看出，上述的频率成分中包括倍频，和频，差频等。因此当不同频率的两束光波入射到非线性介质上时，极化产生的光波中不仅包括基频光，还存在倍频，和频以及差频的成分。下面简述了光倍频和和频，差频的原理。

非线性晶体选择

非线性是实现激光非线性频率变换的物质基础，满足实际应用场景的非线性晶体应该具备几个条件：透明波段宽，有效非线性光学习书大，最佳相位匹配角恰当，性能稳

定，大的接收角度以及大带宽，生长工艺简单，价格较低。基于这些条件下，非线性晶体也得到了广泛的研究。下面介绍几种常用的高功率紫外激光非线性晶体。

LBO晶体

LBO(LiB

3O

5

)晶体是由中科院研制的一种新型非线性光学晶体。属于正交晶系，负双

轴晶体。这种晶体具有不易潮解，透明波段范围宽的特点，其光学均匀性高，接受角度宽，离散角小，激光损伤阈值高，可以实现非临界相位匹配，因此被广泛应用于和频和差频等领域。

BBO晶体

BBO（BaB

2O

4

）晶体是中科院研发的一种激光晶体。该晶体具有大的双折射效率以及

较低的色散，具有较高的激光损伤阈值，相位匹配范围宽，温度稳定性好，接收角较小，而相对的离散角大，因其轻微的潮解特性通常需要镀膜保护。同样广泛应用于紫外激光倍频，三倍频以及四倍频等。

CLBO晶体

CLBO（CsLiB

6O

10

）晶体是由日本大阪大学研制的一种优良的紫外激光非线性晶体。

该晶体属四方晶系，负单轴晶体，相对于LBO和BBO晶体而言，CLBO警惕的生长较为容易，但是同样具有易潮解的特点，因此需要长期保存在温度高的干燥环境下或者是密封使用，因此在商业领域中还没有得到应用。

CBO晶体

CBO(CsB

3O

5

)晶体是中科院研制的一种紫外激光非线性晶体。这种晶体具有激光损伤

高阈值的特点，并且较高的透过率，其非线性光学系数相较于其他类型的晶体而言较大同时离散角较小，满足紫外激光频率变换的基本条件，但是目前还没有在商业领域内广泛投入使用。

KBBF晶体

KBBF（KBe

2BO

3

F

2

）晶体是中科院研制的一种性能优异的非线性晶体，负单轴晶体。

其紫外透光范围宽，可以输出六倍频深紫外激光，在实现深紫外激光输出的领域中具有非常重要的应用前景、

非线性频率变换方式

倍频有两种方式：腔内倍频以及腔外倍频。

腔内倍频是顾名思义是晶体置于腔内的倍频方式，腔内倍频的方式相对而言可以获得较高的转换效率。腔内倍频的方式对非线性晶体具有一定的要求，倍频晶体需要具有好的光学均匀性，较高的透过率以及良好的导热性，同时要求采用适当的方式来进行温控。

另一种倍频方式腔外倍频是将晶体放在谐振腔外进行倍频的方式。在这种倍频方式

中，可以通过调Q来提高倍频转换效率。当激光脉冲的长度越短，其产生的峰值功率密度越高，因此采用小的光脉冲宽度会提高倍频转换效率。

3、全固态紫外激光器的研究进展

产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。而目前市场研发的全固态紫外激光器主要才用的是后一种方式，产生355nm和266nm的激光，下文中将重点介绍这两种紫外激光器的发展现状。

355nm全固态紫外激光器

2001年，美国Spectra-physics公司采用LD双端面抽运，腔内倍频的方式，采用

Nd：YVO

4

双棒串接作为基频源，采样I类和II类相位匹配的LBO作为三倍频以及和频