紫外激光器研究进展及其关键技术
紫外光刻机技术的研究与发展趋势
紫外光刻机技术的研究与发展趋势一、背景介绍紫外光刻技术是一种高精度、高分辨率的制造微电子器件的重要方法之一。
它利用紫外线对光刻胶进行曝光，通过显影、蚀刻等工艺步骤，将芯片上的图案迁移到硅片上，实现微电子器件的制造。
近年来，紫外光刻机技术在半导体制造、集成电路、显示器件等领域得到了广泛应用。
二、技术发展趋势1. 高分辨率化随着科技的不断进步，对微电子器件的制造要求也越来越高，尤其是对分辨率的要求。
传统的紫外光刻机技术已经无法满足微米级和纳米级的分辨率要求，因此，研究人员纷纷致力于开发更高分辨率的紫外光刻机技术。
包括多光束、电子束和极紫外光刻等新技术应运而生，努力提高分辨率，满足市场需求。
2. 多级曝光技术随着半导体器件尺寸的不断缩小，传统的单级曝光技术已经无法满足需求。
多级曝光技术通过多次曝光和对位，将一个芯片的图案分成多个子图案逐步曝光，最后形成一个完整的图案。
这种技术在提高整体曝光效率的同时，还可以提高分辨率并减小误差。
3. 高速刻蚀技术为了满足大规模集成电路的制造需求，紫外光刻机的刻蚀速度需要得到提高。
高速刻蚀技术通过优化刻蚀气体、调节蚀刻条件等方式，实现更高效的刻蚀过程。
同时，还可以提高刻蚀平坦度和减小副反应，降低产生缺陷的风险。
4. 绿色环保技术随着社会环保意识的增强，绿色环保技术成为紫外光刻机研究的一个重要方向。
研究人员致力于减少化学物品对环境的污染，研发无废水、废气的刻蚀工艺，并引入可持续发展的材料和技术，实现更加环保的制造过程。
5. 智能化与自动化随着人工智能和自动化技术的发展，紫外光刻机技术也逐渐向智能化和自动化方向发展。
通过引入智能控制系统、自动对位对焦技术等，提高生产线的自动化程度，降低人力投入和人为误差，并提高生产效率和产品质量。
三、结论紫外光刻机技术是现代微电子制造领域不可或缺的重要技术。
随着科技的不断进步和应用需求的增加，对紫外光刻技术的要求也越来越高。
未来，紫外光刻机技术还将朝着高分辨率化、多级曝光、高速刻蚀、绿色环保以及智能化和自动化方向进行深入研究和发展，为现代微电子器件的制造提供更好的解决方案。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新索双光束紫外可见分光光度计是目前化学分析领域中的一种先
进仪器。
它通过分析样品在紫外和可见光区域吸收光线的程度，从而确定样品中的化学成分。
在最近的几年中，这种仪器得到了广泛的应用，并且不断有新的技术和创新出现。
新技术之一是采用了更高的灯源功率。
这种新的灯源可以产生更强的光线，从而使分析结果更加准确。
同时，这种灯源可以降低仪器的噪声水平，提高其信噪比，使得在低浓度的样品中仍然可以获得可靠的分析结果。
另一个新技术是使用了更高的分辨率检测器。
这种检测器可以分辨出更细微的光谱变化，从而提高了分析的精度和准确性。
这种新技术的应用可以在样品的谱图中看到更多的细节，从而更好地了解样品的组成和结构。
此外，还有一些创新的应用，如自动化的样品制备和分析过程、在线数据处理和分析、以及与其他仪器的无缝集成等。
这些创新应用可以使索双光束紫外可见分光光度计在化学分析领域中扮演更加重
要的角色。
综上所述，索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新不断涌现，使得这种先进仪器在化学分析领域中的应用变得更加广泛和重要。
这些技术和应用的发展，将为化学分析提供更加精确和可靠的工具，为科学研究和工业生产带来更多的福利。
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实用化266nm紫外激光器的研究
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中图分类 号 ：Ｎ ４ ． Ｔ ２８１ 文献标 识码 ： Ａ Ｄ ：０ ３ ６ ／．ｓｎ １０ —０ ８ ２ １ ．８ ０ ９ ＯＩ １ ． ９ ９ ｊｉ ． ０ １５ ７ ． ０ ２ ０ ． ０ ｓ
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（ｃｅｃ ｎ ｅｈ ｏ ｇ ｎＳ ｌ — ａ ａｅ ａｏａ ｒ ，ｅ ｉｇ１０ １ ，ｈｎ ） Ｓｉ ｅａｄＴ ｃｎ ｌ ｙｏ ｏｄｓ ｔ Ｌ ｓｒ ｂｒｔ ｙ Ｂ ｉｎ ０ ０ ５ Ｃ ｉａ ｎ ｏ ｉ ｔｅ Ｌ ｏ ｊ
第４ ２卷 第 ８期
２１ ０ ２年 ８月
激 光 与 红 外
Ｌ ＡＳＥＲ ＆ Ｉ ＮＦＲＡＲＥＤ
Ｖｏ ． １４２， ． Ｎｏ ８ Ａｕｇ ｓ ， ０１ ｕｔ２ ２
文 章 编 号 ：０ １５ ７ （ ０ ２ ０ －８３０ １０ — ８ ２ １ ） ８０ ８ －４ ０
影响紫外光通信系统发展的关键技术
影响紫外光通信系统发展的关键技术影响紫外光通信系统的发展的关键技术主要包括发射接受器件的研究、信道模型的的研究以及调制解调、编码解码、检测等方法的研究。
在紫外光通信系统中，由于大气中臭氧的强烈吸收作用，所以需要具有性能好、功率高、调制性能好的发射光源。
光学通信系统一般可采用的紫外光源一般可分为紫外线灯和紫外线激光器两大类。
紫外线灯常见的有：高、低压充气汞灯，紫外线卤化物灯等。
此类光源具有价格便宜、功率大(可以达到数十瓦和上万瓦)等特点。
由于紫外气体灯存在易碎、寿命短的缺点，人们开始将日光转向固体发光光源。
处于绝对日盲区的紫外激光器主要有准分子KrF (248nm)激光器和Nd：YAG四倍频激光器(266nm)。
激光器相对气体光源而言，具有坚固耐用的显著优点。
但它并不适用于低成本、低损耗、低功耗的应用场合。
并且这种激光器还有转换效率低、价格昂贵、使用寿命短、脉冲重复周期对温度敏感以及不易低压高速驱动等缺点。
此外，功率较大的紫外激光器不仅十分昂贵，体积较大，而且技术尚不成熟。
如果希望进行非视距、非定向自由空间通信，尚不能满足要求。
由于需要具有性能好、功率高、调制性能好的发射光源，半导体紫外光源计划应运而生。
美国国防高级研究计划局(DARPA)启动了研制可变波长(包括日盲光谱)的晶体管紫外光发射器的项目，其目标是研制用于隐秘非视距紫外光通信的紫外收发器。
目前，SUVOS计划已经成功研制波长为340nm及以上波段的紫外发光二极管。
紫外探测器是接收机最为重要的器件，其主要功能是完成紫外光信号到电信号的转换。
对于非视距的紫外光通信，理想的探测器应该有较大的探测面积、较高的增益和带宽、高的透过率、极低的暗电流密度和“日盲”功能。
日盲型紫外光电倍增管由于具有大的探测面积、较高的增益、低的暗电流并且功率消耗约1OOmW ，因此得到了广泛的应用。
然而即使当前最高新技术的PMT 体积也比半导体探测器大很多，而且价格也是它的上千倍。
紫外激光器研究进展及其关键技术讲解
紫外激光器研究进展及其关键技术黄川摘要：本文详细简介了运用LD泵浦旳紫外激光器产生紫外激光旳非线性原理，并在此基础上简介了在全固态紫外激光器中用到旳倍频晶体旳种类和各自旳应用场景；简介了近年来高功率固体紫外激光器研制旳国内外进展状况，最终展望了高功率全固体紫外激光器研制旳未来。
关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配1、引言由于紫外激光具有旳短波长和高光子旳能量特点，因此紫外激光在工业领域内具有非常广泛旳应用。
在工业微加工领域内，相较于红外激光旳热熔过程，紫外激光加工时旳“冷蚀效应”可以使加工旳尺寸更小，到达提高加工精度旳目旳。
此外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛旳应用。
一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。
其中固体紫外激光器应用最为广泛旳是激光二极管泵浦全固态激光器。
而运用激光二极管抽运旳固体UV激光器相较于其他类型旳紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件构造简朴旳特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运旳全固态UV激光器也得到了迅猛旳发展。
在实际旳应用当中，实现紫外持续激光输出旳措施一般是运用晶体材料旳非线性效应实现变频旳措施来产生。
产生全固态紫外激光旳措施一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种措施是先运用倍频技术得到二次谐波，然后再运用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种措施，后者运用旳是二次非线性极化率，其转换效率要高诸多。
最常见旳是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm旳紫外激光。
下文将简朴简介紫外激光产生旳非线性原理。
2、非线性频率转换原理2.1 介质旳非线性极化激光作用在非线性介质上会引起介质旳非线性极化，这是激光频率变换旳非线性基础。
在单色旳电磁波作用下，介质旳内部原子，离子等不会发生本征能级旳跃迁，不过这些离子旳电荷分布以及运动状态都会发生某些变化，引起光感应旳电偶极矩，这个电偶极矩作为新旳辐射源辐射电磁波。
高功率皮秒紫外激光器新进展
第8卷 第2期2015年4月 中国光学 Chinese Optics Vol.8 No.2 Apr.2015 收稿日期:2014⁃12⁃11;修订日期:2014⁃12⁃15 基金项目:固体激光技术重点实验室基金资助项目(No.2013A10403004)文章编号 2095⁃1531(2015)02⁃0182⁃09高功率皮秒紫外激光器新进展毛小洁1,2(1.固体激光技术重点实验室,北京100015;2.华北光电技术研究所,北京100015)摘要:高功率皮秒紫外激光器在高精密加工、激光医疗、光电对抗和光伏产业等领域有重要应用,近年来成为固体激光新光源研究热点。
本文对国内外基于和频技术的高功率皮秒紫外激光器研究新进展进行了归纳和总结。
首先,阐述了和频工作原理,介绍了和频产生皮秒紫外激光的非线性晶体;然后,介绍了国内外高功率皮秒紫外激光器的新进展,包括:高功率皮秒紫外激光器、高峰值功率皮秒紫外激光器、高功率和高峰值功率皮秒紫外激光器。
最后,展望了高功率皮秒紫外激光器的进一步发展及应用。
归纳和总结表明:高功率皮秒紫外激光器在国外较成熟,国内在该领域的研究刚刚起步。
光子晶体光纤和碟片激光器输出基频光的皮秒紫外激光器有突出的优势,已成为皮秒紫外激光产业的主力军。
关 键 词:激光器;皮秒激光器;和频技术;再生放大技术;紫外激光中图分类号:TN248 文献标识码:A doi:10.3788/CO.20150802.0182New progress in high⁃power picosecond ultraviolet laserMAO Xiao⁃jie 1,2(1.Science and Technology on Solid⁃State Laser Labotatory ,Beijing 100015,China ;2.North China Research Institute of Electro⁃Optics ,Beijing 100015,China )∗Corresponding author ,E⁃mail :maoxiaojie 991220@Abstract :High⁃power picosecond ultraviolet lasers have attracted considerable interests as novel laser source,due to their wide applications in high precision product,laser medical system,optoelectronic countermeasure and structuring of silicon.The research and development on high⁃power picosecond ultraviolet laser based on technology of sum frequency are classified and summarized.First,the mechanism of sum frequency and pico⁃second ultraviolet crystal are discussed.Then the high⁃power picosecond ultraviolet laser,the high⁃peak⁃power picosecond ultraviolet laser,and the high⁃power and high⁃peak⁃power picosecond ultraviolet lasers are dis⁃cussed.Finally,the prospect of further development and applications of high⁃power picosecond ultraviolet la⁃ser sources is put forward.According to the latest development,it is indicated that the high power picosecond ultraviolet lasers developed in abroad is in maturity stage but just in starting stage at.The high⁃power picosec⁃ond ultraviolet lasers based on photonic crystal fiber laser and thin disk laser have some merits,which play im⁃portant roles in laser industry.Key words :lasers;picoseconds laser;sum frequency;regenerative amplifier technology;ultraviolet laser1 引 言 与纳秒激光器相比,皮秒激光器的脉冲宽度更短,特别是小于10ps的激光脉冲,不会对加工材料造成热破坏,被称为“冷加工”,在精密加工领域得到广泛的应用。
紫外激光器的设计与制造研究
紫外激光器的设计与制造研究近年来，紫外激光技术的快速发展，使得其在生产制造、医疗、科研等领域中得到广泛应用。
而作为紫外激光器的核心部件，其设计和制造技术也日益成熟。
一、紫外激光器的设计紫外激光器的设计是基于激光的发射原理和器件的物理特性展开的。
其关键技术包括晶体的选择、光学元件的设计和能量分辨率的提高。
首先，在选择晶体时，需要考虑到它的特性参数和性能指标。
目前，常用的晶体包括氧化物晶体、氟化物晶体和硅化物晶体等。
其中，氧化物晶体的激光光谱相对较广，适用于多种应用场景，但其热导率相对较低；氟化物晶体的热导率较高，能够有效降低晶体温度，但板块性较差；硅化物晶体在紫外光谱范围内的性能表现突出，但相对较难生长。
因此，在实际应用中，需要根据具体的需求选择晶体。
其次，在光学元件的设计方面，主要涉及到腔体结构和反射膜的设计。
腔体结构是紫外激光器中最关键的组成部分之一，包括输出耦合式、自脉冲式、开放式等多个形式。
不同的腔体结构会对激光输出的稳定性、功率密度及波长稳定性产生影响。
而反射膜则是激光产生和放大的关键部分，其光学性能对激光器输出波长和能量有重要的影响。
最后，在能量分辨率的提高方面，需要采用特殊的措施对输出光束进行整形和矫正，以达到优化能量分辨率的目标。
此外，红外激光器的热源控制、噪音抑制、腔体温度控制等方面的技术也需要进行持续的研究和优化。
二、紫外激光器的制造紫外激光器的制造主要包括晶体材料的生长、光学元件的制备和激光器系统的组装等环节。
首先，在晶体材料的生长方面，主要采用熔融法和气相沉积法。
熔融法通常适用于硬晶体和半导体晶体的生长，包括Czochralski法、布里松法和液相外延法等，其优点在于晶体质量好，可拓晶度高。
气相沉积法则特别适用于薄膜的生长，包括物理气相沉积法和化学气相沉积法等，其优点在于能够生长非常薄的膜层，从而实现对激光器性能的精细调控。
其次，在光学元件的制备方面，主要包括透镜、反射镜和衍射光栅等光学元件的制造。
科技成果——全固态纳秒级紫外激光器
科技成果——全固态纳秒级紫外激光器项目成熟阶段成熟期项目来源自筹成果简介紫外激光器在激光加工方面体现其独特的优势：紫外激光器的波长短，聚焦小，能实现精细加工；紫外激光器进行激光加工时直接破坏材料的化学键，是“冷”处理过程，热影响区小：大多数材料能有效地吸收紫外光，可加工许多红外和可见光激光器加工不了的材料。
全固态紫外激光器具有体积小、效率高、重复频率高，无需更换气体、无需掩模、易维护等优点。
因此它在生物工程、材料制备、全光光学器件制作，特别是集成电路板及半导体工业等激光加工领域获得了广泛的应用。
全固态纳秒级紫外激光器目前紫外激光器的发展非常迅速，瓦级功率以上高重频全固态激光器不断应用于加工，国内外研究机构和公司不断向更高功率（数十瓦级）、更高重频（几十甚至几百kHz）方向发展。
目前我们已经研制成功了5W、50kHz的紫外355nm激光器，脉宽25ns。
已经做成样机，性能稳定，用于LED蓝宝石晶圆裂片划线，划线深度达到200μm，线宽小于10μm，划痕光滑均匀，几乎无热影响区。
技术特点通过高效率端面泵浦结构方式得到基模红外1064nm激光，再经过多级放大结构，得到高功率的红外高光束质量基频光，再通过高效率变频技术，最后得到5W、50kHz、25ns脉冲紫外355nm激光。
光束质量因子M2<1.3，功率长期稳定性<±2%。
内部光学结构采用紫外胶光固化粘接，结构小巧牢靠，对环境适应程度高。
通过紫外显微物镜的聚焦，聚焦光斑直径在μm级别，加工尺寸小于10μm。
通过紫外激光器的开发，相应的也取得了更高功率的红外和绿光高光束质量激光技术。
专利情况目前国内外并无相关的专利限制，主要是在工艺实现难度比较高。
目前我们已取得专利8项。
市场分析紫外355nm激光器目前国际市场价格约为2万美元/W，中大功率全固态紫外激光器市场均被国外厂商占据。
据行业协会统计，2010年我国全固态紫外激光器市场销售额达到5亿元人民币，比2009年增长了25%。
紫外激光器研究进展及其关键技术
紫外激光器研究进展及其关键技术黄川 2120160620摘要：本文详细介绍了利用LD泵浦的紫外激光器产生紫外激光的非线性原理，并在此基础上介绍了在全固态紫外激光器中用到的倍频晶体的种类和各自的应用场景；介绍了近年来高功率固体紫外激光器研制的国内外进展情况，最后展望了高功率全固体紫外激光器研制的未来。
关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配1、引言因为紫外激光具有的短波长和高光子的能量特点，所以紫外激光在工业领域内具有非常广泛的应用。
在工业微加工领域内，相较于红外激光的热熔过程，紫外激光加工时的“冷蚀效应”可以使加工的尺寸更小，达到提高加工精度的目的。
另外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛的应用。
一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。
其中固体紫外激光器应用最为广泛的是激光二极管泵浦全固态激光器。
而利用激光二极管抽运的固体UV激光器相较于其他类型的紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件结构简单的特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运的全固态UV激光器也得到了迅猛的发展。
在实际的应用当中，实现紫外连续激光输出的方法一般是利用晶体材料的非线性效应实现变频的方法来产生。
产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。
最常见的是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm的紫外激光。
下文将简单介绍紫外激光产生的非线性原理。
2、非线性频率转换原理2.1 介质的非线性极化激光作用在非线性介质上会引起介质的非线性极化，这是激光频率变换的非线性基础。
在单色的电磁波作用下，介质的内部原子，离子等不会发生本征能级的跃迁，但是这些离子的电荷分布以及运动状态都会发生一些变化，引起光感应的电偶极矩，这个电偶极矩作为新的辐射源辐射电磁波。
大功率全固态355nm紫外激光器研究
大功率全固态355nm紫外激光器研究一、本文概述随着科学技术的飞速发展，紫外激光器在科研、工业、医疗等领域的应用日益广泛，其中355nm波长的紫外激光器因其独特的物理特性在诸多领域表现出显著的优势。
特别是在高精度材料加工、生物医学研究、光电子器件制造等领域，大功率全固态355nm紫外激光器的需求日益迫切。
因此，开展大功率全固态355nm紫外激光器的研究，不仅具有重要的理论意义，也具有巨大的实际应用价值。
本文旨在深入研究大功率全固态355nm紫外激光器的设计、制造、性能测试等关键技术，并探讨其在实际应用中的可能性和挑战。
我们将首先回顾紫外激光器的发展历程，分析当前国内外在该领域的研究现状，并指出存在的问题和面临的挑战。
然后，我们将详细介绍大功率全固态355nm紫外激光器的设计原理和制造工艺，包括激光介质的选择、谐振腔的设计、泵浦方式的选择、热管理策略等关键技术。
在此基础上，我们将通过实验验证和优化激光器的性能，包括输出功率、光束质量、稳定性等关键指标。
我们将探讨大功率全固态355nm紫外激光器在各个领域的应用前景，以及未来研究方向和可能的技术突破。
本文的研究结果将为大功率全固态355nm紫外激光器的设计、制造和应用提供重要的理论支撑和实践指导，有望推动紫外激光器技术的发展和应用领域的拓展。
二、全固态355nm紫外激光器的基本原理与结构全固态355nm紫外激光器是一种基于固体增益介质和非线性光学晶体的高功率激光源。
其基本原理和结构涉及多个关键组成部分，包括泵浦源、增益介质、非线性光学晶体和谐振腔等。
泵浦源是全固态紫外激光器的能量来源，通常采用高功率的半导体激光器或光纤激光器。
泵浦光通过特定的光学系统被引入增益介质，以激发介质中的粒子跃迁至高能级，为后续的激光产生提供能量。
增益介质是激光器的核心部分，通常采用掺有稀土离子的晶体或玻璃材料。
在泵浦光的激发下，增益介质中的稀土离子发生受激辐射，产生与泵浦光波长不同的激光。
紫外激光器用途
紫外激光器用途概述紫外激光器是一种能够产生紫外光的激光器。
由于紫外光具有较短的波长和高能量，因此紫外激光器在许多领域都有广泛的应用。
本文将详细介绍紫外激光器的用途，并对其在不同领域中的应用进行深入探讨。
生物医学领域光谱分析紫外激光器在生物医学领域中广泛应用于光谱分析。
通过对样品进行紫外激光照射，可以得到样品吸收或发射的特定波长的光谱信息。
这种技术可以用于药物分析、蛋白质结构研究等方面。
免疫荧光检测紫外激光器还可以与荧光染料结合，实现生物标记和细胞成像。
通过将荧光标记分子与特定生物分子（如抗体）结合，可以通过观察其发射的特定波长的荧光来检测和定位特定细胞或分子。
这种技术被广泛应用于免疫组织化学、细胞生物学等领域。
激光手术紫外激光器在激光手术中也有重要的应用。
由于其较短的波长和高能量，紫外激光器可以用于切割和凝固组织，实现精确和无创的手术操作。
它可以用于角膜屈光手术、皮肤整形手术等。
工业制造领域光刻技术在集成电路制造中，紫外激光器被广泛应用于光刻技术。
通过使用紫外激光照射特定的光刻胶，可以在硅片上形成微小的图案和结构。
这种技术在芯片制造中起到至关重要的作用。
材料加工紫外激光器还可以用于材料加工。
由于其高能量和较短的波长，紫外激光器可以实现对材料的高精度切割、打孔和微细加工。
这种技术在电子元器件制造、精密仪器制造等领域有广泛的应用。
激光打印紫外激光器也可以应用于激光打印技术。
通过使用紫外激光束在感光材料上进行扫描，可以实现高分辨率和高速度的图像打印。
这种技术在印刷、制版等领域被广泛采用。
科学研究领域光谱分析紫外激光器在科学研究领域中的应用非常广泛。
通过对样品进行紫外激光照射，可以获得样品的吸收或发射的特定波长的光谱信息。
这种技术在化学、物理、生物学等研究中起到重要作用。
光电子显微镜紫外激光器还可以与电子显微镜结合，实现高分辨率和高对比度的图像获取。
通过将紫外激光束聚焦到样品表面，可以激发样品发射出特定波长的荧光或二次电子，从而获得更详细的表面形貌和组成信息。
紫外激光器的发展及应用
们 以人 们广泛使 用的对宽禁 带半导体进 行打标 的高重复率紫 外激光器 为例 ， 这类 激光器不仅 重 复率 高而 且由于它在传 ＾晶片过程中穿透窗 口层在 晶体 的保 护层产生规 则的表 面标记 。由 此科学 家设计 了高重 复率 激光二极 管抽运 Ｎ ： ｄ Ｙ Ｑ 激 光器 。 Ｖ 这种激 光器融 合了半导体激光器 和 固体 激光器 的双重优点 ，是多年来 的研 究热 点。
ｄ ａｉｎ ｏ ６ ｎｍ ｂ ｕｓ ｏ ａ ｅｏ ａ ｔ ｉ ｉｔｏ ｔ ２ ６ ｙ ｅ ｆ ｒｓ ｎ ｆｎｎ ｎ
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『李银柱 ， ６ ］ 戴季平 ， 良让 ， 李 等。高功率激光装置 中的二倍 频 Ｎ ： Ｌ 模 拟激光 系统 Ⅱ 中国激 ｄＹ Ｆ ｌ
Ｉ Ｉ Ｊ Ｊ ｑ ａ ｔ Ｊｅｔ ｎ ９ ６ Ｕ ２ （ Ｉ Ｊ ｕ ｎ ｍ Ｉ ｃ ｏ ，１ ６ ， ？ ＪＩ ｕ １ ｒ ０
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使 方 向稳定 『更加长期 。在一些工业 中符 合高 生 重 复率的紫外激 光器要 数对宽禁带半导体 进行 打标 的紫外激光器 ， 它避免 了对 晶片的微创 。当 然 激光二极管抽 运的固体激光器还有体 积小易 操 作等多种优点 。而科 学家们更想在性 能和体 积上优化 电子设 备 ， 以纳米技术无 疑成为 了 所
光 ￣ ０ ； ９ ） ０ ０ ２ ２ （： １ Ａ ２１ 【蓝信 让． ７ ］ 激光技 术 ． 北京 ： 学Ｊ 科 Ｆ版社２ ０ ： ０１
最好 了选择 。 本文主要介 绍紫外激光器的原理 以及常用 的激光器 ， 紫外激光器 的优 良性能 ， 激光器 的发 展 以及最新的激光器产品。 Ｉ紫外激光器 的原理 除 自由电子激光器外 ，各种激光 器的基本 工作 原理均相 同 ， 产生激光 的必 不可少 的条件
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术随着新能源、新材料和电子信息技术的发展，紫外光源材料和器件的应用越来越广泛。
新一代的半导体固态紫外光源材料及器件具有低成本、低能耗、高性能和高可靠性等显著优势，已成为紫外光源领域的新领袖。
本文旨在介绍第三代半导体固态紫外光源材料及器件的关键技术。
1.紫外光源材料紫外光源材料是外光发射器件的最重要组成部分。
第三代半导体固态紫外光源材料主要有二维材料、量子点和金属氧化物，它们具有调节发射光谱宽度、外观和提高发光效率等优势。
二维材料就是类似于二维面，使用不同结构的半导体材料，具有良好的可操作性和量子效率。
例如，石墨烯是一种两维材料，可以制备多种用于发射紫外光的石墨烯复合材料，用于紫外光发射器件。
量子点结构主要有锌镓硫磷(ZnGa2S4)和铝镓硫磷(AlGa2S4)两种形式。
它们具有良好的紫外发光效率，可操作性和宽的发射光谱宽度，能生成强大的紫外光。
金属氧化物也可以用作紫外光源材料，其代表材料有氧化铝铝(Al2O3)、氧化镁锰(MgO)和氧化铌酸锰(MnO2)等。
金属氧化物具有高紫外光发射效率、可操作性等优点，可以实现高亮度的紫外光发射。
2.紫外光源器件紫外光源器件是一种将能量转换为紫外光的器件，它有多种形式，如紫外发射二极管、光电晶体管、量子点器件和金属氧化物器件等。
紫外发射二极管是紫外光源器件的主要类型，它们可以将电能转换为紫外光，并具有低功耗、高效率、稳定性好等优点，可广泛应用于电子行业和光学领域。
光电晶体管是一种可以将电能转换为紫外光的二极管，由于它可以实现紫外和可见光的同步发射，因此具有很好的可操作性和可靠性。
量子点器件是一种用于发射紫外光的新型器件，它能有效地将电能转换为紫外光，并具有极高的紫外发射效率，可操作性好，比传统的紫外发射器件更加可靠，有利于实现紫外光发射节能减排。
金属氧化物器件是一种用于发射紫外光的新型器件，它具有高可操作性、高紫外发射效率、低能耗的优点。
中国成功研制世界上最亮的极紫外光源
中国成功研制世界上最亮的极紫外光源
中国科学院研制的“大连光源”15日发出了世界上最强的极紫外自由电子激光脉冲，单个皮秒激光脉冲产生140万亿个光子，成为世界上最亮且波长完全可调的极紫外自由电子激光光源。
在这样的极紫外光照耀下，区域内几乎全部原子和分子都“无处遁形”。
因此，“大连光源”可被用于观测与燃烧、大气以及干净能源相关的物理化学过程。
中科院副院长王恩哥说，这是中国科学院乃至中国又一项具有极高显示度的重大科技成果，装置中90%的仪器设备均由中国自主研发，标志着中国在这一领域占据了世界领先地位，将大大促进中国在能源、光学、物理、生物、材料、大气雾霾、光刻等多个重要领域讨论水平的提升。
自由电子激光是国际上最先进的新一代先进光源，也是当今世界先进国家竞相进展的重要方向，在科学讨论、先进技术、国防科技进展中有着重要的应用前景。
“大连光源”是中国第一台大型自由电子激光科学讨论用户装置，是当今世界上唯一运行在极紫外波段的自由电子激光装置，也是世界上最亮的极紫外光源。
据介绍，“大连光源”的波长可在极紫外区域完全连续可调，具有完全的相干性；该激光可以工作在飞秒或皮秒脉冲模式，可以用SASE(自放大自发辐射)或HGHG(高增益谐波放大)模式运行。
“大连光源”项目得到了国家自然科学基金委国家重大仪器专项的资助，由中科院大连化学物理讨论所和上海应用物理讨论所联合研制。
项目于2023年10月正式在大连长兴岛开工建设，2023年9月底安装完成首次出光，制造了中国同类大型科学装置建设的新纪录。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新
索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新新技术和创新在科学领域中起着至关重要的作用，索双光束紫外可见分光光度计也不例外。
这种仪器通过独特的设计和创新，为科学研究和实验提供了更高效、准确的方法。
本文将探讨索双光束紫外可见分光光度计的新技术和创新。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术在光路设计方面进行了重大突破。
传统的紫外可见分光光度计使用单光束设计，即将样品和参比溶液分别放置在两个光路中进行测量。
然而，这种设计存在一个问题，即样品和参比溶液可能在光路中经过不同的路径，导致测量结果的不准确性。
为了解决这个问题，索双光束紫外可见分光光度计采用了双光束设计，即样品和参比溶液同时通过同一光路进行测量。
这种设计确保了样品和参比溶液在相同的光路条件下进行测量，避免了路径差异对测量结果的影响，提高了测量的准确性。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术在光源方面进行了创新。
传统的紫外可见分光光度计使用氘灯作为紫外光源，而使用钨灯作为可见光源。
然而，氘灯对紫外光的发射强度较低，而钨灯对可见光的发射强度较低，这限制了传统光度计的灵敏度和测量范围。
为了克服这个问题，索双光束紫外可见分光光度计采用了新型的光源，如氙灯或LED。
这些新型光源具有更高的发射强度和更广泛的波长范围，使得光度计能够测量更低浓度的样品和更广泛的波长范围。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术还包括样品室的创新设计。
传统的光度计样品室通常采用光学玻璃或石英材料制成，但这种材料对紫外光的透射率较低，限制了紫外光的测量范围。
为了解决这个问题，索双光束紫外可见分光光度计采用了新型的样品室材料，如镀膜石英或镀膜硅。
这些材料具有更高的紫外光透射率，扩展了紫外光的测量范围。
索双光束紫外可见分光光度计的新技术还包括数据处理方面的创新。
传统的光度计通常使用电压信号来表示光强度，而索双光束紫外可见分光光度计采用了数字信号处理技术，将光强度转换为数字信号进行处理。
这种数字信号处理技术不仅提高了数据的精确度和稳定性，还使得数据的处理和分析更加方便和快捷。
高能深紫外激光的产生及应用技术研究
高能深紫外激光的产生及应用技术研究高能深紫外激光是一种在深紫外波段具有高能量的激光。
它的产生和应用技术研究对于现代科学和工程领域具有重要意义。
一、高能深紫外激光的产生技术研究1. 激光介质的选择：高能深紫外激光常使用氟化物晶体、气体或液体作为激光介质。
这些材料具有较高的能量转换效率和较宽的激发光谱范围。
2. 激发源的设计：激发源是产生高能深紫外激光的关键。
常见的激发源包括闪光灯、电子束、脉冲电子束和自由电子激光等。
这些激发源能够提供足够的能量来激发激光介质，实现高能量的深紫外激光输出。
3. 光学系统的设计：高能深紫外激光的输出需要经过一系列光学元件的调节和优化。
光学系统的设计包括光束展宽、光束整形和光束聚焦等方面，以实现高能量和高质量的激光输出。
二、高能深紫外激光的应用技术研究1. 光谱分析：高能深紫外激光在光谱分析中具有重要的应用价值。
由于深紫外波段具有较短的波长和较高的能量，因此可以用于分析物质的光谱特性，如吸收光谱和荧光光谱等。
这对于材料科学、生物医学和环境监测等领域的研究具有重要意义。
2. 光刻技术：深紫外激光在半导体工艺中的应用十分广泛。
光刻技术是一种通过激光光刻胶来制作微细图案的方法。
高能深紫外激光能够提供足够的能量，使光刻胶发生化学反应，并在半导体晶片上形成所需的微细结构，从而实现集成电路的制造。
3. 激光微加工：高能深紫外激光在材料加工领域也具有广泛的应用。
它可以用于微纳加工、激光切割和激光打标等方面。
深紫外激光具有较小的光斑尺寸和较高的能量密度，可以实现对微小物体的精确加工，满足现代制造业对高精度和高效率加工的需求。
总结：高能深紫外激光的产生和应用技术研究在科学研究和工程应用中发挥着重要的作用。
通过对激光介质、激发源和光学系统的优化设计，可以实现高能量、高质量的深紫外激光输出。
在光谱分析、光刻技术和激光微加工等领域，高能深紫外激光都具有广泛的应用前景。
未来随着研究和技术的不断进步，高能深紫外激光将在更多领域展现出其巨大的潜力和价值。
等离子体紫外光源技术的进展及应用
等离子体紫外光源技术的进展及应用
等离子体紫外光源技术是一种新型的光源技术，它利用等离子体的高
能量电子和离子碰撞气体分子，产生紫外光辐射。
近年来，随着科技的不
断发展，等离子体紫外光源技术也得到了广泛的应用和发展。
一、技术进
展1.等离子体紫外光源的制备技术不断提高，可以制备出更加稳定和高
效的等离子体紫外光源。
2.等离子体紫外光源的波长范围不断扩大，可以
产生更多种类的紫外光辐射，满足不同领域的需求。
3.等离子体紫外光源
的功率不断提高，可以产生更高强度的紫外光辐射，提高了其在材料加工、光刻、光谱分析等领域的应用。
二、应用领域1.光刻领域：等离子体紫
外光源可以产生高强度的紫外光辐射，用于半导体芯片的制造和微电子器
件的加工。
2.材料加工领域：等离子体紫外光源可以产生高能量的紫外光
辐射，用于材料表面的改性和加工。
3.光谱分析领域：等离子体紫外光源
可以产生多种波长的紫外光辐射，用于分析和检测物质的成分和结构。
4.
医疗领域：等离子体紫外光源可以产生紫外线杀菌，用于医疗器械的消毒
和医疗环境的净化。
5.环保领域：等离子体紫外光源可以产生紫外线氧化，用于处理废水和废气。
总之，等离子体紫外光源技术的进展和应用，为各
个领域的发展提供了新的思路和方法，具有广阔的应用前景。
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术
第三代半导体固态紫外光源材料及器件关键技术包括以下几个方面：
1.材料制备技术。
第三代半导体材料包括氮化物、碳化物、氟化物等，需要制备高质量晶体材料，提高材料的纯度和晶体质量，最大限度地减少
杂质和缺陷的影响。
2.器件设计和加工技术。
需要设计出合适的器件结构，以提高光电转
换效率和封装性能，同时需要采用先进的工艺加工技术，实现高精度、高
一致性、高可靠性的器件制备。
3.光电学特性的研究与优化技术。
需要对光电学性能进行深入的研究
和分析，提高光电转换效率和光输出功率，并通过优化器件结构和材料配方，实现光学特性的优化。
4.封装与散热技术。
需要采用优化的封装方案，以提高器件的稳定性
和寿命，并通过散热技术实现高功率、高亮度、高效率的固态紫外光源器件。
5.标准化与可靠性测试技术。
需要建立统一的标准化测试方法，以评
估器件的性能和可靠性，并通过合适的可靠性测试手段，提高器件的可靠
性和长期稳定性。
2024年纳秒紫外激光器市场发展现状
2024年纳秒紫外激光器市场发展现状概述纳秒紫外激光器是一种在纳秒级脉冲宽度下工作的紫外光激光器。
它具有短脉冲宽度、高能量密度和紧凑结构等优势，广泛应用于生物医学、材料加工和科学研究等领域。
本文将探讨纳秒紫外激光器市场的发展现状。
市场规模纳秒紫外激光器市场规模持续增长。
近年来，随着生物医学应用和材料加工领域的不断扩展，纳秒紫外激光器的需求不断增加。
根据市场研究数据显示，纳秒紫外激光器市场在过去几年中保持了稳定的增长趋势。
应用领域生物医学纳秒紫外激光器在生物医学领域具有广泛的应用。
它可以用于光谱分析、荧光成像、细胞切割、癌症治疗等多种生物医学应用。
纳秒紫外激光器的短脉冲宽度和高能量密度使其成为生物样品精确控制和处理的理想工具。
材料加工纳秒紫外激光器在材料加工领域也有重要应用。
它可以用于微细加工、激光刻蚀、激光打孔等过程。
纳秒级的脉冲宽度和紧凑的结构使得纳秒紫外激光器能够实现高精度和高效率的材料加工，满足不同行业对加工质量和速度的需求。
科学研究纳秒紫外激光器在科学研究领域有着广泛的应用。
它可以用于光谱分析、蛋白质结构研究、物质表征等方面。
纳秒级的脉冲宽度和高能量密度能够提供足够的分辨率和信号强度，有助于科学家们做出精确的测量和分析。
市场竞争纳秒紫外激光器市场目前存在着较为激烈的竞争。
主要的竞争者包括多家知名激光器制造商和科研机构。
这些公司和机构通过不断提高产品质量、降低成本和开发新的应用领域来争夺市场份额。
市场前景纳秒紫外激光器市场具有广阔的前景。
随着生物医学、材料加工和科学研究等领域的不断发展，纳秒紫外激光器的需求将进一步增加。
同时，随着技术的不断进步和应用领域的扩展，纳秒紫外激光器将会呈现出更加出色的性能和更低的成本，加速市场的发展。
结论纳秒紫外激光器市场在生物医学、材料加工和科学研究等领域有着广泛的应用。
市场规模持续增长，竞争激烈。
未来，纳秒紫外激光器市场有望展现出更大的发展潜力，为不同行业带来更多的应用和创新。
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紫外激光器研究进展及其关键技术Last revision on 21 December 2020紫外激光器研究进展及其关键技术黄川摘要：本文详细介绍了利用LD泵浦的紫外激光器产生紫外激光的非线性原理，并在此基础上介绍了在全固态紫外激光器中用到的倍频晶体的种类和各自的应用场景；介绍了近年来高功率固体紫外激光器研制的国内外进展情况，最后展望了高功率全固体紫外激光器研制的未来。
关键词：紫外激光；非线性光学；相位匹配1、引言因为紫外激光具有的短波长和高光子的能量特点，所以紫外激光在工业领域内具有非常广泛的应用。
在工业微加工领域内，相较于红外激光的热熔过程，紫外激光加工时的“冷蚀效应”可以使加工的尺寸更小，达到提高加工精度的目的。
另外，紫外激光器在生物技术，医疗设备加工，大气探测等领域也有广泛的应用。
一般而言，可以将紫外激光器划分为三类：固体紫外激光器，气体紫外激光器，半导体紫外激光器。
其中固体紫外激光器应用最为广泛的是激光二极管泵浦全固态激光器。
而利用激光二极管抽运的固体UV激光器相较于其他类型的紫外激光器而言，具有效率高，性能可靠，硬件结构简单的特点，因此应用最为广泛，基于LD抽运的全固态UV激光器也得到了迅猛的发展。
在实际的应用当中，实现紫外连续激光输出的方法一般是利用晶体材料的非线性效应实现变频的方法来产生。
产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。
最常见的是通过三倍频和四倍频技术产生355nm和266nm 的紫外激光。
下文将简单介绍紫外激光产生的非线性原理。
2、非线性频率转换原理介质的非线性极化激光作用在非线性介质上会引起介质的非线性极化，这是激光频率变换的非线性基础。
在单色的电磁波作用下，介质的内部原子，离子等不会发生本征能级的跃迁，但是这些离子的电荷分布以及运动状态都会发生一些变化，引起光感应的电偶极矩，这个电偶极矩作为新的辐射源辐射电磁波。
一般来说，我们用介质的电极化矢量P描述介质的极化，在入射光较弱的情况下，P 与入射光场E成线性关系：（2-1）其中，E为电场强度，χ(1)为线性极化系数，ε0为真空中的介电常数。
如果入射光强很大时，电极化矢量P与电场强度E不再成简单的线性关系，而是呈现出一种非线性关系：（2-2）上式中，χ(2)，χ(3)分别为为二阶非线性极化率和三级非线性极化率。
非线性极化项的引入会导致广播的频率发生改变。
在这里假设有两书入射光，光波方程如下所示：当两束光入射到介质上，会引起介质的非线性极化，产生的极化强度为：由于电场强度具有二次项，因此会引入很多新的频率成分。
从上式可以看出，上述的频率成分中包括倍频，和频，差频等。
因此当不同频率的两束光波入射到非线性介质上时，极化产生的光波中不仅包括基频光，还存在倍频，和频以及差频的成分。
下面简述了光倍频和和频，差频的原理。
非线性晶体选择非线性是实现激光非线性频率变换的物质基础，满足实际应用场景的非线性晶体应该具备几个条件：透明波段宽，有效非线性光学习书大，最佳相位匹配角恰当，性能稳定，大的接收角度以及大带宽，生长工艺简单，价格较低。
基于这些条件下，非线性晶体也得到了广泛的研究。
下面介绍几种常用的高功率紫外激光非线性晶体。
LBO晶体LBO(LiB3O5)晶体是由中科院研制的一种新型非线性光学晶体。
属于正交晶系，负双轴晶体。
这种晶体具有不易潮解，透明波段范围宽的特点，其光学均匀性高，接受角度宽，离散角小，激光损伤阈值高，可以实现非临界相位匹配，因此被广泛应用于和频和差频等领域。
BBO晶体BBO（BaB2O4）晶体是中科院研发的一种激光晶体。
该晶体具有大的双折射效率以及较低的色散，具有较高的激光损伤阈值，相位匹配范围宽，温度稳定性好，接收角较小，而相对的离散角大，因其轻微的潮解特性通常需要镀膜保护。
同样广泛应用于紫外激光倍频，三倍频以及四倍频等。
CLBO晶体CLBO（CsLiB6O10）晶体是由日本大阪大学研制的一种优良的紫外激光非线性晶体。
该晶体属四方晶系，负单轴晶体，相对于LBO和BBO晶体而言，CLBO警惕的生长较为容易，但是同样具有易潮解的特点，因此需要长期保存在温度高的干燥环境下或者是密封使用，因此在商业领域中还没有得到应用。
CBO晶体CBO(CsB3O5)晶体是中科院研制的一种紫外激光非线性晶体。
这种晶体具有激光损伤高阈值的特点，并且较高的透过率，其非线性光学系数相较于其他类型的晶体而言较大同时离散角较小，满足紫外激光频率变换的基本条件，但是目前还没有在商业领域内广泛投入使用。
KBBF晶体KBBF（KBe2BO3F2）晶体是中科院研制的一种性能优异的非线性晶体，负单轴晶体。
其紫外透光范围宽，可以输出六倍频深紫外激光，在实现深紫外激光输出的领域中具有非常重要的应用前景、非线性频率变换方式倍频有两种方式：腔内倍频以及腔外倍频。
腔内倍频是顾名思义是晶体置于腔内的倍频方式，腔内倍频的方式相对而言可以获得较高的转换效率。
腔内倍频的方式对非线性晶体具有一定的要求，倍频晶体需要具有好的光学均匀性，较高的透过率以及良好的导热性，同时要求采用适当的方式来进行温控。
另一种倍频方式腔外倍频是将晶体放在谐振腔外进行倍频的方式。
在这种倍频方式中，可以通过调Q来提高倍频转换效率。
当激光脉冲的长度越短，其产生的峰值功率密度越高，因此采用小的光脉冲宽度会提高倍频转换效率。
3、全固态紫外激光器的研究进展产生全固态紫外激光的方法一般有两种：一是直接对全固体激光器进行3倍频或4倍频来得到紫外激光；另一种方法是先利用倍频技术得到二次谐波，然后再利用和频技术得到紫外激光。
相较于前一种方法，后者利用的是二次非线性极化率，其转换效率要高很多。
而目前市场研发的全固态紫外激光器主要才用的是后一种方式，产生355nm和266nm的激光，下文中将重点介绍这两种紫外激光器的发展现状。
355nm全固态紫外激光器2001年，美国Spectra-physics公司采用LD双端面抽运，腔内倍频的方式，采用Nd：YVO4双棒串接作为基频源，采样I类和II类相位匹配的LBO作为三倍频以及和频晶体，在104W的功率条件下，获得了功率为12W，脉宽为17-75ns的355nm紫外激光输出。
2005年，中科院理化研究所和物理研究合作研发了一套紫外激光器。
才用的是外腔倍频的方式，利用LBO作为倍频晶体，CBO作为三倍频晶体，其中CBO晶体才用的是II类相位匹配，通过140W，70ns的基频光波和频，获得了最高输出位17W的355nm的紫外激光输出，比同尺寸的LBO晶体拥有更好的性能，但是其转换效率略低，约为12% 。
的结构，波长为1064nm的基2006年，Coherent公司采用同样端面抽运Nd：YVO4频激光通过放大后输出，利用I类相位匹配LBO倍频产生532nm的倍频激光，该倍频光经过II类相位匹配LBO和频得到355nm的三倍频光输出。
最后获得了3最高输出功率为36W，脉宽为31ns的355nm激光，并且具有很高的转换效率，达到了44%。
2008 年，日本大阪大学研发了大于100W的最高输出功率的355nm紫外激光输出。
通过利用MOPA结构的Nd：YAG激光器，得到了300W的基频光，。
在此基础上，通过I类相位匹配的LBO背叛，II类相位匹配的CBO和频，最后得到了输出功率为103W，脉宽为58ns的355nm紫外激光输出，其转换效率约为%。
2009年，Coherent公司研发了一款平均功率为160W的355nm的紫外激光输出。
该激光器为内腔倍频结构，腔内还有两组侧面抽运的Nd：YAG双棒串接，同时腔内插入两个Q开关实现调Q。
采用I类非临界相位匹配LBO进行倍频，之后采用II类相位匹配LBO进行和频得到三倍频激光。
在2..7KW抽运下，得到了160W平均功率的355nm紫外激光输出。
2010年，山东大学晶体材料国家重点实验室采用LD端面泵浦YAG晶体并通过声光调Q腔内三倍频获得高功率准连续355nm激光输出。
在泵浦功率180W时，获得平均功率的355nm激光输出，其光一光转化效率为%。
同年，清华大学精密仪器系摩擦学国家重点实验室光子与电子技术研究中心柳强、闰兴鹏等报道了平均功率为43 W，脉冲宽度为 ns，峰值功率和单脉冲能量高达67kW和，激光光束质量MZ<的355nmUV激光。
2012年，华北光电技术研究所采用大功率LD端面泵浦Nd:YV04晶体，声光调Q及腔外和频方式获得稳定的355 nm紫外激光。
在泵浦功率为时，得到 W 1064 nm连续基频激光输出，光一光转化效率49%。
在20 kHz调制频率下，得到 355 nm紫外激光。
266nm全固态紫外激光器2000年，日本三菱公司和大阪大学合作研发了输出功率为20W的266nm的紫外激光器。
该激光器采用532nm激光器作为基频光，在100W输出功率，80ns脉宽下，通过I类相位匹配CLBO晶体进行倍频得到266nm紫外激光输出。
功率的532绿光倍频得到了输出功率为的266nm的紫外激光输出，其转换效率为%。
2003年，同样是该小组利用同样的结构将输出功率提升到了23W。
2007年，该小组利用CLBO晶体作为倍频晶体，得到了输出功率的266nm紫外激光。
2006年，中科院物理研究所研发了输出功率为的266nm紫外激光输出。
采用功率为120W，脉宽为80ns的532nm绿光激光作为基频光，采用I类相位匹配CLBO晶体倍频，最后得到了输出功率为的266nm紫外激光输出，转换效率达到了%。
4、总结与展望随着工业市场对高功率的全固态紫外激光器的性能的需求不断加深，作为其中关键技术部分的新型非线性材料不断涌现，性能也是日新月异，就目前而言，其最高输出功率已经达到了100W的量级，而这个数字同时在不断的刷新。
在输出功率不断提高的同时，带来的一些问题也就亟待解决：非线性光学晶体的抗损伤问题，紫外激光的转换效率，光束质量以及光学晶体的寿命等问题。
想要进一步提高高功率的全固态紫外激光器的性能，这些问题都是未来的研究工作中必须要解决的。
4、参考文献[1]杜秀兰，吴峰.固体激光器的灯泵浦和二极管泵浦方式比较.应用光学.2004,25(3) : 37-40[2]王路威.固体激光器[J].成都大学学报.2002, 21(3): 4043[3]高兰兰，檀慧明.LD泵浦全固态355nm紫外脉冲激光器.半导体光电.2003, 24 (2):94-96[4」周城.半导体激光器泵浦266nm紫外固体激光器的实验研究:[硕士学位论文].长春:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，2003[5]李林，李正佳，何艳艳.全固态紫外激光器研究进展.激光杂志.2005,26(6)[6〕王杨，符史干，薛峰等.紫外激光特性参数与医用生物学软组织消融应用.现代测量与实验室管理.2007, 5:5-9[7]唐娟，廖健宏，蒙红云等.紫外激光器及其在激光加工中的应用.激光与光电子学进展.2007, 44 (8) : 52-56[8〕俞君，曾智江，朱三根等.紫外激光在微细加工技术中的优势研究.红外.2008, 29 (6):9-13[9]柳强，闰兴鹏，陈海龙等.高功率全固态紫外激光器研究新进展.中国激光.2010, 37(9): 2289-2298。