基于白光干涉的绝对距离测量

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白光干涉测距原理 -回复

白光干涉测距原理-回复【白光干涉测距原理】是一种用于测量物体距离的方法，利用光的干涉现象来实现精确测距。

本文将分步骤回答关于白光干涉测距原理的问题，帮助读者深入了解这一测量技术。

第一步：什么是干涉？干涉是光学的基本现象之一，它源于光的波动性。

当两束或多束光线重叠在一起时，它们会相互干涉。

干涉可以分为构成性干涉和破坏性干涉两种形式。

构成性干涉时，光线波峰与波峰叠加，形成亮区；波谷与波谷叠加，形成暗区。

而破坏性干涉时，则相反。

第二步：为什么使用白光进行干涉测距？在干涉测距中，使用白光的主要原因是白光包含了多个波长的光束。

根据干涉的原理，不同波长的光线在相遇处会产生不同的干涉现象。

通过分析干涉条纹，可以推断出物体距离的变化。

使用白光进行干涉测距可以在一次测量中得到更准确的结果，因为它利用了多个波长的信息。

第三步：白光干涉测距的基本原理是什么？白光干涉测距的基本原理是利用干涉仪测量物体表面的微小高度差。

干涉仪由光源、分束器、反射镜、反射面以及接收器组成。

白光通过分束器被分成两束光，一束经过反射镜反射后射入参考光束，另一束则射向物体表面。

被物体表面反射的光线也会进入干涉仪，与参考光束相叠加形成干涉条纹。

根据干涉条纹的变化，可以计算出物体表面的高度差。

第四步：如何获得干涉条纹？获得干涉条纹的过程可以通过以下步骤来实现：1. 将白光分成两束光线，一束作为参考光线，另一束射向物体表面。

2. 被物体表面反射并重新聚焦的光线与参考光线叠加，形成干涉现象。

3. 将干涉光束通过一个接收器，并记录下干涉条纹的变化。

第五步：如何利用干涉条纹测量物体表面的高度差？通过分析干涉条纹的变化，可以计算出物体表面的高度差。

干涉条纹的间距与物体表面的高度差成正比，因此可以通过测量干涉条纹的间距来得到物体表面的高度变化。

第六步：干涉测距的应用领域有哪些？白光干涉测距技术广泛应用于工业测量领域。

例如，在制造工艺中，可以利用干涉测距技术来测量和控制物体的尺寸和形状。

基恩士白光干涉仪检测限值-概述说明以及解释

基恩士白光干涉仪检测限值-概述说明以及解释1.引言1.1 概述基恩士白光干涉仪是一种常用于表面形貌和薄膜膜厚测量的精密仪器。

通过干涉原理，它能够测量出样品表面的微小高低起伏，以及膜厚的变化情况。

这种仪器具有高精度、快速测量、非接触性等特点，被广泛应用于光学、半导体、电子等领域。

本文将着重介绍基恩士白光干涉仪的检测限值，即在不同条件下的最小可测量值。

通过分析检测原理和仪器性能，可以确定基恩士白光干涉仪在实际应用中的测量范围和精度，为用户提供参考和指导。

1.2 文章结构文章结构部分:本文分为引言、正文和结论三部分组成。

在引言部分中，将对基恩士白光干涉仪的检测限值进行介绍，包括概述、文章结构和目的。

在正文部分中，将详细介绍基恩士白光干涉仪的简介、检测原理和检测限值分析。

最后，在结论部分中对文章进行总结，探讨基恩士白光干涉仪在实际应用中的前景，并展望未来的发展方向。

整个文结构清晰，内容详实，旨在全面介绍基恩士白光干涉仪的检测限值。

1.3 目的：本文旨在探讨基恩士白光干涉仪在光学检测领域中的应用，并分析其检测限值。

通过对基恩士白光干涉仪的简介、检测原理和检测限值进行详细阐述，旨在帮助读者深入了解该仪器的工作原理和性能特点。

同时，本文还将探讨该技术在实际应用中的潜在前景，为相关领域的研究和应用提供参考和借鉴。

通过本文的研究，希望读者能够认识到基恩士白光干涉仪在光学领域中的重要性，以及其在科学研究和工程实践中的广泛应用价值。

2.正文2.1 基恩士白光干涉仪简介基恩士白光干涉仪是一种高精度的光学检测仪器，通常用于表面形貌测量、薄膜厚度测量、折射率测量等领域。

该仪器利用干涉原理，通过将光波分为两路，然后让它们重新相交产生干涉条纹，从而测量待测物体表面或薄膜的参数。

基恩士白光干涉仪具有高分辨率、高精度、非接触、快速测量等优点，广泛应用于科学研究、工业生产等领域。

其原理是利用光的干涉效应来测量目标物体的表面形貌或薄膜厚度。

白光扫描干涉测量

垂直扫描白光干涉法测量技术垂直扫描白光干涉法是干涉法的基础上发展起来的一种光学非接触测量方法。

结合了白光干涉显微技术和相移干涉技术，也被称为白光干涉条纹扫描法、相干检测法等。

光的干涉是光在传播过程中呈波动性的重要现象之一，1801年，杨氏双缝实验历史长第一次用实验显示了光的干涉现象，其设计构思的精巧之处在于从同一波阵面上取得了两个波源。

随后，相继出现了很多类似原理的实验装置。

目前，相干光的应用已经遍及各个领域，如光相干探测、相干光通信以及在遥感领域和军事领域的应用等。

光的干涉现象时光的波动性的表现。

光的干涉产生干涉条纹，表现为光在遇到障碍物时候出现光的强度或明暗，在空间稳定分布的现象。

两束光在相遇的区域内形成稳定的明暗交替或彩色条纹的现象成为光的干涉现象。

例如：双缝干涉中将S光源发出的一束光通过S1、S2的双狭缝，分离出两个很小的部分作为相干光源，这两束光为同一光源发出，所以频率，相位都相等。

由于两束光源到屏幕上的任意点的距离不等，所以当两束光在屏幕相遇时，相位相等的点就呈现出叠加加强的现象，显示为亮点，而相位相反的点则相互抵消，就显示为暗点。

这样在双缝后面的幕上就呈现了明暗相间的条纹——干涉图样，如图1。

对干涉现象的产生完全可按照矢量波的合成来分析。

显然，不满足相干条件的几列波虽能叠加，但不能干涉。

图1白光光源包含了整个可见光谱区域的光谱成分，自红光至紫光，波长为4000~7000Å，光谱宽度很大，相干长度很长，大约几个微米。

只有光程差很小时，两束光才能发生干涉，白光中不同波长的光将产生各自的一组干涉条纹。

因为干涉条纹的间距与光的波长有关，当光程差为零时，白光光谱内各个谱线双光束干涉的零级条纹完全重合，各种波长的光重叠形成白光干涉对比度最大的白色零级条纹，此处可以认为是最佳干涉位置。

随着光程差的不断增加，不同波长的干涉条纹光强的极小值相继出现，此是条纹宽度相差较小，重叠后的干涉条纹颜色为黑色。

光纤白光干涉测量术新进展

第37卷　第6期中　国　激　光Vol.37,No.62010年6月CHIN ES E J OURNAL OF LAS ERSJ une ,2010 文章编号:025827025(2010)0621413208光纤白光干涉测量术新进展江　毅(北京理工大学光电学院,北京100081)摘要　与激光干涉测量技术相比,光纤白光干涉(WL I )测量术一个最大的优势是能够绝对测量静态的物理参数。

综述了近年来国内外在光谱域光纤白光干涉测量技术领域所做的研究工作,重点阐述各种基于相位测量的光纤白光干涉测量法,包括干涉级次法、傅里叶变换相位法、傅里叶变换相对测量法、波长扫描测量法和相移测量法。

其目的是为了解决光谱获取问题、测量分辨率问题和自动测量问题,实现光纤白光干涉测量技术的仪器化和工程化。

关键词　传感器;白光干涉仪;光谱仪;傅里叶变换中图分类号　TP212.1 文献标识码　A doi :10.3788/CJL 20103706.1413P r og r es s i n Fi be r Op t ic W hi t e 2L i g ht I nt e rf e r o met r yJ iang Y i(School of Op toelect ronics ,Beiji ng I nstit ute of Tech nology ,Beiji ng 100081,Chi n a )Abs t r act Fiber optic white 2light interferomet ry (WL I )possesses a considerable advantage with regard to the ability to p rovide absolute and unambiguous measurement ,comparing to laser interferomet ry.The research on fiber optic white 2light interferomet ry in recent years is reviewed in this paper ,and fiber optic WL I based on p hase measurement method is focused ,including interference 2order method ,Fourier 2t ransform WL I ,Fourier 2t ransform relative WL I ,wavelength 2scanning WL I ,and p hase 2shifted WL I.The main p roblems ,such as spect rum acquirement ,measurement resolution and automatic measurement ,are solved in the work in order to accelerate the technique in inst rumentation and engineering application.Key w or ds sensors ;white 2light interferomet ry ;spect rometer ;Fourier t ransform 收稿日期:2010203208;收到修改稿日期:2010204212基金项目:国家863计划(2008AA04Z406)和教育部新世纪优秀人才计划资助课题。

白光干涉仪测量显示高度的原理_解释说明以及概述

白光干涉仪测量显示高度的原理解释说明以及概述1. 引言1.1 概述在现代科学和工程领域中，测量显示高度是非常重要的任务之一。

白光干涉仪作为一种精密的测量仪器，被广泛应用于各个领域，如光学、材料科学、半导体制备等。

它通过干涉现象来实现对表面高度差异的精确测量。

本篇文章将详细介绍白光干涉仪的原理，并解释说明其测量显示高度的原理。

1.2 文章结构本文主要分为五个部分。

引言部分对白光干涉仪测量显示高度的原理进行了概述，并阐明本文的目的。

第二部分将详细讨论白光干涉现象以及干涉仪组成与工作原理。

第三部分将介绍使用和操作白光干涉仪时需要注意的设置、调整、测量步骤以及数据记录与分析方法。

第四部分将讨论白光干涉仪在不同应用领域中的应用情况，并探讨其技术局限性。

最后，结论与展望部分将总结本文所述内容，并展望白光干涉仪在未来的改进与发展方向。

1.3 目的本文的目的是为读者提供一个全面且清晰的了解白光干涉仪测量显示高度原理的资料。

通过阐述白光干涉现象、干涉仪的组成与工作原理，以及使用和操作方法，让读者能够更好地理解白光干涉仪这一测量仪器，并掌握其在实际应用中的技术要点和注意事项。

同时，对于白光干涉仪在不同领域的应用情况和技术局限性进行详细阐述，以期引发读者对该领域未来发展方向的思考。

2. 白光干涉仪的原理2.1 白光干涉现象白光干涉是指当宽谱连续光通过两个光学路径，再经过重合时所产生的干涉现象。

这是由于不同波长的光在不同程度上会产生相位差而导致的。

2.2 干涉仪组成与工作原理白光干涉仪主要由一个分束器、两个反射镜和一个待测物体构成。

简单来说，分束器将入射的白光分成两束相干的准平行光，然后通过调整反射镜使得两束平行光以不同的角度照射待测物体。

反射镜将经过物体后返回的反射光重新汇聚，再次经过分束器。

接下来，利用一台增加了直流延迟信号电压的扫描仪对返回的平行光进行扫描，并用一个探测器记录振动条纹信号。

2.3 测量显示高度的原理白光干涉仪可以利用其原理和构造通过显示出截面图或者等高线来测试并观察表面高度的变化情况。

光谱域光纤白光干涉测量技术

光谱域光纤白光干涉测量技术江毅;高红春;贾景善【摘要】光谱域光纤白光干涉测量技术(WLI)具有精度高、动态范围大、工程实用性强等优点,在光纤传感和精密测量领域有广泛的应用价值.本文回顾了光谱域光纤白光干涉测量技术的发展历程,重点介绍了本研究组在这一领域所开拓的基于相位测量技术的光谱域光纤WLI,包括傅里叶变换WLI及其相对测量术、波长扫描WLI、相移WLI、波数扫描WLI、互相关WLI、步进相移WLI,并展示了该技术在光纤温度、压力、应变等传感器中的应用.【期刊名称】《计测技术》【年(卷),期】2018(038)003【总页数】12页(P31-42)【关键词】光纤传感技术;光纤白光干涉测量技术;光谱【作者】江毅;高红春;贾景善【作者单位】北京理工大学光电学院, 北京100081;北京理工大学光电学院, 北京100081;北京理工大学光电学院, 北京100081【正文语种】中文【中图分类】TB960 引言光纤传感技术已经发展了40年，其中各种技术已经相继成熟并走向工程应用。

点式的光纤传感器按照调制方式的不同分为：强度型、干涉型、波长型和偏振型[1]。

强度调制型的光纤传感器抗干扰能力差，需要采取其它辅助技术来克服外界环境干扰；而干涉型、波长型和偏振型的光纤传感器并不直接调制光功率，所以，几乎所有的光纤传感器都需要对信号进行解调。

因此，光纤传感技术的研究分为两大类：传感器技术和信号解调技术。

点式的光纤传感器以光纤光栅传感器(FBG)和外腔式法珀干涉型传感器(EFPI)最具代表意义，也获得了最广泛的工程应用。

对这两类传感器的信号解调又可以大致分为相对测量信号解调和绝对测量信号解调。

一般认为相对测量适合测量高频动态信号，绝对测量适合测量低频静态信号，但随着最新应用需求和技术的发展，高速绝对测量技术已经成为技术发展的前沿。

对于FBG传感器而言，相对测量是获得FBG波长的变化量，适用于测量振动信号、声信号一类动态信号，并不关心FBG的绝对波长；绝对测量需要测量出FBG的波长，通过FBG的波长，就可以得到被测缓变或静态物理量，如温度、应变、压力、位移等。

一种基于白光迈克耳孙干涉仪波片延迟量的测量方法_王军

１引言
波片是实现光波偏振态转换的重要元件，广泛地应用于各种偏振光学系统中，系统的性能和波片延迟量的精度密切相关，例如在同步移相干涉仪中，
；收到修改稿日期：２０１１０１１１２０１１０２２４收稿日期：－－－－
它通过全息光栅空间分光、波片移相的方法在瞬间同时采集３幅以上的移相干涉图，波片延迟量的精并最终影响测量精度，因度决定了移相量的准确性，此必须精确测量波片的延迟量以保证测试精度。
）基金项目：江苏省 “ 六大人才高峰 ” 项目（资助课题。０６０３０－Ｅ－，：ｗ作者简介：王军（男，博士，主要从事光干涉测量方面的研究。Ｅ－ｍ１９８１—）ａｉｌｋ３１＠１６３．ｃｏｍｊ０５０８００１１－
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ＳｃｈｏｏｌｏＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｉｎｅｅｒｉｎａｎｄＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏＮａｎｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏＳｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｆｇｇｇｙ，ｊｇｙｆｇｙ，
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大量程光纤准白光干涉绝对测距技术汇总

大量程光纤准白光干涉绝对测距技术
3 量程倍增技术 (续2)
光开关器件在光通讯领域被广泛运用。本系统采用 1×4的光开关。当需要测不同范围的距离时，通过两组高低电平对四路光纤进行选择。在系统扫描部分的光路中，增加光开关和4×1的合路器组成的单元，进行光纤光路的选择，达到量程倍增的目的。这两个器件构成的单元中连接4组光纤，这样系统的量程可以增加4倍。
大量程光纤准白光干涉绝对测距技术
4.2 光开关光程差自标定技术
光开关自标定的原理同光纤组自标定一致
大量程光纤准白光干涉绝对测距技术
5 系统精度分析
测量系统的精度主要取决于麦克尔逊干涉仪的精度和干涉信号的瞄准精度，前者的精度很高，可达0.5u，对于后者由于瞄准方式是一样的，瞄准系统的误差可以相减削去。该绝对距离测量系统实质上是光波长基准的传递，故可以做到很高的精度。
测量系统的原理如图1，系统由两套干涉仪组成，光纤准白光定位干涉仪和激光扫描干涉仪。光纤准白光干涉仪主要完成目标的定位瞄准，光源采用半导体激光器(LD)，为缩短相干长度，提高瞄准精度，采用 455kHZ注入电流调制后的相干长度约为40um。
大量程光纤准白光干涉绝对测距技术
2.2 大尺寸绝对距离测量的原理 (1)
2.2 大尺寸绝对距离测量的原理 (续1)
扫描干涉仪由一维工作台驱动，扫描移动通过高精度的麦克尔逊干涉仪进行测量。系统经调整后处于测量预备状态，LD发出的光经过目标棱镜和扫描棱镜分别耦合进光纤到达8路耦合器CPL的其中一路。当测量开始时，PDZ处首先发生干涉产生固定的零位信号，触发麦克尔逊干涉仪计数，当干涉光纤组（PD1-PD8）中产生干涉信号，触发终止信号，测量结束，扫描台
测量开始时，零位信号触动扫描台开始计数。求取测量距离的原理如图2所示

光学频率梳频域干涉实现绝对测距

光学频率梳频域干涉实现绝对测距*吴翰钟1) 张福民1)† 曲兴华1）1)(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072)摘要基于光学频率梳的绝对距离测量技术在航空航天、工业生产等领域发挥着重要的作用。

本文在理论上详细研究了基于光学频率梳的频域干涉绝对距离测量技术，分析了频域干涉实现绝对距离测量的原理，进行了数值模拟，采用四种方法实现了绝对距离的测量，指出数据处理过程中，滤波窗函数对测量结果是有影响的。

比较了不同的方法之间测量结果的差异，结果表明，数据处理过程繁多会引入不同程度的测量误差，简练直接的数据处理方法引入的测量误差较小。

为了消除数据处理过程中，滤波窗函数引入的测距不确定性，采用小波变换重建光谱相位，消除了滤波窗函数引入的误差，使测距结果精确唯一。

PACS ：06.30.Bp ，06.60.Jn ，42.25.Hz ，42.62.Eh1 引言科学家们对自然界的认识是永无止境的，那些超快的粒子运动和极微观的物理现象很早就引起了人们的研究兴趣[1]。

探究这些超快和极微观的世界，需要一种超快且极为精密的工具，光学频率梳就这样应运而生了。

跟许多具有划时代意义的发明或者技术一样，光学频率梳在概念上并不复杂。

时域内，光学频率梳是一个连续的脉冲序列，可以表示为()()()train R E t E t t mT δ=⊗-∑；频域内，光学频率梳是一连串离散的单独的纵模，可以表示为()()()train R E E h ωωδωω=⨯-∑。

科学家们更喜欢把它表示成rep ceo f mf f =+，f rep 是重复频率，f ceo 是初始频率偏移，这就是光学频率梳的两个参数，将这两个参数锁定到一个精确的外部频率源，光学频率梳就成为了一个方便的计量工具。

就这样，光学频率梳实现了微波频标跟光学频标的完美连接[2-8]。

光学频率梳的出现给精密计量领域带来了革命性的改变，人们利用光学频率梳实现了气体密度[9]、物体表面形貌[10]、空气折射率[11]、频率[12]、以及距离[13]等的绝对测量，测量的精度或者分辨率都达到了前所未有的水平。

基于白光倾斜扫描干涉术的微结构测量方法

电子激光第22卷第1期 2011年1月 Journal of Optoelectronics Laser V ol.22N o.1 Jan.2011基于白光倾斜扫描干涉术的微结构测量方法马龙,郭彤*,赵健,陈津平,傅星,胡小唐(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072)摘要:针对白光垂直扫描干涉技术由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制,使其不能进行较大横向范围的测试。

本文使用白光倾斜扫描干涉术代替垂直扫描,以扩展其横向测量范围,提高测试效率。

基于纳米测量机(NMM)搭建了测试系统,由NMM代替传统的压电陶瓷(PZT)带动被测物体进行倾斜扫描。

分析了倾斜扫描的测量原理,针对本系统提出了倾斜扫描的实现方法,通过对MEMS器件上台阶结构的测试说明本方法的有效性。

关键词:微结构;白光干涉技术;倾斜扫描;大范围;纳米测量机(NMM)中图分类号:TN247 文献标识码:A 文章编号:1005 0086(2011)01 0091 04Micro structure m easur eme nt by white light tilt scanning inte rfe rome tryMA Long,GUO Tong*,ZH AO Jian,CH EN Jin ping,FU Xing,HU Xiao tang(State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,T ianjin U niversity,T ianjin300072,China)Ab st ract:White light vert ical scanning interferometry has grown to be a st andard measurement me thodfor the M EM S industry.However,due to the limits of the objective s field of view and the phase shiftingrange in the t est system,it can not perform large scope t ransverse testing.In this paper,a white light tiltsc anning interfe rome t ry was presented to expand the lateral measuring range and improve the testing effic iency.The experimental syst e m was set up based on nano measuring machine(NMM).During the tiltsc anning,the objec t was drived by the nano measuring mac hine inst e ad of the traditional piezoelectric ceramics.T he measuring principle of white light tilt sc anning interfe rometry was given,followed by the realization of the method on the proposed system.T he effec tiveness of the method was also illustrated bymeasuring the step alike struc ture on the MEM S device.Ke y wor ds:mic ro struc t ure;white light interferometry;tilt sc anning;large scale;nano measuring machine(NMM)1 引言白光垂直扫描干涉技术以快速、精确和无损等优势,目前其成为MEMS产业中的一种标准测试手段[1]。

白光干涉测距原理

白光干涉测距原理一、引言干涉测量是一种基于光的干涉现象的精密测量技术，具有高精度、高分辨率的特点。

白光干涉测距作为其中的一种，利用白光干涉原理来测量距离。

相比于其他测距技术，白光干涉测距具有更高的精度和稳定性，因此在许多领域都有广泛的应用。

本文将详细介绍白光干涉测距的原理、系统构成、优点、应用领域和结论。

二、白光干涉测距原理白光干涉测距的基本原理是利用白光干涉现象来测量距离。

当两束或多束相干光波在空间某一点叠加时，如果它们的相位差是2π的整数倍，则会出现干涉加强，形成明亮的干涉条纹；如果相位差不是2π的整数倍，则会出现干涉相消，形成暗的干涉条纹。

通过测量干涉条纹的位移量，可以计算出两束光波之间的相位差，进而求得目标物体的距离。

在白光干涉测距中，光源通常采用白光，因为白光包含了可见光谱中的多种波长。

通过干涉仪的分束器将一束白光分成两束或多束相干光波，分别经过不同的路径反射回来后再次在分束器上叠加。

由于不同波长的光波在相同反射条件下具有不同的相位变化，因此会形成不同波长的干涉条纹。

通过分析这些干涉条纹，可以获得不同波长下的光程差信息，进一步求得目标物体的距离。

三、系统构成白光干涉测距系统主要由光源、分束器、干涉仪、探测器、信号处理和控制系统等组成。

1.光源：采用稳定的白光光源，保证输出的光信号具有稳定的波长和功率。

常用的白光光源有发光二极管、激光器等。

2.分束器：用于将一束白光分成两束或多束相干光波。

常用的分束器有棱镜、光栅等。

3.干涉仪：用于产生和检测干涉现象。

根据不同的测量需求，可以采用不同的干涉仪结构，如Michelson干涉仪、Mach-Zehnder干涉仪等。

4.探测器：用于接收和检测干涉条纹的光信号。

常用的探测器有光电倍增管、光电二极管等。

5.信号处理和控制系统：用于对探测器接收到的信号进行处理和分析，控制整个系统的运行。

常用的信号处理和控制系统包括数据采集卡、微处理器等。

四、优点白光干涉测距具有以下优点：1.高精度：由于干涉现象对光波的相位变化非常敏感，因此可以获得高精度的测量结果。

linnik型显微白光光谱干涉测量方法研究

目录摘要 (I)ABSTRACT (II)第1章绪论 (1)1.1微结构表面形貌测试 (1)1.2薄膜技术的应用与厚度检测 (2)1.3白光光谱干涉法 (4)1.4论文主要内容 (6)第2章白光光谱干涉基本理论 (7)2.1双光束干涉理论 (7)2.2白光干涉特性 (9)2.3干涉可见度与相干长度 (10)2.4白光时域相干与频域相干 (11)2.5本章小结 (12)第3章测量系统构建 (13)3.1系统整体设计 (13)3.2系统硬件 (14)3.2.1干涉模块 (14)3.2.2运动及支撑模块 (15)3.2.3光谱采集模块 (16)3.2.4辅助调节模块 (18)3.3系统软件 (18)3.4本章小结 (20)第4章绝对距离及微结构表面形貌测量 (21)4.1绝对距离计算方法 (21)4.2相位提取算法 (22)4.2.1傅里叶变换 (22)4.2.2时间相移法 (23)4.2.3相位提取方法比较 (24)4.3绝对距离验证实验 (26)4.4微结构表面形貌测量 (30)4.5本章小结 (32)第5章薄膜厚度计算理论分析 (33)5.1薄膜反射特性 (33)5.2局部优化算法 (34)5.3基于非线性相位波动频率的初值估计方法 (35)5.4有效初值估计范围 (38)5.5折射率参数影响 (39)5.6本章小结 (40)第6章薄膜厚度测量实验 (41)6.1测量信号中非线性相位分析 (41)6.1.2等效厚度非线性相位 (41)6.1.2物镜组非线性相位 (45)6.2薄膜测量实验 (46)6.2.1标准薄膜测量实验 (46)6.2.2其它薄膜测量 (52)6.3本章小结 (54)第7章总结与展望 (57)参考文献 (59)发表论文和参加科研情况说明 (63)致谢 (65)第1章绪论本章主要从微结构测试的发展现状，薄膜技术的发展现状，引入光学检测技术的介绍，对常用的几种光学几何量检测技术进行简要的分析和总结，从而引入本课题的研究内容。