镀膜不良分析图
PVD喷涂及镀膜常见不良
定义：产品表面反光时有类似彩虹的效应。 产生的原因：---油漆体系使用不恰当； ---喷涂工艺参数不当使涂层中残留有内应力； ---金属膜引起的反射光发生干涉。 改善措施：---提高油漆黏度； ---采用干喷手法； ---采用恰当的油漆体系； ---面漆（着色层）膜厚薄涂至下限； ---底漆中添加消光剂，减弱真空镀膜金属的反射光； ---面漆中添加消光剂，减弱涂膜的入射光； ---金属膜上涂装两层涂料，利用涂膜成分不同引起的漫反射。
改善措施：---在上线之前确保素材表面清洁，无尘点、毛丝等杂 质颗粒； ---优化喷涂工艺参数，严格按照喷涂SOP执行； ---修改治具。
11
PVD Defect Analysis and Action_v1.0
11.开裂 Cracking/Crazing
定义：漆膜表面产生微细裂纹。 产生的原因：---聚合物与溶剂接触后其表面能降低，溶剂分子渗入聚合物内部使聚合物表层 发生溶胀，溶剂挥发后表层体积收缩，产生应力；当塑料加工残余内应力与 外应力协同作用导致裂纹。 改善措施：---选择适当的涂料溶剂和稀释剂—溶剂的溶解力和挥发速度相互匹配； ---选择适当的涂料干燥方法和升温程序，减少干燥过程中产生的内应力； ---涂装前对塑料制品进行退火处理，消除塑料加工的残余应力。
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PVD Defect Analysis and Action_v1.0
8.色差 Color or Color Tone Deviation
定义：产品整体或局部颜色差异。 产生的原因：---油漆使用过程中未搅拌，颜料沉淀； ---中漆调色时，工艺参数错误致使中漆膜厚不均或少油； ---镀膜工序出现的色差引起喷涂后产品颜色的差异； ---底材内的颜料被底漆或中漆的溶剂溶解并迁移到面漆中使产品发生颜色差异； ---原油与色浆匹配不当； ---涂层的膜厚不均匀。 改善措施：---确保涂料在使用过程长期搅拌； ---优化喷涂工艺参数，并严格执行喷涂标准作业规范； ---对镀膜工序出现的色差进行有效管控； ---面漆选用溶解力较差的溶剂，改善底的耐溶剂性或底漆完全固化后再涂面漆； ---选用恰当的原油与色浆体系； ---喷涂过程中严格控制涂层的厚度。
镀膜机常见故障及分析解决预防措施
镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.12346二.一些基础知识及注意事项和应急措施1. 膜厚控制仪控制参数Soak power1----预熔功率1 约为蒸发功率的一半Soak power2----预熔功率2 也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower ----最大功率Dep Rate ----蒸发速率Final Thk ----膜厚（波长）Soak time----预熔时间Rise time ----功率上升时间Density ----材料密度检测膜厚原理通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：(1).探头高了,测试得到的厚度<实际得到的膜厚(玻片上厚度)(2).探头低了,测试得到的厚度>实际得到的膜厚(玻片上厚度)(3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1.U5吸收杂光,影响膜质和亮度.镀的过多,膜会发银;镀的过少,膜发黑,不亮泽,有银色;没镀上,则为银白2.2.U3脱膜剂,影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬2.3.SiO2决定颜色2.4.U6基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟4.3.灯丝安装a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发b.栅极片应略低于阳极片c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良d.打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”5. 轰击条件：真空度4.0Pa到8.0Pa之间时间:20到30分钟轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室轰击完后关闭轰击开关,取轰击棒时应带手套或用包住轰击棒以免被烫伤6. 换机械泵油将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别注意死角地方),擦干净后倒点新油盖住出气口开机械泵运行20秒将油放出,这样反复做两到三次,洗干净后即可加油.加油应加到观察油窗伤两条红线之间(油加少了会造成机械泵的抽气性能下降,油加多了会造成抽气时油喷出来).油加好后将挡油板,盖板依次装好.7. 应急措施7.1. 突然停电首先将设备总电源开关关闭(防止突然恢复电力所有用电设备工作造成电流冲击过大),然后将所有开关复位,处在关的状态(开关弹起为关的状态),等待电力恢复如果长时间电力无法恢复应将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使其冷却.设备循环水关小,防止停电时间过长导致循环水无法循环使水流失7.2.停水首先应关闭扩散泵,将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使扩散泵冷却关闭各阀门及机械泵,不能让其长时间在无冷却水的状态下工作导致设备损坏7.3.停气气压低于0.43Mpa时阀门会自动关闭,此时应将各阀门开关复位处在关的状态(开关弹起为关).如果长时间无法恢复供气,则将扩散泵,机械泵等运作的设备关闭,关扩散泵15分钟后打开扩散泵快冷冷却扩散泵。
注塑件鱼骨图分析
类别类别类别镀膜不良62,888.3530.74%调光不良5,000.0025.66%划伤246,146.9271.28%划伤48,419.5423.66%尺寸不良2,941.1315.09%银光丝24,944.937.22%客户换货33,111.1516.18%划伤2,424.0112.44%修伤13,028.52 3.77%浇口不良16,500.008.06%开裂2,152.0911.04%装配不良9,640.18 2.79%开裂11,913.82 5.82%混装1,500.807.70%送人情8,996.37 2.61%划伤8,530.66 4.17%表面凹凸不平1,492.387.66%飞边8,981.36 2.60%装配不良7,958.33 3.89%变形1,114.52 5.72%变形6,520.30 1.89%缺料5,394.57 2.64%丝印不良1,032.84 5.30%客户换货4,833.36 1.40%改型退回2,192.56 1.07%送人情414.55 2.13%毛屑4,153.34 1.20%混装1,623.810.79%发雾371.85 1.91%标签错误3,065.460.89%卡脚断1,367.460.67%缺料310.02 1.59%尺寸不良2,324.820.67%气密不良1,000.400.49%送货地点错误171.90.88%划伤2,215.330.64%变形948.190.46%装配不良164.880.85%模印1,789.430.52%黑点872.130.43%短装158.260.81%开裂1,714.890.50%丝印不良785.50.38%螺纹不良75.590.39%缩水1,234.440.36%尺寸不良341.550.17%划伤65.90.34%PE 膜不良1,138.550.33%滑牙334.880.16%银光丝53.790.28%黑点853.370.25%短装158.560.08%黑点30.890.16%色差851.690.25%黑点122.070.06%客户换货19.70.10%短装714.590.21%拉高79.870.04%断脚12.880.07%混装667.860.19%油污43.750.02%卡脚断 6.90.04%发雾604.720.18%银光丝15.120.01%飞边 6.040.03%缺料390.910.11%断脚 5.850.00%红冲-35.33-0.18%亮点355.550.10%红冲-2.070.00%总计#######RR 基座未镀铝251.640.07%总计204,606.053%断脚70.870.02%36%丝印不良9.570.00%红冲-156.74-0.05%总计345,342.2061%灯体结构件配光镜。
真空镀膜产品常见不良分析及改善对策
真空镀膜常见的不良分析及改善对策一、膜强度膜强度是镜片在镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良。
膜强度的不良（膜弱）主要表现为：1)擦拭或用专用的胶带拉撕，产生成片的脱落；2)擦拭或用专用的胶带拉撕，产生点状的脱落；3)水煮15分钟后用专用的胶带拉撕产生点状或片状的脱落；4)用专用橡皮头、1KG力摩擦40次，有道子产生；5)膜层擦拭或未擦拭出现龟裂、网状细道子。
改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力的因素。
膜强度不良的产生原因及对策；1)基片与膜层的结合；一般情况，在减反膜中，这是膜弱的主要原因，由于基片表面在光学领加工及清洗过程中不可避免地会有以下有害杂质附着在表面伤，而基片的表面由于光学冷加工的作用，总有一些破坏层，深入破坏曾的杂质（如水汽、油气、清洗液、擦拭液、抛光粉等，其中水汽为主），很难以用一般的方法去除干净，特别对于亲水性好的材料，吸附力强的基片尤其如此，当膜料分子堆积在这些杂质上面时，就影响了膜层的附着，也就影响了膜强度。
此外，如果基片的亲水性差、吸附力差，对膜层的吸附差，同样会影响膜强度。
硝材化学稳定性差，基片在前加工过程中流转过程中，表面已经受到腐蚀，形成了腐蚀层或水解层（也许是局部的、极薄的）。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差，膜牢固度会受到影响。
基片表面有脏污、油斑、灰点、口水等，局部膜层附着不良，造成局部膜牢固度不良。
改善对策：a)加强去油去污处理，如果是超声波清洗，应重点考虑去油功能，并保证去油溶液的有效性，如若是手擦，可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦；b)加强镀前烘烤，条件许可，基片温度能达到300℃以上最好，恒温20分钟以上，尽可能使基片表面的水汽、油气挥发。
温度过高时基片的附着力变大，同时也容易吸附灰尘，因此需要提高真空室清洁度，真空室基片上的水汽化学解析温度在260℃以上。
不是所有的零件都需要高温烘烤，有的硝材温度高了反而膜强度不高，还会有色斑产生，这与应力及材料热匹配有较大的关系；c)设备机组安装冷凝机（POLYCOLD），可以提高机组抽真空的能力的同时帮助去除水汽、油气；d)设备安装离子源，镀前轰击，清洁基片表面，镀膜过程辅助更有利于提高膜层密度；e)镀膜辅耗去潮湿，膜料可以存放特制的干燥柜或真空干燥柜中；f)保持工作区域环境干燥，清洁环境时不能有太多的水，环境保持恒温恒湿状态；g)薄膜设计是考虑第一层膜与基片的匹配，尽可能的使用与基片吸附力强的膜料，例如：增透膜使用AL2O3、金属膜使用CR或CR合金；h)镀前采取研磨液（抛光液）重复手动擦拭抛光，去除表面的腐蚀层和水解层；i)增透膜可以适当的降低蒸发速率，提高膜层光洁度，金属膜提高速率，或者提高设备的真空度，对于基片到蒸发源大于1米以上的镀膜机，蒸镀开始真空度应高于3*10-3Pa，镀膜机越大，蒸镀开启真空越高越好；2)膜层应力；薄膜的成膜过程，是一个物质形态转变的过程，不可避免的在成膜后的膜层中会有应力的存在，对于多层膜来说有不同的膜料组合，各膜层体现出的应力是有所不同的，有的是张应力，有的是压应力，还有膜层及基片的热应力。
常见PECVD镀膜色差片分析
常见PECVD镀膜色差片分析管P色差片分析现象：1、片子的背面外围一圈没有镀上膜，呈硅片原色，中间颜色不定，有蓝色和彩色等；2、片子的正面边缘色彩正常，为蓝色，膜厚正常，中间一般呈红色。
一、石墨舟片上有一面没有插片背面正面原因分析：石墨片上有一面未插硅片，就会造成两片返工片，一片为背面，一片为正面，已经跟生产部强调过一定要插满石墨片，但这种现象仍然存在很多。
解决方法：要求生产人员石墨片上一定要插满硅片，若硅片不够，用假片代替。
二、镀膜过程中硅片滑落或者碎裂现象：1、片子表面一部分已经镀上膜，还有一部分为硅片本色；2、片子上部分镀膜均匀，部分呈彩虹色彩，颜色较多。
滑落碎片原因分析：由于上舟过程中的机械臂抖动造成硅片部分滑落或者碎片，这样在镀膜过程中会造成如上图的现象。
解决办法：在产线员工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片时要对石墨舟轻轻拍打，看是否存在片子没有卡到的现象，如有，及时调整，插片过程中，如有碎片，要及时清理出，同时在上舟时要尽量保持舟和机械臂、浆的平稳性。
三、片子整体发白现象：片子整体发白原因分析：1、由于在上一舟由于短路未镀上膜，立即进入炉管这样因为温度偏高，导致膜厚偏大（一般整舟出现）；2、还有可能是在运行过程出现各种报警，导致石墨舟在炉管里时间过长，也会造成温度异常，而造成膜厚偏厚；3、在区PSG的时候片子没有洗干净，在后面会出现膜厚偏高，片子发白；4、镀膜出来的片子膜厚正常，但是片子发白，用椭偏仪检测后发现折射率偏高。
解决方法：1、出现因短路造成没镀上膜的的片子（整舟出现）（需要工艺人员确认），石墨舟退出后，待石墨舟冷却后再进入炉管重新镀膜；2、当机器出现报警时，工艺要做的就是把握片子在炉管的时间，要及时和设备沟通，如果需要维修时间较长，可以将工艺关闭，让设备手动取出舟，然后再让其维修；3、当发现去PSG没有洗干净时，立即将所有从去PSG留下的片子取回重新清洗，在清洗前要检查酸槽的浓度是否正常，如果不正常，建议重新换酸后再清洗；4、折射率偏低的片子，4-1、先要检查气体流量是否被更改；4-2、要及时检查机器气体流量是否异常存不存在在工艺时气体流量被关闭的现象，如有，及时和设备沟通，维修机器；4-3、如果气体流量正常，可以请设备检查气体单向阀和流量计是否异常。
镀膜产品常见不良分析
镀膜产品常见不良分析随着现代科技的发展，镀膜技术被广泛应用于各种领域，如光学、电子、航空、汽车等。
然而，在生产和使用过程中，镀膜产品可能会出现一些不良现象，影响其性能和品质。
下面将对镀膜产品常见的不良进行分析。
1.膜层缺陷：镀膜产品的关键是涂层的质量。
常见的膜层缺陷有气泡、裂纹、均匀性差等。
气泡形成主要是因为基材表面有污垢或油脂，镀膜过程中没有很好去除干净，导致气泡的产生。
裂纹则是由于镀膜时的应力超过了基材的承受力，使涂层出现裂纹。
而均匀性差是因为涂层沉积不均匀，可能是镀膜工艺参数不合理或设备故障所致。
2.色差：对于镀膜产品来说，色差是一个重要的质量指标。
常见的色差包括单一颜色不均匀、无色差不均匀、色差偏差等。
单一颜色不均匀是指镀膜产品的颜色在不同区域具有差异，可能是因为工艺参数不合理或设备故障导致沉积不均匀。
无色差不均匀则是指镀膜产品在从中心到边缘的区域没有明显的颜色差异，可能是因为沉积不均匀或基材不平整。
色差偏差是指镀膜产品的颜色与要求的颜色有一定差距，可能是因为工艺参数调整不当或材料不合格。
3.光学性能不佳：镀膜产品的主要功能是改善光学性能，如增透、增反射、滤波等。
但是，不良的光学性能可能导致光的损失、不那么透明或反射不均匀等问题。
其中，光学透过率不佳可能是因为膜层的折射率不符合要求、沉积过程中有杂质或气泡等。
光学反射率不均匀可能是因为镀膜过程中的控制不准确，导致薄膜厚度不一致或反射率不稳定。
4.耐久性差：镀膜产品通常需要具备一定的耐久性，能够在使用过程中保持其性能稳定。
然而，有时镀膜产品可能会出现脱层、氧化、变色等问题，导致其耐久性下降。
脱层通常是由于涂层与基材之间的附着力不强，可能是因为沉积工艺不合理或基材表面未处理好。
氧化和变色则是由于镀膜产品在长期暴露于氧气、水蒸气或其他化学物质中，使涂层发生化学反应而导致。
总结起来，镀膜产品常见的不良现象包括膜层缺陷、色差、光学性能不佳和耐久性差等。
常见PECVD镀膜色差片分析
用椭偏仪检测发黄片子的膜厚：
1、如果在50nm左右可以直接放置在原先的管中运行至第5步，然后跳步至14步， 开始二次镀膜；
2、如果检测出来的膜厚超过50nm，譬如55nm，我们可以计算，原硅片的膜厚大 概在47nm左右，一次镀膜后膜厚在50nm左右，我们以50nm为准，那么根据我们 所要得到的膜厚85nm来计算，第二步镀膜我们需要的是镀上25nm，假如我们镀 第二层膜厚的时间是600s，600s/25nm=24s/nm，24s/nm*（85-55）nm=480s， 一般根据计算出来得到的膜厚都要稍微高一点，我们取470s开始二次镀膜，方法 一样，由第5步跳到14步。
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三、片子整体发白 现象：片子整体发白
原因分析： 1、由于在上一舟由于短路未镀上膜，立即进入炉管这样因为温度偏高，导致膜 厚偏大（一般整舟出现）； 2、还有可能是在运行过程出现各种报警，导致石墨舟在炉管里时间过长，也会 造成温度异常，而造成膜厚偏厚； 3、在区PSG的时候片子没有洗干净，在后面会出现膜厚偏高，片子发白； 4、镀膜出来的片子膜厚正常，但是片子发白，用椭偏仪检测后发现折射率偏高。
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管P色ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ片分析
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一、石墨舟片上有一面没有插片 现象：1、片子的背面外围一圈没有镀上膜，呈硅片原色，中间颜色不定，有蓝色
和彩色等； 2、片子的正面边缘色彩正常，为蓝色，膜厚正常，中间一般呈红色。
背面
正面
原因分析：石墨片上有一面未插硅片，就会造成两片返工片，一片为背面，一片为 正面，已经跟生产部强调过一定要插满石墨片，但这种现象仍然存在很多。 解决方法：要求生产人员石墨片上一定要插满硅片，若硅片不够，用假片代替。
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镀膜不良原因
一.真空镀铝有黯淡的杂色，出现蓝色，黄色或黑色。
1.基材放气。
选用放气量小的基材，或对基材进行真空加热预处理；2.基材离蒸发源太近。
调整距离；3.真空泵系统泄漏，可能有氧气进入。
检修；4.真空泵抽气能力低。
维修真空泵，或换泵油；5.蒸发源或阴极损坏。
更换蒸发源或阴极；6.镀膜时真空度较低；待真空度达到要求后在进行镀膜；7.真空度过高，夹具和基材放气。
调低真空度；8.底涂层放气。
调整涂料固化工艺或涂料配方；9.夹具，挂笼或卷绕机有积垢或残存的洗涤剂。
彻底清洗并干燥；10.蒸发速度太低。
加大蒸发速率。
二.涂膜龟裂呈鳞片状。
1.镀膜太厚。
调整镀膜厚度；2.镀膜收缩率与底漆相差太大，或底漆固化不好。
调整光固化工艺或调整涂料配方。
三.镀铝层光亮度不好。
1.基材表面有较低密度区域。
更换基材牌号，或增加涂料的固含量，增加涂层的交联密度；或两道或多道底涂。
2.蒸发速度低。
提高蒸发速率。
四.底涂层部分脱落。
1.基材表面有油污。
清洁表面或更换基材牌号；2.手接触过基材的表面。
尽量不要用手摸，或戴防静电手套。
3.扩散泵返油。
采用加挡油装置等；4.镀膜操作不好。
保证一定的真空度。
五.镀膜有污点或瑕疵。
1.底涂有污物或尘粒。
仔细过滤涂料；采用加挡油装置等；4.镀膜操作不好。
保证一定的真空度。
五.镀膜有污点或瑕疵。
1.底涂有污物或尘粒。
仔细过滤涂料；2.镀膜室已被污染。
清洗。
3.喷涂的气管有污染。
清洗或加装过滤器；4.喷涂车间的空气流速过大。
5.塑胶成型的过程中有气体逸出或表面麻点。
检查模具，改进工艺或直接更换材料。
六.局部灼伤。
1.率液滴飞溅。
检查好预溶操作；2.蒸发镀膜时电流升高过快。
控制好电流升高速率；七.纹路薄膜基材厚度不均匀，使卷绕张力不平衡。
更换厚度均匀的牌号。
八.湿晕（BLUSH），泛白1.溶剂全部挥发之前水汽凝结。
调低溶剂的挥发速率；2.喷涂管路内有水分。
清理干燥管路；3.涂装现场湿度过高。
除湿干燥或添加慢干溶剂；4.配方中有较多的吸湿组分。
电镀件常见不良原因分析ea
电镀件常见不良原因分析
A.麻点、杂质、颗粒
原因：1.镀槽内杂质太多
对策：1.加强电解以及过滤，定期清缸
原因：1.部品外表有缝隙藏铬酸 2.钯水浓度偏低，沉钯不到位
对策：1.加强中和，消除铬酸 2.提高钯浓度，加强摇摆
3.根据漏镀位置，提高或降低解胶浓度
湿剂缺乏 2.有机杂质过多 3.硼酸含量和温度太低
对策：1.补加润湿剂 2.用双氧水活性炭处理 3.分析硼酸浓度，将镀液加温
原因：1.素材本身变形
对策：1.优化成型参数，改善变形
3.将温度调整到合理的范围
原因：1.主盐浓度太底
3.硼酸含量缺乏，PH高
对策：1.分析成分后补充
3.补充硼酸，调整PH值
对策：1.
H.颜色偏亮或偏哑
原因：
3.镀液中有悬浮微粒
4.铁离子在高PH下形成氢氧化物沉淀，附在镀层中
3.连续过滤
4.调整PH至
5.5参加QF除铁粉，防止铁工件掉入槽中
、水渍
原因：1.缸水未清洁干净 2.后处理过热水不完全和时间短
对策：1.换水或用活性炭吸附 2.部品要全部浸在热水缸中，时间延长至1分钟
3.从产品下挂到包装入箱，杜绝用手接触产品，戴手套或指套，个别产品要包白纸
结合力差
对策：1.调整除油缸温度和浓度 2.调整亲水缸温度和组份浓度，使其浸润充分和缸水浓度正常
3.调整硫酸浓度、时间和电流至合理的工艺要求。
镀膜产品常见不良分析
镀膜产品常见不良分析、改善对策镀膜产品得不良,部分就是镀膜工序得本身造成得,部分就是前工程遗留得不良,镀膜最终得品质就是整个光学零件加工得(特别就是抛光、清洗)得综合反映,对策镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生得原因,对策改善才能取得成效。
一、膜强度膜强度就是镜片镀膜得一项重要指标,也就是镀膜工序最常见得不良项、膜强度得不良(膜弱)主要表现为:①擦拭或用专用胶带拉撕,产生成片脱落;②擦拭或用专用胶带拉撕,产生点状脱落;③水煮１5分钟后用专用胶带拉撕产生点状或片状脱落;④用专用橡皮头、1Kg力摩擦40次,有道子产生;⑤膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路:基片与膜层得结合就是首要考虑得,其次就是膜表面硬度光滑度以及膜应力。
膜强度不良得产生原因及对策:①基片与膜层得结合、一般情况,在减反膜中,这就是膜弱得主要原因。
由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上,而基片得表面由于光学冷加工得作用,总有一些破坏层,深入在破坏层得杂质(如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、抛光粉等,其中水汽为主要),很难以用一般得方法去除干净,特别对于亲水性好,吸附力强得基片尤其如此。
当膜料分子堆积在这些杂质上时,就影响了膜层得附着,也就影响了膜强度。
此外,如果基片得亲水性差、吸附力差,对膜层得吸附也差,同样会影响膜强度、硝材化学稳定性差,基片在前加工过程中流转过程中,表面已经受到腐蚀,形成了腐蚀层或水解层(也许就是局部得、极薄得)。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差,膜牢固度不良、基片表面有脏污、油斑、灰点、口水点等,局部膜层附着不良,造成局部膜牢固度不良、改善对策:㈠加强去油去污处理,如果就是超声波清洗,应重点考虑去油功能,并保证去油溶液得有效性;如若就是手擦,可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦。
㈡加强镀前烘烤,条件许可,基片温度能达到300℃以上更好,恒温20分钟以上,尽可能使基片表面得水汽、油汽挥发。
镀膜产品常见不良分析
镀膜产品常见不良分析、改善对策镀膜产品的不良，部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的不良，镀膜最终的品质是整个光学零件加工的（特别是抛光、清洗）的综合反映，对策镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的原因，对策改善才能取得成效。
一、膜强度膜强度是镜片镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良项。
膜强度的不良（膜弱）主要表现为：①擦拭或用专用胶带拉撕，产生成片脱落；②擦拭或用专用胶带拉撕，产生点状脱落；③水煮15分钟后用专用胶带拉撕产生点状或片状脱落；④用专用橡皮头、1Kg力摩擦40次，有道子产生；⑤膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。
膜强度不良的产生原因及对策：①基片与膜层的结合。
一般情况，在减反膜中，这是膜弱的主要原因。
由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上，而基片的表面由于光学冷加工的作用，总有一些破坏层，深入在破坏层的杂质（如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、抛光粉等，其中水汽为主要），很难以用一般的方法去除干净，特别对于亲水性好，吸附力强的基片尤其如此。
当膜料分子堆积在这些杂质上时，就影响了膜层的附着，也就影响了膜强度。
此外，如果基片的亲水性差、吸附力差，对膜层的吸附也差，同样会影响膜强度。
硝材化学稳定性差，基片在前加工过程中流转过程中，表面已经受到腐蚀，形成了腐蚀层或水解层（也许是局部的、极薄的）。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差，膜牢固度不良。
基片表面有脏污、油斑、灰点、口水点等，局部膜层附着不良，造成局部膜牢固度不良。
改善对策：㈠加强去油去污处理，如果是超声波清洗，应重点考虑去油功能，并保证去油溶液的有效性；如若是手擦，可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦。
㈡加强镀前烘烤，条件许可，基片温度能达到300℃以上更好，恒温20分钟以上，尽可能使基片表面的水汽、油汽挥发。
影响镀铬品质问题点及附图
影 响 镀 铬 品 质 问 题 点制作人李平波
1.JIG焊接处连接不良，导致镀不上铬或镀铬不良。
图一所示
2.MASKING安装不良导致镀铬不良。
图二所示
3.腐蚀后百洁布擦洗ROD不彻底镀铬后ROD发生破皮现象。
图三所示
4.极座导电不良。
底座未及时清理打磨。
图四所示
5.电流不稳温度过低易出现ROD发白现象。
图五所示
6.BF1抛光毛坯(外协）螺纹及表面沾付很多油污，镀铬前清理不洁净镀铬时影响镀铬液质量，建议在抛
7.镀铬人员流动性大，操作者对镀铬作业注意事项不完全了解应及时进行教育。
图 一图 二
图 四
图 五图 六
量，建议在抛光处增加螺纹清洗设备。
图六所示。
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PVD Defect Analysis and Action_v1.0
5.咬底/烧焦 Gnawing/Burning Marks
定义：底漆表面喷面漆时出现发黑、发皱、溶胀、起泡甚至脱落的现象。
产生的原因：---面漆溶解力太强，底漆耐溶剂性差； ---面漆喷涂太厚干燥慢，增强对底漆的腐蚀强度； ---底漆没有充分干透； ---面漆烘烤温度过高，产生酸性气体增强对底漆的腐蚀强度。
---涂装前对塑料制品进行退火处理，消除塑料加工中产生的残余应力。 ---在上线之前确保素材表面清洁，无尘点、毛丝等杂质颗粒。
14 PVD Defect Analysis and Action_v1.0
15.气泡 Blister/Bubble
定义：涂层表面、中间或下面可见的气泡或水泡（完整的或破裂的）。
改善措施：---优化喷涂工艺参数； ---确保素材表面平整无孔或在喷涂前对素材进行预热，并在喷涂时有效湿润； ---适当控制炉温； ---加强空气油水分离器的管理，有效分离空气中的水分； ---适当控制涂层的膜厚； ---在喷涂前对素材进行有效除尘和干燥； ---选择适当的油漆体系。
15 PVD Defect Analysis and Action_v1.0
改善措施：---确保涂料在使用过程长期搅拌； ---优化喷涂工艺参数，并严格执行喷涂标准作业规范； ---对镀膜工序出现的色差进行有效管控； ---面漆选用溶解力较差的溶剂，改善底的耐溶剂性或底漆完全固化后再涂面漆；
---选用恰当的原油与色浆体系；
---喷涂过程中严格控制涂层的厚度。
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PVD Defect Analysis and Action_v1.0
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PVD Defect Analysis and Action_v1.0
PVD喷涂及镀膜常见不良26页PPT
定义：产品表面反光时有类似彩虹的效应。
产生的原因：---油漆体系使用不恰当； ---喷涂工艺参数不当使涂层中残留有内应力； ---金属膜引起的反射光发生干涉。
改善措施：---提高油漆黏度； ---采用干喷手法； ---采用恰当的油漆体系； ---面漆（着色层）膜厚薄涂至下限； ---底漆中添加消光剂，减弱真空镀膜金属的反射光； ---面漆中添加消光剂，减弱涂膜的入射光； ---金属膜上涂装两层涂料，利用涂膜成分不同引起的漫反射。
17 PVD Defect Analysis and Action_v1.0
18. 抗划痕不过 Rod Test NG
定义：漆膜硬度不够高，达不到客户指定的标准。 产生的原因：---油漆体系不合适；
---面漆的膜厚过薄； ---固化剂加入量偏少，交联不够充分； ---光固化时间和光照强度不够，或光照距离过远。 改善措施：---更换油漆体系； ---调整面漆膜厚； ---增加涂料中固化剂的含量； ---控制光照时间、强度和灯距在工艺范围内。
12 PVD Defect Analysis and Action_v1.0
12.发白/发雾 Whitening/ Misting
定义：底漆没有完全固化，喷完中漆后产生云雾状白色漆膜现象。 产生的原因：---溶剂快速蒸发引起漆膜表层温度急剧降低至环境温度的露点以下，从而导致湿
气凝结成小水珠混入涂料中产生泛白的现象； ---喷涂作业环境湿度过高，湿气混入漆膜造成； ---压缩空气中有水混入涂料而造成； ---涂料自身带有水分或底材表面未充分干燥。 改善措施： ---选择适当溶剂和稀释剂，控制其挥发速度，防止漆膜表面温度过低导致聚合物析出； ---降低环境湿度或给涂料添加防白水； ---加强油水分离器分离空气中的水分； ---严格控制涂料检验，底材喷涂前进行烘烤，确保其表面充分干燥。
常见PECVD镀膜色差片分析
一、检查舟的使用次数，如果到了工艺规定的使用寿命，立即对其停用，对其清洗；
二、检验舟的插片情况，可能会存在新人作业，插片不到位导致色差，确认无误；
三、检查片子在舟里的出处，看是否为我们工艺造成的色差（这个需要重新用一个 好舟来验证），如果是，及时调整；
六安市长安小学
四、片子部分发白 现象：片子的某一部分呈白色，有规则的、位置相同的，有不规则的位置不相同的。 不规则的，位置不相同的
清洗后
镀膜后
原因分析：此为前面扩散工序在扩散过程中偏磷酸滴落在片子上导致 解决方法：前段在交接此等片子的时候，一定要通知PE工艺，如果没有通知，发 现立即对此停做，片子返回前段工序，让其返工。
解决方法： 1、出现因短路造成没镀上膜的的片子（整舟出现）（需要工艺人员确认），石 墨舟退出后，待石墨舟冷却后再进入炉管重新镀膜； 2、当机器出现报警时，工艺要做的就是把握片子在炉管的时间，要及时和设备 沟通，如果需要维修时间较长，可以将工艺关闭，让设备手动取出舟，然后再让 其维修； 3、当发现去PSG没有洗干净时，立即将所有从去PSG留下的片子取回重新清洗， 在清洗前要检查酸槽的浓度是否正常，如果不正常，建议重新换酸后再清洗； 4、折射率偏低的片子， 4-1、先要检查气体流量是否被更改； 4-2、要及时检查机器气体流量是否异常存不存在在工艺时气体流量被关闭的现 象，如有，及时和设备沟通，维修机器； 4-3、如果气体流量正常，可以请设备检查气体单向阀和流量计是否异常。
四、也有可能为新洗舟没有洗干净导致，及时对其停用，重新清洗。
六安市长安小学
七、整体发黄 现象：整体发黄
常见PECVD镀膜色差片分析课件
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三、片子整体发白 现象：片子整体发白
原因分析：
1、由于在上一舟由于短路未镀上膜，立即进入炉管这样因为温度偏高，导致膜 厚偏大（一般整舟出现）；
2、还有可能是在运行过程出现各种报警，导致石墨舟在炉管里时间过长，也会 造成温度异常，而造成膜厚偏厚；
3、在区PSG的时候片子没有洗干净，在后面会出现膜厚偏高，片子发白； 4、镀膜出来的片子膜厚正常，但是片子发白，用椭偏仪检测后发现折射率偏高。
四、也有可能为新洗舟没有洗干净导致，及时对其停用，重新清洗。
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七、整体发黄 现象：整体发黄
1、硅片表面呈淡黄色； 2、硅片表面呈深黄色；
3、硅片表面黄色和其他颜色共存。
颜
色
共
存
原因分析：由于工艺运行中出现各种报警、流量计堵塞、导致射频停止，这样镀膜 不完全，会造成整舟出现发黄片。
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2、如果检测出来的膜厚超过50nm，譬如55nm，我们可以计算，原硅片的膜厚大 概在47nm左右，一次镀膜后膜厚在50nm左右，我们以50nm为准，那么根据我们所 要得到的膜厚85nm来计算，第二步镀膜我们需要的是镀上25nm，假如我们镀第二 层膜厚的时间是600s，600s/25nm=24s/nm，24s/nm*（85-55）nm=480s，一般根据 计算出来得到的膜厚都要稍微高一点，我们取470s开始二次镀膜，方法一样，由第 5步跳到14步。
PPT学习交流黄，主要是片子的边缘四周会出现发黄
原因分析：
1、由于插片时未到位或者在移动石墨舟过程中造成硅片与石墨片未完全接触，会 造成部分位置发黄；
2、石墨舟使用时间过长，舟的某些部位较脏，会出现一些色差片，会有此类片子 产生
镀膜产品常见不良分析
镀膜产品常见不良分析、改善对策镀膜产品的不良，部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的不良，镀膜最终的品质是整个光学零件加工的（特别是抛光、清洗）的综合反映，对策镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的原因，对策改善才能取得成效。
一、膜强度膜强度是镜片镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良项。
膜强度的不良（膜弱）主要表现为：①擦拭或用专用胶带拉撕，产生成片脱落；②擦拭或用专用胶带拉撕，产生点状脱落；③水煮15分钟后用专用胶带拉撕产生点状或片状脱落；④用专用橡皮头、1Kg力摩擦40次，有道子产生；⑤膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。
膜强度不良的产生原因及对策：①基片与膜层的结合。
一般情况，在减反膜中，这是膜弱的主要原因。
由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上，而基片的表面由于光学冷加工的作用，总有一些破坏层，深入在破坏层的杂质（如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、抛光粉等，其中水汽为主要），很难以用一般的方法去除干净，特别对于亲水性好，吸附力强的基片尤其如此。
当膜料分子堆积在这些杂质上时，就影响了膜层的附着，也就影响了膜强度。
此外，如果基片的亲水性差、吸附力差，对膜层的吸附也差，同样会影响膜强度。
硝材化学稳定性差，基片在前加工过程中流转过程中，表面已经受到腐蚀，形成了腐蚀层或水解层（也许是局部的、极薄的）。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差，膜牢固度不良。
基片表面有脏污、油斑、灰点、口水点等，局部膜层附着不良，造成局部膜牢固度不良。
改善对策：㈠加强去油去污处理，如果是超声波清洗，应重点考虑去油功能，并保证去油溶液的有效性；如若是手擦，可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦。
㈡加强镀前烘烤，条件许可，基片温度能达到300℃以上更好，恒温20分钟以上，尽可能使基片表面的水汽、油汽挥发。
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脱膜人机械
材料
测定环境
方法
泄气阀未定
期保养清洗
套环使用前未
清除干凈
待机时间长
交换柜清洁度差
卡伞上药材粉末脱落
机台内遮板及回转机构脏
回转振动大
上机周围环境差
送风口有灰尘
离子枪放电
套环有毛边
检查员外观基
准掌握不准
无尘衣过脏
车间洁凈
度超标
内壁板较脏
搬运幅度或振动过大
操作员上伞操作不规范
研磨喷保护膜不均匀,表面腐蚀
机 械
测 定 环 境
方 法
需泡油镜片未及时泡油
夹心套环洗 凈后未烘干
洗凈擦拭溶剂选用不当或擦拭不彻底
膜系设计不合理(药材选用不当)
哈气方法不当或未哈气抽检
待机待翻面时间过长
人 材 料
研磨完品擦拭不及时或不彻底,研磨粉干化
各工序物料积压
膜色腐蚀
作业后表面留下口水印.手指印
镀膜制程条件不稳定
未延时烘烤
镀前翻面擦拭不均匀
机台返油
车间温湿度 超标严重
气枪吹风有油 (清洁度不佳)
白腐蚀
人 机 械
材 料 测 定 环 境
方 法
各工序物料积压
来料表面口水印.手指印
需泡油镜片未及时泡油
洗凈擦拭溶剂选用不当或擦拭不彻底
膜系设计不合理(药材选用不当)
哈气方法不当或未哈气抽检 待机.待翻面时间过长
镀膜加工条件不稳定 未延时烘烤
镀前翻面擦拭不均匀
洗凈未烘干 单层膜570nm 以上部番镀膜机选用不当 泄气阀门流量调整过大
洗凈篮条选择不当
套环清洁度差(刚喷砂)
研磨完品未及时擦拭或擦拭不彻底,研磨粉干化
车间温湿度 超标严重
人
机 械
材 料 测 定
环 境
方 法
分光NG
分光检测仪精度NG
自反卡未反面而重镀 镀膜药材不纯.变异
不同批次镜片材质差异 镀前入反面或未翻面镀膜操机员未确认到
操机员未依条件镀膜
操机员选错制程
监控片腐蚀,清洁度不佳等
机台制程不稳定
监控片漏换.少放.多放
分光检测人员检测方法不正确
机台伞差大(卡伞.辅正板.药点.遮板造成)
套环喷砂后未处理干净 镜片来料表面腐蚀
已镀膜修理品膜色未完全磨完
制程设定错误
机台清机前后制程变异
包铝铂纸不当
车间湿度 超标严重
人
机 械
材 料
测 定
环 境
方 法
膜上伤
翻盆或敲套环碰伤
套环.镜片重迭放置
包装盒放反面或包装盒用错
套环(镜片)滑落
竹片不光滑划伤 翻面时套环间碰伤 镀后返洗插篮不当
下伞搬运动作过大
卡伞放置时摩擦
镜片凸面朝下放与交换柜摩擦(自反卡)
擦拭用力过大
翻面时擦拭纸脏
下伞时手套脏擦伤
机台内异物下落
人员质量意识不强
镜片未放平卡破
人 机 械
材 料
测 定 环 境
方 法 破 裂
冷却时间不够或急速冷却
回转机构不顺畅
套环用错
套环设计不合理
来料倒角外径过大
反面转速不恰当
有效径设计无倒角 机台振动过大
套环与垫环搭配不当
作业掉落
自反夹具未配套使用
套环变形
镀前检查基准未掌握
机台附近空调出风口温度过低
自反夹具拧得过紧或过松
卡伞下部余量过少
套环内径不符合要求
镜片未放平.翘起
用错套环
铝铂纸使用不当
来料倒角规格不符合
夹芯套环螺丝过长 套环或卡伞过厚 机台振动滑落
人 机 械
材 料 测 定 环 境
方 法 膜 欠
套环变形
/
用错套环 膜 弱
/
倒角上膜
黄 边
其它不良
钨片未及时更换
药点偏移 膜层有吸收
药材脏.不纯或受潮
电子枪电流过大.不稳定
套环外径脏
套环材质与镜片不配
坩锅周围不清洁
遮板掉灰尘
加错药材 坩锅未转到位熔错药材 药材未敲平
套环内径磨损 套环内径不符合要求
图面有效径标识错误 来料倒角规格不符合 机台选定不当
真空度.温度不够 膜系设计不合理 镜片清洁度NG 烘烤时间不够 粒 大。