2四探针法测量材料电阻率和电导率

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电学实验一:四探针法测量材料电阻率和电导率

[实验用途]:运用四探针原理测量 1. 单晶的体电阻率

2. 异质外延薄层电阻(方块电阻)

3. 金属薄层电阻(方块电阻)

[实验目的]:1、了解四探针电阻率测试仪的基本原理;

2、了解的四探针电阻率测试仪组成、原理和使用方法;

3、能对给定的物质进行实验,并对实验结果进行分析、处理。

[实验原理]:

单晶硅体电阻率的测量测试原理:直流四探针法测试原理简介如下: 1 2 3 4

图 1 四探针测量原理图

当1、2、3、4根金属探针排成直线时,并以一定的压力压在半导体材料上,在1、

4两处探针间通过电流I ,则2、3探针间产生电位差V 。

材料的电阻率I

V

C

=ρ )(cm ⋅Ω (1) 式中C 为探针系数,由探针几何位置、样品厚度和尺寸决定,通常表示为

()()W F Fsp W D F S W F C T ⋅⋅⋅⋅=

δπ

,,2

ln (2)

式中:()S W F 、()δ,,W D F 、Fsp 和T F 分别为厚度修正系数、线度修正系数、探针间距修正系数和温度修正系数,W :片厚,D :片径,S :探针间距,δ:测点与片心距离。

[实验装置]:

使用 D41-11D/ZM 型微控四探针测试仪

1、电气部分:测量时通过DC-DC 变换器将直流电转换成高频电流,由恒流源电路产生的高稳定恒定直流电流其量程为0.01mA 、0.1mA 、1mA 、10 mA 、100 mA ;数值连续可调,输送到1、4探针上,在样品上产生电位差,此直流电压信号由

2、3探针输送到电气箱内。再由高灵敏,高输入阻抗的直流放大器中将直流信号放大(放大量程有0.76

3、7.63、76.3)。放大倍数可自动也可人工选择,放大结果通过A/D 转换送入计算机显示出来。D41-11D/ZM 型微控四探针测试仪框图如下所示。

图2 四探针测试仪电气部分原理方框

2。测试架

测试架由探头及压力传动机构、样品台构成,见图3所示,探头采用精密加工,内有弹簧加力装置,测试需要对基片厚度进行测量,以便对探头升降高度进行限制。

图3 测试架结构图

[实验内容]:

一、测试准备:将220V电源插入电源插座,开机后等十分钟在进行测量。

1.利用标样学习测试参数确定:进入系统,打开主界面。

●选择参数:测试项目(电阻率ρ);测试档(自动测量);测量方式(经

典法);校准(自动校准);样品类型(N);

●输入参数:片厚(633.8μm);温度(利用温度计测量环境温度℃);

产品型号(1);工位(1);批号(1);工序(1);

●点击测试测量,记录测试结果。

注意:显示的测试结果要乘以温度系数,得到最后结果。

2.与标准样品参数比较

按照已知条件标准样品在环境温度23℃时,电阻率为:0.924Ω*cm(中

心点),与测量结果对比,说明产生差别的原因。

二、样品测量:将待测样品放在探针下部,按上面选择测量参量,输入被测样品的

厚度、类型及环境温度,点击测试测量键,开始测量,记录测试结果。

注:测量过程中不要移动探针和样品。

点击探针上升键,移动样品更换不同位置,点击探针下降键,重复测量3次,将三次测量得的电阻率值取平均,即为样品的平均电阻率值。将结果记录在表格。

指导教师签字:

三、实验报告

实验报告统一使用深圳大学学生实验报告格式,手写完成(不得使用铅笔或红笔)。要求实验报告完整、书写规范,计算出测试试样的电阻率及电导率应注意有效数字和单位,原始数据要有指导教师签名,并粘贴在实验报告中相应位置。具体内容如下:

1.实验目的和要求

2.实验步骤

3.实验数据分析处理

4.实验结论

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