一个完整的真空系统的组成
真空系统
真空系统
nHOCH2CH2OOC COOCH2CH2OH
HO〔CH2CH2OOC COO 〕n CH2CH2OH+（n-1）HOCH2CH2OH
缩聚反应是一种放热的反应，是一种可逆反应，为了反应向正反应方向进行，要尽快的将EG蒸汽抽走，并带走一部分热量，所以要通过抽真空来实现。
影响缩聚反应的因素有：温度、搅拌转速、停留时间、真空度其中，真空对缩聚的影响很关键。
真空系统的构成
1、真空系统由刮板、EG蒸发器、三级蒸喷、液环泵四部分
组成（热媒系统除外）
2、刮板的作用是通过EG喷淋去除蒸汽中绝大部分的低聚物
和部分小分子及EG蒸汽；EG蒸发器的作用是给三级蒸喷
一个动力和平衡真空度的作用；三级蒸喷的作用是进一步
将蒸汽中的低聚物去除和将水与EG分离的作用；液环泵
的作用是将剩余的尾气分离系统。
其中EG蒸发器、三级
蒸喷、液环泵配合形成负压，起到形成真空的作用
真空系统的作用
将缩聚反应中生成的EG和一些化合物抽离系统，使反应向正反应进行，使基础切片粘度达到所需值。
影响真空系统的因素
1、刮板喷淋EG的流量、水含量、温度
2、三级蒸喷EG的流量、水含量、温度
3、EG蒸汽的压力
4、系统堵塞
5、系统密封性差
6、液环泵的负压能力
7、气动阀故障。
真空系统介绍
水环泵也有其缺点
效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。
真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重 要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液 极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液， 可达130Pa。
3、罗茨泵
3.1、罗茨泵简介
2.2、水环泵的工作原理
在泵体中装有适量的水作为 工作液。当叶轮按图中顺时 针方向旋转时，水被叶轮抛 向四周，由于离心力的作用， 水形成了一个决定于泵腔形 状的近似于等厚度的封闭圆 环。水环的下部分内表面恰 好与叶轮轮毂相切，水环的 上部内表面刚好与叶片顶端 接触（实际上叶片在水环内 有一定的插入深度）。此时 叶轮轮毂与水环之间形成一 个月牙形空间，而这一空间 又被叶轮分成和叶片数目相 等的若干个小腔。
5）振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀
6）驱动功率小，机械摩擦损失小；
7）结构紧凑，占地面积小；
8）运转维护费用低。 因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电 子工业部门得到广泛的应用。
3.2、罗茨泵工作原理
在泵腔内，有二个“8”字 形的转子相互垂直地安装 在一对平行轴上，由传动 比为1的一对齿轮带动作 彼此反向的同步旋转运动。 在转子之间，转子与泵壳 内壁之间，保持有一定的 间隙，可以实现高转速运 行。由于转子的不断旋转， 被抽气体从进气口吸入到 转子与泵壳之间的空间v0 内，再经排气口排出。
如果只是说PVC的话，一般指PPVC
2、负压表
3、阀门
4、PVC-SCH80管與管配件接合
將管子及配件(三通、彎頭…等)置放於同一溫 度下，使用附輪子的切管器將管子端面切整 齊。
切割
使用倒角器工具將管端倒角(約10-15º)並清除 管內外毛邊，再用乾淨的無塵布沾清潔劑IPA 或酒精，將管子裡外及配件插口的灰屑、溼 氣及油污擦拭乾淨。
真空机的原理和结构
真空机的原理和结构
真空机是一种用来产生和维持低于大气压的环境的设备。
它的原理和结构如下：
原理：
真空机的工作原理是通过对工作腔的气体进行排除和抽取，从而降低环境压力。
它通常使用机械泵或分子泵等方法对气体进行抽取和排气。
真空机根据抽取和排气的方法可以分为不同类型，如旋片泵、游动叶片泵、油封旋片泵等。
结构：
一般而言，真空机通常由以下几个主要部分组成：
1.工作腔：真空机的工作腔是将要进行真空处理的部分，它可以是一个封闭的容器或一个需要真空处理的设备。
工作腔通常通过密封胶圈或密封垫与真空机的其他部分相连。
2.泵：真空机的泵是用来产生真空的核心部件。
它可以是机械泵、分子泵或其他类型的泵。
机械泵通常使用旋片或游动叶片等移动部件来排除气体，而分子泵则通过产生高速旋转的转子，将气体分子击打向固定的方向，从而排除气体。
3.气体排放装置：真空机的气体排放装置用于将抽出的气体排放到大气中。
它通常包括一个排气阀或排气管道。
4.控制系统：真空机通常配备一个控制系统，用于控制泵的运行和真空度的监测。
控制系统可以调节泵的工作频率和开关，以实现所需的真空处理效果。
总体来说，真空机的工作原理是通过排除和抽取气体来降低环境压力，其结构主要包括工作腔、泵、气体排放装置和控制系统等部分。
不同类型的真空机可以根据具体需要进行选择和配置。
真空系统元件及连接
起源进入气缸上下部。密封垫片13、华 赛胶圈14、活塞15，将气缸分为两部分， 并移动与气缸之中，从而控制阀门的开
闭
5、挡板阀
6、翻板阀
下图为三种不同结构的真空翻板阀。他们利用压缩空气作为阀板翻转的 动力源。在阀门发开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程，能 翻转一个角度。图13-10所示的阀门结构中，阀盖的翻转靠四连杆机构 实现，阀盖能实现90°翻转。13-11的结构中，靠滚轮将阀盖档翻，此结 构的发明阀盖不能翻转90°。图13-12的阀门结构简单，总高度低，阀板 能翻转90°在翻板阀中，当阀板翻转90°是流导较大
超高真空针阀结构如图。针 阀是一种微调阀，其阀塞维 针形，主要用做调节气流量， 微调阀要求阀口开启逐渐变 大，从关闭到开启最大能连 续细微地调节。针形阀塞既 能实现这种功能。针形阀塞 一般用经过淬火的钢制长针， 而阀座是用锡、通等软质材 料制成。阀针与阀座见的密 封是依靠其锥面紧密配合大 道的。阀针的锥度有1：50 和6°两种，阀椎体表面要经 过精细研磨。途中的阀杆与 阀座间的密封是靠波纹管实 现的。
1、开关电路。如图13-1，当高真空阀2和前级阀4关闭，预抽阀7打开时，机 械真空阀抽真空，气流流经预真空抽气管道。当阀7打开，机械阀可单独对扩 散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器 进行抽真空，此时气流刘静扩散阀。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气 路，改变气流的流经路线。
8、针阀
通常的高、低真空阀门，密封 垫圈的材料为橡胶，不能承受 高温烘烤。因而不能使用在高 真空设备上。能使用在超高真 空设备上的超高真空阀门必须 满足：
真空系统使用注意事项
真空系统使用过程及注意事项天津大学天波科技公司灌封机事业部在环氧树脂真空浇注系统中，真空系统作为独立的子系统，在整个设备中起关键作用。
为了使真空系统正常、高效的发挥作用，以顺利完成环氧树脂浇注工作，以下是真空系统的使用过程和注意事项的一些说明。
1．真空系统组成本系统组成主要由2XT系列旋片真空泵、电磁放气阀、冷凝过滤器、手动截止阀门、放气阀、园盘真空表、真空规管、波纹管、管路以及循环水泵、冷却水箱、水路阀门可移动底盘等部分组成。
2．操作程序1．开始抽空前，首先关闭手动放气阀和BQ25手动球阀。
2．启动ISG20-110循环水泵，向2XT-30和φ250mm冷凝过滤器供给冷却水，冷却水系统ISG20-110循环水泵吸入口的水路阀门要处于常开状态，冷凝过滤器出水口接2XT-30真空泵进水口，真空泵出水口连接水箱上部回水口。
3．启动2XT-30旋片真空泵，根据工艺要求，打开BQ25手动球阀对物料脱气罐进行抽气。
4．停止工作时，首先关闭BQ25手动球阀和DN50手动蝶阀，然后停止真空泵和循环水泵。
5．当脱气罐需要恢复常压时，可打开的手动放气阀，使混料罐恢复到大气压力。
在两个混料罐中只有一个罐需要恢复常压而另一混料罐尚工作在真空状态时，应关闭泵口阀门即需维持真空的混料罐的真空阀门，待另一罐放气完成再抽到一定真空后，再打开需维持真空的混料罐的阀门。
3．注意事项1．真空度低，抽空时间明显增长：1.1检查各连接处密封圈是否损坏，如有损坏及时更换。
1.2检查各系统漏气率，在真空状态下对于系统容积为V[m3]，压力为P1（Pa）的情况下，经过时间t（s）后压力升高到P2（Pa）时，系统的漏气率Q为：Q=(P2-P1)•V/t [Pa.m3/s]当漏气率Q较要求值增大时，就应对系统各部分进行检漏，并排除漏气源。
1.3于1.41.541．2．更换芯子内部的陶瓷管，将新的陶瓷管φ8-10用筛子筛选，除掉粉碎部分后，放入锂基润滑脂中煮沸10-15分钟取出，将粘在表面上的油除净并冷却到常温再使用。
真空系统的组成.
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（3）高真空抽气机组
高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比， 其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速 大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛 升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因 此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组 性能。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
真空泵管路
真空泵管路真空泵管路是真空系统中的重要组成部分，起到输送和控制气体流动的作用。
它由管道、阀门、接头等组成，能够有效地连接真空泵和被抽真空设备，实现气体的抽取和排放。
本文将从真空泵管路的组成、设计原则和应用方面进行阐述。
一、真空泵管路的组成真空泵管路主要由以下几部分组成：进气管路、抽气管路、排气管路和控制阀门。
进气管路用于将被抽真空设备的气体引入真空泵，通常包括进气阀、过滤器等；抽气管路是真空泵与被抽真空设备之间的连接通道，通常包括直径较大的管道和弯头等；排气管路用于将被抽取的气体排放到大气中，通常包括排气阀、冷凝器等；控制阀门用于控制气体的流动和调节真空泵的工作状态，通常包括截止阀、调节阀等。
这些组成部分相互配合，构成了真空泵管路的完整结构。
1. 合理选择管道材料：真空泵管路一般采用不锈钢、铝合金等材料，具有耐腐蚀、密封性好的特点，能够满足真空系统的使用要求。
2. 合理选择管道直径：根据被抽真空设备的气体流量和泵的抽气速度来确定管道直径，以保证气体的正常流动。
3. 设置适当的阀门：通过设置截止阀、调节阀等阀门，可以控制气体的流动和调节真空泵的工作状态，实现对真空度的控制。
4. 合理布局管路：管路布局应尽量简短，避免过多的弯头和变径，以减小气体的阻力和压降。
5. 设置合适的附件：根据需要，可以在管路中设置冷凝器、过滤器等附件，以提高系统的效率和稳定性。
三、真空泵管路的应用真空泵管路广泛应用于各个领域的真空系统中。
以下是几个常见的应用场景：1. 实验室：在化学实验室、物理实验室等科研场所中，真空泵管路常用于抽取反应容器中的气体，以提供良好的实验条件。
2. 工业生产：在半导体制造、光伏产业等工业生产过程中，真空泵管路被广泛应用于真空薄膜沉积、真空干燥等工艺中，提供所需的真空环境。
3. 医疗设备：在医疗设备中，真空泵管路常用于抽取体内气体，如吸引器、负压引流装置等，用于病人的治疗和护理。
4. 航天航空：在航天器、飞机等航空领域，真空泵管路被用于模拟真空环境、提供液体供应等。
真空系统的组成元件
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
没有最好, 没有最好, 只有更好 我们还在努力
THANK YOU ...
电子、电器配套玻璃专业国际化公司
Total Glass Solutions For Electron And Electric Appliance
专业的心
做专业的事
真空系统的组成元件
作成： 作成：樊斌杰 日期:2010 /07月 :2010年 日期:2010年/07月
做专业的事
平面连续镀膜线真空系统
专业的心
做专业的事
一、真空阀门 1．概述 ． 在真空系统中，用来改变气流方向，调 节气流量大小，切断或接通管路的真空系 统元件称为真空阀门。
专业的心
做专业的事
表1 真空阀门分类 名称 分类方法
根据阀门的职能 根据结构塑式 根据驱动方式 根据材料 根据用途 根据通道方式 低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门 挡板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、针阀 、插板阀 手动阀、电动阀、手电两用阀、电磁阀、气动 阀、液压真空阀 金属真空阀、玻璃真空活塞(考克)、塑料阀 截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、 封闭送料阀 脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀
专业的心
做专业的事
真空系统是由真空泵、真空测量装置、真空阀门、连 接导管以及捕集器、除尘器、真空继电器规头等元件， 经过精心组装而成的。它能在人们所期望的时间内将被 抽容器内的压力降低到所要求的真空度。由于真空泵和 真空测量仪器前面已经讲述，这里仅介绍真空阀门和捕 集器。
SMC 真空系统
SMC 真空系统SMC 真空系统1·系统概述1·1 系统定义SMC 真空系统是一种专为工业应用而设计和制造的真空设备，旨在实现高效的真空处理和控制。
1·2 系统组成SMC 真空系统由以下几个主要组件组成：1·2·1 真空泵：负责产生和维持所需真空度的装置。
1·2·2 阀门：用于调节真空系统中气体的流动。
1·2·3 传感器：用于监测真空度和其他相关参数。
1·2·4 控制器和仪表：用于控制和监测系统的运转状态。
1·2·5 管道和接头：连接各个组件并确保气体的有效流动。
2·系统安装与调试2·1 设备准备2·1·1 确定系统安装位置和布局。
2·1·2 检查设备和零部件是否完好。
2·1·3 准备所需的安装工具和材料。
2·2 安装步骤2·2·1 安装真空泵和阀门。
2·2·2 连接管道和接头。
2·2·3 安装传感器和控制器。
2·2·4 连接电源线和通信线缆。
2·2·5 进行系统的初步调试。
3·系统操作与维护3·1 系统启动和停止3·1·1 启动系统：按照指示，逐次启动真空泵、控制器和其他组件。
3·1·2 停止系统：按照指示，逐次停止各个组件，确保系统安全关闭。
3·2 真空度控制3·2·1 设置真空度目标值。
3·2·2 调节阀门和真空泵的运行状态以控制真空度。
3·2·3 监测真空度，并及时采取相应措施保持真空度稳定。
3·3 维护与保养3·3·1 定期检查和清洁系统组件。
真空机器的几种结构
真空机器的几种结构
1. 单级真空系统
单级真空系统是最基本的真空机器结构。
它由一个真空室和一台抽气机组成。
真空室是一个密封容器,内部需要保持较低的气压。
抽气机用于抽出真空室内的气体,降低室内压力。
这种结构简单,成本较低,适用于对真空度要求不太高的场合。
2. 多级真空系统
对于需要更高真空度的应用,通常采用多级真空系统。
它由若干个串联的真空室和多台不同种类的抽气机组成。
第一级抽气机将真空室抽至中真空状态,后级抽气机(如分子泵、离子泵等)则进一步将真空室抽至高真空或超高真空状态。
多级真空系统能够获得很高的真空度,但结构相对复杂,成本较高。
3. 差动抽气系统
差动抽气系统通常用于需要将样品或物品从大气压引入高真空环境的场合。
它由一个低真空室、一个高真空室和两台不同种类的抽气机构成。
低真空室先被抽至中真空状态,然后高真空室被抽至所需的高真空度。
样品通过低真空室逐步进入高真空室,从而避免了直接从大气压进入高真空环境所可能带来的污染问题。
4. 集成真空系统
集成真空系统将真空室、抽气机、控制系统、测量仪表等多个部件集成在一个机箱内,形成一个独立的真空设备。
这种结构紧凑、操作
方便,常用于生产线或实验室等场合。
根据不同的应用需求,集成真空系统可以采用单级或多级的设计。
真空系统组成与设计基础
图3 典型真空系统原理图
1真空室充气阀；2真空测量规管；3流量调节阀；4高真空阀；5冷阱；6油扩散泵；7 储气罐；8热偶计规管（测扩散泵前级压力）9前级阀；10真空膜盒继电器；11预抽阀； 12罗茨泵；13、14机械泵 （其中一台可兼维持泵）； 15旁通阀；
图4 典型真空系统原理图
1—真空室 2－放气阀 3－电离真空计 4－热偶真空计 5－高真空阀6－冷阱 7－ 扩散泵 8－前级真空阀 9－电磁真空阀 10－机械泵 11－管道阀
主泵为分子泵串联机械泵
由于机械泵有油存在,需要在机械泵入口管道上 设置捕集器冷凝油蒸气。如果分子泵串联分子 筛吸附泵(前级泵),则构成了无油超高真空系统, 该系统比较清洁。
钛泵或溅射离子泵做为主泵,并联或串联分
子筛吸附泵(做为预真空泵)，或用钛泵联接 预真空机械泵，在机械泵的入口管道上加油 蒸气捕集器。
预真空抽气泵 预真空管路
预真空管道阀
前级管路 前级管道阀 软连接管道
1.2 真空系统的组成元件
一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道； 4 ．真空测量装置：例如真空压力表、 各种规管； 5．其它元件：例如捕集器、除尘器、 真空继电器规头、储气罐等。
差压型真空注型机
真空压力浸渍设备
国内第一台千瓦量级的氦制冷系统
大型真空热实验设备
Vacuum Environment Simulation
模拟舱中的神州飞船
真空度的提高（极高真空10-12Pa）和真空容器大
型化（例如宇航的微重力试验的真空系统真空室 1700m3），今后新的尖端科学技术的发展对此要 有所考虑。
扩散泵串联扩散泵(中间泵),再串联机械泵
真空系统设计
真空系统设计(1)第八讲：真空系统设计王继常(东北大学)一、真空系统的组成真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。
举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。
图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需要获得高真空范围内的真空度时，通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。
当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。
如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2所示)。
根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。
凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统，通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵)，而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。
被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路，主泵入口处的阀门称为主阀。
通常前级泵又兼作予真空抽气泵。
被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路，该管路上的阀门称为予真空管道阀。
主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道，该管路上的阀门称为前级管道阀，而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。
总起来说，一个较完善的真空系统由下列元件组成：1．抽气设备：例如各种真空泵；2．真空阀门；3．连接管道；4．真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；5．其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
那么，究竟什么是真空系统?用一句话来概括，就是：用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。
真空系统的组成
三．贮气罐。小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮气罐， 设置在扩散泵和前级泵之间，贮存扩散泵排除的气体，设 置贮气罐的原因有：
四．系统防振的需要。
五．为了缩短工作周期。
六．为防止真空室内瞬间时大量放气影响扩散泵正常 工作。
七．用于稳定扩散泵出口压力。
（4）超高真空抽气机组
• 超高真空抽气机组工作在10-6~10-10Pa超高真空压力范围，除了要求真空室的材料出气率 很低、漏气率很小、内经受200~450℃高温烘烤外，对机组的要求还有：
组合超高真空系统。对于默写有特殊要求的真 空系统，如对于既要求得到超高真空或无油超 高真空，有同时满足粗抽需要及能应付工艺过 程中放出来的大量气体这样的系统，可采用组 合式系统来满足要求。原理如右图。主泵为溅 射离子泵，为了提高真空度及排走蒸发材料时 产生的大量气体，配有钛升华泵。极限真空度 可达6.67×10-7Pa。用分子筛泵做主泵的预抽 泵。此外，系统还配有媳妇经-机械泵粗抽系统， 在压力大于1333Pa时，机械泵不易返油，用 机械泵直接抽真空室，压力低于以后，机械泵 阱吸附阱从旁路抽真空室
常用机组 形式
图为有挡油阱的低真空机组。双击水 环泵和大气喷射泵串联组成的机组极 限压力1300Pa。工作时，先开动水 环泵，以获得大气喷射泵所需的预压 力，使大气喷射泵的进气口与出气口 之间有压力差，大气便通过喷射进入 泵内形成高速运动气流，将被抽气体 吸入，经扩压器被水环泵排走。
真空系统组成PPT.
玻璃板的运输 2
电子管和电视显像管（电子束管），利用 绝热效果的不锈钢制的罐、杯、碗，真空 包装食品，真空下使之干燥的食品等为代 表的物品。
电子管
真空保温杯，保温饭盒
3
另一方面，直接利用真空的制品也有很多，真空 蒸发和真空涂层技术制作的透镜、玻璃、反射镜 、太阳能电池、LED照明、液晶显示、IC器件等 。
1916年
作者
Forest
科学技术
真空三极管
Coolidge 钨丝白炽灯，钨的粉末冶金
Gaede 发明旋片旋转泵（Gaede型泵）
Knudsen 气体分子流
Gaede 分子真空泵发明
Coolidge X射线管
Gaede 汞扩散泵发明S＝0.1～0.2L/s
Langmui 冷凝扩散泵发明S＝3～5L/s r
1879年 Edison 有正式的书面通知，需要应聘者对确认书认可之后签字寄回。 碳丝白炽灯
（5） 在食用黄花菜时，我们要怎么做？（可以在开水中烫一下，然后挤去水分再吃。）
1879年 Crookes 阴极射线管 (3) 烫伤后，衣服鞋袜不要强力撕胶，应先用剪刀剪开，然后慢慢揭脱，以免加剧创面损伤。
二、 谈话导入
Buckley 热阴极电离计
13
年 作者
1923年 Holweck 1923年 Gaede
1935年 Gaede
1936年 Hickman 1937年 Penning 1950年 Bayard和
Alpert 1953年 Schwartz 1953年 Herb等
科学技术
盘形分子泵
全金属三级汞扩散泵制造 S＝60L/s，20Torr 气镇真空泵，机械泵气镇原
1878年 W.Gaede 在德国诞生 三、课堂小结
真空系统方案
真空系统方案引言真空系统在很多工业领域中都起着重要作用，例如半导体制造、航天航空、医疗设备等。
一个稳定、高效的真空系统方案能够确保设备的正常运行，并对产品质量和工艺流程起到关键影响。
本文将介绍一种高效稳定的真空系统方案，包括系统组成、关键技术以及应用案例。
系统组成一个典型的真空系统主要由以下几个组成部分构成：1.真空泵：真空泵是整个系统的核心部件，负责将系统中的气体抽出，形成真空状态。
根据抽气原理的不同，真空泵可以分为离心泵、根式泵、螺杆泵等多种类型，根据系统的需求选择适当的真空泵非常重要。
2.阀门：阀门用于控制系统中的气体流动和压力调节。
常见的阀门类型有截止阀、调节阀、截断阀等，不同的阀门可以实现不同的控制功能。
3.传感器：传感器用于监测系统中的真空度、气体流动速度等参数。
常见的真空传感器有热导式传感器、冷阴极离子化传感器等，准确的传感器能够提供可靠的监测数据，保证系统的稳定性。
4.管道系统：管道系统负责连接各个组件，将气体从一个地方传输到另一个地方。
管道材料需要具备良好的密封性和耐腐蚀性能，以确保气体不泄漏，同时要避免对气体流动的过多阻力。
5.控制系统：控制系统依靠电子设备，对真空系统的各个组件进行监控和控制。
它可以自动调整真空泵的工作状态，控制阀门的开关和流量，同时通过传感器获取数据，实现对真空度的精确控制。
关键技术一个高效稳定的真空系统方案需要充分考虑以下几个关键技术：1.泵速和泵油选择：根据系统所需抽气速度和泄漏率，选择合适的泵速和泵油是保证真空度的关键。
如果抽气速度过大，有可能带来过高的泄漏率；而抽气速度过低，则无法满足系统的需求。
2.管道设计和材料选择：管道的设计要充分考虑气体流动的阻力和泄漏的可能性。
合理选择管道的直径和长度，使用高质量的密封材料，可以减少能量损失和气体泄漏，提高系统效率。
3.控制策略和算法：控制系统采用合适的策略和算法可以提高系统的稳定性和响应速度。
例如，采用PID控制算法可以实现对真空度的精确控制，提高系统的稳定性。
简述电动真空系统的组成
电动真空系统的组成介绍电动真空系统是一种常见的工业系统，用于在封闭的空间中移除气体和杂质，创建真空环境。
它由多个组件组成，每个组件的功能不同，但共同作用形成一个完整的系统。
本文将深入探讨电动真空系统的组成，并对每个组件的功能进行详细解释。
主要组成部分一个典型的电动真空系统通常包括以下几个主要组成部分：1.真空泵真空泵是电动真空系统的核心组件，用于排除系统中的气体和杂质，从而形成真空。
真空泵可以根据其工作原理分为多种类型，如旋片泵、鼓风泵、干式泵和液环泵等。
它们将系统中的气体吸入并排出到外部环境，从而降低系统内部的气压。
2.真空容器真空容器是用于存放被处理物体的封闭空间，通常由金属或玻璃制成，并具有高度密封性。
真空容器的主要功能是保持系统内的真空环境，防止外界气体进入。
3.真空度测量装置真空度测量装置用于测量系统的真空度，以确保系统正常运行并达到所需的真空水平。
常见的真空度测量装置包括电子真空计和热电偶真空计。
这些装置可以提供准确的真空度读数，并可与系统的控制单元进行连接，实现自动控制。
4.阀门与管道阀门和管道在电动真空系统中起到连接和控制的作用。
它们用于引导气体流动和调节系统中的压力。
阀门可根据需要进行开启和关闭操作，以实现对气体的流向和流速的控制。
5.冷凝器冷凝器是一种用于冷却和凝结气体的装置。
在电动真空系统中，冷凝器通常位于真空泵的排气口处，用于冷却并凝结从真空泵中排出的气体。
冷凝器可有效地去除气体中的蒸汽和杂质，提高系统的抽气效率。
6.真空附件真空附件是用于增强和扩展系统功能的附加设备。
例如，真空阀门可用于更精确地控制气体流动，真空过滤器可过滤掉气体中的固体颗粒，真空输送装置可用于将物体从一个位置输送到另一个位置。
电动真空系统工作流程下面是典型电动真空系统的工作流程：1.真空泵启动，开始排除系统中的气体。
2.真空度测量装置实时监测系统的真空度，并将数据反馈给控制单元。
3.控制单元根据真空度读数和设定值，控制阀门的开关和真空泵的运行状态。
气体动力专业知识36-真空系统施工技术
划
真空泵的安装 真空泵在安装时除按照一般泵类设备的技术要求外应特别注意以下几点： ➢ 真空泵泵在就位后固定前应松开联轴器。 ➢ 真空泵在确认管路系统连接完毕后，转动真空泵确认无误后方可进行联轴器
真空系统施工技术
目录
1、真空系统的组成 2、真空泵、缓冲罐、清扫罐等设备安装技术 3、真空管道安装技术 4、管道及阀件防腐施工技术 5、真空管道系统的调试和测试
划
1、真空系统的组成 一个完整的真空系统（工艺真空、清扫真空），一般由以下几部分组成：
➢ 抽气设备（各种形式的真空泵） ➢ 真空阀门 ➢ 真空管道 ➢ 真空测量装置（压力表等、远传压力表等）。 ➢ 辅助元器件（缓冲罐、除尘器等） 我公司面临施工的电子、医药厂房主要是工艺真空和清扫真空系统。
安装、固定。 ➢ 真空泵的吸入端、排气端管道应设置合适的支架，绝不允许真空泵承受管道
的重量。 ➢ 真空泵的安装地点应足够宽敞，以确保维护、维修方便。
缓冲罐、清扫真空罐的安装、加工要求
罐体的生产加工压力要求应满足罐内负压的需求，防腐等级、防导静电等级 应符合相关技术文件要求，罐本体钢板厚度≥5mm。
罐体安装就位后应固定于合格的基础之上，待清洗吹扫完成后进行压力表、 远传仪表的安装。
划
2、真空泵、缓冲罐等设备安装技术 真空泵的分类 真空泵从结构上分为往复式真空泵、水环式真空泵、射流式真空泵。
➢ 往复式真空泵适用于抽送不含固体颗粒、无腐蚀性的气体。这种真空 泵的抽气速率较大，真空度较高。故在化工厂中广泛应用。但其结构 复杂，维修量大。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
一个完整的真空系统的组成
真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。
举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。
图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需要获得高真空范围内的真空度时，通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。
当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。
如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2所示)。
根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。
凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统，通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵)，而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。
被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路，主泵入口处的阀门称为主阀。
通常前级泵又兼作予真空抽气泵。
被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路，该管路上的阀门称为予真空管道阀。
主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道，该管路上的阀门称为前级管道阀，而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。
总起来说，一个较完善的真空系统由下列元件组成：
1．抽气设备：例如各种真空泵；
2．真空阀门；
3．连接管道；
4．真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；
5．其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
那么，究竟什么是真空系统?用一句话来概括，就是：用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。
真空系统设计的基本内容：是根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计方案，进行选、配泵计算；确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等，进行合理配置，最后划出真空系统装配图和零部件。