10.透射电子显微镜应用分析
透射电子显微镜的特点
透射电子显微镜的特点透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）是一种高分辨率电子显微镜，在物理、化学、生物等领域都有广泛的应用。
透射电子显微镜利用电子的波动特性，利用电子束通过样品，在透射过程中记录样品的电子衍射和散射模式，得到高分辨率的样品图像。
其特点包括：1. 高分辨率透射电子显微镜可实现很高的空间分辨率，通常达到亚纳米级别。
这是由于电子波长比光波短，使得电子束可以穿透样品并记录样品内部结构信息。
因此，需要精密的光学和机械系统来保证样品的正确对准和定位，以及记录每个样品点的细节。
2. 高对比度透射电子显微镜能够提供高对比度的显微图像。
这是由于电子束与样品相互作用时所引起的散射和吸收现象。
正常的显微镜样品会因光线的穿透和散射使其显示模糊，而透射电子显微镜中的电子束经过样品后能够记录下有效的专门信息，使得样品结构更加突出且对比度更高。
3. 高灵敏性透射电子显微镜具有极高的灵敏性，可以检测到样品中非常小的差异，如晶体缺陷、异形和缩影。
这是由于电子束可以穿透材料，记录材料的微观结构和性质，使得其较其他类型的显微镜对于一些难以察看的样品有更好的观测效果。
4. 多样化的应用透射电子显微镜可以应用于多种不同的研究领域，如材料科学、纳米技术、生物学、化学和地学等。
例如，透射电子显微镜可以用于分析材料的晶体结构和组成、比较化学反应和动力学的过程、研究生物分子的结构和功能等等。
总的来说，透射电子显微镜具有高分辨率、高对比度、高灵敏性和多样化的应用特性，可以为科学研究、工业生产和人类健康等领域提供高质量的数据和知识价值。
透射电子显微镜在材料科学中的应用研究
透射电子显微镜在材料科学中的应用研究透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种非常强大且重要的工具，在材料科学中发挥着重要的作用。
本文将着重探讨TEM的应用研究，以展示其在材料科学领域中的重要意义和潜力。
首先，TEM可以提供高分辨率的图像，由于其采用了电子束替代了传统光学显微镜中的光线束，因此具有比传统光学显微镜更高的分辨率。
这使得TEM能够在原子尺寸的范围内观察和研究材料的微观结构和组成。
通过TEM，可以看到材料中的晶体缺陷、晶界、原子排列以及纳米颗粒的形态和分布等信息，从而为研究者提供更全面的材料性能分析。
其次，TEM还可以用于分析材料的化学成分。
通过透射电子显微镜的能谱分析功能，可以检测材料的元素组成和分布情况。
这对于研究材料中的微量元素、杂质或特定材料结构是非常关键的。
比如，在材料科学中研究合金材料时，通过使用TEM可以准确分析不同元素的分布、堆垛结构以及可能存在的相变现象，从而为合金材料的优化设计和开发提供了有力的支持。
另外，TEM还可以进行纳米材料的研究。
随着纳米科技的快速发展，各种纳米材料的制备和应用也受到了广泛关注。
通过TEM可以实时观察和研究纳米材料的形貌、大小、形态演变等特性。
举个例子，纳米颗粒在不同条件下的自组装过程可以通过TEM实时观察，从而为理解纳米材料的自组装机制和控制纳米结构提供了重要线索。
此外，TEM还可以用于研究材料的力学性能。
通过使用纳米压痕技术，可以将纳米尺度下材料的力学性能直接导入TEM，从而实时观察材料在纳米尺度下的力学行为。
这种研究方法可以为我们提供关于材料变形、断裂、塑性等方面的深入洞察。
综上所述，透射电子显微镜在材料科学中的应用研究具有重要意义。
TEM不仅能够提供高分辨率的图像，观察和研究材料的微观结构和组成，还能对材料的化学成分进行定量分析。
此外，TEM还可以用于纳米材料和力学性能的研究，为我们深入理解材料特性和设计材料性能提供了有力工具。
透射电镜的应用
透射电镜在材料分析上的应用1概述透射电子显微镜（缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。
散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。
由于电子的德布罗意波长非常短，透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多，可以达到0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍。
因此，使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构，甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构，比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数万倍。
在放大倍数较低的时候，TEM成像的对比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的。
而当放大率倍数较高的时候，复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同，因此需要专业知识来对所得到的像进行分析。
通过使用TEM不同的模式，可以通过物质的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像。
2应用特点通过TEM中的荧光屏，我们可以直接几乎瞬时观察到样品的图像或衍射花样。
我们可以一边观察，一边改变样品的位置及方向，从而找到我们感兴趣的区域和方向。
在得到所需图像后，可以利用相机照相的方法把图像记录下来。
现在新一代TEM也有的装备了数字记录系统，可以将图像直接记录到计算机中去，这样可以大大提高工作效率。
3．应用3 TEM的主要功能对于材料科学的研究而言，TEM已经成为了一种不可或缺的研究工具，以至于在今天，已经很难想象没有TEM的帮助，我们如何深入开展材料科学的研究工作。
下面我简单地列举TEM在材料科学研究中的6个常见用途。
(a)利用质厚衬度(又称吸收衬度)像，对样品进行一般形貌观察；(b)利用电子衍射、微区电子衍射、会聚束电子衍射物等技术对样品进行物相分析，从而确定材料的物相、晶系，甚至空间群；(c)利用高分辨电子显微术可以直接“看”到晶体中原子或原子团在特定方向上的结构投影这一特点，确定晶体结构，大于100nm物体用低压、低分辨电镜即可观察。
透射电镜的成像特点及应用
透射电镜的成像特点及应用透射电镜是一种能够通过物质内部的电子束传输信息的仪器。
它利用电磁透镜来聚焦电子束，将其投射到待观察样品上，然后通过收集样品透射的电子来形成图像。
透射电镜的成像特点及其应用如下：1. 高分辨率：透射电镜的分辨率通常可以达到亚埃（10-4毫米）甚至更高水平。
与光学显微镜相比，透射电镜可以显示出更细小的细节，使得我们能够观察到更微观的组织结构和物质的粒子。
2. 高放大倍率：由于透射电镜的高分辨率，它能够实现非常高的放大倍率，通常可以达到100万倍以上。
这使得我们能够更深入地研究和观察样品的微观结构和形态。
3. 内部结构观察：透射电镜可以穿透物质的表面，观察并分析样品内部的结构。
这种能力对于研究材料科学、生物学和纳米技术等领域非常重要，因为只有透过表面，我们才能真正观察到物质的内部组织和结构。
4. 原子级分辨率：透射电镜能够提供原子级甚至亚原子级的分辨率，使得我们能够观察到原子之间的相互作用、晶格缺陷以及纳米材料等微观结构。
这对于研究物质性质、材料物理和材料化学具有重要意义。
5. 惰性观察：透射电镜可以在真空或惰性气体环境中工作，从而避免了电子束与空气中的气体分子发生相互作用，保持样品的原始性质。
这对于观察和研究空气中不稳定的物质或易受氧化的物质非常重要。
透射电镜的应用范围非常广泛，以下是一些典型的应用领域：1. 材料科学：透射电镜可以观察和研究材料的晶体结构、相互作用和缺陷等特性。
它在材料科学领域的应用包括纳米材料研究、金属合金的结构分析、材料的电子结构分析等。
2. 生物学：透射电镜在生物学研究中广泛用于观察和分析生物细胞、组织和病毒等的结构和形态。
它可以帮助我们研究细胞的超微结构、蛋白质的空间结构、细胞分裂过程等。
3. 纳米技术：透射电镜对于纳米技术的研究和应用至关重要。
它可以观察和研究纳米材料的结构、性质和相互作用，从而帮助我们设计和制造具有特殊性能的纳米材料和纳米器件。
4. 矿物学和地球科学：透射电镜在矿物学和地球科学中有着广泛的应用。
透射电子显微镜下的生物大分子结构解析
透射电子显微镜下的生物大分子结构解析一、透射电子显微镜技术概述透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）是一种利用电子束穿透样品的高分辨率显微镜技术。
与传统的光学显微镜相比，透射电子显微镜能够提供纳米级别的分辨率，这使得它在生物大分子结构解析领域具有独特的优势。
本文将探讨透射电子显微镜在生物大分子结构解析中的应用，分析其原理、技术特点以及在生物科学领域的重要作用。
1.1 透射电子显微镜的基本原理透射电子显微镜的工作原理基于电子光学原理，电子束通过电磁透镜聚焦，穿透样品后，由检测器接收并转换成图像。
由于电子波长远小于可见光，因此TEM能够达到比光学显微镜更高的分辨率。
1.2 透射电子显微镜的技术特点透射电子显微镜具有以下技术特点：- 高分辨率：能够达到原子级别的分辨率，适合观察生物大分子的精细结构。
- 多模式成像：除了传统的透射成像外，还可以进行扫描透射成像（STEM）和电子衍射等。
- 样品制备要求：需要将生物样品制备成极薄的切片，以确保电子束的有效穿透。
- 环境控制：需要在高真空环境下操作，以避免电子束与空气分子的相互作用。
1.3 透射电子显微镜在生物大分子结构解析中的应用透射电子显微镜在生物大分子结构解析中的应用非常广泛，包括蛋白质、核酸、病毒等生物大分子的形态学研究和结构分析。
二、生物大分子结构解析的技术和方法生物大分子结构解析是一个复杂的过程，涉及多种技术和方法。
透射电子显微镜技术在这一过程中扮演着重要角色，但也需要与其他技术相结合，以获得更全面和准确的结构信息。
2.1 样品制备技术生物大分子的样品制备是结构解析的第一步，也是关键步骤之一。
透射电子显微镜要求样品必须足够薄，通常需要使用超微切割、冷冻断裂或聚焦离子束等技术来制备样品。
2.2 高分辨率成像技术高分辨率成像是获取生物大分子结构信息的基础。
透射电子显微镜通过优化电子束的聚焦、样品的放置和成像条件，可以获得高质量的图像。
透射电镜的原理和应用
透射电镜的原理和应用透射电镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种使用电子束来对物质进行成像和分析的先进仪器。
相对于光学显微镜，透射电镜的分辨率更高，可以观察到更小尺寸的物体和更细微的细节。
下文将详细介绍透射电镜的原理和应用。
一、原理透射电镜的工作原理基于电子的波粒二象性。
当高速电子束穿过薄样品时，电子与样品原子发生散射或透射，这些散射和透射电子可以通过其中一种方式被聚焦后投射到屏幕上形成影像。
透射电镜的主要组成部分包括电子源、电子透镜系统、样品台、检测器和成像系统。
2.电子透镜系统：透射电镜中使用的电子透镜系统包括凸透镜、凹透镜和电磁透镜等，用于聚焦和控制电子束的路径。
3.样品台：样品台用于固定和支持待观察的样品。
在样品台上放置薄到几十纳米的切片样品，以便电子束能够透过。
4.检测器：透射电镜中常用的检测器包括透射电子探测器（TED）、散射电子探测器（SED）和能量散射光谱仪（EDS）等。
TED用于接收透射电子并产生明亮的影像，SED用于检测和分析散射电子的信息，EDS用于分析样品中的元素组成。
5.成像系统：透射电镜的成像系统包括投影屏幕、摄像机和电子显微图像处理设备。
通过调整电子透镜系统，可以将电子束上的信息转换成实时图像并显示在投影屏幕上。
二、应用透射电镜在材料科学、生物科学、纳米科学等领域有广泛的应用。
以下是透射电镜的几个主要应用。
1.结构表征：透射电镜可以用于观察材料的结构和形貌。
它能够提供高分辨率的图像，揭示物质的晶体结构、晶体缺陷、晶界和相界等微观结构信息。
2.成分分析：透射电镜结合能量散射光谱仪（EDS）可以分析样品中元素的组成。
EDS通过测量样品上散射电子的能量，确定样品中元素的成分和含量。
3.纳米材料研究：透射电镜可以研究和制备纳米尺寸的材料。
通过观察和测量纳米材料的形貌、尺寸和结构，可以了解纳米材料的特性和性能，并指导纳米材料的设计和合成。
透射电镜的结构原理及应用
透射电镜的结构原理及应用1. 介绍透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种基于电子束传输与样品交互作用的高分辨率显微镜。
透射电镜通过在样品上透射的电子束来形成图像，因此可以观察到原子尺度的细节。
本文将介绍透射电镜的结构原理以及其应用领域。
2. 结构原理透射电子显微镜的基本结构由以下几个主要组件组成：2.1 电子源透射电子显微镜使用高速电子束来照射样品。
电子源通常采用热阴极电子枪，通过加热阴极发射高能电子。
电子源生成的电子束必须具有高度的单色性和准直性。
2.2 准直系统准直系统用于控制电子束的方向和准直度，确保电子束可以尽可能准直地照射到样品上。
准直系统通常包括准直光阑和采购透镜。
2.3 束流衰减系统束流衰减系统用于控制电子束的强度，以适应不同的样品特性和实验需求。
束流衰减系统包括限制光阑、透镜和衰减器等组件。
2.4 对焦系统对焦系统用于控制电子束的焦距，以确保电子束能够聚焦在样品表面或其内部的特定区域。
对焦系统包括透镜和聚焦光阑。
2.5 样品台和检测系统样品台是放置样品的平台，通常具有三维移动的能力，以便于调整样品的位置和观察区域。
检测系统用于检测透射电子束与样品交互后的信号，并将其转化为图像。
3. 应用领域透射电子显微镜在各个科学领域中具有广泛的应用。
以下是几个常见的应用领域：3.1 材料科学透射电子显微镜可以观察和分析材料的微观结构、晶格缺陷、晶体取向等特征。
它被广泛应用于纳米材料、催化剂、半导体器件等领域。
3.2 生物学透射电子显微镜在生物学研究中发挥着重要作用，可以观察和研究生物细胞、组织和病毒等微观结构。
它被用于研究生物分子的结构、功能和相互作用。
3.3 纳米技术透射电子显微镜对于纳米技术的研究和开发非常关键。
它能够观察和控制纳米材料和纳米结构，有助于纳米器件的设计和制造。
3.4 地球科学透射电子显微镜在地质和地球科学中也具有重要的应用价值。
透射电子显微镜系统用途
透射电子显微镜系统用途透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy，简称TEM）是现代科学研究中一种重要的工具。
透射电子显微镜利用电子束与材料之间的相互作用过程，可以对材料的微观结构进行研究，具有非常高的空间分辨率和分析能力。
透射电子显微镜系统多用于材料科学、生物学、物理学等领域的研究，在以下几个方面有着广泛的应用。
首先，在材料科学领域，透射电子显微镜可用于研究材料的晶体结构。
材料的微观结构对材料的性能和行为有着重要影响，透射电子显微镜可以通过电子衍射技术获得材料的晶体结构信息，包括晶格常数、晶面取向、位错等。
通过观察材料不同晶面之间的相对位置、原子分布的均匀性以及位错和缺陷的分布情况，可以揭示材料的晶体缺陷机制、相变行为等，为材料设计和优化提供重要的理论依据和指导。
其次，在生物学领域，透射电子显微镜可以用于研究生物样品的细胞结构和超微结构。
由于电子波长比光波短得多，透射电子显微镜可以在非常高的分辨率下观察细胞器、细胞膜、核糖体等细胞结构的细节。
透射电子显微镜还可以通过结合能谱分析技术，对生物样品进行元素分析，获得样品中各元素的分布情况，并进一步研究其与生物活性之间的关联。
此外，透射电子显微镜还可以用于研究纳米材料的结构和性质。
现代纳米材料的研究是材料科学领域的热点之一，透射电子显微镜可以对纳米材料进行直接的成像，并通过纳米尺度的电子衍射获得其晶体结构、晶界、界面等信息。
通过透射电子显微镜对纳米材料进行分析，可以了解纳米尺度下材料的小尺寸效应、表面形貌和晶体结构的变化规律等，为纳米材料的制备和应用提供重要的科学依据。
最后，透射电子显微镜还可以用于研究材料的化学成分和原子分布。
透射电子显微镜可以结合能谱技术，对材料的元素组成进行定量分析。
通过对材料中不同位置的元素分布进行测量和对比分析，可以提供有关材料的化学成分、元素偏析、晶体生长机制等信息。
透射电子显微镜在材料的化学分析领域具有很高的分析能力和探测灵敏度，为材料的研究和开发提供了重要的技术支持。
透射电子显微镜解析出材料结构与缺陷的微观形貌
透射电子显微镜解析出材料结构与缺陷的微观形貌材料科学与工程领域中，了解材料的微观结构和缺陷是极为重要的。
透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）作为一种高分辨率的显微镜，被广泛应用于研究材料的微观结构和缺陷的形貌。
本文将对透射电子显微镜的原理以及其在解析材料结构和缺陷方面的应用进行探讨。
首先，我们来了解一下透射电子显微镜的原理。
TEM利用电子束的穿透性质，通过透射模式进行成像。
当电子束通过材料样品时，被材料中的原子核和电子云散射，形成折射、衍射和透射等效应。
其中，透射电子显微镜主要依靠透射电子的成像来解析材料的微观结构和缺陷。
在TEM中，电子束通过样品后，经过透射器（透镜）和投影透镜组件进行成像，最后由像差校正系统进行调整来提高成像质量。
透射电子显微镜的高分辨率使得它能够解析出材料的微观形貌，包括晶体结构、晶格缺陷和界面等。
透射电子显微镜在解析材料结构方面具有得天独厚的优势。
通过TEM的高分辨率成像，可以直接观察到材料的晶格结构。
晶体的晶体结构、晶胞参数、晶体方向和位错等重要的结构信息可以通过TEM成像来获得。
通过选取特定的衍射点和晶格平面，可以进一步通过电子衍射技术确定晶体结构。
透射电子衍射技术可以通过模式匹配和比对已知晶体结构的衍射图案来确定材料的晶体结构，为研究和设计材料提供了重要的依据。
此外，透射电子显微镜还可以帮助解析材料中的晶体缺陷。
晶格缺陷是材料中常见的现象，对材料的性能和行为产生显著影响。
通过透射电子显微镜观察，可以揭示出材料中的位错（dislocation）、嵌错（inclusion）、晶界（grain boundary）和尖晶石等各种缺陷。
位错是晶体中最常见的缺陷类型之一，它们对晶格的完整性和形貌起到了至关重要的作用。
透射电子显微镜可以通过成像和EDS（能谱分析）技术来定量和表征位错的类型和密度。
此外，透射电子显微镜还可以通过高分辨率透射电子显微镜（HRTEM）技术对材料的晶界和界面进行观察，揭示出材料微观结构中的复杂性。
透射电子显微镜的原理及应用
透射电子显微镜的原理及应用一．前言人的眼睛只能分辨1/60度视角的物体，相当于在明视距离下能分辨0.1mm 的目标。
光学显微镜通过透镜将视角扩大，提高了分辨极限，可达到2000A 。
光学显微镜做为材料研究和检验的常用工具，发挥了重大作用。
但是随着材料科学的发展，人们对于显微镜分析技术的要求不断提高，观察的对象也越来越细。
如要求分表几十埃或更小尺寸的分子或原子。
一般光学显微镜，通过扩大视角可提高的放大倍数不是无止境的。
阿贝（Abbe ）证明了显微镜的分辨极限取决于光源波长的大小。
在一定波长条件下，超越了这个极限度，在继续放大将是徒劳的，得到的像是模糊不清的。
图1-1（a ）表示了两个点光源O 、P 经过会聚透镜L ，在平面上形成像O ，、P ，的光路。
实际上当点光源透射会聚成像时，由于衍射效应的作用在像平面并不能得到像点。
图1-1（b ）所示，在像面上形成了一个中央亮斑及周围明暗相间圆环所组成的埃利斑（Airy ）。
图中表示了像平面上光强度的分布。
约84%的强度集中在中央亮斑上。
其余则由内向外顺次递减，分散在第一、第二……亮环上。
一般将第一暗环半径定义为埃利斑的半径。
如果将两个光源O 、P 靠拢，相应的两个埃利斑也逐渐重叠。
当斑中心O ，、P ，间距等于案例版半径时，刚好能分辨出是两个斑，此时的光点距离d 称为分辨本领，可表示如下：αλsin 61.0d n = （1-1） 式中，λ为光的波长，n 为折射系数，α孔径半角。
上式表明分辨的最小距离与波长成正比。
在光学显微镜的可见光的波长条件下，最大限度只能分辨2000A 。
于是，人们用很长时间寻找波长短，又能聚焦成像的光波。
后来的X 射线和γ射线波长较短，但是难以会聚聚焦。
1924年德布罗（De Broglie ）证明了快速粒子的辐射，并发现了一种高速运动电子，其波长为0.05A 。
，这比可见的绿光波长短十万倍！又过了两年布施（Busch ）提出用轴对称的电场和磁场聚焦电子线。
利用透射电子显微镜观察材料微观结构
利用透射电子显微镜观察材料微观结构透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种强大的工具，可以帮助科学家观察材料的微观结构。
通过TEM，我们可以深入了解材料的原子排列、晶体结构以及纳米级别的细节。
本文将探讨利用透射电子显微镜观察材料微观结构的方法和应用。
首先，为了使用TEM观察材料的微观结构，我们需要制备一种非常薄的样品。
这是因为TEM使用的是电子束而不是光线，电子束在物质中传播的能力要比光线强得多。
因此，如果样品太厚，电子束将会被散射或吸收，导致图像失真或无法形成。
为了制备薄样品，科学家通常使用离子薄片仪或机械切割技术。
这些方法可以将材料切割成几十纳米甚至更薄的薄片。
一旦样品制备完成，我们就可以将其放入透射电子显微镜中进行观察。
TEM通过向样品发射高能电子束，并测量电子束在样品中的透射情况来获得图像。
这些透射电子将根据样品的组成和结构发生散射，进而形成一个由电子束散射模式构成的图像。
科学家可以通过分析这些图像来推断材料的微观结构。
TEM可以提供高分辨率的图像，能够显示出原子级别的细节。
例如，在观察金属材料时，我们可以清晰地看到晶体中的原子排列方式。
这对于研究材料的晶体结构和晶格缺陷非常重要。
此外，TEM还可以用于观察纳米材料，如纳米颗粒、纳米线和纳米薄膜。
通过TEM，科学家可以了解这些纳米结构的形貌、大小和分布。
除了观察材料的形貌和结构，TEM还可以进行成分分析。
通过使用能量色散X射线光谱仪（EDS），我们可以确定材料中不同元素的存在和相对含量。
这对于研究复杂材料、合金和纳米材料的组成非常有帮助。
通过结合高分辨率图像和成分分析，我们可以更全面地了解材料的微观结构和性质。
TEM在材料科学和纳米技术领域有着广泛的应用。
例如，在电子器件研究中，TEM可以帮助我们观察材料的界面和界面结构，这对于改善电子器件的性能非常重要。
在纳米材料研究中，TEM可以帮助我们了解纳米材料的生长机制和形貌控制。
电子显微镜的原理与应用
电子显微镜的原理与应用电子显微镜（Electron Microscope）是一种通过利用电子束来观察和研究微观结构和特征的仪器。
相比传统的光学显微镜，电子显微镜具有更高的分辨率和放大倍数，因此在科学研究、工业制造和医学诊断等领域发挥着重要作用。
本文将详细介绍电子显微镜的原理和常见的应用。
一、电子显微镜的原理1. 来源于电子波：电子显微镜的原理基于电子的波粒二象性理论，即电子既是粒子又是波动的，电子波具有波长，其波长要远小于可见光波长。
因此，利用其波动性质进行观察和分析能够得到更高的分辨率。
2. 电子源：电子显微镜中常用的电子源有热阴极和场发射阴极。
热阴极通过加热材料使其发射电子，而场发射阴极则通过电场加速电子的发射。
电子源的选择直接影响着电子束的性质和质量。
3. 电子透镜和屏幕：电子透镜用于聚焦电子束，常见的电子透镜包括磁透镜和电场透镜。
磁透镜利用磁场对电子进行聚焦，而电场透镜则是利用电场产生的变化来实现聚焦作用。
而电子显微镜的屏幕则用于接收电子束，将电子束转化为可见的图像。
4. 电子束的探测：电子束在样品表面或内部与物质相互作用时，会发生散射和透射。
根据不同的模式，可以利用探测器来获取图像信息。
例如，通过测量透射电子的强度和方向可以获得样品的内部结构，而测量散射电子的能量和角度则可以获得表面形貌和成分信息。
二、电子显微镜的应用1. 材料科学和纳米技术：电子显微镜可以对材料的晶体结构、表面形貌和元素分布进行高分辨观察和分析。
这对于研究材料的性能和开发新型材料具有重要的意义。
在纳米技术领域，电子显微镜可以直接观察到纳米结构和纳米颗粒的形貌和构造，有助于研究纳米材料的力学、光学和电学性质。
2. 生命科学和医学：电子显微镜在生命科学和医学领域有着广泛的应用。
通过电子显微镜，可以观察和研究生物分子、细胞、组织和器官的超微结构。
例如，在细胞生物学中，电子显微镜可以对细胞器官的形态和功能进行直接观察，帮助科学家更全面地了解生命的本质和机制。
透射电镜用途及应用范围
透射电镜用途及应用范围透射电镜（Transmission Electron Microscope，TEM）是一种非常重要的高分辨率显微镜，利用电子束通过样品并在光学系统下进行放大，可以实现对物质的高分辨率成像与分析。
透射电镜在材料科学、生物学、医学、纳米技术等领域有着广泛且重要的应用。
首先，透射电镜在材料科学领域有着广泛的应用。
它可以对材料的微观结构进行观察和分析，例如：晶体结构、晶粒大小和形貌，材料的相变、晶界、缺陷等。
同时，透射电镜可以通过选区电子衍射（Selected Area Electron Diffraction，SAED）技术来确定材料的晶体结构以及取向关系，提供有关晶体结构的重要信息。
此外，透射电镜还可以用于研究材料的化学成分和分布情况，通过能量色散X射线谱仪（EDX）可以提供元素成分的定量和定性分析。
其次，在生物学和医学领域，透射电镜被广泛应用于细胞和组织的观察。
透射电镜可以对细胞和器官的超微结构进行高分辨率成像，例如：细胞器、细胞膜结构和核酸蛋白质复合物等。
透射电镜能够提供有关细胞内部组织、结构和功能的详细信息，对于研究传染病病毒等微生物，以及细胞分裂、细胞凋亡等生物学现象有着重要的作用。
同时，透射电镜还在医学领域中广泛应用于病理学、药物输送系统和生物材料等研究。
此外，透射电镜在纳米技术领域也具有重要的应用价值。
纳米材料具有特殊的物理、化学、生物学性质，透射电镜可以提供对纳米材料进行形貌、结构以及活性等方面的表征。
透射电镜可以帮助研究人员观察纳米颗粒、纳米管、纳米结构的形貌、尺寸和位置，并对其成分和晶体结构进行分析。
同时，透射电镜还可以通过选区电子衍射技术来研究纳米材料的晶体结构以及纳米材料之间的界面和相互作用等。
除了上述领域，透射电镜还有许多其他的应用范围。
例如，透射电镜在能源领域可以用于观察电池、催化剂、材料的能量转换机制等；在环境科学中可以用于观察空气污染物、水中微生物等；在电子器件研究中，透射电镜可以被用来探究半导体和磁性材料的电子结构和性能。
tem的基本原理及应用
tem的基本原理及应用1. tem的基本原理Transmission Electron Microscope（透射电子显微镜，简称tem）是一种高分辨率的显微镜，它使用电子束而不是光束来形成样品的图像。
tem基于透射电子成像原理，可以观察到细微的材料结构和成分。
tem的基本原理如下： - 电子源：tem使用电子束而不是光束来形成图像。
电子源通常是钨丝发射管或场发射枪，通过升压电源和加热装置产生高能电子。
- 准直系统：通过准直集光系统可以调整电子束的直径和形状，以便得到所需的分辨率。
- 对样品的透射：样品位于电子束的路径上，并允许电子通过样品进行透射。
样品通常需要非常薄，通常在纳米尺度以下。
- 透射电子成像：透射电子成像是tem的核心原理，通过搜集透射电子的信号并进行衍射和聚焦，形成样品的高分辨率图像。
2. tem的应用tem广泛应用于材料科学、生物科学和纳米科学等领域，可以揭示材料的微观结构和成分，为科学研究提供重要的信息。
以下是tem的几个主要应用领域：2.1 材料科学•晶体学研究：tem可以观察晶体的晶格结构、缺陷和相界，帮助理解材料的结晶行为和性能。
•纳米材料研究：tem可以观察纳米材料的形貌、尺寸以及纳米颗粒的分布，有助于研究纳米材料的合成和特性。
•薄膜分析：tem可以通过观察薄膜的微观结构和成分，评估薄膜的质量和性能。
2.2 生物科学•细胞结构研究：tem可以观察细胞的超微结构、细胞器和细胞内分子结构，帮助了解细胞的功能和疾病机理。
•生物大分子研究：tem可以通过观察蛋白质和核酸等生物大分子的结构，揭示生物分子的功能和相互作用。
2.3 纳米科学•纳米结构研究：tem可以观察纳米材料的结构和形貌，揭示纳米尺度下的物理和化学性质。
•纳米器件研究：tem可以观察纳米器件的结构和性能，为纳米电子学和纳米器件的设计提供指导。
结论tem作为一种高分辨率的显微镜，具有广泛的应用价值。
它可以揭示材料的微观结构和成分，为科学研究提供重要的信息。
材料分析测试方法第十一节透射电子显微镜
观察和控制纳米级别的 结构和现象。
3 生物学
研究生物样本的超微结 构和功能。
透射电子显微镜与其他显微镜 的比较
与光学显微镜相比，透射电子显微镜具有更高的分辨率和放大倍数。与扫描 电子显微镜相比，透射电子显微镜可以提供关于材料内部结构和成分的更详 细信息。
透射电子显微镜的未来发展方向
透射电子显微镜技术正在不断发展，未来可能出现更高分辨率、更高灵敏度和更强大的分析功能。这将 为材料科学、纳米技术和生物学等领域带来更广阔的应用前景。
材料分析测试方法第十一 节透射电子显微镜
透射电子显微镜（TEM）是一种先进的显微镜技术，它能够以高分辨率和高 放大倍数观察材料的微观结构。本节将介绍透射电子显微镜的原理、组成部 分、操作步骤，以及其在材料分析中的应用领域。
什么是透射电子显微镜 (TEM)?
透射电子显微镜是一种能够通过材料样本透射电子束，观察和分析材料的微观结构地理解材料的内部结构。
透射电子显微镜的原理
透射电子显微镜基于电子的波动性质，利用电子束穿过材料样本后的透射情况来形成图像。它使用电子 透镜组件对电子进行聚焦和控制，使其能够穿透样本并形成高分辨率的图像。
透射电子显微镜的组成部分
电子源
产生高能电子束的来源。
样本台
支持和定位材料样本的平台。
透镜系统
控制和聚焦电子束的组件。
探测器
检测和记录透射电子的设备。
透射电子显微镜的操作步骤
1
样本准备
将材料样本制备成适合在透射电子显
聚焦调整
2
微镜中观察的薄片。
调整透射电子显微镜的透镜系统以获
得清晰的图像。
3
图像采集
使用透射电子显微镜进行图像采集和 记录。
透射电子显微镜在纳米材料合成中的应用
透射电子显微镜在纳米材料合成中的应用一、透射电子显微镜技术概述透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）是一种利用电子束作为照明源，通过样品的透射电子成像的高分辨率显微镜。
它在纳米材料的合成与研究中扮演着至关重要的角色。
透射电子显微镜通过电子束的高穿透力，能够观察到纳米尺度的材料结构，从而为纳米材料的合成提供了强有力的技术支持。
1.1 透射电子显微镜的基本原理透射电子显微镜的基本原理是利用电子束照射样品，电子束通过样品后，部分电子被样品吸收，部分电子透过样品并被探测器接收。
通过分析透过电子的强度和分布，可以获得样品的形貌和结构信息。
透射电子显微镜的分辨率可以达到原子级别，是研究纳米材料的理想工具。
1.2 透射电子显微镜的应用领域透射电子显微镜的应用领域非常广泛，包括但不限于材料科学、纳米技术、生物医学、化学等领域。
在纳米材料的合成中，透射电子显微镜不仅可以观察材料的形貌，还可以分析材料的晶体结构、缺陷、界面等微观特征。
二、透射电子显微镜在纳米材料合成中的应用2.1 纳米材料的形貌观察透射电子显微镜在纳米材料的形貌观察中发挥着重要作用。
通过TEM，可以直观地观察到纳米材料的形状、尺寸和分布。
例如，纳米颗粒、纳米线、纳米管等不同形态的纳米材料都可以通过TEM进行观察。
这种观察对于理解材料的合成机制和优化合成条件具有重要意义。
2.2 纳米材料的晶体结构分析纳米材料的晶体结构对其性能有着决定性的影响。
透射电子显微镜可以通过高分辨电子衍射（High-Resolution Electron Diffraction, HRED）技术，对纳米材料的晶体结构进行精确分析。
通过分析电子衍射图谱，可以获得材料的晶格参数、晶体取向等信息，从而为材料的合成和应用提供理论基础。
2.3 纳米材料的缺陷与界面研究纳米材料的缺陷和界面是影响其性能的关键因素。
透射电子显微镜可以通过高角环形暗场成像（High-Angle Annular Dark Field Imaging, HAADF）技术，对纳米材料的缺陷和界面进行高分辨率成像。
透射电镜衍射斑点分析
透射电镜衍射斑点分析简介透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种通过电子束与样品相互作用，利用透射方式观察样品内部结构的高分辨率显微镜。
TEM的一个重要应用就是利用电子的衍射现象来研究样品的晶体结构。
在TEM中，电子束通过样品时会与样品中的原子相互作用，形成衍射斑点（diffraction spots）。
衍射斑点的分析可以提供许多有关样品结构的信息，包括晶格常数、晶体对称性、晶体缺陷等。
在本文中，我们将介绍透射电子显微镜衍射斑点的分析方法，包括数据采集、图像处理和衍射斑点解析。
数据采集在TEM中进行衍射斑点分析之前，首先需要采集衍射图像。
具体的数据采集方法可以根据样品和仪器的特性进行调整，但通常的步骤如下：1.确保样品准备充分，如将样品制成薄片，使电子束能够透过样品而不发生重叠散射。
2.调整TEM仪器的参数，如对准电子束、选择合适的放大倍数和调整聚焦等。
3.选择合适的衍射模式，如选区电子衍射（Selected Area ElectronDiffraction，SAED）模式或更广的场发射电子衍射（Convergent BeamElectron Diffraction，CBED）模式。
4.通过调整TEM的光学系统，将衍射斑点聚焦到相机上，并进行曝光，采集图像数据。
图像处理获得衍射图像后，接下来需要进行图像处理，以便更好地观察和分析衍射斑点。
图像处理的主要步骤包括：1.图像校正：根据TEM仪器的参数，进行图像校正，消除畸变和噪声。
2.区域选择：根据需要分析的衍射斑点和背景，选择感兴趣的区域，并进行裁剪和缩放。
3.对比度增强：通过调整图像的亮度和对比度，增强衍射斑点的清晰度。
4.噪声去除：使用滤波算法去除图像中的噪声，以便更好地观察衍射斑点。
图像处理的目的是提取出清晰、准确的衍射斑点图像，为后续的分析提供更好的数据基础。
衍射斑点解析通过合适的图像处理，可以得到清晰的衍射斑点图像。
透射电子显微镜在材料科学中的应用
透射电子显微镜在材料科学中的应用材料科学是研究材料的性质、结构和制备方法的学科。
其中，电子显微镜在材料科学领域中有着至关重要的作用。
其原理是通过将电子束聚焦后照射在样品表面，通过对电子的散射和透射来观察样品的内部结构和表面形貌。
其中透射电子显微镜（TEM）在材料科学领域中的应用更是十分广泛。
透射电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，它可以显微观察材料的内部结构和微观形貌。
其分辨率可达到0.1纳米以下，甚至可以观察到原子级别的结构和构型。
因此，透射电子显微镜被广泛应用于材料科学中对新材料的研究、性能改进和制备方法的研究等方面。
首先，透射电子显微镜可以用于材料的微观结构研究。
通过透射电子显微镜，我们可以观察到材料的晶体结构、氧化物的形态及其分布、合金结构、纳米材料的形态等等。
材料的晶体结构是材料科学中的一个重要参数，在新材料的研究中也是一个不可缺少的参数。
通过透射电子显微镜，可以观察到材料的晶体面、晶粒大小、晶格缺陷等参数，从而了解材料的晶体结构，有助于材料的性质改进和新材料的制备。
其次，透射电子显微镜可以用于材料的性能研究。
例如，透射电子显微镜可以用于研究各种材料的疲劳性能、塑性变形特性、应力分布等。
通过对这些性能的研究，可以了解材料的机械性能、热性能、电性能等方面的特点，为材料的性能改进提供依据。
第三，透射电子显微镜可以用于纳米材料的研究。
通过透射电子显微镜，可以观察到纳米材料的微观形态和动态过程。
例如，可以观察到纳米材料的结晶状态和缺陷、微观结构、成核和生长机制等。
同时，也可以通过透射电子显微镜来探索纳米材料与其他材料的相互作用和反应机制，如纳米材料与生物大分子、其他材料的交互作用，从而为纳米材料的性能改进提供基础。
第四，透射电子显微镜可以用于研究新型材料的制备方法。
通过透射电子显微镜，可以观察材料的制备过程中样品的结构演变情况，从而了解制备方法对材料内部结构的影响。
例如，在合金制备中，可以通过透射电子显微镜了解不同材料的混合过程，分析制备后的合金材料结构和性能变化，从而为新型材料的制备提供参考和方法。
如何正确使用透射电子显微镜进行材料分析
如何正确使用透射电子显微镜进行材料分析透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy，简称TEM）是一种重要的材料分析工具。
它利用电子束穿透样品并通过一系列的光学元件对电子束进行成像，可以提供高分辨率、高对比度的样品表面和内部结构信息。
本文将介绍如何正确使用透射电子显微镜进行材料分析，并探讨其应用领域和局限性。
一、仪器准备使用透射电子显微镜前，首先需要进行仪器准备。
这包括仪器的日常保养和维护，例如定期清洁透射电子显微镜的外壳、检查并更换透射电镜的透明薄膜等。
同时，要确保透射电子显微镜主要部件，如电子源、透射电镜、成像系统等的性能良好，以保证实验结果的可靠性。
二、样品制备样品的制备是透射电子显微镜分析的重要步骤。
首先，样品的大小和形状需要适应透射电镜的采集范围。
通常情况下，样品应该具有足够的薄度，以保证电子束的穿透性，并避免多重散射的干扰。
常用的样品制备方法有机械切片、电子薄片法等。
特殊情况下，还可以采用聚焦离子束（Focused Ion Beam，简称FIB）技术来制备样品。
三、样品加载和调节将制备好的样品加载到透射电子显微镜的样品台上，并进行精确定位和调节。
在这个过程中，需要注意避免样品表面的污染和损伤，同时也要确保样品在电子束下的稳定性。
为了获得最佳的成像效果，还需要调节透射电镜的一系列参数，如加速电压、透射度、对比度等。
四、成像和分析调节好仪器后，可以开始进行成像和分析。
通过透射电子显微镜，可以观察到样品的表面形貌、晶体结构、晶体取向等信息。
在成像过程中，可以选择不同的成像模式，如亮场成像、暗场成像、选区电子衍射成像等，以获得更为详细和全面的样品信息。
此外，在透射电子显微镜中还可以进行能谱分析、衍射图案的解析和离子束腐蚀等进一步分析。
五、应用领域和局限性透射电子显微镜广泛应用于材料科学、纳米科学、生物学等领域。
它在材料表面和内部结构的研究中发挥着重要作用，可以帮助科研人员了解材料的晶体结构、相界面、缺陷和纳米尺度的结构性质等。
透射电子显微镜成像技术的操作方法与技巧
透射电子显微镜成像技术的操作方法与技巧透射电子显微镜是一种强大的科学工具，它能够通过电子束的透射来观察物质的微观结构。
在现代科技领域，透射电子显微镜已经成为不可或缺的分析仪器。
在掌握透射电子显微镜成像技术的操作方法和技巧之前，我们首先要了解透射电子显微镜的基本原理。
透射电子显微镜的基本原理是利用电子束对样品进行扫描，通过电子束透射的方式观察样品的内部结构。
首先，我们需要将待观察的样品制备成足够薄的切片，以确保电子束的透射性能。
接下来，将样品放置在透射电子显微镜的样品台上，并调整好加速电压和透射电子显微镜的工作模式。
在操作透射电子显微镜时，我们需要注意一些细节和技巧，以获得清晰准确的图像。
首先，对样品进行金属涂覆是非常重要的，它可以增加电子束与样品的相互作用，提高图像的对比度和分辨率。
其次，在操作透射电子显微镜时，要小心避免空气中的灰尘等杂质进入透射电子显微镜系统。
这些杂质可能会影响电子束的透射，进而影响图像的质量。
在操作过程中，我们还需要控制透射电子显微镜的聚焦和放大倍数。
透射电子显微镜具有可调焦距的电磁透镜系统，可以根据需要进行调整。
聚焦是保证图像清晰度的重要因素，我们可以通过调整目镜和物镜的位置来实现。
此外，放大倍数的选择也会影响图像的观察效果。
适当的放大倍数可以帮助我们更好地观察样品的细节。
除了以上的基本操作方法和技巧外，我们还可以利用透射电子显微镜的特点进行一些进一步的分析。
例如，在透射电子显微镜中，我们可以利用电子的散射来获取样品的晶体结构信息。
通过调整检测器和分析仪器的设置，我们可以获得衍射图样或者能量散射谱，从而确定样品的晶体结构和化学成分。
在实际应用中，透射电子显微镜广泛应用于材料科学、生物学、医学等领域。
例如，在材料科学中，透射电子显微镜可以用于观察材料的纳米结构、缺陷和晶体学细节。
在生物学中，透射电子显微镜可以用于观察细胞和组织的超微结构，揭示生物体内部的奥秘。
总之，透射电子显微镜成像技术是一门复杂而又强大的科学技术。
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本节授课内容 1 透射电镜样品制备 2 透射电子显微像 3 选区电子衍射分析
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ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
1. 透射电子显微镜样品制备
TEM应用的深度和广度一定程度上取决于试样 制备技术。
能否充分发挥电镜的作用，样品的制备是关键， 必须根据不同仪器的要求和试样的特征选择适 当的制备方法。
电子束穿透固体样品的能力，主要取决于电压 V和样品物质的原子序数Z。一般V越高， Z越 低，电子束可以穿透的样品厚度越大。
❖ 是晶体样品衬度的主要来源。 ❖ 样品中各部分满足衍射条件的程度不同引起。衍射
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c.双喷电解减薄法
1.此法是通过电解液对金属样品的腐蚀，达到 减薄目的 。 2.减薄步骤： a.用化学减薄机或机械研磨，制成薄片， 并冲 成3mm直径的圆片，抛光； b.将样品放入减薄仪，接通电源； c.样品穿孔后，光导控制系统会自动切断电源， 并发出警报。此时应关闭电源，马上冲洗样品， 减小腐蚀和污染。
衬度提高，亮度降低。 ❖支持膜法和萃取复型，质厚衬度图像较直观。
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2.1 质厚衬度
I0
I0
试样
A
B
电磁透镜
物镜光阑
IB
IA
B'(IB)
A'(IA)
物镜光阑对质厚衬度的作用
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2.2 衍射衬度
❖ 衍射衬度：衍射衬度主要是由于晶体试样满足布拉 格衍射条件的程度差异以及结构振幅不同而形成电 子图象反差。它仅属于晶体结构物质，对于非晶体 试样是不存在的。
相位衬度 ：仅适于很薄的晶体试样(≈100Å)
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2.1 质厚衬度
❖ 质厚衬度（又称吸收衬度）：由于试样的质量和厚 度不同，各部分与入射电子发生相互作用，产生的 吸收与散射程度不同，而使得透射电子束的强度分 布不同，形成反差，称为质厚衬度。
❖ 是非晶体样品衬度的主要来源，它所反映的，更多 是物体表面特性和形貌特征。
制样步骤：
a.将样品捣碎； b.将粉末投入液体，用超声波振动成悬浮液，液体 可以是水，甘油，酒精等，根据试样粉末性质而定； c.观察时，将悬浮液滴于附有支持膜的铜网上，待 液体挥发后即可观察。
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b.化学减薄法
1.利用化学溶液对物质的溶解作用达到减薄样品的目的。 2.采用硝酸，盐酸，氢氟酸等强酸作为化学减薄液，减薄
透射电子显微镜
--应用分析
河南理工大学 陈泽华
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上节内容回顾
1. 结构原理
电子光学系统；真空系统 ；操作控制系统
2.为何采用电子束而不用自然光？
✓显微镜的分辨率；自然光与电子束的波长 ✓有效放大倍数
由显微镜的分辨率与光源的波长决定了透射电子显微 镜的放大倍率远大于普通光学显微镜；一般来说，光 学显微镜的最大放大倍率在2000倍左右，而透射电 子显微镜的放大倍率可达百万倍。
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c.双喷电解减薄法
双喷电解减薄法
缺点： 只适用于金属导体，对于不导电的样品无 能为力。
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d.离子减薄法
1.用高能量的氩离子流轰击样品，使其表面原子 不断剥离，达到减薄的目的。
2.主要用于非金属块状样品，如陶瓷，矿物材料 等。
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d.离子减薄法制样步骤
理，防止电荷积累。
优点：易于控制，可以提供大面积的薄区。 缺点：速度慢，减薄一个样品需十几个小时到 几十个小时。
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e. 复型法
a.对物体表面特征进行复制的一种制样方法。 b.目的在于将物体表面的凹凸起伏转换为复型材
料的厚度差异，然后在电镜下观察，设法使这种 差异转换为透射电子显微像的衬度高低。 c.表面显微组织浮雕的复型膜，只能进行形貌观 察和研究，不能研究试样的成分分布和内部结构。 d.同一试块，方法不同，得到复型像和像的强度 分布差别很大，应根据选用的方法正确解释图像。
a.粉末法 b.化学减薄法 c.双喷电解减薄法 d.离子减薄法 e.复型法
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a. 粉末法
1.主要用于原始状态成粉末状的样品，如炭黑，黏土及 溶液中沉淀的微细颗粒，其粒径一般在1μm以下。
2.制样过程中基本不破坏样品，除对样品结构进行观察 外，还可对其形状，聚集状态及粒度分布进行研究。
a. 将样品手工或机械打磨到30~50μm。 b. 用环氧树脂将铜网粘在样品上，用镊子将大
于铜网四周的样品切掉。 c. 将样品放减薄器中减薄，减薄时工作电压为
5kV，电流为0.1mA，样品倾角为15° d. 样品穿孔后，孔洞周围的厚度可满足电镜对
样品的观察需要。 e. 非金属导电性差，观察前对样品进行喷碳处
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1.1制样要求：
a.对于TEM常用的50～200kV电子束，样品厚度控 制在100～200nm，样品经铜网承载，装入样品台， 放入样品室进行观察。 b.制样过程要防止污染和改变样品的性质， 如机械损 伤或热损伤等； c.根据观察的目的和样品的性质，确定制样方法。
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1.2 制样方法
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2. 透射电子显微像
❖ 透射电子显微镜成像实际上是透射电子束强度分 布的记录，由于电子与物质相互作用，透射强度 会不均匀分布，这种现象称为衬度，所得的像称 为衬度像。
❖ 透射电镜的衬度来源于样品对入射电子束的散射。 可分为：
振幅衬度
质厚衬度 ：非晶样品衬度的主要来源 衍射衬度 ：晶体样品衬度的主要来源
❖ 是样品不同微区存在原子序数和厚度的差异形成的。 ❖ 来源于电子的非相干散射，Z越高，产生散射的比
例越大；d增加，将发生更多的散射。
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2.1 质厚衬度
❖质厚衬度受物镜光阑孔径和加速V的影响。 ❖选择大孔径（较多散射电子参与成像），图
像亮度增加，散射与非散射区域间衬度降低。 ❖选择低电压（较多电子散射到光阑孔径外），
速度相当快。
制样步骤： a.将样品切片，边缘涂以耐酸漆，防止边缘因溶解 较快而使薄片面积变小； b.薄片洗涤，去除油污，洗涤液可为酒精，丙酮等； c.将样品悬浮在化学减薄液中减薄； d.检查样品厚度，旋转样品角度，进行多次减薄直 至达到理想厚度，清洗。
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b.化学减薄法
化学减薄法的缺点： 1.减薄液与样品反应，会发热甚至冒烟； 2.减薄速度难以控制； 3.不适于溶解度相差较大的混合物样品。