【CN109666969A】一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置及使用方法【专利】
单晶炉操作规范
单晶炉操作规范单晶炉是一种用于制备单晶材料的设备，其操作规范对于获得高质量的单晶材料至关重要。
本文将详细介绍单晶炉的操作规范，包括前期准备、炉体操作、后期处理等内容，以确保单晶的质量和纯度。
一、前期准备1.检查设备：在操作单晶炉之前，应仔细检查设备的各项部分是否正常工作。
尤其要检查加热元件、温度控制器、压力传感器等关键部件是否完好，并进行必要的维护和保养。
2.准备辅助设备：根据需要，准备所需的辅助设备，如真空泵、气体流量计、温度计等。
确保这些设备的正常运行和准确度。
3.准备原料：按照工艺要求，准备好所需的原料，并进行质检，确保原料的纯度和质量符合要求。
4.清洁操作区域：在操作单晶炉前，应确保操作区域的清洁，避免任何可能污染单晶材料的物质进入操作区域。
二、炉体操作1.开机预热：按照设备厂家提供的启动程序，正确启动单晶炉，并按照设定的预热曲线进行预热。
在预热过程中，应注意炉体温度的逐渐升高，避免温度升高过快导致设备损坏。
2.气氛调节：根据所需生长的单晶材料，调节和控制炉体内的气氛环境。
通常包括真空、氧气、氮气等，要确保气氛环境的准确控制和稳定性。
3.温度控制：根据所需生长的单晶材料，设置炉体的温度。
在温度升高过程中，要严格按照曲线进行控制，并避免温度波动过大。
4.压力控制：在单晶生长过程中，需要对炉体内的压力进行控制。
根据工艺要求，设置压力传感器，并定期检查和校准。
5.观察和记录：在单晶生长过程中，要定期观察和记录炉体内的温度、压力、气氛等参数。
及时发现问题并进行纠正。
三、后期处理1.单晶取出：在单晶生长结束后，确保炉体温度降至安全范围后，进行单晶的取出。
注意防止单晶受到外界污染和损坏。
2.单晶清洗：取出的单晶应进行适当的清洗，以去除表面的杂质和污染物。
清洗方法应根据单晶材料的特性和用途进行选择，并遵守相应的操作规程。
3.单晶检验：对清洗后的单晶进行检验，包括外观、尺寸、纯度等方面的检查。
确保单晶的质量符合要求。
一种单晶炉用的对中调节装置[实用新型专利]
![一种单晶炉用的对中调节装置[实用新型专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/fe315ce6b8f3f90f76c66137ee06eff9aef84935.png)
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201821628048.7(22)申请日 2018.10.08(73)专利权人 北京北方华创真空技术有限公司地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼北门4层(72)发明人 王维 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002代理人 魏雪梅 麻雪梅(51)Int.Cl.C30B 29/06(2006.01)C30B 15/02(2006.01)(54)实用新型名称一种单晶炉用的对中调节装置(57)摘要本实用新型涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用的对中调节装置，包括底板；调平座板设置在底板的上方并与底板纵向相对设置并且间隔开，在调平座板的外边沿构造有纵向调节孔；焊接波纹管；座板支撑设置在底板和调平座板之间并位于焊接波纹管的外侧，调平座板的外边沿搭接在座板支撑的上端面，在座板支撑的上端面的外侧边沿构造有止挡部，在止挡部的内部构造有开口朝向调平座板的外侧面的横向通孔；平面调节部件设置在横向通孔内并能调节调平座板在水平面内的前、后、左以及右方向上的运动；以及纵向调节部件设置在纵向调节孔内并能调节调平座板的纵向位置。
该对中调节装置具有使得提拉头、软轴以及坩埚轴的对中性好和单晶的产率高的优点。
权利要求书1页 说明书5页 附图1页CN 209114036 U 2019.07.16C N 209114036U1.一种单晶炉用的对中调节装置，其特征在于，包括：底板；调平座板，设置在所述底板的上方并与所述底板纵向相对设置并且间隔开，在所述调平座板的外边沿构造有纵向调节孔；焊接波纹管，设置在所述底板和所述调平座板之间；座板支撑，设置在所述底板和所述调平座板之间并位于所述焊接波纹管的外侧，所述调平座板的外边沿搭接在所述座板支撑的上端面，在所述座板支撑的上端面的外侧边沿构造有止挡部，在所述止挡部的内部构造有开口朝向所述调平座板的外侧面的横向通孔；平面调节部件，设置在所述横向通孔内并能调节所述调平座板在水平面内的前、后、左以及右方向上的运动；以及纵向调节部件，设置在所述纵向调节孔内并能调节所述调平座板的纵向位置。
一种单晶炉中导流筒的取放装置[实用新型专利]
![一种单晶炉中导流筒的取放装置[实用新型专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/b998ca07f8c75fbfc67db26b.png)
专利名称：一种单晶炉中导流筒的取放装置专利类型：实用新型专利
发明人：陆元军,余思明,程佑富
申请号：CN201220234330.3
申请日：20120523
公开号：CN202558961U
公开日：
20121128
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉中导流筒的取放装置，该装置包括手柄、平衡杆、两根连接杆和两个挂钩，挂钩与连接杆的一端相连，连接杆另一端与手柄相连，平衡杆设在两根连接杆之间。
采用本实用新型，可以在拉晶结束时直接将导流筒从单晶炉内取出，既方便，又快捷，能提高生产效率，防止发生安全事故。
申请人：浙江锦锋光伏科技有限公司
地址：324300 浙江省衢州市开化县生态工业园区园一路17号(锦锋)
国籍：CN
代理机构：杭州之江专利事务所(普通合伙)
代理人：林蜀
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一种单晶炉晶晃夹持装置[实用新型专利]
![一种单晶炉晶晃夹持装置[实用新型专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/b2b3130659fb770bf78a6529647d27284a73374e.png)
专利名称：一种单晶炉晶晃夹持装置
专利类型：实用新型专利
发明人：叶钢飞,倪军夫,俞安洲,石明智,王小飞,傅林坚,曹建伟
申请号：CN202122768573.7
申请日：20220418
公开号：CN216663299U
公开日：
20220603
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本申请涉及单晶炉设备领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃夹持装置，包括座体；夹持机构，夹持机构位于座体上，并作用于钢丝绳，夹持机构包括：第一杆，第一杆滑移连接于座体；夹持组件，夹持组件用于夹持钢丝绳，夹持组件设置于第一杆远离座体的一端；第二杆，第二杆滑移连接于第一杆，且第二杆与第一杆平行设置，第二杆作用于夹持组件，用于触发夹持组件的张开或闭合。
夹持组件被第二杆触发闭合，将拉晶的钢丝绳夹持住，一方面，减小钢丝绳在旋转过程中的晃动，从而减小晶体晃动，减小晶体由于晃动而坠落的可能。
申请人：浙江晶盛机电股份有限公司
地址：312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
国籍：CN
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910156662.0
(22)申请日 2019.03.01
(71)申请人 洛阳德晶智能科技有限公司
地址 471000 河南省洛阳市中国（河南）自
由贸易试验区洛阳片区高新技术产业
开发区滨河北路99号
(72)发明人 田增国 李宇翔 李仕豪 陈浩
张军强
(74)专利代理机构 洛阳公信知识产权事务所
(普通合伙) 41120
代理人 薛布赫
(51)Int.Cl.
C30B 15/30(2006.01)
C30B 29/06(2006.01)
(54)发明名称一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置及使用方法(57)摘要为解决现有技术中人工操作易掉棒的问题，本发明提供一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置及使用方法，包括壳体、设置在壳体内的控制组件、设置在壳体上的方向确定组件、位置确定组件以及抓取定位组件；方向确定组件包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器；位置确定组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器和右侧测距器；抓取定位组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器和右定位器；左侧测距器和右侧测距器之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体面向炉门的一侧。
本发明可靠性高，使用后，大大提升了可靠性，
减少了企业的生产成本。
权利要求书1页 说明书5页 附图7页CN 109666969 A 2019.04.23
C N 109666969
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109666969 A
1.一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置，包括与用于取晶棒（6）的夹爪可拆卸连接的壳体（1）、设置在壳体（1）内的控制组件（2）、设置在壳体（1）上的方向确定组件（3）、位置确定组件（4）以及抓取定位组件（5）；其特征在于：
方向确定组件（3）包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器；位置确定组件（4）包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器（401）和右侧测距器（402）；抓取定位组件（5）包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器（501）和右定位器（502）；
其中，左侧测距器（401）和右侧测距器（402）之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体（1）面向炉门的一侧；
其中，左定位器（501）和右定位器（502）之间的距离等于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体（1）面向炉门的一侧；
其中，左侧测距器（401）和右侧测距器（402）和右定位器（502）均与控制组件（2）电连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置，其特征在于：还包括显示器（7）；控制组件（2）与显示器（7）电连接，用于显示辅助操作工人操作的指示信号。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉夹取晶棒（6）时的对中装置，其特征在于：还包括通信模块；控制组件（2）与通信模块电连接，用于将位置确定组件（4）、抓取定位组件（5）的信号无线传输至远端上位机。
4.一种如权利要求1所述对中装置的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：
A. 夹爪（8）水平设置在移动载具上，并将壳体（1）设置在夹爪（8）上，并壳体（1）与夹爪（8）的竖直方向的中线重合；
B. 启动标线器，利用标线器投影到炉门上的标线，辅助人工调整移动载具，使夹爪（8）与炉门初步对齐；
C.在夹爪（8）与炉门初步对齐后，进入位置确定步骤：
具体的，控制组件（2）采集左侧测距器（401）和右侧测距器（402）的距离信号，辅助人工调整移动载具，使壳体（1）面向炉门的平面与炉门面平行，从而使夹爪（8）正对炉门平面；
D.在位置确定步骤完成后，进入抓取定位步骤：
具体的，控制组件（2）采集左定位器（501）和右定位器（502）的距离信号，辅助人工调整移动载具，使壳体（1）正对炉门，从而使夹爪（8）正对炉门；
其中，抓取定位步骤中的壳体（1）与炉门对中的判断方法是：当夹爪（8）对准炉门中心时，左定位器（501）测得数值D1为左定位器（501）到左侧炉门的距离，右定位器（502）测得数值D2为右定位器（502）到炉门内部某区域的距离，此时|D1-D2|≤θ，θ=0.1mm；
E.在夹爪（8）正对炉门后，进入对中抓取过程：
具体的，控制组件（2）判断左侧测距器（401）和右侧测距器（402）数值，若其等于夹爪（8）的中心到壳体（1）的距离L1与晶棒中心到炉门的距离L2的差值，夹爪（8）中心与晶棒（6）中心重合，在显示器（7）显示“OK”，指示对中完成。
2。