特气控制系统.

1.电气控制
STATUS LED’S RED,YELLOY,GREEN LOCAL SD SWITCH 电磁阀
SENSORS
2. COMPUTER
koyo
philips
3.盘面(一)
双盘面
单盘面示意图
(二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD
5.气柜操作流程图
SCREEN AUTO PURGE (PREPURGE) MENU SCREEN PROCESS (INSTALL ESV)
NO CONFIRM LOAD CELL (NEW or OLD
NO
FINISH
INPUT PASSWORD CHANGE NEW CYLINDER THEN PRESS ACK.. BUTTON
特气系统控制
2005年9月20日
■特气系统控制
特气系统控制
易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ ASH3/PH3
LAM
AMEM VMB/VMP 设备 TCPM AMS101
气柜
有毒：CL2/HBR/NH3/ NF3/SIH2CL2/BCL3
无毒：AR/HE/CF4/N2O/ C2F6/SF6/O2-HE
MRC
CVD APWJ
易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ ASH3/PH3
PLC
GAS CYLINDER
盘面
DFUR EPSL IMP
电磁阀
气动阀
有毒：CL2/HBR/NH3/ NF3/SIH2CL2/BCL3
无毒：AR/HE/CF4/N2O/ C2F6/SF6/O2-HE
SENSORS
■气柜 组成: 1.电控 2.COMPUTER 3.GAS PANEL
二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：
1 选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。 2 关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。 3 确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。 4 进行低压释放。 5 进行预吹扫，完成设置的循环次数。 6 钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。 7 更换钢瓶，结束后按“下一步”。 8 进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认”。 9 进行后吹扫，完成循环次数。 10 钢瓶检测结束，按“close”。 11 如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。 12 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。 13 选择供气或备用。 14 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。
SELECT PROCESS or STANDBY PROCESS STANDBY
YSE OPEN CYLINDER
OPERATION SCREEN
Байду номын сангаас
POST PURGE
SELECT GO TO A or B PANEL
LOW DELIVERY PRESSURE&HIGH DELIVERY PRESSURE
三.手动气柜更换钢瓶操作步骤：
要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSI。 1 关闭钢瓶手动阀。 2 打开低压放空的左抽空开关（V3L、V4L、V7L），使之管道内气体完全放空， 然后关闭此阀，同时关闭Regulator。 3 更换钢瓶前的Pre-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关 闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关 闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。 4 执行更换钢瓶的过程。 5 更换钢瓶后的Pigtail Fitting检漏：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭， 进行Pigtail Fitting的check leak。检漏通过后进行Pigtail后吹扫。 6 更换钢瓶后的Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关 闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关 闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。 7 关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regulator的压力使之满足 工艺设备的供气压力。 如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。 8 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。 9 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 10 按“供气开关”或“备用开关”。
4.更换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）
一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤:
如果是液态类气体需要输入“净重”确认。 1 接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。 2 输入password，按确认。 3 L盘面进入“In shutdown”按“commands”菜单。 4 选择“terminate purge”按“Yes”。 5 选择“select purge”按“Cylinder change”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过 程。 6 L-Cylinder shutoff test，执行process Gas removal置换。 7 更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。 8 Cylinder change更换钢瓶，按“ACK”确认。 9 Process Gas removal执行工艺气体置换。 10 Auto leak test自动检漏测试 11 Manual leak test手动检漏测试，按“ACK”确认。 12 Leak Repair泄漏维护，按“ACK”确认。 13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按“ACK”确认。 14更换钢瓶后Post-purge后吹扫，执行完循环次数。 15 Regulator调压阀 shutoff及测试。 16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。 17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 18按“service ready”进入钢瓶供气或备用。
PROCESS
STANDBY
FINISH
(DO YOU WANGT TO PROCESS OR STANDBY?
A PANEL Or B PANEL
YSE
6.钢瓶更换分解图示