外层干菲林讲解
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
度1mil
4
外层干菲林工程培训教材
干膜各层作用
聚酯保护膜：
1、保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴 膜到冲影前的保护。
2、防止氧气进入阻剂层，由于曝光 后聚合反应将继续进行, 氧气进入会与自 由基发生反应形成非活性的过氧化物， 阻止聚合反应的进行，使聚合过程停止
造成曝光聚合不足。
5
外层干菲林工程培训教材
14
外层干菲林工程培训教材
磨板段 磨板的控制
B：磨辘的安装
§磨辘的转动方向应与磨辘上方向一致。 §磨辘与铜辘的接触点应与其它运输保持在一条水平线上。 §安装磨辘人员应戴手套，避免油污污染磨板机。 §磨辘安装完成应作磨良测试，检查钢辘与磨辘是否水平。
15
外层干菲林工程培训教材
磨板段
磨板的控制：
C、磨痕测试
外层干菲林工程培训教材
制作人：张海安
13/04/07
1
外层干菲林工程培训教材
外层干菲林工程培训内容
一、干膜知识
二、干膜工序的作用
三、工序流程
四、磨板段
五、无尘房的控制
六、贴膜段
七、曝光段
八、菲林制作
九、LDI机介绍
十、显影段
十一、问题原因分析段
2
外层干菲林工程培训教材
干膜知识 ※ 1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业（非水溶性干膜， 溶剂型；显影用三氯乙烧，退膜用二氯甲 烷）。（缺点：需消
8
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
3、感光启动剂 感光启始剂吸收特定波长紫外光（一般320-
400MM），启动剂自行聚解而产生自由基，为聚合 反应提供条件。
4、促化剂与附着力促进剂 增进光阻层与铜面之间的附着力，防止粘结不牢
而引起的渗镀与甩膜。
9
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
5、染料
目的：A：干膜本身制造时，方便进行检查。 B：曝光前后有明显颜色变化，便于已 曝光的区分及目检。
磨痕测试结果可以直接反映磨板机工作情况，由此 可以分析到钢辘与磨辘是否平行，磨辘是否到使用寿 命，功率表数据是否有太大偏差，避免磨板过度或磨 板不良。
D、洗去磨辘上的铜粉，冷却湿润磨辘，防止尼龙丝过 热而熔化。
要求：喷淋角度在板与磨辘之间45°处。
16
外层干菲林工程培训教材
E、磨板后质量检查
※、目检板面是否有氧化、水迹、污物、板面清洁度。 ※、水膜测试
耗大量有机溶剂，污染大，成本高）
※ 1970年研制出一种半水溶性干膜，显影，退膜用水溶液 （添加2-15%有机溶剂，BCS），成本，污染有很大改善。
※ 1978年改进为全水溶性干膜，显影用Na2CO3/K 2CO3 ,退膜 用NaOH.,其成本更低,污染更小,品质更好.
3
外层干菲林工程培训教材
干膜结构 A:Part: 聚酯盖膜： 冲影时撕去.1mil Polyester Cover Sheet B:Part: 光阻膜层： Photo pdlymer Film Resist C: Part: 聚已烯隔膜：贴膜时撕去Polyettylenc Separator Sheet厚
面质量，延长磨辘的使用寿命。）
18
外层干菲林工程培训教材 无尘房的控制
无尘房需控制的条件
温度 湿度 压力 空气中尘粒含量 光线
19
外层干菲林工程培训教材
无尘房的控制
温度控制
1、温度过高，干膜容易融边，而且干膜溶剂挥发 影响贴膜效果。 2、菲林尺寸稳定性会受温度的影响。
温度对黄菲林影响： （10-20）*10-6/℃
7
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
1、粘 合剂 将干膜各组份粘结成膜，是光阻层的骨架，主要影
响膜层的物理性能，在光聚合过程中不参与化学反应， 但其决定光阻剂是属于溶性、半水溶性和溶剂性干膜， 粘结剂决定干膜的Tg点。 2、光聚合反应单体
聚合反应主体，单体吸收自由基后进行聚合反应形 成高分 子聚合体。
测试方法：取板面清洁处理后的板，用水浸湿板面并垂直放置， 用秒表测量水膜破裂的时间，一般在精磨时采用。
※、板面粗糙度：经磨板后的板面粗糙程度（2.0um左右)
17
外层干菲林工程培训教材
F、影响磨板质量的主要因素
1、磨辘型号用材料 2、磨轮转速（线速度相对稳定，大约12M/SEC，转速与磨辘
的直径有关，125MM直径转速一般在1800-2000MIN-1） 3、输送速度 4、功率或磨痕 5、磨辘、钢辘及运输轮的水平。 6、摇摆（3-10MM，摇摆可以减少板面粗糙度的方向性改善板
干膜各层作用
聚乙 烯隔膜 避免卷膜、运输、储存时，干膜药膜与保
护膜之间相互粘贴，（厚度25uM-30uM，测 本公司干膜隔膜27uM）。 光阻膜层（药膜层）
光聚反应的主体。
6
外层干菲林工程培训教材
干膜化学组成
1、粘合剂 2、光聚合反应单体 3、感光启动剂（光引发剂） 4、促化剂与附着力促进剂 5、染料 6、热阻聚剂 7、溶剂
22
贴膜段
外层干菲林工程培训教材
预热：让贴膜板有足够热量以辅助干膜之流动，而 更好的压贴在粗糙铜面上.
分类：A：感光增色：曝光后颜色加深。 B：感光褪色：曝光后颜色变浅。
10
外层干菲林工程培训教材
化学成分作用
6、热阻聚剂
干膜在生产及过程中很多步骤需接受高温， 为阻止热能使干膜发生聚合作用而加入热阻 聚剂
7、溶剂：
将各有效成份溶解，丙酮、洒精。
11
外层干菲林工程培训教材
干膜反应过程
启始剂吸收UV光的能量后，先自行分裂产 生自由基，自由引发生光聚反应，形成交 联聚合物，不溶于显影液，而未曝光的光 阻膜被显影液剥去，聚合成像部分，保留 在铜面上。
20
Hale Waihona Puke Baidu
外层干菲林工程培训教材
无尘房的控制
湿度控制
1、黄菲林尺寸稳定性受湿度的影响，湿度对黄菲 林影响：
(15-25)*10-6/RH% 2. 湿度: 50-60%
21
外层干菲林工程培训教材
无尘房的控制
光线控制
干膜，未覆制的黄菲林存放，以及半存放品需于 黄光下存放，贴膜曝光，显影黄菲林复制过程， 也要在黄光条件下进行。
12
外层干菲林工程培训教材
磨板段
磨板作用：
A：除去板面的氧化，油污，手指印，及其它污 物。 B：在板面上形成微观粗糙表面，增大干膜与板 面积，使干膜有更好的附着力。 C：提供烘干后的干燥板面。
13
外层干菲林工程培训教材
A：磨辘的选择：
◎.根据磨料粒度的大小区分 ◎.沉铜粗磨一般选择180-320#刷子 ◎.外层干菲林精磨一般选择320-600#刷子 ◎.磨辘主体是尼龙丝，磨料有：Sic、AI2O3
4
外层干菲林工程培训教材
干膜各层作用
聚酯保护膜：
1、保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴 膜到冲影前的保护。
2、防止氧气进入阻剂层，由于曝光 后聚合反应将继续进行, 氧气进入会与自 由基发生反应形成非活性的过氧化物， 阻止聚合反应的进行，使聚合过程停止
造成曝光聚合不足。
5
外层干菲林工程培训教材
14
外层干菲林工程培训教材
磨板段 磨板的控制
B：磨辘的安装
§磨辘的转动方向应与磨辘上方向一致。 §磨辘与铜辘的接触点应与其它运输保持在一条水平线上。 §安装磨辘人员应戴手套，避免油污污染磨板机。 §磨辘安装完成应作磨良测试，检查钢辘与磨辘是否水平。
15
外层干菲林工程培训教材
磨板段
磨板的控制：
C、磨痕测试
外层干菲林工程培训教材
制作人：张海安
13/04/07
1
外层干菲林工程培训教材
外层干菲林工程培训内容
一、干膜知识
二、干膜工序的作用
三、工序流程
四、磨板段
五、无尘房的控制
六、贴膜段
七、曝光段
八、菲林制作
九、LDI机介绍
十、显影段
十一、问题原因分析段
2
外层干菲林工程培训教材
干膜知识 ※ 1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业（非水溶性干膜， 溶剂型；显影用三氯乙烧，退膜用二氯甲 烷）。（缺点：需消
8
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
3、感光启动剂 感光启始剂吸收特定波长紫外光（一般320-
400MM），启动剂自行聚解而产生自由基，为聚合 反应提供条件。
4、促化剂与附着力促进剂 增进光阻层与铜面之间的附着力，防止粘结不牢
而引起的渗镀与甩膜。
9
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
5、染料
目的：A：干膜本身制造时，方便进行检查。 B：曝光前后有明显颜色变化，便于已 曝光的区分及目检。
磨痕测试结果可以直接反映磨板机工作情况，由此 可以分析到钢辘与磨辘是否平行，磨辘是否到使用寿 命，功率表数据是否有太大偏差，避免磨板过度或磨 板不良。
D、洗去磨辘上的铜粉，冷却湿润磨辘，防止尼龙丝过 热而熔化。
要求：喷淋角度在板与磨辘之间45°处。
16
外层干菲林工程培训教材
E、磨板后质量检查
※、目检板面是否有氧化、水迹、污物、板面清洁度。 ※、水膜测试
耗大量有机溶剂，污染大，成本高）
※ 1970年研制出一种半水溶性干膜，显影，退膜用水溶液 （添加2-15%有机溶剂，BCS），成本，污染有很大改善。
※ 1978年改进为全水溶性干膜，显影用Na2CO3/K 2CO3 ,退膜 用NaOH.,其成本更低,污染更小,品质更好.
3
外层干菲林工程培训教材
干膜结构 A:Part: 聚酯盖膜： 冲影时撕去.1mil Polyester Cover Sheet B:Part: 光阻膜层： Photo pdlymer Film Resist C: Part: 聚已烯隔膜：贴膜时撕去Polyettylenc Separator Sheet厚
面质量，延长磨辘的使用寿命。）
18
外层干菲林工程培训教材 无尘房的控制
无尘房需控制的条件
温度 湿度 压力 空气中尘粒含量 光线
19
外层干菲林工程培训教材
无尘房的控制
温度控制
1、温度过高，干膜容易融边，而且干膜溶剂挥发 影响贴膜效果。 2、菲林尺寸稳定性会受温度的影响。
温度对黄菲林影响： （10-20）*10-6/℃
7
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
1、粘 合剂 将干膜各组份粘结成膜，是光阻层的骨架，主要影
响膜层的物理性能，在光聚合过程中不参与化学反应， 但其决定光阻剂是属于溶性、半水溶性和溶剂性干膜， 粘结剂决定干膜的Tg点。 2、光聚合反应单体
聚合反应主体，单体吸收自由基后进行聚合反应形 成高分 子聚合体。
测试方法：取板面清洁处理后的板，用水浸湿板面并垂直放置， 用秒表测量水膜破裂的时间，一般在精磨时采用。
※、板面粗糙度：经磨板后的板面粗糙程度（2.0um左右)
17
外层干菲林工程培训教材
F、影响磨板质量的主要因素
1、磨辘型号用材料 2、磨轮转速（线速度相对稳定，大约12M/SEC，转速与磨辘
的直径有关，125MM直径转速一般在1800-2000MIN-1） 3、输送速度 4、功率或磨痕 5、磨辘、钢辘及运输轮的水平。 6、摇摆（3-10MM，摇摆可以减少板面粗糙度的方向性改善板
干膜各层作用
聚乙 烯隔膜 避免卷膜、运输、储存时，干膜药膜与保
护膜之间相互粘贴，（厚度25uM-30uM，测 本公司干膜隔膜27uM）。 光阻膜层（药膜层）
光聚反应的主体。
6
外层干菲林工程培训教材
干膜化学组成
1、粘合剂 2、光聚合反应单体 3、感光启动剂（光引发剂） 4、促化剂与附着力促进剂 5、染料 6、热阻聚剂 7、溶剂
22
贴膜段
外层干菲林工程培训教材
预热：让贴膜板有足够热量以辅助干膜之流动，而 更好的压贴在粗糙铜面上.
分类：A：感光增色：曝光后颜色加深。 B：感光褪色：曝光后颜色变浅。
10
外层干菲林工程培训教材
化学成分作用
6、热阻聚剂
干膜在生产及过程中很多步骤需接受高温， 为阻止热能使干膜发生聚合作用而加入热阻 聚剂
7、溶剂：
将各有效成份溶解，丙酮、洒精。
11
外层干菲林工程培训教材
干膜反应过程
启始剂吸收UV光的能量后，先自行分裂产 生自由基，自由引发生光聚反应，形成交 联聚合物，不溶于显影液，而未曝光的光 阻膜被显影液剥去，聚合成像部分，保留 在铜面上。
20
Hale Waihona Puke Baidu
外层干菲林工程培训教材
无尘房的控制
湿度控制
1、黄菲林尺寸稳定性受湿度的影响，湿度对黄菲 林影响：
(15-25)*10-6/RH% 2. 湿度: 50-60%
21
外层干菲林工程培训教材
无尘房的控制
光线控制
干膜，未覆制的黄菲林存放，以及半存放品需于 黄光下存放，贴膜曝光，显影黄菲林复制过程， 也要在黄光条件下进行。
12
外层干菲林工程培训教材
磨板段
磨板作用：
A：除去板面的氧化，油污，手指印，及其它污 物。 B：在板面上形成微观粗糙表面，增大干膜与板 面积，使干膜有更好的附着力。 C：提供烘干后的干燥板面。
13
外层干菲林工程培训教材
A：磨辘的选择：
◎.根据磨料粒度的大小区分 ◎.沉铜粗磨一般选择180-320#刷子 ◎.外层干菲林精磨一般选择320-600#刷子 ◎.磨辘主体是尼龙丝，磨料有：Sic、AI2O3