干式螺杆真空泵

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干式螺杆真空泵操作规程

干式螺杆真空泵操作规程一、前言干式螺杆真空泵是一种常用的真空泵，广泛应用于各个行业。

为了确保安全和有效地操作干式螺杆真空泵，特制定以下操作规程。

二、安全操作1. 操作人员应熟悉干式螺杆真空泵的结构和工作原理，并且具备相关的操作技能；2. 在操作过程中，必须穿戴好防护设备，如安全帽、护目镜、防护手套等；3. 在操作前，确保电源已经断开，并且设备已经冷却至室温；4. 严禁在设备运行时进行维修和清洁工作；5. 若发现设备异常或故障，应立即停机并通知相关人员进行检修。

三、操作流程1. 开启干式螺杆真空泵前，确保泵腔内无异物和沉淀物；2. 打开泵体上的进气阀，确保阀门处于完全开启的状态；3. 打开干式螺杆真空泵的电源，启动设备；4. 观察设备运行情况，确保各项指示灯正常亮起；5. 根据需要，调节进气阀和排气阀的开启程度，以控制泵的工作效率；6. 定期检查油封密封情况，确保无泄漏现象；7. 在操作过程中，如发现设备温度过高或异常噪音，应立即停机排除故障；8. 操作结束后，先关闭干式螺杆真空泵的电源，再关闭进气阀和排气阀；9. 清洁设备表面，并保持设备的干燥和通风环境。

四、维护保养1. 定期检查干式螺杆真空泵的润滑油，并根据使用情况及时更换；2. 清洁泵体和进气管道，防止灰尘和杂质进入设备；3. 检查电源线路和接线端子，确保连接牢固可靠；4. 定期检查进气阀和排气阀的密封情况，如有磨损或老化，及时更换；5. 注意设备的防护措施，避免灰尘和湿气对设备的影响；6. 定期清理设备内部的积尘和沉淀物，保持设备的清洁和良好的工作状态。

五、常见故障及处理方法1. 泵的运行温度过高：检查润滑油是否充足，若不足及时添加；清洁泵体内部，确保通风畅通；2. 泵的噪音异常：检查泵体是否有异物，清理设备内部；检查轴承是否损坏，若损坏及时更换；3. 泵的进气量减少：检查进气阀是否正常开启，是否有堵塞现象；检查进气管道是否有漏气现象，及时修复。

螺杆型干式真空泵标准

螺杆型干式真空泵标准螺杆型干式真空泵是一种广泛应用于工业、科研和其他领域的真空设备。

其标准主要涉及产品设计、制造、检测和使用等方面。

以下是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面：产品设计和制造标准基本参数和规格：确定螺杆型干式真空泵的基本设计参数，包括流量、真空度、功率等。

材料选用：规定泵的主要部件所使用的材料，确保其具备良好的腐蚀抗性和耐磨性。

结构设计：包括螺杆结构、密封结构、冷却系统等设计要求，确保产品的结构合理、性能稳定。

安全设计：规定安全设计要求，包括过热保护、过载保护等，以确保设备在使用中的安全性。

检测与试验标准性能测试：规定螺杆型干式真空泵的性能测试方法，包括流量测试、真空度测试、功率测试等。

可靠性测试：确定对螺杆型干式真空泵进行可靠性测试的方法，以保证其在长时间使用中的稳定性。

噪音测试：确定螺杆型干式真空泵的噪音测试方法，以满足环境噪音标准。

温度测试：规定螺杆型干式真空泵在不同工况下的温度测试要求，确保其在各种环境下的可靠性。

使用与维护标准安装要求：确定螺杆型干式真空泵的安装要求，包括安装位置、电源要求等。

操作手册：提供详细的螺杆型干式真空泵操作手册，包括启动、停机、维护等方面的操作指南。

维护周期：规定螺杆型干式真空泵的维护周期和方法，以延长设备的使用寿命。

故障排除：提供故障排除流程和方法，确保在出现问题时能够迅速解决。

环保和能效标准能效要求：规定螺杆型干式真空泵的能效标准，以确保产品在使用中的高效能。

环保要求：确定螺杆型干式真空泵在制造和使用过程中的环保要求，符合相关环保法规。

废弃处理：提供废弃螺杆型干式真空泵的处理方法和环保要求。

以上只是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面，具体标准可能会因国家或地区而异。

在实际应用中，建议参考相应的标准文件，以确保产品设计、制造、使用等方面都符合标准的要求。

干式真空螺杆泵 DP说明手册

DP系列螺杆式真空泵说明手册DRYP螺杆干式真空泵安全说明1、在阅读说明手册之前请不要操作设备；2、务必掌握足够的安全防护警告和使用必要的安全设备，以避免在设备安装和操作过程中的危险。

警告小心警告警告听从安全命令不要接触灼热表面设备运转时，请将身体和衣物远离设备操作设备过程中必须注意防护措施注意以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏；如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。

安全l 、应避免泵的管道法兰受到过重的压力；2 、在无防护装备的情况下不要操作机器，而且不正确转向也会损坏泵；3 、操作过程中不要让泵的抽气口暴露大气；4 、当泵与电机连接时，不要进行维护操作。

前言说明手册描述了DP 型螺杆干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。

泵的操作和维护人员务必仔细阅读该手册，以规范操作和维护，延长设备使用寿命。

1 ．总体说明1.1概要螺杆干式真空泵通过两个旋转的螺杆，排出被吸入的气体形成真空，螺杆的端面轮廓形状包括了很多曲线．如阿基米德曲线、摆线曲线和圆弧，螺杆和螺杆之间、螺杆和泵体之间都存在一定的间隙，互不接触，平稳的旋转。

被抽气体被平稳顺畅的送到排气口排出泵外．泵的结构决定了泵油不会混入到被排出的气体中，电机的动力通过V 型皮带或联轴器驱动真空泵。

1.2结构●螺杆转子：螺杆转子是由高性能球墨铸铁铸造而成，由高精度数控机床加工，精密度高，正确的型线设计和高精度的加工是保证整机性能的关键。

螺杆经精密的动平衡试验。

●同步齿轮：同步齿轮是螺杆真空泵的最主要的部分之一，它用来保证两转子的同步旋转从而保持转子之间一定的间隙。

齿轮表面经高频淬火，然后由特殊的高精度磨削而成，噪音小。

●轴承：固定端采用的是双列角接触球轴承，伸缩端采用的是具有高负载能力的滚柱轴承。

这些轴承能够承受较高的转速和负载，以保证齿轮间和螺杆间的间隙。

●轴封：螺杆泵内部轴封采用的是双向唇型密封，可有效阻止流体的双向相互流动，保持流体成分一致。

无油干式变螺距螺杆真空泵与水环真空泵对比

⽆油⼲式变螺距螺杆真空泵与⽔环真空泵对⽐⽔环真空泵，液环真空泵的极限真空度2000PA上下。

要达到更⾼的真空度就要组成机组。

如组成多级罗茨⽔环真空机组接点产⽣故障的机率就升⾼。

⽽⽆油⼲式变螺距螺杆真空泵单泵就可由⼤⽓压下抽⾄1PA（绝压）。

其内部变螺距已实现真空机组的功能。

⽔环真空泵，液环真空泵运⾏的时间较长的情况下，⽔温慢慢升⾼，直接造成⽔环真空泵的真空度下降，需要⽤冷冻盐⽔来冷却液环真空泵的⽔箱，促使电机的使⽤功率增⼤⽽增加能耗。

再者，如果从系统中抽出⽽未能冷凝的低沸溶剂进到⽔环真空泵的⽔体中，也会使⽔环泵的真空度下。

⽆油⼲式变螺距螺杆真空泵单泵就可长时间运转稳定，不受⽔温及抽出溶剂的影响。

（其内部基本还带⾃清洁）⽆油⼲式变螺距螺杆真空泵的⼯作腔内⽆任何介质，可获得清洁真空。

因此，在螺杆泵的排⽓端可设置常压下的冷凝器，对真空条件下未能冷凝的溶剂进⾏进⼀步的冷凝回收，使溶剂回收率⼤幅度提⾼。

以甲苯为例，在1mmHg真空条件下，甲苯的冷凝温度为0℃，我们要在真空端冷凝甲苯，就必须使⽤-15 ℃以下的冷媒，由于换热温差⼩，需要很⼤冷凝换热⾯积才能有效冷凝回收甲苯，⽽甲苯在常压下，冷凝温度为110 ℃，我们只需要使⽤循环⽔和较⼩的冷凝换热⾯积就可有效冷凝回收甲苯，溶剂回收率⼀般都可提⾼到96%以上。

⽽对于⽔环真空泵由于未冷凝溶剂直接混⼊⽔⾥，⽆法进⾏常压条件的冷凝回收，因此溶剂回收率低，且产⽣⼤量废⽔。

对于低沸溶剂，如甲醇、⼆氯甲烷等，在真空条件下，冷凝温度很低，很难⽤-15 ℃冷盐⽔来冷凝，回收率会更低，只能让⼤部分低沸溶剂进⼊⽔⾥，产⽣废⽔。

⽆油⼲式变螺距螺杆真空泵只需要少量循环冷却⽔在泵腔外包围流动，运⾏费⽤低。

⽔真空泵不断有溶剂进⼊⽔箱内，就需要定期或连续对⽔箱换⽔，以保持泵运⾏的真空度，需要消耗⼤量的⽔，对于⽔费不断上涨的情况下，⽔喷射泵或⽔环泵的运⾏费⽤是较⼤的。

尽管⼲式螺杆泵的设备价格⽐⽔喷射泵或⽔环泵⾼，但就长期运⾏使⽤来看，其费⽤更低，更经济环保。

DP-200型干式螺杆真空泵通过专家鉴定

格型号，迅速满足市场需求，希望以处理含可凝性蒸气的气体和含
６６
｝化．石工油设０和备。０
２０年ｌ月１０８１８日，淄博市淄该产品形成系列生产并生产相应
型线方程，使转子与转子啮合正确，整机结构设计合理，外形美
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博干式真空泵有限公司研制生产ห้องสมุดไป่ตู้ 配套设备。的ＤＰ２０干式螺杆真空泵通过了一０
生产条件考察及产品性能测经检测此产品技术性能指标达试考核组受鉴定委员会的委托对淄博市科技局组织的专家评议的到国内同类产品领先水平，部分一０新产品鉴定，并得到生产条件考ＤＰ２０型干式螺杆真空泵产品进性能指标达到国际同类产品先进察及产品性能测试考核组的认可。行了考核，考核结果认为该生产水平。目前相同性能的真空泵产鉴定委员会由东北大学徐成海教设备及工艺工装完善、检测手段品只有美、日、韩等少数发达国家授担任主任，合肥大学胡焕林教齐全，能够满足批量生产；产品质生产，技术含量高。该产品的研制授及山东大学赵玉刚教授担任副量稳定，产品经山东省泵阀机电成功打破了国外技术的垄断，可主任，汇集了多位真空及化工行产品质量监督检验中心检测，各以替代国外部分同类进口产品。／ＧＯ２０企业标１业的专家。专家组一致通过对Ｄ一项指标符合ＱＺＢＯ — ０７Ｐ产品已经投入市场使用，并得到２０型干式螺杆真空泵测试，鉴定准要求，经检验该产品的成功研０良好反应，淄博干式真空泵有限表明产品提供的技术资料齐全、制填补了国内空白。公司总经理林乐忠表示会听取鉴干式螺杆真空泵是二十一世完整、规范统一，符合国家、行业定委员会的指导意见，加大对产纪新型的绿色真空泵，该真空泵和企业有关技术标准，可以指导品工艺的修改和研究，尽快形成生产。同时，专家建议增加产品规运转时泵腔内完全无水无油，可系列产品，应对市场的需求。翻口

干式螺杆真空泵的预热作用

干式螺杆真空泵的预热作用
嘿，朋友们！咱今天来聊聊干式螺杆真空泵的预热作用，这可真是个相当重要的事儿呢！
你想想看啊，这干式螺杆真空泵就好比是一辆汽车，预热呢就像是给汽车热热身，让它能更好地跑起来。

要是没预热就直接猛踩油门，那说不定啥时候就出问题啦！
咱先说这预热能带来啥好处。

首先呢，它能让泵里面的各个部件都活动开，就像人早上起来伸伸懒腰，能更好地进入工作状态呀。

这样一来，工作效率不就高了嘛！而且啊，经过预热，那些零件之间的配合也会更顺畅，就跟跳舞的搭档一样，磨合好了才能跳出精彩的舞蹈呀，对吧？
你说要是不预热会咋样？那不就跟大冬天你猛地跳进冷水里一样，浑身都不自在呀！泵也一样，可能会出现各种小毛病，甚至影响使用寿命呢！你舍得让你的宝贝泵这么遭罪吗？
再打个比方，这预热就像是给泵做了一次舒服的按摩，让它放松了，才能更好地发挥呀！它能让泵的温度慢慢升高，各项性能也能稳定下来。

不然的话，泵冷不丁地开始工作，就像一个人还没睡醒就被拉去干活，能有好状态吗？
你可别小瞧了这小小的预热动作哦！它能为你的工作带来大大的保障呢。

就好像一场比赛前的热身，能让运动员在赛场上发挥得更出色。

这干式螺杆真空泵的预热作用，不也是这样吗？它能让泵在工作中少出问题，多干活，给你带来更多的好处呀！
而且哦，你想想看，要是因为没预热导致泵出了问题，那修起来得多麻烦呀！浪费时间不说，还得花不少钱呢。

这可真是得不偿失呀！所以呀，咱可别偷懒，一定要记得给咱的干式螺杆真空泵好好预热。

总之呢，干式螺杆真空泵的预热作用那可是相当重要的，可不能马虎对待呀！大家一定要重视起来，让我们的泵能更好地为我们服务，为我们创造价值！难道不是吗？。

干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵与往复泵特性对比泵型干式螺杆真空泵往复式真空泵工作原理两个螺杆转子以相反的方向向内旋转压缩，气体以低漩流的方式运送出去从而实现吸气和排气活塞在气缸内做往复运动不断改变气缸两端的容积，一端容积扩大吸入气体，另一端容积缩小排出气体；活塞与气阀的联合作用，周期地完成吸气和排气作用真空泵结构螺杆、壳体和端盖组成结构简单，整个螺杆泵头仅有一百个左右的零部件真空泵由气缸、活塞环、曲轴、活塞杆、十字头、吸气阀、排气阀机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件组成，结构复杂使用条件进气压力：大气压～0.1KPa进气温度：－20～90℃进气压力：大气压～15KPa进气温度：《50℃极限真空单级即可实现高真空，极限压力几个帕斯卡极限真空1300～2600帕斯卡抽气量可选泵型从一百到几千个立方每小时的抽量，相对抽量范围较宽，且可在大气压到一个毫巴压力范围内下保持大抽速常用泵抽气量高达2000方每小时左右，工作压力范围较窄，15KPa以下抽气效率急剧下降处理气体能力可以处理一定量的液体及小颗粒固体；温度适中，允许流程介质在泵内凝结，可夹带一定的液体，且可以安全排放几乎不能处理液体和颗粒，易造成活塞环和气缸出磨损或卡死安全性无火花防爆设计，采用PTFE密封和机械密封复合型设计，氮气密封吹洗保护，实现气体零泄露有摩擦部件存在，易产生火花，抽取易燃易爆气体时，安全性较差；自身密封结构原因，很难做到工艺气体零泄露腐蚀应用标准泵具有防腐涂层（如： PFA /Ni+Cr+Co等多种涂层），可以处理腐蚀性介质通常无防腐措施，有机物泵腔内聚合或积碳等，易造成故障；抽腐蚀性介质，真空泵需要根据工艺选择不同种类的密材料稳定性整个泵腔内无接触部件，没有工作部件的磨损，抽气效率稳定活塞等部件磨损是避免不了的，随着检修次数的增加工作真空度将不断下降，长时间使用抽气效率衰减泵内和排气温度水冷螺杆，泵腔内的温度120度，消音器后排气温度稳定且一般低于60度，在处理易燃易爆气体时安全可靠性更高气体温升速度梯度高，排气温度较高，压缩热聚集快，泵腔内温度很难控制，如排气阀故障泵腔内的温度会更高噪音噪音低噪音大,机组振动大日常维护保养几乎免维护。

VACUU·PURE 10NEW 干式螺杆泵真空泵说明书

PURE VACUUM.NOTHING ELSE.VACUU ·PURE ®10/vacuu-pure常压至10-3 mbar 真空范围100%无油无磨损无易损件+++VACUU·PURE®创新.从常压至10-3mbar真空范围内，VACUU·PURE具备可靠无油真空技术的优势。

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转轴无接触运行，零磨损。

无接触运行没有因为磨损造成的颗粒物技术可旋转的进气口垂直或水平方向都可以悬臂式转轴100% 无油气路再生模式大量的冷凝液也能快速干燥风冷式设计用途广泛Modbus RTU接口易于系统集成和远程控制.对真空需求低至10-3mbar，要求工艺过程清洁和产品纯净的应用，VACUU·PURE是一个理想的选择。

在一个高真空系统中，需要一个干燥且无碳氢化合物的真空环境，这对于许多应用来说是必不可少的。

作为涡轮分子泵的干式前级真空泵，VACUU·PURE提供了以前无油技术无法实现的高真空环境。

VACUU·PURE可以在较高的压力下连续运行，对较大的容积体系抽气至10-3 mbar，单泵即可实现，无需其他真空泵助。

无需更换易损件且省去了换油的麻烦， VACUU·PURE 可连续运行，无需定期维护。

VACUU·PURE可以在较高的压力下连续工作，因此在干燥箱中，可通过该单泵进行初始干燥和剩余干燥。

VACUU·PURE通过其优异的冷凝水兼容性，轻松处理大量蒸汽，无需气镇，因此可避免泵抽速降低及噪声增加等气镇带来的缺点。

干式螺杆真空泵技术参数

干式螺杆真空泵技术参数
干式螺杆真空泵的技术参数会因具体型号和应用场景的不同而有所差异。

以下是一些常见的技术参数示例：
抽速：表示真空泵在单位时间内所能抽取的气体体积，通常以立方米/小时（m³/h）或立方英尺/分钟（cfm）为单位。

极限压强：表示真空泵能够达到的最低压强，通常以毫巴（mbar）或托里（Torr）为单位。

电机功率：表示驱动真空泵所需的电机功率，通常以千瓦（kW）或马力（hp）为单位。

进气口和排气口尺寸：表示真空泵进气口和排气口的直径或尺寸，通常以毫米（mm）或英寸（in）为单位。

冷却方式：表示真空泵所采用的冷却方式，如水冷、风冷等。

电压和频率：表示驱动真空泵所需的电源电压和频率。

质量和尺寸：表示真空泵的质量和尺寸，通常以千克（kg）和毫米（mm）为单位。

请注意，以上仅为一些常见的干式螺杆真空泵技术参数示例，具体的参数可能因不同的制造商、型号和应用场景而有所不同。

在实际应用中，需要根据具体的需求和应用场景选择合适的干式螺杆真空泵，并参考相应的技术规格书或制造商提供的信息来了解其详细的技术参数。

1。

干式螺杆真空泵的结构、性能与应用

干式螺杆真空泵的结构、性能与应用摘要：干式螺杆真空泵是一种新型的真空泵，摒弃了传统润滑介质，具有结构简单、无油污染、高效能等特点。

本文通过对干式螺杆真空泵的结构、性能及应用进行研究与分析，总结出其在工业生产、科学研究等领域的广泛应用。

通过实验测量和数据分析，验证了干式螺杆真空泵的高抽速、低温升、可靠性等优势。

该研究为进一步推动干式螺杆真空泵的应用提供了理论依据和技术支持。

关键词：干式螺杆真空泵；性能；结构引言干式螺杆真空泵作为一种新型的真空泵，具有结构简单、无油污染、高效能等优势，已经在工业生产和科学研究中得到广泛应用。

本文旨在研究和分析干式螺杆真空泵的结构、性能及应用，并通过实验验证其抽速、温升和可靠性等方面的优势。

通过该研究，可为进一步推动干式螺杆真空泵的应用提供理论依据和技术支持，促进其在各个领域的发展和应用。

1.干式螺杆真空泵的结构干式螺杆真空泵是一种新型的真空泵，其结构相比传统润滑介质的真空泵有所不同。

它主要由驱动电机、螺杆转子、定子、进气口、排气口等组成。

其中，驱动电机提供动力，使螺杆转子旋转；螺杆转子与定子之间形成密封腔，通过旋转运动实现气体的抽吸和排放。

干式螺杆真空泵不需要外部润滑介质，因此在结构上取消了传统泵中的润滑系统，简化了结构，并且避免了润滑介质对工艺气体的污染。

此外，干式螺杆真空泵还采用了特殊的密封措施，以确保真空度的稳定性。

整个结构紧凑，占用空间小，方便安装和维护。

干式螺杆真空泵的结构简单而高效，使其在工业生产和科学研究中得到广泛应用。

2.干式螺杆真空泵的性能2.1高抽速的实验验证通过实验验证，干式螺杆真空泵展现出了高抽速的优异性能。

实验中，我们使用不同压力下的气体进行测试，并测量了干式螺杆真空泵的抽速。

结果显示，在各种压力范围内，干式螺杆真空泵表现出了卓越的抽取能力。

尤其是在高真空条件下，其抽速明显高于传统润滑介质的真空泵。

这可归因于干式螺杆真空泵采用无油设计，减少了气体与润滑介质之间的摩擦损失，提高了气体的流动性能。

干式螺杆真空泵技术参数

干式螺杆真空泵技术参数全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：干式螺杆真空泵是一种由螺杆压缩机和真空泵融合而成的设备，广泛应用于真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥等领域。

干式螺杆真空泵具有结构简单、操作方便、稳定性高等优点，逐渐成为很多行业的首选设备。

在选购干式螺杆真空泵时，了解其技术参数是非常重要的，下面就让我们来详细了解一下干式螺杆真空泵的技术参数。

一、流量参数流量是干式螺杆真空泵的核心参数之一，一般以立方米/小时或者升/分钟为单位表示。

不同规格的干式螺杆真空泵的流量参数差异较大，选择时要根据具体需求进行选择。

干式螺杆真空泵的流量大小直接影响到设备的真空度以及抽气速度，因此在选购时一定要确保流量参数符合实际需求。

二、抽气速度抽气速度是另一个重要的技术参数，通常以立方米/小时或者升/分钟来表示。

抽气速度越大，干式螺杆真空泵的抽气效果就越好。

在实际应用中，抽气速度与流量参数密切相关，选择时需要综合考虑。

三、极限压力极限压力是干式螺杆真空泵的一个重要参数，通常以帕斯卡（Pa）或者毫巴（mbar）来表示。

极限压力越低，说明干式螺杆真空泵的抽气能力越强。

极限压力与真空度密切相关，选购时一定要选择极限压力较低的干式螺杆真空泵。

四、功率功率是衡量干式螺杆真空泵性能的重要指标之一，通常以千瓦（KW）为单位表示。

功率大小会直接影响到干式螺杆真空泵的抽气效率以及运行成本，因此选择时要根据实际需要进行合理选择。

五、转速转速是干式螺杆真空泵的关键技术参数之一，通常以转/分来表示。

转速的大小会影响到干式螺杆真空泵的运转效果和生产效率，选购时需谨慎考虑。

六、冷却方式干式螺杆真空泵通常采用风冷式或者水冷式冷却方式，不同的冷却方式对干式螺杆真空泵的性能和使用寿命有着直接影响。

在选购时要根据具体的工况和环境条件选择合适的冷却方式。

七、外形尺寸外形尺寸是干式螺杆真空泵的重要技术参数之一，通常以毫米为单位表示。

不同规格的干式螺杆真空泵外形尺寸差异较大，选购时需根据实际安装场地和空间进行选择。

螺杆式真空泵特点、结构及工作原理

螺杆式真空泵特点、结构及工作原理螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于20世纪90年代前后，发展较晚。

但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展。

下面让我们一起了解一下它的基本知识吧！1、螺杆式真空泵特点螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的干式真空泵。

它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性。

因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。

螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。

它具有以下特点：1)清洁无油，多相混输，适应性广泛。

螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。

2)结构简单，动平衡好，可靠性高。

螺杆式真空泵零部件少，核心部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。

3)因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。

4)强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。

2、螺杆式真空泵的结构螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。

螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。

螺杆转子经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵腔中，螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。

泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。

因此，螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空高，消耗功率低，具有节能，免维修等优点。

螺杆式真空泵主要结构上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。

形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分。

依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵。

干式螺杆真空泵工作原理

干式螺杆真空泵工作原理一、干式螺杆真空泵的概述干式螺杆真空泵是一种无油、无污染的真空泵，它采用双螺杆结构，通过螺杆间的啮合使气体被压缩并排出。

干式螺杆真空泵广泛应用于半导体制造、电子、光学、化学、医药等领域。

二、干式螺杆真空泵的结构干式螺杆真空泵主要由两个旋转的螺杆和一个静止的壳体组成。

其中一个螺杆为主动轴，另一个为从动轴。

主动轴由电机带动旋转，从动轴则随之转动。

两个螺杆之间形成的密封隙间距非常小，可以将气体压缩并排出。

三、干式螺杆真空泵的工作原理当电机启动时，主动轴开始旋转并带动从动轴一起旋转。

在两个相互啮合的螺杆之间形成了密闭的工作室。

当这个工作室与进气口相连时，气体就被吸入了工作室中。

当螺杆旋转时，气体被挤压并向出口排放。

当螺杆旋转到出口时，气体被排出真空泵。

这个过程一直持续到达到所需的真空度为止。

四、干式螺杆真空泵的优点1. 无油、无污染：由于干式螺杆真空泵没有油润滑，因此不会产生油雾和污染。

2. 节能：干式螺杆真空泵相比于其他类型的真空泵，其功率消耗更小，因此节能效果显著。

3. 稳定性高：由于其结构简单、运行平稳，并且没有易损件，因此干式螺杆真空泵具有很高的可靠性和稳定性。

4. 适用范围广：干式螺杆真空泵可以处理各种气体，包括易燃、易爆气体。

五、干式螺杆真空泵的应用1. 半导体制造：在半导体制造过程中需要使用真空设备进行各种工艺操作。

由于干式螺杆真空泵无油无污染，因此非常适合用于半导体制造。

2. 医药：在制药过程中需要使用真空设备进行各种工艺操作。

干式螺杆真空泵可以处理各种气体，因此非常适合用于医药制造。

3. 光学：在光学领域中，需要使用真空设备进行各种工艺操作。

由于干式螺杆真空泵具有高稳定性和可靠性，因此非常适合用于光学领域。

4. 化学：在化学领域中，需要使用真空设备进行各种工艺操作。

由于干式螺杆真空泵可以处理各种气体，因此非常适合用于化学领域。

六、干式螺杆真空泵的维护1. 清洁：为了保持干式螺杆真空泵的清洁和无污染，在使用前和使用后应对其进行清洁。

干式螺杆真空泵在半导体与集成电路领域的应用

干式螺杆真空泵在半导体与集成电路领域
的应用
干式螺杆真空泵在半导体与集成电路领域的应用主要包括以下几个方面：
1. 用于半导体和集成电路制造过程中，如扩散、沉积、退火等工艺环节的真空系统和尾气处理系统。

通过有效的排气处理手段使整套装置都处于较高纯度的氦气循环模式中，这对于保证制程品质有着关键的作用。

2. 在产线原有真空机组难以解决部分特殊气体高沸点，大分子或染料尾气的抽吸时，替代罗茨泵配合二级油扩散泵作为极限排气工具，满足芯片制程对单台设备即可完成颗粒和残氧的要求。

它具有自净能力强、耐高温高分子及强吸附性气味等特点。

3. 提供在线气体回收方案，可实现工艺排气的同时有效回收各种工艺气体，减少废气排放，节约生产成本。

同时也有助于降低工厂环境的空气污染，并实现绿色环保的目标。

因此，干式螺杆真空泵在半导体与集成电路领域的应用主要是提高生产效率和产品质量，以及促进生产的环保化。

干式螺杆真空泵标准

干式螺杆真空泵标准
干式螺杆真空泵是一种无油、无水工作的真空泵，广泛应用于各
种工业领域。

由于其无油无水、无污染的特性，使其在高纯度要求的
领域（如光学、电子、化工等）得到了广泛应用。

下面是干式螺杆真
空泵的一些常见标准：
1. 泵的工作原理：干式螺杆真空泵通过两个相互啮合的螺杆旋
转运动，将工作室内的气体通过连续的螺杆腔体传递到真空泵的出口，实现气体的抽取。

2. 抽取能力：标准干式螺杆真空泵的抽取能力通常在几十到几
百立方米/小时之间，具体取决于泵的型号和尺寸。

3. 抽取压力：标准干式螺杆真空泵的抽取压力范围通常在几十
帕到几千帕之间，具体取决于泵的设计和性能。

4. 动力源：标准干式螺杆真空泵通常采用电动机作为动力源，
通常为交流电动机。

5. 防护等级：标准干式螺杆真空泵通常具有较高的防护等级，
以确保其在恶劣环境中的可靠运行。

6. 控制方式：标准干式螺杆真空泵通常可通过自动控制系统进
行控制，包括启停控制、压力调节等功能。

7. 设计和制造标准：标准干式螺杆真空泵通常采用国际通用的
设计和制造标准，确保其设计、制造和性能符合相关要求。

需要注意的是，不同厂家的干式螺杆真空泵可能存在一些差异，
具体的标准和规范应参照所购买的具体产品说明书。

干式螺杆真空泵操作规程

干式螺杆真空泵操作规程一、操作前的准备工作1.检查泵体是否有明显的振动、异常噪声或异味，如果有异常现象，应及时停止使用，并通知维修人员进行检修。

2.检查泵体的进出口阀门是否正常开启，并检查密封性能。

3.检查泵体的电气接地是否良好。

4.检查并清理泵体周围的杂物和积尘。

5.检查泵体的油箱油位是否正常，如不足应进行加油。

二、启动操作1.打开控制系统电源，按照系统要求进行启动。

2.待控制系统启动后，观察泵体的转速是否正常，并检查泵体的振动情况。

3.检查泵体的冷却系统，确保冷却水正常流动。

4.打开泵体的干气流量调节阀门，逐渐调节干气流量。

5.打开泵体的排放阀门，观察是否有气体排放。

6.观察泵体是否能够正常抽取真空，如不能正常运行，应及时停止使用，并通知维修人员进行检修。

三、运行中的注意事项1.运行过程中，应随时观察泵体的运行状态，如有异常情况及时停止使用。

2.定期检查泵体的冷却系统，确保冷却水正常流动。

3.定期检查泵体的进出口阀门，防止泄漏。

4.定期清理泵体周围的杂物和积尘，保持清洁。

5.定期检查泵体的油位，保持油箱油位正常。

6.定期更换泵体的油，按照使用说明进行操作。

7.定期检查泵体的密封性能，更换密封件。

8.定期检查泵体的橡胶软管和连接管件，确保其正常使用。

四、停机操作1.将干气流量调节阀门逐渐关闭，减少干气流量。

2.关闭泵体的排放阀门。

3.关闭泵体的进出口阀门。

4.停止控制系统的运行。

5.关闭控制系统电源。

五、维护保养1.按照使用说明书的要求进行定期保养，清洗和检查泵体的各个部件。

2.定期更换泵体的滤芯和油封。

3.定期检查泵体的螺纹连接是否松动，如有松动应及时拧紧。

4.定期检查泵体的电气接地是否良好。

以上就是干式螺杆真空泵的操作规程，希望对操作人员正常使用和保养设备有所帮助。

在操作过程中，应严格按照规程进行操作，确保设备的正常运行和安全使用。

如果有异常情况或故障，应及时停止使用，并通知维修人员进行检修。

干式螺杆真空泵的日常清洗方法

干式螺杆真空泵的日常清洗方法
首先，清洗前需要确保真空泵已经停机，并且处于冷却状态。

然后，按照以下步骤进行清洗：
1. 清洗滤网，首先清洗滤网，将滤网取出，用清水冲洗干净，去除堵塞的灰尘和杂物。

2. 清洗泵体外表面，用湿布或者软刷蘸取清洁剂，轻轻擦拭泵体外表面，去除表面的污垢和油渍。

3. 清洗进气口和出气口，用软刷或者压缩空气清洁进气口和出气口，确保通畅无阻。

4. 清洗内部，打开泵体盖，用清洁剂和软刷清洁泵体内部，去除内部的污垢和沉积物。

注意不要损坏螺杆和密封件。

5. 冲洗和擦干，用清水冲洗泵体内部和泵体盖，然后用干净的布擦干。

6. 组装，清洗干净后，将滤网和泵体盖安装回原位，确保安装
牢固。

7. 启动检查，清洗完成后，启动真空泵进行检查，确保清洗后的泵能正常运行。

需要注意的是，清洗时要避免水或清洁剂进入泵内部，以免影响泵的正常工作。

另外，清洗后要及时擦干泵体表面和内部，避免水渍残留导致腐蚀。

总之，干式螺杆真空泵的日常清洗是保持设备性能稳定运行的重要步骤，只有做好日常清洗和维护工作，才能延长设备的使用寿命，保证生产的顺利进行。