Philips XL30 ESEM环境扫描电镜操作流程
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Philips XL30-ESEM环境扫描电镜操作规程
一、开机
1.分别打开电源总开关、主控面板上电源开关、UPS电源开关,等待计算机主机启动。
2.按照显示屏提示按CTRL+ALT+DEL键及桌面上的XL30图标,提示做Home时按Yes图标。
3.用鼠标点击真空Pump图标抽真空,待提示 Vac OK时,按主控面板上的高压钮,鼠标点击
显示屏高压图标,图象显示。
二、样品安装
1.关闭显示屏上的高压图标,关真空VENT图标,待镜筒完全放气后轻轻拉开样品室门,装入
样品(带手套),慢慢推回样品室门。
2.用鼠标点击真空图标抽真空,待提示真空OK时,鼠标点击显示屏高压图标,图象显示。
三、扫描图象观察
1.调整好亮度和反差,用鼠标右键横向移动粗调焦。按放大倍数要求设好样品高度,高倍下选
区扫描,用鼠标右键横向移动细调焦。
2.扫描速度1、2用于选择和粗调焦,扫描速度3、Photo用于细调焦及照相。
3.高倍下用Shift+鼠标右键横向移动消象散。
四、图象记录、储存和打印
1.点击扫描速度3或Photo进行慢扫描,扫描完成后点击显示屏上雪花图标锁定图象。
2.打开我的电脑E盘USR目录,按客户姓名建立文件名,点击显示屏In/Out菜单中的Imag
e,输入样品名称,点击Save图标存盘。再点击In/Out菜单中的Photo,用120相机拍摄底片。
五、合轴操作及环境扫描模式
按仪器说明书操作。
六、关机
1.样品高度调至20毫米,放大倍数调至100倍,样品位置调至中心。
2.依次关闭显示屏上的高压图标、主控面板上的高压钮、真空Vent图标,点击显示屏左下角
的开始图标,选择现在关机。
3.待提示安全关机后,关闭主控面板上的电源、UPS电源和电源总开关。