磁悬浮原理

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磁悬浮转子真空计工作原理图

时间:2008-09-16 来源:真空技术网整理编辑:真空技术网

根据磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子的外摩擦有关的原理制成的真空测量仪表称为磁悬浮转子真空计。

图22：磁悬浮转子真空计结构图

由图22可见，除了用于磁悬浮转子的螺旋线圈2外，在真空室下边还设置一敏感线圈5，通过伺服电路控制螺旋线圈2的电流，使转子悬浮在预定高度。在真空室两侧的一对驱动线圈3产生旋转磁场，驱动转子以每秒200～400转的速度自转。虽然转子在给定的垂直位置会自动地趋向磁场最强处(一般在垂直对称轴上)，但若受外界扰动，转子将围绕轴作水平振动。图中紧临真空室下方的阻尼钢针6可使这种振动衰减。

这种真空计是基于气体分子对自由旋转钢球的减速作用而工作的。当钢球被驱动线圈的磁场

从静止加速到每秒400转速之后，停止驱动场，由于气体分子摩擦的积分作用引起钢球自转速度衰减，其转速衰减与气体压力p有着严格的对应关系。

磁悬浮转子真空计是标准真空计，量程宽(10-1～10-5Pa)，用它作互校传递标准时，累积误差小，可靠性重复性好。

SKF公司最新推出磁浮轴承（图文）

ＳＫＦ（斯凯孚）公司最新推出磁浮轴承。半导体工业需要极纯净的环境

来制造日益复杂的电路晶片，其中，ＴＭＰ（Turbo Molecular Pumps）涡轮子真

空泵主要是利用高速旋转的涡轮叶片转子，撞击气体分子后，把气体分子带出

制程腔体。由于需要高速旋转，传统陶珠轴承系统存在油气污染问题，目前业界已大量使用无接触的磁浮轴承。

ＳＫＦ磁浮轴承还可应用于三轴加工中心机床，主轴转速１０万转／分钟。

此主轴目前是展示阶段的原型，唯有依赖磁浮轴承才能达到如此高的转速，而如此高的表面加工精度及轴承寿命，是传统滚动轴承所无法达到的。

磁浮轴承的性能由于软件算法的改进而大大加强，坚固性，稳定性，经济性的提高使磁浮轴承从试验

室走向应用领域。

磁浮轴承主要

由以下三部分组成：

电磁驱动机构，传感

器，控制器及算法。

磁浮轴承的结构与

马达类似，电磁铁除

了产生力矩以外，还

产生使转子悬浮的

吸引力。转子与定子

的间隙一般为

0.5mm至2mm。主轴位置传感器用于给控制系统提供反馈，一般情况下设置四个径向传感器一个轴向传感器。控制器通过对电流大小的调节而控制主轴的位置。先进的控制算法可以实现每秒１００００次的位置测量和电流调节。同时，软件还提供接口供使用者监测振动，动平衡，速度等参数。